JPH06106377A - レーザ加工用エネルギー分割装置 - Google Patents
レーザ加工用エネルギー分割装置Info
- Publication number
- JPH06106377A JPH06106377A JP4262205A JP26220592A JPH06106377A JP H06106377 A JPH06106377 A JP H06106377A JP 4262205 A JP4262205 A JP 4262205A JP 26220592 A JP26220592 A JP 26220592A JP H06106377 A JPH06106377 A JP H06106377A
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- JP
- Japan
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- laser
- laser light
- optical fiber
- aperture
- lens
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザ光を分割して複数の光ファイバに入射
させるにあたり、光ファイバ端面を損傷破壊することな
く確実に入射させる。 【構成】 レーザ発振器から出力されたレーザ光を導く
入射用光ファイバ１０と、この入射用光ファイバから出
たレーザ光を平行光とするコリメートレンズ１１と、レ
ーザ光を分割するビームスプリッタ１４と、レーザ光を
複数の出射用光ファイバ１８に夫々入射させる複数の集
光レンズ１２と、コリメートレンズ１１と集光用レンズ
１２との間に配されてレーザ光を絞るアパーチャ１３と
を備え、集光レンズにはコリメートレンズの焦点距離よ
り短い焦点距離をもつものを用いる。集光レンズに入射
するレーザ光はアパーチャによって絞られているため
に、集光レンズに求められる条件及び出射用光ファイバ
の開口数の条件が緩くなる。
させるにあたり、光ファイバ端面を損傷破壊することな
く確実に入射させる。 【構成】 レーザ発振器から出力されたレーザ光を導く
入射用光ファイバ１０と、この入射用光ファイバから出
たレーザ光を平行光とするコリメートレンズ１１と、レ
ーザ光を分割するビームスプリッタ１４と、レーザ光を
複数の出射用光ファイバ１８に夫々入射させる複数の集
光レンズ１２と、コリメートレンズ１１と集光用レンズ
１２との間に配されてレーザ光を絞るアパーチャ１３と
を備え、集光レンズにはコリメートレンズの焦点距離よ
り短い焦点距離をもつものを用いる。集光レンズに入射
するレーザ光はアパーチャによって絞られているため
に、集光レンズに求められる条件及び出射用光ファイバ
の開口数の条件が緩くなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ発振器から出力さ
れたレーザ光を、溶接や切断、穴明けといった加工を行
うレーザ加工機に供給するに際して、複数のレーザ加工
機にレーザ光を送ることができるレーザ加工用エネルギ
ー分割装置に関するものである。
れたレーザ光を、溶接や切断、穴明けといった加工を行
うレーザ加工機に供給するに際して、複数のレーザ加工
機にレーザ光を送ることができるレーザ加工用エネルギ
ー分割装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】レーザ加工機においては、一般にレーザ
発振器から出力されたレーザ光を結合レンズにより光フ
ァイバに入射してこの光ファイバの他端から加工用集光
レンズにレーザ光を導いている。この場合、単一のレー
ザ発振器からは単一の加工点にレーザ光を送ることがで
きるだけであるが、特公平３−９８３４号公報に示され
ているように、光ファイバによる伝送経路中に、中継器
１を設置するとともに、この中継器１中にレーザ光を分
割する半透過のビームスプリッタを配置することで、図
４に示すように、レーザ発振器２から出力されるレーザ
光を複数の加工用光学系３，３に送ることができる。
発振器から出力されたレーザ光を結合レンズにより光フ
ァイバに入射してこの光ファイバの他端から加工用集光
レンズにレーザ光を導いている。この場合、単一のレー
ザ発振器からは単一の加工点にレーザ光を送ることがで
きるだけであるが、特公平３−９８３４号公報に示され
ているように、光ファイバによる伝送経路中に、中継器
１を設置するとともに、この中継器１中にレーザ光を分
割する半透過のビームスプリッタを配置することで、図
４に示すように、レーザ発振器２から出力されるレーザ
光を複数の加工用光学系３，３に送ることができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ここにおいて、中継器
１は図５に示すように、入射用光ファイバ１０から出る
レーザ光を平行なものとするコリメートレンズ１１と、
平行なレーザ光を出射用光ファイバに入射するための集
光レンズ１２とから構成されている。ところで、光ファ
イバにレーザ光を入射するにあたっては、次の条件を満
足しなくてはならない。すなわち、レーザ光のスポット
径をｄ、光ファイバのコア径をｄｆ、レーザ光の入射角
をθ、光ファイバ固有の開口数（ヌメリカル・アパーチ
ャー）をＮＡとする時、 ｄ≦ｄｆ （１） θ＝２sin-1ＮＡ （２） また光ファイバから出た光は、図５に示す光学系におい
て、コリメートレンズ１１の焦点距離をｆ１、集光レン
ズ１２の焦点距離をｆ２、光ファイバ１０からの出射角
をθ１、集光レンズ１２の集光角をθ２、コリメートレ
ンズ１１で平行とされたレーザ光のビーム径をＤ、光フ
ァイバ１０のコア径をｄ１、集光径をｄ２とする時、 ｆ１θ１＝ｆ２θ２＝Ｄ （３） ｄ２／ｄ１＝ｆ２／ｆ１ （４） ∴ ｄ１θ１＝ｄ２θ２ （５） θ１＝２sin-1ＮＡ （６） という条件を満足している。
１は図５に示すように、入射用光ファイバ１０から出る
レーザ光を平行なものとするコリメートレンズ１１と、
平行なレーザ光を出射用光ファイバに入射するための集
光レンズ１２とから構成されている。ところで、光ファ
イバにレーザ光を入射するにあたっては、次の条件を満
足しなくてはならない。すなわち、レーザ光のスポット
径をｄ、光ファイバのコア径をｄｆ、レーザ光の入射角
をθ、光ファイバ固有の開口数（ヌメリカル・アパーチ
ャー）をＮＡとする時、 ｄ≦ｄｆ （１） θ＝２sin-1ＮＡ （２） また光ファイバから出た光は、図５に示す光学系におい
て、コリメートレンズ１１の焦点距離をｆ１、集光レン
ズ１２の焦点距離をｆ２、光ファイバ１０からの出射角
をθ１、集光レンズ１２の集光角をθ２、コリメートレ
ンズ１１で平行とされたレーザ光のビーム径をＤ、光フ
ァイバ１０のコア径をｄ１、集光径をｄ２とする時、 ｆ１θ１＝ｆ２θ２＝Ｄ （３） ｄ２／ｄ１＝ｆ２／ｆ１ （４） ∴ ｄ１θ１＝ｄ２θ２ （５） θ１＝２sin-1ＮＡ （６） という条件を満足している。
【０００４】この時、上記公報にも示されているよう
に、出射用光ファイバの径を小さくしておくことがレー
ザ光のエネルギー密度を高める点で好ましいわけである
が、中継器１において、径の小さい出射用光ファイバに
レーザ光を入射させるのは非常に困難である。なぜな
ら、入射用光ファイバ１０から出たレーザ光は、（６）
式のように、光ファイバ固有の開口数ＮＡで決まる角度
まで広がってしまうことから、これをコリメートレンズ
１１で平行光とし、集光レンズ１２で集光するにあた
り、集光径ｄ２を小さくして径の小さい出射用光ファイ
バに入射させるには、上記（３）（４）（５）式から明
らかなように、集光レンズ１２として焦点距離ｆ２が小
さく、従って集光角θ２が大きいものを用いなくてはな
らず、この時、集光角θ２が出射用光ファイバの開口数
ＮＡを越えてしまって、（２）式を満足しなくなること
が生ずる。つまり、レーザ光の一部しか利用できなくな
ってしまうものであり、これを避けるには、開口数ＮＡ
が大きく、径が大きい光ファイバを用いなくてはならな
い。
に、出射用光ファイバの径を小さくしておくことがレー
ザ光のエネルギー密度を高める点で好ましいわけである
が、中継器１において、径の小さい出射用光ファイバに
レーザ光を入射させるのは非常に困難である。なぜな
ら、入射用光ファイバ１０から出たレーザ光は、（６）
式のように、光ファイバ固有の開口数ＮＡで決まる角度
まで広がってしまうことから、これをコリメートレンズ
１１で平行光とし、集光レンズ１２で集光するにあた
り、集光径ｄ２を小さくして径の小さい出射用光ファイ
バに入射させるには、上記（３）（４）（５）式から明
らかなように、集光レンズ１２として焦点距離ｆ２が小
さく、従って集光角θ２が大きいものを用いなくてはな
らず、この時、集光角θ２が出射用光ファイバの開口数
ＮＡを越えてしまって、（２）式を満足しなくなること
が生ずる。つまり、レーザ光の一部しか利用できなくな
ってしまうものであり、これを避けるには、開口数ＮＡ
が大きく、径が大きい光ファイバを用いなくてはならな
い。
【０００５】加えるに、光ファイバから出たレーザ光を
レンズ系を用いて再び同じ開口数ＮＡの光ファイバに入
射する場合、（２）式を満足するには入射用光ファイバ
として出射側光ファイバと同じ径以上の径をもつものと
しなくてはならないが、レンズには収差がつきものであ
るために、同じ径の光ファイバに完全に再入射させるの
は難しく、またレーザ加工に用いるレーザ光は非常にエ
ネルギー密度が高いために、きちんと光ファイバに入射
させないと光ファイバの端面を損傷破壊してしまう場合
があり、実際上、径の小さい光ファイバを出射側（つま
りはレーザ加工側）に用いることができない。
レンズ系を用いて再び同じ開口数ＮＡの光ファイバに入
射する場合、（２）式を満足するには入射用光ファイバ
として出射側光ファイバと同じ径以上の径をもつものと
しなくてはならないが、レンズには収差がつきものであ
るために、同じ径の光ファイバに完全に再入射させるの
は難しく、またレーザ加工に用いるレーザ光は非常にエ
ネルギー密度が高いために、きちんと光ファイバに入射
させないと光ファイバの端面を損傷破壊してしまう場合
があり、実際上、径の小さい光ファイバを出射側（つま
りはレーザ加工側）に用いることができない。
【０００６】本発明はこのような点に鑑み為されたもの
であり、その目的とするところはレーザ光を分割して複
数の光ファイバに入射させるにあたり、光ファイバ端面
を損傷破壊することなく確実に入射させることができる
レーザ加工用エネルギー分割装置を提供するにある。
であり、その目的とするところはレーザ光を分割して複
数の光ファイバに入射させるにあたり、光ファイバ端面
を損傷破壊することなく確実に入射させることができる
レーザ加工用エネルギー分割装置を提供するにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】しかして本発明は、レー
ザ発振器から出力されたレーザ光を導く入射用光ファイ
バと、この入射用光ファイバから出たレーザ光を平行光
とするコリメートレンズと、レーザ光を分割するビーム
スプリッタと、分割されたレーザ光を複数の出射用光フ
ァイバに夫々入射させる複数の集光レンズとを備えると
ともに、コリメートレンズと集光用レンズとの間に配さ
れてレーザ光を絞るアパーチャを備え、集光レンズには
コリメートレンズの焦点距離より短い焦点距離をもつも
のが用いられていることに特徴を有している。
ザ発振器から出力されたレーザ光を導く入射用光ファイ
バと、この入射用光ファイバから出たレーザ光を平行光
とするコリメートレンズと、レーザ光を分割するビーム
スプリッタと、分割されたレーザ光を複数の出射用光フ
ァイバに夫々入射させる複数の集光レンズとを備えると
ともに、コリメートレンズと集光用レンズとの間に配さ
れてレーザ光を絞るアパーチャを備え、集光レンズには
コリメートレンズの焦点距離より短い焦点距離をもつも
のが用いられていることに特徴を有している。
【０００８】
【作用】本発明によれば、集光レンズに入射するレーザ
光はアパーチャによって絞られているために、集光レン
ズに求められる焦点距離及び集光角の条件及び出射用光
ファイバの開口数の条件が緩くなる。アパーチャはコリ
メートレンズとビームスプリッタとの間に配設しても、
ビームスプリッタと各集光レンズとの間に夫々配設して
もよいが、後者の方がアパーチャの耐久性がよくなる。
また、アパーチャには、耐熱性及び放熱性を有するとと
もにレーザ光を反射する金属で形成されているととも
に、レーザ光の反射方向を所定方向とするテーパ面を備
えたものを用いることが好ましい。また、ビームスプリ
ッタを出た一方のレーザ光を他方のレーザ光と同一方向
に向ける全反射ミラーを備えたものとすると、複数の出
射用光ファイバの接続方向を同一方向とすることができ
る。
光はアパーチャによって絞られているために、集光レン
ズに求められる焦点距離及び集光角の条件及び出射用光
ファイバの開口数の条件が緩くなる。アパーチャはコリ
メートレンズとビームスプリッタとの間に配設しても、
ビームスプリッタと各集光レンズとの間に夫々配設して
もよいが、後者の方がアパーチャの耐久性がよくなる。
また、アパーチャには、耐熱性及び放熱性を有するとと
もにレーザ光を反射する金属で形成されているととも
に、レーザ光の反射方向を所定方向とするテーパ面を備
えたものを用いることが好ましい。また、ビームスプリ
ッタを出た一方のレーザ光を他方のレーザ光と同一方向
に向ける全反射ミラーを備えたものとすると、複数の出
射用光ファイバの接続方向を同一方向とすることができ
る。
【０００９】
【実施例】以下本発明を図示の実施例に基づいて詳述す
ると、図１において、中継器１の一端にはレーザ発振器
からのレーザ光を導く入射用光ファイバ１０用のコネク
タ１６が設けられ、他端側にはレーザ光を加工用光学系
に導くための出射用光ファイバ１８用のコネクタ１７が
二つ設けられている。そして中継器１内には、光ファイ
バ１０から出たレーザ光を平行光とするためのコリメー
トレンズ１１と、コリメートレンズ１１から出た平行な
レーザ光のビーム径Ｄ１より小さい開口径Ｄ２をもつア
パーチャ１３と、アパーチャ１３を通過したビーム径が
Ｄ２であるレーザ光を分割するための半透過のビームス
プリッタ１４と、ビームスプリッタ１４で反射されたレ
ーザ光の向きを変換して、ビームスプリッタ１４で分割
された２つのレーザ光の向きを同じとする全反射ミラー
１５と、ビームスプリッタ１４で分割された二つのレー
ザ光を夫々出射用光ファイバ１８，１８に入射させる二
つの集光レンズ１２，１２とが納められている。
ると、図１において、中継器１の一端にはレーザ発振器
からのレーザ光を導く入射用光ファイバ１０用のコネク
タ１６が設けられ、他端側にはレーザ光を加工用光学系
に導くための出射用光ファイバ１８用のコネクタ１７が
二つ設けられている。そして中継器１内には、光ファイ
バ１０から出たレーザ光を平行光とするためのコリメー
トレンズ１１と、コリメートレンズ１１から出た平行な
レーザ光のビーム径Ｄ１より小さい開口径Ｄ２をもつア
パーチャ１３と、アパーチャ１３を通過したビーム径が
Ｄ２であるレーザ光を分割するための半透過のビームス
プリッタ１４と、ビームスプリッタ１４で反射されたレ
ーザ光の向きを変換して、ビームスプリッタ１４で分割
された２つのレーザ光の向きを同じとする全反射ミラー
１５と、ビームスプリッタ１４で分割された二つのレー
ザ光を夫々出射用光ファイバ１８，１８に入射させる二
つの集光レンズ１２，１２とが納められている。
【００１０】上記アパーチャ１３は、耐熱性及び放熱性
を有してレーザ光を反射する金属（たとえば黄銅やアル
ミニウム、あるいは金属に金メッキを施したもの）で形
成されている。また、アパーチャ１３の内周面は一端側
が径Ｄ１以上で且つ他端側が径Ｄ２となっているテーパ
面１３０で形成されており、ここで反射したレーザ光が
光ファイバ１０側に戻ることがないようになっている。
なお、テーパ面１３０の傾斜角度は４５°以外に設定さ
れている。
を有してレーザ光を反射する金属（たとえば黄銅やアル
ミニウム、あるいは金属に金メッキを施したもの）で形
成されている。また、アパーチャ１３の内周面は一端側
が径Ｄ１以上で且つ他端側が径Ｄ２となっているテーパ
面１３０で形成されており、ここで反射したレーザ光が
光ファイバ１０側に戻ることがないようになっている。
なお、テーパ面１３０の傾斜角度は４５°以外に設定さ
れている。
【００１１】そして、このものにおける集光レンズ１
２，１２の焦点距離ｆ２は、 ｆ１θ１＝Ｄ１ （７） ｆ２θ２＝Ｄ２ （８） ｄ２／ｄ１＝ｆ２／ｆ１ （９） ｄ２≦ｄｆ （１０） θ２＝２sin-1ＮＡ （１１） という条件を満足する範囲で、コリメートレンズ１１の
焦点距離ｆ１より小さく設定してある。集光レンズ１２
に入るレーザ光のビーム径がアパーチャ１３によって絞
られているために、焦点距離ｆ２を長くすることと、集
光角θ２を小さくすることに有利になっているものであ
り、これ故に、出射用光ファイバ１８として、開口数Ｎ
Ａが小さく、径が小さいものを用いることができるよう
になっているものである。
２，１２の焦点距離ｆ２は、 ｆ１θ１＝Ｄ１ （７） ｆ２θ２＝Ｄ２ （８） ｄ２／ｄ１＝ｆ２／ｆ１ （９） ｄ２≦ｄｆ （１０） θ２＝２sin-1ＮＡ （１１） という条件を満足する範囲で、コリメートレンズ１１の
焦点距離ｆ１より小さく設定してある。集光レンズ１２
に入るレーザ光のビーム径がアパーチャ１３によって絞
られているために、焦点距離ｆ２を長くすることと、集
光角θ２を小さくすることに有利になっているものであ
り、これ故に、出射用光ファイバ１８として、開口数Ｎ
Ａが小さく、径が小さいものを用いることができるよう
になっているものである。
【００１２】アパーチャ１３の配置は、図１に示す位置
に限るものではなく、図２に示すように、各集光レンズ
１２，１２の直前に夫々アパーチャ１３を配してもよ
い。アパーチャ１３をビームスプリッタ１４の後に設け
れば、レーザ光のパワーはそれぞれのアパーチャ１３に
分散されるために、一つのアパーチャ１３で絞るレーザ
パワーが少なくなるために耐久性が向上することにな
る。また図３に示すように、コリメートレンズ１１の直
後と各集光レンズ１２，１２の直前とに配して、２段階
でレーザ光を絞るようにすれば、レーザパワーはさらに
個々のアパーチャ１３に分散されるために耐久性がより
向上する。
に限るものではなく、図２に示すように、各集光レンズ
１２，１２の直前に夫々アパーチャ１３を配してもよ
い。アパーチャ１３をビームスプリッタ１４の後に設け
れば、レーザ光のパワーはそれぞれのアパーチャ１３に
分散されるために、一つのアパーチャ１３で絞るレーザ
パワーが少なくなるために耐久性が向上することにな
る。また図３に示すように、コリメートレンズ１１の直
後と各集光レンズ１２，１２の直前とに配して、２段階
でレーザ光を絞るようにすれば、レーザパワーはさらに
個々のアパーチャ１３に分散されるために耐久性がより
向上する。
【００１３】なお、レーザ光を２分割する例をあげた
が、ビームスプリッタの透過率を変えて複数個配置する
ことにより、３分割以上の他分割にも対応できるのはも
ちろんである。
が、ビームスプリッタの透過率を変えて複数個配置する
ことにより、３分割以上の他分割にも対応できるのはも
ちろんである。
【００１４】
【発明の効果】以上のように本発明においては、集光レ
ンズに入射するレーザ光がアパーチャによって絞られる
ために、集光レンズに求められる焦点距離及び集光角の
条件及び出射用光ファイバの開口数の条件が緩くなるも
のであり、このために出射用光ファイバへの分割したレ
ーザ光の入射をその端面を損傷破壊することなく確実に
行えるものである。
ンズに入射するレーザ光がアパーチャによって絞られる
ために、集光レンズに求められる焦点距離及び集光角の
条件及び出射用光ファイバの開口数の条件が緩くなるも
のであり、このために出射用光ファイバへの分割したレ
ーザ光の入射をその端面を損傷破壊することなく確実に
行えるものである。
【００１５】この時、アパーチャはコリメートレンズと
ビームスプリッタとの間に配設した場合には、アパーチ
ャが１つですむものであり、ビームスプリッタと各集光
レンズとの間に夫々アパーチャを配設した時には、アパ
ーチャの耐久性がよくなる。また、アパーチャを耐熱性
及び放熱性を有するとともにレーザ光を反射する金属で
形成されているとともに、レーザ光の反射方向を所定方
向とするテーパ面を備えたものとすると、耐久性の点で
有利であり、ビームスプリッタを出た一方のレーザ光を
他方のレーザ光と同一方向に向ける全反射ミラーを備え
たものとすると、複数の出射用光ファイバの接続方向を
同一方向とすることができて、光ファイバの接続やメン
テナンスが容易となる。
ビームスプリッタとの間に配設した場合には、アパーチ
ャが１つですむものであり、ビームスプリッタと各集光
レンズとの間に夫々アパーチャを配設した時には、アパ
ーチャの耐久性がよくなる。また、アパーチャを耐熱性
及び放熱性を有するとともにレーザ光を反射する金属で
形成されているとともに、レーザ光の反射方向を所定方
向とするテーパ面を備えたものとすると、耐久性の点で
有利であり、ビームスプリッタを出た一方のレーザ光を
他方のレーザ光と同一方向に向ける全反射ミラーを備え
たものとすると、複数の出射用光ファイバの接続方向を
同一方向とすることができて、光ファイバの接続やメン
テナンスが容易となる。
【図１】一実施例の断面図である。
【図２】他例の断面図である。
【図３】別の例の断面図である。
【図４】全体構成を示す概略図である。
【図５】光学系の条件を説明するための光路図である。
１０ 入射用光ファイバ １１ コリメートレンズ １２ 集光レンズ １３ アパーチャ １４ ビームスプリッタ １８ 出射用光ファイバ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西村 広海 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 レーザ発振器から出力されたレーザ光を
導く入射用光ファイバと、この入射用光ファイバから出
たレーザ光を平行光とするコリメートレンズと、レーザ
光を分割するビームスプリッタと、分割されたレーザ光
を複数の出射用光ファイバに夫々入射させる複数の集光
レンズとを備えるとともに、コリメートレンズと集光用
レンズとの間に配されてレーザ光を絞るアパーチャを備
え、集光レンズにはコリメートレンズの焦点距離より短
い焦点距離をもつものが用いられていることを特徴とす
るレーザ加工用エネルギー分割装置。 - 【請求項２】 アパーチャはコリメートレンズとビーム
スプリッタとの間に配設されていることを特徴とする請
求項１記載のレーザ加工用エネルギー分割装置。 - 【請求項３】 アパーチャはビームスプリッタと各集光
レンズとの間に夫々配設されていることを特徴とする請
求項１記載のレーザ加工用エネルギー分割装置。 - 【請求項４】 アパーチャは耐熱性及び放熱性を有する
とともにレーザ光を反射する金属で形成されているとと
もに、レーザ光の反射方向を所定方向とするテーパ面を
備えていることを特徴とする請求項１記載のレーザ加工
用エネルギー分割装置。 - 【請求項５】 ビームスプリッタを出た一方のレーザ光
を他方のレーザ光と同一方向に向ける全反射ミラーを備
えていることを特徴とする請求項１記載のレーザ加工用
エネルギー分配装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4262205A JPH06106377A (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | レーザ加工用エネルギー分割装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4262205A JPH06106377A (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | レーザ加工用エネルギー分割装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06106377A true JPH06106377A (ja) | 1994-04-19 |
Family
ID=17372542
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4262205A Withdrawn JPH06106377A (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | レーザ加工用エネルギー分割装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06106377A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996021534A1 (fr) * | 1995-01-13 | 1996-07-18 | Tokai Kogyo Mishin Kabushiki Kaisha | Dispositif de travail au laser et machine a coudre l'utilisant |
| KR100356378B1 (ko) * | 2000-11-16 | 2002-10-19 | 주식회사 이오테크닉스 | 레이저 빔 분할 장치 |
| CN104577662A (zh) * | 2013-10-22 | 2015-04-29 | 无锡津天阳激光电子有限公司 | 一种风速仪用三端输出双1319nm与808nm波长光纤激光器 |
| CN104577661A (zh) * | 2013-10-22 | 2015-04-29 | 无锡津天阳激光电子有限公司 | 一种风速仪用三端输出双1064nm与808nm波长光纤激光器 |
| CN104577663A (zh) * | 2013-10-22 | 2015-04-29 | 无锡津天阳激光电子有限公司 | 一种风速仪用三端输出532nm与660nm与808nm三波长光纤激光器 |
| JP2016087694A (ja) * | 2014-11-05 | 2016-05-23 | エーエスエム・テクノロジー・シンガポール・ピーティーイー・リミテッド | 半導体ウェハを個片化するためのレーザファイバアレイ |
| JP2016175813A (ja) * | 2015-03-20 | 2016-10-06 | アウレアワークス株式会社 | レーザ光分割装置を有する単結晶育成装置 |
-
1992
- 1992-09-30 JP JP4262205A patent/JPH06106377A/ja not_active Withdrawn
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