JPH06112798A - Level conversion circuit - Google Patents

Level conversion circuit

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JPH06112798A
JPH06112798A JP4260397A JP26039792A JPH06112798A JP H06112798 A JPH06112798 A JP H06112798A JP 4260397 A JP4260397 A JP 4260397A JP 26039792 A JP26039792 A JP 26039792A JP H06112798 A JPH06112798 A JP H06112798A
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JP
Japan
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potential
bipolar
level
level conversion
bipolar transistor
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Withdrawn
Application number
JP4260397A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuo Sakai
和男 酒井
Katsuji Hirochi
勝治 広地
Shigenori Ichinose
茂則 一ノ瀬
Masahiro Iwamoto
雅博 岩本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
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Publication date
Application filed by Fujitsu VLSI Ltd, Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu VLSI Ltd
Priority to JP4260397A priority Critical patent/JPH06112798A/en
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  • Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
  • Logic Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To simplify the production process, to reduce the cost by devising the circuit constitution and to eliminate a need of the Schottky barrier diode(SBD) which prevents oversaturation of a bipolar transistor TR. CONSTITUTION:This circuit converts an input signal Sin, which has a logical amplitude within the potential difference between a first potential V1 and a second potential V2, to an output signal having a logical amplitude within the potential difference between a third potential V3 and the first potential V1 and is provided with a switch means N2, a first bipolar TR Q1 which controls the magnitude of a current, a voltage generating means R1, and a signal generating means P1, and the base and the collector of the first bipolar TR Q1 are connected to a power line of the first potential V1 through second and third bipolar TRs Q2 and Q3, and bases of second and third bipolar TRs Q2 and Q3 are connected with the power line of the first potential V1.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、レベル変換回路に関
し、例えば、擬似CMOSレベル(VDD:0V/VSS
負電位)からCMOSレベルへのレベル変換、又は同擬
似CMOSレベルからTTLレベルへのレベル変換を行
うレベル変換回路に係り、製造コスト及び製造工数の削
減を意図したレベル変換回路に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a level conversion circuit, for example, a pseudo CMOS level (V DD : 0V / V SS :
The present invention relates to a level conversion circuit that performs level conversion from (negative potential) to a CMOS level or level conversion from the pseudo CMOS level to a TTL level, and relates to a level conversion circuit intended to reduce manufacturing cost and manufacturing man-hours.

【0002】[0002]

【従来の技術】図4は従来のレベル変換回路の構成図で
ある。この図において、V1 はSin及びSout の共通レ
ベルに相当する電位(0V)を持つ第1の電位、V2
inのLレベルに相当する電位(−5V)を持つ第2の
電位、V3 はSout のHレベルに相当する電位(+5
V)を持つ第3の電位である。また、SinはV1 の電位
とV2 の電位との間の電位差以内の論理振幅を有する入
力信号(例えば、便宜的にHレベルを0V、Lレベルを
−5Vとする)、Sout はV3 の電位とV2 の電位との
間の電位差以内の論理振幅を有する出力信号(例えば、
便宜的にHレベルを+5V、Lレベルを0Vとする)で
ある。さらに、P1 はpチャネル型のMOSトランジス
タ、N1 、N2 はnチャネル型のMOSトランジスタ、
1 はnpn型のバイポーラトランジスタ、R1 、R2
は抵抗素子、D1 はショットキー障壁ダイオード(SB
D:Schottky barrier diode)である。
2. Description of the Related Art FIG. 4 is a block diagram of a conventional level conversion circuit. In this figure, V 1 is a first potential having a potential (0 V) corresponding to the common level of S in and S out , and V 2 is a second potential having a potential (−5 V) corresponding to the L level of S in . The potential V 3 is the potential (+5) corresponding to the H level of S out.
V) is the third potential. Further, S in is an input signal having a logical amplitude within the potential difference between the potential of V 1 and the potential of V 2 (for example, H level is 0 V and L level is −5 V for convenience), and S out is An output signal having a logical amplitude within a potential difference between the potential of V 3 and the potential of V 2 (for example,
For convenience, the H level is + 5V and the L level is 0V). Further, P 1 is a p-channel type MOS transistor, N 1 and N 2 are n-channel type MOS transistors,
Q 1 is an npn type bipolar transistor, R 1 and R 2
Is a resistance element, D 1 is a Schottky barrier diode (SB
D: Schottky barrier diode).

【0003】SinがLレベル(−5V)のときには、N
2 がオフとなり、Q1 のコレクタ電流IC1が流れないた
め、ノードAの電位がV3 相当となってP1 がオフ、N
1 がオンとなる。したがって、この場合のSout はV1
相当のLレベル(0V)になる。一方、SinがHレベル
(0V)のときには、N2 がオンとなってQ1 のコレク
タ電流IC1が流れるため、ノードAの電位がV3 からR
1 の電圧降下分(IC1に比例)だけ低い電位になる。し
たがって、P1 がオン、N1 がオフするから、この場合
のSout はV3 相当のHレベル(+5V)となる。
When S in is at L level (-5V), N
2 is turned off and the collector current I C1 of Q 1 does not flow, so that the potential of the node A becomes V 3 and P 1 is turned off and N
1 is turned on. Therefore, S out in this case is V 1
It becomes a considerable L level (0V). On the other hand, when S in is at the H level (0 V), N 2 is turned on and the collector current I C1 of Q 1 flows, so that the potential of the node A changes from V 3 to R 3.
The potential becomes lower by a voltage drop of 1 (proportional to I C1 ). Therefore, since P 1 is on and N 1 is off, S out in this case becomes an H level (+5 V) corresponding to V 3 .

【0004】ここで、D1 は、N2 がオンのときにQ1
のコレクタ電位(ノードAの電位)をV1 −VFD1 (但
し、VFD1 :ショットキー接合の順方向電圧;一般に
0.4V〜0.6V)にクランプするものであり、Q1
の「過飽和(コレクタ電位<ベース電位)」を防ぐため
のものである。これは、バイポーラトランジスタを過飽
和で使用すると、ベース電荷の蓄積によってオンからオ
フへの遷移が遅くなるからである。
Here, D 1 is Q 1 when N 2 is on.
The collector potential (potential of the node A) of V 1 -V FD1 (where V FD1 : Schottky junction forward voltage; generally 0.4 V to 0.6 V) is clamped, and Q 1
This is to prevent "oversaturation (collector potential <base potential)". This is because when a bipolar transistor is used in supersaturation, the transition from on to off is delayed due to the accumulation of base charge.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来のレベル変換回路にあっては、MOSトランジスタ
やバイポーラトランジスタに加えて、ショットキー障壁
ダイオード(SBD)を作り込む構成であったため、製
造工程が複雑となり、コストが嵩むといった問題点があ
った。 [目的]そこで、本発明は、回路構成を工夫することに
より、ショットキー障壁ダイオード(SBD)を不要に
し、もって製造工程を簡素化して低コストのレベル変換
回路を実現することを目的とする。
However, in such a conventional level conversion circuit, since the Schottky barrier diode (SBD) is formed in addition to the MOS transistor and the bipolar transistor, the manufacturing process is complicated. Therefore, there is a problem that the cost increases. [Purpose] Therefore, an object of the present invention is to realize a low-cost level conversion circuit by devising the circuit configuration to eliminate the need for a Schottky barrier diode (SBD), thereby simplifying the manufacturing process.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、第1の電位と該第1の電位よりも低い第
2の電位との間の電位差以内の論理振幅を有する入力信
号を、前記第1の電位よりも高い第3の電位と前記第1
の電位との間の電位差以内の論理振幅を有する出力信号
に変換するレベル変換回路であって、前記入力信号の論
理状態に応じてオン/オフし、オン状態のときに前記第
3の電位から第2の電位への電流路を形成するスイッチ
手段と、該電流路に流れる電流の大きさを前記第1の電
位に応じて制御する第1のバイポーラトランジスタと、
該電流路に流れる電流に比例した電圧を発生する電圧発
生手段と、該電圧発生手段によって作られた電圧から前
記出力信号を生成する信号生成手段と、を備えるレベル
変換回路において、前記第1のバイポーラトランジスタ
のベース及びコレクタを、それぞれ第2及び第3のバイ
ポーラトランジスタを介して前記第1の電位の電源線に
接続すると共に、該第2及び第3のバイポーラトランジ
スタのベースを、同前記第1の電位の電源線に接続する
ことを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention provides an input having a logical amplitude within a potential difference between a first potential and a second potential lower than the first potential. The signal is transmitted to the third potential higher than the first potential and the first potential.
A level conversion circuit for converting into an output signal having a logical amplitude within a potential difference between the third potential and the third potential when the input signal is in the on state. Switch means for forming a current path to the second potential, and a first bipolar transistor for controlling the magnitude of the current flowing in the current path according to the first potential,
In the level conversion circuit, comprising: a voltage generating unit that generates a voltage proportional to a current flowing in the current path; and a signal generating unit that generates the output signal from the voltage generated by the voltage generating unit. The base and collector of the bipolar transistor are connected to the power supply line of the first potential through the second and third bipolar transistors, respectively, and the bases of the second and third bipolar transistors are connected to the first It is characterized in that it is connected to a power supply line having a potential of.

【0007】[0007]

【作用】本発明では、スイッチ手段がオン状態のとき、
第1のバイポーラトランジスタのベース電位とコレクタ
電位が、第1の電位よりもそれぞれ第2及び第3のバイ
ポーラトランジスタのベース−エミッタ電圧(pn接合
の順方向電圧;一般に0.8V〜1.0V)だけ低い電
位にクランプされる。したがって、第1のバイポーラト
ランジスタのベース−コレクタ間の電位差がほぼ零とな
り、当該第1のバイポーラトランジスタの過飽和が防止
される。すなわち、ショットキー障壁ダイオード(SB
D)を設けたのと同等の作用が得られる。
In the present invention, when the switch means is in the ON state,
The base potential and collector potential of the first bipolar transistor are higher than the first potential, respectively, and the base-emitter voltage of the second and third bipolar transistors (forward voltage of the pn junction; generally 0.8 V to 1.0 V). Only clamped to a lower potential. Therefore, the potential difference between the base and collector of the first bipolar transistor becomes almost zero, and oversaturation of the first bipolar transistor is prevented. That is, the Schottky barrier diode (SB
An effect equivalent to that of providing D) is obtained.

【0008】[0008]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図1〜図3は本発明に係るレベル変換回路の一実
施例を示す図である。なお、従来例と共通の回路要素に
は同一の符号を付してある。図1において、Sinは、V
1 の電位とV2 の電位との間の電位差以内の論理振幅を
有する入力信号であり、例えば、SinのHレベルは0
V、Lレベルは−5.2Vである。また、Sout は、V
3 の電位とV2 の電位との間の電位差以内の論理振幅を
有する出力信号であり、例えば、Sout のHレベルは+
5V、Lレベルは0Vである。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 3 are diagrams showing an embodiment of a level conversion circuit according to the present invention. The same circuit elements as those in the conventional example are designated by the same reference numerals. In FIG. 1, S in is V
An input signal having a logical amplitude within a potential difference between the potential of 1 and the potential of V 2 , for example, the H level of S in is 0.
The V and L levels are -5.2V. Also, S out is V
An output signal having a logical amplitude within a potential difference between the potential of 3 and the potential of V 2 , and for example, the H level of S out is +
5V, L level is 0V.

【0009】V1 〜V3 は外部から与えられる電源電圧
であり、V1 はSin及びSout の共通レベルに相当する
電位(0V)を持ち、V2 はSinのLレベルに相当する
電位(−5.2V)を持ち、また、V3 はSout のHレ
ベルに相当する電位(+5V)を持っている。なお、L
1 はV1 の電源線、L2 はV2 の電源線、L3 はV3
電源線である。
V 1 to V 3 are power supply voltages given from the outside, V 1 has a potential (0 V) corresponding to the common level of S in and S out , and V 2 corresponds to the L level of S in. It has a potential (-5.2 V), and V 3 has a potential (+5 V) corresponding to the H level of S out . Note that L
1 is a power supply line of V 1 , L 2 is a power supply line of V 2 , and L 3 is a power supply line of V 3 .

【0010】L3 とL1 の間は、pチャネル型のMOS
トランジスタP1 とnチャネル型のMOSトランジスタ
1 とを介して接続されている。これらのトランジスタ
1及びN1 は、トランジスタP1 とトランジスタN1
の寸法によって決定される入力しきい値を有するインバ
ータゲートを構成し、後述のノードAの電位がそのしき
い値を越えると、P1 をオフ、N1 をオン状態にし、S
out の電位をV1 (0V)相当とする一方、ノードAの
電位がそのしきい値を越えないときには、P1をオン、
1 をオフ状態にし、Sout の電位をV3 (+5V)相
当とする。したがって、これらのトランジスタP1 及び
1 は、次に述べる電圧発生手段としての抵抗R1 によ
って作られた電圧から出力信号Sout を生成する信号生
成手段として機能する。
A p-channel type MOS is provided between L 3 and L 1.
The transistor P 1 and the n-channel type MOS transistor N 1 are connected to each other. These transistors P 1 and N 1 are a transistor P 1 and a transistor N 1.
An inverter gate having an input threshold value determined by the size of S is formed, and when the potential of a node A described later exceeds the threshold value, P 1 is turned off and N 1 is turned on, and S
While the potential of out is equivalent to V 1 (0V), when the potential of the node A does not exceed its threshold value, P 1 is turned on,
N 1 is turned off, and the potential of S out is set to V 3 (+ 5V). Therefore, these transistors P 1 and N 1 function as signal generating means for generating the output signal S out from the voltage generated by the resistor R 1 as the voltage generating means described below.

【0011】L3 とL2 の間は、抵抗(電圧発生手段)
1 、npn型のバイポーラトランジスタ(第1のバイ
ポーラトランジスタ)Q1 、抵抗R2 及びnチャネル型
のMOSトランジスタN2 を介して断接可能に接続され
ており、SinがHレベルになると、N2 がオン状態とな
ってL3 からL2 へと流れる電流(Q1 のコレクタ電流
C1)の流路を形成する。したがって、N2 は、発明の
要旨に記載のスイッチ手段として機能し、N2 がオフの
ときは、抵抗R1 とQ1 の間のノードAの電位をV3
当(ほぼ+5V)とする一方、N2 がオンのときは、同
ノードAの電位をR1 の電圧降下分(IC1に比例)だけ
3 よりも低い電位に設定する。
A resistor (voltage generating means) is provided between L 3 and L 2.
R 1 and npn type bipolar transistor (first bipolar transistor) Q 1 , resistor R 2 and n channel type MOS transistor N 2 are connected in a connectable and disconnectable manner, and when S in becomes H level, N 2 is turned on to form a flow path of a current (collector current I C1 of Q 1 ) flowing from L 3 to L 2 . Therefore, N 2 functions as the switch means described in the gist of the invention, and when N 2 is off, the potential of the node A between the resistors R 1 and Q 1 is equivalent to V 3 (approximately +5 V). , N 2 is on, the potential of the node A is set to a potential lower than V 3 by the voltage drop of R 1 (proportional to I C1 ).

【0012】ここで、Q1 のベースはnpn型のバイポ
ーラトランジスタ(第2のバイポーラトランジスタ)Q
2 を介してL1 に接続され、また、Q1 のコレクタはn
pn型のバイポーラトランジスタ(第3のバイポーラト
ランジスタ)Q3 を介してL 1 に接続されており、これ
らのQ2 、Q3 のベースは共にL1 に接続されている。
Where Q1The base is an npn type bipolar
Error transistor (second bipolar transistor) Q
2Through L1Connected to Q1N collector
pn-type bipolar transistor (third bipolar transistor
Langista) Q3Through L 1Which is connected to
Al Q2, Q3Both bases are L1It is connected to the.

【0013】このため、Q2 のエミッタ(Q1 のベー
ス)電位がV1 よりもVBE2 (VBE2;Q2 のベース−
エミッタ間pn接合の順方向電圧;0.8V〜1.0
V)だけ低い電位にクランプされ、また、Q3 のエミッ
タ(Q1 のコレクタ)電位がV1よりもV
BE3 (VBE3 ;Q3 のベース−エミッタ間pn接合の順
方向電圧;=V BE2 )だけ低い電位にクランプされるか
ら、Q1 のベース電位とコレクタ電位をほぼ同電位とす
ることができ、ショットキー障壁ダイオード(SBD)
を使用することなく、Q1 の過飽和(ベース電位>コレ
クタ電位)を防止できる。
Therefore, Q2Emitter (Q1The ba
S) potential is V1Than VBE2(VBE2; Q2Base of
Forward voltage of pn junction between emitters: 0.8 V to 1.0
V) clamped to a lower potential, and Q3Emi of
(Q1Collector) potential is V1Than V
BE3(VBE3; Q3Order of base-emitter pn junction
Directional voltage; = V BE2) Is only clamped to a lower potential
Q1The base potential and collector potential of the
Schottky barrier diode (SBD)
Q without using1Oversaturation (base potential>
Potential) can be prevented.

【0014】図2、図3は比較のために示す従来例の製
造工程図であり、本実施例によれば、工程中のSBDに
関する部分を省略できるから、少なくともその分のコス
ト削減を図ることができる。第1の工程〔図2(a)の工程〕 まず、各素子を作り込むための一導電型(例えばp導電
型)のシリコン基板1を用意し、第2の工程〔図2(b)の工程〕 その基板1の素子作成領域にp型不純物(例えばB)や
n型不純物(例えばAs)を注入することによって、p
型不純物の注入領域をnチャネル型のMOSトランジス
タ(N1 やN2 )の作成領域とし、また、n型不純物の
注入領域をpチャネル型のMOSトランジスタ(P1
の作成領域又はショットキー障壁ダイオード(SBD)
の作成領域とする。
2 and 3 are manufacturing process diagrams of a conventional example shown for comparison. According to the present embodiment, a portion related to the SBD in the process can be omitted, so that at least the cost can be reduced. You can First Step [Step of FIG. 2 (a)] First, a silicon substrate 1 of one conductivity type (for example, p conductivity type) for forming each element is prepared, and the second step [FIG. 2 (b)] Step] By implanting a p-type impurity (for example, B) or an n-type impurity (for example, As) into the element formation region of the substrate 1, p
The implantation region of the type impurities is used as a formation region of the n-channel type MOS transistor (N 1 or N 2 ), and the implantation region of the n-type impurities is used as the p-channel type MOS transistor (P 1 ).
Area or Schottky barrier diode (SBD)
The creation area of

【0015】次いで、エピタキシャル成長によってpチ
ャネル型MOSトランジスタの埋め込み層2、nチャネ
ル型MOSトランジスタの埋め込み層3、SBDの埋め
込み層4、及びエピ層5を形成し、第3の工程〔図2(c)の工程〕 pチャネル型MOSトランジスタやSBDの作成領域
に、基板1と反対導電型(ここではn型)の不純物(例
えばAs)を注入し、また、nチャネル型MOSトラン
ジスタの作成領域に、基板1と同じ導電型(ここではp
型)の不純物(例えばB)を注入する。
Then, the buried layer 2 of the p-channel MOS transistor, the buried layer 3 of the n-channel MOS transistor, the buried layer 4 of the SBD, and the epi layer 5 are formed by epitaxial growth, and the third step [FIG. ) Process] Impurities (for example, As) of the opposite conductivity type (here, n type) to the substrate 1 are implanted into a p-channel MOS transistor or SBD formation region, and an n-channel MOS transistor formation region is formed. The same conductivity type as the substrate 1 (here, p
Type impurities (for example, B) are implanted.

【0016】そして、拡散によって各素子領域ごとにn
型ウェル6、7、p型ウェル8を形成し、次いで、熱酸
化法によって基板1にフィールド酸化膜を成長させた
後、LOCOS法により、素子分離領域に厚い酸化膜9
を形成する。第4の工程〔図2(d)の工程〕 熱酸化法によってMOSトランジスタのゲート酸化膜1
0、11を形成した後、そのゲート酸化膜10、11の
上にポリシリコンやポリサイド等を材料とするゲート電
極12、13を形成する。第5の工程〔図3(a)の工程〕 次に、pチャネル型MOSトランジスタの作成領域のソ
ース/ドレイン部及びSBD作成領域のガードリング部
にそれぞれLDD(Lightly Doped Drain)構造を形成
するための低濃度のp型不純物(例えばB)14、15
を注入し、また、nチャネル型MOSトランジスタの作
成領域のソース/ドレイン部に同じくLDD構造を形成
するための低濃度のn型不純物(例えばAs)16を注
入する。 第6の工程〔図3(b)の工程〕 そして、CVD法によって酸化膜を形成した後、異方性
エッチングを行い、ゲート電極12、13の側壁にサイ
ドウォール17、18を形成し、次いで、pチャネル型
MOSトランジスタの作成領域のソース/ドレイン部及
びSBD作成領域のガードリング部にそれぞれLDD構
造を形成するための高濃度のp型不純物(例えばB)1
9、20を注入し、また、nチャネル型MOSトランジ
スタの作成領域のソース/ドレイン部に同じくLDD構
造を形成するための高濃度のn型不純物(例えばAs)
21を注入する。第7の工程〔図3(c)の工程〕 CVD法によって酸化膜を形成した後、例えばPSG膜
成長を行い、バルク絶縁膜22を形成し、MOSトラン
ジスタ及びSBD形成領域のそれぞれにコンタクトホー
ル23〜27を形成する。第8の工程〔図2(d)の工程〕 PVD法により、SBD形成領域のコンタクトホール2
7にバリアメタル(例えばTi)28や配線金属29を
スパッタしてSBD電極や配線電極を形成し、また、同
じくPVD法により、MOSトランジスタ形成領域のコ
ンタクトホール23〜26にバリアメタル30や配線金
属31〜34をスパッタして配線電極を形成し、完成す
る。
Then, by diffusion, n for each element region is obtained.
Form wells 6 and 7, p-type well 8 and then heat acid
Field oxide film was grown on the substrate 1 by chemical method
After that, a thick oxide film 9 is formed on the element isolation region by the LOCOS method.
To form.Fourth step [step of FIG. 2 (d)] Gate oxide film 1 of MOS transistor by thermal oxidation method
After forming 0 and 11, the gate oxide films 10 and 11
A gate electrode made of polysilicon, polycide, etc.
Form poles 12, 13.Fifth step [step of FIG. 3 (a)] Next, the p-channel MOS transistor fabrication area
Source / drain part and guard ring part of SBD creation area
LDD (Lightly Doped Drain) structure is formed on each
Low-concentration p-type impurities (for example, B) 14, 15
Of the n-channel MOS transistor.
LDD structure is also formed on the source / drain part of the formed region
Inject low concentration n-type impurities (eg As) 16
To enter. Sixth step [step of FIG. 3 (b)] After forming the oxide film by the CVD method, the anisotropic
Etching is performed, and the sidewalls of the gate electrodes 12 and 13 are etched.
D-walls 17 and 18 are formed, and then p-channel type
Source / drain section of MOS transistor fabrication area
And the LDD structure in the guard ring part of the SBD creation area.
High-concentration p-type impurities (for example, B) 1 for forming a structure
Injecting 9, 20 and n-channel MOS transistor
The LDD structure is also used for the source / drain part
Concentration n-type impurities (eg As) for forming structures
Inject 21.Seventh step [step of FIG. 3 (c)] After forming an oxide film by the CVD method, for example, a PSG film
Growth is performed to form a bulk insulating film 22, and a MOS transistor is formed.
Contact hoses for each of the transistor and SBD formation areas
23 to 27 are formed.Eighth step [step of FIG. 2 (d)] The contact hole 2 in the SBD formation region is formed by the PVD method.
7. Barrier metal (eg Ti) 28 and wiring metal 29 on 7
Sputtering is used to form SBD electrodes and wiring electrodes.
By the PVD method, the area of the MOS transistor formation area is
Barrier metal 30 and wiring gold in contact holes 23 to 26
Sputter metal elements 31-34 to form wiring electrodes and complete
It

【0017】以上が従来のレベル変換回路を共通基板上
に製造する際の工程であるが、本実施例によれば、SB
D素子を必要としない回路構成のため、例えば、上記の
工程において、所望の特性を得るために、他の素子の配
線電極形成とは異なるSBD素子の配線電極の形成工程
などを省くことができ、それだけコスト削減を図ること
ができる。
The above is the process of manufacturing the conventional level conversion circuit on the common substrate. According to the present embodiment, SB is used.
Since the circuit configuration does not require the D element, it is possible to omit the step of forming the wiring electrode of the SBD element, which is different from the formation of the wiring electrode of the other element, for example, in order to obtain desired characteristics in the above steps. However, the cost can be reduced accordingly.

【0018】なお、SBD素子の特性の制御性をよくす
るために、SBDのガードリング層の形成を独立した別
工程とすることもあるが、本実施例によれば、当然なが
ら別工程そのものを不要にできる。さらに、共通基板上
に作り込む素子の種類が減るため、他の素子の制御性が
よくなり、ひいては歩留りの向上を望むことができる。
Incidentally, in order to improve the controllability of the characteristics of the SBD element, the formation of the guard ring layer of the SBD may be carried out as an independent separate step. However, according to this embodiment, naturally the separate step itself is formed. It can be unnecessary. Further, since the number of elements to be formed on the common substrate is reduced, the controllability of other elements is improved, and it is possible to expect improvement in yield.

【0019】[0019]

【発明の効果】本発明によれば、構成を工夫してショッ
トキー障壁ダイオード(SBD)を不要にしたので、製
造工程を簡素化でき、低コストのレベル変換回路を実現
することができる。
According to the present invention, since the Schottky barrier diode (SBD) is not required by devising the structure, the manufacturing process can be simplified and a low cost level conversion circuit can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】一実施例の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment.

【図2】従来例の工程図(1/2)である。FIG. 2 is a process diagram (1/2) of a conventional example.

【図3】従来例の工程図(2/2)である。FIG. 3 is a process diagram (2/2) of a conventional example.

【図4】従来例の構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram of a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

C1:コレクタ電流(電流) L1 :電源線 N1 :nチャネル型MOSトランジスタ(信号生成手
段) N2 :nチャネル型MOSトランジスタ(スイッチ手
段) P1 :pチャネル型MOSトランジスタ(信号生成手
段) Q1 :npn型バイポーラトランジスタ(第1のバイポ
ーラトランジスタ) Q2 :npn型バイポーラトランジスタ(第2のバイポ
ーラトランジスタ) Q3 :npn型バイポーラトランジスタ(第3のバイポ
ーラトランジスタ) R1 :抵抗(電圧発生手段) Sin:入力信号 Sout :出力信号 V1 :第1の電位 V2 :第2の電位 V3 :第3の電位
I C1 : Collector current (current) L 1 : Power supply line N 1 : N-channel type MOS transistor (signal generating means) N 2 : N-channel type MOS transistor (switching means) P 1 : P-channel type MOS transistor (signal generating means) ) Q 1 : npn bipolar transistor (first bipolar transistor) Q 2 : npn bipolar transistor (second bipolar transistor) Q 3 : npn bipolar transistor (third bipolar transistor) R 1 : resistance (voltage generation) Means) S in : input signal S out : output signal V 1 : first potential V 2 : second potential V 3 : third potential

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 9170−4M H01L 27/06 321 G 9170−4M 321 F (72)発明者 一ノ瀬 茂則 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 岩本 雅博 愛知県春日井市高蔵寺町2丁目1844番2 富士通ヴィエルエスアイ株式会社内─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification number Internal reference number FI Technical indication location 9170-4M H01L 27/06 321 G 9170-4M 321 F (72) Inventor Shigenori Ichinose Kawasaki City, Kanagawa Prefecture 1015 Kamiodanaka, Nakahara-ku, Fujitsu Limited (72) Inventor Masahiro Iwamoto 2-1844 Kozoji-cho, Kasugai, Aichi Prefecture

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】第1の電位(V1 )と該第1の電位
(V1 )よりも低い第2の電位(V2 )との間の電位差
以内の論理振幅を有する入力信号(Sin)を、 前記第1の電位(V1 )よりも高い第3の電位(V3
と前記第1の電位(V 1 )との間の電位差以内の論理振
幅を有する出力信号(Sout )に変換するレベル変換回
路であって、 前記入力信号(Sin)の論理状態に応じてオン/オフ
し、オン状態のときに前記第3の電位(V3 )から第2
の電位(V2 )への電流路を形成するスイッチ手段(N
2 )と、 該電流路に流れる電流(IC1 )の大きさを前記第1の
電位(V1 )に応じて制御する第1のバイポーラトラン
ジスタ(Q1 )と、 該電流路に流れる電流(IC1)に比例した電圧を発生す
る電圧発生手段(R1)と、 該電圧発生手段(R1 )によって作られた電圧から前記
出力信号(Sout )を生成する信号生成手段(P1 、N
1 )と、を備えるレベル変換回路において、 前記第1のバイポーラトランジスタ(Q1 )のベース及
びコレクタを、それぞれ第2及び第3のバイポーラトラ
ンジスタ(Q2 、Q3 )を介して前記第1の電位
(V1 )の電源線(L1 )に接続すると共に、 該第2及び第3のバイポーラトランジスタ(Q2
3 )のベースを、同前記第1の電位(V1 )の電源線
(L1 )に接続することを特徴とするレベル変換回路。
1. A first potential (V1) And the first potential
(V1) Lower second potential (V2) And the potential difference between
An input signal having a logical amplitude within (Sin) Is the first potential (V1) Higher third potential (V3)
And the first potential (V 1) And the logic swing within the potential difference between
Output signal with width (Sout) Level conversion times
The input signal (Sin) On / off depending on the logic state of
Then, in the ON state, the third potential (V3) To second
Potential (V2) Switch means (N
2) And the current (IC1) The size of the first
Potential (V1) The first bipolar transistor controlled according to
Dista (Q1) And the current (IC1) Generates a voltage proportional to
Voltage generation means (R1) And the voltage generating means (R1From the voltage created by
Output signal (SoutSignal generating means (P)1, N
1), And the first bipolar transistor (Q1) Base and
And collector to the second and third bipolar transistors, respectively.
Register (Q2, Q3) Through the first potential
(V1) Power line (L1) And the second and third bipolar transistors (Q2,
Q3) Is connected to the first potential (V1) Power line
(L1) Is connected to the level conversion circuit.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08274200A (en) * 1995-03-30 1996-10-18 Nec Corp Bicmos logic integrated circuit

Cited By (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08274200A (en) * 1995-03-30 1996-10-18 Nec Corp Bicmos logic integrated circuit
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