JPH06104715A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH06104715A
JPH06104715A JP4250043A JP25004392A JPH06104715A JP H06104715 A JPH06104715 A JP H06104715A JP 4250043 A JP4250043 A JP 4250043A JP 25004392 A JP25004392 A JP 25004392A JP H06104715 A JPH06104715 A JP H06104715A
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JP
Japan
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circuit
frequency
clock signal
stage
multiplier
Prior art date
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Pending
Application number
JP4250043A
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English (en)
Inventor
Atsushi Kameyama
山 敦 亀
Katsue Kawahisa
久 克 江 川
Tomotoshi Inoue
上 智 利 井
Kenji Ishida
田 賢 二 石
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 高周波クロック信号が伝送するバッファ回路
等の消費電力の大きいこと及び特性のばらつきが大きい
ことを改善する。 【構成】 本来のクロック信号の1/n分周周波数をバ
ッファ回路で増幅し、アンプの変換利得が1以下となる
ような高周波で動作するデジタル回路の近傍でn逓倍器
で高周波クロック信号に戻す。 【効果】 バッファ回路を本来必要なクロック周波数の
1/nの周波数で動作させるため、素子ばらつきに強
く、消費電力の低減が計れる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、高周波のクロック信号
を用いて高速論理動作を行うディジタル集積回路を備え
る半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】FETを用いたディジタル集積回路の中
で、高速論理動作が可能なものとしてGaAs基板に形
成されたDCFL(Direct Coupled FET Logic)あるい
はSCFL(Source Coupled FET Logic)などの論理ゲ
ートを用いたものがよく知られている。特に、数GHz
以上の通信用ICである時分割型マルチプレクサ及びデ
マルチプレクサの開発が盛んに行われているが、その性
能は、基本回路の構成要素であるFETの性能に負うと
ころが大きく、高性能FETの代表であるゲート長0.
5μmのBPMES(Buried P-layer Metal Sohottky)
FETを用いて設計・試作されている。
【0003】図4は、2入力から1つを選択する2:1
の単位マルチプレクサM1〜M7をツリー状にM1、M
2〜M3及びM4〜7と3段接続して8本のデータ線D
0 〜D7 から1つの信号Di を選択する23 :1のマル
チプレクサを構成した例を示している。このマルチプレ
クサを動作させるために、高周波数のクロック信号、例
えば周波数fck=10GHzのクロック信号φが選択信
号として第1段のマルチプレクサM1に供給される。第
2段のマルチプレクサM2〜M3には、クロック信号φ
が1/2分周器101によって1/2の周波数に分周さ
れて選択信号として供給される。また、第3段のマルチ
プレクサM4〜M7には、クロック信号φが1/4分周
器102によって1/4の周波数に分周されて選択信号
として供給される。1/nの分周器はカウンタによって
構成することができる。各段の単位マルチプルサを同期
させるために、クロック信号φ及びクロック信号φの分
周クロック信号は夫々遅延及びバッファ回路103〜1
05を経由して各単位マルチプレクサに供給される。
【0004】N:1の単位マルチプレクサをツリー状に
M段接続した場合には、選択信号として各段の単位マル
チプレクサに与えられるクロック信号の周波数はfck〜
fck/NM-1 の広い範囲に渡る。従って、通信用のマル
チプレクサには超高周波のfckを使用することになる。
【0005】図5は、1入力を2つの出力に分配する
1:2の単位デマルチプレクサDM1〜DM7をツリー
状に接続して、すなわち、第1段にDM1、第2段にD
M2及びDM3、第3段にDM4〜DM7を配置して、
1本のデータ線Di から8本のデータ線D0 〜D7 に信
号を分配する1:23 のデマルチプレクサを構成した例
を示している。
【0006】このデマルチプレクサにおいても回路動作
させる選択信号として周波数fck〜fck/4のクロック
信号が用いられている。1:Nの単位デマルチプレクサ
をツリー状にM段接続した場合にも選択信号として必要
なクロック信号の周波数はfck〜fck/NM-1 に渡る。
従って、高速に動作するトランジスタで論理ゲート等を
形成する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、優れた
素子特性を持つFETを用いたとしても、論理回路を構
成した場合に寄生容量・寄生抵抗の影響を受け、素子特
性の性能を十分に発揮されることが困難なことが多い。
従来のディジタル集積回路設計においては、負荷容量特
に配線容量を低減してFETの持つ性能を出来るだけ引
き出す努力がなされているが、それでも十分でない場合
が多い。これは、N入力から1つを選択するN:1の単
位マルチプレクサをツリー型にM段接続し、上記マルチ
プレクサの選択信号がカウンタから供給されるNM :1
時分割マルチプレクサのクロック周波数と同一の周波数
で変化する最終段の選択信号を駆動するバッファ回路に
おいて顕著である。デマルチプレクサにおいても同様で
ある。
【0008】図6は、従来よりよく知られているSCF
L回路である。同図において、FETQ1 〜Q3 、抵抗
1 、RL1、RL2、R2 はSCFLの差動アンプを構成
している。FETQ4 〜Q7 、ダイオードd1 〜d4
抵抗R3 、R4 はレベルシフト回路を構成している。
【0009】図7は、上記SCFL回路の小信号利得の
周波数特性を示している。ディジタルICにこのSCF
Lインバータあるいはバッファを使用する場合、入力信
号の閾値電圧Vin-th を所定の値に調整する必要があ
る。そのため、図6に示すように、ソースフォロア段に
レベルシフト用ダイオードd1 〜d4 が挿入される。こ
のダイオードには、寄生抵抗Rsが存在し、それにより
利得の周波数特性が劣化する。
【0010】図8にRsの値を変化させた時の利得の周
波数依存性を示す。利得が1となる周波数fcは、Rs
=100、50及び0Ωに対して夫々8、10及び13
GHzとなっている。つまり、実用上のインバータ(1
00Ω程度のRsを持つ)では、f=10GHz前後で
利得が1前後となり、10GHzでの動作が要求される
マルチプレクサやデマルチプレクサの最終段の選択信号
用バッファ回路の設計が著しく困難になるという問題を
有している。また、バッファ回路としてやむなく用いる
場合においても、回路の最適化を十分に行い、利得の低
い問題を解消するために回路段数を増やして(通常10
段前後)実現するが、そうすると消費電力が大きい。図
7に示されるように利得特性が周波数依存性のある領域
で用いているため素子ばらつきなどによって起こる回路
の高周波特性のばらつきにも弱い。従って、高周波デバ
イスの歩留は、バッファ回路の特性で決まってしまい、
その値も低い。
【0011】このように、従来のバッファ回路ではバッ
ファ回路自身が高速な特性を有していても、寄生抵抗・
寄生容量により超高周波での利得が大きく劣化するた
め、クロックバッファあるいはそれに準ずる回路として
用いることが難しい。
【0012】それ故、N:1のマルチプレクサあるいは
1:Nのデマルチプレクサをツリー型にM段接続し上記
マルチプレクサあるいは1:Nのデマルチプレクサの選
択信号をカウンタから供給するNM :1時分割マルチプ
レクサあるいは1:NM 時分割デマルチプレクサの設計
では、最終段のN:1マルチプレクサあるいは初段の
1:Nデマルチプレクサの選択信号用バッファ回路の設
計が利得を十分にとれないため難しくなる。従来のSC
FL回路を用いる場合には、前述したように回路の最適
化を十分に行い、利得の低い問題を解消するために回路
段数を増やして実現していたが、素子ばらつきに弱いた
めその歩留は必ずしも高くない。また、消費電力が非常
に大きい、という問題を有している。
【0013】よって、本発明は、時分割型マルチプレク
サの最終段あるいはデマルチプレクサの初段の選択信号
用クロックバッファ回路の如き超高周波数のクロック信
号を扱うトランジスタ回路の低消費電力化・高速安定動
作を可能とする半導体装置を提供することを目的とす
る。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の半導体装置は、トランジスタ素子の遷移周
波数高周波のクロック信号を用いて高速動作を行うデジ
タル回路を備える半導体装置において、上記デジタル回
路の近傍にn逓倍器を設け、上記遷移周波数よりも低く
かつ上記クロック信号の1/nの周波数である1/nク
ロック信号を上記n逓倍器を介して上記デジタル回路に
供給するようにしたことを特徴とする。
【0015】
【作用】本発明は、トランジスタの遷移周波数の近傍あ
るいはこれを超える高周波クロック信号のクロック周波
数を1/nの周波数に低下してクロック信号が伝送する
能動回路における周波数−利得特性上の利得を十分にと
り、上記高周波クロック信号を用いるデジタル回路の近
傍で逓倍器を用いてn逓倍することで、上記デジタル回
路を直接高周波クロック周波数で動作させるのと等価の
結果を得る。
【0016】上記構成により、クリティカルな回路特性
が最終段の逓倍器のみで決まるため、消費電力の低減と
同時に素子ばらつきに強い回路の実現が可能となる。
【0017】
【実施例】以下、図面を参照しながらこの発明の実施例
を説明する。
【0018】図1は、本発明を23 :1マルチプレクサ
に適用した例を示している。同図において図4と対応し
ている部分には同一符号を付し、かかる部分の説明は省
略する。この実施例ではクロック信号φ/2の周波数は
fck/2であり、図4に示される従来構成に用いられる
クロック信号φの1/2の周波数である。クロック信号
φ/2は、分周器101aによって1/2に周波数が下
げられて、周波数fck/4のクロック信号となって、遅
延調整バッファ回路105aを介して第3段めの単位マ
ルチプレクサM4〜M7の各々に選択信号として供給さ
れる。クロック信号φ/2は、そのまま遅延調整バッフ
ァ回路104aを介して第2段めの単位マルチプレクサ
M2及びM3に選択信号として供給される。
【0019】更に、クロック信号φ/2は遅延調整回路
103a及びバッファ回路11を介して逓倍器12に供
給される。逓倍器12はクロック信号φと同じ周波数f
scとなり、信号レベルを調整するバイアス供給回路13
を介して単位マルチプレクサM1に選択信号として供給
される。
【0020】図2は、図1に示された回路11〜13の
部分を示している。
【0021】クロック周波数の1/2分周周波数である
fck/2を増幅するバッファ回路11、2逓倍回路1
2、バイアス供給回路13、2:1マルチプレクサM1
から構成される。バイアス供給回路13は、2逓倍器1
2の出力信号レベルを2:1マルチプレクサM1の論理
レベルに合わせるために設けている。
【0022】本実施例では、高利得であるバッファ回路
11で振幅利得を得る。逓倍器12における振幅の損失
を見込んで、バッファ回路11で信号の振幅を増加させ
ている。その後、変換利得1以下となるような超高周波
数で動作する逓倍器12でクロック信号の周波数fck/
2を2逓倍して周波数fckとし、バイアス供給回路13
でクロック信号の論理レベルをSCFL回路に合わせ
る。従って、逓倍器12よりも前にあるバッファ回路1
1等は、高周波特性において利得等に十分余裕のある周
波数fck/2で動作するため、寄生容量や寄生抵抗の影
響が問題にならない程度であり、バッファ回路の消費電
力の低減が行えると共に素子ばらつきの影響の低いバッ
ファ回路が実現できる。また、予め逓倍器12の変換利
得のばらつきを考慮して、これが問題にならないように
逓倍器への入力振幅をバッファ回路11で確保するの
で、回路全体として低消費電力で歩留の良い回路が得ら
れる。
【0023】このように、本発明によりマルチプレクサ
あるいはデマルチプレクサの最終段選択信号用バッファ
回路として、低消費電力・高歩留が可能となる。
【0024】図3に図2に示されたブロック回路の11
〜13の具体的な構成例を示す。バッファ段11、逓倍
段12、バイアス供給段13により構成される。バッフ
ァ段11は、図6に示すSCFL回路と同様の構成であ
るが、トランジスタQ14〜Q17からなるソースフォロア
段に容量C11〜C14が設けられている。この容量はレベ
ルシフトダイオードd11〜d16の寄生抵抗Rs を見えな
くするために設けた結合容量である。トランジスタQ13
電流量Iは、通常のSCFL回路の電流量I。より2〜
2.5倍程度大きい値に設定し、出力振幅△Vを通常の
2〜2.5倍に設定している。逓倍段12は、トランジ
スタQ21〜Q27等によって構成されるアナログ乗算器で
入力信号を乗算することにより2逓倍の信号成分をつく
る。本逓倍回路ではデプレーション型FETを使用し、
入力振幅に対し十分なダイナミックレンジを確保してい
る。また、最終段のバイアス供給段13で高周波成分を
取り出し、分割抵抗R27及びR28、R29及びR30により
SCFL回路レベルで供給する。本方式では、逓倍回路
の変換利得が1の場合で逓倍波の振幅は約0.5倍に減
少するため、最終的に得られる出力振幅は、通常のSC
FL回路の1〜1.3倍となる。
【0025】上記実施例では2:1単位マルチプレクサ
の場合について、周波数fck/2のクロック信号を2逓
倍して与える例について説明したが、1:2単位マルチ
プレクサの場合についても同様である。更に、N:1の
単位マルチプレクサあるいは1:Nのデマルチプレクサ
をツリー状に接続する場合には周波数fck/Nのクロッ
クと、N倍の逓倍器とを用いる構成とし、この逓倍器を
最終段のマルチプレクサあるいは初段のマルチプレクサ
の近傍に配置して、最高周波数のクロック信号が通過す
る領域を最小限にすることができる。
【0026】本回路方式の効果を検証するために、Ga
AsMESFETを用いたSCFL回路による従来のバ
ッファ回路と本発明による回路の比較を行った。
【0027】FETは、ゲート長0.5μmのP層埋め
込み型LDD構造のもので相互コンダクタンスgm=4
50mS/mm、カットオフ周波数ft=40GHz、
閾値電圧Vth=−0.2Vのものである。実際に試作し
たSCFL回路は、図4に示すようにシンク電流I0
2mAとし、負荷抵抗450Ωとし論理振幅△V=0.
9Vを得ている。本回路を基本に選択信号用バッファ回
路を設計した場合、図9に示すようにバッファ段として
1倍バッファ1段+2倍バッファ3段+4倍バッファ3
段を必要とした為、消費電力は600mWとなった。ま
た、FETの素子ばらつきに関して検討を行った。図1
0にFETの閾値が100mVばらついて−0.1Vに
なったときのバッファ回路の振幅特性を示す。同図に示
すように閾値が−0.1Vのときの10GHzでの振幅
は0.3Vとなる。次段であるマルチプレクサあるいは
デマルチプレクサの動作の為の最小必要入力レベルが
0.55Vであるから、この場合マルチプレクサあるい
はデマルチプレクサの最終段を動作させることはできな
い。一方、本発明においてはバッファ段に通常のSCF
L回路でスイッチング段のシンク電流I=4mA、ソー
スフォロア段のシンク電流I=2mV、とする。このと
き、バッファ回路のf=5GHzでの出力振幅△Vは、
バッファアンプ2段で0.9Vから1.8Vに増す。次
に逓倍段は、Vth=−1.0Vの閾値のFETからなる
アナログ乗算器で構成され、乗算段のシンク電流I1
10mA、ソースフォロア段のシンク電流4mAで構成
されている。本構成によると最終出力の高周波成分とし
て10GHzで論理振幅△V=0.9Vの振幅が得られ
る。このときの消費電力は、170mWであった。ま
た、図11にFETの閾値が100mVばらついて−
0.1V、−0.9Vになった場合の出力論理を示す。
10GHz出力時で、論理振幅0.8Vが得られてお
り、素子ばらつきに強いことが証明された。
【0028】なお、図2におけるバイアス供給は、図3
における2逓倍回路のソースフォロア段と2逓倍段の間
に設けても良い。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、トランジスタの利得が1以下となる遷移周波数の近
傍あるいはこれを超える高周波クロックを用いるとき
に、このクロックを使用するデジタル回路の近傍にn逓
倍器を設けて、それよりも前段のクロックの周波数を遷
移周波数以下となるようにしているので高周波によって
クリティカルとなる領域を可及的に減らして半導体装置
の低消費電力化および歩留の改善を図ることが可能とな
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示すブロック図。
【図2】図1の回路11〜13の部分を説明するブロッ
ク図。
【図3】本発明の具体的実施例。
【図4】従来例を示すブロック図。
【図5】他の従来例を示すブロック図。
【図6】SCFL回路を示す回路図。
【図7】SCFL回路の周波数対利得特性を示すグラ
フ。
【図8】利得のダイオード抵抗依存性を示すグラフ。
【図9】従来のバッファ回路例を示すグラフ。
【図10】従来の出力振幅の周波数依存性を示すグラ
フ。
【図11】本発明の出力振幅の周波数依存性を示すグラ
フ。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成5年1月7日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項1
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0014
【補正方法】変更
【補正内容】
【0014】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の半導体装置は、高周波のクロック信号を用
いて高速動作を行うデジタル回路を備える半導体装置に
おいて、上記デジタル回路の近傍にn逓倍器を設け、遷
移周波数よりも低くかつ上記クロック信号の1/nの周
波数である1/nクロック信号を上記n逓倍器を介して
上記デジタル回路に供給するようにしたことを特徴とす
る。
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H03K 19/0952 (72)発明者 石 田 賢 二 神奈川県川崎市幸区小向東芝町1 株式会 社東芝総合研究所内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】トランジスタ素子の遷移周波数高周波のク
    ロック信号を用いて高速動作を行うデジタル回路を備え
    る半導体装置であって、 前記デジタル回路の近傍にn逓倍器を設け、前記遷移周
    波数よりも低くかつ前記クロック信号の1/nの周波数
    である1/nクロック信号を前記n逓倍器を介して前記
    デジタル回路に供給するようにしたことを特徴とする半
    導体装置。
  2. 【請求項2】前記デジタル回路は、マルチプレクサある
    いはデマルチプレクサであることを特徴とする請求項1
    記載の半導体装置。
JP4250043A 1992-09-18 1992-09-18 半導体装置 Pending JPH06104715A (ja)

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