JPH06109499A - Fluidic flowmeter - Google Patents

Fluidic flowmeter

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JPH06109499A
JPH06109499A JP4259531A JP25953192A JPH06109499A JP H06109499 A JPH06109499 A JP H06109499A JP 4259531 A JP4259531 A JP 4259531A JP 25953192 A JP25953192 A JP 25953192A JP H06109499 A JPH06109499 A JP H06109499A
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Japan
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flow
fluidic
jet nozzle
ring space
set ring
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JP4259531A
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Japanese (ja)
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JP3140860B2 (en
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Shigeyuki Ito
茂行 伊藤
Hiroko Oshima
裕子 大島
Hiroyuki Horiguchi
浩幸 堀口
Zenichi Akiyama
善一 秋山
Makoto Tanabe
誠 田辺
Yoshio Ishii
良夫 石井
Tatsuo Miyaji
達生 宮地
Toshiyuki Takamiya
敏行 高宮
Hiroshi Onda
浩 恩田
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Ricoh Seiki Co Ltd
Ricoh Elemex Corp
Ricoh Co Ltd
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Ricoh Seiki Co Ltd
Ricoh Elemex Corp
Ricoh Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To detect a uniform flow rate and then to achieve an accurate and sensitive flow rate measurement by setting the width of a settling space to be equal to or more than that of a jet nozzle and then providing a flow sensor in parallel with a fluidic vibration surface. CONSTITUTION:A settling space 10 is formed so that a channel is narrowed as compared with a flow-in pipe 1 by one step and then a jet nozzle 4 where the channel is narrowed further by one step via a flow reduction part 4 continues. Namely, the width of the space 10 is set to be more than that of a nozzle 5. Therefore, the flow of a fluid which is introduced from the flow-in pipe 1 is rectified from three-dimensional flow to two-dimensional flow through the space 10. Further, the speed distribution becomes a stable flow due to the flow into the nozzle 5 via the narrow reduction part 4 and the flow is emitted into the channel expansion part 6 from the nozzle 5. Therefore, since a uniform flow rate from the space 10 toward the reduction part 4 is detected by a flow sensor 11, the flow rate can be measured sensitively and accurately.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、気体や液体の流量の計
測に用いられるフルイディック流量計に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluidic flow meter used for measuring the flow rate of gas or liquid.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の膜式ガスメータに代るものとして
開発されている、フルイディック発振を利用したフルイ
ディック流量計は、小型で可動部がないので、耐久性に
優れていることから、各方面でその研究・改良が進めら
れている。さらに、従来からのガス流量計は、取付けに
関して立上り面積を要することや都市美観の上からも小
型にして取付けに際して方向性を問わないものが望まれ
る。このような観点から、フルイディック流量計におい
てその特徴を活かした小型で性能のよいものが望まれて
いる。
2. Description of the Related Art A fluidic flowmeter utilizing fluidic oscillation, which has been developed as an alternative to a conventional membrane gas meter, is small in size and has no moving parts. The research and improvement are being promoted in the field. Further, it is desired that the conventional gas flow meter requires a rising area for installation and is small in size in view of urban aesthetics, regardless of directionality in installation. From this point of view, there is a demand for a compact and high-performance fluidic flowmeter that takes advantage of its features.

【0003】フルイディック流量計は、一般の教科書に
も説明されているように、流れが自己を制御するように
働くことで振動を起こすことに着目し、その振動数が流
量に比例することを利用したものである。このようなフ
ルイディック流量計は、例えば特開昭63−13921
3号公報、特開昭63−139214号公報などにも示
されているが、その基本的構成及び作用を図7を参照し
て説明する。
As described in general textbooks, the fluidic flowmeter pays attention to the fact that the flow acts to control itself to generate vibrations, and the frequency is proportional to the flow rate. It was used. Such a fluidic flowmeter is disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 63-13921.
No. 3, Japanese Patent Laid-Open No. 63-139214, etc., the basic configuration and operation will be described with reference to FIG.

【0004】流入管1から排出管2を結ぶ経路上に、セ
ットリングスペース3、流路縮小部4、ジェットノズル
5、流路拡大部6を順に設け、かつ、流路拡大部6中に
誘振子7とエンドブロック8とを備えて構成されてい
る。ここに、このようなフルイディック流量計は、ジェ
ットノズル5と誘振子7とを結ぶ直線に対して線対称な
形状とされている。エンドブロック8には誘振子7を覆
うような状態で流路上流側に向かって延ばした壁8a,
8bを両側に有する。また、このエンドブロック8の背
後は、排出空間9とされている。
A set ring space 3, a flow path contracting section 4, a jet nozzle 5, and a flow path expanding section 6 are provided in this order on the path connecting the inflow tube 1 and the exhaust tube 2, and are guided into the flow path expanding section 6. The pendulum 7 and the end block 8 are provided. Here, such a fluidic flowmeter has a line-symmetrical shape with respect to a straight line connecting the jet nozzle 5 and the exciter 7. The end block 8 has a wall 8a extending toward the upstream side of the flow path so as to cover the pendulum 7,
8b on both sides. A discharge space 9 is formed behind the end block 8.

【0005】まず、流路上流側からの管状の流れはセッ
トリングスペース3で2次元的な流れに整流され、流路
縮小部4によりさらに整流されて円滑にジェットノズル
5に向かう。そして、ジェットノズル5で整流されたジ
ェット流は、誘振子7に当たることにより左右に分れる
が、エンドブロック8に至るまでの流路拡大部6の空間
において、ある流量を越えると誘振子7の背後にできる
渦の不安定性によって、左又は右に偏った流れを形成す
る。そのため、エンドブロック8にぶつかった流れは、
その壁8a,8b内面に沿い、ジェットノズル5の出口
に達し、ジェット流に直角的にぶつかる。このため、そ
の脇から帰還した流れによってジェット流の方向を最初
の偏流とは反対方向に偏らせる。これにより、反対側で
は再び同様のことが起こり、結果としてジェットノズル
5を出る流れは規則的に交互に流れの方向を変化させ
る。この規則的に方向を変化させる振動の周波数は、流
量の増加に対して直線的に増加する。
First, the tubular flow from the upstream side of the flow passage is rectified into a two-dimensional flow in the set ring space 3 and further rectified by the flow passage contracting portion 4 to smoothly flow toward the jet nozzle 5. Then, the jet flow rectified by the jet nozzle 5 is divided into right and left by hitting the exciter 7. However, when the flow exceeds a certain flow rate in the space of the flow path expanding portion 6 up to the end block 8, the exciter 7 is discharged. Due to the instability of the vortex behind it, a left or right biased flow is formed. Therefore, the flow that hits the end block 8 is
Along the inner surfaces of the walls 8a and 8b, it reaches the outlet of the jet nozzle 5 and hits the jet stream at a right angle. Therefore, the direction of the jet flow is biased in the direction opposite to the initial drift by the flow returning from that side. This again causes the same on the other side, with the result that the flow exiting the jet nozzle 5 changes direction of the flow in a regular and alternating manner. The frequency of this regular directional vibration increases linearly with increasing flow rate.

【0006】このようなフルイディック流量計に関し
て、例えば、特開平1−308921号公報、特開平4
−128611号公報、特開平4−134219号公報
等によれば、ジェットノズルに向かうにつれて縮小する
導入通路を形成し、フローセンサを、フルイディック振
動を起させる場所のすぐ上流の絞り流路内(ジェットノ
ズル内等)の2次元的に振動するフルイディック振動面
に平行な上板、或いは底板に接して配置させることが示
されている。
Regarding such a fluidic flowmeter, for example, JP-A-1-308921 and JP-A-4 are available.
According to Japanese Unexamined Patent Publication No. 128611, Japanese Unexamined Patent Publication No. 4-134219, etc., an introduction passage that reduces toward the jet nozzle is formed, and the flow sensor is provided in the throttle channel immediately upstream of the place where fluidic vibration occurs ( It is shown that it is placed in contact with an upper plate or a bottom plate parallel to a fluidic vibrating surface that vibrates two-dimensionally (in a jet nozzle, etc.).

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところが、フルイディ
ック振動を起させる場所のすぐ上流の絞り流路内にフロ
ーセンサを配設することは、噴出する流体の流れを乱
し、安定したフルイディック振動が起らない、という問
題がある。さらに、絞り流路内の上板又は底板という個
所は、境界層が発達しており、その境界層内にフローセ
ンサを配設することは、感度が悪く、また、境界層内の
速度分布は一様流の速度の影響を受けるので、正確な流
量を計測できない、という問題がある。
However, the provision of the flow sensor in the throttle channel immediately upstream of the place where fluidic vibration occurs disturbs the flow of the ejected fluid and results in stable fluidic vibration. There is a problem that does not occur. Further, a boundary layer is developed at a place called the upper plate or the bottom plate in the throttle channel, and it is not sensitive to disposing the flow sensor in the boundary layer, and the velocity distribution in the boundary layer is There is a problem that an accurate flow rate cannot be measured because it is affected by the velocity of a uniform flow.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】流入管から流入する流れ
を2次元的な流れに整流するセットリングスペースと、
整流用の流路縮小部と、ジェットノズルと、流路拡大部
とを同一線上に順に設け、前記流路拡大部中のジェット
ノズル対向位置に偏流を起こさせる誘振子を設け、この
流路拡大部中の前記誘振子の背後で排出管に至るまでの
位置に帰還用のエンドブロックを設けたフルイディック
流量計において、請求項1記載の発明では、前記セット
リングスペースの幅を前記ジェットノズルの幅以上に設
定するとともに、前記セットリングスペースの流路中央
に2次元的に振動するフルイディック振動面に対して平
行又は垂直にフローセンサを配設した。
[MEANS FOR SOLVING THE PROBLEMS] A set ring space for rectifying a flow flowing from an inflow pipe into a two-dimensional flow,
A flow reducing portion for rectification, a jet nozzle, and a flow passage enlarging portion are sequentially provided on the same line, and a pendulum that causes a biased flow is provided at a position facing the jet nozzle in the flow passage enlarging portion. In the fluidic flowmeter in which a return end block is provided at a position behind the exciter in the section and up to the discharge pipe, in the invention according to claim 1, the width of the set ring space is set to the width of the jet nozzle. The flow sensor was set to have a width or more, and a flow sensor was arranged in the center of the flow path of the set ring space in parallel or perpendicular to a fluidic vibrating surface that vibrates two-dimensionally.

【0009】一方、請求項2記載の発明では、セットリ
ングスペースの幅を前記ジェットノズルの幅以上に設定
するとともに、前記セットリングスペースの流路中央に
2次元的に振動するフルイディック振動面に対して平行
でその流路を2分割する分割板を配設し、前記セットリ
ングスペース内で前記フルイディック振動面に平行な上
板、底板又は前記分割板の上面或いは下面にフローセン
サを配設した。
On the other hand, according to the second aspect of the present invention, the width of the set ring space is set to be equal to or larger than the width of the jet nozzle, and a fluidic vibrating surface which two-dimensionally vibrates in the center of the flow path of the set ring space. A dividing plate that divides the flow path into two parallel to each other is arranged, and a flow sensor is arranged in the set ring space on the upper plate, the bottom plate, or the upper surface or the lower surface of the dividing plate that is parallel to the fluidic vibration surface. did.

【0010】[0010]

【作用】請求項1記載の発明においては、セットリング
スペースの流路中央にフルイディック振動面に対して平
行又は垂直に配設したフローセンサが、流体の流れの一
様な流速を検知するものとなり、高感度にして正確に流
量を計測し得るものとなる。また、フローセンサ設置に
より圧力損失を増大させることがないため、流量測定範
囲として低流量域から高流量域まで幅広くとれるものと
なる。
According to the present invention, a flow sensor disposed in the center of the flow path of the set ring space in parallel or perpendicular to the fluidic vibration surface detects a uniform flow velocity of the fluid. Therefore, the flow rate can be accurately measured with high sensitivity. Further, since the pressure loss is not increased by installing the flow sensor, the flow rate measurement range can be widened from the low flow rate range to the high flow rate range.

【0011】請求項2記載の発明においては、請求項1
記載の発明の作用に加え、上板、底板又は分割板の上面
或いは下面にフローセンサを配設するので、センサ配設
作業性に優れたものとなり、かつ、高流量の流れに対し
ても耐久性のよいものとなり、流量計としての使用期間
を充分満足し得るものとなる。さらには、分割板により
セットリングスペース内の流路を2分割するので、分割
板が流体の偏流に対して整流作用を示すとともに、分割
板の厚さの工夫により流速を速くしてフローセンサの感
度を上げることもできる。
In the invention described in claim 2, claim 1
In addition to the actions of the invention described above, the flow sensor is arranged on the upper surface or the lower surface of the upper plate, the bottom plate or the dividing plate, so that the workability of arranging the sensor is excellent and it is durable even against a high flow rate flow. As a result, the flow meter can be used well and the usage period of the flow meter can be sufficiently satisfied. Furthermore, since the flow path in the settling space is divided into two by the dividing plate, the dividing plate has a rectifying action against the uneven flow of the fluid, and the flow velocity can be increased by devising the thickness of the dividing plate to improve the flow sensor. You can also increase the sensitivity.

【0012】[0012]

【実施例】請求項1記載の発明の第一の実施例を図1な
いし図3に基づいて説明する。図7で示した部分と同一
部分は同一符号を用いて示す(以下の実施例でも同様と
する)。まず、本実施例のセットリングスペース10は
流入管1より1段階流路を狭くする形状に形成され、さ
らに、このセットリングスペース10には流路縮小部4
を介して流路をさらに1段階を狭くしたジェットノズル
5が連続している。即ち、図3に示すように、セットリ
ングスペース10の幅(流路幅)をb、ジェットノズル
5の幅(流路幅)をaとしたとき、b≧aとなるように
設定されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the invention described in claim 1 will be described with reference to FIGS. The same parts as those shown in FIG. 7 are designated by the same reference numerals (the same applies to the following embodiments). First, the set ring space 10 of the present embodiment is formed in a shape that narrows a one-step flow path from the inflow pipe 1, and further, in the set ring space 10, the flow path reduction section 4 is formed.
The jet nozzle 5 whose flow path is narrowed by one step is continuous through the. That is, as shown in FIG. 3, when the width of the set ring space 10 (flow passage width) is b and the width of the jet nozzle 5 (flow passage width) is a, b ≧ a. .

【0013】これにより、流入管1から導かれた流体の
流れは、まず、セットリングスペース10を通過するこ
とにより、3次元の流れが2次元の流れに整流される。
ついで、さらに幅狭の流路縮小部4を経てジェットノズ
ル5中に流入することにより、速度分布が安定した流れ
となって、このジェットノズル5から流路拡大部6中に
噴出されることになる。この後は、図7で説明したよう
な動作をする。
As a result, the flow of the fluid introduced from the inflow pipe 1 first passes through the settling space 10 so that the three-dimensional flow is rectified into the two-dimensional flow.
Then, by flowing into the jet nozzle 5 through the narrower flow passage contracting portion 4, the velocity distribution becomes a stable flow and is ejected from the jet nozzle 5 into the flow passage expanding portion 6. Become. After that, the operation described in FIG. 7 is performed.

【0014】従って、本実施例ではフローセンサ11を
前記セットリングスペース10中に配設するが、図1に
示すように、上板12と底板13とによる厚さ(上下)
方向の中央位置であって、かつ、2次元的に振動するフ
ルイディック振動面に対して平行に配設させたものであ
る。
Therefore, in this embodiment, the flow sensor 11 is arranged in the set ring space 10. However, as shown in FIG. 1, the thickness (upper and lower) of the upper plate 12 and the bottom plate 13 is increased.
It is arranged at the center position in the direction and parallel to the fluidic vibration surface that vibrates two-dimensionally.

【0015】このような構成によれば、セットリングス
ペース10から流路縮小部4に向かう流体の流れの一様
な流速をフローセンサ11が検知するため、非常に感度
よく、かつ、正確に流量を計測できるものとなる。ま
た、フローセンサ11設置によりジェットノズル5から
噴出する流体の流れを乱すことがなく、圧力損失の増大
を伴わないため、流量測定範囲が低流量から高流量まで
広範囲となる。
According to this structure, since the flow sensor 11 detects the uniform flow velocity of the fluid flowing from the set ring space 10 toward the flow path reducing portion 4, the flow rate is very sensitive and accurate. Can be measured. Further, since the flow sensor 11 is installed, the flow of the fluid ejected from the jet nozzle 5 is not disturbed and the pressure loss is not increased, so that the flow rate measurement range is wide from low flow rate to high flow rate.

【0016】つづいて、請求項1記載の発明の第二の実
施例を図4により説明する。本実施例は、フローセンサ
11をやはりセットリングスペース10中に配設する
が、その流路幅方向の中央位置であって、かつ、2次元
的に振動するフルイディック振動面に対して垂直(従っ
て、上板12・底板13間に渡って)に配設したもので
ある。
Next, a second embodiment of the invention according to claim 1 will be described with reference to FIG. In the present embodiment, the flow sensor 11 is also arranged in the set ring space 10, but at the center position in the flow channel width direction and perpendicular to the fluidic vibrating surface that vibrates two-dimensionally ( Therefore, it is arranged over the upper plate 12 and the bottom plate 13).

【0017】本実施例構成による場合も、前記実施例と
同様な効果が得られる。
Also in the case of the configuration of this embodiment, the same effect as that of the above embodiment can be obtained.

【0018】さらに、請求項2記載の発明の一実施例を
図5及び図6により説明する。本実施例では、まず、セ
ットリングスペース10中に分割板14が設けられてい
る。この分割板14はセットリングスペース10の流路
幅及び厚さの中央位置(フルイディック振動面に対して
垂直方向の中央位置)であって、2次元的に振動するフ
ルイディック振動面に対して平行に配設され、セットリ
ングスペース10内の流路を上下2分割するものであ
り、形状的には断面流線形とされている。このような分
割板14に対応する上板12位置にはフローセンサ15
が埋込配設されている。
Further, an embodiment of the invention described in claim 2 will be described with reference to FIGS. 5 and 6. In this embodiment, first, the dividing plate 14 is provided in the set ring space 10. The dividing plate 14 is at the center position of the channel width and thickness of the set ring space 10 (the center position in the direction perpendicular to the fluidic vibrating surface), and with respect to the fluidic vibrating surface that vibrates two-dimensionally. They are arranged in parallel and divide the flow path in the set ring space 10 into upper and lower parts, and have a streamline cross section in shape. A flow sensor 15 is provided at the position of the upper plate 12 corresponding to such a dividing plate 14.
Are embedded.

【0019】本実施例構成による場合も、フローセンサ
15は流体の流れの一様な流速を検知することになり、
正確に流量を計測できる。特に、分割板14自体が流体
の偏流を整流するだけでなく、その板厚を変化させるこ
とにより、フローセンサ15部分を流れる流体の流速を
より速くすることができるので、フローセンサ15の感
度を上げることも容易となる。さらに、フローセンサ1
5を上板12中に配設することは配設作業性に優れたも
のとなり、かつ、高流量の流れに対しても耐久性のよい
ものとなり、流量計としての使用期間を充分に満足し得
るものとなる。
Also in the case of the structure of this embodiment, the flow sensor 15 detects the uniform flow velocity of the fluid.
The flow rate can be measured accurately. In particular, the flow velocity of the fluid flowing through the flow sensor 15 portion can be increased by not only rectifying the uneven flow of the fluid by the dividing plate 14 itself but also changing the thickness thereof, so that the sensitivity of the flow sensor 15 is improved. It is also easy to raise. Furthermore, the flow sensor 1
By disposing 5 in the upper plate 12, the disposition workability is excellent and the durability is high even for a high flow rate flow, and the period of use as a flow meter is sufficiently satisfied. You will get it.

【0020】なお、図6中に示すように、フローセンサ
16を底板13側に設けてもよく、又は、分割板14の
上面或いは下面に配設するようにしてもよい。
The flow sensor 16 may be provided on the bottom plate 13 side as shown in FIG. 6, or may be provided on the upper surface or the lower surface of the dividing plate 14.

【0021】また、これらの実施例では流入管1より流
入させた流体をジェットノズル5から噴出させるまでの
過程で、流路を、セットリングスペース10、流路縮小
部4により2段階に縮小させるようにしたが、これに限
らず、より多段階的に流路を幅狭とさせるようにしても
よい。
Further, in these embodiments, the flow path is reduced in two stages by the set ring space 10 and the flow path reduction section 4 in the process of ejecting the fluid introduced from the inflow pipe 1 from the jet nozzle 5. However, the present invention is not limited to this, and the width of the flow passage may be narrowed in multiple stages.

【0022】[0022]

【発明の効果】本発明は、上述したように構成したの
で、請求項1記載の発明によれば、セットリングスペー
スの幅をジェットノズルの幅以上に設定するとともに、
セットリングスペースの流路中央に2次元的に振動する
フルイディック振動面に対して平行又は垂直にフローセ
ンサを配設したので、フローセンサが流体の流れの一様
な流速を検知できることになり、よって、高感度にして
正確に流量を計測でき、かつ、フローセンサ設置によっ
て圧力損失を増大させることがないため、流量測定範囲
として低流量域から高流量域まで幅広くとれるものとな
る。
Since the present invention is configured as described above, according to the invention of claim 1, the width of the set ring space is set to be not less than the width of the jet nozzle, and
Since the flow sensor is arranged parallel or perpendicular to the fluidic vibrating surface that vibrates two-dimensionally in the center of the flow path of the settling space, the flow sensor can detect a uniform flow velocity of the fluid. Therefore, the flow rate can be accurately measured with high sensitivity, and the pressure loss is not increased by installing the flow sensor. Therefore, the flow rate measurement range can be widened from the low flow rate range to the high flow rate range.

【0023】請求項2記載の発明によれば、請求項1記
載の発明の効果に加え、上板、底板又は分割板の上面或
いは下面にフローセンサを配設するようにしたので、セ
ンサ配設作業性に優れたものとなり、かつ、高流量の流
れに対しても耐久性のよいものとなり、流量計としての
使用期間を充分満足できるものとなり、さらには、分割
板によりセットリングスペース内の流路を2分割するの
で、分割板が流体の偏流に対して整流作用を示すととも
に、分割板の厚さの工夫により流速を速くしてフローセ
ンサの感度を上げることもできる。
According to the second aspect of the invention, in addition to the effect of the first aspect of the invention, the flow sensor is arranged on the upper surface or the lower surface of the upper plate, the bottom plate or the dividing plate. The workability is excellent and the durability is high even for high flow rate flow, and the flow meter can be used for a sufficient period of time. Since the path is divided into two, the dividing plate has a rectifying action against the uneven flow of the fluid, and the flow velocity can be increased by increasing the thickness of the dividing plate to increase the sensitivity of the flow sensor.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】請求項1記載の発明の第一の実施例を示す要部
の縦断正面図である。
FIG. 1 is a vertical sectional front view of a main part showing a first embodiment of the invention according to claim 1.

【図2】フルイディック流量計の全体構造を示す水平断
面図である。
FIG. 2 is a horizontal sectional view showing the overall structure of a fluidic flow meter.

【図3】要部の水平断面図である。FIG. 3 is a horizontal sectional view of a main part.

【図4】請求項1記載の発明の第二の実施例を示す縦断
正面図である。
FIG. 4 is a vertical sectional front view showing a second embodiment of the invention according to claim 1;

【図5】請求項2記載の発明の一実施例を示す水平断面
図である。
FIG. 5 is a horizontal sectional view showing an embodiment of the invention described in claim 2.

【図6】その縦断正面図である。FIG. 6 is a vertical sectional front view thereof.

【図7】一般的なフルイディック流量計構造を示す水平
断面図である。
FIG. 7 is a horizontal sectional view showing a general fluidic flow meter structure.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 流入管 2 排出管 4 流路縮小部 5 ジェットノズル 6 流路拡大部 7 誘振子 8 エンドブロック 10 セットリングスペース 11 フローセンサ 12 上板 13 底板 14 分割板 15,16 フローセンサ 1 Inflow pipe 2 Discharge pipe 4 Flow reduction part 5 Jet nozzle 6 Flow expansion part 7 Pendulum 8 End block 10 Set ring space 11 Flow sensor 12 Upper plate 13 Bottom plate 14 Dividing plate 15, 16 Flow sensor

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大島 裕子 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 堀口 浩幸 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 秋山 善一 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 田辺 誠 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 石井 良夫 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 宮地 達生 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 高宮 敏行 東京都品川区南大井6−16−10 リコー精 器株式会社内 (72)発明者 恩田 浩 愛知県名古屋市東区泉二丁目28番24号 リ コーエレメックス株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Yuko Oshima Inc. 1-3-6 Nakamagome, Ota-ku, Tokyo Within Ricoh Co., Ltd. (72) Inventor Hiroyuki Horiguchi 1-3-3 Nakamagome, Ota-ku, Tokyo Stocks Inside Ricoh Company (72) Zenichi Akiyama 1-3-6 Nakamagome, Ota-ku, Tokyo Within Ricoh Co., Ltd. (72) Inventor Makoto Tanabe 1-3-6 Nakamagome, Ota-ku, Tokyo Within Ricoh Company (72) Inventor Yoshio Ishii 1-3-6 Nakamagome, Ota-ku, Tokyo, Ricoh Co., Ltd. (72) Inventor Tatsuo Miyaji 1-3-6 Nakamagome, Ota-ku, Tokyo (72) Invention Toshiyuki Takamiya 6-16-10 Minamioi, Shinagawa-ku, Tokyo Ricoh Seiki Co., Ltd. (72) Inventor, Hiroshi Onda 2-28-24 Izumi 2-chome, Higashi-ku, Nagoya, Aichi Prefecture Ricoh Elementary School Box in the Corporation

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 流入管から流入する流れを2次元的な流
れに整流するセットリングスペースと、整流用の流路縮
小部と、ジェットノズルと、流路拡大部とを同一線上に
順に設け、前記流路拡大部中のジェットノズル対向位置
に偏流を起こさせる誘振子を設け、この流路拡大部中の
前記誘振子の背後で排出管に至るまでの位置に帰還用の
エンドブロックを設けたフルイディック流量計におい
て、前記セットリングスペースの幅を前記ジェットノズ
ルの幅以上に設定するとともに、前記セットリングスペ
ースの流路中央に2次元的に振動するフルイディック振
動面に対して平行又は垂直にフローセンサを配設したこ
とを特徴とするフルイディック流量計。
1. A set ring space for rectifying a flow flowing from an inflow pipe into a two-dimensional flow, a rectifying flow passage reducing portion, a jet nozzle, and a flow passage expanding portion are sequentially provided on the same line, An exciter for causing a non-uniform flow is provided at a position facing the jet nozzle in the enlarged flow passage, and an end block for return is provided at a position behind the exciter in the enlarged flow passage to reach the discharge pipe. In the fluidic flow meter, the width of the set ring space is set to be equal to or larger than the width of the jet nozzle, and the fluid is set parallel or perpendicular to a fluidic vibrating surface that two-dimensionally vibrates in the center of the flow path of the set ring space. A fluidic flowmeter characterized by having a flow sensor.
【請求項2】 流入管から流入する流れを2次元的な流
れに整流するセットリングスペースと、整流用の流路縮
小部と、ジェットノズルと、流路拡大部とを同一線上に
順に設け、前記流路拡大部中のジェットノズル対向位置
に偏流を起こさせる誘振子を設け、この流路拡大部中の
前記誘振子の背後で排出管に至るまでの位置に帰還用の
エンドブロックを設けたフルイディック流量計におい
て、前記セットリングスペースの幅を前記ジェットノズ
ルの幅以上に設定するとともに、前記セットリングスペ
ースの流路中央に2次元的に振動するフルイディック振
動面に対して平行でその流路を2分割する分割板を配設
し、前記セットリングスペース内で前記フルイディック
振動面に平行な上板、底板又は前記分割板の上面或いは
下面にフローセンサを配設したことを特徴とするフルイ
ディック流量計。
2. A set ring space for rectifying a flow that flows in from an inflow pipe into a two-dimensional flow, a flow reduction portion for rectification, a jet nozzle, and a flow passage expansion portion are sequentially provided on the same line, An exciter for causing a non-uniform flow is provided at a position facing the jet nozzle in the enlarged flow passage, and an end block for return is provided at a position behind the exciter in the enlarged flow passage to reach the discharge pipe. In the fluidic flow meter, the width of the set ring space is set to be equal to or larger than the width of the jet nozzle, and the flow is parallel to the fluidic vibrating surface that two-dimensionally vibrates in the center of the flow path of the set ring space. A dividing plate that divides the path into two is provided, and a flow sensor is provided on the upper plate, the bottom plate, or the upper surface or the lower surface of the dividing plate that is parallel to the fluidic vibration surface in the set ring space. A fluidic flowmeter characterized by being installed.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3527955A1 (en) * 2018-02-16 2019-08-21 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Fluidic oscillator flowmeter with enhanced flow conditioner

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3527955A1 (en) * 2018-02-16 2019-08-21 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Fluidic oscillator flowmeter with enhanced flow conditioner
FR3078156A1 (en) * 2018-02-16 2019-08-23 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude FLUIDIC OSCILLATION FLOW METER WITH IMPROVED FLOW STABILIZER

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