JPH059575Y2 - - Google Patents
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- JPH059575Y2 JPH059575Y2 JP1985132958U JP13295885U JPH059575Y2 JP H059575 Y2 JPH059575 Y2 JP H059575Y2 JP 1985132958 U JP1985132958 U JP 1985132958U JP 13295885 U JP13295885 U JP 13295885U JP H059575 Y2 JPH059575 Y2 JP H059575Y2
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Description
【考案の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
本考案は、ホスフイン或はアルシン等の反応性
ガスの流れを制御するための切換弁に関する。[Detailed description of the invention] (a) Industrial application field The present invention relates to a switching valve for controlling the flow of a reactive gas such as phosphine or arsine.
(ロ) 従来技術
半導体製造プロセスにおいて、ホスフイン、ア
ルシン等の反応性ガスを使用流体とする切換弁
は、ガスの性質上内部、外部漏洩の許容値が極め
て高いレベルで保証されなければならず、特に外
部漏洩のそれは、１×10-9torr／sec以下でなけ
れば商品価値が無いとさえ言われている。また、
反応性ガスを流すため、一般に使用されているエ
ラストマーシール材は使用できない。このため、
流量と寿命の確保のために第２図に示されるよう
に耐食性ステンレスによる金属ベローズを使用し
た切換弁が一般的であつた。(B) Prior art In semiconductor manufacturing processes, switching valves that use reactive gases such as phosphine and arsine as fluids must ensure extremely high internal and external leakage tolerances due to the nature of the gases. In particular, it is said that external leakage has no commercial value unless it is less than 1×10 -9 torr/sec. Also,
Due to the flow of reactive gases, commonly used elastomeric sealants cannot be used. For this reason,
In order to ensure flow rate and service life, a switching valve using a metal bellows made of corrosion-resistant stainless steel, as shown in FIG. 2, has been common.
この切換弁は、弁本体ａと弁作動用のシリンダ
ｂのシリンダ体ｃとをスリーブ状のホルダｄ及び
ロツクナツトｅを介して連結し、弁本体ａ内の弁
体ｆとシリンダｂのピストンｇとを長いロツドｈ
で連結し、ホルダｄ内に金属ベローズｉを配置し
てその一端をロツドｈのフランジ部ｊに接合しか
つ他端をホルダｄと本体ａとの間に嵌合固定され
たリングｋに接合し、金属ベローズによつて弁本
体内からシリンダ側へのガスの流出を防止するよ
うになつている。 This switching valve connects a valve body a and a cylinder body c of a cylinder b for valve operation via a sleeve-shaped holder d and a lock nut e, and connects a valve body f in the valve body a and a piston g of the cylinder b. long rod h
A metal bellows i is placed inside the holder d, one end of which is joined to the flange part j of the rod h, and the other end is joined to a ring k that is fitted and fixed between the holder d and the main body a. The metal bellows prevents gas from flowing from inside the valve body to the cylinder side.
しかしながら、このような従来の切換弁では、
金属ベローズを使用し、必要なステム移動量
を確保するためには山数が多く長いものが必要
となり、そのために流体が接触するベローズ表
面積が大きくなつてしまい、弁部或は弁外部か
ら発生したごみ（パーテイクル）がベローズ内
面に付着する確立が高くなる、
ベローズの内側表面積が大きい上に複雑な形
状をしているため、付着したごみが弁外に出に
くくごみの対流が進み、ある量になると一度に
多量に突然二次側に流出する、
等の問題がある。 However, such conventional switching valves use metal bellows, and in order to secure the required amount of stem movement, the bellows must be long and have many ridges, which increases the surface area of the bellows that comes into contact with the fluid. There is a high possibility that particles generated from the valve part or outside the valve will adhere to the inner surface of the bellows.Because the bellows has a large inner surface area and has a complex shape, the attached particles may not reach the outside of the valve. There are problems such as convection of waste that is difficult to remove, and when a certain amount is reached, a large amount of waste suddenly flows out to the secondary side.
(ハ) 考案が解決しようとする課題
本考案が解決しようとする課題は、切換弁のベ
ローズの代わりに耐食性金属ダイヤフラムを使用
するとともに弁体を動かすピストンを一対としか
つばねを切換弁の本体外に設けることにより、切
換弁にベローズと同様の寿命と流量特性与え、し
かもごみ等による動作不良を起こさず大きな閉止
力を与えることである。(c) Problems to be solved by the invention The problems to be solved by the invention are to use a corrosion-resistant metal diaphragm instead of the bellows of the switching valve, a pair of pistons to move the valve body, and a spring outside the main body of the switching valve. The purpose of this is to provide the switching valve with the same lifespan and flow characteristics as a bellows, and to provide a large closing force without causing malfunctions due to dirt or the like.
(ニ) 課題を解決するための手段
上記課題を解決するため、本考案は、入口ポー
ト及び該入口ポートに弁口を介して通じる出口ポ
ートが形成された本体と、該本体内に該弁口を開
閉できるように設けられた弁体と、該本体に固定
されたシリンダ体と、該シリンダ体内に移動可能
に設けられていてステムを介して該弁体に連結さ
れたピストンとを備えた反応性ガス用切換弁にお
いて、該本体と該シリンダ体との間には耐食性の
環状の金属ダイヤフラムを設けて該金属ダイヤフ
ラムの内周を該ステムに面する該弁体の端面に密
封的に接合しかつ該弁体と該ステムとで挟み、該
金属ダイヤフラムの外周を該本体にパツキンを介
して密閉状態で係合させ、該ピストンを一対とし
て軸を介して軸方向に隔てて連結し、該シリンダ
体内には該対のピストンの同じ側に室を設けかつ
該室を該軸内を伸びる通孔を介して連通可能にし
て開室内への流体圧の供給により該弁体が該弁口
を開ける方向に動くようにし、該シリンダ体内に
は該弁体が該弁口を閉じる方向に該対のピストン
の少なくとも一つのピストンを押圧するばねを設
けて構成されている。(d) Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, the present invention provides a main body in which an inlet port and an outlet port communicating with the inlet port via a valve port are formed, and the valve port is provided in the main body. A reaction comprising a valve body provided to be able to open and close, a cylinder body fixed to the main body, and a piston movably provided within the cylinder body and connected to the valve body via a stem. In the switching valve for gas, a corrosion-resistant annular metal diaphragm is provided between the main body and the cylinder body, and the inner periphery of the metal diaphragm is hermetically joined to the end face of the valve body facing the stem. and sandwiched between the valve body and the stem, the outer periphery of the metal diaphragm is hermetically engaged with the main body via a packing, the pistons are connected as a pair via a shaft, separated in the axial direction, and the cylinder A chamber is provided in the body on the same side of the pair of pistons, and the chamber is communicated with through a through hole extending within the shaft, and the valve body opens the valve port by supplying fluid pressure into the open chamber. The cylinder body is provided with a spring that presses at least one piston of the pair of pistons in a direction in which the valve body closes the valve port.
(ホ) 作用
上記構成において、シリンダ体の室内に流体圧
が供給されていないとき、ピストンがばねにより
押圧されて弁体は弁口を閉じている。室内に流体
圧を供給すると、一対のピストンがその流体圧に
より同時にばねに抗する方向に動き、弁体が弁口
を開く。本体内の流体は金属ダイヤフラムにより
連結部材に沿つて漏れるのを完全に阻止される。(e) Effect In the above configuration, when fluid pressure is not supplied to the chamber of the cylinder body, the piston is pressed by the spring and the valve body closes the valve port. When fluid pressure is supplied into the chamber, the pair of pistons simultaneously move in a direction against the spring due to the fluid pressure, and the valve body opens the valve port. Fluid within the body is completely prevented from leaking along the coupling member by the metal diaphragm.
(ヘ) 実施例
以下、図面を参照して本考案の実施例について
説明する。(F) Embodiments Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
第１図において本実施例の切換弁１が示されて
いる。同図において、２ａは入口ポート２１ａ、
出口ポート２２ａ及び入口ポートと出口ポートと
を通じる弁口２３ａが形成された本体、３ａは本
体内に移動可能に設けられ先端（図で下端）の弁
シート部３１ａで弁口２３ａを開閉する弁体、４
ａは円筒状の連結部材５ａ及びロツクナツト６ａ
により本体の上部に取り付けられた弁作動装置す
なわちシリンダである。 In FIG. 1, a switching valve 1 of this embodiment is shown. In the figure, 2a is an inlet port 21a,
A main body is formed with an outlet port 22a and a valve port 23a that communicates with the inlet port and the outlet port, and 3a is a valve that is movably provided in the main body and opens and closes the valve port 23a with a valve seat portion 31a at the tip (lower end in the figure). body, 4
a is a cylindrical connecting member 5a and a lock nut 6a
is a valve actuator or cylinder mounted on the top of the body.
シリンダ４ａは連結部材５ａの上部に螺合され
たカバー部分４３a′、カバー部分の上に被せるよ
うにして取り付けられた本体部４２ａ及び本体部
の上部に取り付けられた他のカバー部分４３ａか
ら成るシリンダ体４１ａと、シリンダ体４１ａ内
に移動可能に設けられたピストンとを備えてい
る。ピストンは軸４４１ａにより互いに軸方向に
隔てて連結されたピストン４４ａ及び４４a′の二
段になつている。そして一方のピストン４４a′が
ばね４５ａにより図で下方に弾圧されている。 The cylinder 4a is a cylinder consisting of a cover part 43a' screwed onto the upper part of the connecting member 5a, a main body part 42a attached to cover the cover part, and another cover part 43a attached to the upper part of the main body part. It includes a body 41a and a piston movably provided within the cylinder body 41a. The pistons include two stages of pistons 44a and 44a' connected to each other by a shaft 441a and spaced from each other in the axial direction. One piston 44a' is pressed downward in the figure by a spring 45a.
他方のカバー部分４３ａに形成されたポート４
６ａは、カバー部分４３ａに形成された通孔４７
ａ及び４８ａを介して上側のピストン４４ａの下
側に限定された室４９ａと連通しかつ通孔４７ａ
及び軸４４１ａに貫通して形成された通孔４８
a′を介して下側のピストンの下側に限定された室
４９a′と連通している。 Port 4 formed in the other cover portion 43a
6a is a through hole 47 formed in the cover portion 43a.
communicates with a chamber 49a limited to the lower side of the upper piston 44a via a and 48a, and a through hole 47a.
and a through hole 48 formed through the shaft 441a.
It communicates via a' with a chamber 49a' defined below the lower piston.
ピストン４４ａ及び４４a′を連結している軸４
４１ａは、連結部材５ａ内に移動可能に設けられ
たステム７ａを介して弁体３ａに連結されてい
る。 A shaft 4 connecting pistons 44a and 44a'
41a is connected to the valve body 3a via a stem 7a that is movably provided within the connecting member 5a.
本体２ａと連結部材５ａとの間にはステンレス
のような耐食性金属ダイヤフラム８ａが配置さ
れ、その金属ダイヤフラムの外周は本体２ａとそ
の本体の上部に嵌合された連結部分５ａの下端と
の間でパツキン８１ａを介在させ圧着固定されて
いる。また金属ダイヤフラム８ａの内周は弁体３
ａのステム側の面に溶着されている。ステム７ａ
は下端のねじが弁体３ａのねじ内に螺合されて互
いに連結されている。 A corrosion-resistant metal diaphragm 8a such as stainless steel is arranged between the main body 2a and the connecting member 5a, and the outer periphery of the metal diaphragm is between the main body 2a and the lower end of the connecting part 5a fitted to the upper part of the main body. It is crimped and fixed with a gasket 81a interposed therebetween. In addition, the inner periphery of the metal diaphragm 8a is the valve body 3.
It is welded to the stem side surface of a. Stem 7a
The screws at the lower end are screwed into the screws of the valve body 3a and are connected to each other.
上記構成において、ポート４６ａに流体圧が供
給されていないとき、ピストン４４ａ及び４４
a′はばね４５ａにより押し下げられているためス
テム７ａを介して弁体３ａを押し下げ、弁口２３
ａを閉じている。 In the above configuration, when fluid pressure is not supplied to the port 46a, the pistons 44a and 44
Since a' is pushed down by the spring 45a, the valve body 3a is pushed down via the stem 7a, and the valve port 23
A is closed.
次にポート４６ａに流体圧を供給すると、その
流体圧は通孔４７ａ及び４８ａ並びに４７ａ及び
４８a′を介して二つの室４９ａ及び４９a′にそれ
ぞれ入り、ピストン４４ａ及び４４a′をばね４５
ａの押圧力に抗して押し上げる。このため弁体３
ａも引き上げられ弁口２３ａを開き反応性ガスは
入口ポートから出口ポートに流れる。 Next, when fluid pressure is supplied to the port 46a, the fluid pressure enters the two chambers 49a and 49a' through the through holes 47a and 48a and 47a and 48a', respectively, and moves the pistons 44a and 44a' to the spring 45.
Push up against the pressing force of a. Therefore, the valve body 3
a is also pulled up, opening the valve port 23a, and the reactive gas flows from the inlet port to the outlet port.
(ト) 効果
本考案による反応性ガス用切換弁は、耐食性の
金属ダイヤフラムを使用して弁体の駆動部となる
シリンダを弁の本体内から隔離すると共にシリン
ダのピストンを一対にしたので、ベローズ内での
ごみ、塵の滞留がなくて動作不良を起こさず従来
のこの種の切換弁よりも寿命を長くでき、しか
も、弁口閉止用のばねの力を強くして大きな弁閉
止力を得ることができる。更に、ステムに面する
弁体の端面に金属ダイヤフラムの内周を密封的に
接合したので、反応性ガスが弁体の半径方向内側
にステムとの接合部まで侵入することを防止で
き、したがつて、ステムの材料として必ずしも耐
食性金属を使用しなくてもよくなる。(G) Effect The reactive gas switching valve according to the present invention uses a corrosion-resistant metal diaphragm to isolate the cylinder that serves as the driving part of the valve body from the valve body, and also has a pair of cylinder pistons, so the bellows Since there is no accumulation of dirt or dust inside the valve, it does not cause malfunction and has a longer lifespan than conventional switching valves of this type.Moreover, the force of the valve closing spring is strengthened to obtain a large valve closing force. be able to. Furthermore, since the inner periphery of the metal diaphragm is hermetically joined to the end face of the valve body facing the stem, it is possible to prevent reactive gas from penetrating radially inside the valve body to the joint with the stem. Therefore, it is no longer necessary to use a corrosion-resistant metal as the material for the stem.
第１図は本考案の反応性ガス用切換弁の一実施
例の断面図、第２図は従来のこの種の切換弁の断
面図である。
１……切換弁、２ａ……本体、２１ａ……入口
ポート、２２ａ……出口ポート、２３ａ……弁
口、３ａ……弁体、４ａ……シリンダ、４１ａ…
…シリンダ体、４４ａ，４４ａ……ピストン、５
ａ……連結部材、８ａ……金属ダイヤフラム。
FIG. 1 is a sectional view of an embodiment of the reactive gas switching valve of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view of a conventional switching valve of this type. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1...Switching valve, 2a...Main body, 21a...Inlet port, 22a...Outlet port, 23a...Valve port, 3a...Valve body, 4a...Cylinder, 41a...
...Cylinder body, 44a, 44a... Piston, 5
a...Connecting member, 8a...Metal diaphragm.
Claims (1)
じる出口ポートが形成された本体と、該本体内に
該弁口を開閉できるように設けられた弁体と、該
本体に固定されたシリンダ体と、該シリンダ体内
に移動可能に設けられていてステムを介して該弁
体に連結されたピストンとを備えた反応性ガス用
切換弁において、該本体と該シリンダ体との間に
は耐食性の環状の金属ダイヤフラムを設けて該金
属ダイヤフラムの内周を該ステムに面する該弁体
の端面に密封的に接合しかつ該弁体と該ステムと
で挟み、該金属ダイヤフラムの外周を該本体にパ
ツキンを介して密閉状態で係合させ、該ピストン
を一対として軸を介して軸方向に隔てて連結し、
該シリンダ体内には該対のピストンの同じ側に室
を設けかつ該室を該軸内を伸びる通孔を介して連
通可能にして該室内への流体圧の供給により該弁
体が該弁口を開ける方向に動くようにし、該シリ
ンダ体内には該弁体が該弁口を閉じる方向に該対
のピストンの少なくとも一つのピストンを押圧す
るばねを設けたことを特徴とする反応性ガス用切
換弁。 A main body formed with an inlet port and an outlet port communicating with the inlet port via a valve port, a valve body provided in the main body so as to be able to open and close the valve port, and a cylinder body fixed to the main body. , a reactive gas switching valve comprising a piston movably disposed within the cylinder body and connected to the valve body via a stem, wherein a corrosion-resistant annular member is disposed between the body and the cylinder body. A metal diaphragm is provided, the inner periphery of the metal diaphragm is hermetically joined to the end surface of the valve body facing the stem and sandwiched between the valve body and the stem, and the outer periphery of the metal diaphragm is attached to the main body. the pistons are connected in a sealed manner via a shaft, and the pistons are connected as a pair via a shaft, separated in the axial direction;
A chamber is provided in the cylinder body on the same side of the pair of pistons, and the chamber is made to communicate with the chamber through a through hole extending within the shaft, and the valve body is caused to close to the valve port by supplying fluid pressure to the chamber. A switch for reactive gas, characterized in that the cylinder body is provided with a spring that presses at least one piston of the pair of pistons in a direction in which the valve body closes the valve port. valve.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985132958U JPH059575Y2 (en) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985132958U JPH059575Y2 (en) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6240373U JPS6240373U (en) | 1987-03-10 |
| JPH059575Y2 true JPH059575Y2 (en) | 1993-03-09 |
Family
ID=31032829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985132958U Expired - Lifetime JPH059575Y2 (en) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH059575Y2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022509669A (en) * | 2018-12-18 | 2022-01-21 | インテグリス・インコーポレーテッド | Valves and valve members for controlling fluid flow |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59189978U (en) * | 1983-06-03 | 1984-12-17 | ウツエバルブ株式会社 | metal diaphragm seal valve |
| JPS60126775U (en) * | 1984-02-01 | 1985-08-26 | アイダエンジニアリング株式会社 | Sealed valve |
-
1985
- 1985-08-30 JP JP1985132958U patent/JPH059575Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022509669A (en) * | 2018-12-18 | 2022-01-21 | インテグリス・インコーポレーテッド | Valves and valve members for controlling fluid flow |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6240373U (en) | 1987-03-10 |
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