JPH0610858B2 - Magnetic recording medium - Google Patents

Magnetic recording medium

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JPH0610858B2
JPH0610858B2 JP59278811A JP27881184A JPH0610858B2 JP H0610858 B2 JPH0610858 B2 JP H0610858B2 JP 59278811 A JP59278811 A JP 59278811A JP 27881184 A JP27881184 A JP 27881184A JP H0610858 B2 JPH0610858 B2 JP H0610858B2
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magnetic
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治幸 森田
悠一 久保田
佳子 土屋
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Description

【発明の詳細な説明】 I 発明の背景 技術分野 本発明は、磁気記録媒体に関する。さらに詳しくは、耐
久性改善のため、所定のプラズマ処理を施したベースフ
ィルムを用いた磁気記録媒体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Technical Field The present invention relates to a magnetic recording medium. More specifically, the present invention relates to a magnetic recording medium using a base film that has been subjected to a predetermined plasma treatment in order to improve durability.

先行技術とその問題点 非磁性支持体上に、γ−Fe、Co含有γ−Fe
等の酸化物系磁性粉と結合剤とを主体とする磁性
層を形成した磁気記録媒体が出現してすでに久しい。
Prior art and its problems On a non-magnetic support, γ-Fe 2 O 3 , Co-containing γ-Fe
It has been a long time since a magnetic recording medium having a magnetic layer mainly composed of an oxide magnetic powder such as 2 O 3 and a binder has appeared.

また、最近では、記録密度をさらに向上する目的で、F
e、Co、Ni、Fe−Co、Co−Ni、Re−Co
−Ni、Fe−Co−B、Fe−Co−Cr−B、Mn
−Bi、Mn−Al、Fe−Co−V等の強磁性粉と結
合剤等から成る磁気記録媒体、さらには金属蒸着薄膜や
スパッタ薄膜を磁性層とする磁気記録媒体が実用化さ
れ、脚光をあびつつある。
Further, recently, in order to further improve the recording density, F
e, Co, Ni, Fe-Co, Co-Ni, Re-Co
-Ni, Fe-Co-B, Fe-Co-Cr-B, Mn
A magnetic recording medium composed of ferromagnetic powder such as -Bi, Mn-Al, Fe-Co-V and a binder, and a magnetic recording medium using a metal vapor-deposited thin film or a sputtered thin film as a magnetic layer have been put into practical use, and have been put into the spotlight. I'm dying.

これらの磁気記録媒体においては、特に磁気テープおよ
び磁気ディスクの用途では、摩擦係数が小さく、円滑で
所定な走行性を示すこと、耐摩耗性に優れ、長時間にわ
たって安定走行を行ないうること、置かれた環境条件に
対して安定でいつでも確実な再生ができること、耐久性
のあること等が強く求められる。
In these magnetic recording media, particularly in applications of magnetic tapes and magnetic disks, the friction coefficient is small, smooth and predetermined running property is exhibited, wear resistance is excellent, and stable running can be performed for a long time. There is a strong demand for stable reproduction under any environmental conditions, reliable reproduction at all times, and durability.

従来より、耐久性を改善する目的で、種々のベースフィ
ルムに対する前処理が行なわれてきた。
Conventionally, various base films have been pretreated for the purpose of improving durability.

前処理としては、薬液処理、コーティング処理、コロナ
放電処理等がある。
The pretreatment includes chemical treatment, coating treatment, corona discharge treatment and the like.

薬液処理法としては、酸、アルカリ処理がある。もっと
も効果的な薬液処理方法としては、クロム酸処理液のよ
うな強酸/強酸剤の薬液を用いて表面を酸化させ、カル
ボニル基やカルボキシル基を導入して表面をエッチング
するものがある。
The chemical treatment methods include acid and alkali treatments. The most effective chemical treatment method is to oxidize the surface using a chemical solution of a strong acid / strong acid agent such as a chromic acid treatment solution and introduce a carbonyl group or a carboxyl group to etch the surface.

しかしながら、薬液処理方法においては、フィルム表面
の洗浄、乾燥が必要のみならず、廃液処理に多大な投資
を必要とすることが欠点である。特に、クロム酸処理
は、廃液が公害規制の対象となるので、今日では利用が
少なくなってきている。
However, the chemical solution treatment method has a drawback that not only the cleaning and drying of the film surface are required, but also a large investment is required for waste liquid treatment. In particular, the chromic acid treatment is becoming less used today because the waste liquid is subject to pollution control.

フィルムのコーティング法においては、アンダーコート
に含まれるバインダー系と磁性層との相互作用が必要で
ある。
The film coating method requires interaction between the binder system contained in the undercoat and the magnetic layer.

すなわち、磁性層のバインダー、顔料の組成の変更があ
れば、それに最適なアンダーコーティング組成の選択が
必要である。コーティング法においては、このようなソ
フト技術が必要のみならず、塗布、乾燥のプロセスを準
備することを必要とし、また、コーティング原材料を消
費するため製品のコストアップが避けられない。
That is, if the composition of the binder and pigment of the magnetic layer is changed, it is necessary to select the optimum undercoating composition. In the coating method, not only such a soft technique is required, but also coating and drying processes need to be prepared, and the cost of the product is inevitable because the coating raw material is consumed.

コロナ放電処理は、ドライプロセスであるため、洗浄、
乾燥や廃液処理のプロセスを必要としないことが有利で
ある。
Corona discharge treatment is a dry process, so cleaning,
Advantageously, no drying or effluent treatment processes are required.

このコロナ処理は、古くから行なわれており、接着性、
ぬれ特性、印刷性の改善効果がある。
This corona treatment has been performed for a long time,
It has the effect of improving wettability and printability.

しかし、コロナ処理では、今後ますます要求が厳しくな
る高性能な磁気記録媒体の特性を満足できないという問
題がある。
However, the corona treatment has a problem that it cannot satisfy the characteristics of a high-performance magnetic recording medium which will be required more and more in the future.

その他の方法としては、火炎処理があるが寸法安定性の
要求が厳しく磁気記録媒体には利用できない。
As another method, there is flame treatment, but it is not applicable to magnetic recording media due to strict requirements for dimensional stability.

このような実状からベースフィルムに対するプラズマ処
理の提案がなされている。
From such an actual situation, a plasma treatment for the base film has been proposed.

プラズマ処理法は、一工程のみから成り、ドライプロセ
スであるので乾燥、廃液処理が必要でなく、バインダー
等の原材料を消費しないという利点がある。さらに、プ
ラズマ処理法は、高速での連続生産が可能であるため、
磁気記録媒体製造工程に容易に組み込むことができ、そ
の生産性を阻害しない。
Since the plasma treatment method is composed of only one step and is a dry process, it has advantages that drying and waste liquid treatment are not required and that raw materials such as a binder are not consumed. Furthermore, the plasma treatment method enables continuous production at high speed,
It can be easily incorporated into the magnetic recording medium manufacturing process and does not impede its productivity.

ベースフィルムに対するプラズマ処理としては、例え
ば、特公昭57−42889号には、空気、酸素、窒
素、水素、ヘリウム、アルゴン等を処理ガスとして、ラ
ジオ波あるいはマイクロ波の周波数のプラズマで処理す
る技術が開示されている。
As a plasma treatment for the base film, for example, Japanese Patent Publication No. 57-42889 discloses a technique in which air, oxygen, nitrogen, hydrogen, helium, argon or the like is used as a treatment gas and a plasma having a radio frequency or a microwave frequency is used. It is disclosed.

また、特開昭58−77030号には、酸素、アルゴ
ン、ヘリウム、ネオン、あるいは窒素を処理ガスとし
て、商用周波数にて所定の印加電流でプラズマ処理する
技術が開示されている。
Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-77030 discloses a technique in which oxygen, argon, helium, neon, or nitrogen is used as a processing gas and plasma processing is performed with a predetermined applied current at a commercial frequency.

これらプラズマ処理によれば、磁性層との接着力が向上
し、耐久性が向上する。
By these plasma treatments, the adhesive force with the magnetic layer is improved and the durability is improved.

しかし、接着強度および耐久性の点では未だ不十分であ
る。
However, it is still insufficient in terms of adhesive strength and durability.

II 発明の目的 本発明の目的は、耐久性と磁性層の接着強度とが格段と
向上した、プラズマ処理を施したベースフィルムを用い
た磁気記録媒体を提供することにある。
II OBJECT OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a magnetic recording medium using a plasma-treated base film, which has markedly improved durability and adhesive strength of a magnetic layer.

III 発明の開示 このような目的は下記の本発明によって達成される。III DISCLOSURE OF THE INVENTION Such an object is achieved by the present invention described below.

すなわち本発明は、 NとHとOとを含む無機ガスを処理ガスとし、プラズマ
処理したベースフィルム上に、直接あるいは下地層を介
して、磁性層を形成したことを特徴とする磁気記録媒体
である。
That is, the present invention relates to a magnetic recording medium characterized in that a magnetic layer is formed on a plasma-treated base film directly or through an underlayer using an inorganic gas containing N, H and O as a processing gas. is there.

IV 発明の具体的構成 以下、本発明の具体的構成について詳細に説明する。IV Specific Structure of the Invention Hereinafter, the specific structure of the present invention will be described in detail.

本発明の磁気記録媒体に用いられるベースフィルム材質
としては、非磁性プラスチックであれば特に制限はない
が、通常は、ポリエチレンテレフタレート等のポリエス
テル等を用いる。また、その形状、寸法、厚さには制限
はなく、用途に応じたものとすればよい。
The base film material used in the magnetic recording medium of the present invention is not particularly limited as long as it is a non-magnetic plastic, but polyester such as polyethylene terephthalate is usually used. Further, the shape, size, and thickness are not limited, and may be selected depending on the application.

このようなベースフィルムの少なくとも磁性層形成面に
は、プラズマ処理が施される。
At least the surface of the base film on which the magnetic layer is formed is subjected to plasma treatment.

プラズマ処理法は、処理ガスとして無機ガスを用い、こ
のガスの放電プラズマをベースフィルムに接触させるこ
とによりベースフィルム表面をプラズマ処理するもので
ある。
In the plasma treatment method, an inorganic gas is used as a treatment gas, and discharge plasma of this gas is brought into contact with the base film to perform plasma treatment on the surface of the base film.

原理について概説すると、気体を低圧に保ち電場を作用
させると、気体中に少量存在する自由電子は、常圧に比
べ分子距離が非常に大きいため、電界加速を受け5〜1
0eVの運動エネルギー(電子温度)を獲得する。
The principle is outlined. When a gas is kept at a low pressure and an electric field is applied, the free electrons, which are present in a small amount in the gas, have a very large molecular distance as compared with the normal pressure, and therefore are subjected to an electric field acceleration to 5-1.
Acquires kinetic energy (electron temperature) of 0 eV.

この加速電子が原子や分子に衝突すると、原子軌道や分
子軌道を分断し、これらを電子、イオン、中性ラジカル
など、通常の状態では不安定の化学種に解離させる。
When the accelerated electrons collide with atoms or molecules, the orbits or molecular orbits are separated, and these are dissociated into electrons, ions, neutral radicals, and other normally unstable chemical species.

解離した電子は再び電界加速を受けて、別の原子や分子
を解離させるが、この連鎖作用で気体はたちまち高度の
電離状態となる。そしてこれはプラズマガスと呼ばれて
いる。
The dissociated electrons are again accelerated by the electric field to dissociate another atom or molecule, and the chain action immediately turns the gas into a highly ionized state. And this is called plasma gas.

気体分子は電子との衝突の機会が少ないのでエネルギー
をあまり吸収せず、常温に近い温度に保たれている。
Since gas molecules have few opportunities to collide with electrons, they do not absorb much energy and are kept at a temperature close to room temperature.

このように、電子の運動エネルギー(電子温度)と、分
子の熱運動(ガス温度)が分離した系は低温プラズマと
呼ばれ、ここでは化学種が比較的原型を保つたまま重合
等の加成的化学反応を進めうる状況を創出しており、本
発明はこの状況を利用してベースフィルムをプラズマ処
理しようとするものである。なお低温プラズマを利用す
るため、ベースフィルムの熱影響は全くない。
In this way, the system in which the kinetic energy of electrons (electron temperature) and the thermal motion of molecules (gas temperature) are separated is called low-temperature plasma. Here, chemical species are subjected to addition such as polymerization while keeping their original shape relatively. The present invention seeks to plasma-treat the base film by utilizing this situation. Since the low temperature plasma is used, there is no heat effect on the base film.

プラズマにより、ベースフィルム表面を処理する装置例
が第1図に示してある。第1図は、周波数可変型の電源
を用いたプラズマ処理装置である。
An example of an apparatus for treating the surface of a base film with plasma is shown in FIG. FIG. 1 shows a plasma processing apparatus using a variable frequency power source.

第1図において、反応容器Rには、処理ガス源1または
2から処理ガスがそれぞれマスフローコントローラ3お
よび4を経て供給される。ガス源1または2から別々の
ガスを供給する場合は、混合器5において混合して供給
する。
In FIG. 1, a reaction gas is supplied to a reaction vessel R from a processing gas source 1 or 2 via mass flow controllers 3 and 4, respectively. When different gases are supplied from the gas sources 1 or 2, they are mixed and supplied in the mixer 5.

処理ガスは、各々1〜250ml/分の流量範囲をとりう
る。
The processing gas may have a flow rate range of 1 to 250 ml / min.

反応容器R内には、被処理ベースフィルム支持装置が設
置され、ここでは磁気テープ用のフィルムの処理を目的
として、繰出しロール9と巻取りロール10とが示して
ある。
In the reaction container R, a base film supporting device to be processed is installed, and a feeding roll 9 and a winding roll 10 are shown here for the purpose of processing a film for a magnetic tape.

被処理磁気記録媒体用ベースフィルムの形態に応じて様
々の支持装置が使用でき、例えば載置式の回転支持装置
が使用されうる。
Various supporting devices can be used depending on the form of the base film for the magnetic recording medium to be processed, and for example, a mount-type rotary supporting device can be used.

被処理ベースフィルムを間に挟んで対向する電極7、
7′が設けられており、一方の電極7は周波数可変型の
電源6に接続され、他方の電極7′は8にて接地されて
いる。
Electrodes 7 facing each other with a base film to be processed interposed therebetween,
7'is provided, one electrode 7 is connected to the frequency variable power source 6, and the other electrode 7'is grounded at 8.

さらに、反応容器R内には、容器内を排気するための真
空系統が配備され、そしてこれは液体窒素トラップ1
1、油回転ポンプ12および真空コントローラ13を含
む。これら真空系統は反応容器内を0.01〜10Torr
の真空度の範囲に維持する。
Further, a vacuum system for evacuating the inside of the reaction vessel R is provided in the reaction vessel R, and this is equipped with a liquid nitrogen trap 1.
1, an oil rotary pump 12 and a vacuum controller 13 are included. These vacuum systems use 0.01-10 Torr in the reaction vessel.
Keep within the vacuum range.

操作においては、反応容器R内がまず、10-3Torr以下
になるまで油回転ポンプにより容器内を排気し、その後
処理ガスが所定の流量において容器内に混合状態で供給
される。このとき、反応容器内の真空は0.01〜10
Torrの範囲に管理される。
In the operation, first, the inside of the reaction vessel R is evacuated by an oil rotary pump until it becomes 10 −3 Torr or less, and then the processing gas is supplied in a mixed state into the vessel at a predetermined flow rate. At this time, the vacuum in the reaction vessel is 0.01 to 10
Managed by Torr range.

被処理ベースフィルムの移行速度ならびに処理ガスの流
量が安定すると、周波数可変型電源がオンにされる。こ
うして、移行中のベースフィルムがプラズマ処理され
る。
When the transfer speed of the base film to be processed and the flow rate of the processing gas become stable, the variable frequency power supply is turned on. Thus, the moving base film is plasma-treated.

このようなプラズマ処理において、本発明では、処理ガ
スとして、NとHとOとを含む無機ガスを用いる。
In such plasma processing, the present invention uses an inorganic gas containing N, H, and O as a processing gas.

これらの無機ガスは、N,H,NH,O
,HO,NO,NO,NOなどNOx等の中
から適宜選定し、混合したものを用いればよい。
These inorganic gases are N 2 , H 2 , NH 3 , O 2 ,
O 3, H 2 O, NO , N 2 O, and suitably selected from among NOx, etc., such as NO 2, a may be used a mixture.

この場合、無機ガス中のNの含有量は5〜80at%、H
の含有量は5〜80at%、Oの含有量は0〜50at%であ
る。上記無機ガス中の含有物の含有量範囲が、上記範囲
をはずれると、本発明の実効はなくなる。
In this case, the content of N in the inorganic gas is 5 to 80 at%, H
Content is 5 to 80 at%, and O content is 0 to 50 at%. If the content range of the content in the above-mentioned inorganic gas deviates from the above range, the present invention becomes ineffective.

なお、上記の無機ガス中に、N,H,O以外のガスが含
まれる場合、Ar,Ne,He等の1種ないし2種以上
いずれであつてもよい。
When the above-mentioned inorganic gas contains a gas other than N, H, and O, it may be one or more of Ar, Ne, He, and the like.

さらに、電源の周波数は、10KHz〜200KHzとされ
る。
Further, the frequency of the power supply is set to 10 KHz to 200 KHz.

周波数10KHzより小、ないし200KHzより大となる
と、耐久性が急激に減少し、接着強度が急激に低くな
る。
When the frequency is lower than 10 KHz or higher than 200 KHz, the durability sharply decreases and the adhesive strength sharply lowers.

なお、印加電流、処理時間等は通常の条件とすればよ
い。
The applied current, the processing time, etc. may be set under normal conditions.

このようなプラズマ処理を施されたベースフィルムは、
接触角が低下し、しかもFTIR(フーリエ変換赤外吸
収スペクトル)により、表面が改質され、N−H結合が
生じていることが確認できるものである。
The base film that has been subjected to such plasma treatment,
It can be confirmed that the contact angle is decreased, and the surface is modified by FTIR (Fourier transform infrared absorption spectrum) to generate N—H bond.

このように、プラズマ処理を施されたベースフィルムの
表面に形成される磁性層としては、種々のものが可能で
ある。
As described above, various magnetic layers can be formed as the magnetic layer formed on the surface of the base film that has been subjected to the plasma treatment.

例えば、鉄、コバルト、ニッケル等の磁性金属ないしそ
れらの合金を、真空蒸着、イオンプレーティング、スパ
ッタリング、メッキ等の手段によって被着するものであ
ってもよい。
For example, a magnetic metal such as iron, cobalt, nickel or an alloy thereof may be deposited by means such as vacuum deposition, ion plating, sputtering and plating.

また、磁性粉末、バインダー、有機溶剤、そして必要な
その他の成分からなる磁性塗料を塗布菓燥して設置した
ものであってもよい。
Further, it may be installed by coating and drying a magnetic paint comprising a magnetic powder, a binder, an organic solvent, and other necessary components.

この場合、磁性粉末としては、 γ−Fe、Fe、Co含有γ−Fe
、Co含有Fe、Fe等いずれであっても
よい。また、バインダー等にも制限はない。
In this case, as the magnetic powder, γ-Fe 2 O 3 , Fe 3 O 4 , and Co-containing γ-Fe are used.
Any of 2 O 3 , Co-containing Fe 3 O 4 , Fe and the like may be used. Also, there is no limitation on the binder and the like.

そして、これらの磁性層は、ベースフイルムのプラズマ
処理面上に直接形成してもよク、あるいは下地層を介し
て設層してもよい。
These magnetic layers may be formed directly on the plasma-treated surface of the base film, or may be provided via an underlayer.

下地層としては、アルミニウム、銅、チタン、クロム等
の合金をイオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリ
ング等によって形成したものであってもよい。
The underlayer may be formed of an alloy of aluminum, copper, titanium, chromium or the like by ion plating, vacuum deposition, sputtering or the like.

また、樹脂を塗布してもよい。この場合、樹脂層中に微
粒子を含有させることもできる。
Alternatively, a resin may be applied. In this case, the resin layer may contain fine particles.

V 発明の具体的作用効果 本発明の磁気記録媒体は、各種の用途に用いられる。V Specific Action and Effect of the Invention The magnetic recording medium of the present invention is used for various purposes.

本発明によれば、N,H,Oを用い、より好ましくはプ
ラズマ周波数を特定範囲に制御するので、接触角が大き
く低下し、耐久性が臨界的に向上する。特に、スチル特
性が格段と向上し、耐久走行性が格段と向上する。ま
た、直接ないし下地層を介して設置される各種磁性層と
の接着強度も格段と向上する。
According to the present invention, N, H, and O are used, and more preferably, the plasma frequency is controlled within a specific range, so that the contact angle is greatly reduced and durability is critically improved. In particular, the still characteristics are remarkably improved and the durability running property is remarkably improved. Further, the adhesive strength with various magnetic layers provided directly or via the underlayer is also remarkably improved.

VI 発明の具体的実施例 以下、本発明の具体的実施例を示し、本発明をさらに詳
細に説明する。
VI Specific Examples of the Invention Hereinafter, the present invention will be described in more detail by showing specific examples of the invention.

実施例1 10μmのポリエチレンテレフタレート(PET)製のベー
スフィルムに対して、下記に示すような混合ガスを処理
ガスとしてプラズマ処理した。
Example 1 A 10 μm polyethylene terephthalate (PET) base film was subjected to plasma treatment using a mixed gas as shown below as a treatment gas.

プラズマ処理条件は下記に示す通りとした。The plasma treatment conditions were as shown below.

処理条件1 処理ガス:NH:Ar=10:1の混合 ガスとした。Processing condition 1 Processing gas: a mixed gas of NH 3 : Ar = 10: 1.

ガス流量:50ml/分 真空度 :0.1Torr 電 源:100KHz ベースフィルム走行速度:30m/分 処理条件2 処理ガス:NH ガス流量:100ml/分 真空度 :0.1Torr 電 源:100KHz ベースフィルム走行速度:30m/分 処理条件3 処理ガス:NO:H=3:1の混合 ガスとした。Gas flow rate: 50 ml / min Vacuum degree: 0.1 Torr power source: 100 KHz Base film running speed: 30 m / min Processing condition 2 Processing gas: NH 3 Gas flow rate: 100 ml / min Vacuum degree: 0.1 Torr power source: 100 KHz base film Traveling speed: 30 m / min Processing condition 3 Processing gas: NO 2 : H 2 = 3: 1 mixed gas.

ガス流量:100ml/分 真空度 :0.1Torr 電 源:150KHz ベースフィルム走行速度:30m/分 処理条件4 処理ガス:NH:O=5:1の混合 ガスとした。Gas flow rate: 100 ml / min Vacuum degree: 0.1 Torr Power source: 150 KHz Base film running speed: 30 m / min Processing condition 4 Processing gas: NH 3 : O 2 = 5: 1 mixed gas.

ガス流量:50ml/分 真空度 :0.01Torr 電 源:50KHz ベースフィルム走行速度:30m/分 処理条件5 処理条件1において、電源を13.56MHzとし。その
他の条件は処理条件1の場合と同様した。
Gas flow rate: 50 ml / min Vacuum degree: 0.01 Torr Power source: 50 KHz Base film running speed: 30 m / min Processing condition 5 Under processing condition 1, the power supply was 13.56 MHz. The other conditions were the same as those of the processing condition 1.

処理条件6 処理条件1において、電源を500KHzとし。その他の
条件は処理条件1の場合と同様とした。
Processing condition 6 In processing condition 1, the power supply was set to 500 KHz. The other conditions were the same as those in the processing condition 1.

処理条件7 コロナ放電処理を実施した。コロナ放電処理は、ピラー
社製コロナ処理機P−500VAを用いてフィルム処理
速度30m/分、電圧200Vで実施した。
Treatment condition 7 Corona discharge treatment was performed. The corona discharge treatment was carried out at a film processing speed of 30 m / min and a voltage of 200 V using a corona processor P-500VA manufactured by Pillar Co., Ltd.

処理条件8 処理条件1において、処理ガスをArとした。Processing condition 8 In processing condition 1, the processing gas was Ar.

処理条件9 処理条件5において、処理ガスをArとした。Processing condition 9 In processing condition 5, the processing gas was Ar.

処理条件10 処理条件6において、処理ガスをArとした。Processing condition 10 In processing condition 6, the processing gas was Ar.

さらに、このように処理された各ポリエステルフィルム
上に、下記に示すような方法で磁性層を設け、下記表1
〜3に示される各種磁気テープを作製した。
Further, a magnetic layer was formed on each of the polyester films thus treated by the method as shown below, and
Various magnetic tapes shown in FIGS.

磁性層1 Fe−Co金属粉 100部 研磨剤(Al 3部 ニトロセルロース 6部 エポキシ樹脂 (商品名エピコート1004) 4部 ポリウレタン (商品名ニッポラン5033) 10部 溶剤 250部 上記組成物をサウンドミルにて5時間分散させ、イソシ
アネート(コロネートL)4部を加え、磁性配向処理を
施しながら上記の処理をした10μmのポリエチレンテ
レフタレートに塗布した。
Magnetic layer 1 Fe-Co metal powder 100 parts abrasive (Al 2 O 3 3 parts Nitrocellulose 6 parts Epoxy resin (trade name Epikote 1004) 4 parts polyurethane (sound trade name NIPPOLAN 5033) 10 parts Solvent 250 parts The above composition The mixture was dispersed in a mill for 5 hours, 4 parts of isocyanate (Coronate L) was added, and it was applied to 10 μm polyethylene terephthalate which had been subjected to the above-mentioned treatment while being subjected to magnetic orientation treatment.

得られた各サンプルについて下記(イ)、(ロ)、
(ハ)および(ホ)の試験を実施した。処理条件と試験
結果をまとめて表1に示す。
For each of the obtained samples, the following (a), (b),
The tests (c) and (e) were carried out. The processing conditions and test results are summarized in Table 1.

磁性層2 Co−Ni(組成Co95wt%−Ni5wt%)を原料とし
て0.1μmの厚さにスパッタした。
Magnetic layer 2 Co—Ni (composition Co 95 wt% —Ni 5 wt%) was sputtered to a thickness of 0.1 μm.

得られた各サンプルについて、下記(ロ)、(ハ)、
(ニ)および(ホ)の試験を実施した。処理条件と試験
結果とをまとめて表3に示す。
For each of the obtained samples, the following (b), (c),
The tests (d) and (e) were carried out. Table 3 summarizes the processing conditions and the test results.

磁性層3 Co80wt%とNi20wt%のインゴットから0.1μm
の磁性層を、酸素含有雰囲気中で斜め蒸着した。
Magnetic layer 3 0.1 μm from an ingot of 80 wt% Co and 20 wt% Ni
Was magnetically evaporated in an oxygen-containing atmosphere.

得られた各サンプルについて、下記(ロ)、(ハ)、
(ニ)および(ホ)の試験を実施した。処理条件と試験
結果とをまとめて表2に示す。
For each of the obtained samples, the following (b), (c),
The tests (d) and (e) were carried out. Table 2 shows the processing conditions and the test results together.

(イ)接着強度(1) 作製した1/4インチ幅テープの磁性塗膜側に接着テー
プを一定の圧力で接着させ、この接着テープを180゜
の角度方向に一定の速度で引き離し、剥離に要した力を
測定した。
(A) Adhesive strength (1) Adhesive tape was adhered to the magnetic coating side of the prepared 1/4 inch width tape at a constant pressure, and this adhesive tape was separated at a constant speed in the angular direction of 180 ° for peeling. The force required was measured.

(ロ)スチル時間(1) 温度20℃、湿度60%の条件下で、VTRで静止画像
を再生したときに画像が出なくなるまでの時間として測
定した。
(B) Still time (1) It was measured as the time until the image disappeared when a still image was reproduced on a VTR under the conditions of a temperature of 20 ° C. and a humidity of 60%.

(ハ)接触角 接触角柱CA−P型(協和化学製)を用いて水の液滴投
影法により測定した。
(C) Contact Angle The contact angle was measured by a droplet projection method of water using a contact prism column CA-P type (manufactured by Kyowa Kagaku).

(ニ)接着強度(2) 作成したテープを1cm×1cmに切断する。接着試験とし
て底が1cm×1cmで長さ5cmの鉄製の四角柱の底にエポ
キシ樹脂をつけ、テープをはる。テープの上面にエポキ
シ樹脂をつけ、その上に底が1cm×1cmで長さ5cmの鉄
製の四角柱をはりつける。次いで、エポキシ樹脂が硬化
後、テンシロン装置を用いて、上下の四角柱を引っ張
り、そのときの剥離所を調べる。
(D) Adhesive strength (2) Cut the prepared tape into 1 cm x 1 cm. As an adhesion test, an epoxy resin is attached to the bottom of an iron square column having a bottom of 1 cm × 1 cm and a length of 5 cm, and a tape is attached. Epoxy resin is attached to the upper surface of the tape, and an iron square pole with a bottom of 1 cm x 1 cm and a length of 5 cm is attached to the epoxy resin. Next, after the epoxy resin has hardened, the upper and lower square pillars are pulled using a Tensilon device, and the peeling location at that time is examined.

磁性層とベースフィルム面との剥離を×とし、 磁性層とベースフィルム面は剥離せず、エポキシ樹脂接
着面の剥離またはベースフィルムが破壊した場合を〇で
示した。
The peeling between the magnetic layer and the base film surface was marked with x, the magnetic layer and the base film surface were not peeled, and the case where the epoxy resin adhesive surface was peeled or the base film was broken is indicated by ◯.

(ホ)スチル時間(2) 接触角や接着強度の差をより一層明瞭なものとするスチ
ル特性として、温度60℃、湿度90%の高温多湿下
で、VTRで静止画像を再生した時に画像が出なくなる
までの時間を測定した。
(E) Still time (2) As still characteristics that make the difference in contact angle and adhesive strength even clearer, when a still image is played back on a VTR under high temperature and high humidity of 60 ° C and 90% humidity The time until it disappeared was measured.

結果を表1〜3に示した。The results are shown in Tables 1 to 3.

表1〜3に結果より本発明の効果が明らかである。The effects of the present invention are apparent from the results shown in Tables 1 to 3.

なお、本発明の処理によるサンプルでは、FTIRの結
果、表面にN−H結合が確認された。
In the sample treated by the present invention, N—H bond was confirmed on the surface as a result of FTIR.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図はプラズマ処理装置の概略図である。 1、2:処理ガス源 3、4:マスフローコントローラ 5:混合器 6:直流、交流および周波数可変型電源 7、7′:電極 9、10:繰出しおよび巻取りロール 11:液体窒素トラップ 12:油回転ポンプ FIG. 1 is a schematic diagram of a plasma processing apparatus. 1, 2: Processing gas source 3, 4: Mass flow controller 5: Mixer 6: DC, AC and variable frequency power supply 7, 7 ': Electrode 9, 10: Feeding and winding roll 11: Liquid nitrogen trap 12: Oil Rotary pump

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 土屋 佳子 東京都中央区日本橋1丁目13番1号 テイ ーデイーケイ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−228545(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor, Yoshiko Tsuchiya 1-13-1 Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo, TDK Corporation (56) References JP-A-60-228545 (JP, A)

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】NとHとOとを含む無機ガスを処理ガスと
し、プラズマ処理したベースフィルム上に、直接あるい
は下地層を介して、磁性層を形成したことを特徴とする
磁気記録媒体。
1. A magnetic recording medium characterized in that an inorganic gas containing N, H and O is used as a processing gas, and a magnetic layer is formed on a plasma-treated base film directly or through an underlayer.
【請求項2】プラズマ処理が、10KHz〜200KHzの周
波数で行われる特許請求の範囲第1項に記載の磁気記録
媒体。
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the plasma treatment is performed at a frequency of 10 KHz to 200 KHz.
JP59278811A 1984-12-29 1984-12-29 Magnetic recording medium Expired - Lifetime JPH0610858B2 (en)

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