JPH06105813B2 - Gas laser oscillator - Google Patents
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- JPH06105813B2 JPH06105813B2 JP62285245A JP28524587A JPH06105813B2 JP H06105813 B2 JPH06105813 B2 JP H06105813B2 JP 62285245 A JP62285245 A JP 62285245A JP 28524587 A JP28524587 A JP 28524587A JP H06105813 B2 JPH06105813 B2 JP H06105813B2
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
- H01S3/09713—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited with auxiliary ionisation, e.g. double discharge excitation
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） この発明は、Ｘ線による予備電離で、電極間の放電を安
定化するガスレーザ発振装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Object of the Invention (Industrial field of application) The present invention relates to a gas laser oscillating device for stabilizing discharge between electrodes by preionization by X-rays.
（従来の技術） 一般的なガスレーザ発振装置は、例えばCO2−N2−He混
合ガス等のガスレーザ媒質が所定圧力に保たれた圧力容
器内に陰極と陽極からなる電極が設けられ、この電極間
で発生される放電エネルギによって上記ガスレーザ媒質
を励起するが。このガスレーザ媒質の励起に先立ち、上
記電極が放電を開始する前に、上記電極間を予備電離す
ることにより、電極間の放電を安定化し、この安定化さ
れた放電により、良質のレーザ光を発振できるように構
成されている。(Prior Art) A general gas laser oscillator is provided with an electrode composed of a cathode and an anode in a pressure vessel in which a gas laser medium such as CO 2 —N 2 —He mixed gas is kept at a predetermined pressure. The gas laser medium is excited by the discharge energy generated between them. Prior to the excitation of the gas laser medium, before the electrodes start to discharge, the electrodes are pre-ionized to stabilize the discharge between the electrodes, and the stabilized discharge oscillates a good quality laser light. It is configured to be able to.
このような予備電離の方式としてはＸ線、コロナ放電あ
るいはアーク放電により発生する紫外線等を利用するも
のがある。As a method of such preionization, there is a method of using ultraviolet rays generated by X-rays, corona discharge or arc discharge.
上記Ｘ線による予備電離方式を利用するガスレーザ発振
装置を第４図を参照して説明する。図中に示されるガス
レーザ発振装置は円筒状に形成された圧力容器１を軸方
向より断面視したものであり、この圧力容器１内には上
側および下側に陰極および陽極の電極２、３がそれぞれ
軸方向に亘って対向した状態で設けられている。A gas laser oscillating device using the above-mentioned preionization system using X-rays will be described with reference to FIG. The gas laser oscillating device shown in the figure is a cross-sectional view of a pressure vessel 1 formed in a cylindrical shape in the axial direction. Inside the pressure vessel 1, there are cathode and anode electrodes 2 and 3 on the upper and lower sides. They are provided so as to face each other in the axial direction.
ここで、上記圧力容器１の軸方向両端部には、互いに対
向される図示しない鏡体が設けられることで光共振器が
形成されており、上記電極２、３間の放電による光が対
向された鏡体側で発振状態とされ、一方の反射率の低い
鏡体側からレーザ光が照射されるように構成されてい
る。Here, an optical resonator is formed by providing mirror bodies (not shown) opposed to each other at both axial ends of the pressure vessel 1, and the light due to the discharge between the electrodes 2 and 3 is opposed to each other. The mirror body is made to oscillate, and one of the mirror bodies having a low reflectance is irradiated with laser light.
また、上記両電極２、３にはコンデンサー４および高電
圧スイッチ５を介して高電圧電源６が電気的に接続され
ている。A high voltage power source 6 is electrically connected to the electrodes 2 and 3 via a capacitor 4 and a high voltage switch 5.
そして、高電圧電源６が上記電極２、３間に電圧を印加
する際には、上記コンデンサー４により、電気的エネル
ギが一時蓄えられ、このコンデンサー４に蓄えられた電
気的エネルギが高電圧スイッチ５によりパルス状に変換
されて、上記陰極および陽極からなる電極２、３に接続
された複数個のピーキングコンデンサー７…を充電す
る。上記陰極、陽極２、３間の電圧、すなわちピーキン
グコンデンサー７の両端電圧が封入ガス圧力等によって
定まる放電破壊電圧を越えると、上記両電極２、３間で
放電が発生しガスレーザ媒質を励起する。When the high-voltage power source 6 applies a voltage between the electrodes 2 and 3, the capacitor 4 temporarily stores electrical energy, and the electrical energy stored in the capacitor 4 is stored in the high-voltage switch 5 Is converted into a pulse shape by means of and the plurality of peaking capacitors 7 connected to the electrodes 2 and 3 composed of the cathode and the anode are charged. When the voltage between the cathode and the anodes 2 and 3, that is, the voltage across the peaking capacitor 7 exceeds the discharge breakdown voltage determined by the pressure of the enclosed gas, discharge is generated between the electrodes 2 and 3 to excite the gas laser medium.
さらに、上記電極２、３のうち例えば上側に位置される
陰極２の外側に位置される圧力容器１には、この電極２
の略全長に亘って、Ｘ線が透過される入射窓８が設けら
れている。Further, for example, in the pressure vessel 1 positioned outside the cathode 2 positioned above the electrodes 2 and 3, the electrode 2
An entrance window 8 for transmitting X-rays is provided over substantially the entire length of the.
そして、この入射窓８に対向されるように後述するよう
に構成されたＸ線管９が設けられている。このＸ線管９
は上記入射窓８の全長に亘って対向される矩形箱状に形
成されており、その下側面には上記入射窓８に対向され
る照射窓10が設けられている。また、上記Ｘ線管９内に
は上記照射窓10からＸ線を照射するＸ線発生部11が設け
られており、このＸ線発生部11にはスイッチ素子12を介
してＸ線管用電源13が電気的に接続されている。Then, an X-ray tube 9 configured as described below is provided so as to face the entrance window 8. This X-ray tube 9
Is formed in a rectangular box shape facing the entire length of the incident window 8, and an irradiation window 10 facing the incident window 8 is provided on the lower side surface thereof. Further, an X-ray generator 11 for irradiating X-rays from the irradiation window 10 is provided in the X-ray tube 9, and the X-ray generator 11 has an X-ray tube power source 13 via a switch element 12. Are electrically connected.
一方、上記陰極２は上記入射窓８に対応される部分が肉
薄に形成されてＸ線透過部14が形成されている。On the other hand, in the cathode 2, a portion corresponding to the entrance window 8 is formed thin to form an X-ray transmitting portion 14.
このように構成されたガスレーザ発振装置は、上記電極
２、３が高電圧電源６からの電圧の印加を受けるととも
に、Ｘ線管９がＸ線管用電源13からの電圧の印加により
Ｘ線発生部11からＸ線が発生され、照射窓10から上記入
射窓８へ向けてＸ線が照射される。このＸ線は入射窓８
を通過した後、圧力容器１内に位置された電極２のＸ線
透過部14を透過して、両電極２、３間に到達してこの領
域内のガスレーザ媒質を予備電離する。この予備電離に
より、上記高電圧電源８から印加された電圧が安定した
放電が得られるよう構成されている。In the gas laser oscillator configured as described above, the electrodes 2 and 3 are applied with the voltage from the high voltage power source 6, and the X-ray tube 9 is applied with the voltage from the X-ray tube power source 13 to generate the X-ray generator. X-rays are generated from 11, and X-rays are emitted from the irradiation window 10 toward the entrance window 8. This X-ray has an entrance window 8
After passing through, the gas laser medium is transmitted through the X-ray transmitting portion 14 of the electrode 2 located in the pressure vessel 1 and reaches between the electrodes 2 and 3 to preionize the gas laser medium in this region. By this preionization, the voltage applied from the high-voltage power source 8 can be stably discharged.
ところが、このような構成されたＸ線による予備電離方
式は、上記照射窓10から照射されるＸ線の指向性が低
く、電極２、３間を充分に予備電離するためには大きな
Ｘ線出力が必要であった。また、Ｘ線出力を増大するこ
とはＸ線管９の寿命を著しく低下するものであり、Ｘ線
管９の設置や、圧力容器１への入射窓８の設置等複雑な
構造であるにもかかわらず、効率の高い予備電離を行な
うことが困難であった。However, in the preionization system using X-rays configured as described above, the directivity of X-rays emitted from the irradiation window 10 is low, and a large X-ray output is required to sufficiently preionize the electrodes 2 and 3. Was needed. Further, increasing the X-ray output remarkably shortens the life of the X-ray tube 9, and the complicated structure such as installation of the X-ray tube 9 and installation of the entrance window 8 to the pressure vessel 1 is required. Nevertheless, it was difficult to perform highly efficient preionization.
さらに、指向性の低いＸ線を照射するため、Ｘ線管９付
近には鉛等のＸ線吸収体を設ける等の配慮が必要であ
り、装置の大型化を避けることができなかった。Further, since X-rays having a low directivity are emitted, consideration must be given to providing an X-ray absorber such as lead in the vicinity of the X-ray tube 9, which inevitably leads to an increase in the size of the device.
（発明が解決しようとする問題点） 一般的なＸ線による予備電離を行なうガスレーザ発振装
置は、圧力容器の外側に位置されるＸ線管から指向性の
低いＸ線を照射して予備電離するように構成されている
ため、充分な予備電離を行なうためには、Ｘ線出力を増
大するとともに、外部へのＸ線の漏れを防止する設備を
必要とし、複雑な設備と、装置の大型化が避けられない
構造であった。また、使用するＸ線管は大きなＸ線出力
を要するためＸ線管の寿命が短いという事情があった。(Problems to be Solved by the Invention) A general gas laser oscillator that performs preionization by X-rays irradiates X-rays having low directivity from an X-ray tube located outside the pressure vessel for preionization. Therefore, in order to perform sufficient preliminary ionization, equipment for increasing X-ray output and preventing leakage of X-rays to the outside is required, and complicated equipment and large-sized equipment are required. Was an unavoidable structure. Further, since the X-ray tube used requires a large X-ray output, there is a situation that the life of the X-ray tube is short.
この発明は、上記事情に着目してなされたものであり、
充分な予備電離を最少限のＸ線出力で行なえるととも
に、Ｘ線が外部に漏れることを防止する構造でありなが
ら小型化できるガスレーザ発振装置を提供することを目
的とする。This invention was made with attention to the above circumstances,
An object of the present invention is to provide a gas laser oscillating device capable of performing sufficient preliminary ionization with a minimum X-ray output and preventing the X-rays from leaking to the outside while being downsized.
（問題点を解決するための手段及び作用） ガスレーザ媒質が所定圧力に保たれた圧力容器と、上記
圧力容器内に離間対向して設けられた陰極および陽極か
らなりこれらのいずれかに電極面を薄肉部とした真空気
密室が形成され上記ガスレーザ媒質を励起するための放
電を発生する電極と、これらの電極にコンデンサーおよ
び高電圧スイッチを介して接続された高電圧電源と、上
記真空気密室内で上記電極面の裏面のほぼ全面を覆うよ
うに設けられたシート状のターゲット体と上記ターゲッ
トに近接して設けられたＸ線発生用陰極とを有したＸ線
発生部と、上記Ｘ線発生用陰極に電圧を印加する高電圧
放電回路と、上記励起で生じたレーザ光を光共振する光
共振器とを設けることで、上記Ｘ線発生部を電極間に近
接させ、出力されたＸ線のほとんど予備電離に使用さ
れ、シート状ターゲットにより必要な空間を小さくでき
小型に構成できるガスレーザ発振装置を提供することを
目的とする。(Means and Actions for Solving Problems) A pressure vessel in which a gas laser medium is maintained at a predetermined pressure, and a cathode and an anode provided in the pressure vessel so as to face each other with an electrode surface on either side. In the vacuum hermetic chamber, a thin air-tight chamber is formed to generate an electric discharge for exciting the gas laser medium, a high-voltage power supply connected to these electrodes via a capacitor and a high-voltage switch, and the vacuum hermetic chamber. An X-ray generation section having a sheet-shaped target body provided so as to cover almost the entire back surface of the electrode surface, and an X-ray generation cathode provided in the vicinity of the target; By providing a high-voltage discharge circuit that applies a voltage to the cathode and an optical resonator that optically resonates the laser light generated by the excitation, the X-ray generation unit is brought close to the electrodes and the output X-ray Hot It is an object of the present invention to provide a gas laser oscillating device which is used for preionization and which can be made compact by reducing the space required by a sheet-shaped target.
（実施例） 以下、この発明における一実施例を第１図乃至第３図を
参照して説明する。(Embodiment) An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 3.
第１図は円筒状に形成された圧力容器15を軸方向より断
面視したものであり、この圧力容器15の両端部には図示
しない２つの鏡体が相対向して設けられており、一方の
鏡の反射率が低く設定されて図示しない光共振器が形成
されている。FIG. 1 is a sectional view of a pressure vessel 15 formed in a cylindrical shape in the axial direction. Two mirror bodies (not shown) are provided at opposite ends of the pressure vessel 15 so as to face each other. The mirror has a low reflectance and an optical resonator (not shown) is formed.
また、上記圧力容器15内には、ガスレーザ媒質としての
例えばCO2−N2−He混合ガスが封入されており、所定の
圧力に保たれている。さらに、この圧力容器15内には上
側と下側に位置されて陰極および陽極の電極16、17がそ
れぞれ軸方向に沿って離間対向されて設けられている。Further, in the pressure vessel 15, for example, a CO 2 —N 2 —He mixed gas as a gas laser medium is sealed and kept at a predetermined pressure. Further, inside the pressure vessel 15, cathode and anode electrodes 16 and 17 are provided on the upper side and the lower side, respectively, being spaced apart and opposed to each other along the axial direction.
これら、電極16、17にはコンデンサー18および高電圧ス
イッチ19を介して高電圧電源20が電気的に接続されてい
る。そして、高電圧電源20から供給された電気的エネル
ギは上記コンデンサー18に一時的に蓄えられ、このコン
デンサー18に蓄えられた電気的エネルギは高電圧スイッ
チ19によって、パルス状に変換されて上記電極16、17間
に接続された複数個のピーキングコンデンサー21に印加
され、充電する。上記電極16、17間の電圧、すなわち、
ピーキングコンデンサー21の両端電圧が封入ガス圧等に
よって定まる放電破壊電圧を越えると上記電極16、17間
で放電が発生しガスレーザ媒質を励起する。A high voltage power source 20 is electrically connected to the electrodes 16 and 17 via a capacitor 18 and a high voltage switch 19. Then, the electric energy supplied from the high voltage power source 20 is temporarily stored in the capacitor 18, and the electric energy stored in the capacitor 18 is converted into a pulse shape by the high voltage switch 19 and is converted into the electrode 16 described above. , 17 are applied to a plurality of peaking capacitors 21 connected between them to charge them. The voltage between the electrodes 16 and 17, that is,
When the voltage across the peaking capacitor 21 exceeds the discharge breakdown voltage determined by the pressure of the enclosed gas or the like, a discharge is generated between the electrodes 16 and 17 to excite the gas laser medium.
一方、陰極16は、陽極17の放電面に対応して放電面22が
形成されており、陰極16において放電面22は肉薄に形成
され、Ｘ線発生部23が一体に設けられている。On the other hand, the cathode 16 has a discharge surface 22 formed corresponding to the discharge surface of the anode 17, the discharge surface 22 is thinly formed in the cathode 16, and the X-ray generation part 23 is integrally provided.
このＸ線発生部23は、上記陰極16の長手方向に亘って矩
形箱状の真空気密室に形成されたＸ線管24内に設けられ
ている。このＸ線管24の内部に位置され、例えばタング
ステンによって形成されたシート状のターゲット体25が
放電面22の裏面のほぼ全面を覆うように設けられてい
る。また、このターゲット体25の上側には例えば線材に
よって構成された熱陰極26が略全長に亘って設けられて
いる。このようにＸ線管24の内部にターゲット体25およ
び熱陰極26が設けられることによってＸ線発生部23が形
成されている。また上記Ｘ線管24は内部が約10-6Torrの
真空状体に保たれた、矩形状の箱体に形成されて上記陰
極16の上側に一体に設けられている。そして、上記放電
面22は、上記Ｘ線発生部23で発生されたＸ線を圧力容器
15内に透過する透過窓としての働きを果たすように構成
されている。The X-ray generator 23 is provided in an X-ray tube 24 formed in a rectangular box-shaped vacuum airtight chamber extending in the longitudinal direction of the cathode 16. A sheet-shaped target body 25 made of, for example, tungsten is provided inside the X-ray tube 24 so as to cover almost the entire back surface of the discharge surface 22. A hot cathode 26 made of, for example, a wire rod is provided on the upper side of the target body 25 over substantially the entire length. Thus, the X-ray generation unit 23 is formed by providing the target body 25 and the hot cathode 26 inside the X-ray tube 24. The X-ray tube 24 is formed in a rectangular box whose inside is kept in a vacuum state of about 10 -6 Torr and is integrally provided on the upper side of the cathode 16. Then, the discharge surface 22 receives the X-rays generated by the X-ray generator 23 from the pressure vessel.
It is constructed so as to act as a transmission window that penetrates into the inside.
さらに、上記熱陰極26には高電圧放電回路27が接続され
ている。この高電圧放電回路27は例えばＸ線管24のスイ
ッチ素子28および、このスイッチ素子28を介して上記Ｘ
線管24に接続されるＸ線管用電源29とによって構成され
ている。Further, a high voltage discharge circuit 27 is connected to the hot cathode 26. This high-voltage discharge circuit 27 is, for example, a switch element 28 of the X-ray tube 24 and the X-ray
The X-ray tube power source 29 is connected to the X-ray tube 24.
そして、上記スイッチ素子28を介してＸ線管用電源29か
らの高電圧パルスを印加することにより上記熱陰極26と
ターゲット体25間に印加されることで、熱陰極26から放
出された電子が加速されターゲット体25に衝突し、Ｘ線
が発生される。Electrons emitted from the hot cathode 26 are accelerated by being applied between the hot cathode 26 and the target body 25 by applying a high voltage pulse from the X-ray tube power source 29 via the switch element 28. Then, it collides with the target body 25 and X-rays are generated.
このようにして発生されたＸ線は陰極16の放電面22を透
過して、この陰極16と陽極17との間に到達し、これらの
電極16、17間にあるガスレーザ媒質を予備電離する。The X-ray thus generated passes through the discharge surface 22 of the cathode 16 and reaches between the cathode 16 and the anode 17 to preionize the gas laser medium between these electrodes 16, 17.
この予備電離により、上記電極16、17間で安定した放電
が発生される。このとき、上記陰極16および陽極17は、
その略全面でグロー放電を発生し安定したレーザ光が発
振される。Due to this preionization, stable discharge is generated between the electrodes 16 and 17. At this time, the cathode 16 and the anode 17 are
Glow discharge is generated on almost the entire surface and stable laser light is oscillated.
つまり、予備電離時においては、上記陰極16の放電面22
はＸ線管24からのＸ線が透過される透過窓となり、ま
た、電極16、17間での放電時には、陽極17に対向される
陰極16の放電面22の略全面で放電が発生する電極面とな
るように構成されている。さらに、この陰極16の放電面
22は、上記Ｘ線管24の底部側の圧力隔壁としての働きも
兼ねている。That is, during preionization, the discharge surface 22 of the cathode 16 is
Is a transmission window through which X-rays from the X-ray tube 24 are transmitted, and at the time of discharge between the electrodes 16 and 17, discharge is generated on substantially the entire discharge surface 22 of the cathode 16 facing the anode 17. It is configured to be a face. Furthermore, the discharge surface of this cathode 16
22 also functions as a pressure partition on the bottom side of the X-ray tube 24.
このように構成されたガスレーザ発振装置は、上述のよ
うに圧力容器15内に設けられた電極16と一体にＸ線管24
が設けられており、このためＸ線管24内のＸ線発生部23
で発生されたＸ線が圧力容器15の外側に漏れることを防
止する構造を、従来に比較して簡略化することができ
る。つまり、Ｘ線管24が圧力容器15の外側に設けられて
いた従来構造に比較して、Ｘ線の漏れを防ぐことが容易
となり、Ｘ線管24の設置構造の簡略化と、これにともな
う装置全体の小型化を行なうことができる。The gas laser oscillating device constructed in this manner is integrated with the electrode 16 provided in the pressure vessel 15 as described above, and is integrated with the X-ray tube 24.
Therefore, the X-ray generation unit 23 in the X-ray tube 24 is provided.
The structure for preventing the X-rays generated in step 2 from leaking to the outside of the pressure vessel 15 can be simplified as compared with the conventional structure. That is, compared to the conventional structure in which the X-ray tube 24 is provided outside the pressure vessel 15, it becomes easier to prevent leakage of X-rays, which simplifies the installation structure of the X-ray tube 24 and accordingly. The overall size of the device can be reduced.
また、Ｘ線発生部23によって予備電離される電極16、17
間が従来構造に比較して近接する位置に設けられている
ため、指向性の低いＸ線を発生するにもかかわらず、そ
のほとんどが電極16、17間に供給され効率のよい予備電
離を行なうことができる。In addition, the electrodes 16 and 17 that are preionized by the X-ray generator 23
Since the spaces are provided closer to each other than the conventional structure, most of the X-rays having low directivity are supplied between the electrodes 16 and 17 for efficient pre-ionization in spite of generation of low directivity. be able to.
つまり、Ｘ線発生部23が陰極16の放電面22の裏面側に一
体的に設けられていることで、Ｘ線の発生位置付近で上
記放電面22を透過し、電極16、17間を予備電離するた
め、Ｘ線の減衰が最少限に止どめられる。これにより小
さなＸ線出力で充分な予備電離を行なうことができる。
このようなＸ線出力の低減により、上記Ｘ線管24を延命
化することができる。That is, since the X-ray generation unit 23 is integrally provided on the back surface side of the discharge surface 22 of the cathode 16, the X-ray generation unit 23 penetrates the discharge surface 22 in the vicinity of the X-ray generation position and reserves between the electrodes 16 and 17. Due to ionization, the attenuation of X-rays is minimized. As a result, sufficient preionization can be performed with a small X-ray output.
By reducing the X-ray output as described above, the life of the X-ray tube 24 can be extended.
なお、この発明は上記一実施例に限定されるものではな
い。例えば、上記一実施例においてはＸ線発生部23とし
て、熱陰極26およびターゲット体25を有する熱陰極構造
のものが使用されているが、これに限定されず冷陰極構
造や、プラズマ陰極構造等のＸ線発生部23も含まれる。The present invention is not limited to the above embodiment. For example, in the above-described embodiment, the X-ray generation unit 23 has a hot cathode structure having the hot cathode 26 and the target body 25, but is not limited to this, a cold cathode structure, a plasma cathode structure, etc. Also included is an X-ray generator 23.
また、各部の材質、形状およびガスレーザ媒質の成分等
も何等限定されるものではなく、Ｘ線発生部23が電極16
に一体的に設けられた構造であればよい。さらに、Ｘ線
発生部23は電極16でなく、対向する電極17側に設けても
よい。Further, the material and shape of each part, the component of the gas laser medium, and the like are not limited at all, and the X-ray generation part 23 is not limited to the electrode 16
Any structure may be used as long as it is integrally provided in the. Further, the X-ray generation unit 23 may be provided not on the electrode 16 but on the opposite electrode 17 side.
以上説明したように、この発明によれば、Ｘ線発生部か
ら照射されるＸ線を電極間に有効に供給することができ
る。そして、このように高い効率で予備電離できること
で、予備電離のために必要なＸ線出力を低減することが
できる。また、発生されたＸ線のほとんどが予備電離に
使用されるため、圧力容器外にＸ線が漏れることを防止
する構造の簡略化が可能となり、上記電極とＸ線発生部
の近接化と共に装置の小型化、簡略化ができるガスレー
ザ発振装置を提供できる。As described above, according to the present invention, X-rays emitted from the X-ray generator can be effectively supplied between the electrodes. Since the preionization can be performed with high efficiency as described above, the X-ray output required for the preionization can be reduced. Also, since most of the generated X-rays are used for preionization, it is possible to simplify the structure that prevents the X-rays from leaking out of the pressure vessel, and the electrode and the X-ray generator are made close to each other and the device It is possible to provide a gas laser oscillator that can be downsized and simplified.
第１図乃至第３図はこの発明における一実施例であり、
第１図はガスレーザ発振装置の概略的構成を示す断面
図、第２図は電極にＸ線発生部が一体に設けられた状態
を示す長手方向の断面図、第３図は第２図中のIII−III
線部分の断面図、第４図は従来のガスレーザ発振装置の
概略的構成を示す断面図である。 15……圧力容器、16、17……電極、18……コンデンサ
ー、19……高電圧スイッチ、20……高電圧電源、23……
Ｘ線発生部、27……高電圧放電回路。1 to 3 show one embodiment of the present invention,
FIG. 1 is a sectional view showing a schematic configuration of a gas laser oscillator, FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing a state in which an X-ray generating portion is integrally provided on an electrode, and FIG. 3 is a sectional view in FIG. III-III
FIG. 4 is a sectional view of a line portion, and FIG. 4 is a sectional view showing a schematic configuration of a conventional gas laser oscillator. 15 …… Pressure vessel, 16, 17 …… Electrode, 18 …… Condenser, 19 …… High voltage switch, 20 …… High voltage power supply, 23 ……
X-ray generator, 27 ... High-voltage discharge circuit.
Claims (1)
容器と、上記圧力容器内に離間対向して設けられた陰極
および陽極からなりこれらのいずれかに電極面を薄肉部
とした真空気密室が形成され上記ガスレーザ媒質を励起
するための放電を発生する電極と、これらの電極にコン
デンサーおよび高電圧スイッチを介して接続された高電
圧電源と、上記真空気密室内で上記電極面の裏面のほぼ
全面を覆うように設けられたシート状のターゲット体と
上記ターゲットに近接して設けられたＸ線発生用陰極と
を有したＸ線発生部と、上記Ｘ線発生用陰極に電圧を印
加する高電圧放電回路と、上記励起で生じたレーザ光を
光共振する光共振器とを具備することを特徴とするガス
レーザ発振装置。1. A vacuum hermetic chamber comprising a pressure vessel in which a gas laser medium is maintained at a predetermined pressure, and a cathode and an anode provided in the pressure vessel so as to face each other with a space between them, and the electrode surface of which is thinned. Electrodes that generate a discharge to excite the gas laser medium, a high-voltage power supply connected to these electrodes via a capacitor and a high-voltage switch, and almost the back surface of the electrode surface in the vacuum-tight chamber. An X-ray generation section having a sheet-shaped target body provided so as to cover the entire surface and an X-ray generation cathode provided in the vicinity of the target, and a high voltage applying voltage to the X-ray generation cathode. A gas laser oscillator comprising: a voltage discharge circuit; and an optical resonator that optically resonates the laser light generated by the excitation.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62285245A JPH06105813B2 (en) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | Gas laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62285245A JPH06105813B2 (en) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | Gas laser oscillator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01128482A JPH01128482A (en) | 1989-05-22 |
| JPH06105813B2 true JPH06105813B2 (en) | 1994-12-21 |
Family
ID=17688992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62285245A Expired - Lifetime JPH06105813B2 (en) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | Gas laser oscillator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06105813B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4108472C2 (en) * | 1991-03-15 | 1995-10-05 | Lambda Physik Forschung | Device for pre-ionizing gas in a pulsed gas laser |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0716065B2 (en) * | 1985-01-23 | 1995-02-22 | 株式会社日立製作所 | Gas laser device |
| JPS6281077A (en) * | 1985-10-03 | 1987-04-14 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | X-ray automatically preionizing, discharge type laser |
| JPS63217678A (en) * | 1987-03-06 | 1988-09-09 | Toshiba Corp | Pulse laser |
-
1987
- 1987-11-13 JP JP62285245A patent/JPH06105813B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01128482A (en) | 1989-05-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |