JPH06163734A - Flat package and its production - Google Patents

Flat package and its production

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Publication number
JPH06163734A
JPH06163734A JP31071992A JP31071992A JPH06163734A JP H06163734 A JPH06163734 A JP H06163734A JP 31071992 A JP31071992 A JP 31071992A JP 31071992 A JP31071992 A JP 31071992A JP H06163734 A JPH06163734 A JP H06163734A
Authority
JP
Japan
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sheet
base
ceramic
thick film
flat package
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP31071992A
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Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Wachi
健 和智
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Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Original Assignee
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd, Kansai Nippon Electric Co Ltd filed Critical Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a reliable flat package by equipping a base where single or multi-gapped recessed section having upwardly opening sectional square shape is integrally formed on a sheet, and a cap for sealing the base surface opening. CONSTITUTION:While a carrier sheet 22 is fed in a direction indicated by an arrow mark, the surface is coated by supplying a material 26 through a blade- like opening 26a of a cylindrical body 27 so that the film formation of the material 26 may be made on the sheet at a specified thickness, it is passed through a drying furnace 28 to dry a solvent through semi-drying, and a ceramic raw sheet 29 made of thick film is formed. When the material 26 is supplied to the sheet 22, if it is coated at a thickness enough to overally cover respective projecting sections 22b..., single-gapped recessed sections 29a... that are opened on the surface as corresponded to the sections 22b on the sheet 29 will be formed together with the sheet. Therefore, since the sheet 29 is cut at a predetermined dimension to form a base or a cap, the productivity can be improved and a flat package with high packaging property and without generating any deformation can be obtained.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、セラミック材料からな
るフラットパッケージ及びその製造方法に関するもので
ある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat package made of a ceramic material and a method for manufacturing the flat package.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば水晶振動子やSAWフィルタ等の
素子の収納容器として図4又は図5に示すフラットパッ
ケージ(A)(B)がある。まず図4に示すフラットパ
ッケージ(A)はベース(1)とキャップ(9)とを具
備し、ベース(1)はセラミック材料又はセラミックと
ガラス混合材料からなる方形状厚膜シート(3)に、厚
膜シート(3)と同外形同シート材料で小大形各開口を
有する方形枠体(4)(5)を順次、積層して固着し、
中間内壁面に段部(1a)を持つ階段壁面の横断面方形
状収納用2段凹部(1b)を設けたものである。そし
て、段部(1a)に上下に貫通した電極引き出し用スル
ーホール(6)を穿設し、その内部に導電性接着剤、例
えば銀ペースト(7)を充填して真空吸引により段部表
面まで導出する。そこで、段部表面の銀ペースト(7)
を介して水晶振動子等の素子(8)の周端部を段部(1
a)に固着して振動自在に収納・保持した後、キャップ
(9)を枠体(5)の上面に封止剤(10)を介して封
着する。
2. Description of the Related Art For example, there are flat packages (A) and (B) shown in FIG. 4 or 5 as a container for storing elements such as a crystal oscillator and a SAW filter. First, the flat package (A) shown in FIG. 4 comprises a base (1) and a cap (9), and the base (1) is a rectangular thick film sheet (3) made of a ceramic material or a ceramic / glass mixed material. Rectangular frame bodies (4) and (5) having the same outer shape and same sheet material as the thick film sheet (3) and having small and large openings are sequentially laminated and fixed,
A two-step concave portion (1b) for storing a rectangular cross section of a staircase wall surface having a step portion (1a) on the intermediate inner wall surface is provided. Then, an electrode lead-through through hole (6) penetrating vertically is formed in the step portion (1a), a conductive adhesive, for example, a silver paste (7) is filled therein, and vacuum suction is applied to reach the step surface. Derive. Therefore, the silver paste (7) on the step surface
The peripheral end of the element (8) such as the crystal unit is connected to the step (1
After being fixedly attached to a) and vibratably accommodated and held, the cap (9) is sealed on the upper surface of the frame body (5) through the sealant (10).

【0003】又、図5に示すフラットパッケージ(B)
はベース(2)とキャップ(14)とを具備し、同じく
セラミック材料又はセラミックとガラス混合材料からな
る方形状厚膜シート(11)に、厚膜シート(11)と
同外形同シート材料の方形枠体(12)を積層して固着
し、横断面方形状収納用凹部(2a)を設けたものであ
る。そして、凹部(2a)の底面に植設した保持板(1
3)により素子(8)を固着して振動自在に収納・保持
した後、枠体(12)の上面にキャップ(14)を封止
剤(10)を介して封着する。
A flat package (B) shown in FIG.
Is a rectangular thick-film sheet (11) which comprises a base (2) and a cap (14) and is also made of a ceramic material or a mixed material of ceramic and glass, and has the same outer shape as the thick-film sheet (11). The frame body (12) is laminated and fixed, and a concave section (2a) for storing a rectangular cross section is provided. The holding plate (1) is planted on the bottom surface of the recess (2a).
After the element (8) is fixed by 3) and accommodated and held so as to be able to vibrate, the cap (14) is sealed to the upper surface of the frame (12) through the sealant (10).

【0004】上記フラットパッケージ(A)又は(B)
を製造するに際しては、図6に示すように、ドクターブ
レード法を用いる。即ち、まず供給用ドラム(15)に
プラスチック材料からなる長尺なキャリアテープ(1
6)を巻装して矢印方向に繰り出し、順次、巻き取り用
ドラム(17)に巻き取っていくと共に、その中間位置
上方に、セラミック材料又はセラミックとガラス混合材
料からなるスラリー状材料(20)を溜めておく筒体
(18)を配し、且つ、その下流側に所定距離を置いて
連続して乾燥炉(19)を配する。
The flat package (A) or (B)
When manufacturing, the doctor blade method is used as shown in FIG. That is, first, a long carrier tape (1) made of a plastic material is provided on the supply drum (15).
6) is wound up and fed out in the direction of the arrow, and is successively wound up on a winding drum (17), and above the intermediate position thereof, a slurry-like material (20) made of a ceramic material or a ceramic-glass mixed material. A cylindrical body (18) for storing the is placed, and a drying furnace (19) is continuously placed at a predetermined distance downstream thereof.

【0005】上記構成において、キャリアテープ(1
6)を順次、矢印方向に送りつつ、その表面に筒体(1
8)のブレード状開口(18a)から材料(20)を供
給して刷りきり状に塗布し、テープ上に一定厚さに材料
(20)を成膜していく。そして、乾燥炉(19)を通
過して半乾燥により溶剤を乾燥させ、厚膜のセラミック
生シート(21)を形成する。そこで、まずフラットパ
ッケージ(B)の場合、図7(a)に示すように、方形
状に裁断して厚膜シート(11)(11)を形成する。
次に、その一対の厚膜シート(11)(11)を一組と
し、図7(b)に示すように、その一方の厚膜シート
(11)の中央部を打ち抜いて方形枠体(12)を形成
した後、図7(c)に示すように、その枠体(12)を
他方のシート(11)上に積層する。そして、積層した
一対のシート(11)(12)を型に嵌めてその外形を
規制した状態で60〜80°Cで熱プレスした後、10
00°C程度で焼成すると、図7(d)に示すように、
一段のシート厚が0.2〜1.0mm程度のフラットパ
ッケージ(B)のベース(2)が製造される。又、キャ
ップ(14)も同様である。
In the above structure, the carrier tape (1
6) are sequentially fed in the direction of the arrow, and the cylindrical body (1
The material (20) is supplied from the blade-shaped opening (18a) of 8) and is applied in the form of imprint, and the material (20) is deposited on the tape to a constant thickness. Then, the solvent is dried by passing through a drying oven (19) by semi-drying to form a thick film green ceramic sheet (21). Therefore, in the case of the flat package (B), first, as shown in FIG. 7A, the thick film sheets (11) and (11) are formed by cutting into a rectangular shape.
Next, the pair of thick film sheets (11) and (11) are combined into a set, and as shown in FIG. 7B, the central portion of one thick film sheet (11) is punched out to form a rectangular frame (12). ) Is formed, the frame body (12) is laminated on the other sheet (11) as shown in FIG. 7C. Then, the pair of stacked sheets (11) and (12) are fitted into a mold and hot pressed at 60 to 80 ° C. in a state where the outer shape thereof is regulated, and then 10
When fired at about 00 ° C, as shown in Fig. 7 (d),
A flat package (B) base (2) having a sheet thickness of about 0.2 to 1.0 mm is manufactured. The same applies to the cap (14).

【0006】又、フラットパッケージ(A)の場合、図
7(a)と同様に、生シート(21)を方形状に裁断し
て形成した3枚の厚膜シート(3)(3)(3)を一組
とし、その内の二つの厚膜シート(3)(3)の各中央
部を小大寸法にて打ち抜いて相異なる小大形開口を有す
る方形枠体(4)(5)を形成する。そして、図7
(e)に示すように、それらを他方の厚膜シート(3)
上に順次、3段に積層した後、例えばスルーホール形成
用のピンを枠体(4)の段部(1a)に刺した状態で同
様に熱プレスと焼成を繰り返してフラットパッケージ
(A)のベース(1)を形成する。又、キャップ(9)
も同様である。
In the case of the flat package (A), three thick film sheets (3), (3) and (3) formed by cutting the green sheet (21) into a rectangular shape, as in the case of FIG. 7A. ) As a set, and two thick film sheets (3) and (3) in each of them are punched out at their central portions with small and large dimensions to form rectangular frame bodies (4) and (5) having different small and large openings. Form. And FIG.
As shown in (e), they are the other thick film sheet (3)
After sequentially stacking in three layers on top of each other, for example, a pin for forming a through hole is pierced in the step portion (1a) of the frame body (4), and heat pressing and firing are repeated in the same manner to produce Form the base (1). Also, the cap (9)
Is also the same.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】解決しようとする課題
は、フラットパッケージベースを形成する際、生シート
から裁断した方形状厚膜シートを打ち抜いて方形枠体を
形成しているため、打ち抜き工程が増えて工数が増加す
ると共に、セラミック材料は高価であるため、打ち抜き
部分を廃棄すると、材料利用率(約20〜60%)が低
下してコスト増を招き、更に、熱プレスする際、枠体は
変形し易いため、特にその開口部分が変形すると、凹部
の寸法や形状精度が低下する点である。
The problem to be solved by the invention is that when a flat package base is formed, a rectangular thick film sheet cut from a raw sheet is punched out to form a rectangular frame body. As the number of man-hours increases and the number of man-hours increases, the ceramic material is expensive. Therefore, when the punched part is discarded, the material utilization rate (about 20 to 60%) is reduced, which leads to an increase in cost. Is easily deformed, and therefore, when the opening is deformed, the size and shape accuracy of the recess are reduced.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、フラットパッ
ケージとして、セラミック材料又はセラミックとガラス
の混合材料からなる方形厚膜シートの表面に、上方に拡
開した横断面方形状の一又は多段凹部をシートに一体形
成してなるベースと、あるいは下方に拡開したベース表
面開口を封着するキャップとを具備したことを特徴と
し、
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention provides a flat package having one or more recesses of a rectangular cross-section having a transverse cross section that is expanded upward on the surface of a rectangular thick film sheet made of a ceramic material or a mixed material of ceramic and glass. A base integrally formed on the sheet, or a cap for sealing the base surface opening expanded downward,

【0009】又、その製造方法として、セラミック材料
又はセラミックとガラスの混合材料をスラリー状にする
工程と、表面に所定形状で複数の一又は多段凸部を一定
の配列ピッチで突設したキャリアシート上に上記スラリ
ー状材料をドクターブレード法により塗布して厚めに成
膜し、キャリアシート上に、上記凸部に対応して上方に
拡開して形成された一又は多段凹部を有するセラミック
の厚膜シートを形成する工程と、上記厚膜シートを乾燥
させた後、厚膜シートを上記凹部毎に方形枠状に裁断
し、凹部を収納部としたパッケージベース又はキャップ
を形成する工程とを含むことを特徴とする。
As a manufacturing method thereof, a step of making a ceramic material or a mixed material of ceramic and glass into a slurry, and a carrier sheet having a plurality of one or multi-step convex portions of a predetermined shape projected on a surface at a constant array pitch The above slurry-like material is applied by the doctor blade method to form a thick film, and the thickness of the ceramic having one or multi-step concave portions formed by expanding upward on the carrier sheet corresponding to the convex portions. A step of forming a film sheet, and a step of drying the thick film sheet and thereafter cutting the thick film sheet into a rectangular frame shape for each of the recesses to form a package base or a cap having the recesses as a storage part. It is characterized by

【0010】[0010]

【作用】上記技術的手段によれば、方形状一又は多段凸
部を有するキャリアシート上にドクターブレード法によ
りセラミック材料又はセラミックとガラス混合材料から
なるスラリー状材料を厚めに塗布して成膜し、上方に拡
開した横断面方形状一又は多段凹部を有するセラミック
厚膜シートを形成する。次に、上記シートを乾燥させ、
且つ、定寸で裁断してパッケージベース又はキャップを
形成した後、ベース開口を封止剤を介してキャップで封
着してフラットパッケージを形成する。
According to the above-mentioned technical means, a ceramic material or a slurry-like material composed of a ceramic and glass mixed material is applied thickly on a carrier sheet having a rectangular or multi-stage convex portion by a doctor blade method to form a film. Forming a ceramic thick film sheet having one or multi-stage recesses of a rectangular cross-section that is expanded upward. Next, the sheet is dried,
In addition, after cutting to a fixed size to form a package base or cap, the base opening is sealed with a cap via a sealant to form a flat package.

【0011】[0011]

【実施例】本発明に係るフラットパッケージ及びその製
造方法の実施例を図1乃至図3を参照して以下に説明す
る。図1(a)(b)は本発明に係るキャリアシート
(22)(23)の各部分斜視図を示し、上記キャリア
シート(22)はプラスチック材料からなる長尺なシー
ト(22a)上に複数の一段凸部(22b)…を一定の
整列ピッチで一体に配列したもので、凸部(22b)は
シート(22a)に一体成形又は別体の同材質のものを
貼り付けてなる。又、キャリアシート(23)は長尺な
シート(23a)上に複数の2段凸部(23b)…を一
定の整列ピッチで一体に配列したもので、凸部(23
b)はシート(23a)に一体成形又は別体の同材質の
ものを貼り付けてなる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT An embodiment of a flat package and a manufacturing method thereof according to the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 (a) and 1 (b) are partial perspective views of carrier sheets (22) and (23) according to the present invention, wherein the carrier sheets (22) are plural on a long sheet (22a) made of a plastic material. The single-step convex portions (22b) ... Are integrally arranged at a constant alignment pitch, and the convex portions (22b) are formed by integrally molding or adhering the same material to the sheet (22a). Further, the carrier sheet (23) is formed by integrally arranging a plurality of two-step convex portions (23b) ... On a long sheet (23a) at a constant alignment pitch.
In the case of b), the sheet (23a) is integrally molded or attached separately and made of the same material.

【0012】そこで、まず図5に示す一段凹部を有する
フラットパッケージ(B)を製造する場合、図2に示す
ように、ドクターブレード法を用い、まず供給用ドラム
(24)に長尺なキャリアシート(22)を凸部(22
b)を表に向けて巻装し、凸部(22b)を上面に配し
た状態で矢印方向に繰り出す。そして、キャリアシート
(22)をドラム(24)から順次、巻き取り用ドラム
(25)に巻き取っていくと共に、その中間位置上方
に、セラミック材料又はセラミックとガラス混合材料か
らなるスラリー状材料(26)を溜めておく筒体(2
7)を配し、且つ、その下流側に所定距離を置いて連続
して乾燥炉(28)を配する。
Therefore, when manufacturing the flat package (B) having the one-step recessed portion shown in FIG. 5, first, as shown in FIG. 2, the doctor blade method is used, and first, a long carrier sheet is attached to the supply drum (24). (22) the convex part (22
B) is wound so as to face the front side, and is extended in the direction of the arrow with the convex portion (22b) placed on the upper surface. Then, the carrier sheet (22) is sequentially wound from the drum (24) onto the winding drum (25), and above the intermediate position thereof, a slurry-like material (26) made of a ceramic material or a ceramic-glass mixed material is provided. ) To store (2)
7) is arranged, and a drying furnace (28) is continuously arranged at a predetermined distance downstream thereof.

【0013】上記構成において、キャリアシート(2
2)を順次、矢印方向に送りつつ、その表面に筒体(2
6)のブレード状開口(26a)から材料(26)を供
給して刷りきり状に塗布し、シート上に一定厚に材料
(26)を成膜していく。そして、乾燥炉(28)を通
過して半乾燥により溶剤を乾燥させ、厚膜のセラミック
生シート(29)を形成する。この時、材料(26)を
キャリアシート(22)上に供給する際、各凸部(22
b)…を全面被覆する厚さまで塗布すると、図3(a)
に示すように、生シート(29)上に凸部(22b)…
に対応して表面に開口した一段凹部(29a)…がシー
トと共に形成される。そこで、従来と同様、図3(b)
に示すように、各凹部(29a)…毎に方形状に定寸で
裁断するだけで、ベース(2)に対応するフラットパッ
ケージ(B)のベース(30)が形成される。そして、
同様の工程で形成した下方に拡開した横断面方形状の一
段の凹部をシートに一体形成してなるキャップ(14)
をベース(30)の開口に封着してフラットパッケージ
(B)を形成する。
In the above structure, the carrier sheet (2
2) are sequentially fed in the direction of the arrow, and the cylindrical body (2
The material (26) is supplied from the blade-shaped opening (26a) of 6) and is applied in the form of imprint, and the material (26) is formed into a film with a constant thickness on the sheet. Then, the solvent is dried by passing through a drying oven (28) by semi-drying to form a thick ceramic raw sheet (29). At this time, when the material (26) is supplied onto the carrier sheet (22), the protrusions (22)
b) ... is applied to a thickness to cover the entire surface, and FIG.
As shown in, the convex portion (22b) on the green sheet (29) ...
The one-step recesses (29a) ... Therefore, as in the conventional case, FIG.
As shown in FIG. 5, the base (30) of the flat package (B) corresponding to the base (2) is formed by simply cutting each recess (29a) ... And
A cap (14) formed by integrally forming in the sheet a stepped concave portion having a rectangular cross-section that is formed by the same process and is expanded downward.
Is sealed in the opening of the base (30) to form a flat package (B).

【0014】又、図4に示す2段凹部を有するフラット
パッケージ(A)を製造する場合、上記同様、ドクター
ブレード法を用いると共に、キャリアシート(22)に
代えて図1(b)に示す2段凸部(23b)を有する長
尺なキャリアシート(23)を使用する。
Further, in the case of manufacturing the flat package (A) having the two-step recess shown in FIG. 4, the doctor blade method is used in the same manner as described above, and the carrier sheet (22) is replaced with the one shown in FIG. A long carrier sheet (23) having a step convex portion (23b) is used.

【0015】上記構成において、上記同様、厚膜のセラ
ミック生シートを形成する。この時、材料(26)をキ
ャリアシート(23)上に供給する際、各凸部(23
b)…を全面被覆する厚さまで塗布すると、生シート上
に凸部(23b)…に対応して上方に拡開した2段凹部
がシートと共に形成される。そこで、従来と同様、図3
(c)に示すように、各凹部(31)…毎に方形状に定
寸で裁断するだけで、ベース(1)に対応するフラット
パッケージ(A)のベース(32)が形成される。そし
て、別工程で形成したフラットなキャップ(9)を従来
と同様、ベース(32)の開口に封着してフラットパッ
ケージ(A)を形成する。
In the above structure, a thick ceramic green sheet is formed as in the above. At this time, when the material (26) is supplied onto the carrier sheet (23), each convex portion (23
When b) is applied to a thickness to cover the entire surface, a two-step concave portion that expands upward corresponding to the convex portions (23b) is formed on the green sheet together with the sheet. Therefore, as in the conventional case, FIG.
As shown in (c), the base (32) of the flat package (A) corresponding to the base (1) is formed by simply cutting each recess (31) ... Then, the flat cap (9) formed in a separate step is sealed in the opening of the base (32) as in the conventional case to form the flat package (A).

【0016】尚、ベース(32)を形成する際、図3
(d)に示すように、図3(b)に示すフラットパッケ
ージ(B)のベース(30)に大形開口の方形枠体(3
3)を熱プレスにより積層して形成しても良い。この場
合、寸法精度が要求されるベース(30)の凹部につい
ては、シートと一体に高い寸法精度で形成される一方、
枠体(33)の開口寸法は粗くても良いため、熱プレス
時に枠体(33)が変形しても支障はない。
Incidentally, when forming the base (32), as shown in FIG.
As shown in FIG. 3D, a rectangular frame body (3) having a large opening is formed on the base (30) of the flat package (B) shown in FIG. 3B.
3) may be formed by laminating by hot pressing. In this case, the concave portion of the base (30) which requires dimensional accuracy is formed integrally with the sheet with high dimensional accuracy,
Since the opening size of the frame body (33) may be coarse, there is no problem even if the frame body (33) is deformed during hot pressing.

【0017】[0017]

【発明の効果】本発明によれば、凸部を有するキャリア
シート上にドクターブレード法によりセラミック材料又
はセラミックとガラス混合材料からなるスラリー状材料
を塗布して厚めに成膜し、凸部に対応した凹部を有する
厚膜のセラミック生シートを形成した後、生シートを定
寸で裁断してフラットパッケージのベース又はキャップ
を形成したから、凹部打ち抜き工程が不要となって工数
が減少し、生産性が向上すると共に、打ち抜き部分が無
いため、廃棄材料が無くなってコスト低減を図ることが
出来る。又、積層部分が排除されるため、封止性が良
く、且つ、凹部の熱プレスによる変形も生じないため、
信頼性が向上する。
According to the present invention, a slurry material composed of a ceramic material or a mixed material of ceramic and glass is applied by a doctor blade method onto a carrier sheet having convex portions to form a thick film, and the convex portions are dealt with. After forming a thick film ceramic raw sheet with concave portions, the raw sheet was cut to a fixed size to form a flat package base or cap, so the concave portion punching process is not required and the man-hours are reduced. In addition, since there is no punched part, waste material is eliminated and cost can be reduced. In addition, since the laminated portion is eliminated, the sealing property is good, and the deformation of the concave portion due to hot pressing does not occur,
Improves reliability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】(a)は本発明に係るフラットパッケージの製
造方法の実施例を示すキャリアシートの部分斜視図であ
る。(b)は本発明に係るフラットパッケージの製造方
法の他の実施例を示すキャリアシートの部分斜視図であ
る。
FIG. 1A is a partial perspective view of a carrier sheet showing an embodiment of a method for manufacturing a flat package according to the present invention. (B) is a partial perspective view of a carrier sheet showing another embodiment of the method for manufacturing a flat package according to the present invention.

【図2】本発明に係るフラットパッケージの製造方法の
実施例を示すドクターブレード法の概略側面図である。
FIG. 2 is a schematic side view of a doctor blade method showing an embodiment of a flat package manufacturing method according to the present invention.

【図3】(a)は本発明に係る厚膜のセラミック生シー
トの実施例を示す部分斜視図である。(b)は図3
(a)に示す厚膜シートから形成したフラットパッケー
ジベースの実施例を示す斜視図である。(c)は図3
(a)に示す厚膜シートから形成したフラットパッケー
ジベースの他の実施例を示す斜視図である。(d)は図
3(a)に示す厚膜シートから形成したフラットパッケ
ージベースの他の実施例を示す斜視図である。
FIG. 3A is a partial perspective view showing an embodiment of a thick film green ceramic sheet according to the present invention. (B) is FIG.
It is a perspective view which shows the Example of the flat package base formed from the thick film sheet | seat shown to (a). (C) is FIG.
It is a perspective view which shows the other Example of the flat package base formed from the thick film sheet | seat shown to (a). FIG. 3D is a perspective view showing another embodiment of the flat package base formed from the thick film sheet shown in FIG.

【図4】従来のフラットパッケージの一例を示す概略側
断面図である。
FIG. 4 is a schematic side sectional view showing an example of a conventional flat package.

【図5】従来のフラットパッケージの他の一例を示す概
略側断面図である。
FIG. 5 is a schematic side sectional view showing another example of a conventional flat package.

【図6】従来のフラットパッケージの製造方法の一例を
示すドクターブレード法の概略側面図である。
FIG. 6 is a schematic side view of a doctor blade method showing an example of a conventional flat package manufacturing method.

【図7】(a)(b)(c)(d)e)は図6に示すド
クターブレード法によって形成した厚膜のセラミック生
シートからフラットパッケージベースを形成する工程を
示す各斜視図である。
7 (a), (b), (c), (d) e) are perspective views showing steps of forming a flat package base from a thick ceramic green sheet formed by the doctor blade method shown in FIG. .

【符号の説明】[Explanation of symbols]

30、32 ベース 9、14 キャップ 22、23 キャリアシート 22b、23b 凸部 30, 32 Base 9, 14 Cap 22, 23 Carrier sheet 22b, 23b Convex portion

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 セラミック材料又はセラミックとガラス
の混合材料からなる方形厚膜シートの表面に、上方に拡
開した横断面方形状の一又は多段凹部をシートに一体形
成してなるベースと、ベース表面開口を封着するキャッ
プとを具備したことを特徴とするフラットパッケージ。
1. A base comprising a square thick film sheet made of a ceramic material or a mixed material of ceramic and glass, on the surface of which a single or multi-stage concave portion having a transverse cross-section rectangular shape which is expanded upward is integrally formed on the sheet. A flat package comprising a cap for sealing a surface opening.
【請求項2】 セラミック材料又はセラミックとガラス
の混合材料からなる方形厚膜シートの表面に、上方に拡
開した横断面方形状の一又は多段凹部をシートに一体形
成してなるベースと、ベース表面開口を封着する下方に
拡開した横断面方形状の一又は多段凹部をシートに一体
形成してなるキャップとを具備したことを特徴とするフ
ラットパッケージ。
2. A base formed by integrally forming one or multi-stage recesses of a rectangular cross-section which is expanded upward on the surface of a rectangular thick film sheet made of a ceramic material or a mixed material of ceramic and glass, and a base. A flat package, comprising: a cap formed integrally with a sheet to form a single or multi-stage concave portion having a lateral cross-sectional square shape that seals a surface opening.
【請求項3】 セラミック材料又はセラミックとガラス
の混合材料をスラリー状にする工程と、表面に所定形状
で複数の一又は多段凸部を一定の配列ピッチで突設した
キャリアシート上に上記スラリー状材料をドクターブレ
ード法により塗布して厚めに成膜し、キャリアシート上
に、上記凸部に対応して上方に拡開して形成された一又
は多段凹部を有するセラミックの厚膜シートを形成する
工程と、上記厚膜シートを乾燥させた後、厚膜シートを
上記凹部毎に方形枠状に裁断し、凹部を有するパッケー
ジベース又はキャップを形成する工程とを含むことを特
徴とするフラットパッケージの製造方法。
3. A step of making a ceramic material or a mixed material of ceramic and glass into a slurry form, and the slurry form on a carrier sheet in which a plurality of one or multi-step convex portions having a predetermined shape are projected on a surface at a constant array pitch. A material is applied by a doctor blade method to form a thick film, and a thick film sheet of ceramic having one or multi-stage concave portions formed by expanding upward corresponding to the convex portions is formed on a carrier sheet. A flat package characterized by including a step and a step of drying the thick film sheet and then cutting the thick film sheet into a rectangular frame shape for each of the recesses to form a package base or a cap having the recesses. Production method.
JP31071992A 1992-11-20 1992-11-20 Flat package and its production Withdrawn JPH06163734A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100292664B1 (en) * 1998-11-11 2001-07-12 변호평 Carrier Tape for Semiconductor Package

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100292664B1 (en) * 1998-11-11 2001-07-12 변호평 Carrier Tape for Semiconductor Package

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