JPH0599348A - Gate valve - Google Patents
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- JPH0599348A JPH0599348A JP3139287A JP13928791A JPH0599348A JP H0599348 A JPH0599348 A JP H0599348A JP 3139287 A JP3139287 A JP 3139287A JP 13928791 A JP13928791 A JP 13928791A JP H0599348 A JPH0599348 A JP H0599348A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、半導体基板処理装置の
処理室における基板の搬出入口の開閉等に使用されるゲ
ートバルブに係わり、特に搬出入口が大径であっても高
い密封性能を維持するゲートバルブに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gate valve used for opening and closing a substrate loading / unloading port in a processing chamber of a semiconductor substrate processing apparatus, and in particular, maintains high sealing performance even when the loading / unloading port has a large diameter. Gate valve.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年益々需要が増大している半導体の製
造には、特殊雰囲気中における基板の処理工程は欠かせ
ないものである。すなわち、基板表面の薄膜形成あるい
はその加工等の工程は、ほとんどが低圧力下における特
殊ガズ雰囲気中で行われるものであり、具体的には基板
を処理室と呼ばれる真空チャンバ内に配置した状態で行
われる。2. Description of the Related Art In the production of semiconductors, the demand of which is increasing more and more in recent years, a substrate processing step in a special atmosphere is indispensable. That is, most of the steps such as forming a thin film on the surface of the substrate or processing the same are performed in a special gas atmosphere under low pressure. Specifically, the substrate is placed in a vacuum chamber called a processing chamber. Done.
【0003】したがって、この処理室の密封性は、製品
の歩留り及び品質に影響する圧力条件を所望の値に設定
する上で重要であるとともに、処理室内に有毒で腐食性
の強いガスを導入する工程にあっては、安全性の面から
も重要である。例えばCVD等の薄膜形成工程におい
て、腐食性の強いガスが漏れると、危険であり又処理装
置の真空チャンバ以外の部品の損傷等が発生する恐れが
ある。Therefore, the hermeticity of the processing chamber is important for setting the pressure condition that affects the yield and quality of the product to a desired value, and also introduces a toxic and highly corrosive gas into the processing chamber. It is also important in terms of safety in the process. For example, when a corrosive gas leaks in a thin film forming process such as CVD, it is dangerous and may damage parts other than the vacuum chamber of the processing apparatus.
【0004】そして、この処理室の密封性を確保する上
では、処理室における基板の搬出入口の漏れが問題とな
り、ゲートバルブと呼ばれるこの搬出入口を開閉する装
置の性能が重要となるが、従来、このゲートバルブとし
ては、図4に示す構成のものが用いられていた。In order to secure the sealing property of the processing chamber, leakage of the substrate loading / unloading port in the processing chamber becomes a problem, and the performance of a device called a gate valve for opening / closing the loading / unloading port is important. As the gate valve, the one having the structure shown in FIG. 4 was used.
【0005】これは、処理室1の搬出入口2が形成され
た側壁3に沿って上下動する可動体4と、この可動体4
に揺動自在に取り付けられたリンク5と、このリンク5
の一端側に軸支された状態で可動体4の側壁3側に配置
されたゲート板6と、側壁3における搬出入口2の上方
に形成されたストッパー7と、リンク5の他端側と可動
体4との間に設けられてリンク5を図4において時計回
転方向に付勢する引張りバネ8と、可動体4を駆動する
アクチュエータ(図示略)とを備えるものである。This is a movable body 4 which moves up and down along a side wall 3 in which a carry-in / out port 2 of the processing chamber 1 is formed, and the movable body 4.
Link 5 that is swingably attached to the
Of the gate plate 6 disposed on the side wall 3 side of the movable body 4 while being pivotally supported on one end side of the movable body 4, a stopper 7 formed above the carry-in / out port 2 on the side wall 3, and the other end side of the link 5. A tension spring 8 provided between the movable body 4 and the body 4 to urge the link 5 clockwise in FIG. 4 and an actuator (not shown) for driving the movable body 4 are provided.
【0006】そして、可動体4の上昇に伴い上昇したゲ
ート板6がストッパ7に当接した状態から、さらに可動
体4を上昇させることにより、リンク5が図4において
反時計回りに揺動して生じるゲート板6の左向きの移動
により、側壁3においてシール材9が取り付けられた搬
出入口2の周縁部(以下、シート部という)にゲート板
6を押し付けて密着させて搬出入口2を閉塞するもの
で、逆に、可動体4を下降させることにより引張りバネ
8の復元力によりゲート板6を側壁3から離間させつつ
下降させて、搬出入口2を開くものであった。Then, when the movable plate 4 is further raised from the state in which the gate plate 6 that has risen as the movable body 4 rises contacts the stopper 7, the link 5 swings counterclockwise in FIG. As a result of the leftward movement of the gate plate 6, the gate plate 6 is pressed against the peripheral edge portion (hereinafter referred to as a sheet portion) of the carry-in / out port 2 to which the sealing material 9 is attached on the side wall 3 to close the carry-in / out port 2. On the contrary, by lowering the movable body 4, the gate plate 6 is lowered while being separated from the side wall 3 by the restoring force of the tension spring 8 to open the carry-in / out port 2.
【0007】なお、この場合、ゲートバルブの可動体4
又はゲート板6等は、処理室1内を常に所定圧力以下に
維持するために処理室1の搬出入口2に接続されて設け
られる搬出入用真空室10内に配置されており、また、
側壁3はこの搬出入用真空室10を形成するチャンバの
壁である。(通常、基板の装置外部への搬出入はこのよ
うな搬出入用真空室を介して行われる。例えば搬入の際
には、大気圧状態とされたこの搬出入用真空室10に一
旦搬入され、この搬出入用真空室10を処理室と同圧に
した後、上記ゲートバルブの動作により搬出入口2が開
かれて、搬出入用真空室10内の基板がさらに処理室内
に搬入される。)In this case, the movable body 4 of the gate valve
Alternatively, the gate plate 6 and the like are arranged in a carry-in / carry-out vacuum chamber 10 connected to the carry-in / carry-out port 2 of the process chamber 1 in order to always maintain the pressure in the process chamber 1 at a predetermined pressure or less,
The side wall 3 is a wall of a chamber forming the loading / unloading vacuum chamber 10. (Usually, the substrate is carried in and out of the apparatus through such a carrying-in / carrying-out vacuum chamber. For example, at the time of carrying-in, the carrying-in / carrying-out vacuum chamber 10 that has been brought to the atmospheric pressure is carried in once. After the loading / unloading vacuum chamber 10 has the same pressure as the processing chamber, the loading / unloading port 2 is opened by the operation of the gate valve, and the substrate in the loading / unloading vacuum chamber 10 is further loaded into the processing chamber. )
【0008】またなお、可動体4を駆動するアクチュエ
ータは、予備真空室10の外部に配置されたエアーシリ
ンダ等からなるもので、予備真空室10を形成するチャ
ンバの下壁を貫通して可動体4を支持するロッド11を
上下動させるものである。The actuator for driving the movable body 4 is composed of an air cylinder or the like arranged outside the preliminary vacuum chamber 10. The movable body 4 penetrates the lower wall of the chamber forming the preliminary vacuum chamber 10. The rod 11 which supports 4 is moved up and down.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】上記従来のゲートバル
ブは、直線的な動きのみが可能なシリンダ等のアクチュ
エータで、ゲート板の二方向(上下方向と水平方向)の
移動を実現し、ひとつのアクチュエータの動作を切替え
るだけで容易に搬出入口の開閉ができるという優れた特
長を有するものであるが、特に搬出入口が大径になれば
なるほど密封性能が低下するという問題があった。The above-mentioned conventional gate valve is an actuator such as a cylinder that can move only linearly and realizes movement of the gate plate in two directions (vertical direction and horizontal direction). Although it has an excellent feature that the loading / unloading port can be easily opened / closed by switching the operation of the actuator, there is a problem that the sealing performance deteriorates as the loading / unloading port has a larger diameter.
【0010】すなわち、ゲート板6を十分な力で押し付
けてシール材9が十分につぶれた状態とし密封性能を高
く維持するには、この力の反力とともにゲート板6の両
側の圧力差を強固に受け止めなければならないが、上記
従来の構成であると、ロッド6に曲げ変形が生じること
によりリンク5のてこの作用が効かなくなり、ゲート板
6を押し付ける力が十分に得られず、漏れが発生する恐
れがあった。そして、搬出入口が大径になればなるほ
ど、シール材9をつぶすのに必要な押し付け力が大きく
なり、また、ゲート板の両側の圧力差によりゲート板に
加わる力も大きくなるので、漏れの可能性が大きくなっ
ていた。That is, in order to press the gate plate 6 with a sufficient force so that the sealing material 9 is sufficiently crushed and maintain a high sealing performance, the reaction force of this force and the pressure difference between both sides of the gate plate 6 are strengthened. However, in the case of the above-described conventional structure, the rod 6 is bent and deformed, so that the lever 5 does not work effectively, and the force for pressing the gate plate 6 cannot be obtained sufficiently, resulting in leakage. I was afraid to do it. The larger the loading / unloading port, the greater the pressing force required to crush the sealing material 9, and the greater the force applied to the gate plate due to the pressure difference between the two sides of the gate plate. Was getting bigger.
【0011】そして、このように密封性能に限界がある
ことは、前述したように製品の高い品質を実現する上で
好ましくなくまた危険であるとともに、搬出入口が大き
くできないことから、近年において強く望まれている半
導体基板(ウエハー)の大口径化やディスプレイ等の大
型化に伴う液晶基板の大口径化を妨げるものとして問題
であった。[0011] The limitation of the sealing performance is not desirable and dangerous for realizing high quality of the product as described above, and the loading / unloading port cannot be made large. This has been a problem because it hinders an increase in the diameter of a liquid crystal substrate that accompanies an increase in the diameter of a rare semiconductor substrate (wafer) and an increase in the size of a display or the like.
【0012】本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされ
たもので、半導体基板処理装置の処理室における基板の
搬出入口の開閉等に使用されるゲートバルブであって、
特に搬出入口が大径であっても高い密封性能を維持する
ゲートバルブを提供することを目的としている。The present invention has been made in view of the above conventional problems, and is a gate valve used for opening and closing a substrate loading / unloading port in a processing chamber of a semiconductor substrate processing apparatus.
In particular, it is an object of the present invention to provide a gate valve that maintains high sealing performance even when the loading / unloading port has a large diameter.
【0013】[0013]
【課題を解決するための手段】本発明のゲートバルブ
は、相対向する側壁にそれぞれ開口部が形成されたチャ
ンバと、該チャンバ内の前記側壁間に配置されてこの側
壁に沿う方向に移動自在とされた可動体と、該可動体に
揺動自在に取り付けられた一対のリンクと、前記開口部
に押し付けられることによって前記開口部を閉塞可能な
ゲート板であって、前記リンクの先端側にそれぞれ軸支
された状態で前記可動体の両側に各側壁に対向させて配
置された一対のゲート板と、前記可動体を駆動するアク
チュエータと、前記側壁に設けられ前記可動体の移動に
伴い前記開口部に対向する位置に移動した前記ゲート板
の端面に当接して前記ゲート板の前記側壁に沿う方向の
移動のみを阻止するストッパーとよりなることを特徴と
している。SUMMARY OF THE INVENTION A gate valve according to the present invention is a chamber having openings formed in opposite side walls, and is disposed between the side walls in the chamber and movable in a direction along the side walls. A movable body, a pair of links swingably attached to the movable body, and a gate plate capable of closing the opening by being pressed against the opening, A pair of gate plates arranged on both sides of the movable body so as to face each side wall in a state of being axially supported, an actuator for driving the movable body, and the movable body provided on the side wall as the movable body moves. It is characterized in that it comprises a stopper that comes into contact with the end face of the gate plate that has moved to a position facing the opening and blocks only the movement of the gate plate in the direction along the side wall.
【0014】[0014]
【作用】本発明のゲートバルブは、チャンバの一方の開
口部を開閉しようとする搬出入口等に接続した状態で設
置し、アクチュエータを動作させて可動体を移動させれ
ば、各ゲート板によってチャンバの各開口部が内側から
閉塞された状態と、各ゲート板が各開口部から離間した
状態とに切替えることができるので、このチャンバの相
対向する開口部を介して前記搬出入口を密封性良く開閉
することができる。The gate valve of the present invention is installed in a state where one opening of the chamber is connected to a loading / unloading port for opening and closing, and when the movable body is moved by operating an actuator, the chamber is moved by each gate plate. It is possible to switch between the state in which each opening of the chamber is closed from the inside and the state in which each gate plate is separated from each opening, so that the carry-in / out port can be sealed with good sealability through the opposite opening of this chamber. It can be opened and closed.
【0015】すなわち、各ゲート板は各リンクの揺動に
より各側壁に近接離間する如く運動することが可能であ
り、また、可動体をストッパーに向う側に移動させる
と、各ゲート板は、ストッパーに当接するまでは各側壁
に沿う移動のみを強制されるが、ストッパーに当接した
(各ゲート板が開口部に対向する位置に移動した)後
は、側壁に沿う移動を阻止されて、リンクの揺動をとも
なって各側壁に向う方向への移動を強制される。That is, each gate plate can move so as to move toward and away from each side wall by swinging of each link, and when the movable body is moved to the side facing the stopper, each gate plate moves to the stopper. Until it abuts, it is forced to move along each side wall, but after abutting against the stopper (each gate plate has moved to the position facing the opening), movement along the side wall is blocked, and the link It is forced to move in the direction toward each side wall with rocking.
【0016】したがって、可動体をストッパーに向って
移動させれば、自動的にゲート板が各開口部に押し付け
られて各開口部が閉塞されることになり、逆に可動体を
ストッパーと反対側に移動させれば各ゲート板を開口部
から離間させて各開口部を開くことができる。そして、
可動体をストッパーに向って移動させた際にゲート板が
開口部に押し付けられる力は、可動体を駆動するアクチ
ュエータの出力がリンクのてこの作用により増幅された
十分大きなものとなるので、結果的にこの開口部に接続
された搬出入口は高い密封性で閉塞されることになる。Therefore, when the movable body is moved toward the stopper, the gate plate is automatically pressed against each opening to close each opening, and conversely, the movable body is provided on the side opposite to the stopper. If the gate plate is moved to, the gate plates can be separated from the openings to open the openings. And
The force with which the gate plate is pressed against the opening when the movable body is moved toward the stopper is sufficiently large because the output of the actuator that drives the movable body is amplified by the lever action of the link. In addition, the carry-in / out port connected to this opening is closed with a high hermeticity.
【0017】なぜなら、ゲート板は可動体の両側に設け
られ、この一対のゲート板がそれぞれ可動体の両側に移
動するようにして各開口部に押し付けられる構成である
ので、ゲート板を押し付ける力の反力は両側から可動体
に加わって打消し合うことになり、可動体を支持するロ
ッド等の曲げ変形(すなわち、可動体の側壁に直交する
方向の移動)はほとんど生じなくなり、可動体はリンク
のてこの作用により確実に大きな力で開口部に押し付け
られるからである。This is because the gate plates are provided on both sides of the movable body and the pair of gate plates are pressed against the respective openings so as to move to both sides of the movable body. The reaction force is applied to the movable body from both sides to cancel each other out, and bending deformation of the rod supporting the movable body (that is, movement in the direction orthogonal to the side wall of the movable body) hardly occurs, and the movable body is linked. This is because the lever action ensures that the lever is pressed against the opening with a large force.
【0018】そして、たとえ、このように開口部を閉塞
した状態にあるゲート板の一面側に加わる圧力と、他面
側に加わる圧力に差があり、上記反力の打消し合いの作
用があってもなおこの圧力差による力が可動体に作用
し、万が一いずれか一方のゲート板による密封性能が低
下してここで若干の漏れが生じたとしても、他方のゲー
ト板の押し付け力はかえって増加するので、少なくとも
この他方のゲート板による密封によって搬出入口の閉塞
状態はチャンバ全体で十分維持されるからである。Further, even if there is a difference between the pressure applied to the one surface side of the gate plate and the pressure applied to the other surface side in the state where the opening is thus closed, there is an action of canceling the reaction forces. However, the force due to this pressure difference still acts on the movable body, and even if a small leak occurs here due to the deterioration of the sealing performance of one of the gate plates, the pressing force of the other gate plate will rather increase. Therefore, the closed state of the carry-in / out port is sufficiently maintained in the entire chamber by at least the sealing by the other gate plate.
【0019】[0019]
【実施例】以下、本発明の一実施例を図1〜図3により
説明する。図1において符号20で示すものがゲートバ
ルブである。この図1は、処理室15の搬出入口16と
搬出入用真空室17の接続口18との間に、このゲート
バルブ20を配置した場合を示している。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. Reference numeral 20 in FIG. 1 is a gate valve. FIG. 1 shows a case where the gate valve 20 is arranged between the loading / unloading port 16 of the processing chamber 15 and the connection port 18 of the loading / unloading vacuum chamber 17.
【0020】このゲートバルブ20は、相対向する側壁
21a,21bにそれぞれ開口部22a,22bが形成
されたチャンバ23と、このチャンバ23内の各側壁間
の中央に配置されてこの側壁21a,21bに沿う方向
(この場合上下方向)に移動自在とされた可動体24
と、この可動体24に揺動自在に取り付けられた一対の
リンク25a,25bと、各リンクの先端側にそれぞれ
軸支された状態で可動体24の両側に配置された一対の
ゲート板26a,26bと、可動体24を駆動するアク
チュエータ(図示略)と、各側壁21a,21bに設け
られ可動体24の移動に伴い各開口部22a,22bに
対向する位置に移動した各ゲート板26a,26bの端
面に当接してこの上下方向の移動のみを阻止するストッ
パー27a,27bとよりなるものである。The gate valve 20 is provided with a chamber 23 in which openings 22a and 22b are formed in opposite side walls 21a and 21b, respectively, and the side walls 21a and 21b are arranged in the center between the side walls in the chamber 23. A movable body 24 that is movable in a direction along the direction (in this case, the vertical direction)
A pair of links 25a and 25b swingably attached to the movable body 24, and a pair of gate plates 26a arranged on both sides of the movable body 24 in a state of being axially supported by the tip ends of the links. 26b, an actuator (not shown) for driving the movable body 24, and the gate plates 26a, 26b provided on the side walls 21a, 21b and moved to positions facing the openings 22a, 22b as the movable body 24 moves. Of the stoppers 27a and 27b that come into contact with the end face of the stopper and block only the movement in the vertical direction.
【0021】チャンバ23は、上部が開口した本体部2
3aと、この本体部23aの上部開口を密封して閉塞す
る上蓋23bとよりなり、全体として直方体状とされた
ものであり、本体部23aの側壁が前記側壁21a,2
1bとなっている。そして、このチャンバ23の各側壁
21a,21bの内面であって各開口部22a,22b
の周縁には、シール部材28a,28bが取り付けら
れ、ゲート板26a,26bが押し付けられることによ
って各開口部25a,22bが閉塞されるように、シー
ト部が形成されている。The chamber 23 is a main body 2 having an open top.
3a and an upper lid 23b that seals and closes the upper opening of the body portion 23a, and has a rectangular parallelepiped shape as a whole, and the side wall of the body portion 23a is the side walls 21a, 2
It is 1b. The inner surfaces of the side walls 21a and 21b of the chamber 23 and the openings 22a and 22b
Sealing members 28a and 28b are attached to the peripheral edge of the sheet, and seat portions are formed so that the openings 25a and 22b are closed by pressing the gate plates 26a and 26b.
【0022】可動体24は、前記上蓋23bを貫通した
状態で上下に摺動可能とされたロッド29に支持された
ものであり、図2,図3に示す如く、全体として帯板状
の形状とされたものである。この可動体24の両端は、
チャンバ23の内側面(図1において向う側と手前側の
内側面)に取り付けられたリニアガイド30により上下
動自在に案内されている。そして、この可動体24を支
持するロッド29は、チャンバ23の外部上方に配置さ
れたエアーシリンダ等のアクチュエータにより駆動され
る構成とされている。The movable body 24 is supported by a rod 29 which is vertically slidable while penetrating the upper lid 23b, and as shown in FIGS. 2 and 3, has a strip-like shape as a whole. It is said that. Both ends of the movable body 24 are
A linear guide 30 attached to the inner side surface of the chamber 23 (the inner side surface on the opposite side and the front side in FIG. 1) is guided so as to be vertically movable. The rod 29 that supports the movable body 24 is driven by an actuator such as an air cylinder arranged above the outside of the chamber 23.
【0023】リンク25a,25bは、その揺動方向
が、各側壁21a,21bに略直交し可動体24の移動
方向に略平行な面(この場合、図1において紙面に平行
な面)に沿う方向とされたもので、それぞれ上下に対を
なすようにして可動体24の長手方向4箇所の位置に合
計8本設けられており、各上下の組合せが平行リンクを
形成している。したがって、各ゲート板26a,26b
は常に各側壁21a,21bに対向した状態を維持しつ
つ、各リンクの揺動にともなって、各側壁21a,21
bに対して近接離間するような運動をする構成となって
いる。The swing directions of the links 25a and 25b are along a plane which is substantially orthogonal to the side walls 21a and 21b and is substantially parallel to the moving direction of the movable body 24 (in this case, a plane parallel to the paper surface in FIG. 1). In total, eight pieces are provided at four positions in the longitudinal direction of the movable body 24 so as to form a pair, and the upper and lower combinations form a parallel link. Therefore, each gate plate 26a, 26b
Is always facing the side walls 21a, 21b, and the side walls 21a, 21b
It is configured to move so as to move closer to and away from b.
【0024】そして、各リンク25a,25bの揺動に
より各ゲート板26a,26bが最も可動体24より離
間したとき(この場合、各リンク25a,25bが水平
方向に向いたとき)の各ゲート板26a,26bの外面
間の距離が、各側壁21a,21b内面間の距離よりも
大きくなるように、各リンク25a,25bの長さ等の
寸法が設定されている。また、各リンク25a,25b
は、各ゲート板26a,26bを各側壁21a,21b
の内側に配置させるために、各ゲート板26a,26b
が最も可動体24より離間する角度よりもストッパー2
7a,27bの側に向って揺動した状態(この場合、図
1の如く各リンクの先端側が下方に傾いた状態)とされ
ている。Each gate plate 26a, 26b is separated from the movable body 24 by the swing of each link 25a, 25b (in this case, each link 25a, 25b is oriented in the horizontal direction). The lengths and the like of the links 25a and 25b are set so that the distance between the outer surfaces of 26a and 26b is larger than the distance between the inner surfaces of the side walls 21a and 21b. In addition, each link 25a, 25b
Connects the gate plates 26a and 26b to the side walls 21a and 21b.
Each gate plate 26a, 26b for placement inside the
Is more than the angle at which the stopper 2 is farthest from the movable body 24.
It is in a state of swinging toward the 7a, 27b side (in this case, the tip side of each link is inclined downward as shown in FIG. 1).
【0025】すなわち、この場合、可動体24や各ゲー
ト板26a,26bは上蓋23bを取外した状態でチャ
ンバ23内に挿入されて組立られるわけであるが、上記
のようにリンクの長さ等が設定されているために、各リ
ンク25a,25bが水平方向に向いている状態では、
各ゲート板26a,26bの外面間の距離がチャンバ2
3の内面間の距離よりも大きくなっていて、これらを挿
入することはできない。そこで、各リンク25a,25
bを上方か下方かに揺動させた状態にすることが必要で
あるが、この場合、各リンク25a,25bを下方(ス
トッパー27a,27bがある側)に揺動させた状態で
これらを挿入しなければならない。ただし、本実施例の
場合、可動体24の移動方向が鉛直方向とされ、各スト
ッパー27a,27bは下側に配置されているので、重
力の作用に任せておけば自然と各リンク25a,25b
はストッパー27a,27bの側に揺動した状態となる
ので、特に操作は要しない。That is, in this case, the movable body 24 and each of the gate plates 26a and 26b are inserted and assembled in the chamber 23 with the upper lid 23b removed. Since each link 25a, 25b is set in the horizontal direction because it is set,
The distance between the outer surfaces of the gate plates 26a and 26b is the chamber 2
It is larger than the distance between the inner surfaces of 3 and cannot be inserted. Therefore, each link 25a, 25
It is necessary to oscillate b upward or downward. In this case, insert each link 25a, 25b with the links oscillated downward (on the side where the stoppers 27a, 27b are). Must. However, in the case of the present embodiment, since the moving direction of the movable body 24 is the vertical direction and the stoppers 27a and 27b are arranged on the lower side, if the action of gravity is left, the links 25a and 25b will naturally move.
Does not require any particular operation because it is in a state of swinging toward the stoppers 27a and 27b.
【0026】つぎに、ストッパー27a,27bは、こ
の場合、各ゲート板26a,26bの寸法を考慮した距
離だけ各開口部22a,22bの下側に設けられたもの
で、各ゲート板26a,26bに当接する上面が水平面
とされ、この面に当接した各ゲート板26a,26bが
容易に水平方向に摺動できるように、例えば上面の部分
が摩擦係数の低い材料で形成されたものである。Next, the stoppers 27a, 27b are provided below the openings 22a, 22b by a distance in consideration of the dimensions of the gate plates 26a, 26b. The upper surface that abuts against is a horizontal surface, and for example, the upper surface portion is made of a material having a low friction coefficient so that the gate plates 26a and 26b that abut on this surface can easily slide in the horizontal direction. ..
【0027】なお、図1において符号31で示すもの
は、ロッド29の貫通部を密封する軸シールであり、ま
た符号32,33,34で示すものは、上蓋23bの接
合部、チャンバ23と処理室15のチャンバとの接続
部、チャンバ23と搬出入用真空室17のチャンバとの
接続部を、それぞれ密封するシール部材である。In FIG. 1, reference numeral 31 is a shaft seal for sealing the penetrating portion of the rod 29, and reference numerals 32, 33 and 34 are processing portions with the joint portion of the upper lid 23b and the chamber 23. It is a sealing member that seals the connection between the chamber 15 and the chamber, and the connection between the chamber 23 and the loading / unloading vacuum chamber 17.
【0028】上記のように構成されたゲートバルブであ
ると、アクチュエータを動作させて可動体24を下降さ
せれば、各ゲート板26a,26bによって各開口部2
2a,22bが内側から閉塞され、可動体24を上昇さ
せれば、各ゲート板26a,26bが各開口部22a,
22bから離間し上方に退避するので、このチャンバ2
3の相対向する開口部22a,22bを介して、処理室
15の搬出入口16を搬出入用準備室17内に対して密
封性良く開閉し、基板の出入れを行うことができる。With the gate valve constructed as described above, when the actuator is operated to lower the movable body 24, the gate plate 26a, 26b is used to open each opening 2.
2a and 22b are closed from the inner side, and when the movable body 24 is raised, the gate plates 26a and 26b are opened to the openings 22a and 22a.
This chamber 2 is separated from 22b and retracts upward.
Through the openings 22a and 22b facing each other, the loading / unloading port 16 of the processing chamber 15 can be opened / closed with respect to the inside of the loading / unloading preparation chamber 17 with good sealing property to load / unload substrates.
【0029】すなわち、可動体24をストッパー27
a,27bに向う側に移動させると、各ゲート板26
a,26bは、各ストッパー27a,27bに当接する
までは下方に向う移動のみを強制されるが、各ストッパ
ー27a,27bに当接した(各ゲート板26a,26
bが各開口部22a,22bに対向する位置に移動し
た)後は、下向の移動を阻止されて、各リンク25a2
5bの揺動をともなって水平方向の移動を強制されるこ
とになる。That is, the movable body 24 is attached to the stopper 27.
When moved to the side facing a and 27b, each gate plate 26
The a and 26b are forced to move downward only until they come into contact with the stoppers 27a and 27b, but they come into contact with the stoppers 27a and 27b (the gate plates 26a and 26b).
b has moved to a position facing each opening 22a, 22b), the downward movement is blocked, and each link 25a2 is blocked.
With the swing of 5b, the movement in the horizontal direction is forced.
【0030】しかも、各リンク25a,25bは、前述
の如く下方に向って揺動した状態とされているので、こ
の際の各ゲート板26a,26bの移動の向きは、各開
口部22a,22bに向う方向となる。そして、各リン
ク25a,25bが水平になり各ゲート板26a,26
bが最も可動体24より離間したときの各ゲート板26
a,26bの外面間の距離は、各側壁21a,21b内
面間の距離よりも大きくなるように構成されているの
で、この各開口部22a,22bに向う各ゲート板26
a,26bの移動は、各開口部22a,22bの周縁の
シート部にゲート板26a,26bが十分押し付けられ
るまで行われる。Moreover, since the links 25a and 25b are in the state of swinging downward as described above, the directions of movement of the gate plates 26a and 26b at this time are the respective openings 22a and 22b. The direction is toward. Then, the links 25a, 25b become horizontal and the gate plates 26a, 26
Each gate plate 26 when b is farthest from the movable body 24
Since the distance between the outer surfaces of the a and 26b is larger than the distance between the inner surfaces of the side walls 21a and 21b, the gate plates 26 facing the openings 22a and 22b are formed.
The movements of a and 26b are performed until the gate plates 26a and 26b are sufficiently pressed against the sheet portions on the peripheral edges of the openings 22a and 22b.
【0031】したがって、可動体24を下降させれば、
自動的に各ゲート板26a,26bが押し付けられて各
開口部22a,22bが閉塞されることになり、逆に可
動体24を上昇させれば各ゲート板26a,26bを各
開口部22a,22bから離間させてかつ上方に退避さ
せて各開口部22a,22bを開くことができる。そし
て、可動体24を下降させた際に各ゲート板26a,2
6bが押し付けられる力は、可動体24を駆動するアク
チュエータの出力が各リンク25a,25bのてこの作
用により増幅された十分大きなものとなるので、結果的
に搬出入口16は搬出入用真空室17に対して高い密封
性で閉塞されることになる。Therefore, if the movable body 24 is lowered,
The gate plates 26a and 26b are automatically pressed to close the openings 22a and 22b. Conversely, if the movable body 24 is raised, the gate plates 26a and 26b are opened to the openings 22a and 22b. The openings 22a and 22b can be opened by separating the openings 22a and 22b and retreating upward. Then, when the movable body 24 is lowered, the gate plates 26a, 2
The force with which 6b is pressed is sufficiently large because the output of the actuator that drives the movable body 24 is amplified by the lever action of each link 25a, 25b, and as a result, the carry-in / out port 16 is brought into the carry-in / out vacuum chamber 17 It will be closed with high sealing property.
【0032】なぜなら、各ゲート板26a,26bは可
動体24の両側に設けられ、これら一対のゲート板26
a,26bがそれぞれ可動体24の両側に移動するよう
にして押し付けられる構成であるので、各ゲート板26
a,26bを押し付ける力の反力は両側から可動体24
に加わって打消し合うことになり、また、可動体24は
ロッド29のみならずリニアガイド30にも支持されて
いるので、可動体24の水平方向の変位はほとんど生じ
なくなり、各ゲート板26a,26bはリンク25a,
25bのてこの作用により確実に大きな力で押し付けら
れるからである。Because the gate plates 26a and 26b are provided on both sides of the movable body 24, the pair of gate plates 26a and 26b are provided.
Since the a and 26b are pressed so as to move to both sides of the movable body 24, each gate plate 26
The reaction force of the force pressing a and 26b is
In addition, since the movable body 24 is supported not only by the rod 29 but also by the linear guide 30, the horizontal displacement of the movable body 24 hardly occurs, and each gate plate 26a, 26b is a link 25a,
This is because the lever action of 25b surely presses it with a large force.
【0033】そして、例えば、処理室15の圧力が搬出
入用真空室17の圧力よりも大きく、上記反力の打消し
合いの作用があってもなお可動体24を図1において右
側に押す力が作用し、左側のゲート板26aによる密封
性能が低下して万が一開口部22a側のシート部から若
干の漏れが生じたとしても、他方のゲート板26bの押
し付け力はかえって増加するので、少なくともこの他方
のゲート板26bによる密封によって、漏れたガスは少
なくともチャンバ23内に留り搬出入用真空室17内に
混入することはないからである。Then, for example, even if the pressure in the processing chamber 15 is larger than the pressure in the loading / unloading vacuum chamber 17 and the reaction forces cancel each other, the force for pushing the movable body 24 to the right side in FIG. Even if a slight leak occurs from the seat portion on the side of the opening 22a due to the effect of the action of the gate plate 26a on the left side and the sealing performance by the gate plate 26a on the left side is reduced, the pressing force of the other gate plate 26b is rather increased. This is because the leaked gas stays at least in the chamber 23 and is not mixed in the carry-in / out vacuum chamber 17 due to the sealing by the other gate plate 26b.
【0034】したがって、上記ゲートバルブによれば、
各開口部22a,22b(搬出入口16)を大径なもの
とすることにより、必要なゲート板26a,26bの押
し付け力が増加するとともに、受圧面積が増加して圧力
差によりゲート板26a,26bに加わる力が増加した
としても、高い密封性能を維持して、処理室15の搬出
入口16の開閉が従来同様容易に行えるという効果があ
る。Therefore, according to the above gate valve,
By making each opening 22a, 22b (carry-in / out port 16) to have a large diameter, the required pressing force of the gate plates 26a, 26b is increased, and the pressure receiving area is increased so that the pressure difference causes the gate plates 26a, 26b to increase. Even if the force applied to the processing chamber is increased, the high sealing performance is maintained, and the loading / unloading port 16 of the processing chamber 15 can be easily opened and closed as in the conventional case.
【0035】なお、本発明は上記実施例のような態様に
限られず、各種の変形があり得る。例えば、可動体の移
動方向は上下方向に限らず横方向でもよい。ただし、こ
の場合、ゲート板26a,26bを側壁21a,21b
から離間させる方向に重力が働かないので、滑らかな開
閉を行うには、ゲート板26a,26bを側壁21a,
21bから離間させる方向に各リンク25a,25bを
付勢するバネ等を設けることが好ましい。The present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, but various modifications can be made. For example, the moving direction of the movable body is not limited to the vertical direction and may be the horizontal direction. However, in this case, the gate plates 26a and 26b are connected to the side walls 21a and 21b.
Since gravity does not work in the direction of separating the gate plates from each other, in order to perform smooth opening and closing, the gate plates 26a and 26b are connected to the side walls 21a and
It is preferable to provide a spring or the like for biasing the links 25a and 25b in a direction in which they are separated from 21b.
【0036】また、チャンバ23は、必ずしも処理室1
5等を形成するチャンバに対して別体として構成する必
要はなく、例えば、処理室15のチャンバと一体に形成
され、あるいは搬出入用真空室17のチャンバの一部と
して形成されていてもよい。The chamber 23 is not necessarily the processing chamber 1
It is not necessary to form it separately from the chamber for forming 5 and the like, and for example, it may be formed integrally with the chamber of the processing chamber 15 or as a part of the chamber of the carry-in / out vacuum chamber 17. ..
【0037】さらに、本発明は、上記のように半導体等
の処理装置に限られず、あらゆる密閉室の開口部を閉塞
するのに用いて同様な作用を奏するものであることはい
うまでもない。Further, it goes without saying that the present invention is not limited to the processing apparatus for semiconductors and the like as described above, but can be used to close the opening of any closed chamber and has the same effect.
【0038】[0038]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のゲートバルブによれば、開閉しようとする搬出入口等
の大型化にともない各開口部を大径なものとしたとして
も、高い密封性能を維持しつつ、この開閉を従来同様容
易に行うことができる。したがって、半導体や液晶の基
板処理装置においては、本発明を適用することによっ
て、処理室のゲートバルブからの漏れの問題を解消し、
大型基板への対応を可能ならしめることができるという
効果がある。As is apparent from the above description, according to the gate valve of the present invention, even if each opening has a large diameter due to an increase in the size of the loading / unloading port to be opened / closed, a high sealing performance is achieved. This opening and closing can be easily performed as in the conventional case while maintaining the performance. Therefore, in a semiconductor or liquid crystal substrate processing apparatus, by applying the present invention, the problem of leakage from the gate valve of the processing chamber is solved,
There is an effect that it is possible to cope with a large substrate.
【図1】本発明のゲートバルブを処理室と搬出入用真空
室との間に設置した状態を示す側断面図である。FIG. 1 is a side sectional view showing a state in which a gate valve of the present invention is installed between a processing chamber and a loading / unloading vacuum chamber.
【図2】図1におけるII矢視図である。FIG. 2 is a view on arrow II in FIG.
【図3】図2におけるIII矢視図である。3 is a view on arrow III in FIG. 2. FIG.
【図4】従来のゲートバルブを説明するための側断面図
である。FIG. 4 is a side sectional view for explaining a conventional gate valve.
21a,21b 側壁 22a,22b 開口部 23 チャンバ 24 可動体 25a,25b リンク 26a,26b ゲート板 27a,27b ストッパー 21a, 21b Side wall 22a, 22b Opening 23 Chamber 24 Movable body 25a, 25b Link 26a, 26b Gate plate 27a, 27b Stopper
Claims (1)
されたチャンバと、該チャンバ内の前記側壁間に配置さ
れてこの側壁に沿う方向に移動自在とされた可動体と、
該可動体に揺動自在に取り付けられた一対のリンクと、
前記開口部に押し付けられることによって前記開口部を
閉塞可能なゲート板であって、前記リンクの先端側にそ
れぞれ軸支された状態で前記可動体の両側に各側壁に対
向させて配置された一対のゲート板と、前記可動体を駆
動するアクチュエータと、前記側壁に設けられ前記可動
体の移動に伴い前記開口部に対向する位置に移動した前
記ゲート板の端面に当接して前記ゲート板の前記側壁に
沿う方向の移動のみを阻止するストッパーとよりなるこ
とを特徴とするゲートバルブ。1. A chamber having openings formed in opposite side walls, and a movable body disposed between the side walls in the chamber and movable in a direction along the side walls.
A pair of links swingably attached to the movable body,
A gate plate capable of closing the opening by being pressed against the opening, the pair being arranged on both sides of the movable body so as to face each side wall while being axially supported by the tip side of the link. Of the gate plate, an actuator for driving the movable body, and an end surface of the gate plate which is provided on the side wall and has moved to a position facing the opening along with the movement of the movable body so as to contact the end surface of the gate plate. A gate valve comprising a stopper that blocks only movement in the direction along the side wall.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
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JPH0599348A true JPH0599348A (en) | 1993-04-20 |
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