JPH0614489U - Turbo molecular pump - Google Patents
Turbo molecular pumpInfo
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- JPH0614489U JPH0614489U JP5264592U JP5264592U JPH0614489U JP H0614489 U JPH0614489 U JP H0614489U JP 5264592 U JP5264592 U JP 5264592U JP 5264592 U JP5264592 U JP 5264592U JP H0614489 U JPH0614489 U JP H0614489U
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- protective bearing
- rotor shaft
- annular groove
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 小型の保護ベアリングを用いることにより、
そこから発生する摩擦熱を可及的に減少させ、保護ベア
リングの長寿命化を図る。
【構成】 ロータシャフト３の先端側外周に環状溝部１
２を形成し、溝部１２内に保護ベアリング１３を配設す
る。溝部１２はロータ２の中空部内、即ち低真空領域内
に位置させ、かつステータコラム４の先端側内周と対向
するように設ける。また、溝部１２は少なくとも保護ベ
アリング１３の内輪部１３ａから玉１３ｂまでが溝部１
２内に収納できる程度の深さを有するように穿設する。
この際、保護ベアリング１３はその回転径がロータシャ
フト３の径より小さくなると共に小型になる。
(57) [Summary] [Purpose] By using a small protective bearing,
The frictional heat generated from it is reduced as much as possible to extend the life of the protective bearing. [Structure] An annular groove portion 1 is provided on the outer periphery of the rotor shaft 3 on the tip side.
2 is formed, and the protective bearing 13 is arranged in the groove 12. The groove portion 12 is provided in the hollow portion of the rotor 2, that is, in the low vacuum region, and is provided so as to face the inner circumference of the front end side of the stator column 4. Further, in the groove portion 12, at least from the inner ring portion 13a of the protective bearing 13 to the ball 13b, the groove portion 1 is formed.
It is drilled so that it has a depth such that it can be stored in 2.
At this time, the protective bearing 13 has a rotation diameter smaller than that of the rotor shaft 3 and becomes small in size.
Description
【０００１】[0001]
この考案は超真空を形成するターボ分子ポンプに関し、特に、ポンプ内部のロ ータを停止させるのに必要な保護ベアリングを長寿命化するものである。 The present invention relates to a turbo molecular pump that forms an ultra-vacuum, and in particular, extends the life of a protective bearing required to stop the rotor inside the pump.
【０００２】[0002]
従来、この種のターボ分子ポンプは図５に示す如くケーシング１の内部に中空 状のロータ２を有すると共に、ロータ２の中空部にはロータシャフト３が配設さ れており、このロータシャフト３はロータ２の軸心上に位置し、かつその先端側 がボルトでロータ２に取り付けられている。 Conventionally, this type of turbo molecular pump has a hollow rotor 2 inside a casing 1 as shown in FIG. 5, and a rotor shaft 3 is disposed in the hollow portion of the rotor 2. Is located on the axial center of the rotor 2, and its tip side is attached to the rotor 2 with bolts.
【０００３】 また、上記ロータ２とロータシャフト３との間（低真空領域）にはステータコ ラム４が設置されており、このステータコラム４には、ロータ２を所定の位置で 浮上支持するのに必要な電磁石５や位置センサ６、並びにロータ２を高速回転す るのに必要な高周波モータ７等が内臓されている。A stator collum 4 is installed between the rotor 2 and the rotor shaft 3 (a low vacuum region). The stator column 4 is used to support the rotor 2 in a predetermined position by levitation. The electromagnet 5, the position sensor 6, and the high-frequency motor 7 necessary for rotating the rotor 2 at high speed are built-in.
【０００４】 さらに、上記ケーシング１の内壁面には複数のステータ翼８が取付けられてお り、各ステータ翼８はロータ２の軸方向に沿って配設されている。一方、上記ロ ータ２の外周面には複数のロータ翼９が設けられており、各ロータ翼９は隣り合 うステータ翼８間にそれぞれ介在されるように配設されている。Further, a plurality of stator blades 8 are attached to the inner wall surface of the casing 1, and each stator blade 8 is arranged along the axial direction of the rotor 2. On the other hand, a plurality of rotor blades 9 are provided on the outer peripheral surface of the rotor 2, and each rotor blade 9 is arranged so as to be interposed between the adjacent stator blades 8.
【０００５】 また、上記ステータコラム４の先端には取付け溝部１０を有し、取付け溝部１ ０内には保護ベアリング１１が取付けられていると共に、その保護ベアリング１ １の内輪部１１ａはロータシャフト３の外周と対向するように配設されている。Further, the stator column 4 has a mounting groove portion 10 at the tip thereof, a protective bearing 11 is mounted in the mounting groove portion 10, and the inner ring portion 11 a of the protective bearing 11 has a rotor shaft 3 Is arranged so as to face the outer periphery of the.
【０００６】 即ち、このようなターボ分子ポンプは、電磁石５及び位置センサ６によりロー タシャフト３と共にロータ２を所定の位置に浮上支持した上で、高周波モータ７ を起動してロータ２を高速回転させるように構成されている。また、その高速回 転中に停電等で電力供給が途絶えてロータ２が降下する、いわゆるタッチダウン が生じたときは、ロータシャフト３が回転しながら保護ベアリング１１に当接し て、ロータ２の回転が停止するように構成されている。That is, in such a turbo molecular pump, the rotor 2 is levitationally supported at a predetermined position together with the rotor shaft 3 by the electromagnet 5 and the position sensor 6, and then the high frequency motor 7 is activated to rotate the rotor 2 at a high speed. Is configured. In addition, when the rotor 2 drops and the so-called touchdown occurs due to a power failure or the like during the high-speed rotation, the rotor shaft 3 contacts the protective bearing 11 while rotating, and the rotor 2 rotates. Is configured to stop.
【０００７】[0007]
しかしながら、このような従来のターボ分子ポンプにあっては、保護ベアリン グ１１はステータコラム４の溝部１０に取付けられ、しかも、保護ベアリング１ １の内輪部１１ａはロータシャフト３の外周と対向するように配設されるので、 このような保護ベアリング１１は、その回転径ｒ2 がロータシャフト３の径Ｒよ り遥かに大きく、大型化することは避けられない。また、大型の保護ベアリング は内輪部１１ａの周速が大きく、１回のタッチダウンで高温の摩擦熱が発生する 。However, in such a conventional turbo molecular pump, the protective bearing 11 is attached to the groove portion 10 of the stator column 4, and the inner ring portion 11a of the protective bearing 11 faces the outer periphery of the rotor shaft 3. Since the protective bearing 11 is arranged in the above, the rotation diameter r 2 thereof is much larger than the diameter R of the rotor shaft 3, and it is inevitable that the protection bearing 11 becomes large. Further, in the large protective bearing, the peripheral speed of the inner ring portion 11a is large, and high-temperature frictional heat is generated by one touchdown.
【０００８】 このため、ロータ２がタッチダウンを繰り返したときには、度重なる高温の摩 擦熱で保護ベアリング１１がダメージを受けてロックするのみならず、ロータ２ と保護ベアリング１１とが溶着する等の不具合も生じる場合があり、保護ベアリ ングの寿命が短い。また、寿命が短い分、保護ベアリングを交換する等のメンテ ナンス作業も頻繁に行う必要があり、使い勝手が悪い等の問題点がある。Therefore, when the rotor 2 repeatedly touches down, the protective bearing 11 is damaged and locked due to repeated high-temperature friction heat, and the rotor 2 and the protective bearing 11 are welded to each other. Malfunctions may also occur and the life of the protective bearing is short. Further, since the service life is short, maintenance work such as replacement of the protective bearing needs to be performed frequently, which causes a problem such as poor usability.
【０００９】 この考案は上述の事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは小型 の保護ベアリングを用いることにより、そこから発生する摩擦熱を可及的に減少 させ、保護ベアリングの長寿命化を図ることにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to use a small-sized protective bearing to reduce frictional heat generated from the protective bearing as much as possible, and to reduce the length of the protective bearing. The purpose is to extend the life.
【００１０】[0010]
上記目的を達成するために、請求項１に記載の考案は、ケーシングの内部に配 設された中空状のロータと、このロータの中空部に位置しかつそのロータに一体 に取付けられたロータシャフトと、上記ロータとロータシャフトとの間に設置さ れたステータコラムと、上記ロータの軸方向に沿ってケーシングの内壁面に取付 けられた複数のステータ翼と、上記ロータの外周面に設けられると共に互いに隣 り合う上記ステータ翼間に介在されたロータ翼とを有するターボ分子ポンプにお いて、上記ロータシャフトの先端側外周に環状溝部を形成し、その環状溝部を境 にロータシャフトを分割可能に設けると共に、上記環状溝部に保護ベアリングを 配設したことを特徴とする。 In order to achieve the above-mentioned object, a device according to claim 1 has a hollow rotor arranged inside a casing, and a rotor shaft located in the hollow portion of the rotor and integrally attached to the rotor. A stator column installed between the rotor and the rotor shaft, a plurality of stator blades attached to the inner wall surface of the casing along the axial direction of the rotor, and an outer peripheral surface of the rotor. In addition, in a turbo molecular pump having a rotor blade interposed between the stator blades adjacent to each other, an annular groove is formed on the outer periphery of the tip end side of the rotor shaft, and the rotor shaft can be divided at the annular groove. And a protective bearing is provided in the annular groove.
【００１１】 請求項２に記載の考案は、ケーシングの内部に配設された中空状のロータと、 このロータの中空部に位置しかつそのロータに一体に取付けられたロータシャフ トと、上記ロータとロータシャフトとの間に設置されたステータコラムと、上記 ロータの軸方向に沿ってケーシングの内壁面に取付けられた複数のステータ翼と 、上記ロータの外周面に設けられると共に互いに隣り合う上記ステータ翼間に介 在されたロータ翼とを有するターボ分子ポンプにおいて、上記ロータシャフトの 先端側外周に環状溝部を形成し、その環状溝部を境にロータシャフトを分割可能 に設けると共に、その環状溝部と対向する取付け凸部を上記ステータコラムに突 出形成し、この取付け凸部に保護ベアリングを配設したことを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, a hollow rotor disposed inside a casing, a rotor shaft located in a hollow portion of the rotor and integrally attached to the rotor, and the rotor A stator column installed between the rotor shaft, a plurality of stator blades mounted on the inner wall surface of the casing along the axial direction of the rotor, and stator blades provided on the outer peripheral surface of the rotor and adjacent to each other. In a turbo molecular pump having a rotor blade interposed between the rotor shaft and the rotor shaft, an annular groove is formed on the outer periphery on the tip side of the rotor shaft. A mounting projection is formed on the stator column so as to project, and a protective bearing is arranged on the mounting projection.
【００１２】[0012]
この考案によれば、保護ベアリングの回転径をロータシャフトの径より小さく することができ、従来に比し保護ベアリングが小型になるので、保護ベアリング の内輪部の周速が小さくなり、ロータの１回のタッチダウンで保護ベアリングか ら発生する摩擦熱が可及的に減少する。 According to this invention, the rotation diameter of the protective bearing can be made smaller than the diameter of the rotor shaft, and the protective bearing is smaller than the conventional one. Therefore, the peripheral speed of the inner ring portion of the protective bearing is reduced, and Friction heat generated from the protective bearing is reduced as much as possible after each touchdown.
【００１３】[0013]
以下、この考案に係るターボ分子ポンプの一実施例について図１ないし図４を 用いて詳細に説明する。なお、従来と同一部材には同一符号を付し、その詳細説 明は省略する。 An embodiment of a turbo molecular pump according to the present invention will be described in detail below with reference to FIGS. 1 to 4. The same members as those of the related art are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
【００１４】 このターボ分子ポンプには図１に示す如くロータシャフト３の先端側外周に環 状溝部１２が形成されており、その環状溝部１２はロータ２の中空部内、即ち低 真空領域内に位置し、かつステータコラム４の先端側内周と対向するように設け られていると共に、このような環状溝部１２内には保護ベアリング１３が配設さ れている。As shown in FIG. 1, an annular groove portion 12 is formed on the outer periphery of the rotor shaft 3 on the tip side of the turbo molecular pump. The annular groove portion 12 is located in the hollow portion of the rotor 2, that is, in the low vacuum region. In addition, it is provided so as to face the inner circumference of the tip end side of the stator column 4, and a protective bearing 13 is provided in such an annular groove 12.
【００１５】 また、上記環状溝部１２は、図２に示す如く少なくとも保護ベアリング１３の 内輪部１３ａから玉１３ｂまでが環状溝部１２内に収納できる程度の深さを有す るように穿設されている。即ち、このような深さに環状溝部１２を設けることに より、保護ベアリング１３の回転径ｒ1 はロータシャフト３の径Ｒより小さくな るように構成されている。Further, as shown in FIG. 2, the annular groove portion 12 is bored so as to have a depth such that at least the inner ring portion 13 a of the protective bearing 13 to the balls 13 b can be accommodated in the annular groove portion 12. There is. That is, by providing the annular groove portion 12 at such a depth, the rotational diameter r 1 of the protective bearing 13 is smaller than the diameter R of the rotor shaft 3.
【００１６】 なお、この実施例においては、上記ロータシャフト３は環状溝部１２の一側壁 を境に上下に分割可能に設けられていることを特徴とし、その分割時に保護ベア リング１３を環状溝部１２へと装着できるように構成されており、ロータ部の着 脱が容易に行える。In this embodiment, the rotor shaft 3 is provided so as to be vertically separable with one side wall of the annular groove 12 as a boundary, and the protective bear ring 13 is provided at the time of the division. The rotor part can be easily attached and detached.
【００１７】 ところで、このように構成されたターボ分子ポンプでは、タッチダウンが生じ たときは、保護ベアリング１３の外輪部１３ｃが回転しながらステータコラム４ の先端側内周に当接し、ロータ２の回転が停止する。By the way, in the turbo molecular pump configured as described above, when touchdown occurs, the outer ring portion 13c of the protective bearing 13 rotates and contacts the inner periphery of the tip end side of the stator column 4 to cause the rotor 2 to rotate. The rotation stops.
【００１８】 図３は請求項２の考案に係るターボ分子ポンプの一実施例を示すもので、上記 実施例と同一部材には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。FIG. 3 shows an embodiment of a turbo molecular pump according to the invention of claim 2. The same members as those in the above embodiment are designated by the same reference numerals, and the detailed description thereof will be omitted.
【００１９】 このターボ分子ポンプはステータコラム４に取付け凸部１４を有し、取付け凸 部１４は環状溝部１２と対向するように形成されていると共に、取付け凸部１４ には保護ベアリング１３が配設されている。This turbo-molecular pump has a mounting projection 14 on the stator column 4, the mounting projection 14 is formed so as to face the annular groove 12, and the mounting projection 14 is provided with a protective bearing 13. It is set up.
【００２０】 また、上記取付け凸部１４は、少なくとも保護ベアリング１３の内輪部１３ａ から玉１３ｂまでが環状溝部１２内に収納される程度に突出形成されている。即 ち、このように突出形成することにより、保護ベアリング１３の回転径ｒ1 はロ ータシャフト３の径Ｒより小さくなるように構成されている。The mounting protrusion 14 is formed so as to project at least the inner ring portion 13 a of the protective bearing 13 to the ball 13 b in the annular groove 12. That is, by forming the protrusion in this way, the rotation diameter r 1 of the protective bearing 13 is smaller than the diameter R of the rotor shaft 3.
【００２１】 ところで、このように構成されたターボ分子ポンプでは、タッチダウンが生じ たときは、ロータシャフト３が回転しながら保護ベアリング１３の内輪部１３ａ に当接して、ロータ２の回転が停止する。In the turbo molecular pump configured as described above, when touchdown occurs, the rotor shaft 3 rotates and contacts the inner ring portion 13a of the protective bearing 13 to stop the rotation of the rotor 2. .
【００２２】 なお、上記のような取付け凸部１４及び保護ベアリング１３等の設置構造につ いては、図４に示す如く図３のターボ分子ポンプとはロータ２とロータシャフト ３との取付構造が異なる他のターボ分子ポンプにも適用することができる。As for the installation structure of the mounting projections 14 and the protective bearings 13 as described above, as shown in FIG. 4, the turbo molecular pump shown in FIG. 3 has a structure in which the rotor 2 and the rotor shaft 3 are mounted. It can also be applied to other different turbo molecular pumps.
【００２３】 したがって、上記のような実施例によれば、保護ベアリングの回転径はロータ シャフトの径より小さくなり、従来に比し保護ベアリングが小型になるので、保 護ベアリングの内輪部の周速が小さくなり、ロータの１回のタッチダウンで保護 ベアリングから発生する摩擦熱が可及的に減少する。Therefore, according to the above-described embodiment, the rotation diameter of the protective bearing is smaller than the diameter of the rotor shaft, and the protective bearing is smaller than the conventional one. Therefore, the peripheral speed of the inner ring portion of the protective bearing is reduced. The friction heat generated from the protective bearing is reduced as much as possible by one touchdown of the rotor.
【００２４】 また、上記のような実施例にあっては、ロータシャフトは環状溝部の一側壁を 境に上下に分割可能に設けられていることを特徴とし、その分割時に保護ベアリ ングを環状溝部へと装着できるように構成されており、ロータ部の着脱が容易に 行える。Further, in the above embodiment, the rotor shaft is provided so as to be vertically separable with one side wall of the annular groove portion as a boundary, and the protective bearing is provided at the time of the division. It is configured so that it can be attached to the rotor, and the rotor part can be easily attached and detached.
【００２５】 ところで、高速回転するターボ分子ポンプのロータ及びロータシャフトは製造 段階でバランス取りを行うのが一般的である。しかし、締結状態でバランス取り を行ったロータとロータシャフトを外し、再度締結しても、アンバランス量，ア ンバランスの位相が変化するので、バランス取りは分解・締結を行う度に行う必 要がある。一方、この考案に係るターボ分子ポンプの場合には、ロータとロータ シャフトを外すことなく分解できるため、再度組み立てても、ロータとロータシ ャフトのアンバランス量、アンバランスの位相が変化しないので、バランス取り を行わなくとも良いという利点を有する。By the way, the rotor and rotor shaft of a turbo molecular pump that rotates at a high speed are generally balanced at the manufacturing stage. However, even if the rotor and rotor shaft that have been balanced in the fastened state are removed and then fastened again, the unbalance amount and the unbalanced phase change, so balancing must be performed every time disassembly and fastening are performed. There is. On the other hand, in the case of the turbo molecular pump according to the present invention, it can be disassembled without removing the rotor and the rotor shaft, so even if reassembled, the unbalance amount and phase of the unbalance between the rotor and the rotor shaft do not change. It has the advantage that it does not have to be taken.
【００２６】 なお、上記のような実施例では、環状溝部や取付け凸部に保護ベアリングを一 つ配設した例を示したが、保護ベアリングは複数個重ねて配設するように構成し ても良い。In addition, in the above-mentioned embodiment, an example in which one protective bearing is provided in the annular groove portion or the mounting convex portion is shown, but it is also possible to arrange a plurality of protective bearings in a stacked manner. good.
【００２７】[0027]
この考案に係るターボ分子ポンプにあっては、上記の如く分割可能なロータシ ャフトの先端側外周に形成された環状溝部内に保護ベアリングを配設したため、 保護ベアリングの回転径をロータシャフトの径より小さくすることができ、従来 に比し保護ベアリングが小型になるので、保護ベアリングの内輪部の周速が小さ くなり、ロータの１回のタッチダウンで保護ベアリングから発生する摩擦熱が可 及的に減少する。 In the turbo molecular pump according to the present invention, since the protective bearing is arranged in the annular groove formed on the outer periphery of the tip side of the divisible rotor shaft as described above, the rotational diameter of the protective bearing is larger than the diameter of the rotor shaft. Since the protective bearing is smaller than before, the peripheral speed of the inner ring part of the protective bearing will be smaller, and frictional heat generated from the protective bearing will be possible with one touchdown of the rotor. Decrease to.
【００２８】 このため、ロータがタッチダウンを繰り返したとき、摩擦熱で保護ベアリング がダメージを受けてロックすることや、ロータと保護ベアリングとが溶着するこ と等を防止でき、保護ベアリングの長寿命化が図れ、また、その寿命が長くなる 分、保護ベアリングを交換する等のメンテナンス作業も減少し、使い勝手が向上 する。しかも、上記ロータシャフトは環状溝部を境に分割可能であるため、保護 ベアリングを交換する場合においても、分解等のメンテナンス性に優れる。Therefore, when the rotor repeatedly touches down, it is possible to prevent the protective bearing from being damaged and locked by frictional heat, and to prevent the rotor and the protective bearing from being welded. Moreover, maintenance work such as replacement of protective bearings will be reduced and the usability will be improved due to the longer life. Moreover, since the rotor shaft can be divided at the annular groove as a boundary, it is excellent in maintainability such as disassembly even when the protective bearing is replaced.
【００２９】 また、請求項２に記載の考案にあっても、上記と同様に保護ベアリングの回転 径をロータシャフトの径より小さくすることができ、従来に比し小型の保護ベア リングを適用することができるので、上記のような効果が得られる。Further, also in the invention as set forth in claim 2, the rotation diameter of the protective bearing can be made smaller than the diameter of the rotor shaft in the same manner as described above, and a protective bear ring smaller than the conventional one is applied. Therefore, the above effects can be obtained.
【図１】この発明に係るターボ分子ポンプの一実施例を
示す断面図。FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of a turbo molecular pump according to the present invention.
【図２】この発明の要部を示す断面図。FIG. 2 is a sectional view showing a main part of the present invention.
【図３】請求項２の発明に係るターボ分子ポンプの一実
施例の要部断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view of an essential part of an embodiment of a turbo molecular pump according to the invention of claim 2.
【図４】請求項２の発明に係るターボ分子ポンプの他の
実施例の要部断面図。FIG. 4 is a sectional view of a main part of another embodiment of the turbo-molecular pump according to the invention of claim 2.
【図５】従来のターボ分子ポンプを示す断面図。FIG. 5 is a sectional view showing a conventional turbo molecular pump.
１ ケーシング ２ ロータ ３ ロータシャフト ４ ステータコラム ８ ステータ翼 ９ ロータ翼 １２ 環状溝部 １３ 保護ベアリング １４ 取付け凸部 1 Casing 2 Rotor 3 Rotor Shaft 4 Stator Column 8 Stator Blade 9 Rotor Blade 12 Annular Groove 13 Protective Bearing 14 Mounting Projection
Claims (2)
ロータと、このロータの中空部に位置しかつそのロータ
に一体に取付けられたロータシャフトと、上記ロータと
ロータシャフトとの間に設置されたステータコラムと、
上記ロータの軸方向に沿ってケーシングの内壁面に取付
けられた複数のステータ翼と、上記ロータの外周面に設
けられると共に互いに隣り合う上記ステータ翼間に介在
されたロータ翼とを有するターボ分子ポンプにおいて、 上記ロータシャフトの先端側外周に環状溝部を形成し、
その環状溝部を境にロータシャフトを分割可能に設ける
と共に、上記環状溝部に保護ベアリングを配設したこと
を特徴とするターボ分子ポンプ。1. A hollow rotor disposed inside a casing, a rotor shaft located in the hollow portion of the rotor and integrally attached to the rotor, and installed between the rotor and the rotor shaft. Fixed stator column,
A turbo molecular pump having a plurality of stator blades mounted on the inner wall surface of the casing along the axial direction of the rotor and rotor blades provided on the outer peripheral surface of the rotor and interposed between the stator blades adjacent to each other. In, in the outer peripheral side of the tip side of the rotor shaft, forming an annular groove,
A turbo molecular pump characterized in that a rotor shaft is provided so as to be separable with the annular groove as a boundary, and a protective bearing is provided in the annular groove.
ロータと、このロータの中空部に位置しかつそのロータ
に一体に取付けられたロータシャフトと、上記ロータと
ロータシャフトとの間に設置されたステータコラムと、
上記ロータの軸方向に沿ってケーシングの内壁面に取付
けられた複数のステータ翼と、上記ロータの外周面に設
けられると共に互いに隣り合う上記ステータ翼間に介在
されたロータ翼とを有するターボ分子ポンプにおいて、 上記ロータシャフトの先端側外周に環状溝部を形成し、
その環状溝部を境にロータシャフトを分割可能に設ける
と共に、その環状溝部と対向する取付け凸部を上記ステ
ータコラムに突出形成し、この取付け凸部に保護ベアリ
ングを配設したことを特徴とするターボ分子ポンプ。2. A hollow rotor disposed inside a casing, a rotor shaft located in the hollow portion of the rotor and integrally attached to the rotor, and installed between the rotor and the rotor shaft. Fixed stator column,
A turbo molecular pump having a plurality of stator blades mounted on the inner wall surface of the casing along the axial direction of the rotor and rotor blades provided on the outer peripheral surface of the rotor and interposed between the stator blades adjacent to each other. In, in the outer peripheral side of the tip side of the rotor shaft, forming an annular groove,
A turbo shaft characterized in that the rotor shaft is separably provided with the annular groove as a boundary, and a mounting projection facing the annular groove is formed on the stator column so as to project therefrom, and a protective bearing is disposed on the mounting projection. Molecular pump.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5264592U JPH0614489U (en) | 1992-07-27 | 1992-07-27 | Turbo molecular pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5264592U JPH0614489U (en) | 1992-07-27 | 1992-07-27 | Turbo molecular pump |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0614489U true JPH0614489U (en) | 1994-02-25 |
Family
ID=12920582
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5264592U Withdrawn JPH0614489U (en) | 1992-07-27 | 1992-07-27 | Turbo molecular pump |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0614489U (en) |
-
1992
- 1992-07-27 JP JP5264592U patent/JPH0614489U/en not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19961003 |