JPH06129815A - Detecting method for inter-heads offset and nozzle eccentricity offset - Google Patents

Detecting method for inter-heads offset and nozzle eccentricity offset

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JPH06129815A
JPH06129815A JP4276963A JP27696392A JPH06129815A JP H06129815 A JPH06129815 A JP H06129815A JP 4276963 A JP4276963 A JP 4276963A JP 27696392 A JP27696392 A JP 27696392A JP H06129815 A JPH06129815 A JP H06129815A
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JP
Japan
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nozzle
offset
head
heads
nozzles
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Application number
JP4276963A
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Japanese (ja)
Inventor
Tatsuyuki Moriya
達之 守屋
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Juki Corp
Original Assignee
Juki Corp
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Publication date
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Publication of JPH06129815A publication Critical patent/JPH06129815A/en
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Abstract

PURPOSE:To enable the input of an inter-heads offset and a nozzle eccentricity offset with neither jigs nor instruments, as well as with conformity to the condition of a machine irrespective of any secular change. CONSTITUTION:A laser beam 148 is radiated on tips of nozzles 144a and 144b, followed by the calculation of medians of the reflected light beam peaks for respective nozzles. The inner-heads offset is detected from the calculated central positions for respective nozzles. In addition, a laser beam is radiated on the tip of a nozzle, so that the median of the reflected light peak, when the nozzle being rotated, is detected from the calculated discrepancy between the 180 deg. rotational positions of the nozzle center position for overy 90 deg. turn of the nozzle.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光を用いてチッ
プマウンタ用のヘッド間オフセットやノズル偏心のオフ
セットを検出するヘッド間オフセット及びノズル偏心オ
フセットの検出方法に係り、経年変化や、その時点での
機械の状態に即したヘッド間オフセットやノズル偏心オ
フセットを検出できるヘッド間オフセット及びノズル偏
心オフセットの検出方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for detecting a head-to-head offset and a nozzle eccentricity offset for detecting a head-to-head offset and a nozzle eccentricity offset for a chip mounter using a laser beam. The present invention relates to a method for detecting a head-to-head offset and a nozzle eccentric offset that can detect the head-to-head offset and the nozzle eccentric offset according to the state of the machine.

【0002】[0002]

【従来の技術】回路基板上に所定の電子部品を装着する
ための部品搭載装置(いわゆるチップマウンタ)とし
て、例えば図1に示す如く、電子部品10を保持したマ
トリックス・トレイなどの部品供給体12と、この部品
供給体12を載置し、必要に応じて交換する部品供給体
支持装置(図示省略)と、この部品供給体支持装置上の
所定の吸着位置で上記電子部品10を吸着して、回路基
板14上の所定位置へ装着する吸着ノズル16とを有す
る装置が知られている(例えば、特願平1−34849
や特願平3−97793)。
2. Description of the Related Art As a component mounting apparatus (so-called chip mounter) for mounting a predetermined electronic component on a circuit board, a component supplier 12 such as a matrix tray holding an electronic component 10 as shown in FIG. A component supplier supporting device (not shown) on which the component supplier 12 is placed and replaced when necessary, and the electronic component 10 is sucked at a predetermined suction position on the component supplier supporting device. A device having a suction nozzle 16 mounted on a predetermined position on the circuit board 14 is known (for example, Japanese Patent Application No. 1-34849).
And Japanese Patent Application No. 3-97793).

【0003】前記吸着ノズル16は、XY方向に移動可
能なヘッド18に取り付けられ、ヘッド自体は、回路基
板14上の部品搭載位置情報及び部品供給体12上の部
品吸着位置情報を記憶する記憶装置からの情報に基づい
て駆動される。また、回路基板14は、基板搬送装置2
0上に設けられたガイド上に載置されている。
The suction nozzle 16 is attached to a head 18 movable in the XY directions, and the head itself stores a component mounting position information on the circuit board 14 and a component suction position information on the component supply body 12. Driven based on information from. In addition, the circuit board 14 is the substrate transfer device 2
0 is mounted on a guide provided above.

【0004】図において、22は、ヘッド18をXY方
向に移動するためのXYロボット、24は、部品の位置
を画像で正確に認識して補正するための画像装置である
非接触センタリングユニット(TLC)、26は、該T
LC24の画像処理装置である。
In the figure, 22 is an XY robot for moving the head 18 in the XY directions, and 24 is a non-contact centering unit (TLC) which is an image device for accurately recognizing and correcting the position of a component in an image. ), 26 is the T
It is an image processing device of LC24.

【0005】このような従来のチップマウンタの場合、
工場出荷時に、チップマウンタの左右ヘッドに治具のノ
ズルを取り付け、これらヘッドを移動し、ノズルがちょ
うど入る精度の良い穴へノズルを降下させて差し込み、
その時の座標から左右ヘッド間のオフセットを入力して
いた。
In the case of such a conventional chip mounter,
At the time of factory shipment, the nozzles of jigs are attached to the left and right heads of the chip mounter, these heads are moved, and the nozzles are dropped into the holes with good accuracy and inserted,
The offset between the left and right heads was input from the coordinates at that time.

【0006】また、ノズルの偏心オフセットも、治具の
ノズルをチップマウンタ用のヘッドに取り付け、該治具
ノズルが回転するときのノズル偏心をピークテスターな
どによって計測していた。
Further, the eccentricity offset of the nozzle is also measured by attaching the jig nozzle to the chip mounter head and measuring the eccentricity of the nozzle when the jig nozzle rotates by a peak tester or the like.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】チップマウンタは機械
的に構成されている以上、振動によるずれ、がたや磨耗
によって、左右ヘッド間のオフセットやノズルの偏心オ
フセットに経年変化が生ずる。しかしながら、従来は、
特殊な治具や計測器がないとオフセットの値を入力でき
ないため、納入先では対処できず、特に、経年変化に対
しては、全く無視されているという問題があった。ま
た、故障によってヘッドを交換した場合などには、治具
や計測器を納入先に持ち込んで、再度これらオフセット
の値を測定し、入力しなければならないという問題もあ
った。
Since the chip mounter is mechanically constructed, the offset between the left and right heads and the eccentric offset of the nozzles may change over time due to displacement due to vibration, rattling and wear. However, conventionally,
The offset value cannot be entered without a special jig or measuring instrument, so the customer cannot deal with it, and in particular, there is a problem that it is completely ignored for aging. Further, when the head is replaced due to a failure, it is necessary to bring a jig or a measuring instrument to the delivery destination, measure these offset values again, and input them.

【0008】本発明は、かかる状況に鑑み、上述のよう
な従来例の問題などを解消せんとして成されたものであ
り、治具や計測器が不要なうえ、経年変化や、温度や湿
度などによる変化に対しても、機械の状態に即したヘッ
ド間オフセットやノズル偏心オフセットを検出できるヘ
ッド間オフセット及びノズル偏心オフセットの検出方法
を提供することを目的とする。
In view of the above situation, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the conventional example, and does not require a jig or a measuring instrument, and also changes over time, temperature and humidity. It is an object of the present invention to provide a method for detecting a head-to-head offset and a nozzle eccentricity offset that can detect the head-to-head offset and the nozzle eccentricity offset according to the state of the machine even with respect to the change due to

【0009】[0009]

【課題を達成するための手段】本発明は、ノズルがそれ
ぞれ装着されたヘッド間のオフセットを検出するに際し
て、ノズルの先端面にレーザ光を照射し、その反射光の
ピークの中点を各ノズルについて算出し、算出された各
ノズルの中心位置から、各ノズルが装着されたヘッド間
のオフセットを検出することにより、前記課題を解決し
たものである。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, when detecting an offset between heads on which nozzles are mounted, the tip surface of the nozzle is irradiated with laser light, and the midpoint of the peak of the reflected light is set to each nozzle. The above problem is solved by detecting the offset between the heads on which the nozzles are mounted, from the calculated center position of each nozzle.

【0010】本発明は、又、ノズルを回転した時の偏心
オフセットを検出するに際して、ノズルの先端面にレー
ザ光を照射し、ノズルを回転した時の反射光のピークの
中点をノズルが90°回転する毎に算出し、算出された
ノズル中心位置の180°回転位置間の差分から、ノズ
ル回転時の偏心オフセットを検出することにより、前記
課題を解決したものである。
According to the present invention, when detecting the eccentricity offset when the nozzle is rotated, the nozzle is irradiated with laser light on the tip end surface of the nozzle, and when the nozzle is rotated, the center point of the reflected light is 90 °. The above problem is solved by calculating each time the nozzle rotates, and detecting the eccentric offset when the nozzle rotates from the difference between the 180 ° rotational positions of the calculated nozzle center position.

【0011】[0011]

【作用】本発明においては、ノズルの先端面にレーザ光
を照射し、その反射光のピークの中点を、各ノズルにつ
いて算出し、算出された各ノズルの中心位置から、各ノ
ズルが装着されたヘッド間のオフセットを検出するよう
にしている。
In the present invention, the tip surface of the nozzle is irradiated with laser light, the midpoint of the peak of the reflected light is calculated for each nozzle, and each nozzle is mounted from the calculated center position of each nozzle. The offset between the heads is detected.

【0012】又、同じく、ノズルの先端面にレーザ光を
照射し、ノズルを回転した時の反射光のピークの中点
を、ノズルが90°回転する毎に算出し、算出されたノ
ズル中心位置の180°回転位置間の差分から、ノズル
回転時の偏心オフセットを検出するようにしている。
Similarly, the midpoint of the peak of reflected light when the nozzle tip is irradiated with laser light and the nozzle is rotated is calculated every time the nozzle is rotated by 90 °, and the calculated nozzle center position is calculated. The eccentric offset at the time of nozzle rotation is detected from the difference between the 180 ° rotation positions.

【0013】従って、特殊な治具やピークテスターなど
の計測器を用いることなく、経年変化や、温度や湿度な
どによる変化に対して、ヘッド間オフセットや、ノズル
偏心オフセットを検出することができる。
Therefore, it is possible to detect the head-to-head offset and the nozzle eccentric offset with respect to aging and changes due to temperature and humidity without using a special jig or a measuring instrument such as a peak tester.

【0014】[0014]

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings.

【0015】図2は、本実施例を説明するためのブロッ
ク説明図であり、図中、110は、後述するノズルが装
着されたヘッドであり、1個の回転用θモータ112と
2個のZモータ114a,114bが設けられている。
このヘッド110は、X軸116aとY軸116bに従
ってX方向とY方向に移動でき、固定されているセンサ
ヘッド118の上をX方向とY方向にスキャンするよう
になっている。
FIG. 2 is a block diagram for explaining the present embodiment. In the figure, 110 is a head on which nozzles, which will be described later, are mounted, and one rotating θ motor 112 and two rotating θ motors 112. Z motors 114a and 114b are provided.
The head 110 can move in the X direction and the Y direction according to the X axis 116a and the Y axis 116b, and scans the fixed sensor head 118 in the X direction and the Y direction.

【0016】一方、Zモータ114a,114bなどの
サーボモータを駆動する制御系は、CPU124→パル
スジェネレータ126,136→サーボドライバ12
8,138→サーボモータであるZモータ114a,1
14bやX軸,Y軸モータ120a,120b←→エン
コーダ122a,122bで構成されている。また、座
標、光量、若しくは高さのデータ測定系は、センサヘッ
ド118→レーザセンサコントローラ130→入出力ポ
ート(I/O)132→CPU124→メモリ134で
構成されている。
On the other hand, the control system for driving the servomotors such as the Z motors 114a and 114b is the CPU 124 → pulse generators 126 and 136 → servo driver 12
8,138 → Z motor 114a, 1 which is a servo motor
14b and X-axis and Y-axis motors 120a, 120b ← → encoders 122a, 122b. A coordinate, light amount, or height data measurement system is composed of a sensor head 118, a laser sensor controller 130, an input / output port (I / O) 132, a CPU 124, and a memory 134.

【0017】図3は、図2のヘッド110を含むヘッド
部Aを詳しく説明するための構成斜視図であり、図中、
図2と同一記号は同一意味を持たせて使用しここでの重
複説明は省略する。また、140a,140bはラック
・ピニオン、142はノズル回転用のベルト、144
a,144bは細線矢印方向すなわち図3の紙面上で上
下方向に移動可能なノズル、146はレンズ、148は
レーザ光である。
FIG. 3 is a perspective view showing the construction of the head portion A including the head 110 of FIG. 2 in detail.
The same symbols as those in FIG. 2 are used with the same meanings, and duplicate explanations are omitted here. Further, 140a and 140b are rack and pinion, 142 is a belt for rotating the nozzle, 144
Reference numerals a and 144b denote nozzles that can move in the directions of the thin arrows, that is, up and down directions on the paper surface of FIG. 3, 146 denotes a lens, and 148 denotes laser light.

【0018】図4は、上記ノズル144a,144bを
詳しく説明するための拡大説明図であり、(A)は構成
斜視図を示し、(B)は底面図を示している。また、図
5は、上記ノズル144a,144bの先端部を詳しく
説明するための更なる拡大図であり、(A)は構成斜視
図を示し、(B)は底面図を示している。
FIGS. 4A and 4B are enlarged explanatory views for explaining the nozzles 144a and 144b in detail. FIG. 4A is a perspective view showing the structure and FIG. 4B is a bottom view. Further, FIG. 5 is a further enlarged view for explaining the tip end portions of the nozzles 144a, 144b in detail, (A) showing a configuration perspective view, and (B) showing a bottom view.

【0019】図4及び図5において、150はノズル本
体、152は鍔部、154は段部、156は先端部、1
58はノズル本体150を貫通するように設けられてい
る中空、160は先端底部である。また、ノズル(14
4a,144b)の先端部156は、図5で示す如く、
ドーナツ形の断面形状となっている。
4 and 5, reference numeral 150 is a nozzle body, 152 is a collar portion, 154 is a step portion, 156 is a tip portion, 1
Reference numeral 58 denotes a hollow provided so as to penetrate the nozzle body 150, and 160 denotes a tip bottom portion. In addition, the nozzle (14
4a, 144b) has a tip portion 156, as shown in FIG.
It has a donut-shaped cross section.

【0020】図6は、本実施例を用いヘッド110をレ
ーザセンサの上でスキャンしながら作成した座標,光
量,高さの各データを示す図であり、図中、Xはノズル
のX座標を示すためのX軸、YはノズルのY座標を示す
ためのY軸、M,M′はX方向ピークの中心、N,N′
はY方向ピークの中心、CはX方向におけるピークM,
M′の中点、DはY方向におけるピークN,N′の中点
をそれぞれ示している。尚、m,nは、ともに長さを示
している。
FIG. 6 is a diagram showing each data of coordinate, light quantity, and height created by scanning the head 110 on the laser sensor using this embodiment, where X is the X coordinate of the nozzle. X-axis for indicating, Y is Y-axis for indicating Y coordinate of the nozzle, M, M ′ are centers of peaks in X direction, N, N ′
Is the center of the Y-direction peak, C is the peak M in the X-direction,
The midpoint of M'and D indicate the midpoints of the peaks N and N'in the Y direction, respectively. In addition, both m and n have shown the length.

【0021】以下、図2ないし図6を用いて本実施例の
動作について詳しく説明する。
The operation of this embodiment will be described in detail below with reference to FIGS.

【0022】最初、Zモータ114a,114bを駆動
させ、図示しないZ軸をレーザスポットの位置まで降下
させる。次いで、X軸モータ120aとY軸モータ12
0bを駆動させ、X軸116aとY軸116bを移動さ
せ、ノズル(図3の144a,144b)の先端をレー
ザスポット上でX方向に通過させる。
First, the Z motors 114a and 114b are driven to lower the Z axis (not shown) to the position of the laser spot. Next, the X-axis motor 120a and the Y-axis motor 12
0b is driven to move the X axis 116a and the Y axis 116b, and the tip of the nozzle (144a, 144b in FIG. 3) is passed in the X direction on the laser spot.

【0023】また、座標、光量、及び高さの各データ
を、センサヘッド118→レーザセンサコントローラ1
30→入出力ポート(I/O)132→CPU124→
メモリ134の測定系で測定することにより、データの
サンプリングを行う。
Further, the coordinate head, the light quantity, and the height data are converted from the sensor head 118 to the laser sensor controller 1.
30 → input / output port (I / O) 132 → CPU124 →
Data is sampled by measuring with the measuring system of the memory 134.

【0024】同様にして、X軸モータ120aとY軸モ
ータ120bを駆動させ、X軸116aとY軸116b
を移動させることにより、ノズル(図3の144a,1
44b)の先端をレーザスポット上でY方向に通過させ
ると共に、座標、光量、及び高さの各データを、センサ
ヘッド118→レーザセンサコントローラ130→入出
力ポート(I/O)132→CPU124→メモリ13
4の測定系で測定することにより、データのサンプリン
グを行う。
Similarly, the X-axis motor 120a and the Y-axis motor 120b are driven to drive the X-axis 116a and the Y-axis 116b.
By moving the nozzle (144a, 1 in FIG. 3).
44b) passes the tip of the laser spot in the Y direction on the laser spot, and each data of the coordinate, the light amount, and the height is transferred to the sensor head 118 → laser sensor controller 130 → input / output port (I / O) 132 → CPU124 → memory. Thirteen
Data is sampled by measuring with the measurement system of No. 4.

【0025】以上の動作は換言すると次のようになる。
即ち、ヘッド110がX軸114aとY軸114bに従
って移動し、固定されているセンサヘッド118上のレ
ーザ交点上をX方向とY方向にスキャンするように動作
する。この間、センサヘッド118からは、例えばCO
2 レーザーが照射され、図3のノズル144a,144
bの先端で反射してのちレンズ146で受光されて検出
され、検出信号としてセンサヘッド118から送出され
る。
In other words, the above operation is as follows.
That is, the head 110 moves according to the X axis 114a and the Y axis 114b, and operates so as to scan the laser intersection on the fixed sensor head 118 in the X and Y directions. In the meantime, from the sensor head 118, for example, CO
2 Laser irradiation, nozzles 144a, 144 of FIG.
After being reflected at the tip of b, it is received by the lens 146, detected, and sent out from the sensor head 118 as a detection signal.

【0026】該検出信号は、図示しないCCDの重心ず
れを利用した三角法によって、被測定物体の高さデータ
と光量データに変換され、その後、図2の入出力ポート
(I/O)132を経由してCPU124に取り込まれ
る。また、レーザセンサコントローラ130には、エン
コーダ122a,122bからエンコーダフィードバッ
ク信号が入力されているため、後述する座標データも同
時に入力される。
The detection signal is converted into height data and light amount data of the object to be measured by trigonometry utilizing the displacement of the center of gravity of the CCD (not shown), and then the input / output port (I / O) 132 of FIG. It is taken in by the CPU 124 via. Further, since the encoder feedback signals are input from the encoders 122a and 122b to the laser sensor controller 130, coordinate data described later is also input at the same time.

【0027】上述のようなデータサンプリングにより図
6に示すデータが得られ、次の〜のようにして、ノ
ズル(図3の144a,144b)が装着されたヘッド
間のオフセットが求められる。
The data shown in FIG. 6 is obtained by the data sampling as described above, and the offsets between the heads on which the nozzles (144a and 144b in FIG. 3) are mounted are obtained as in the following (1) to (3).

【0028】図6のデータにおいてX方向のピークの
中心を算出する。この場合、X方向のピークは図6の実
線で示すように2個あるため、それぞれのピークの中心
M,M′を求める。
In the data shown in FIG. 6, the center of the peak in the X direction is calculated. In this case, since there are two peaks in the X direction as shown by the solid line in FIG. 6, the centers M and M'of the respective peaks are obtained.

【0029】図6のデータにおいて中心M,M′の値
からX方向のピークの中点Cを算出する。
In the data of FIG. 6, the midpoint C of the peak in the X direction is calculated from the values of the centers M and M '.

【0030】図6のデータにおいてY方向のピークの
中心を算出する。この場合も、Y方向のピークは図6の
実線で示すように2個あるため、それぞれのピークの中
心N,N′を求める。
In the data of FIG. 6, the center of the Y-direction peak is calculated. Also in this case, since there are two peaks in the Y direction as shown by the solid line in FIG. 6, the centers N and N ′ of the respective peaks are obtained.

【0031】図6のデータにおいて中心N,N′の値
からY方向のピークの中点Dを算出する。
The midpoint D of the peak in the Y direction is calculated from the values of the centers N and N'in the data of FIG.

【0032】中点C,Dの値からなる座標(C,D)
をノズルの中心座標とする。即ち、左右の各ノズルにつ
いての反射光のピークの中点から、右ヘッドにおけるノ
ズルの中心座標(CR,DR)と左ヘッドにおけるノズ
ルの中心座標(CL,DL)を求める。
Coordinates (C, D) consisting of the values of the midpoints C, D
Is the center coordinate of the nozzle. That is, the center coordinates (CR, DR) of the nozzle in the right head and the center coordinates (CL, DL) of the nozzle in the left head are obtained from the midpoint of the peak of the reflected light for each of the left and right nozzles.

【0033】ヘッド間のオフセットSを S=(CR,DR)−(CL,DL) として求める。The offset S between the heads is obtained as S = (CR, DR)-(CL, DL).

【0034】一方、次の〜のようにして、ノズル回
転時のノズル偏心オフセットが同様に求められる。
On the other hand, the nozzle eccentricity offset when the nozzle is rotated is similarly obtained as in the following (1) to (3).

【0035】ノズル(図3の144a,144b)の
回転角度を0°とし、上述のようにして、右ヘッドにお
けるノズルの中心座標(CR0 ,DR0 )と左ヘッドに
おけるノズルの中心座標(CL0 ,DL0 )を求める。
The rotation angle of the nozzles (144a, 144b in FIG. 3) is set to 0 °, and the center coordinates (CR0, DR0) of the nozzle in the right head and the center coordinates (CL0, DL0) of the nozzle in the left head are set as described above. ).

【0036】ノズル(図3の144a,144b)の
回転角度を90°とし、上述のようにして、右ヘッドに
おけるノズルの中心座標(CR90,DR90)と左ヘッド
におけるノズルの中心座標(CL90,DL90)を求め
る。
The rotation angle of the nozzles (144a and 144b in FIG. 3) is 90 °, and the center coordinates (CR90, DR90) of the nozzles in the right head and the center coordinates (CL90, DL90) of the nozzles in the left head are set as described above. ).

【0037】ノズル(図3の144a,144b)の
回転角度を180°とし、上述のようにして、右ヘッド
におけるノズルの中心座標(CR180 ,DR180 )と左
ヘッドにおけるノズルの中心座標(CL180 ,DL180
)を求める。
The rotation angle of the nozzles (144a, 144b in FIG. 3) is 180 °, and the center coordinates (CR180, DR180) of the nozzle in the right head and the center coordinates (CL180, DL180) of the nozzle in the left head are set as described above.
).

【0038】ノズル(図3の144a,144b)の
回転角度を270°とし、上述のようにして、右ヘッド
におけるノズルの中心座標(CR270 ,DR270 )と左
ヘッドにおけるノズルの中心座標(CL270 ,DL270
)を求める。
The rotation angle of the nozzles (144a, 144b in FIG. 3) is 270 °, and the center coordinates of the nozzles (CR270, DR270) in the right head and the center coordinates (CL270, DL270) of the nozzles in the left head are set as described above.
).

【0039】右ヘッドにおけるノズル回転時のノズル
偏心オフセット(CRs,DRs)を(CR270 −CR
90,DR270 −DR90)として求め、左ヘッドにおける
ノズル回転時のノズル偏心オフセット(CLs,DL
s)を(CL270 −CL90,DL270 −DL90)として
求める。
The nozzle eccentricity offsets (CRs, DRs) at the time of nozzle rotation in the right head are calculated as (CR270-CR).
90, DR270-DR90), and the nozzle eccentric offset (CLs, DL) at the time of nozzle rotation in the left head
s) is calculated as (CL270-CL90, DL270-DL90).

【0040】ところで、上述のようなヘッド間のオフセ
ットの検出やノズル回転時のノズル偏心オフセットの検
出は、通常、オペレーションパネルのキー操作などによ
り自動的に動作・処理が行われる。
Incidentally, the detection of the offset between the heads and the detection of the nozzle eccentricity offset when the nozzle is rotated as described above are usually automatically performed and processed by a key operation on the operation panel.

【0041】尚、本発明は上述の実施例に限定されるこ
となく種々の変形が可能であり、例えば、ノズルの駆動
機構を図3で開示した機構以外の駆動機構にしても良
い。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made. For example, the nozzle drive mechanism may be a drive mechanism other than the mechanism disclosed in FIG.

【0042】[0042]

【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、オペレーションパネルのキー操作などにより自動
的に動作・処理が行われ、ヘッド間のオフセットやノズ
ル回転時のノズル偏心オフセットを検出することができ
るため、治具や計測器が不要であるという利点がある。
As described in detail above, according to the present invention, the operation / processing is automatically performed by the key operation on the operation panel, and the offset between the heads and the nozzle eccentric offset during the nozzle rotation are detected. Therefore, there is an advantage that a jig and a measuring instrument are unnecessary.

【0043】また、オペレーションパネルのキー操作な
どによりワンタッチで左右ヘッド間のオフセットやノズ
ル回転時のノズル偏心オフセットを検出することができ
る。このため、単なる機械的磨耗だけでなく温度や湿度
による機械的変化も含めた経年変化に対して、その時点
の機械状態に即したヘッド間オフセットやノズル偏心オ
フセットを毎日でも入力ができ、前記従来例のような経
年変化の問題は解消される利点がある。
The offset between the left and right heads and the nozzle eccentric offset during nozzle rotation can be detected with one touch by operating the keys on the operation panel. Therefore, it is possible to input the head-to-head offset and the nozzle eccentricity offset according to the mechanical state at that time even on a daily basis against secular changes including mechanical changes due to temperature and humidity as well as simple mechanical wear. There is an advantage that the problem of aging like the example is solved.

【0044】ところで、前記従来例においては、チップ
マウンタにおける部品の搭載座標が、右ヘッドの0゜を
基準にした座標であるため、左ヘッドで搭載する場合や
回転して搭載する場合にはオフセットが正確でないとチ
ップマウンタの精度が悪くなるという問題があった。し
かし、本発明においては、左右ヘッド間のオフセットや
ノズル回転時のノズル偏心オフセットを正確に検出する
ことができるため、チップマウンタの精度を高く維持で
きるという利点もある。
By the way, in the above-mentioned conventional example, since the mounting coordinates of the components on the chip mounter are based on 0 ° of the right head, the offset is applied when mounting with the left head or when rotating and mounting. However, there was a problem that the accuracy of the chip mounter would be deteriorated if it was not accurate. However, in the present invention, the offset between the left and right heads and the nozzle eccentric offset when the nozzle is rotated can be accurately detected, so that there is also an advantage that the accuracy of the chip mounter can be maintained high.

【0045】従って、本発明によれば、治具や計測器が
不要なうえ、経年変化に対しても機械の状態に即したヘ
ッドオフセットやノズル偏心オフセットを検出できるヘ
ッド間オフセット及びノズル偏心オフセットの検出方法
が実現する。
Therefore, according to the present invention, a jig and a measuring instrument are not required, and a head offset and a nozzle eccentric offset which can detect a head offset and a nozzle eccentric offset according to the state of the machine with respect to secular change can be obtained. The detection method is realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明が適用されるチップマウンタの全体構成
を示す斜視図
FIG. 1 is a perspective view showing an overall configuration of a chip mounter to which the present invention is applied.

【図2】本発明の実施例を説明するためのブロック説明
FIG. 2 is a block diagram for explaining an embodiment of the present invention.

【図3】ヘッドを含むヘッド部を詳しく説明するための
構成斜視図
FIG. 3 is a configuration perspective view for explaining a head unit including a head in detail.

【図4】ノズルを詳しく説明するための拡大説明図FIG. 4 is an enlarged explanatory view for explaining the nozzle in detail.

【図5】同じく、ノズル先端を詳しく説明するための拡
大説明図
FIG. 5 is also an enlarged explanatory diagram for explaining the nozzle tip in detail.

【図6】本発明の実施例を用いヘッドをレーザセンサの
上でスキャンしながら作成した座標,光量,高さの各デ
ータを示す図
FIG. 6 is a diagram showing coordinates, light amount, and height data created by scanning a head on a laser sensor using an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

110…ヘッド 112…θモータ 114a,114b…Zモータ 118…センサヘッド 124…CPU 126,136…パルスジェネレータ 128,138…サーボドライバ 130…レーザセンサコントローラ 132…入出力ポート 134…メモリ 142…ベルト 144a,144b…ノズル 146…レンズ 148…レーザ光 156…先端部 158…中空 110 ... Head 112 ... θ motor 114a, 114b ... Z motor 118 ... Sensor head 124 ... CPU 126, 136 ... Pulse generator 128, 138 ... Servo driver 130 ... Laser sensor controller 132 ... Input / output port 134 ... Memory 142 ... Belt 144a, 144b ... Nozzle 146 ... Lens 148 ... Laser light 156 ... Tip part 158 ... Hollow

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ノズルがそれぞれ装着されたヘッド間のオ
フセットを検出するに際して、 前記ノズルの先端面にレーザ光を照射し、 その反射光のピークの中点を各ノズルについて算出し、 算出された各ノズルの中心位置から、各ノズルが装着さ
れたヘッド間のオフセットを検出することを特徴とする
ヘッド間オフセットの検出方法。
1. When detecting an offset between heads in which nozzles are mounted, a laser beam is applied to the tip surface of the nozzle, and the midpoint of the peak of the reflected light is calculated for each nozzle. A method for detecting an offset between heads, wherein an offset between the heads on which the nozzles are mounted is detected from the center position of each nozzle.
【請求項2】ノズルを回転した時の偏心オフセットを検
出するに際して、 前記ノズルの先端面にレーザ光を照射し、 ノズルを回転した時の反射光のピークの中点を、ノズル
が90°回転する毎に算出し、 算出されたノズル中心位置の180°回転位置間の差分
から、ノズル回転時の偏心オフセットを検出することを
特徴とするノズル偏心オフセットの検出方法。
2. When detecting an eccentric offset when the nozzle is rotated, the tip surface of the nozzle is irradiated with laser light, and the nozzle is rotated by 90 ° about the midpoint of the peak of the reflected light when the nozzle is rotated. A method for detecting an eccentric offset when the nozzle is rotated, the eccentric offset being detected when the nozzle is rotated from the difference between the 180 ° rotational positions of the calculated nozzle center position.
JP4276963A 1992-10-15 1992-10-15 Detecting method for inter-heads offset and nozzle eccentricity offset Pending JPH06129815A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104422402A (en) * 2013-09-05 2015-03-18 大族激光科技产业集团股份有限公司 Vision measurement system and method of adsorption device
JP2017092272A (en) * 2015-11-11 2017-05-25 パナソニックIpマネジメント株式会社 Electronic component mounting device
KR102492922B1 (en) * 2022-03-03 2023-01-30 인팩일렉스 주식회사 PCB board electronic compont bonding system electricity car

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