JPH06118070A - Exciting method and exciting device - Google Patents

Exciting method and exciting device

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Publication number
JPH06118070A
JPH06118070A JP4296355A JP29635592A JPH06118070A JP H06118070 A JPH06118070 A JP H06118070A JP 4296355 A JP4296355 A JP 4296355A JP 29635592 A JP29635592 A JP 29635592A JP H06118070 A JPH06118070 A JP H06118070A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measured
vibration
bullet
exciting
solenoid valve
Prior art date
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Pending
Application number
JP4296355A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Mitsutomo Kubota
光智 窪田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Iwatsu Electric Co Ltd
Original Assignee
Iwatsu Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Iwatsu Electric Co Ltd filed Critical Iwatsu Electric Co Ltd
Priority to JP4296355A priority Critical patent/JPH06118070A/en
Publication of JPH06118070A publication Critical patent/JPH06118070A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)

Abstract

PURPOSE:To prevent the generation of an abnormal excitation such as double hammering by emitting a solid projectile toward a material to be measured from below it, and raising it by inertial force just before collision. CONSTITUTION:When a solenoid valve control circuit 34 opens a solenoid valve 33 for a determined time, the air from a compressed air generating means 31 is regulated in pressure by a regulator 32, passed through the solenoid valve 33, regulated in flow rate by a speed controller 35, and sent to an emission part 36. An exciting projectile 40 starts to be raised by this air. In the course of rising, the circuit 34 closes the solenoid valve 33. The exciting projectile 40 is further raised by the supplied air, and after passed through a through-hole 38, it is raised only by inertial force, emitted from an injection hole 39, and collided with a material 41 to be measured. After collision, the exciting projectile 40 is naturally fallen by the repulsive force of the material 41 and the gravity. Since the exciting projectile 40 is thus raised by the inertial force and naturally fallen after collision, double hammering at the collision with the material 41 can be prevented.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、被測定物に振動を発
生させる加振方法及びその装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibrating method and apparatus for generating vibration on an object to be measured.

【0002】[0002]

【従来の技術】機械や製品の部品に亀裂、空洞、凹みな
どの欠陥があると、この部品の破壊により重大な危険を
招くおそれがある。そこで、これら亀裂、空洞、凹み等
の欠陥を有する部品は、機械や製品の組み立て前に、部
品の製造ラインにおいて検出して取り除くことができる
ことが好ましい。
2. Description of the Related Art Defects such as cracks, cavities, and dents in parts of machines and products can cause serious danger due to breakage of the parts. Therefore, it is preferable that components having defects such as cracks, cavities, and dents can be detected and removed in a component production line before assembly of a machine or a product.

【0003】また、欠陥等が生じていない部品であって
も、例えば鋳鉄の含有黒鉛が局所的に球状化していて、
その部分が他の部分よりも高い硬度になっていると、こ
の部品を使用中にその硬い部分から亀裂や欠けを生じる
恐れがある。そこで、このように、局部的に硬度の異な
る部分が存在する部品も製造ラインにおいて検出できる
ことが望ましい。
Further, even in a component having no defects, for example, the graphite contained in cast iron is locally spheroidized,
If the part is harder than the other parts, the hard part may crack or chip during use of this part. Therefore, it is desirable to be able to detect in the manufacturing line the parts in which there are locally different hardnesses.

【0004】ところで、欠陥の検出及び位置評定のため
の非破壊検査方法としては、従来、超音波の反射による
方法、AE(アコースティックエミション)による亀裂
発生時の音による検出方法、CCDカメラによる観測
法、X線写真法、カラーチェック法など知られている。
By the way, as a nondestructive inspection method for detecting a defect and for locating a position, conventionally, a method by reflection of an ultrasonic wave, a detection method by a sound when a crack is generated by AE (acoustic emission), and an observation by a CCD camera are used. Method, X-ray photography method, color check method, etc. are known.

【0005】一方、被測定物中に硬度の異なる部分が存
在するか否かを被測定物の原形をとどめたまま検出する
方法は、従来、存在しない。
On the other hand, there is no conventional method for detecting whether or not there are portions having different hardnesses in an object to be measured while keeping the original shape of the object to be measured.

【0006】しかしながら、上記の従来の非破壊検査に
よる欠陥検出方法は、それぞれ、以下のような取扱上の
問題があった。
However, each of the conventional nondestructive inspection defect detection methods described above has the following handling problems.

【0007】すなわち、例えば超音波探傷法は、被測定
物に接触させて欠陥を検出する方法であり、超音波の直
進性からセンサを当てた部分しか測定できず、センサ接
続面における不整合による反射や、僅かな角度差で見え
る波形が異なり、判別が容易でない。
That is, for example, the ultrasonic flaw detection method is a method of detecting a defect by bringing it into contact with an object to be measured, and it is possible to measure only a portion to which a sensor is applied due to the straightness of the ultrasonic wave, which is caused by a mismatch in a sensor connection surface. Waveforms that are visible due to reflections and slight angle differences are different, making discrimination difficult.

【0008】また、AE法の場合は、超音波探傷法と同
じように接触法であると共に、進行性の亀裂でないと測
定できない。逆に進行性のあるものでは亀裂を拡大しな
がら測定することになる。
Further, in the case of the AE method, it can be measured only by the contact method as in the ultrasonic flaw detection method and by the progressive crack. On the other hand, in the case of a progressive type, the measurement is performed while expanding the crack.

【0009】また、CCDカメラによる観測法では、亀
裂や凹みなどの欠陥以外のしみや模様があっても、判定
を乱す欠点があり、また、鋳造物等において「す」と呼
ばれる空洞は検出できない。
In addition, the observation method using a CCD camera has the drawback of disturbing the determination even if there are spots or patterns other than defects such as cracks and dents, and cavities called "su" cannot be detected in castings and the like. .

【0010】また、X線写真法は、直接、目視できるの
で有効だが、肉厚の薄い被測定物や厚い被測定物などで
は、X線量の調整が厄介で観測できなかったりする。ま
た、被測定物の全数検査に向かず、製造ライン上での検
査に向かない。
Further, the X-ray photography method is effective because it can be visually observed directly, but it is difficult to observe the X-ray dose for an object having a thin thickness or an object having a thick thickness, which is troublesome. In addition, it is not suitable for 100% inspection of measured objects and not suitable for inspection on a production line.

【0011】さらに、被測定物に硬度が局所的に異なる
部分、すなわち異硬度部分があったり、硬度の違う異物
が混入しても、これを検出する方法は従来存在せず、製
造ラインにおいて、このような部品を取り除くことは従
来はできなかった。
Further, even if there is a locally different hardness in the object to be measured, that is, if there is a different hardness, or if foreign matter with a different hardness is mixed, there is no conventional method for detecting this, and in the manufacturing line, It has not been possible in the past to remove such parts.

【0012】そこで、本願の出願人は、以上のような欠
点のない欠陥及び異硬度部分の検出方法及び装置を、先
に出願した(特願平1−259183号、特願平1−2
5184号、特願平2−86035号など参照)。
Therefore, the applicant of the present application has previously filed a method and apparatus for detecting defects and different hardness portions without the above defects (Japanese Patent Application Nos. 1-259183 and 1-2).
5184, Japanese Patent Application No. 2-86035, etc.).

【0013】この先に提案した方法は、被測定物を加振
して発生した、この被測定物の振動を非接触でピックア
ップして、電気信号に変換し、その電気信号をスペクト
ル分析することにより、欠陥及び異硬度部分の有無及び
大きさの検出を行う方法である。この方法は、次のよう
な研究結果から誕生したものである。
In the method proposed above, the vibration of the measured object generated by vibrating the measured object is picked up in a non-contact manner, converted into an electric signal, and the electric signal is spectrally analyzed. It is a method for detecting the presence and size of defects and different hardness portions. This method was born from the following research results.

【0014】すなわち、この発明の発明者による研究の
結果、加振された被測定物の振動をピックアップしてス
ペクトル分析すると、被測定物の形状に応じて定まる固
有周波数位置に、スペクトルのピークが現れ、そして、
欠陥及び/または異硬度部分(異物を含む)がある場合
には、その各対応するスペクトルのピークが2つに別れ
ることが観測できることが判明した。
That is, as a result of the research by the inventor of the present invention, when the vibration of the measured object that is excited is picked up and the spectrum is analyzed, the peak of the spectrum is found at the natural frequency position determined according to the shape of the measured object. Appeared and
It has been found that when there is a defect and / or a different hardness portion (including foreign matter), the peak of each corresponding spectrum is divided into two.

【0015】これは、次のように考察することができ
る。すなわち、加振により被測定物には、それに固有の
定常波振動(縦振動=縦波)を生じ、その振動のため固
有周波数位置に立つスペクトルを観測できる。そして、
欠陥や異硬度部分がないときにはそのスペクトルは、図
2Aに示すように、固有周波数位置のそれぞれにおいて
1つのピーク11,12,13などが現れるものとして
観測できる。
This can be considered as follows. That is, a standing wave vibration (longitudinal vibration = longitudinal wave) peculiar to the object to be measured is generated by the vibration, and the spectrum standing at the natural frequency position can be observed due to the vibration. And
When there are no defects or different hardness portions, the spectrum can be observed as one peak 11, 12, 13 and the like appearing at each of the natural frequency positions, as shown in FIG. 2A.

【0016】しかし、欠陥(クラック(亀裂)や「す」
とよばれる空洞など)があると、この欠陥部を振動が伝
達できないため、迂回する伝播路が生じ、振動のエネル
ギーは前記固有の振動のエネルギーと、その迂回路を通
る振動のエネルギーとに別れ、迂回路を通る振動は前記
固有の振動よりも伝播路が長くなることからスペクトル
の立つ周波数が固有の振動によるスペクトルより低くな
る。そのために、図2Bに示すように、固有周波数位置
のスペクトルのピーク11,12,13よりも周波数が
低い側に別のスペクトルのピーク14,15,16が現
れ、それぞれのスペクトルのピークが2つに別れる。
However, defects (cracks) and "su"
If there are cavities, etc.), vibration cannot be transmitted to this defect, and a detour propagation path is created, and the energy of vibration is divided into the energy of the above-mentioned unique vibration and the energy of vibration passing through the bypass. Since the propagation path of the vibration passing through the bypass is longer than that of the natural vibration, the frequency at which the spectrum stands is lower than the spectrum of the natural vibration. Therefore, as shown in FIG. 2B, another spectrum peak 14, 15, 16 appears on the side of which the frequency is lower than the spectrum peaks 11, 12, 13 at the natural frequency position, and each spectrum has two peaks. Break up.

【0017】また、振動の伝播速度は物質の硬さに応じ
て異なり、硬度が高いほど伝播速度が速くなる性質を有
している。このため、局部的に硬度の異なる部分が存在
すると、その部分では振動の伝播速度が固有振動の伝播
速度と異なり、その振動のエネルギーは、固有振動のエ
ネルギーと前記硬度の異なる部分を通る振動のエネルギ
ーとに振動のエネルギーが別れる。この場合、被測定物
中に他の部分よりも硬い部分が偏在すると、基本固有振
動スペクトルと、それよりも高い周波数側のスペクトル
とに別れて現れ、また、同様にして被測定物中に他の部
分よりも柔らかい部分が偏在すると、基本固有振動のス
ペクトルと、それよりも低い周波数側のスペクトルとに
別れて観測される。
Further, the propagation speed of vibration differs depending on the hardness of the substance, and the higher the hardness, the faster the propagation speed. For this reason, when a portion having a different hardness locally exists, the propagation velocity of the vibration at that portion is different from the propagation velocity of the natural vibration, and the energy of the vibration is the energy of the natural vibration and that of the vibration passing through the portion having the different hardness. Vibration energy is separated from energy. In this case, if a portion harder than other parts is unevenly distributed in the DUT, it appears separately in the fundamental natural vibration spectrum and the spectrum on the higher frequency side, and similarly in the DUT. If a portion softer than the portion is unevenly distributed, the spectrum of the fundamental natural vibration and the spectrum on the frequency side lower than that are observed separately.

【0018】このようにして、固有振動が持つスペクト
ルが2つに別れて観測できるか否かにより、被測定物中
の欠陥及び異硬度部分が存在するか否かを検出すること
ができる。
In this way, it is possible to detect whether or not there is a defect and a different hardness portion in the object to be measured depending on whether or not the spectrum of the natural vibration can be observed separately.

【0019】そして、上記の2つに分かれたスペクトル
の周波数差は、その定常波振動の伝播方向の欠陥または
異硬度部分の長さに対応していることを、発明者は、確
認している。したがって、欠陥ないし異硬度部分がある
場合には、2つに別れたスペクトルのピークの周波数差
を求めれば、欠陥及び異硬度部分の前記定常波振動の伝
播方向の長さを知ることができ、各伝播方向の欠陥等の
長さから、欠陥等の大きさ(容積)や形状を検出するこ
とができる。
The inventor has confirmed that the frequency difference between the two divided spectra corresponds to the defect in the propagation direction of the standing wave vibration or the length of the different hardness portion. Therefore, when there is a defect or a different hardness portion, the length of the defect and the different hardness portion in the propagation direction of the standing wave vibration can be known by obtaining the frequency difference between the two divided peaks of the spectrum. The size (volume) or shape of the defect or the like can be detected from the length of the defect or the like in the propagation direction.

【0020】なお、欠陥等の振動波の伝播方向の長さが
微小な場合には、その振動波のスペクトラムのピーク
は、2つに分かれず、スペクトラムのQ値が小さくな
る。これは、固有振動波のスペクトラムと、クラックの
存在による振動波のスペクトラムとが、演算装置の十分
でない周波数分解能のために、分離せずに結合したもの
として観察されるためであると考えられる。したがっ
て、このQ値を検出することにより、欠陥及び異硬度部
分の有無及び大きさの判定をすることができる。
When the length of the vibration wave such as a defect in the propagation direction is very small, the peak of the spectrum of the vibration wave is not divided into two and the Q value of the spectrum becomes small. It is considered that this is because the spectrum of the natural vibration wave and the spectrum of the vibration wave due to the presence of cracks are observed as being combined without being separated due to insufficient frequency resolution of the arithmetic device. Therefore, by detecting this Q value, it is possible to determine the presence and size of defects and different hardness portions.

【0021】以上説明した欠陥等の判定装置において、
加振装置としては、衝撃を被測定物に与えて振動を生じ
させるインパルスハンマー法を利用して加振している。
従来、このインパルスハンマーによる加振方法として
は、人間の手による加振や、カム機構を利用しておもり
を振り子の原理で揺動させ、衝撃後、おもりが被測定物
から離れるようにする駆動機構などが用いられる。
In the above-described defect determining device,
As an oscillating device, an impulse hammer method is used to apply an impact to an object to be measured to generate vibration.
Conventionally, as the vibration method using this impulse hammer, vibration by a human hand, or a drive mechanism that uses a cam mechanism to swing the weight by the principle of a pendulum so that the weight is separated from the object to be measured after an impact A mechanism or the like is used.

【0022】[0022]

【発明が解決しようとする課題】ところで、出願人は、
その研究の結果、以上説明した非破壊検査方法において
は、被測定物を加振するとき、単一回の加振をするよう
にすることが重要であることを発見した。
By the way, the applicant is
As a result of the research, it was found that in the nondestructive inspection method described above, it is important to apply a single vibration when the object to be measured is excited.

【0023】すなわち、ダブルハンマリングやトリプル
ハンマリングのように、2回以上にわたって加振を行っ
たり、加振部材が被測定物に引っ付いてしまう(実際的
には、細かく加振を繰り返している)と、これらのいわ
ば異常加振によるスペクトラムが発生する。
That is, like the double hammering and the triple hammering, the vibration is applied twice or more, or the vibration member is stuck to the object to be measured (actually, the vibration is finely repeated. ), And so to speak, a spectrum is generated due to abnormal excitation.

【0024】例えば、被測定物に欠陥等がない場合であ
って、ダブルハンマリング等が生じていないときには、
図3Aに示すように、サイドローブが生じないスペクト
ル21のみの波形となるが、ダブルハンマリングが生じ
ているときには、図3Bに示すように、ダブルハンマリ
ングの時間間隔、すなわち1回目と2回目の加振の時間
間隔Tに応じた周波数間隔(1/T)で、スペクトル2
1を中心として、このダブルハンマリングによるサイド
ローブのスペクトル60が現れてしまうのである。
For example, when the object to be measured has no defect or the like and double hammering or the like does not occur,
As shown in FIG. 3A, a waveform of only spectrum 21 in which side lobes do not occur, but when double hammering occurs, as shown in FIG. 3B, the time interval of double hammering, that is, the first and second times Of the spectrum 2 at the frequency interval (1 / T) according to the time interval T of excitation of
The side lobe spectrum 60 due to this double hammering appears around 1.

【0025】このため、ダブルハンマリング等の異常加
振状態になると、前記のスペクトル60を欠陥等のため
に生じた被測定物固有のスペクトラムの分離と区別する
ことができず、実質上、欠陥や異硬度部分の検出が不可
能になってしまう。あるいは、欠陥等が存在しないの
に、異常加振によるスペクトルを欠陥等によるものと誤
検出をしてしまう。
Therefore, when an abnormal vibration state such as double hammering occurs, the spectrum 60 cannot be distinguished from the separation of the spectrum peculiar to the object to be measured caused by a defect or the like, and the defect is substantially present. It becomes impossible to detect the part with different hardness. Alternatively, even if there is no defect or the like, the spectrum due to abnormal vibration is erroneously detected as due to the defect or the like.

【0026】しかしながら、上述した従来の加振方法で
ある人間の手による加振や、カム機構を利用しておもり
を振り子の原理で揺動させる方法では、ダブルハンマリ
ング等の異常加振を避けるようにすることが困難であっ
た。
However, in the above-described conventional vibration method, that is, the vibration by the human hand and the method of swinging the weight by the principle of the pendulum using the cam mechanism, the abnormal vibration such as double hammering is avoided. It was difficult to do so.

【0027】この発明は、以上の点にかんがみ、ダブル
ハンマリング等の異常加振を生じない加振方法及び装置
を提供することを目的とする。
In view of the above points, it is an object of the present invention to provide a vibrating method and apparatus which do not cause abnormal vibration such as double hammering.

【0028】[0028]

【課題を解決するための手段】この発明による加振方法
は、上記課題を解決するため、被測定物の下方から、こ
の被測定物に向けて固体弾を射出し、この固体弾を被測
定物に衝突させて被測定物を加振する方法であって、少
なくとも前記被測定物に衝突する直前では、前記固体弾
が慣性力により上昇するようにしたことを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, a vibrating method according to the present invention ejects a solid bullet toward the object to be measured from below the object to be measured, and measures the solid bullet to be measured. A method of vibrating an object to be measured by causing it to collide with an object, characterized in that the solid bullet is raised by an inertial force at least immediately before collision with the object to be measured.

【0029】[0029]

【作用】上記の構成のこの発明によれば、被測定物に
は、下方から慣性力により上昇して来る固体弾が衝突し
て、この被測定物が加振される。固体弾は、慣性力によ
って上昇しているので、衝突による被測定物からの反発
力と、重力とにより自然落下し、ダブルハンマリングな
どが生じることはない。
According to the present invention having the above-described structure, a solid bullet rising from below due to inertial force collides with the object to be measured, and the object to be measured is vibrated. Since the solid bullet rises due to the inertial force, it does not naturally fall due to the repulsive force from the measured object due to the collision and the gravity, and double hammering does not occur.

【0030】[0030]

【実施例】以下、この発明の一実施例を、図を参照しな
がら説明する。図1は、この例の加振装置の一実施例の
ブロック図で、この例は圧搾流体として圧搾空気を用
い、この圧搾空気により固体の加振弾を上昇させ、下方
から被測定物に衝突させて、被測定物を加振するように
する例である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of a vibrating device of this example. In this example, compressed air is used as a compressed fluid, and a vibrating bullet of a solid is raised by the compressed air and collides with an object to be measured from below. In this example, the measured object is vibrated.

【0031】31は圧搾空気の発生手段で、例えば7〜
10kgf/cm2 の圧搾空気を発生する。32はレギ
ュレータで、発生手段31からの圧搾空気を適度な圧力
にコントロールする。33は電磁弁で、電磁弁コントロ
ール回路34からのコントロール信号により開閉制御さ
れる。35はスピードコントローラで、圧搾空気の流量
を調節する。
Reference numeral 31 is a compressed air generating means, for example, 7 to
Generates compressed air of 10 kgf / cm 2 . A regulator 32 controls the compressed air from the generating means 31 to an appropriate pressure. Reference numeral 33 is a solenoid valve, which is opened / closed by a control signal from a solenoid valve control circuit 34. A speed controller 35 adjusts the flow rate of compressed air.

【0032】36は加振弾射出部である。この射出部3
6内には、断面が円形の固体の加振弾40が込められ
る。また、この射出部36には、加振弾40の外径とほ
ぼ等しい内径の導管部37が形成されており、この導管
部37を通って加振弾40が、この射出部36から射出
されるようになっている。そして、導管部37の加振弾
40の通過経路の中間位置には、導管部37内と外部大
気とを連結する貫通孔38が穿かれている。
Reference numeral 36 is a vibrating bullet ejection unit. This injection part 3
A solid vibrating bullet 40 having a circular cross section is put in the inside 6. In addition, a conduit portion 37 having an inner diameter substantially equal to the outer diameter of the exciting bullet 40 is formed in the ejecting portion 36, and the exciting bullet 40 is ejected from the ejecting portion 36 through the conduit portion 37. It has become so. Then, a through hole 38 that connects the inside of the conduit portion 37 and the outside atmosphere is formed at an intermediate position of the passage of the vibration bullet 40 of the conduit portion 37.

【0033】この場合、射出部36は、その導管部37
がほぼ垂直になり、かつ、射出口39が上を向くように
設置され、この射出部36から射出された加振弾40
が、測定テーブル42に載置された被測定物41の下方
から、この被測定物41に衝突するようにされる。ま
た、この例においては、加振弾40を被測定物41の適
切な箇所に確実に衝突させることができるように、射出
口39は、被測定物に近接した位置になるようにしてい
る。
In this case, the injection part 36 has its conduit part 37.
Is placed almost vertically, and the ejection port 39 is installed so as to face upward.
Are made to collide with the measured object 41 from below the measured object 41 placed on the measurement table 42. In addition, in this example, the ejection port 39 is arranged in a position close to the object to be measured so that the vibrating bullet 40 can surely collide with an appropriate portion of the object 41 to be measured.

【0034】以上のように構成されたこの例の加振装置
の動作を説明する。すなわち、電磁弁コントロール回路
34により電磁弁33を所定時間開ける。すると、圧搾
空気発生手段31からの圧搾空気は、レギュレータ32
により適度な圧力に調整された後、電磁弁33を介して
スピードコントローラ35に送り込まれる。そして、圧
搾空気は、スピードコントローラ35により流量調整さ
れた後、射出部36に送り込まれる。射出部36に込め
られていた加振弾40は、この送り込まれた圧搾空気に
よって上昇を始める。
The operation of the vibrating apparatus of this example constructed as above will be described. That is, the solenoid valve control circuit 34 opens the solenoid valve 33 for a predetermined time. Then, the compressed air from the compressed air generating means 31 is supplied to the regulator 32.
After being adjusted to an appropriate pressure by, it is sent to the speed controller 35 via the solenoid valve 33. Then, the flow rate of the compressed air is adjusted by the speed controller 35, and then the compressed air is sent to the injection unit 36. The oscillating bullet 40 contained in the ejection part 36 starts to rise due to the compressed air sent in.

【0035】電磁弁コントロール回路34は、加振弾4
0が導管部37内を上昇している途中で、電磁弁33を
閉じる。しかし、送り込まれた圧搾空気により加振弾4
0は、さらに上昇する。そして、加振弾40が貫通孔3
8より上まで上昇すると、圧搾空気はこの貫通孔38か
ら外気に排出される。したがって、加振弾40はその後
は慣性力でのみ上昇を続け、射出口39から射出され、
被測定物41に衝突する。加振弾40は、慣性力により
上昇していたので、被測定物41との衝突による被測定
物41からの反発力と、重力とにより自然落下する。
The solenoid valve control circuit 34 includes a vibrating bullet 4
The solenoid valve 33 is closed while 0 is rising in the conduit portion 37. However, due to the compressed air sent in, the vibration bullet 4
0 goes up further. Then, the vibrating bullet 40 is inserted into the through hole 3
When the pressure rises above 8, the compressed air is discharged to the outside air through the through hole 38. Therefore, the vibrating bullet 40 continues to rise only by the inertial force thereafter and is ejected from the ejection port 39.
It collides with the DUT 41. Since the oscillating bullet 40 has risen due to the inertial force, the vibrating bullet 40 naturally falls due to the repulsive force from the measured object 41 due to the collision with the measured object 41 and the gravity.

【0036】以上のように、加振弾40は慣性力で上昇
し、射出部36から射出されて被測定物41に衝突後、
反発力と重力により自然落下するため、不要な力がかか
らず、被測定物41の衝突の際のダブルハンマリングが
防止できる。
As described above, the vibrating bullet 40 rises due to the inertial force, is ejected from the ejecting section 36 and collides with the object 41 to be measured,
Since it naturally falls due to the repulsive force and gravity, unnecessary force is not applied and double hammering at the time of collision of the DUT 41 can be prevented.

【0037】加振弾40の衝突により加振された被測定
物の振動は、マイクロホンなどの振動センサ43でピッ
クアップされて電気信号に変換され、その電気信号が欠
陥検出判定装置44に供給されて、前述したような欠陥
検出判定がなされる。
The vibration of the DUT vibrated by the collision of the vibrating bullet 40 is picked up by a vibration sensor 43 such as a microphone and converted into an electric signal, and the electric signal is supplied to a defect detection and judgment device 44. The defect detection determination as described above is performed.

【0038】圧搾空気の圧力、スピードコントローラ3
5での流量、電磁弁の開閉時間は、予め、ダブルハンマ
リング等が生じないような適切な値に調整される。そし
て、調整後は、その調整値に固定しておくことにより、
安定した加振エネルギーで、常に加振を行うことができ
る。
Pressure of compressed air, speed controller 3
The flow rate at 5 and the opening / closing time of the solenoid valve are adjusted in advance to appropriate values so that double hammering or the like does not occur. And after adjustment, by fixing to the adjusted value,
It is possible to constantly vibrate with stable vibration energy.

【0039】なお、上記の例では、貫通孔38を介して
射出部36に送り込まれた圧搾空気を外気に排出するよ
うにしたが、大気に排出する代わりに、この圧搾空気を
吸引するようにしてもよい。また、圧搾流体として使用
する流体としては、以上の例のような空気ではなく、窒
素などの他の気体や、水などの液体でもよい。また、射
出部36の導管部37は垂直に植立させる必要はなく、
加振弾40を斜め下方から被測定物に41に衝突させる
ようにしてもよい。
In the above example, the compressed air sent to the injection portion 36 through the through hole 38 is discharged to the outside air, but instead of discharging to the atmosphere, the compressed air is sucked. May be. Further, the fluid used as the squeezing fluid is not limited to air as in the above example, but may be another gas such as nitrogen or a liquid such as water. Further, the conduit portion 37 of the injection portion 36 does not need to be vertically planted,
The vibration bullet 40 may be made to collide with the object to be measured 41 from diagonally below.

【0040】さらに、以上の例は、加振弾を発射、上昇
させるために圧搾流体を用いた例であるが、加振弾を発
射、上昇させるための手段としては、バネやその他の手
段を用いることもできる。例えばバネを用いた場合に
は、加振弾を被測定物に衝突する前には、慣性力によっ
て上昇する状態になるように、初速度を決定するように
すればよい。
Further, the above example is an example in which the compressed fluid is used for firing and raising the oscillating bullet, but as the means for firing and raising the oscillating bullet, a spring or other means is used. It can also be used. For example, in the case of using a spring, the initial velocity may be determined so that the vibrating bullet hits the object to be measured so that it will rise due to inertial force.

【0041】なお、この発明の理解を容易にするため、
被測定物の加振を行う技術分野として、出願人が先に提
案している被測定物を加振して、その振動成分をピック
アップし、欠陥等の判定を行なう非破壊検査法について
説明したが、この発明の加振方法及び装置は、この非破
壊検査における被測定物の加振についてのみならず、種
々の用途に適用されるものであることはいうまでもな
い。
In order to facilitate understanding of the present invention,
As a technical field for vibrating an object to be measured, the non-destructive inspection method proposed by the applicant to vibrate the object to be measured, picks up the vibration component, and judges defects etc. was explained. However, it goes without saying that the vibration method and apparatus of the present invention are applied not only to vibration of the object to be measured in this nondestructive inspection but also to various uses.

【0042】[0042]

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、固体の加振弾を被測定物に衝突させて加振させるに
当たって、衝突時には、加振弾が慣性力でのみ、被測定
物の下方から上昇して来るようにしたので、被測定物と
の衝突後は、加振弾は被測定物からの反発力と、重力と
により自然落下し、ダブルハンマリング等の異常加振を
生じることなく加振を行なうことができる。
As described above, according to the present invention, when a solid vibrating bullet is collided with the object to be vibrated and the object is vibrated, only the inertial force of the vibrating bullet causes the object to be measured. Since it was made to rise from below, after the collision with the object to be measured, the oscillating bullet naturally falls due to the repulsive force from the object to be measured and gravity, and abnormal vibration such as double hammering is caused. It is possible to perform vibration without causing it.

【0043】また、この発明によれば、加振対象の被測
定物の形状、重量などに関係なく、容易かつ安定に加振
を行なうことできる。
Further, according to the present invention, it is possible to easily and stably excite regardless of the shape, weight, etc. of the object to be vibrated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明による加振装置の一実施例のブロック
図である。
FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of a vibrating device according to the present invention.

【図2】先に提案した欠陥検出方法を説明するためのス
ペクトルを示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing spectra for explaining the previously proposed defect detection method.

【図3】正常加振のときと、ダブルハンマリングが発生
したときのスペクトル分析波形を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a spectrum analysis waveform when normal vibration is applied and when double hammering occurs.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

31 圧搾空気発生手段 32 レギュレータ 33 電磁弁 34 電磁弁コントロール回路 35 スピードコントローラ 36 加振弾射出部 37 導管部 38 貫通孔 39 射出口 40 固体の加振弾 31 Compressed Air Generating Means 32 Regulator 33 Solenoid Valve 34 Solenoid Valve Control Circuit 35 Speed Controller 36 Vibratory Ammunition Injection Section 37 Conduit Section 38 Through Hole 39 Ejection Port 40 Solid Vibration Ammunition

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被測定物の下方から、この被測定物に向
けて固体弾を射出し、この固体弾を被測定物に衝突させ
て被測定物を加振する方法であって、 少なくとも前記被測定物に衝突する直前では、前記固体
弾が慣性力により上昇するようにしたことを特徴とする
加振方法。
1. A method of vibrating an object to be measured by ejecting a solid bullet from the lower side of the object to be measured toward the object to be measured and causing the solid bullet to collide with the object to be measured. A vibrating method characterized in that the solid bullet is raised by an inertial force immediately before it collides with an object to be measured.
【請求項2】 固体弾を被測定物に向けて、被測定物の
下方から射出させるための射出部と、 前記射出部より射出させるために前記固体弾に上昇力を
付与する手段と、 少なくとも前記被測定物に衝突する直前では、前記固体
弾が慣性力により被測定物に向けて上昇するようにする
手段とを備える加振装置。
2. An ejecting section for ejecting a solid bullet toward the object to be measured from below the object to be measured, and means for imparting a rising force to the solid bullet in order to eject from the object by at least the ejecting section, Immediately before the collision with the object to be measured, the solid bullet is lifted toward the object to be measured by inertial force.
【請求項3】 固体弾を被測定物方向に導くための導管
部を備え、前記固体弾を被測定物に向けて、被測定物の
下方から射出させるための射出部と、 圧搾流体の発生手段と、 前記発生手段からの圧搾流体を、前記固体弾を前記導管
部内を上昇させるようにするために、前記射出部に送り
込むための開閉弁と、 前記射出部に設けられた前記導管部の中間部に穿かれた
前記圧搾流体を前記導管部内から流出させるための開口
部とを備える加振装置。
3. An injection unit, which is provided with a conduit section for guiding the solid bullet toward the measured object, ejects the solid bullet toward the measured object from below the measured object, and generates compressed fluid. Means, an on-off valve for sending the squeezed fluid from the generating means to the injection part in order to raise the solid bullet inside the conduit part, and the conduit part provided in the injection part. A vibrating device comprising: an opening for allowing the compressed fluid perforated in the middle portion to flow out from the inside of the conduit portion.
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