JPH06109456A - Interferometer device - Google Patents
Interferometer deviceInfo
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- JPH06109456A JPH06109456A JP4277678A JP27767892A JPH06109456A JP H06109456 A JPH06109456 A JP H06109456A JP 4277678 A JP4277678 A JP 4277678A JP 27767892 A JP27767892 A JP 27767892A JP H06109456 A JPH06109456 A JP H06109456A
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- lens
- curvature
- radius
- inspected
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、球面レンズ等の表面状
態をレーザ干渉計を用いて検査するための干渉計装置に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an interferometer device for inspecting the surface condition of a spherical lens or the like using a laser interferometer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】レンズの仕上げ精度の検査を行うために
レーザ干渉計を用いるように構成したものは、従来から
知られている。即ち、レーザ光源からのレーザ光の光路
にレンズの基準となる基準レンズを配設すると共に、こ
の光路における基準レンズの前方位置に被検レンズを配
設し、基準レンズの基準面からの反射光と被検レンズの
被検面からの反射光との間で生じる干渉縞の本数を測定
することによって、このレンズの表面状態を検査するよ
うにしたものである。このように、レーザ干渉計を用い
ると、被検レンズを非接触で検査できることから、基準
レンズにも、また被検レンズにも損傷を来すことなく精
密に検査できるので極めて都合が良い。2. Description of the Related Art A structure in which a laser interferometer is used for inspecting the finishing accuracy of a lens is conventionally known. That is, a reference lens that serves as a reference for the lens is provided in the optical path of the laser light from the laser light source, and a test lens is provided in front of the reference lens in this optical path, and the reflected light from the reference surface of the reference lens is provided. The surface state of this lens is inspected by measuring the number of interference fringes generated between the reflected light from the surface to be inspected of the lens to be inspected. As described above, when the laser interferometer is used, the lens to be inspected can be inspected in a non-contact manner, so that the reference lens and the lens to be inspected can be precisely inspected without damage, which is extremely convenient.
【０００３】一般に、被検レンズが球面レンズであれ
ば、基準レンズも球面レンズとするが、この被検レンズ
が凸レンズであれ、凹レンズであれ、基準レンズの基準
面の曲率半径と被検レンズの曲率半径との距離だけ離し
た位置（以下、測定位置という）に配置して、干渉縞を
観察することによって、被検レンズの測定を行うことが
できる。ここで、実際上においては、基準レンズには適
切な測定を行うことができる範囲にはある程度の制限が
あることから、通常は、５〜１０種類程度の基準レンズ
を用意しておき、測定の対象とする被検レンズの種類、
即ち凹レンズであるか、凸レンズであるかや、その被検
面の有効口径や曲率半径等に応じて基準レンズを交換し
て用いるようにしている。Generally, if the lens to be tested is a spherical lens, the reference lens is also a spherical lens. Whether the lens to be tested is a convex lens or a concave lens, the radius of curvature of the reference surface of the reference lens and the The lens to be inspected can be measured by arranging the lens at a position separated from the radius of curvature (hereinafter referred to as a measurement position) and observing the interference fringes. Here, in practice, since there is a certain limit to the range in which the reference lens can perform an appropriate measurement, usually, about 5 to 10 types of reference lenses are prepared and Type of target lens to be inspected,
That is, the reference lens is exchanged and used depending on whether it is a concave lens or a convex lens, and the effective aperture and radius of curvature of the surface to be inspected.
【０００４】実際上においては、基準レンズをレーザ光
源や光学系，干渉縞撮像手段等と共に干渉計本体として
組み込み、被検レンズは、レンズマウントに着脱可能に
セットできるように構成し、干渉計本体またはレンズマ
ウントを変位手段に連結して、この変位手段により移動
させることによって、基準レンズと被検レンズとの間の
間隔が測定位置となるように調整するようにしている。In practice, a reference lens is incorporated as an interferometer body together with a laser light source, an optical system, an interference fringe image pickup means, etc., and a lens to be inspected is constructed so that it can be detachably set on a lens mount. Alternatively, the lens mount is connected to the displacing means and is moved by the displacing means so that the distance between the reference lens and the lens under test is adjusted to the measurement position.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】前述したように、干渉
計本体に装着される基準レンズは、複数種類の中から選
択されることから、被検レンズの測定を行うに先立っ
て、現に干渉計本体に装着されている基準レンズにより
測定可能か否かの確認を行い、測定に適さない基準レン
ズが装着されている場合には、その交換を行った後に、
基準レンズと被検レンズとの間の相対位置が測定位置と
なるように位置調整するという、測定準備作業が必要と
なる。この測定準備作業は、被検レンズの基準となる基
準原器、即ちニュートンゲージをセットして、被検レン
ズ側または基準レンズ側を光軸方向に変位させることに
より行われる。而して、従来は、この測定準備作業は実
際に干渉縞をモニタ等に表示して、作業者がこの干渉縞
映像を観察しながら基準レンズと被検レンズとの相対位
置を変化させて、干渉縞の本数が最小となるように調整
するようにしており、この作業はかなりの熟練度を必要
とし、かつ作業性が悪く、その自動化を図るのは極めて
困難である。しかも、測定を行う被検レンズを変える毎
にこの測定準備作業を行わなければならないことから、
特に多品種の被検レンズを測定する際にはこの作業は極
めて煩雑であり、作業効率が著しく低下する等の欠点が
ある。As described above, since the reference lens attached to the interferometer body is selected from a plurality of types, the interferometer is actually used before the measurement of the lens to be inspected. Check whether it is possible to measure with the reference lens attached to the main body, and if a reference lens not suitable for measurement is attached, after replacing it,
A measurement preparation work is required to adjust the relative position between the reference lens and the lens to be inspected so as to be the measurement position. This measurement preparation work is performed by setting a reference prototype, which is a reference of the lens to be inspected, that is, a Newton gauge, and displacing the inspected lens side or the reference lens side in the optical axis direction. Thus, conventionally, this measurement preparation work actually displays the interference fringes on a monitor or the like, and the operator changes the relative position between the reference lens and the test lens while observing the interference fringe image, The adjustment is made so that the number of interference fringes is minimized. This work requires a considerable degree of skill and the workability is poor, and it is extremely difficult to automate the work. Moreover, since this measurement preparation work must be performed every time the lens under measurement to be measured is changed,
Especially, when measuring many kinds of test lenses, this work is extremely complicated, and there is a drawback that work efficiency is significantly reduced.
【０００６】本発明は以上の点に鑑みてなされたもので
あって、その目的とするところは、干渉計本体に装着さ
れている基準レンズと被検レンズとが測定位置となるよ
うに調整する作業を容易に行うことができるようにする
ことにある。The present invention has been made in view of the above points, and its object is to adjust the reference lens and the lens to be inspected, which are mounted on the interferometer main body, to be at the measurement positions. It is to be able to perform the work easily.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明の干渉計装置は、干渉計本体に設けた基
準レンズの基準面に光源からの光を一部を反射させ、こ
の基準レンズを透過する光を被検レンズにも反射させ
て、両反射光の間で干渉縞を発生させることにより被検
レンズの表面状態の検査を行うものであって、前記基準
レンズまたは被検レンズがセットされるレンズマウント
の少なくとも一方を変位手段に装着して光軸方向に位置
調整可能となし、被検レンズに応じて基準レンズを交換
可能とした干渉計装置であって、前記干渉計本体に装着
されている基準レンズの基準面の曲率半径及び有効口径
を検出する基準レンズ検出手段と、前記変位手段による
基準レンズまたは被検レンズの位置を検出する位置検出
手段と、前記基準レンズ検出手段及び位置検出手段から
の信号に基づいて、この基準レンズの被検レンズに対す
る相対位置において、測定可能な被検レンズの曲率半径
を割り出す曲率半径演算手段とを備える構成としたこと
をその特徴とするものである。In order to achieve the above-mentioned object, the interferometer device of the present invention partially reflects light from a light source on a reference surface of a reference lens provided in an interferometer body, A method for inspecting the surface condition of a lens to be inspected by reflecting light passing through a reference lens also to the lens to be inspected and generating interference fringes between the two reflected lights. An interferometer device in which at least one of lens mounts on which lenses are set is mounted on a displacement means so that position adjustment is possible in the optical axis direction, and a reference lens can be exchanged according to a lens to be inspected. Reference lens detecting means for detecting the radius of curvature and effective aperture of the reference surface of the reference lens mounted on the main body, position detecting means for detecting the position of the reference lens or the lens under test by the displacing means, and the reference lens. And a radius-of-curvature calculating means for calculating a measurable radius of curvature of the test lens at the relative position of the reference lens to the test lens based on signals from the position detection means and the position detection means. It is a feature.
【０００８】[0008]
【作用】干渉計本体に装着されている基準レンズの基準
面がある曲率半径を持ったものである場合において、測
定位置は、この基準面の曲率半径と、被検レンズの被検
面の曲率半径との和または差に相当する距離だけ離した
位置となる。なお、基準レンズの基準面，被検レンズの
被検面が共に凹球面の場合には、測定位置は両レンズの
曲率半径の和に相当する距離だけ離した位置とし、いず
れか一方が凹球面で、他方が凸球面である場合には、測
定位置は両レンズをそれらの曲率半径の差分の距離だけ
離した位置となる。即ち、基準レンズの基準面の曲率半
径と、この基準レンズの現在の位置における被検レンズ
がセットされるレンズマウントとの距離とが判明すれ
ば、その状態において測定できる被検レンズの曲率半径
を割り出すことができる。そして、この曲率半径をモニ
タ装置等の表示手段に表示させた状態で変位手段を作動
させれば、表示手段に表示される測定可能な被検レンズ
の曲率半径の表示がそれに応じて変化する。従って、こ
の表示を目視しながら、変位手段により当該の被検レン
ズの曲率半径が表示手段に表示される位置にまで基準レ
ンズまたは被検レンズを移動させれば、その位置が測定
位置となる。従って、測定準備作業を極めて容易に、し
かも迅速かつ円滑に行うことができる。When the reference surface of the reference lens mounted on the interferometer body has a certain radius of curvature, the measurement position is the radius of curvature of this reference surface and the curvature of the surface to be measured of the lens to be measured. The positions are separated by a distance corresponding to the sum or difference with the radius. When both the reference surface of the reference lens and the surface to be inspected of the lens to be inspected are concave spherical surfaces, the measurement position is separated by a distance corresponding to the sum of the radii of curvature of both lenses, and one of them is a concave spherical surface. Then, when the other is a convex spherical surface, the measurement position is a position where both lenses are separated by the distance of the difference between their radii of curvature. That is, if the radius of curvature of the reference surface of the reference lens and the distance from the lens mount on which the lens under test is set at the current position of this reference lens are known, the radius of curvature of the lens under test that can be measured in that state is determined. You can figure it out. Then, when the displacement means is operated while the radius of curvature is displayed on the display means such as a monitor device, the display of the measurable radius of curvature of the lens to be measured displayed on the display means changes accordingly. Therefore, if the reference lens or the test lens is moved to a position where the radius of curvature of the test lens is displayed on the display means by the displacement means while observing this display, the position becomes the measurement position. Therefore, the measurement preparation work can be performed extremely easily, quickly and smoothly.
【０００９】また、表示手段に測定可能な被検レンズの
曲率半径だけでなく、基準レンズの基準面の曲率半径，
有効口径及び測定範囲をも表示できるようにしておけ
ば、この表示を目視することによって、現に干渉計本体
に装着されている基準レンズによって測定しようとする
被検レンズが実際に測定できるか否かの判断も容易に行
うことができる。Not only the radius of curvature of the lens to be measured which can be measured on the display means, but also the radius of curvature of the reference surface of the reference lens,
If the effective aperture and measurement range can also be displayed, by visually observing this display, it can be determined whether or not the test lens to be measured can actually be measured by the reference lens currently mounted on the interferometer body. Can be easily determined.
【００１０】さらに、この測定位置への変位操作を自動
化するには、測定可能な被検レンズの曲率半径を割り出
す曲率半径演算手段に曲率半径入力手段を接続し、この
曲率半径入力手段に測定しようとする被検レンズの被検
面の曲率半径を入力する。これによって、変位手段が作
動して、基準レンズまたは被検レンズがセットされるレ
ンズマウントが入力された曲率半径の位置まで変位し
て、当該の位置で変位手段が停止することによって、確
実に測定位置に変位させることができる。Further, in order to automate the displacement operation to this measurement position, connect the curvature radius input means to the curvature radius calculation means for calculating the measurable curvature radius of the lens to be measured, and measure to this curvature radius input means. Enter the radius of curvature of the surface to be inspected of the lens to be inspected. As a result, the displacement means is actuated, the reference lens or the lens mount on which the lens to be measured is set is displaced to the position of the input radius of curvature, and the displacement means stops at that position, so that the measurement can be reliably performed. It can be displaced into position.
【００１１】[0011]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。まず、図１及び図２に本発明の実施例を示
す。図中、１は干渉計本体を示し、この干渉計本体１は
本体ケーシング２に装着されている。この本体ケーシン
グ２は、内部に空気擾乱が生じるのを防止する等のため
に、密閉された空間となっており、干渉計本体１はその
天板部２ａに変位手段としての昇降手段３によって上下
方向に変位可能に装着されている。また、天板部２ａに
は開口４が形成されており、干渉計本体１からのレーザ
光は、この開口４を介して外部に導出できるようになっ
ている。表面状態の測定が行われる被検レンズ５は、こ
の開口４の上面側に配設したレンズマウント６に、その
被検面５ａが干渉計本体１側を向くようにしてセットさ
れるように構成されている。Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. First, FIGS. 1 and 2 show an embodiment of the present invention. In the figure, 1 indicates an interferometer main body, and this interferometer main body 1 is attached to a main body casing 2. The main body casing 2 is a hermetically sealed space in order to prevent air turbulence from occurring inside, and the interferometer main body 1 is moved up and down by a lifting means 3 as a displacement means on its top plate portion 2a. It is mounted so that it can be displaced in any direction. Further, an opening 4 is formed in the top plate portion 2a, and the laser light from the interferometer main body 1 can be led out to the outside through the opening 4. The lens 5 to be inspected whose surface state is to be measured is set on the lens mount 6 arranged on the upper surface side of the opening 4 so that the surface 5 a to be inspected faces the interferometer body 1 side. Has been done.
【００１２】干渉計本体１の一例を図２に示す。この図
に示されているのは、所謂フィゾー型の干渉計である
が、本発明で用いられる干渉計としては、このタイプの
ものに限定されないことはいうまでもない。而して、同
図において、１０はＨｅ−Ｎｅレーザ等からなるレーザ
発振器１０であって、このレーザ発振器１０から出力さ
れたレーザ光はビーム発散用の発散レンズ１１によっ
て、一度集光させた後に、発散させる。そして、この発
散レンズ１１の集光位置にはピンホール１２が配設され
ており、これによって集光した光以外を光路からカット
するようにしている。ピンホール１２を通過した光はビ
ームスプリッタ１３の反射面１３ａに反射せしめられ
る。このビームスプリッタ１３での反射光は１／４波長
板１４を介してコリメータレンズ１５によって平行光と
なされ、この平行光は基準部材としての基準レンズ１６
に入射される。基準レンズ１６の入射面１６ａは反射防
止コーティングが施されており、またこの入射面１６ａ
とは反対側の面は基準面１６ｂで、この基準面１６ｂか
らの反射光は、被検レンズ５の被検面５ａから反射する
物体光である測定波面に対し、参照光として基準波面を
形成する。An example of the interferometer body 1 is shown in FIG. Although a so-called Fizeau interferometer is shown in this figure, it goes without saying that the interferometer used in the present invention is not limited to this type. In the figure, 10 is a laser oscillator 10 composed of a He-Ne laser or the like, and the laser light output from this laser oscillator 10 is once condensed by a diverging lens 11 for beam divergence. , Diverge. A pinhole 12 is provided at the condensing position of the diverging lens 11 so that light other than the condensed light is cut from the optical path. The light passing through the pinhole 12 is reflected by the reflecting surface 13a of the beam splitter 13. The reflected light from the beam splitter 13 is collimated by a collimator lens 15 via a quarter-wave plate 14, and the collimated light is a reference lens 16 as a reference member.
Is incident on. The incident surface 16a of the reference lens 16 is provided with an antireflection coating, and the incident surface 16a
The surface on the side opposite to is a reference surface 16b, and the reflected light from this reference surface 16b forms a reference wavefront as reference light with respect to the measurement wavefront which is the object light reflected from the surface 5a to be measured of the lens 5 to be measured. To do.
【００１３】レンズマウント６に被検レンズ５が装着さ
れると、レーザ発振器１０からレーザ導光用光学系を構
成する発散レンズ１１，ピンホール１２，ビームスプリ
ッタ１３，１／４波長板１４及びコリメータレンズ１５
を経て基準レンズ１６に入射され、その一部はこの基準
レンズ１６の基準面１６ｂで反射し、他は被検レンズ５
に入射されて、この被検レンズ５の被検面５ａで反射す
る。基準レンズ１６の基準面１６ｂ及び被検レンズ５の
被検面５ａからの反射光はコリメータレンズ１５により
収束せしめられながら、１／４波長板１４を経てビーム
スプリッタ１３に戻される。ここで、この戻り光はビー
ムスプリッタ１３の反射面１３ａを透過する。そして、
このビームスプリッタ１３の透過光の光路には、絞り１
７及び結像レンズ１８が設けられており、この結像レン
ズ１８の結像位置に、基準面１６ｂからの参照光と被検
面５ａからの物体光との間の干渉作用によって、干渉縞
が結像される。この結像位置にＣＣＤ等からなる撮像手
段１９が設けられており、この撮像手段１９で干渉縞が
撮影される。そして、この撮像手段１９はモニタ装置２
０と接続されており、このモニタ装置２０の画面２０ａ
に干渉縞映像が表示される。When the lens 5 to be inspected is mounted on the lens mount 6, the laser oscillator 10 forms a diverging lens 11, a pinhole 12, a beam splitter 13, a quarter wave plate 14 and a collimator which constitute an optical system for guiding a laser. Lens 15
The light is incident on the reference lens 16 through the reference lens 16, part of which is reflected by the reference surface 16b of the reference lens 16, and the other is reflected by the lens 5 to be measured.
And is reflected by the surface 5a to be inspected of the lens 5 to be inspected. The reflected light from the reference surface 16b of the reference lens 16 and the test surface 5a of the test lens 5 is converged by the collimator lens 15 and returned to the beam splitter 13 via the quarter-wave plate 14. Here, this return light is transmitted through the reflecting surface 13 a of the beam splitter 13. And
In the optical path of the transmitted light of the beam splitter 13, the stop 1
7 and the imaging lens 18 are provided, and an interference fringe is formed at the imaging position of the imaging lens 18 by the interference action between the reference light from the reference surface 16b and the object light from the surface 5a to be measured. It is imaged. An image pickup unit 19 including a CCD or the like is provided at this image forming position, and an interference fringe is photographed by this image pickup unit 19. The image pickup means 19 is used as the monitor device 2.
0 is connected to the screen 20a of the monitor device 20.
The interference fringe image is displayed on.
【００１４】以上のように、干渉縞を観察することによ
って、被検レンズ５の表面状態の検査が行われるが、こ
の被検レンズ５の検査を正確に行うには、被検レンズ５
がレンズマウント６に正確に位置決めしなければならな
いことは当然として、この被検レンズ５と基準レンズ１
６との間が所定の相対位置関係となるように調整されて
いなければならない。しかも、単一の種類の被検レンズ
の測定だけでなく、複数の種類の被検レンズが適宜交換
して測定されるようになっている。As described above, the surface state of the lens 5 to be inspected is inspected by observing the interference fringes. To accurately inspect the lens 5 to be inspected, the lens 5 to be inspected
Of course must be accurately positioned on the lens mount 6, and the lens 5 under test and the reference lens 1
6 and 6 must be adjusted so as to have a predetermined relative positional relationship. Moreover, not only a single type of test lens is measured, but also a plurality of types of test lenses are appropriately exchanged for measurement.
【００１５】而して、図３に示したように、被検レンズ
５が球面レンズである時には、それが凹球面であれ、凸
球面であれ、基準レンズ１６の基準面１６ｂを凹球面と
なし、被検レンズが凹レンズ５Ｐの場合には、基準レン
ズ１６から、基準レンズ１６の曲率半径Ｒ1 と被検レン
ズ５Ｐの曲率半径Ｒ2 との合計に相当する間隔Ｄ1 だけ
離した位置に配置すれば、当該位置では干渉縞が最小と
なり、この時の干渉縞の数の計測等を行えば、被検レン
ズの表面状態の測定が可能となる。また、被検レンズが
凸レンズ５Ｖである場合には、基準レンズ１６の曲率半
径Ｒ1 とこの被検レンズ５Ｖの曲率半径Ｒ3 との差に相
当する間隔Ｄ2 だけ離した位置に配置する。従って、こ
のように基準レンズ１６と被検レンズ５とが所定の間隔
をもった位置関係が測定位置であり、被検レンズ５の測
定を行う際には、まず基準レンズ１６と被検レンズ５と
の間の位置関係の調整を行う必要がある。Thus, as shown in FIG. 3, when the lens 5 to be tested is a spherical lens, whether it is a concave spherical surface or a convex spherical surface, the reference surface 16b of the reference lens 16 is a concave spherical surface. If the lens to be inspected is the concave lens 5P, it is arranged at a position separated from the reference lens 16 by an interval D 1 corresponding to the sum of the radius of curvature R 1 of the reference lens 16 and the radius of curvature R 2 of the lens to be inspected 5P. Then, the interference fringe becomes the minimum at the position, and the surface condition of the lens to be inspected can be measured by measuring the number of the interference fringes at this time. When the lens to be inspected is the convex lens 5V, it is arranged at a position separated by a distance D 2 corresponding to the difference between the radius of curvature R 1 of the reference lens 16 and the radius of curvature R 3 of the lens to be inspected 5V. Therefore, in this way, the positional relationship between the reference lens 16 and the lens 5 to be inspected is a measurement position, and when the lens 5 to be inspected is measured, first the reference lens 16 and the lens 5 to be inspected It is necessary to adjust the positional relationship between and.
【００１６】ただし、被検レンズとして、符号５Ｌで示
したように、有効口径に対して曲率半径の小さな被検面
を持ったのレンズである場合には、このレンズ５Ｌの周
辺部にはレーザ光が当らないことになり、また符号５Ｓ
で示した有効口径に対して曲率半径が小さい被検面を持
ったレンズでは、モニタ画面２０ａに表示される干渉縞
の映像が小さくなり、その観察が困難となる。さらに、
被検レンズが凸レンズ５Ｖである場合には、基準レンズ
１６の曲率半径Ｒ1 以上のレンズは測定できない。そし
て、被検レンズ５側を可動にするにしろ、基準レンズ１
６が装着されている干渉計本体１を可動にするにしろ、
当然にその可動範囲に制限がある。以上のことから、基
準レンズには測定範囲に制限があり、被検レンズによっ
ては現に干渉計本体１に装着されている基準レンズ１６
では測定不能な場合がある。従って、被検レンズの種類
に応じて干渉計本体１に装着されている基準レンズを交
換しなければならないこともある。However, when the lens to be inspected is a lens having a surface to be inspected having a small radius of curvature with respect to the effective aperture, as indicated by reference numeral 5L, a laser is provided in the peripheral portion of this lens 5L. It will not be exposed to light, and the code is 5S.
With a lens having a surface to be inspected, whose radius of curvature is smaller than the effective aperture shown in, the image of the interference fringes displayed on the monitor screen 20a becomes small and its observation becomes difficult. further,
When the lens to be inspected is the convex lens 5V, a lens having a radius of curvature R 1 or more of the reference lens 16 cannot be measured. Then, even if the lens 5 side to be inspected is movable, the reference lens 1
Make the interferometer body 1 to which 6 is attached movable,
Naturally, there is a limit to the movable range. From the above, the reference lens has a limited measuring range, and depending on the lens to be inspected, the reference lens 16 currently mounted on the interferometer main body 1
May not be measurable. Therefore, the reference lens mounted on the interferometer body 1 may need to be replaced depending on the type of the lens to be inspected.
【００１７】基準レンズ１６と被検レンズ５との間の位
置関係の調整は、被検レンズ５に応じて基準レンズ１６
を変化させることにより行われるようになっている。即
ち、干渉計本体１は昇降手段３に装着されて、上下方向
に移動可能となっており、被検レンズ５がセットされる
レンズマウント６は、干渉計本体１の光軸方向には実質
的に固定されており、測定位置に変位させるのは、第一
義的には、基準レンズ１６を変位させることにより行わ
れるようになっている。ただし、レンズマウント６は、
最終的にその位置を微調整できるようになされている。The positional relationship between the reference lens 16 and the lens 5 to be inspected is adjusted according to the lens 5 to be inspected.
Is performed by changing. That is, the interferometer main body 1 is attached to the elevating means 3 and is movable in the vertical direction, and the lens mount 6 on which the lens 5 to be inspected is set is substantially in the optical axis direction of the interferometer main body 1. It is fixed to the first position, and the displacement to the measurement position is performed primarily by displacing the reference lens 16. However, the lens mount 6
Finally, the position can be finely adjusted.
【００１８】而して、昇降手段３は、本体ケーシング２
に設けたガイド２１を有し、このガイド２１に昇降ブロ
ック２２を昇降自在に連結して、この昇降ブロック２２
に送りねじ２３を挿通させるようにしている。そして、
この送りねじ２３は笠歯車伝達手段２４を介してステッ
ピングモータ等のように、微細位置決めが可能な駆動手
段２５に接続されている。昇降ブロック２２には干渉計
本体１が連結されており、従って駆動手段２５を作動さ
せると、干渉計本体１が昇降駆動されるようになってい
る。一方、レンズマウント６は、本体ケーシング２の天
板部２ａの上面において、開口４を囲繞するように設け
た基台２６に水平方向に位置調整可能なＸＹステージ２
７を設け、さらにこのＸＹステージ２７上に高さ微調整
手段２８を設置し、この高さ調整手段２８上に被検レン
ズ５がセットされるレンズセット部２９が設けられてい
る。Thus, the elevating means 3 comprises the body casing 2
Has a guide 21 provided on the upper and lower sides thereof, and an elevating block 22 is movably connected to the guide 21.
The feed screw 23 is inserted through the. And
The feed screw 23 is connected via a bevel gear transmission means 24 to a driving means 25 capable of fine positioning, such as a stepping motor. The interferometer body 1 is connected to the elevating block 22, and therefore, when the driving means 25 is operated, the interferometer body 1 is vertically driven. On the other hand, the lens mount 6 has an XY stage 2 whose position can be adjusted in the horizontal direction on a base 26 provided so as to surround the opening 4 on the upper surface of the top plate 2 a of the main body casing 2.
7, a fine height adjusting means 28 is installed on the XY stage 27, and a lens setting section 29 on which the lens 5 to be inspected is set is provided on the height adjusting means 28.
【００１９】そこで、このレンズマウント６の構成を図
４に示す。基台２６上に設けられるＸＹステージ２７
は、この基台２６上に設けたＸ軸ガイドレール２７ａに
ガイドされる第１のテーブル２７ｂにＹ軸ガイドレール
２７ｃを設け、このＹ軸ガイドレール２７ｃによりガイ
ドされる第２のテーブル２７ｄとから構成されるＸＹテ
ーブルを有し、このＸＹテーブルを構成する第１及び第
２のテーブル２７ｂ，２７ｄはそれぞれマイクロメータ
ヘッド２７ｅ，２７ｆによって位置微調整可能となって
いる。これらによって、レンズセット部２９の水平方向
の位置、即ち干渉計本体１の光軸と直交する方向の位置
を調整できるようになる。The structure of this lens mount 6 is shown in FIG. XY stage 27 provided on the base 26
Is provided with a Y-axis guide rail 27c on a first table 27b guided by an X-axis guide rail 27a provided on the base 26, and a second table 27d guided by the Y-axis guide rail 27c. The first and second tables 27b and 27d forming the XY table are configured by micrometer heads 27e and 27f, respectively, and their positions can be finely adjusted. As a result, the horizontal position of the lens setting unit 29, that is, the position in the direction orthogonal to the optical axis of the interferometer body 1 can be adjusted.
【００２０】また、第２のテーブル２７ｄには、高さ調
整リング２８ａがボルト等の手段によって固着して設け
られている。この高さ調整リング２８ａの外面にはねじ
が設けられており、この高さ調整リング２８ａのねじの
部分に保持部材２８ｂが螺合されている。そして、この
保持部材２８ｂにはレバー２８ｃが連結されており、こ
のレバー２８ｃを回動させることによって、保持部材２
８ｂの高さ位置を調整できるようになっている。従っ
て、これらによって、レンズセット部２９の高さ方向の
位置を微調整する高さ微調整手段２８が構成される。レ
ンズセット部２９は、この保持部材２８ｂに螺挿されて
おり、このレンズセット部２９に被検レンズ５が、その
被検面５ａの外周縁近傍部位が当接するようにセットさ
れる構成となっている。そして、保持部材２８ｂを回動
させることによって、レンズセット部２９の高さを調整
する際に、このレンズセット部２９がそれに連動して回
動しないように保持するために、保持部材２８ｂは回動
部２８ｒ，２８ｔと、この回動部２８ｒ，２８ｔ間にク
ランプされて、レンズセット部２９が直接螺合される保
持体２８ｓとから構成され、保持体２８ｓは高さ調整リ
ング２８ａに装着した回り止めピン２８ｐにより回り止
めされている。A height adjusting ring 28a is fixedly attached to the second table 27d by means such as bolts. A screw is provided on the outer surface of the height adjusting ring 28a, and a holding member 28b is screwed into the screw portion of the height adjusting ring 28a. A lever 28c is connected to the holding member 28b, and the holding member 2 is rotated by rotating the lever 28c.
The height position of 8b can be adjusted. Therefore, by these, height fine adjustment means 28 for finely adjusting the position of the lens setting portion 29 in the height direction is configured. The lens set portion 29 is screwed into the holding member 28b, and the lens 5 to be inspected is set so that the lens 5 to be inspected is brought into contact with the portion of the surface 5a to be inspected near the outer peripheral edge thereof. ing. When the height of the lens set portion 29 is adjusted by rotating the holding member 28b, the holding member 28b is rotated so as to hold the lens set portion 29 so as not to rotate in conjunction with it. It is composed of moving parts 28r and 28t, and a holding body 28s clamped between the rotating parts 28r and 28t and to which the lens setting section 29 is directly screwed. The holding body 28s is attached to the height adjusting ring 28a. It is stopped by a rotation stop pin 28p.
【００２１】干渉計装置は以上のように構成されるもの
であって、所定の曲率半径及び有効口径を有する被検レ
ンズ５の検査・測定を行うに当っては、被検レンズ５を
レンズマウント６にセットして、レーザ発振器１０から
のレーザ光を基準レンズ１６の基準面１６ｂに反射させ
た参照光と被検レンズ５の被検面５ａで反射した物体光
との間で生じる干渉縞をモニタ装置２０の画面２０ａに
表示して、この干渉縞映像を観察することによって、被
検レンズ５の被検面５ａの仕上げ精度の測定が行われ
る。The interferometer device is constructed as described above, and when the inspection lens 5 having a predetermined radius of curvature and effective aperture is inspected and measured, the lens 5 is mounted on the lens mount. 6 is set, and interference fringes generated between the reference light obtained by reflecting the laser light from the laser oscillator 10 on the reference surface 16b of the reference lens 16 and the object light reflected by the test surface 5a of the test lens 5 are set. By displaying this on the screen 20a of the monitor device 20 and observing this interference fringe image, the finishing accuracy of the surface 5a to be inspected of the lens 5 to be inspected is measured.
【００２２】ところで、前述したように、ある有効口径
と曲率半径とを有する被検レンズ５の測定を行うに当っ
ては、現に干渉計本体１に装着されている基準レンズ１
６により測定可能か否かの確認を行い、測定に適さない
基準レンズ１６が装着されている場合には、その交換を
行った後に、基準レンズ１６と被検レンズ５との間の相
対位置が測定位置となるように位置調整を行うという、
測定準備作業を行わなければならない。By the way, as described above, in measuring the lens 5 to be inspected having a certain effective aperture and curvature radius, the reference lens 1 currently mounted on the interferometer body 1 is used.
If the reference lens 16 that is not suitable for the measurement is attached, the relative position between the reference lens 16 and the lens 5 to be inspected is checked after the replacement. To adjust the position to the measurement position,
Measurement preparation work must be performed.
【００２３】この測定準備作業を円滑に行うことができ
るようにするために、モニタ装置２０における画面２０
ａには、スーパーインポーズ方式によって、基準レンズ
１６における基準面１６ｂの曲率半径及び有効口径（Ｆ
ナンバーとして表示される）と、この基準レンズ１６に
より測定可能な被検レンズの曲率半径の範囲と、基準レ
ンズ１６の現在の位置で測定可能な被検レンズの曲率半
径とを、干渉縞映像に重ね合わせて表示できるようにな
っている。そして、これらの情報の表示を可能ならしめ
るために、図５に示したような回路構成が採用されてい
る。In order to smoothly carry out this measurement preparation work, the screen 20 on the monitor device 20 is displayed.
a is the radius of curvature of the reference surface 16b of the reference lens 16 and the effective aperture (F
(Displayed as a number), the range of the radius of curvature of the lens to be measured that can be measured by the reference lens 16, and the radius of curvature of the lens to be measured that can be measured at the current position of the reference lens 16 in an interference fringe image. It is possible to display them on top of each other. Then, in order to enable the display of these information, the circuit configuration as shown in FIG. 5 is adopted.
【００２４】同図において、３０は基準レンズ１６の種
類を検出する基準レンズ検出手段であって、この基準レ
ンズ検出手段３０は、例えば図６に示したような光検出
手段で構成することができる。即ち、基準レンズ１６の
入射面１６ａにおける有効径の部分を避けた位置に光透
過部と光反射部とからなる複数区画のデータ表示域３０
ａを形成し、このデータ表示域３０ａにおける各区画部
に対向させて、反射型の光センサ３０ｂを並べることに
より構成することができる。これによって、各種の基準
レンズがコード化された状態で基準レンズ検出手段３０
により識別されるようになる。例えば、データ表示域を
２箇所設ければ、４種類の基準レンズの識別を行うこと
ができ、また３箇所のデータ表示域を設ければ、８種類
の基準レンズの識別が可能となる。In the figure, reference numeral 30 denotes a reference lens detecting means for detecting the type of the reference lens 16, and the reference lens detecting means 30 can be constituted by a light detecting means as shown in FIG. 6, for example. . That is, the data display area 30 of a plurality of sections including the light transmitting portion and the light reflecting portion is provided at a position avoiding the effective diameter portion of the incident surface 16a of the reference lens 16.
It can be configured by forming a and arranging the reflection type photosensors 30b so as to face each of the divisions in the data display area 30a. As a result, the reference lens detecting means 30 can be used with various reference lenses coded.
Will be identified by. For example, if two data display areas are provided, four types of reference lenses can be identified, and if three data display areas are provided, eight types of reference lenses can be identified.
【００２５】一方、干渉計本体１が連結されている昇降
ブロック２２には、磁気スケール，エンコーダ等のよう
に、その高さ位置を正確に検出できる位置検出手段３１
が設けられている。ここで、位置検出手段３１を例えば
アブソリュート型のエンコーダを用いれば、このエンコ
ーダからの信号のみに基づいて干渉計本体１の高さ位置
を検出できるが、磁気スケールやインクリメンタルエン
コーダ等を用いる場合には、干渉計本体１の原点位置を
検出する手段を備える必要がある。このためには、例え
ば、昇降ブロック２２の最下端位置に、その位置を検出
するフォトセンサ等からなる下端位置検出手段３２を設
け、この下端位置検出手段３２による検出信号を原点信
号として、この原点信号と位置検出手段３１と変位信号
とを高さ位置演算回路３３に入力して、この高さ位置演
算回路３３により干渉計本体１の高さ位置を検出するこ
とができる。なお、以下の説明においては、後者の方式
で基準レンズの高さ位置を検出するようにしたものとし
て説明する。On the other hand, the elevation block 22 to which the interferometer body 1 is connected has a position detecting means 31 capable of accurately detecting the height position thereof, such as a magnetic scale and an encoder.
Is provided. Here, if the position detecting means 31 is, for example, an absolute encoder, the height position of the interferometer main body 1 can be detected based on only a signal from this encoder. However, in the case of using a magnetic scale or an incremental encoder, etc. It is necessary to provide means for detecting the origin position of the interferometer body 1. To this end, for example, a lower end position detecting means 32 including a photo sensor or the like for detecting the position is provided at the lowermost end position of the elevating block 22, and a detection signal by the lower end position detecting means 32 is used as an origin signal, and this origin is used. The signal, the position detection means 31, and the displacement signal are input to the height position calculation circuit 33, and the height position calculation circuit 33 can detect the height position of the interferometer main body 1. In the following description, it is assumed that the height position of the reference lens is detected by the latter method.
【００２６】また、３４はデータ処理回路、３５はレン
ズデータメモリである。レンズデータメモリ３５には、
各種の基準レンズにおける基準面の曲率半径及びＦナン
バーと、この基準レンズにより測定可能な被検レンズの
曲率半径の範囲、及び基準レンズの位置に応じて測定で
きる被検レンズの曲率半径に関するデータが、それぞれ
識別コードと共に記憶されている。Reference numeral 34 is a data processing circuit, and 35 is a lens data memory. In the lens data memory 35,
Data about the radius of curvature of the reference surface and the F number of various reference lenses, the range of the radius of curvature of the lens under test that can be measured by this reference lens, and the data regarding the radius of curvature of the lens under test that can be measured according to the position of the reference lens are available. , Are stored together with the identification code.
【００２７】基準レンズ検出手段３０から出力される基
準レンズ１６の識別コードに関する信号と高さ位置演算
回路３３からの干渉計本体１の高さ位置に関する信号と
は、データ処理回路３４に入力されるようになってい
る。そして、このデータ処理回路３４において、基準レ
ンズの識別データから当該の基準レンズの基準面の曲率
半径及びＦナンバーと、測定可能な被検レンズの曲率半
径の範囲に関する情報がレンズデータメモリ３５から読
み出される。また、この識別データと高さ位置演算回路
３３からの基準レンズの高さ位置検出信号とから、基準
レンズの現在の位置で測定可能な被検レンズの曲率半径
がレンズデータメモリ３５から読み出される。従って、
これら基準レンズ検出手段３０，高さ位置演算回路３
３，データ処理回路３４及びレンズデータメモリ３５に
よって、基準レンズ１６の被検レンズ５に対する相対位
置において、測定可能な被検レンズ５の曲率半径を割り
出す曲率半径演算手段が構成される。The signal relating to the identification code of the reference lens 16 output from the reference lens detecting means 30 and the signal relating to the height position of the interferometer body 1 from the height position calculating circuit 33 are inputted to the data processing circuit 34. It is like this. Then, in the data processing circuit 34, information regarding the radius of curvature and the F number of the reference surface of the reference lens and the measurable range of the radius of curvature of the test lens is read from the lens data memory 35 from the identification data of the reference lens. Be done. Further, the radius of curvature of the lens to be measured, which can be measured at the current position of the reference lens, is read from the lens data memory 35 from the identification data and the reference lens height position detection signal from the height position calculation circuit 33. Therefore,
These reference lens detection means 30 and height position calculation circuit 3
3. The data processing circuit 34 and the lens data memory 35 constitute a radius-of-curvature calculating means for calculating a measurable radius of curvature of the lens 5 to be measured at the relative position of the reference lens 16 to the lens 5 to be measured.
【００２８】データ処理回路３４からの出力信号はデー
タ画像化処理回路３６に入力され、このデータ画像化処
理回路３６によって、撮像手段１９から画像処理回路３
７を経て生成された干渉縞映像信号に重ね合わせて、モ
ニタ装置２０の画面２０ａに、基準レンズにおける基準
面の曲率半径及びＦナンバーと、測定可能な被検レンズ
の曲率半径の範囲、及び現在の位置で測定可能な被検レ
ンズの曲率半径とをスーパーインポーズ方式によって表
示できるようにするための処理が行われるようになって
いる。The output signal from the data processing circuit 34 is input to the data image processing circuit 36, and the data image processing circuit 36 causes the image pickup means 19 to output the image processing circuit 3.
7 is superimposed on the interference fringe image signal generated through 7, and the curvature radius and F number of the reference surface of the reference lens, the measurable range of the curvature radius of the test lens, and the current value are displayed on the screen 20a of the monitor device 20. The processing is performed so that the radius of curvature of the lens to be measured that can be measured at the position can be displayed by the superimpose method.
【００２９】さらに、前述したデータ処理回路３４に
は、キーボード等を備えた入力装置３８が接続されてい
る。そして、この入力装置３８によって、基準レンズに
関するデータを干渉縞映像にスーパーインポーズする複
合映像表示モードと、干渉縞映像を単独で表示する干渉
縞映像表示モードと、基準レンズに関するデータを単独
で表示する基準レンズデータ映像表示モードとの選択を
行うことができるようになっている。このために、デー
タ画像化処理回路３６の出力側には、撮像手段１９によ
る画像処理回路３７からの信号にデータ画像化処理回路
３６からの信号を重ね合わせるために、表示制御回路３
９が設けられる。表示制御回路３９には、これらデータ
画像化処理回路３６からの信号と画像処理回路３７から
の信号とが入力されるようになっており、この表示制御
回路３９はモードの切換機構を有し、入力装置３８から
のモード選択信号が表示制御回路３９に入力されると、
画像処理回路３７からの干渉縞映像信号にデータ画像化
処理回路３６からの基準レンズデータをスーパーインポ
ーズした複合映像信号，画像処理回路３７から得られる
干渉縞情報を単独で表示するための干渉縞映像信号，デ
ータ画像化処理回路３６からの基準レンズデータを単独
で表示するための基準レンズデータ映像信号のいずれか
の映像を選択してモニタ装置２０に出力できるようにな
っている。また、入力装置３８には、測定しようとする
被検レンズの曲率半径を入力できるようになっており、
このように入力された曲率半径に関する信号に基づい
て、データ処理回路３４によって基準レンズをどの位置
に変位させれば良いかの演算が行われる。そして、この
信号は、高さ位置演算回路３３からの出力信号と共にサ
ーボ回路４０に入力されて、このサーボ回路４０からの
信号に基づいて駆動手段２５が作動して、当該の被検レ
ンズの曲率半径に応じた測定位置に被検レンズが変位す
るように干渉計本体１の位置制御が行われるようになっ
ている。Further, an input device 38 having a keyboard or the like is connected to the data processing circuit 34 described above. Then, the input device 38 displays the composite image display mode in which the data regarding the reference lens is superimposed on the interference fringe image, the interference fringe image display mode in which the interference fringe image is displayed alone, and the data regarding the reference lens alone. It is possible to select the reference lens data image display mode to be performed. Therefore, on the output side of the data imaging processing circuit 36, in order to superimpose the signal from the data imaging processing circuit 36 on the signal from the image processing circuit 37 by the imaging means 19, the display control circuit 3
9 is provided. A signal from the data image processing circuit 36 and a signal from the image processing circuit 37 are input to the display control circuit 39. The display control circuit 39 has a mode switching mechanism, When the mode selection signal from the input device 38 is input to the display control circuit 39,
Interference fringes for independently displaying a composite video signal obtained by superimposing the reference lens data from the data imaging processing circuit 36 on the interference fringes video signal from the image processing circuit 37 and the interference fringe information obtained from the image processing circuit 37. The video signal and the reference lens data from the data imaging processing circuit 36 can be selected and output to the monitor device 20 by selecting one of the reference lens data video signals. The input device 38 can input the radius of curvature of the lens to be measured,
Based on the signal relating to the radius of curvature thus input, the data processing circuit 34 calculates to which position the reference lens should be displaced. Then, this signal is input to the servo circuit 40 together with the output signal from the height position calculation circuit 33, the drive means 25 is operated based on the signal from the servo circuit 40, and the curvature of the subject lens to be measured. The position control of the interferometer main body 1 is performed so that the lens to be measured is displaced to the measurement position according to the radius.
【００３０】従って、測定準備作業を行うに当っては、
入力装置３８によりスーパーインポーズする複合映像表
示表示モード（または基準レンズデータ表示モード）を
選択し、モニタ装置２０における画面２０ａにデータが
表示される状態とする。これによって、基準レンズ検出
手段３０により干渉計本体１に現在装着されている基準
レンズ１６に関するデータ、即ち基準レンズ１６におけ
る基準面１６ｂの曲率半径，Ｆナンバー，測定可能な被
検レンズ５の被検面５ａの曲率半径が検出されて、画面
２０ａに表示される。また、この基準レンズ１６の現在
の位置で測定可能な被検レンズ５の被検面の曲率半径も
同時に画面２０ａに表示される。そこで、この表示に基
づいて、測定しようとする被検レンズ５が、現在装着さ
れている基準レンズ１６で実際に測定できるか否かの確
認を行うことができる。従って、この基準レンズ１６で
は被検レンズ５を測定するのに適しない場合には、基準
レンズの交換を行う。Therefore, in performing the measurement preparation work,
The composite image display display mode (or reference lens data display mode) for superimposing is selected by the input device 38, and the data is displayed on the screen 20a of the monitor device 20. As a result, the reference lens detecting means 30 detects data about the reference lens 16 currently mounted on the interferometer body 1, that is, the radius of curvature of the reference surface 16b of the reference lens 16, the F number, and the measurable object lens 5 to be inspected. The radius of curvature of the surface 5a is detected and displayed on the screen 20a. Further, the radius of curvature of the surface to be measured of the lens 5 to be measured, which can be measured at the current position of the reference lens 16, is also displayed on the screen 20a at the same time. Therefore, based on this display, it is possible to confirm whether or not the test lens 5 to be measured can be actually measured by the currently mounted reference lens 16. Therefore, when the reference lens 16 is not suitable for measuring the lens 5 to be inspected, the reference lens is replaced.
【００３１】適正な基準レンズ１６が装着される状態と
なれば、入力装置３８に測定しようとする被検レンズ５
の被検面５ａの曲率半径を入力する。ここで、データ処
理回路３４においては、基準レンズ１６の現在の位置に
おいて、測定可能な被検レンズ５の被検面５ａの曲率半
径が割り出されているので、両信号を比較して、その差
分だけ基準レンズ１６を変位させるための信号がサーボ
回路４０に入力され、このサーボ回路４０による制御信
号に基づいて駆動手段２５が作動して、この基準レンズ
１６で被検レンズ５を測定する位置となるように干渉計
本体１が変位せしめられる。なお、前述した駆動手段２
５では厳格な位置決めができない場合には、さらに高さ
調整手段２８を操作して、レンズマウント６におけるレ
ンズセット部２９の高さ位置を微調整する。When the proper reference lens 16 is mounted, the lens 5 to be measured which is to be measured by the input device 38.
Enter the radius of curvature of the surface 5a to be tested. Here, in the data processing circuit 34, since the measurable radius of curvature of the test surface 5a of the test lens 5 is determined at the current position of the reference lens 16, both signals are compared, and A signal for displacing the reference lens 16 by the difference is input to the servo circuit 40, the driving means 25 is operated based on the control signal from the servo circuit 40, and the position at which the reference lens 16 measures the lens 5 to be measured. The interferometer body 1 is displaced so that The driving means 2 described above
In the case where strict positioning is not possible with No. 5, the height adjusting means 28 is further operated to finely adjust the height position of the lens set portion 29 in the lens mount 6.
【００３２】以上により測定準備作業が終了する。そこ
で、実際に被検レンズ５の測定を行うが、この時におい
ては、モニタ装置２０の画面２０ａにデータがスーパー
インポーズされていると、干渉縞を円滑に観察できない
場合がある。また、このデータは測定準備作業時にのみ
必要なものであるから、入力装置３８を操作して、干渉
縞映像表示モードを選択する。これによって、モニタ装
置２０の画面２０ａには干渉縞映像のみが表示されるこ
とになり、全体にわたって干渉縞の観察を行うことがで
きる。The measurement preparation work is completed as described above. Therefore, the test lens 5 is actually measured, but at this time, if the data is superimposed on the screen 20a of the monitor device 20, the interference fringes may not be observed smoothly. Further, since this data is required only during the measurement preparation work, the input device 38 is operated to select the interference fringe image display mode. As a result, only the interference fringe image is displayed on the screen 20a of the monitor device 20, and the interference fringes can be observed over the entire area.
【００３３】なお、前述の実施例においては、駆動手段
２５により干渉計本体１を昇降駆動することによって、
基準レンズ１６と被検レンズ５との間の相対位置関係を
調整するように構成したが、これに代えてレンズマウン
ト６側を変位させるように構成することもできる。ま
た、基準レンズ側及び被検レンズ側のいずれを変位させ
るにしても、その変位を駆動手段により行うのではな
く、手動操作によって行うようにすることもできる。こ
のように手動操作によって変位させる場合には、モニタ
装置の画面に表示されている被検レンズの測定可能な曲
率半径が実際に測定しようとする被検レンズの曲率半径
と一致する状態となるまで変位させるようにすれば良
い。さらに、前述した各種データは種々の態様で表示さ
せれば良く、例えば、干渉縞映像と基準レンズデータに
関する映像とを選択的に表示したり、またモニタ装置で
は干渉縞映像のみを表示させ、基準レンズに関するデー
タは別個の表示手段に表示させることもでき、この場合
には表示モードを選択する機構を設ける必要はない。In the above-mentioned embodiment, by driving the interferometer body 1 up and down by the driving means 25,
Although the relative positional relationship between the reference lens 16 and the lens 5 to be inspected is adjusted, the lens mount 6 side may be displaced instead. Further, regardless of whether the reference lens side or the test lens side is displaced, the displacement can be performed manually instead of by the driving means. When displacing by manual operation in this way, until the measurable radius of curvature of the lens to be measured displayed on the screen of the monitor matches the radius of curvature of the lens to be actually measured. It may be displaced. Further, the various data described above may be displayed in various modes. For example, an interference fringe image and an image relating to the reference lens data may be selectively displayed, or only the interference fringe image may be displayed on the monitor device. The data regarding the lens can be displayed on a separate display means, and in this case, it is not necessary to provide a mechanism for selecting the display mode.
【００３４】[0034]
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、干渉計
本体に装着されている基準レンズの基準面の曲率半径及
び有効口径を検出する基準レンズ検出手段と、基準レン
ズまたは被検レンズの位置を検出する位置検出手段と、
これら基準レンズ検出手段及び位置検出手段からの信号
に基づいて、この基準レンズの被検レンズに対する相対
位置において、測定可能な被検レンズの曲率半径を割り
出す手段とを備える構成としたので、所定の曲率半径と
有効口径とを有する被検レンズの被検面を検査・測定を
行うに当って、基準レンズとの関係で、被検レンズを実
際に測定できる状態となるように調整する測定準備作業
を極めて容易に、しかも円滑かつ迅速に行うことができ
る等の諸効果を奏する。As described above, according to the present invention, the reference lens detecting means for detecting the radius of curvature and the effective aperture of the reference surface of the reference lens mounted on the main body of the interferometer, and the reference lens or the lens under test are used. Position detecting means for detecting the position,
Based on the signals from the reference lens detection means and the position detection means, means for determining a measurable radius of curvature of the test lens at the relative position of the reference lens with respect to the test lens is provided. When performing inspection / measurement on the surface to be inspected of the lens to be inspected, which has a radius of curvature and an effective aperture, the measurement preparatory work to adjust the lens to be actually measured in relation to the reference lens. It has various effects such that it can be performed extremely easily, smoothly and quickly.
【図１】本発明の一実施例における干渉計装置の全体構
成説明図である。FIG. 1 is a diagram illustrating the overall configuration of an interferometer device according to an embodiment of the present invention.
【図２】干渉計装置における光学システムの構成図であ
る。FIG. 2 is a configuration diagram of an optical system in the interferometer device.
【図３】特定の基準レンズと被検レンズとの間の測定位
置における位置関係を、この基準レンズでは測定できな
い被検レンズと共に示す作用説明図である。FIG. 3 is an operation explanatory diagram showing a positional relationship between a specific reference lens and a test lens at a measurement position together with a test lens that cannot be measured by the reference lens.
【図４】レンズマウントの断面図である。FIG. 4 is a sectional view of a lens mount.
【図５】基準レンズによる被検レンズの測定を行うに当
って、必要な情報の表示を可能とする回路構成図であ
る。FIG. 5 is a circuit configuration diagram that enables display of necessary information when performing measurement of a lens under test with a reference lens.
【図６】基準レンズ検出手段の一例を示す構成説明図で
ある。FIG. 6 is a structural explanatory view showing an example of a reference lens detecting means.
１ 干渉計本体 ３ 昇降手段 ５ 被検レンズ ６ レンズマウント ２０ モニタ装置 ２５ 駆動手段 ２８ 高さ調整手段 ３０ 基準レンズ検出手段 ３１ 位置検出手段 ３３ 高さ位置演算回路 ３４ データ処理回路 ３５ レンズデータメモリ ３６ データ画像化処理回路 ３８ 入力装置 ４０ サーボ回路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Interferometer body 3 Elevating means 5 Lens to be inspected 6 Lens mount 20 Monitor device 25 Driving means 28 Height adjusting means 30 Reference lens detecting means 31 Position detecting means 33 Height position calculating circuit 34 Data processing circuit 35 Lens data memory 36 data Imaging processing circuit 38 Input device 40 Servo circuit
Claims (4)
に光源からの光を一部を反射させ、この基準レンズを透
過する光を被検レンズにも反射させて、両反射光の間で
干渉縞を発生させることにより被検レンズの表面状態の
検査を行うものであって、前記基準レンズまたは被検レ
ンズがセットされるレンズマウントの少なくとも一方を
変位手段に装着して光軸方向に位置調整可能となし、被
検レンズに応じて基準レンズを交換可能とした干渉計装
置において、前記干渉計本体に装着されている基準レン
ズの基準面の曲率半径及び有効口径を検出する基準レン
ズ検出手段と、前記変位手段による基準レンズまたは被
検レンズの位置を検出する位置検出手段と、前記基準レ
ンズ検出手段及び位置検出手段からの信号に基づいて、
この基準レンズの被検レンズに対する相対位置におい
て、測定可能な被検レンズの曲率半径を割り出す曲率半
径演算手段とを備える構成としたことを特徴とする干渉
計装置。1. A part of light from a light source is reflected on a reference surface of a reference lens provided on an interferometer main body, and light passing through the reference lens is also reflected on a lens to be inspected so that the light between the two reflected lights is In order to inspect the surface state of the lens to be inspected by generating interference fringes in the optical axis direction, at least one of the reference lens and the lens mount on which the lens to be inspected is set is attached to the displacement means. In an interferometer device in which position adjustment is possible and a reference lens can be replaced according to a lens to be inspected, reference lens detection for detecting a radius of curvature and an effective aperture of a reference surface of a reference lens mounted on the interferometer body. Means, position detecting means for detecting the position of the reference lens or the subject lens by the displacing means, based on signals from the reference lens detecting means and the position detecting means,
An interferometer device comprising: a radius-of-curvature calculating means for calculating a measurable radius of curvature of the test lens at a relative position of the reference lens to the test lens.
いて、この曲率半径を表示する表示手段を備える構成と
したことを特徴とする請求項１記載の干渉計装置。2. The interferometer apparatus according to claim 1, further comprising display means for displaying the radius of curvature based on a signal from the radius-of-curvature calculation means.
体に装着されている基準レンズの基準面の曲率半径，有
効口径及び測定範囲の少なくともいずれか１つの情報を
表示するものであることを特徴とする請求項２記載の干
渉計装置。3. The display means further displays information of at least one of a radius of curvature of a reference surface of a reference lens mounted on the interferometer body, an effective aperture, and a measurement range. 3. The interferometer device according to claim 2, which is characterized in that.
る被検レンズの曲率半径を入力する曲率半径入力手段を
接続し、この曲率半径入力手段からの入力信号に基づい
て、前記変位手段を作動させて、被検レンズの測定が可
能な位置に、この被検レンズまたは基準レンズを変位さ
せるように構成したことを特徴とする請求項１記載の干
渉計装置。4. The curvature radius calculation means is connected to a curvature radius input means for inputting a curvature radius of a lens to be measured, and the displacement means is operated based on an input signal from the curvature radius input means. The interferometer apparatus according to claim 1, wherein the test lens or the reference lens is displaced to a position where the test lens can be measured.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04277678A JP3118989B2 (en) | 1992-09-24 | 1992-09-24 | Interferometer device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04277678A JP3118989B2 (en) | 1992-09-24 | 1992-09-24 | Interferometer device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06109456A true JPH06109456A (en) | 1994-04-19 |
| JP3118989B2 JP3118989B2 (en) | 2000-12-18 |
Family
ID=17586785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04277678A Expired - Lifetime JP3118989B2 (en) | 1992-09-24 | 1992-09-24 | Interferometer device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3118989B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009080015A (en) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Olympus Corp | Measurement stand and interferometer |
-
1992
- 1992-09-24 JP JP04277678A patent/JP3118989B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009080015A (en) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Olympus Corp | Measurement stand and interferometer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3118989B2 (en) | 2000-12-18 |
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