JPH06163613A - Encapsulation agent coating device - Google Patents

Encapsulation agent coating device

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Publication number
JPH06163613A
JPH06163613A JP31759492A JP31759492A JPH06163613A JP H06163613 A JPH06163613 A JP H06163613A JP 31759492 A JP31759492 A JP 31759492A JP 31759492 A JP31759492 A JP 31759492A JP H06163613 A JPH06163613 A JP H06163613A
Authority
JP
Japan
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lead frame
encapsulation agent
encapsulation
diode bridge
carry
Prior art date
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Pending
Application number
JP31759492A
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Japanese (ja)
Inventor
Masanobu Ogawa
昌伸 小川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPH06163613A publication Critical patent/JPH06163613A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L24/33Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of a plurality of layer connectors

Abstract

PURPOSE:To prevent uneven coating and sticking of encapsulation agent to an element surface by saving labor through automation. CONSTITUTION:A feeder mechanism that carries a lead frame 20 mounted with a to-be-processed semiconductor element is provided with a carry claw connected to the first jig cylinder and a carry block 23 assigned on the lead frame, and the carry claw is lowered to hook the lead frame. The carry black 23 connected to the first rodless cylinder is carried by one lead frame. The lead frame at a specified position is, while held by a frame holder connected to the second jig cylinder, moved backward. Then a motor tilts the lead frame by a specified angle. These a series of operations are performed by an oscillating mechanism 22. In accordance with the lead frame at this position, an XY robot 31 waves a dispenser 32, and the inclined lead frame is automatically coated with the encapsulation agent by a needle filled with the encapsulation agent.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、エンキャップ剤塗布装
置に係わり、特に、ダイオードブリッジのエンキャップ
シュレイション(Encapsulation) に好適する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an encapsulating agent coating device, and is particularly suitable for encapsulation of a diode bridge.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体素子には、接合端部を基板表面に
露出するいわゆるプレーナ型の外に、接合端部を基板の
厚さ方向に露出するいわゆるメサ型が実用化されてお
り、後者の接合端部には、エンキャップシュレイション
を施して保護するのが一般的である。この種の半導体素
子としては、ダイオードブリッジなどが知られており、
通常ポッティング工程が行われている。この工程はマニ
ュアル操作により行われており、エンキャップ剤を充填
するニードルを作業者が持って、傾けたリードフレーム
の隙間にあてがう方式が採られた。一方ダイオードブリ
ッジは、複数個のダイオードにより2相ブリッジまたは
3相ブリッジを構成するので、最低2端子が必要にな
る。
2. Description of the Related Art As a semiconductor element, a so-called planar type in which a junction end is exposed on a substrate surface and a so-called mesa type in which a junction end is exposed in a thickness direction of a substrate have been put into practical use. It is common to protect the joint ends by encapsulation. Diode bridges and the like are known as semiconductor elements of this type,
Usually, a potting process is performed. This step is performed manually, and a method is adopted in which the operator holds the needle for filling the encapsulating agent and applies it to the gap of the tilted lead frame. On the other hand, since the diode bridge constitutes a two-phase bridge or a three-phase bridge with a plurality of diodes, at least two terminals are required.

【0003】マニュアル操作によるエンキャップ工程に
おいては、前記のように隙間のあるリードフレームを利
用しており、また他の品種のDIP 型リードフレームは、
上面に孔が開いているため機械的に処理する方式が採ら
れた。これを図1乃至図4により説明する。図1は、い
わゆるDIP 型リードフレーム1の平面図であり、その板
体2に同一ピッチで設置するベッド部3の拡大図を図2
に示した。図1と図2に明らかなように板体2の両端に
は、搬送用の穴4を設けてあり、図3と図4に示すよう
にダイオードブリッジ5を固定するには、板体2により
挟み込むような構造であり、板体2の一部6を介して外
部との電気的な接続を行う。そして板体2の中央部分に
は孔部7が設置され、ここにエンキャップ剤を収納する
ニードルをあてがってエンキャップシュレイションを行
い、メサ型ダイオードブリッジ5の露出する接合をエン
キャップ剤8により保護する。
In the manual capping process, a lead frame with a gap is used as described above, and other types of DIP type lead frames are
Since there are holes on the top surface, a mechanical treatment method was adopted. This will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a plan view of a so-called DIP type lead frame 1, and an enlarged view of a bed portion 3 installed on the plate body 2 at the same pitch.
It was shown to. As is clear from FIGS. 1 and 2, holes 4 for transportation are provided at both ends of the plate body 2. To fix the diode bridge 5 as shown in FIGS. It has a sandwiching structure and is electrically connected to the outside through a part 6 of the plate body 2. A hole 7 is installed in the central portion of the plate body 2, and a needle for accommodating the encapsulating agent is applied to the hole for encapsulation to expose the junction of the mesa diode bridge 5 with the encapping agent 8. Protect.

【0004】また、ベッド部3にダイオードブリッジ5
をマウントするには、図3と図4に明らかなように半田
層9を利用し、その断面構造を図4に示す。
In addition, a diode bridge 5 is attached to the bed 3.
In order to mount, the solder layer 9 is utilized as apparent from FIGS. 3 and 4, and the sectional structure thereof is shown in FIG.

【0005】以上の工程を行うには、図示しない装置に
よる。即ち架台の左右にリードフレーム2のストッカー
ならびにエンキャップシュレイションを終えた製品収納
部及びマガジンエレベータを設置し、その中間にフレー
ムフィードユニットを配置する。更にその上部には、Z
方向のみにニードルを移動可能な機器を設けて、マニュ
アル操作でニードル1をフレームフィードユニットに搬
送したリードフレーム1の孔部7にあてがってエンキャ
ップシュレイションを行う。
To perform the above steps, an apparatus (not shown) is used. That is, a stocker for the lead frame 2, a product storage unit for which encapsulation has been completed, and a magazine elevator are installed on the left and right of the gantry, and a frame feed unit is arranged between them. On top of that, Z
A device capable of moving the needle only in the direction is provided, and the cap 1 is applied to the hole portion 7 of the lead frame 1 in which the needle 1 is manually transferred to the frame feed unit to perform encapsulation.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】このようにマニュアル
操作により行うSMD 型のリードフレームのエンキャップ
工程は、塗布ムラが生じたり、リードフレームにマウン
トしたダイオードブリッジ表面に付着したり、後工程の
トランスファモールド工程により形成する外囲器の肉厚
が薄くなるなどの難点があり、不良品の基になってい
た。
As described above, in the SMD type lead frame encapsulation process that is performed manually, uneven coating may occur, the diode bridge surface mounted on the lead frame may be adhered, and the transfer process in the subsequent process may be performed. This has been a cause of defective products because of the drawbacks such as the thin wall thickness of the envelope formed by the molding process.

【0007】本発明は、このような事情により成された
もので、特にエンキャップ工程の自動化を目指す。
The present invention has been made under such circumstances, and particularly aims to automate the encap process.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】被処理半導体素子をマウ
ントしたリードフレームを搬送し、ローダ機構に取付け
るフィーダ機構と,このローダ機構と別に設置するアン
ローダ機構と,前記ローダ機構に設置するセンターブロ
ックと,このセンターブロックに設置し前記フィーダ機
構より別の位置に移動して傾斜可能な揺動機構と,傾斜
したリードフレームに対して移動でき、エンキャップ剤
を吐出しかつ前記アンローダ機構に設置するディスペン
サー機構とに本発明に係わるエンキャップ剤塗布装置の
特徴がある。
[MEANS FOR SOLVING THE PROBLEMS] A feeder mechanism that conveys a lead frame on which a semiconductor element to be processed is mounted and is attached to a loader mechanism, an unloader mechanism that is installed separately from this loader mechanism, and a center block that is installed in the loader mechanism. , A swing mechanism that is installed in this center block and can be moved to a different position from the feeder mechanism to tilt, and a dispenser that can move with respect to the tilted lead frame, discharges the encapsulation agent, and is installed in the unloader mechanism. The mechanism and the features of the encapsulation agent application device according to the present invention are characteristic.

【0009】[0009]

【作用】被処理半導体素子をマウントしたリードフレー
ムを搬送するフィーダ機構には、第1ジグシリンダーに
接続する搬送爪及びリードフレームを配置する搬送ブロ
ックを設け、この搬送爪を下降してリードフレームを引
掛ける。そして第1ロッドレスシリンダに接続する搬送
ブロックを、1リードフレーム分搬送する。
The feeder mechanism for carrying the lead frame on which the semiconductor element to be processed is carried is provided with a carrying claw connected to the first jig cylinder and a carrying block for arranging the lead frame, and the carrying claw is lowered to move the lead frame. Engage. Then, the transport block connected to the first rodless cylinder is transported by one lead frame.

【0010】また、所定の位置のリードフレームは、第
2ジグシリンダーに連結するフレーム押えにより押え
て、第2ロッドレスシリンダの稼働により後方に移動す
る。
Further, the lead frame at a predetermined position is pressed by a frame presser connected to the second jig cylinder and moved rearward by the operation of the second rodless cylinder.

【0011】その後パルスモータにより所定の角度のリ
ードフレームを傾斜する。この一連の動作を揺動機構が
行う。この位置のリードフレームに対応してXYロボッ
トによりディスペンサー機構を階段状に移動して、傾斜
するリードフレームにエンキヤップ剤を塗布する。この
ように傾斜状態のリードフレームは、エンキャップ剤を
充填したニードルによりエンキャップシュレイションを
マニュアル操作でなく自動で行う。
After that, the lead frame is tilted at a predetermined angle by the pulse motor. The rocking mechanism performs this series of operations. The dispenser mechanism is moved stepwise by the XY robot corresponding to the lead frame at this position to apply the encapsulant to the inclined lead frame. In the tilted lead frame, the encapsulation is automatically performed by the needle filled with the encapsulation agent instead of being manually operated.

【0012】[0012]

【実施例】本発明に係わる実施例を図5乃至図12を参
照して説明する。本発明で利用するSMD 型リードフレー
ムの上面図を図5に、ダイオードブリッジをマウント後
の断面を図6に、エンキャップシュレイション後の上面
図を図7に示す。図8はマウントしたダイオードブリッ
ジに対してエンキャップ剤を収容したニードルの挿入方
向を示している。図9は、リードフレームを搬送するフ
ィーダ機構を構成する搬送爪の斜視図、図10は、揺動
機構の外観図、図11は、XYロボットによるディスペ
ンサー機構の外観図、図12は、本発明によるエンキャ
ップ剤塗布工程を示す図である。
Embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. A top view of the SMD type lead frame used in the present invention is shown in FIG. 5, a cross section after mounting the diode bridge is shown in FIG. 6, and a top view after encapsulation is shown in FIG. FIG. 8 shows the insertion direction of the needle containing the encapsulation agent with respect to the mounted diode bridge. FIG. 9 is a perspective view of a transfer claw that constitutes a feeder mechanism that transfers a lead frame, FIG. 10 is an external view of a swinging mechanism, FIG. 11 is an external view of a dispenser mechanism by an XY robot, and FIG. 12 is the present invention. It is a figure which shows the encapsulation agent application process by.

【0013】次いで実際のエンキャップ剤塗布工程の説
明に先だって、半導体素子例えばメサ型のダイオードブ
リッジ4をマウントしたSMD 型リードフレーム10を、
図5乃至図8により説明する。
Prior to the description of the actual encapsulation agent coating step, the SMD type lead frame 10 on which a semiconductor element, for example, a mesa type diode bridge 4 is mounted,
This will be described with reference to FIGS.

【0014】従来の技術欄に説明したリードフレーム1
との相違点は、孔部の有無である。即ち本発明に利用す
るリードフレーム10においては、従来の技術欄に示し
た孔部をなくして、マウントする被処理半導体素子例え
ばダイオードブリッジの厚さ方向すなわち図8に記載す
る矢印方向からニードルを挿入してエンキヤップ剤を充
填する。このために、本発明に係わるエンキャップ剤塗
布装置においては、揺動機構を設置するのが特徴の一つ
である。
Lead frame 1 described in the prior art section
The difference with is the presence or absence of holes. That is, in the lead frame 10 used in the present invention, the needle is inserted from the thickness direction of the semiconductor element to be processed to be mounted, for example, the diode bridge, that is, the arrow direction shown in FIG. Then, fill up the encapsulation agent. For this reason, one of the features of the encapsulating agent application apparatus according to the present invention is to install a swinging mechanism.

【0015】本発明のエンキャップ剤塗布装置が利用す
るリードフレーム10にダイオードブリッジ5をマウン
ト後の上面図が図5に、ダイオードブリッジ5にエンキ
ャップ剤塗布後の断面を図6に示す。即ち、図6に明ら
かなようにダイオードブリッジ5は、従来と同様に2つ
のリードフレーム10部分に半田層9を介して固着すす
るので、従来と同様に挟む形となる。
FIG. 5 shows a top view after mounting the diode bridge 5 on the lead frame 10 used in the encapsulating agent application apparatus of the present invention, and FIG. 6 shows a cross section after the encapsulating agent application on the diode bridge 5. That is, as is clear from FIG. 6, since the diode bridge 5 is fixed to the two lead frame 10 portions via the solder layer 9 as in the conventional case, the diode bridge 5 is sandwiched in the same manner as in the conventional case.

【0016】図7の上面図には、エンキャップ剤塗布後
が明らかにされており、ダイオードブリッジ5の周りに
は極く薄いエンキャップ剤8が被覆され、この形状が示
されている。
The top view of FIG. 7 reveals that after the encapsulation agent is applied, the diode bridge 5 is covered with an extremely thin encapsulation agent 8 to show its shape.

【0017】エンキャップ剤8を塗布する際には、後述
する揺動機構によりダイオードブリッジも傾斜して、そ
の厚さ方向にニードルをあてがってエンキャップ剤を塗
布してメサ型ダイオードブリッジ5の厚さ方向に露出し
た接合端部を保護する。次ぎにエンキャップ剤塗布装置
を図9乃至図12により説明する。エンキャップ剤塗布
装置は、ローダならびにアンローダにより構成し、前者
には、フィーダ機構21及び揺動機構22(図12参
照)を設け、前者に搬送ブロック23ならびに搬送爪2
4を設置する。
When the encapsulation agent 8 is applied, the diode bridge is also tilted by a swing mechanism described later, and a needle is applied in the thickness direction to apply the encapsulation agent to apply the thickness of the mesa diode bridge 5. Protects the joint end exposed in the vertical direction. Next, the encapsulating agent application device will be described with reference to FIGS. 9 to 12. The encapsulating agent application device is composed of a loader and an unloader. The former is provided with a feeder mechanism 21 and a swing mechanism 22 (see FIG. 12), and the former is provided with a transport block 23 and a transport claw 2.
Install 4.

【0018】搬送ブロック23には、移動可能にセンタ
ーブロック25(図10参照)を配置し、この位置まで
搬送ブロック23に配置したダイオードブリッジ5をマ
ウントしたリードフレーム10を搬送爪24に引掛け
る。これには、図9に示す第1ジグシリンダー26に接
続する搬送爪24を下降させ、センターブロック25の
移動は、取付ける第1ロッドレスシリンダー27を利用
する。従って、リードフレーム10の水平方向が第1ロ
ッドレスシリンダー27で、垂直方向が第1ジグシリン
ダー26を利用して移動する。なお図9に明らかにする
ように搬送ブロック23の中央部分は、出入自在とす
る。
A center block 25 (see FIG. 10) is movably arranged on the carrying block 23, and the lead frame 10 mounted with the diode bridge 5 arranged on the carrying block 23 is hooked on the carrying pawl 24 up to this position. For this purpose, the transfer claw 24 connected to the first jig cylinder 26 shown in FIG. 9 is lowered, and the center block 25 is moved by using the attached first rodless cylinder 27. Therefore, the lead frame 10 moves using the first rodless cylinder 27 in the horizontal direction and the first jig cylinder 26 in the vertical direction. Note that, as is clear from FIG. 9, the central portion of the transport block 23 can be freely moved in and out.

【0019】次に図10に示すように、フレーム押さえ
28によりリードフレーム10を保持し、第2ロッドレ
スシリンダー29によりセンターブロック25毎後方に
移動する。ここでセンターブロック25に接続するパル
スモータ30が稼働して45°回転静止する(図12参
照)。
Next, as shown in FIG. 10, the lead frame 10 is held by the frame retainer 28, and the center block 25 is moved rearward by the second rodless cylinder 29. At this point, the pulse motor 30 connected to the center block 25 operates and rotates 45 ° and stands still (see FIG. 12).

【0020】一方アンローダ機構には、図11に明らか
にするようにXYロボット31にデイスペンサ機構32
を接続し、ここにエンキヤップ剤を充填するニードル3
3を配置し、XYロボット31のXは、垂直方向であ
り、Yは水平方向を意味する。XYロボット31は、ジ
グザグに動けるので、前記回転に伴って傾斜して静止し
た、ダイオードブリッジ5をマウントしたリードフレー
ム10に対応してデイスペンサ機構32をジグザグに動
かしてエンキャップ剤35をニードル33から塗布する
(図7と図8参照)。
On the other hand, the unloader mechanism includes an XY robot 31 and a dispenser mechanism 32 as shown in FIG.
Needle 3 which is connected to and is filled with the encapsulant
3, the X of the XY robot 31 is the vertical direction, and the Y is the horizontal direction. Since the XY robot 31 can move in a zigzag manner, the dispenser mechanism 32 is moved in a zigzag manner corresponding to the lead frame 10 mounted with the diode bridge 5, which is tilted and stopped in accordance with the rotation, and the encapsulation agent 35 is ejected from the needle 33. Apply (see FIGS. 7 and 8).

【0021】この際、ニードル33は、前記のようにダ
イオードブリッジ5の厚さ方向にあてがってエンキヤッ
プ剤35を塗布後、真直上(X方向)に上昇してから次
のダイオードブリッジ5の位置まで水平方向(Y方向)
に移動してから下降して、前の動作を繰返して被処理ダ
イオードブリッジ5全部の処理を終える。
At this time, the needle 33 is applied in the thickness direction of the diode bridge 5 as described above, and after applying the encapsulating agent 35, the needle 33 rises straight up (in the X direction) and then reaches the position of the next diode bridge 5. Horizontal direction (Y direction)
Then, the operation is repeated and the previous operation is repeated to complete the processing of all the diode bridges 5 to be processed.

【0022】リードフレーム10にマウントしたダイオ
ードブリッジ5全部にエンキヤップ剤35の塗布が終わ
ると、再びパルスモータ30が作動してリードフレーム
10を水平状態に戻し、第2ロッドレスシリンダー29
を稼働してセンターブロック25を前方に移動させて、
元の位置に戻す。
When the coating agent 35 is applied to all of the diode bridges 5 mounted on the lead frame 10, the pulse motor 30 is activated again to return the lead frame 10 to the horizontal state and the second rodless cylinder 29.
To move the center block 25 forward,
Return to the original position.

【0023】ここで、フレーム押さえ28が外れ、搬送
爪24によりリードフレーム20がアンローダ側に送ら
れる。
Here, the frame holder 28 is released, and the lead frame 20 is sent to the unloader side by the carrying claw 24.

【0024】このようなエンキャップ剤塗布装置には、
その左右にリードフレームストッカーならびに製品の収
納部やマガジンエレベータを設置するのは勿論である。
In such an encapsulating agent coating device,
Needless to say, the lead frame stocker, product storage section, and magazine elevator are installed on the left and right sides.

【0025】[0025]

【発明の効果】本発明に係わるエンキャップ剤塗布装置
は、被処理半導体素子であるダイオードブリッジをマウ
ントしたリードフレームを傾斜状態とすることにより、
ニードルを狭い間隔に配置する被処理ダイオードブリッ
ジにエンキヤッブレイションを、マニュアル操作なしで
自動で行うことができる。
According to the encapsulating agent coating apparatus of the present invention, the lead frame on which the diode bridge, which is the semiconductor element to be processed, is mounted is inclined,
Encapsulation can be performed automatically on the processed diode bridges that place the needles in a narrow space without any manual operation.

【0026】従って、エンキャップ剤塗布工程を自動化
できるし、省人化が可能になるし、エンキャップ剤の塗
布が正確にできるので、塗布ムラなどの不良が減少し
て、歩留まりが向上する。
Therefore, the encapsulation agent application process can be automated, labor can be saved, and the encapsulation agent can be applied accurately, so that defects such as application unevenness are reduced and the yield is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】DIP 型リードフレームの上面図である。FIG. 1 is a top view of a DIP type lead frame.

【図2】図1のDIP 型リードフレームA部の詳細図であ
る。
2 is a detailed view of a DIP type lead frame A portion of FIG. 1. FIG.

【図3】ダイオードブリッジをマウントしたリードフレ
ームの側断面図である。
FIG. 3 is a side sectional view of a lead frame mounted with a diode bridge.

【図4】図3の拡大図である。FIG. 4 is an enlarged view of FIG.

【図5】SMD 型リードフレームの上面図である。FIG. 5 is a top view of an SMD type lead frame.

【図6】SMD 型リードフレームの側面図であり、図5の
一部を詳細に示す上面図である。
FIG. 6 is a side view of the SMD type lead frame, and is a top view showing a part of FIG. 5 in detail.

【図7】本発明のエンキャップ剤塗布装置に利用してリ
ードフレームにマウントしたダイオードブリッジにエン
キャップ剤を塗布後の上面を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a top surface after applying an encapsulating agent to a diode bridge mounted on a lead frame using the encapsulating agent applicator of the present invention.

【図8】エンキャップ剤の塗布方向を明らかにする図で
ある。
FIG. 8 is a diagram for clarifying the application direction of the encapsulating agent.

【図9】本発明のエンキャップ剤塗布装置の一部を構成
する、リードフレームを搬送する搬送爪を備えるフィー
ダ機構の搬送爪の斜視図である。
FIG. 9 is a perspective view of a feeding claw of a feeder mechanism including a feeding claw for feeding a lead frame, which constitutes a part of the encapsulating agent application device of the present invention.

【図10】本発明のエンキャップ剤塗布装置の一部を構
成する揺動機構の外観図である。
FIG. 10 is an external view of a swinging mechanism that constitutes a part of the encapsulating agent application device of the present invention.

【図11】本発明のエンキャップ剤塗布装置の一部を構
成するXYロボットによるディスペンサー機構の外観図
である。
FIG. 11 is an external view of a dispenser mechanism by an XY robot that constitutes a part of the encapsulation agent coating device of the present invention.

【図12】本発明によるエンキャップシュレイションを
示す図である。
FIG. 12 is a diagram showing an encapsulation according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、10、20:リードフレーム、 2:板体、 3:ヘッド部、 4:搬送用の孔、 5:ダイオードブリッジ、 6:板体の一部、 7:吐出孔、 8、35:エンキャップ剤、 9:半田層、 21:フイーダ機構、 22:揺動機構、 23:搬送ブロック、 24:搬送爪、 25:センターブロック、 26、34:ジグシリンダー、 27、29:ロッドレスシリンダー、 28:フレーム押さえ、 30:パルスモータ、 31:XYロボット、 32:デイスペンサー機構、 33:ニードル、 1, 10, 20: Lead frame, 2: Plate body, 3: Head part, 4: Transport hole, 5: Diode bridge, 6: Part of plate body, 7: Discharge hole, 8, 35: Encap Agent: 9: Solder layer, 21: Feeder mechanism, 22: Swing mechanism, 23: Conveying block, 24: Conveying claw, 25: Center block, 26, 34: Jig cylinder, 27, 29: Rodless cylinder, 28: Frame holder, 30: pulse motor, 31: XY robot, 32: dispenser mechanism, 33: needle,

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被処理半導体素子をマウントしたリード
フレームを搬送し、ローダ機構に取付けるフィーダ機構
と,このローダ機構と別に設置するアンローダ機構と,
前記ローダ機構に設置するセンターブロックと,このセ
ンターブロックに設置し前記フィーダ機構より別の位置
に移動して傾斜可能な揺動機構と,傾斜したリードフレ
ームに対して移動でき、エンキャップ剤を吐出しかつ前
記アンローダ機構に設置するディスペンサー機構とを具
備することを特徴とするエンキャップ剤塗布装置
1. A feeder mechanism that conveys a lead frame on which a semiconductor element to be processed is mounted and is attached to a loader mechanism, and an unloader mechanism that is installed separately from the loader mechanism.
A center block installed on the loader mechanism, a swinging mechanism installed on the center block and capable of moving to a different position from the feeder mechanism and tilting, and a movable lead frame that can move with respect to the tilted lead frame and discharges an encapsulation agent And a dispenser mechanism installed on the unloader mechanism.
JP31759492A 1992-11-27 1992-11-27 Encapsulation agent coating device Pending JPH06163613A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31759492A JPH06163613A (en) 1992-11-27 1992-11-27 Encapsulation agent coating device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31759492A JPH06163613A (en) 1992-11-27 1992-11-27 Encapsulation agent coating device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06163613A true JPH06163613A (en) 1994-06-10

Family

ID=18089965

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