JPH06111368A - Optical recording medium - Google Patents

Optical recording medium

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Publication number
JPH06111368A
JPH06111368A JP4259581A JP25958192A JPH06111368A JP H06111368 A JPH06111368 A JP H06111368A JP 4259581 A JP4259581 A JP 4259581A JP 25958192 A JP25958192 A JP 25958192A JP H06111368 A JPH06111368 A JP H06111368A
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JP
Japan
Prior art keywords
layer
refractive index
recording medium
optical recording
substrate
Prior art date
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Pending
Application number
JP4259581A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Riki Matsuda
理樹 松田
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Brother Industries Ltd
Original Assignee
Brother Industries Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH06111368A publication Critical patent/JPH06111368A/en
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Abstract

PURPOSE:To increase the apparent Kerr rotation angle of a recording layer and to obtain a high-grade reproduced output by forming an interference layer having the refractive index higher than the refractive index of a flattening layer on this flattening layer and generating multiple reflections in the interference layer. CONSTITUTION:The interference layer 14 of this optical recording medium 10 is a light transparent material having the refractive index higher than the refractive index of a substrate 11 and the multiple reflections arise between the substrate 11 and the recording layer 15. The Kerr effect enhancement 5 of the recording layer 15 of the optical recording medium 10 is, therefore, increased and the S/N is improved. Even if the film thickness D of the interference layer 14 is not strictly an ideal value, the sufficient Kerr effect enhancement is attained and the high-grade product is obtd, insofar as the interference layer has a thickness of about + or -30% of the ideal value.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光により情報の
記録・再生を行なう光ディスクメモリに用いられる光記
録媒体に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical recording medium used in an optical disk memory for recording / reproducing information with a laser beam.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、光記録媒体30は、図3に示すよ
うに、ポリオレフィン、オレフィン炭化水素、ポリ炭酸
エステル、メタクリル酸メチル共重合体等の中で耐溶剤
性のある樹脂材料、あるいは、ガラス等の透明無機材料
からなる基板11上に、トラッキング用金属案内層32
を所定の形状に設け、さらに、珪素(Si)、チタン
(Ti)、タンタル(Ta)、ジルコニア(Zr)等の
アルコキシドを材料とし、前記基板11とほぼ同等の屈
折率を有する平坦化層13と、ガドリウム鉄コバルト
(GdTbFe)、テルビ鉄コバルト合金(TbFeC
o)等からなる光磁気記録層15と、サイアロン(Si
AlON)、窒化アルミニウム(AlN)等からなる保
護層16と、アルミニウム(Al)等からなる反射層1
7とが順次積層されることにより構成されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as shown in FIG. 3, an optical recording medium 30 is a solvent resistant resin material among polyolefins, olefin hydrocarbons, polycarbonates, methyl methacrylate copolymers, or the like, or A tracking metal guide layer 32 is formed on a substrate 11 made of a transparent inorganic material such as glass.
Is formed in a predetermined shape, and is made of an alkoxide such as silicon (Si), titanium (Ti), tantalum (Ta), or zirconia (Zr) as a material, and has a refractive index almost equal to that of the substrate 11. And gadolinium iron cobalt (GdTbFe), terbi iron cobalt alloy (TbFeC
o) etc., and a sialon (Si
A protective layer 16 made of AlON), aluminum nitride (AlN) or the like, and a reflective layer 1 made of aluminum (Al) or the like.
7 and 7 are sequentially laminated.

【0003】このような光記録媒体30において、情報
を記録する際には、光記録媒体30の基板11側からレ
ーザ光を照射すると、それにより記録層15が加熱され
る。そして、記録層15がキュリー温度あるいは補償温
度以上に加熱されると同時に外部から磁界を印加する
と、磁化が反転し、情報が記録される。また再生する際
には、光記録媒体30の基板11側から直線偏光のレー
ザ光を照射することにより、反射光の偏光面の回転が磁
化の方向により反転するというカー効果を利用して行な
われる。さらに保護層16と反射層17における多重反
射とカー効果を利用している。
When recording information in such an optical recording medium 30, when the substrate 11 side of the optical recording medium 30 is irradiated with laser light, the recording layer 15 is heated. Then, when the recording layer 15 is heated to the Curie temperature or the compensation temperature or higher and a magnetic field is applied from the outside at the same time, the magnetization is inverted and information is recorded. When reproducing, the Kerr effect is used in which the rotation of the polarization plane of the reflected light is reversed by irradiating the linearly polarized laser light from the substrate 11 side of the optical recording medium 30 depending on the direction of magnetization. . Furthermore, the multiple reflection and Kerr effect in the protective layer 16 and the reflective layer 17 are utilized.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような平坦化層と記録層と保護層と反射層とによる構
成の光記録媒体では、平坦化層の屈折率と基板材料の屈
折率とがほぼ等しいため、干渉効果によるカー効果エン
ハンスメントが得られなくなっていた。このため高い再
生出力が得られないという問題があった。
However, in the optical recording medium having the above-described flattening layer, recording layer, protective layer, and reflective layer, the refractive index of the flattening layer and the refractive index of the substrate material are different from each other. Since they are almost equal, the Kerr effect enhancement due to the interference effect cannot be obtained. Therefore, there is a problem that a high reproduction output cannot be obtained.

【0005】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、その目的とするところは、平坦
化層の上面に、基板よりも屈折率の高い干渉層を形成す
ることにより、カー効果エンハンスメントを得ることの
できる光記録媒体を提供することにある。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to form an interference layer having a higher refractive index than the substrate on the upper surface of the flattening layer. An object of the present invention is to provide an optical recording medium capable of obtaining the Kerr effect enhancement.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の光記録媒体は、基板と、トラッキング用案内
層と、前記基板とほぼ同等の屈折率を持つ平坦化層と、
記録層とを備えた光記録媒体であって、前記平坦化層上
に平坦化層の屈折率より高い屈折率の干渉層が形成され
ている。
In order to achieve this object, an optical recording medium of the present invention comprises a substrate, a tracking guide layer, and a flattening layer having a refractive index substantially equal to that of the substrate.
An optical recording medium including a recording layer, wherein an interference layer having a refractive index higher than that of the flattening layer is formed on the flattening layer.

【0007】また、前記光記録媒体において干渉層の膜
厚を、(λ/4n)+(Mλ/2n; ただし、λ=真
空中の再生光波長、n=干渉層の屈折率、M=0,1,
2,・・)とした。
In the above optical recording medium, the thickness of the interference layer is (λ / 4n) + (Mλ / 2n; where λ = the wavelength of the reproduction light in vacuum, n = the refractive index of the interference layer, and M = 0. , 1,
2, ...)

【0008】[0008]

【作用】上記の構成を有する光記録媒体では、干渉層は
基板と比較して屈折率の高い材料であり、この干渉層に
おいて再生光の多重反射が生じる。それにより、カー効
果エンハンスメントが増大しS/Nが向上する。
In the optical recording medium having the above structure, the interference layer is made of a material having a higher refractive index than the substrate, and the interference light causes multiple reflection of reproduction light. Thereby, the Kerr effect enhancement is increased and the S / N is improved.

【0009】[0009]

【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を
参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0010】図1は、本発明の一実施例である光記録媒
体の10の要部断面図であり、この光記録媒体10は、
ガラス、あるいは、オレフィン炭化水素、ポリ炭酸エス
テル、メタクリル酸メチル共重合体等の樹脂材料からな
る透明な基板11上にトラッキング用案内層12と、平
坦化層13と、干渉層14と、記録層15と、保護層1
6とをその順に積層することにより構成されている。
FIG. 1 is a sectional view of an essential part of an optical recording medium 10 according to an embodiment of the present invention.
A guide layer 12 for tracking, a flattening layer 13, an interference layer 14, and a recording layer are formed on a transparent substrate 11 made of glass or a resin material such as olefin hydrocarbon, polycarbonate ester, and methyl methacrylate copolymer. 15 and protective layer 1
6 and 6 are laminated in that order.

【0011】トラッキング用案内層12は、タンタル
(Ta)で作製されており、前記基板11上に同心円、
スパイラル、直線等のパターン形状で、連続または不連
続に固着されている。このトラッキング用案内層12
は、よく知られているフォトリソグラフィーにより作製
される。具体的には、基板11上にTa膜を真空蒸着、
あるいはスパッタリング等の手段で形成し、その上にレ
ジストをスピンコート法等で塗布する。次に、レーザ露
光法等のフォトリソグラフィーによりレジストを前記パ
ターン形状に取り除く。さらに、酸、アルカリ等を用い
たエッチング、あるいは、プラズマエッチング等により
金属膜のレジストが取り除かれた部分をエッチングす
る。
The tracking guide layer 12 is made of tantalum (Ta) and has a concentric circle on the substrate 11.
It is fixed in a continuous or discontinuous manner in a pattern shape such as spiral or straight line. This tracking guide layer 12
Are produced by well-known photolithography. Specifically, a Ta film is vacuum-deposited on the substrate 11,
Alternatively, it is formed by means such as sputtering, and a resist is applied thereon by a spin coating method or the like. Next, the resist is removed in the pattern shape by photolithography such as laser exposure. Further, the portion of the metal film from which the resist has been removed is etched by etching with acid, alkali, or plasma etching.

【0012】トラッキング用案内層12上には、スパッ
タリング法、あるいは、回転塗布・焼成によるゾルゲル
成膜法等により形成される光透過性絶縁膜からなる平坦
化層13が形成される。この平坦化層13としては、望
ましくは、珪素(Si)、チタン(Ti)、タンタル
(Ta)、ジルコニア(Zr)等のアルコキシドを材料
とするものが使用される。
A flattening layer 13 made of a light-transmissive insulating film is formed on the tracking guide layer 12 by a sputtering method or a sol-gel film forming method by spin coating and baking. The flattening layer 13 is preferably made of an alkoxide such as silicon (Si), titanium (Ti), tantalum (Ta), or zirconia (Zr).

【0013】平坦化層13上には、サイアロン(SiA
lON)、窒化アルミニウム(AlN)、二酸化チタン
(TiO2)等をスパッタリング法、あるいは、回転塗
布・焼成によるゾルゲル成膜法等により形成した干渉層
14が形成されている。その干渉層14の膜厚Dは、干
渉層14中を通過する再生レーザ光の波長のおよそ1/
4程度とする。但し、前記平坦化層13の屈折率が基板
11の屈折率よりも大きい場合は、前記平坦化層13の
膜厚と干渉層14の膜厚とを合計した膜厚を前記再生レ
ーザ光の波長のおよそ1/4程度とする。なお、干渉層
14として、SiAlONを用いたときの屈折率は2.
2、AlNを用いたときの屈折率は、TiO2を用いた
ときの屈折率は2.7、窒化シリコン(SiN)を用い
たときの屈折率は2.0付近になり、いずれも基板11
としてガラスを用いたときの屈折率1.46よりも大き
くなる。
On the flattening layer 13, sialon (SiA
1ON), aluminum nitride (AlN), titanium dioxide (TiO 2 ) or the like is formed by a sputtering method or a sol-gel film formation method by spin coating / firing. The film thickness D of the interference layer 14 is approximately 1 / the wavelength of the reproduction laser light passing through the interference layer 14.
It is about 4. However, when the refractive index of the flattening layer 13 is larger than the refractive index of the substrate 11, the total film thickness of the flattening layer 13 and the interference layer 14 is set to the wavelength of the reproduction laser light. About 1/4 of the above. The refractive index when SiAlON is used as the interference layer 14 is 2.
2. The refractive index when AlN was used was 2.7 when TiO 2 was used, and the refractive index when silicon nitride (SiN) was used was around 2.0.
As a result, the refractive index becomes larger than 1.46 when glass is used.

【0014】干渉層14上に形成される記録層15とし
ては、望ましくは希土類と遷移金属とを主成分とするア
モルファス合金である光磁気材料、さらに望ましくは、
テルビ鉄コバルト合金(TbFeCo)が使用される。
あるいは、白金コバルト(Pt/Co)やガーネット系
の酸化物等を用いてもよい。これらの材料をスパッタリ
ングや真空蒸着、焼結等により干渉層14上に形成する
ことにより、記録層15が作製される。
The recording layer 15 formed on the interference layer 14 is preferably a magneto-optical material which is an amorphous alloy containing a rare earth and a transition metal as main components, and more preferably,
A terbiiron cobalt alloy (TbFeCo) is used.
Alternatively, platinum cobalt (Pt / Co), garnet-based oxide, or the like may be used. The recording layer 15 is produced by forming these materials on the interference layer 14 by sputtering, vacuum deposition, sintering or the like.

【0015】保護層16は、記録層15を化学変化から
保護するためのものであり、サイアロン(SiAlO
N)、窒化アルミニウム(AlN)等の材料にスパッタ
リングあるいは真空蒸着等の処理を施すことにより形成
される。
The protective layer 16 protects the recording layer 15 from chemical changes, and is made of sialon (SiAlO).
It is formed by subjecting a material such as N) or aluminum nitride (AlN) to a treatment such as sputtering or vacuum deposition.

【0016】そして、このように構成された光記録媒体
10において、その基板11を通してレーザ光が記録層
15に照射されると、磁気光学効果により記録層15に
おける局部磁化方向に関連して反射光のカー回転角が変
化させられ、この反射光のカー回転角に基づいて、情報
が読み出される。また、情報の書き込みに際しては、レ
ーザ光の照射により記録層15をキュリー点あるいは補
償温度まで局部加熱し、この局部の冷却時に外部磁界の
方向を所望する方向へ制御することにより磁化方向に対
応した情報を記録する。
In the optical recording medium 10 having the above-described structure, when the recording layer 15 is irradiated with the laser beam through the substrate 11, the reflected light is caused by the magneto-optical effect in relation to the local magnetization direction in the recording layer 15. The Kerr rotation angle is changed, and information is read based on the Kerr rotation angle of the reflected light. In writing information, the recording layer 15 is locally heated to the Curie point or the compensation temperature by irradiation of laser light, and the direction of the external magnetic field is controlled to a desired direction when the local portion is cooled, so that the magnetization direction can be dealt with. Record the information.

【0017】上記の構成を有する光記録媒体10では、
干渉層14は基板11と比較して屈折率の高い透光性材
料であり、基板11と記録層15との間で多重反射が生
じる。記録層15におけるカー効果エンハンスメントを
最大とし、且つ、見かけのカー回転角をが増大するため
に、S/Nを向上させる条件は、干渉層14の膜厚をD
とすると、D=λ/4n+Mλ/2nである。すなわ
ち、前記干渉層14の膜厚Dが再生光の干渉層14中で
の波長の約1/4、あるいはそれに半波長の整数倍を加
えたものに設定されている。このため本実施例の光記録
媒体10では、記録層15におけるカー効果エンハンス
メントが増大し、S/Nが向上する。ただし干渉層14
の膜厚Dは、厳密に上記の理想値とならなくても理想値
からプラスマイナス30%程度の厚さになっていればカ
ー効果エンハンスメントは充分に得ることができる。以
上のような作用により、本実施例の光記録媒体10では
S/Nが向上すると共にトラッキング特性が安定し、高
品位な製品が得られる。
In the optical recording medium 10 having the above structure,
The interference layer 14 is a translucent material having a higher refractive index than the substrate 11, and multiple reflection occurs between the substrate 11 and the recording layer 15. In order to maximize the Kerr effect enhancement in the recording layer 15 and increase the apparent Kerr rotation angle, the condition for improving the S / N is that the film thickness of the interference layer 14 is D
Then, D = λ / 4n + Mλ / 2n. That is, the film thickness D of the interference layer 14 is set to about ¼ of the wavelength of the reproduction light in the interference layer 14, or to a value obtained by adding an integral multiple of half the wavelength. Therefore, in the optical recording medium 10 of the present embodiment, the Kerr effect enhancement in the recording layer 15 is increased and the S / N is improved. However, the interference layer 14
Even if the film thickness D is not strictly equal to the above ideal value, the Kerr effect enhancement can be sufficiently obtained as long as the thickness is about ± 30% from the ideal value. As a result of the above-described actions, the optical recording medium 10 of the present embodiment improves the S / N, stabilizes the tracking characteristics, and obtains a high-quality product.

【0018】以上、本発明の一実施例を図1に基づいて
詳細に説明したが、本発明は他の態様で実施することが
できる。
Although one embodiment of the present invention has been described in detail above with reference to FIG. 1, the present invention can be implemented in other modes.

【0019】例えば、図2(a)に示すように、記録層
15の厚さを薄くし、保護層16の上面に反射層17を
形成してもよい。このように構成すれば、基板11側か
ら入射したレーザ光は、記録層15を透過した後、反射
層17によって反射され、再び記録層15を透過する。
このことにより、カー効果だけせなく、ファラデー効果
も加わるため、さらに大きなカー効果エンハンスメント
が生じる。この場合もトラッキング用案内層12の反射
率低下を防ぎ、安定したトラッキング特性が得られる。
また、図2(b)に示すように、基板11上に形成され
た各層が案内層15の膜厚程度の段差を持ったものも有
り得る。さらに、図2(b)に示す構成において、図2
(a)に示す構成と同様に反射層17を備えるように変
形することも可能である。
For example, as shown in FIG. 2A, the thickness of the recording layer 15 may be reduced and the reflective layer 17 may be formed on the upper surface of the protective layer 16. According to this structure, the laser light incident from the substrate 11 side passes through the recording layer 15, is reflected by the reflective layer 17, and then passes through the recording layer 15 again.
As a result, not only the Kerr effect but also the Faraday effect is added, so that even greater Kerr effect enhancement occurs. Also in this case, a decrease in reflectance of the tracking guide layer 12 can be prevented, and stable tracking characteristics can be obtained.
Further, as shown in FIG. 2B, each layer formed on the substrate 11 may have a step difference of about the film thickness of the guide layer 15. Further, in the configuration shown in FIG.
It can be modified to include the reflection layer 17 as in the configuration shown in FIG.

【0020】また、記録層15としても光磁気材料だけ
でなく、テルル(Te)、ビスマス(Bi)等の穴開け
型や、テルル酸化物(TeOx)等の相変化形材料等を
用いることができる。
As the recording layer 15, not only a magneto-optical material but also a perforated type material such as tellurium (Te) or bismuth (Bi), or a phase change type material such as tellurium oxide (TeOx) is used. it can.

【0021】更に、トラッキング方法はプシュプル法に
限定されず、3ビーム法によっても同様に良好に行なう
ことができる。
Further, the tracking method is not limited to the push-pull method, and the three-beam method can be similarly favorably performed.

【0022】[0022]

【発明の効果】 以上説
明したことから明かなように、本発明の光記録媒体で
は、干渉層は基板よりも屈折率の高い透光性の材料で形
成されているため、この光記録媒体にレーザ光を照射し
た場合に干渉層において多重反射が生じ、カー効果エン
ハンスメントにより記録層の見かけのカー回転角が増大
するためS/Nが向上する。その結果、高品位の再生出
力を得ることができる。
As is apparent from the above description, in the optical recording medium of the present invention, since the interference layer is formed of a translucent material having a higher refractive index than the substrate, When laser light is irradiated, multiple reflection occurs in the interference layer, and the Kerr effect enhancement increases the apparent Kerr rotation angle of the recording layer, thereby improving S / N. As a result, a high-quality reproduction output can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例である光記録媒体の要部断面
図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of an essential part of an optical recording medium that is an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の他の実施例である光記録媒体の要部断
面図である
FIG. 2 is a cross-sectional view of an essential part of an optical recording medium that is another embodiment of the present invention.

【図3】従来の光記録媒体の一例を示す要部断面図であ
る。
FIG. 3 is a cross-sectional view of essential parts showing an example of a conventional optical recording medium.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 基板 12 トラッキング用案内層 13 平坦化層 14 干渉層 15 記録層 11 substrate 12 tracking guide layer 13 flattening layer 14 interference layer 15 recording layer

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板と、トラッキング用案内層と、前記
基板とほぼ同等の屈折率を持つ平坦化層と、記録層とを
備えた光記録媒体において、 前記平坦化層上に平坦化層の屈折率より高い屈折率であ
る干渉層が形成されていることを特徴とする光記録媒
体。
1. An optical recording medium comprising a substrate, a tracking guide layer, a flattening layer having a refractive index substantially equal to that of the substrate, and a recording layer, wherein a flattening layer is formed on the flattening layer. An optical recording medium comprising an interference layer having a refractive index higher than that of the refractive index.
【請求項2】 請求項1に記載の光記録媒体において、
干渉層の膜厚を、(λ/4n)+(Mλ/2n ; た
だし、λ=真空中の再生光波長、n=干渉層の屈折率、
M=0,1,2,・・)としたことを特徴とする光記録
媒体。
2. The optical recording medium according to claim 1,
The film thickness of the interference layer is (λ / 4n) + (Mλ / 2n; where λ = wavelength of reproduction light in vacuum, n = refractive index of interference layer,
An optical recording medium characterized in that M = 0, 1, 2, ...
JP4259581A 1992-09-29 1992-09-29 Optical recording medium Pending JPH06111368A (en)

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