JPH0593694A - Method and device for inspecting cylindrical surface - Google Patents

Method and device for inspecting cylindrical surface

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JPH0593694A
JPH0593694A JP27854591A JP27854591A JPH0593694A JP H0593694 A JPH0593694 A JP H0593694A JP 27854591 A JP27854591 A JP 27854591A JP 27854591 A JP27854591 A JP 27854591A JP H0593694 A JPH0593694 A JP H0593694A
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cylindrical surface
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cylindrical
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陽 坂田
Hiroshi Kojima
弘 小島
Naoyuki Akiyama
直之 秋山
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Abstract

PURPOSE:To obtain a device for inspecting a defect such as a flaw or nonuniformity in plating in the surface of a cylinder for a photogravure press or the like. CONSTITUTION:A light emitted by a light source 10 disposed inside a parabolic mirror 8 is made to be a light H of which the cross-sectional shape of the light flux is circular, by a round cover plate 12 covering the central part of the parabolic mirror 8. This light H advances in the direction Y along the surface 2a of a cylinder and it is transmitted through a half mirror 16 and falls on a region T to be inspected of the surface 2a of the cylinder from the direction of a normal line. A reflected light H' thereof follows the forward path reversely and falls on an incident surface of the half mirror 16. The reflected light H' transmitted in the direction Z through the half mirror 16 is reflected in the direction Y by a mirror 18 and projected on a screen 6. An image 22 projected on the screen 6 is an image of the outer peripheral surface of the cylinder 2 in the region T to be inspected and, therefore, a defect in the region T can be detected from the projected image 22.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、円筒面上の欠陥、例え
ばグラビア印刷機用シリンダの表面における傷や鍍金む
らなどを検査するための円筒面検査方法及びその装置に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cylindrical surface inspection method and apparatus for inspecting defects on the cylindrical surface, such as scratches and plating unevenness on the surface of a cylinder for a gravure printing machine.

【0002】[0002]

【従来の技術】グラビア印刷機用シリンダの表面の傷や
鍍金むらなどの欠陥を検知するためには、従来は目視に
よる外観検査や光学顕微鏡による表面観察がなされてお
り、この種のシリンダーの検査に適した検査方法や検査
装置は特に知られていない。
2. Description of the Related Art Conventionally, in order to detect defects such as scratches and uneven plating on the surface of a cylinder for a gravure printing machine, visual inspection and surface observation with an optical microscope have been conventionally performed. There is no known inspection method or inspection apparatus suitable for the above.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、目視に
よる外観検査では微小な欠陥を発見するのは困難であ
る。また、光学顕微鏡による表面観察では、シリンダの
表面の広い範囲に亘って観察を実行するには時間を要す
る。従って、これら外観検査や光学顕微鏡検査に代え
て、シリンダの表面の欠陥検査に好適な検査方法及びそ
の装置の開発が要請されている。
However, it is difficult to find minute defects by visual inspection by visual inspection. Further, in surface observation with an optical microscope, it takes time to perform observation over a wide range of the cylinder surface. Therefore, in place of the visual inspection and the optical microscope inspection, there is a demand for the development of an inspection method and an apparatus suitable for the inspection of defects on the surface of the cylinder.

【0004】本発明は、かかる要請に応えるためになさ
れたものであり、その目的とするところは、短時間でシ
リンダの表面の広い範囲に亘って欠陥検査を実行可能な
円筒面検査方法及びその装置を提供することである。
The present invention has been made in order to meet such a demand, and an object thereof is to provide a cylindrical surface inspection method and a cylindrical surface inspection method capable of executing a defect inspection over a wide range of a cylinder surface in a short time. It is to provide a device.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の円筒面検査方法は、光源から射出された光
を、鏡面状の円筒面の少なくとも一部がなす被検領域面
に対し、この被検領域面の法線方向から入射させる工程
と、その入射光に対する被検領域面の法線方向への反射
光の光路を、円筒面の長手方向に沿った一つの方向へ変
換させる工程と、その光路変換された光を二次元的に投
影することにより、被検領域面に対応する二次元像を形
成する工程と、を備える。
In order to achieve the above object, a cylindrical surface inspection method according to the present invention allows light emitted from a light source to be directed to a surface of a region to be inspected formed by at least a part of a mirror-like cylindrical surface. On the other hand, the step of making the light incident from the normal direction of the surface of the test area and the optical path of the reflected light in the normal direction of the surface of the test area to the incident light are converted to one direction along the longitudinal direction of the cylindrical surface. And a step of forming a two-dimensional image corresponding to the surface of the region to be inspected by two-dimensionally projecting the light whose path has been changed.

【0006】また、本発明の円筒面検査装置は、光源手
段と、この光源手段から射出された光を、鏡面状の円筒
面の少なくとも一部がなす被検領域面に対し、この被検
領域面の法線方向から入射させる入射手段と、その入射
光に対する被検領域面からの垂直反射光の光路を、円筒
面の長手方向に沿った一つの方向へ変換させる変換手段
と、この方向変換された光を二次元的に投影することに
より、被検領域面に対応する二次元像を形成する投影手
段と、を備えることにより上記目的を達成するものであ
る。
Further, the cylindrical surface inspection apparatus of the present invention comprises a light source means and a light emitted from the light source means with respect to an area to be inspected formed by at least a part of a mirror-like cylindrical surface. An incident means for making incident light from the normal direction of the surface, a converting means for converting the optical path of the vertically reflected light from the surface of the region to be inspected for the incident light into one direction along the longitudinal direction of the cylindrical surface, and this direction conversion The above-described object is achieved by including a projection unit that forms a two-dimensional image corresponding to the surface of the region to be inspected by two-dimensionally projecting the generated light.

【0007】この場合、上記入射手段と変換手段とを円
筒面の長手方向に沿って一体的に移動させることによ
り、円筒面の長手方向に沿って被検領域面を走査させる
長手方向走査手段を更に備えてもよい。
In this case, a longitudinal scanning means for scanning the surface of the test region along the longitudinal direction of the cylindrical surface by integrally moving the incident means and the converting means along the longitudinal direction of the cylindrical surface. It may be further provided.

【0008】本発明の他の円筒面検査装置は、光源手段
と、この光源手段から射出された光を、鏡面状の円筒面
の少なくとも一部がなす被検領域面に対し、この被検領
域面の法線方向から入射させる入射手段と、上記入射光
に対する被検領域面からの垂直反射光の光路を、円筒面
の長手方向に沿った一つの方向へ変換させる変換手段
と、上記方向変換された光を二次元的に投影することに
より、被検領域面に対応する二次元像を形成する投影手
段と、上記二次元像を撮像する撮像手段と、この撮像手
段により得られた画像に基づいて、被検領域面の表面欠
陥に起因する明暗に対応する二値化信号を形成する二値
化手段と、上記二値化信号に基づいて被検領域面の欠陥
の有無を判定する判定手段と、を備える。
Another cylindrical surface inspection apparatus of the present invention comprises a light source means and a light emitted from the light source means with respect to an area to be inspected formed by at least a part of a mirror-like cylindrical surface. Incidence means for making the light incident in the normal direction of the surface, conversion means for changing the optical path of the vertically reflected light from the surface of the region to be examined with respect to the incident light, to one direction along the longitudinal direction of the cylindrical surface, and the direction conversion Projecting means for forming a two-dimensional image corresponding to the surface of the region to be inspected by two-dimensionally projecting the generated light, an image capturing means for capturing the two-dimensional image, and an image obtained by the image capturing means. Based on the binarization means for forming a binarized signal corresponding to the light and darkness caused by the surface defect of the inspection area surface, and determining whether there is a defect on the inspection area surface based on the binarized signal And means.

【0009】尚、上記判定手段に代えて、上記二値化信
号に基づいて上記画像の二値化分布を出力する出力手段
を備えてもよい。
Instead of the judging means, an output means for outputting the binarized distribution of the image based on the binarized signal may be provided.

【0010】本発明の実施例によれば、撮像手段を有す
る円筒面検査装置は、上記入射手段と変換手段と撮像手
段とを円筒面の長手方向に沿って一体的に移動させるこ
とにより、円筒面の長手方向に沿って被検領域面を走査
させる長手方向走査手段を更に備える。
According to the embodiment of the present invention, the cylindrical surface inspection apparatus having the image pickup means is configured such that the incident means, the conversion means, and the image pickup means are integrally moved along the longitudinal direction of the cylindrical surface so that the cylindrical surface is inspected. It further comprises a longitudinal scanning means for scanning the surface of the test region along the longitudinal direction of the surface.

【0011】本発明の実施例によれば、上記の方法及び
装置における上記円筒面は、円筒状をなす被検体の外表
面である。但し、この円筒面は、中空円筒状をなす被検
体の内表面であってもよい。
According to an embodiment of the present invention, the cylindrical surface in the method and apparatus described above is the outer surface of a subject having a cylindrical shape. However, this cylindrical surface may be the inner surface of the subject having a hollow cylindrical shape.

【0012】[0012]

【作用】本発明の方法及び装置によれば、被検領域面へ
の法線方向からの入射光に対し、被検領域面から法線方
向に反射した反射光の光路が、円筒面の長手方向に沿っ
た一つの方向へ変換されることにより、曲面としての被
検領域面が、平面的な像として投影される。
According to the method and apparatus of the present invention, the optical path of the reflected light reflected from the surface of the test area in the normal direction with respect to the light incident on the surface of the test area in the normal direction is defined by the longitudinal direction of the cylindrical surface. By being converted into one direction along the direction, the test area surface as a curved surface is projected as a planar image.

【0013】[0013]

【実施例】図1は、本発明の第1実施例として、本発明
の円筒面検査方法を達成するための概念的な装置構成を
示す。この実施例では、説明を簡単にするために、光路
上に存在する機械的装置等の光路の遮蔽物は存在しない
ものと仮定する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows, as a first embodiment of the present invention, a conceptual apparatus configuration for achieving the cylindrical surface inspection method of the present invention. In this embodiment, for simplicity of explanation, it is assumed that there is no optical path shield such as a mechanical device existing on the optical path.

【0014】図1において、被測定対象のシリンダ2
は、例えばグラビア印刷機用シリンダであり、その外表
面は鍍金処理等により鏡面状に仕上げられている。以下
の説明では、このシリンダ2の長手方向に沿った方向を
Y軸方向とし、シリンダ2の径方向をZ軸方向とする。
このシリンダ2のY軸方向の両端側には、それぞれ面光
源4とスクリーン6とが配置されている。
In FIG. 1, the cylinder 2 to be measured is shown.
Is, for example, a cylinder for a gravure printing machine, and its outer surface is mirror-finished by plating or the like. In the following description, the direction along the longitudinal direction of the cylinder 2 is the Y-axis direction, and the radial direction of the cylinder 2 is the Z-axis direction.
A surface light source 4 and a screen 6 are arranged on both ends of the cylinder 2 in the Y-axis direction.

【0015】特に図2に示すように、面光源4は、パラ
ボラミラ−8と、その内方に配置された光源10と、パ
ラボラミラ−8の中央部を円形に掩蔽する円形遮蔽板1
2とを備えている。このような面光源4から射出された
光(以下、測定光と称す)Hは、光束の横断面形状が環
状の平面光となる。即ち、面光源4から射出された測定
光Hは、符号24で示すように、仮想的な中空円筒状を
なして進行する。
As shown in FIG. 2, in particular, the surface light source 4 includes a parabola mirror-8, a light source 10 disposed inside the parabola mirror-8, and a circular shield plate 1 for covering a central portion of the parabola mirror-8 in a circular shape.
2 and. The light (hereinafter, referred to as measurement light) H emitted from the surface light source 4 is a plane light having a circular cross-sectional shape of the light flux. That is, the measurement light H emitted from the surface light source 4 travels in a virtual hollow cylindrical shape as indicated by reference numeral 24.

【0016】再度、図1を参照すると、シリンダ2は、
面光源4から射出された測定光Hのなす中空円筒形状と
同軸に、且つこの中空円筒形状の内周側に配置されてい
る。
Referring again to FIG. 1, the cylinder 2 is
The measurement light H emitted from the surface light source 4 is arranged coaxially with the hollow cylindrical shape and on the inner peripheral side of the hollow cylindrical shape.

【0017】ここで、シリンダ2の長手方向の一部の領
域Tにおける表面がつくる円筒面を検査面とする。面光
源4から見て、領域Tの手前側におけるシリンダ2の外
周側における測定光Hの光路上には、環状のハーフミラ
ー16が、シリンダ2に対して同軸に配置されている。
このハーフミラー16は、面光源4に対面する内周面が
透過面とされ、スクリーン6に対面する外周面が反射面
とされている。
Here, the cylindrical surface formed by the surface in a partial area T of the cylinder 2 in the longitudinal direction is taken as the inspection surface. An annular half mirror 16 is arranged coaxially with the cylinder 2 on the optical path of the measurement light H on the outer peripheral side of the cylinder 2 on the front side of the area T when viewed from the surface light source 4.
The half mirror 16 has an inner peripheral surface facing the surface light source 4 as a transmissive surface and an outer peripheral surface facing the screen 6 as a reflective surface.

【0018】更に、ハーフミラー16の外周側には、環
状のミラー18が同軸に配置されている。このミラー1
8は、シリンダ2の外周面及びスクリーン6に対面する
内周面が反射面とされている。
Further, an annular mirror 18 is coaxially arranged on the outer peripheral side of the half mirror 16. This mirror 1
The outer peripheral surface of the cylinder 2 and the inner peripheral surface of the cylinder 8 facing the screen 6 are reflection surfaces.

【0019】図3は、上記のような光学系をシリンダ2
の長手方向に沿って断面した図を示す。但し、上記のよ
うな光学系はシリンダ2の長手方向軸線に関してほぼ回
転対称であるから、シリンダ2の上方における断面のみ
図示する。
FIG. 3 shows the optical system as described above in the cylinder 2
The figure which showed the cross section along the longitudinal direction of FIG. However, since the above optical system is substantially rotationally symmetric with respect to the longitudinal axis of the cylinder 2, only the cross section above the cylinder 2 is shown.

【0020】以下、図1及び図3を参照して、第1実施
例の装置の動作について説明する。
The operation of the apparatus of the first embodiment will be described below with reference to FIGS. 1 and 3.

【0021】面光源4から射出された測定光Hは、Y軸
方向に沿って矢印方向へ進行し、ハ−フミラ−16によ
りZ軸方向に沿ってシリンダ表面2aの検査面(領域T
における円筒面)へ向かって反射される。即ち、この測
定光Hは、シリンダ表面2aの検査面に対して、検査面
の法線方向から入射される。
The measurement light H emitted from the surface light source 4 travels in the direction of the arrow along the Y-axis direction, and is inspected (area T) on the cylinder surface 2a along the Z-axis direction by the half mirror 16.
(Cylindrical surface at) is reflected toward. That is, the measurement light H is incident on the inspection surface of the cylinder surface 2a from the direction normal to the inspection surface.

【0022】次に、シリンダ表面2aの検査面で反射し
た反射光H′が、往路を逆に辿るようにして、Z軸方向
に沿ってシリンダ2の上方へ向かって反射され、更にミ
ラ−18によりY軸方向に沿ってスクリ−ン6へ向かっ
て反射される。このミラ−18により反射された反射光
H′がスクリ−ン6上に投影される。その投影像22
は、シリンダ2の表面の被測定面を二次元的に環状に示
した像に対応する。この投影像22により、シリンダ表
面2aの検査面を観察できる。また、各ミラ−16,1
8を含むミラー群またはシリンダ2を適宜な手段により
Y軸方向に沿って移動させることにより、検査面をシリ
ンダ表面2aの長手方向に沿って走査できる。
Next, the reflected light H'reflected on the inspection surface of the cylinder surface 2a is reflected upward in the Z-axis direction so as to follow the forward path in the reverse direction, and further mirror-18. Is reflected toward the screen 6 along the Y-axis direction. The reflected light H'reflected by the mirror 18 is projected on the screen 6. The projected image 22
Corresponds to an image in which the surface to be measured on the surface of the cylinder 2 is two-dimensionally shown as a ring. From this projected image 22, the inspection surface of the cylinder surface 2a can be observed. Also, each Mira-16,1
The inspection surface can be scanned along the longitudinal direction of the cylinder surface 2a by moving the mirror group including 8 or the cylinder 2 along the Y-axis direction by an appropriate means.

【0023】図1及び図3のような各ミラ−16,18
の配置によれば、各ミラ−16,18の大きさに応じ
て、一回の検査あたりの検査面のY方向に沿った幅が決
定される。例えば、図4及び図5に示すように、各ミラ
−16,18が小さい場合(図4)は、その検査面の幅
1 も小さく、各ミラ−16,18が大きい場合(図
5)は、その検査面の幅T2 も大きい(T2>T1 )。
Each mirror-16, 18 as shown in FIGS.
According to the arrangement, the width along the Y direction of the inspection surface per inspection is determined according to the size of each of the mirrors 16 and 18. For example, as shown in FIGS. 4 and 5, when each of the mirrors 16, 18 is small (FIG. 4), the width T 1 of the inspection surface is also small and each of the mirrors 16, 18 is large (FIG. 5). Has a large width T 2 of its inspection surface (T 2 > T 1 ).

【0024】従って、各ミラ−16,18の大きさの適
宜な選択により、検査回数を必要最小限に抑えることが
可能であり、シリンダ2の全面に亘ってより信頼性の高
い検査が可能となる。また、検査光Hは、シリンダ2の
表面に対して法線方向から入射されるため、各ミラ−1
6,18の内径を適宜に選択することにより、種々の直
径のシリンダに対して検査が可能となる。
Therefore, the number of inspections can be suppressed to a necessary minimum by appropriately selecting the sizes of the respective mirrors 16 and 18, and more reliable inspection can be performed over the entire surface of the cylinder 2. Become. Further, since the inspection light H is incident on the surface of the cylinder 2 in the normal direction, each mirror-1
By appropriately selecting the inner diameters of 6 and 18, it is possible to inspect cylinders having various diameters.

【0025】次に、スクリ−ン6上に投影された像22
から検査面の欠陥を検出する方法について図6及び図7
を参照して説明する。
Next, the image 22 projected on the screen 6
6 and 7 for a method for detecting defects on the inspection surface from
Will be described.

【0026】シリンダ表面2aの検査面に欠陥、例えば
鍍金むらなどによる凸部26(図6)や比較的に大きな
傷などの凹部28(図7)が存在する場合、検査面から
入射方向に対して垂直に反射すべき反射光H′は、傷に
より乱され、検査面からスクリ−ン6までの距離Lに比
例した拡がりを持って進み、スクリ−ン6に明暗の分布
となって投影される。即ち、明暗分布上の明部分Wでは
反射光H′の反射光線の分布が密であり、同様に暗部分
Bでは疎である。この明暗の差は、スクリ−ン6上で
は、目視で充分に確認できる大きさまで拡大される。
When there is a defect, for example, a convex portion 26 (FIG. 6) due to uneven plating or the like and a concave portion 28 (FIG. 7) such as a relatively large scratch, on the inspection surface of the cylinder surface 2a, the inspection surface with respect to the incident direction. The reflected light H'which should be reflected vertically is disturbed by the scratch, travels with a spread proportional to the distance L from the inspection surface to the screen 6, and is projected on the screen 6 in a light-dark distribution. It That is, the distribution of the reflected light rays of the reflected light H'is dense in the bright portion W on the light-dark distribution, and is also sparse in the dark portion B. On the screen 6, this difference in brightness is magnified to a size that can be sufficiently visually confirmed.

【0027】尚、シリンダ表面2aの検査面の欠陥とし
て、比較的に微小な傷が存在する場合、検査面からの反
射光H′は、傷からの反射光と傷の存在しない部分から
の反射光との干渉光を含む。従って、スクリ−ン6上の
投影像22には干渉縞が観察されることになる。
When a relatively small scratch is present as a defect on the inspection surface of the cylinder surface 2a, the reflected light H'from the inspection surface is reflected from the scratch and from a portion without the scratch. Includes light that interferes with light. Therefore, interference fringes are observed in the projected image 22 on the screen 6.

【0028】上記実施例においては、機械的要素等の光
路の遮蔽物は存在しないものと仮定したために、一回の
検査による検査面は、シリンダ2の領域Tにおける全周
に亘るものとし、且つその投影像22は、連続的な環状
として投影されるものとした。しかし、実際の装置では
機械的装置等により光路が遮蔽されるため、一回の検査
により検査可能な検査面は領域Tにおける円周方向の一
部である。従って、各ミラ−16,18は必ずしも環状
形状とする必要はなく、領域Tにおける円周方向の一部
を覆う円弧状とすればよい。同様に、面光源4から射出
された測定光Hの光束の横断面形状も必ずしも環状形状
とする必要はなく、その環状形状の一部をなす円弧状と
すればよい。
In the above-mentioned embodiment, since it is assumed that there are no optical path shields such as mechanical elements, the inspection surface in one inspection is assumed to extend over the entire circumference in the region T of the cylinder 2. The projected image 22 is projected as a continuous ring. However, in an actual device, the optical path is blocked by a mechanical device or the like, so that the inspection surface that can be inspected by one inspection is a part of the region T in the circumferential direction. Therefore, each of the mirrors 16, 18 does not necessarily have an annular shape, and may have an arc shape that covers a part of the region T in the circumferential direction. Similarly, the cross-sectional shape of the luminous flux of the measurement light H emitted from the surface light source 4 does not necessarily have to be an annular shape, and may be an arc shape that is a part of the annular shape.

【0029】図8は本発明の第2実施例を示す。この実
施例は、第1実施例に示した装置における各ミラ−1
6,18及びシリンダ2のための駆動系を備えたもので
あり、第1実施例と同様な構成要素については同一の参
照符号を付して示す。
FIG. 8 shows a second embodiment of the present invention. In this embodiment, each mirror-1 in the apparatus shown in the first embodiment is
6, 18 and the drive system for the cylinder 2 are provided, and the same components as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals.

【0030】図8において、検出ユニット30には、各
ミラ−16,18(図8では図示せず)からなるミラー
群が内臓されている。シリンダ2に対するミラー群の位
置関係は、第1実施例と同様である。この検出ユニット
30は、シリンダ2の近傍にY軸方向に沿って配置され
た移動レール32に固定されている。この移動レール3
2は、Y軸モータ34の駆動により、検出ユニット30
と一体的にY軸方向に沿って移動可能である。
In FIG. 8, the detection unit 30 has a built-in mirror group consisting of the respective mirrors 16, 18 (not shown in FIG. 8). The positional relationship of the mirror group with respect to the cylinder 2 is the same as in the first embodiment. The detection unit 30 is fixed to a moving rail 32 that is arranged near the cylinder 2 along the Y-axis direction. This moving rail 3
2 is driven by the Y-axis motor 34 to detect the detection unit 30.
It is movable integrally with the Y-axis direction.

【0031】また、シリンダ2の長手中心軸線にほぼ一
致する回転軸36の一端は、駆動側軸受部38を介して
θ軸モータ40の駆動軸40aに連結され、他端は従動
側軸受部42により回転自在に支持されている。従っ
て、θ軸モータ40の駆動により、シリンダ2は、回転
軸36回りにθ方向へ回転する。
Further, one end of the rotary shaft 36, which substantially coincides with the longitudinal center axis of the cylinder 2, is connected to the drive shaft 40a of the θ-axis motor 40 via the drive side bearing portion 38, and the other end is connected to the driven side bearing portion 42. It is rotatably supported by. Therefore, by driving the θ-axis motor 40, the cylinder 2 rotates in the θ direction around the rotation shaft 36.

【0032】Y軸モータ34及びθ軸40はモータ制御
部44により制御される。このモータ制御部44による
モータ34,40の駆動、停止、回転速度等の指令は、
モータ制御部44に付属する例えばコントロールボック
ス46等の入力装置をオペレ−タが操作することにより
与えられる。
The Y-axis motor 34 and the θ-axis 40 are controlled by the motor controller 44. Commands for driving, stopping, and rotating speed of the motors 34, 40 by the motor control unit 44 are
It is given by the operator operating an input device such as a control box 46 attached to the motor control unit 44.

【0033】この第2実施例では、図9に示すようにシ
リンダ2を支持する軸受部38,42等の機械的要素が
光路を部分的に遮断する。このため、スクリ−ン6に投
影される像は、検査面の円周方向全周に亘る像ではな
く、図10に示すように一部が遮蔽された像22とな
る。そこで、コントロールボックス46の操作により、
シリンダ2を回転させることによって、検査面の円周方
向全周に亘る検査が実行される。更に、コントロールボ
ックス46の操作により、検出ユニット30をY軸方向
に移動させ、検査面をY軸方向に走査させながら検査を
繰り返すことによって、最終的にシリンダ表面2aの全
面が検査される。
In this second embodiment, mechanical elements such as bearings 38 and 42 for supporting the cylinder 2 partially block the optical path, as shown in FIG. Therefore, the image projected on the screen 6 is not the image over the entire circumference of the inspection surface in the circumferential direction, but the image 22 is partially shielded as shown in FIG. Therefore, by operating the control box 46,
By rotating the cylinder 2, the inspection is performed over the entire circumference of the inspection surface in the circumferential direction. Further, by operating the control box 46, the detection unit 30 is moved in the Y-axis direction, and the inspection is repeated while scanning the inspection surface in the Y-axis direction, so that the entire surface of the cylinder surface 2a is finally inspected.

【0034】図11は、本発明の第3実施例を示す。本
実施例における検出ユニット30には、スクリーン6上
の像22を撮像するためのCCDカメラ48が取り付け
られている。本実施例は、このCCDカメラ48により
検査面の投影像22から得られた画像をデジタル的に明
/暗(白/黒)の2値化処理すると共に、検査面の走査
を自動化することにより、検査の自動化を図ったもので
ある。この第3実施例において、第2実施例と同様な構
成要素については同一の参照符号を付して示す。
FIG. 11 shows a third embodiment of the present invention. A CCD camera 48 for capturing the image 22 on the screen 6 is attached to the detection unit 30 in this embodiment. In this embodiment, an image obtained from the projected image 22 of the inspection surface is digitally processed by the CCD camera 48 to perform a binarization process of bright / dark (white / black), and the scanning of the inspection surface is automated. , It is intended to automate the inspection. In the third embodiment, the same components as those in the second embodiment are designated by the same reference numerals.

【0035】図11において、集中管理部50は、それ
に付属するキーボード等の入力手段(図示せず)から検
査の初期条件の情報を設定される。ここで初期条件とし
ては、シリンダ2の長さ、2値化レベル、後述の判定部
64の判定レベル等である。これら初期条件の情報とし
ての設定信号S1は、検査装置全体を制御するシステム
制御部52に与えられる。また、このシステム制御部5
2は、CCDカメラ48の移動量等の検査装置の各部の
モニタ信号S2を発生し、このモニタ信号S2を集中管
理部50へフィードバックさせる。これにより集中管理
部50は、検査装置全体の監視を実行する。
In FIG. 11, the centralized management unit 50 is set with information on the initial condition of the inspection from an input means (not shown) such as a keyboard attached to the centralized management unit 50. Here, the initial condition is the length of the cylinder 2, the binarization level, the determination level of the determination unit 64 described later, and the like. The setting signal S1 as information of these initial conditions is given to the system control unit 52 which controls the entire inspection apparatus. In addition, this system control unit 5
2 generates a monitor signal S2 of each part of the inspection device such as the amount of movement of the CCD camera 48, and feeds this monitor signal S2 back to the central management part 50. Accordingly, the centralized management unit 50 monitors the entire inspection device.

【0036】上記のように設定信号S1が与えられたシ
ステム制御部52が、タイミング発生部54へ検査スタ
ート信号S3を与えると、以下のように検査が実行され
る。
When the system control unit 52, to which the setting signal S1 is applied as described above, applies the inspection start signal S3 to the timing generation unit 54, the inspection is executed as follows.

【0037】先ず、CCDカメラ48による投影像22
の撮像から、それに基づく欠陥の判定について説明す
る。タイミング発生部54は、CCDカメラ48の撮像
信号S4を制御するカメラ制御部56へ撮像タイミング
信号S5を与える。これによりCCDカメラ48が投影
像22を撮像する。
First, the projected image 22 by the CCD camera 48
The determination of defects based on the image capturing will be described. The timing generation unit 54 gives the image pickup timing signal S5 to the camera control unit 56 which controls the image pickup signal S4 of the CCD camera 48. Thereby, the CCD camera 48 captures the projection image 22.

【0038】この撮像領域に対応するシリンダ2aの表
面は、CCDカメラ48の視野に応じて、図12及び図
13に示すように、シリンダ2の長手方向及び円周方向
にに分割される。図12及び図13における各桝目Tij
(i=1,2,3 …n,j=1,2,3 …n)が一回の撮像領域に対応す
る。
The surface of the cylinder 2a corresponding to this image pickup area is divided in the longitudinal direction and the circumferential direction of the cylinder 2 according to the field of view of the CCD camera 48, as shown in FIGS. Each cell T ij in FIG. 12 and FIG.
(i = 1,2,3 ... n, j = 1,2,3 ... n) corresponds to one imaging region.

【0039】CCDカメラ48の撮像信号は、カメラ制
御部56を介して二値化処理部58に与えられ、二値化
される。この二値化処理部58による二値化信号S6
は、画像メモリ60に与えられ、ここで記憶される。こ
の記憶された二値化信号S6は、その白/黒の計数を制
御する計数制御部62に与えられる。計数制御部62
は、タイミング発生部54の計数開始信号S7に基づい
て二値化信号の白/黒を計数し、その計数結果を判定部
64に与える。判定部64は、計数制御部62の計数結
果に基づいて欠陥の有無を判定し、その判定結果を例え
ばディスプレィなどの表示部66に表示させる。
The image pickup signal of the CCD camera 48 is given to the binarization processing unit 58 via the camera control unit 56 and binarized. The binarization signal S6 by the binarization processing unit 58
Are provided to the image memory 60 and stored therein. The stored binarized signal S6 is given to the counting control unit 62 which controls the white / black counting. Count control unit 62
Counts white / black of the binarized signal based on the count start signal S7 of the timing generation section 54, and gives the count result to the determination section 64. The determination unit 64 determines the presence or absence of a defect based on the counting result of the counting control unit 62, and displays the determination result on a display unit 66 such as a display.

【0040】この表示部66としては、欠陥の存在をオ
ペレータに通達するブザーやランプ等を用いてもよい。
また、判定部64及び表示部66に代えて、二値化処理
部58により得られた二値化分布をプリンタやディスプ
レィ等の出力手段に出力する構成としてもよい。この場
合、出力された二値化分布を参照することにより、オペ
レータが欠陥の有無を判断する。
As the display unit 66, a buzzer, a lamp or the like for notifying the operator of the existence of the defect may be used.
Further, instead of the determination unit 64 and the display unit 66, the binarized distribution obtained by the binarization processing unit 58 may be output to an output unit such as a printer or a display. In this case, the operator determines the presence or absence of a defect by referring to the output binarized distribution.

【0041】一方、検査面の走査は、タイミング発生部
54からポジション信号発生部68へ与えられるCCD
カメラ48の移動タイミング信号S8に基づいて実行さ
れる。ポジション信号発生部68には更に、システム制
御部52からCCDカメラ48の位置情報信号S9が与
えられる。ポジション信号発生部68は、これら移動タ
イミング信号S8及び位置情報信号S9によりCCDカ
メラ48の移動量を決定し、モータ制御部44へCCD
カメラ48の移動指令としてのポジション信号S10を
与える。これによりモータ制御部44は、Y軸モータ3
4及びθ軸モータ40を駆動してCCDカメラ48をシ
リンダ2の円周方向(図12及び図13における列方
向)、長さ方向(図12及び図13における行方向)に
自動的に移動させる。この自動的な移動に伴って、上述
のCCDカメラ48による投影像22の撮像から、それ
に基づく欠陥の判定がシリンダ表面2aの所望の領域ま
たは全面に亘って実行される。
On the other hand, the scan of the inspection surface is given from the timing generating section 54 to the position signal generating section 68.
This is executed based on the movement timing signal S8 of the camera 48. The position signal generator 68 is further supplied with the position information signal S9 of the CCD camera 48 from the system controller 52. The position signal generator 68 determines the amount of movement of the CCD camera 48 based on the movement timing signal S8 and the position information signal S9, and the CCD is sent to the motor controller 44.
A position signal S10 as a movement command for the camera 48 is given. As a result, the motor control unit 44 causes the Y-axis motor 3
The CCD camera 48 is automatically moved in the circumferential direction (column direction in FIGS. 12 and 13) and the length direction (row direction in FIGS. 12 and 13) of the cylinder 2 by driving the 4 and θ-axis motors 40. .. Along with this automatic movement, from the above-mentioned image pickup of the projected image 22 by the CCD camera 48, defect determination based on the image pickup is performed over a desired area or the entire surface of the cylinder surface 2a.

【0042】この第3実施例によれば、検出ユニット3
0及び/または面光源4は、CCDカメラ48の視野角
をカバ−できる程度の大きさで済む。従って検出ユニッ
ト30及び/または面光源4は、シリンダ2の全周に亘
る必要はなく、図14に示すようにシリンダ2の周面を
部分的に覆う横断面円弧状の形状でよく、小型化が可能
である。この小型化によれば、シリンダ2の交換作業の
際の作業スペ−スが大幅に確保される。
According to this third embodiment, the detection unit 3
The 0 and / or surface light source 4 need only be large enough to cover the viewing angle of the CCD camera 48. Therefore, the detection unit 30 and / or the surface light source 4 does not need to extend over the entire circumference of the cylinder 2, and may have an arc-shaped cross section that partially covers the peripheral surface of the cylinder 2 as shown in FIG. Is possible. Due to this miniaturization, the work space for the replacement work of the cylinder 2 is largely secured.

【0043】上記第2及び第3実施例を比較すると、第
2実施例では、図15に示すように、検出ユニット30
のY方向における位置に応じて、ミラー18からスクリ
−ン6までの反射光H′の光路長Lが異なり、欠陥の拡
大率が変化してしまう。
Comparing the second and third embodiments, in the second embodiment, as shown in FIG.
The optical path length L of the reflected light H'from the mirror 18 to the screen 6 varies depending on the position in the Y direction, and the defect enlargement ratio changes.

【0044】一方、第3実施例においては、CCDカメ
ラ48の視野角や分解能により、一回の検査の領域が第
2実施例よりも限定され、必要な測定回数が第2実施例
よりも増加する。しかしながら、シリンダ2のどの位置
においても、検査面からの反射光H′がCCDカメラ4
8に到達するまでの距離が一定を保つので、拡大率が変
化することがないという利点がある。
On the other hand, in the third embodiment, the area of one inspection is limited by the viewing angle and resolution of the CCD camera 48 as compared with the second embodiment, and the required number of measurements is increased as compared with the second embodiment. To do. However, at any position of the cylinder 2, the reflected light H ′ from the inspection surface is reflected by the CCD camera 4
Since the distance until reaching 8 is kept constant, there is an advantage that the enlargement ratio does not change.

【0045】以上の各実施例においてはシリンダ2の外
周面を被検面としたが、本発明はこれに限定されるもの
ではなく、内周面が鏡面状の中空円筒状物の内周面の検
査にも適用可能である。この場合、測定光H及び反射光
H′の光路が中空円筒状物の内部を経るように、各ミラ
ー16,18を中空円筒状物の内面側に配置することに
より、上記各実施例と同様な検査を実行可能である。
Although the outer peripheral surface of the cylinder 2 is the surface to be inspected in each of the above embodiments, the present invention is not limited to this, and the inner peripheral surface of the hollow cylindrical object having a mirror-like inner peripheral surface. It is also applicable to the inspection. In this case, the respective mirrors 16 and 18 are arranged on the inner surface side of the hollow cylindrical object so that the optical paths of the measurement light H and the reflected light H ′ pass through the inside of the hollow cylindrical object, so that the same as in the above embodiments. Various inspections can be performed.

【0046】[0046]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の円筒面検
査方法及びその装置によれば、曲面をなす被検領域面を
平面的な像として投影することができるから、従来の目
視による外観検査や光学顕微鏡検査に比して欠陥の検出
が容易であり、短時間で円筒面の広い範囲に亘って欠陥
検査を実行可能である。
As described above, according to the method and apparatus for inspecting a cylindrical surface of the present invention, it is possible to project a curved surface of a region to be inspected as a planar image. Defects are easier to detect than inspections and optical microscope inspections, and defect inspections can be performed over a wide range of a cylindrical surface in a short time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1実施例に係る円筒面検査装置を概
念的に示す構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram conceptually showing a cylindrical surface inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1における面光源の作用を説明するための説
明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram for explaining the operation of the surface light source in FIG.

【図3】図1の装置のシリンダの上部における光路を示
す光路図である。
3 is an optical path diagram showing an optical path in an upper portion of a cylinder of the apparatus shown in FIG.

【図4】図3に対応する図であって、ミラーが小さい場
合の光路を示す光路図である。
FIG. 4 is a diagram corresponding to FIG. 3 and is an optical path diagram showing an optical path when a mirror is small.

【図5】図3に対応する図であって、ミラーが大きい場
合の光路を示す光路図である。
FIG. 5 is a view corresponding to FIG. 3 and is an optical path diagram showing an optical path when a mirror is large.

【図6】本発明の方法及び装置における欠陥検出の原理
を説明するための説明図であって、検査領域面に凸部が
存在する場合のスクリーンにおける光線分布を示す図で
ある。
FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining the principle of defect detection in the method and apparatus of the present invention, and is a diagram showing a light ray distribution on a screen when a convex portion is present on the inspection area surface.

【図7】図6に対応する説明図であって、検査領域面に
凹部が存在する場合のスクリーンにおける光線分布を示
す図である。
FIG. 7 is an explanatory diagram corresponding to FIG. 6 and is a diagram showing a light ray distribution on the screen when a concave portion is present on the inspection region surface.

【図8】本発明の第2実施例を示す構成図である。FIG. 8 is a configuration diagram showing a second embodiment of the present invention.

【図9】図8の装置を矢印ix−ix方向から見て示す図で
ある。
9 is a diagram showing the device of FIG. 8 as viewed in the direction of arrows ix-ix.

【図10】図8の装置のスクリーンに投影された像を示
す平面図である。
10 is a plan view showing an image projected on the screen of the apparatus of FIG.

【図11】本発明の第3実施例を示す構成図である。FIG. 11 is a configuration diagram showing a third embodiment of the present invention.

【図12】第3実施例において、シリンダ表面の検査領
域をCCDカメラの視野角に応じて分割した例を示す説
明図である。
FIG. 12 is an explanatory diagram showing an example in which the inspection area on the cylinder surface is divided according to the viewing angle of the CCD camera in the third embodiment.

【図13】図12におけるシリンダ表面を平面的に展開
して示す展開図である。
13 is a development view showing the cylinder surface in FIG. 12 in a two-dimensional manner.

【図14】図12における検出ユニットの断面形状の一
例を示す図である。
14 is a diagram showing an example of a cross-sectional shape of the detection unit in FIG.

【図15】ミラーからスクリーンまでの光路長の検出ユ
ニットの位置に応じた変化を説明するための光路図であ
る。
FIG. 15 is an optical path diagram for explaining a change in the optical path length from the mirror to the screen according to the position of the detection unit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

4…面光源(光源手段)、2…シリンダ(円筒状被検
体)、2a…シリンダ表面(円筒面)、6…スクリーン
(投影手段)、16…ハーフミラー(変換手段)、18
…ミラー(変換手段)、34…Y軸モータ(長手方向走
査手段)、40…θ軸モータ(周方向走査手段)、48
…CCDカメラ(撮像手段)、58…二値化処理部(二
値化手段)、64…判定部(判定手段)。
4 ... Surface light source (light source means), 2 ... Cylinder (cylindrical object), 2a ... Cylinder surface (cylindrical surface), 6 ... Screen (projection means), 16 ... Half mirror (conversion means), 18
... Mirror (converting means), 34 ... Y-axis motor (longitudinal direction scanning means), 40 ... θ-axis motor (circumferential direction scanning means), 48
... CCD camera (imaging means), 58 ... Binarization processing section (binarization means), 64 ... Judgment section (judgment means).

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 鏡面状の円筒面を検査する方法であっ
て、 光源から射出された光を、円筒面の少なくとも一部がな
す被検領域面に対し、この被検領域面の法線方向から入
射させる工程と、 その入射光に対する被検領域面の法線方向への反射光の
光路を、円筒面の長手方向に沿った一つの方向へ変換さ
せる工程と、 その光路変換された光を二次元的に投影することによ
り、被検領域面に対応する二次元像を形成する工程と、
からなることを特徴とする円筒面検査方法。
1. A method for inspecting a mirror-like cylindrical surface, wherein light emitted from a light source is directed to a surface of a test area formed by at least a part of the cylindrical surface in a direction normal to the surface of the test area. The incident light, the step of changing the optical path of the reflected light in the normal direction of the test area surface to the incident light to one direction along the longitudinal direction of the cylindrical surface, and the light path-converted light Forming a two-dimensional image corresponding to the surface of the region to be inspected by two-dimensionally projecting;
A method for inspecting a cylindrical surface, comprising:
【請求項2】 上記円筒面が、円筒状をなす被検体の外
表面であることを特徴とする請求項1記載の円筒面検査
方法。
2. The cylindrical surface inspection method according to claim 1, wherein the cylindrical surface is an outer surface of an object having a cylindrical shape.
【請求項3】 上記円筒面が、中空円筒状をなす被検体
の内表面であることを特徴とする請求項1記載の円筒面
検査方法。
3. The cylindrical surface inspection method according to claim 1, wherein the cylindrical surface is an inner surface of an object having a hollow cylindrical shape.
【請求項4】 鏡面状の円筒面を検査する装置であっ
て、 光源手段と、 この光源手段から射出された光を、円筒面の少なくとも
一部がなす被検領域面に対し、この被検領域面の法線方
向から入射させる入射手段と、 その入射光に対する被検領域面からの垂直反射光の光路
を、円筒面の長手方向に沿った一つの方向へ変換させる
変換手段と、 この方向変換された光を二次元的に投影することによ
り、被検領域面に対応する二次元像を形成する投影手段
と、を備えることを特徴とする円筒面検査装置。
4. An apparatus for inspecting a mirror-like cylindrical surface, comprising: light source means; and light emitted from the light source means with respect to an area to be inspected formed by at least a part of the cylindrical surface. Incident means for making incident light from the direction normal to the area surface, and conversion means for changing the optical path of vertically reflected light from the area to be inspected for that incident light into one direction along the longitudinal direction of the cylindrical surface, and this direction A cylindrical surface inspection apparatus comprising: a projection unit that forms a two-dimensional image corresponding to the surface of the region to be inspected by two-dimensionally projecting the converted light.
【請求項5】 上記入射手段と変換手段とを円筒面の長
手方向に沿って一体的に移動させることにより、円筒面
の長手方向に沿って被検領域面を走査させる長手方向走
査手段を更に備えることを特徴とする請求項4記載の円
筒面検査装置。
5. A longitudinal direction scanning means for scanning the surface of the test region along the longitudinal direction of the cylindrical surface by integrally moving the incident means and the converting means along the longitudinal direction of the cylindrical surface. The cylindrical surface inspection apparatus according to claim 4, further comprising:
【請求項6】 鏡面状の円筒面を検査する装置であっ
て、 光源手段と、 この光源手段から射出された光を、円筒面の少なくとも
一部がなす被検領域面に対し、この被検領域面の法線方
向から入射させる入射手段と、 上記入射光に対する被検領域面からの垂直反射光の光路
を、円筒面の長手方向に沿った一つの方向へ変換させる
変換手段と、 上記方向変換された光を二次元的に投影することによ
り、被検領域面に対応する二次元像を形成する投影手段
と、 上記二次元像を撮像する撮像手段と、 この撮像手段により得られた画像に基づいて、被検領域
面の表面欠陥に起因する明暗に対応する二値化信号を形
成する二値化手段と、 上記二値化信号に基づいて、上記画像の二値化分布を出
力する出力手段と、を備えることを特徴とする円筒面検
査装置。
6. An apparatus for inspecting a mirror-like cylindrical surface, comprising: a light source means; and light emitted from the light source means with respect to an area to be inspected formed by at least a part of the cylindrical surface. Incident means for making incident light from the direction normal to the area surface, conversion means for converting the optical path of the vertically reflected light from the area to be inspected for the incident light into one direction along the longitudinal direction of the cylindrical surface, and the above direction. Projecting means for forming a two-dimensional image corresponding to the surface of the region to be inspected by two-dimensionally projecting the converted light, an image capturing means for capturing the two-dimensional image, and an image obtained by the image capturing means. Based on the binarization means for forming a binarization signal corresponding to the lightness and darkness caused by the surface defect of the test area surface, and based on the binarization signal, outputs the binarization distribution of the image. Cylindrical surface inspection characterized by comprising output means Location.
【請求項7】 鏡面状の円筒面の表面欠陥を検査する装
置であって、 光源手段と、 この光源手段から射出された光を、円筒面の少なくとも
一部がなす被検領域面に対し、この被検領域面の法線方
向から入射させる入射手段と、 上記入射光に対する被検領域面からの垂直反射光の光路
を、円筒面の長手方向に沿った一つの方向へ変換させる
変換手段と、 上記方向変換された光を二次元的に投影して、被検領域
面に対応する二次元像を形成する投影手段と、 上記二次元像を撮像する撮像手段と、 この撮像手段により得られた画像に基づいて、被検領域
面の表面欠陥に起因する明暗に対応する二値化信号を形
成する二値化手段と、 上記二値化信号に基づいて被検領域面の欠陥の有無を判
定する判定手段と、を備えることを特徴とする円筒面検
査装置。
7. An apparatus for inspecting a surface defect of a mirror-like cylindrical surface, comprising: a light source means; and light emitted from the light source means with respect to a surface of a region to be inspected formed by at least a part of the cylindrical surface. Incident means for allowing the light to enter from the normal direction of the surface of the test area, and conversion means for converting the optical path of the vertically reflected light from the surface of the test area with respect to the incident light into one direction along the longitudinal direction of the cylindrical surface. , A projection means for two-dimensionally projecting the direction-converted light to form a two-dimensional image corresponding to the surface of the region to be examined, an imaging means for capturing the two-dimensional image, and an imaging means for obtaining the two-dimensional image. Based on the image, the binarizing means for forming a binarized signal corresponding to the light and darkness caused by the surface defect of the inspection area surface, and the presence or absence of the defect of the inspection area surface based on the binarized signal. Cylindrical surface inspection, characterized by comprising: Location.
【請求項8】 上記入射手段と変換手段と撮像手段とを
円筒面の長手方向に沿って一体的に移動させることによ
り、円筒面の長手方向に沿って被検領域面を走査させる
長手方向走査手段を更に備えることを特徴とする請求項
6または7記載の円筒面検査装置。
8. A longitudinal scan for scanning the surface of the test region along the longitudinal direction of the cylindrical surface by integrally moving the incident means, the converting means and the imaging means along the longitudinal direction of the cylindrical surface. 8. The cylindrical surface inspection apparatus according to claim 6, further comprising means.
【請求項9】 円筒面を円筒面の周方向に沿って移動さ
せることにより、円筒面の周方向に沿って被検領域面を
走査させる周方向走査手段を更に備えることを特徴とす
る請求項4乃至8の何れか1項に記載の円筒面検査装
置。
9. The method according to claim 9, further comprising a circumferential direction scanning means for moving the cylindrical surface along the circumferential direction of the cylindrical surface to scan the surface of the region to be tested along the circumferential direction of the cylindrical surface. The cylindrical surface inspection device according to any one of 4 to 8.
【請求項10】 上記円筒面が、円筒状をなす被検体の
外表面であることを特徴とする請求項4乃至9の何れか
1項に記載の円筒面検査装置。
10. The cylindrical surface inspection apparatus according to claim 4, wherein the cylindrical surface is an outer surface of a subject having a cylindrical shape.
【請求項11】 上記円筒面が、中空円筒状をなす被検
体の内表面であることを特徴とする請求項4乃至9の何
れか1項に記載の円筒面検査装置。
11. The cylindrical surface inspection apparatus according to claim 4, wherein the cylindrical surface is an inner surface of a subject having a hollow cylindrical shape.
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