JPH0589821A - Ionization chamber and its manufacture - Google Patents

Ionization chamber and its manufacture

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Publication number
JPH0589821A
JPH0589821A JP25059291A JP25059291A JPH0589821A JP H0589821 A JPH0589821 A JP H0589821A JP 25059291 A JP25059291 A JP 25059291A JP 25059291 A JP25059291 A JP 25059291A JP H0589821 A JPH0589821 A JP H0589821A
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JP
Japan
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electrode
chamber
surface plate
ionization chamber
plate
Prior art date
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Application number
JP25059291A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Taizo Kihara
泰三 木原
Takeshi Ono
剛 小野
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Aloka Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0589821A publication Critical patent/JPH0589821A/en
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Abstract

PURPOSE:To facilitate manufacture and construct in small and thin form by affixing a charge collecting electrode to a spacer, performing sealing, affixing an oversurface plate to it, and affixing it to an undersurface plate in a sensing gas atmosphere inside a chamber. CONSTITUTION:A spacer 36 and a charge collecting electrode 30 are affixed together, and to the resultant an oversurface plate 24 is affixed. An electric insulative resin is poured into an opening 36a, which is sealed. The bonded object is placed in a chamber, and at the same time, an adhesive is applied to an undersurface plate 26 followed by placing of the resultant in the chamber. The sensing gas is introduced into the chamber, and the inside is set to a specified pressure. An elevating mechanism 50 is operated, and the undersurface plate 26 is coupled with the bonded object, and the adhesive is solidified while the obtained condition is held for a certain period of time. An ionization chamber thus formed is taken out of the chamber, and an electroconductive resin is applied to the side face and left for solidifying.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、気体の電離作用によっ
て放射線の検出を行う電離箱及びその製造方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ionization chamber for detecting radiation by the ionization action of gas and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】放射線検出器として電離箱が知られてい
る。この電離箱は、例えばポケット線量計などとして放
射線被曝管理用に用いられている。
2. Description of the Related Art An ionization chamber is known as a radiation detector. This ionization chamber is used, for example, as a pocket dosimeter for radiation exposure management.

【0003】図7には、従来の一般的な電離箱が示され
ている。図7において、円筒状の金属部材からなる電極
容器12には、これと同じく金属部材からなる円盤状の
上面板14が例えば溶接などにより接合される。この上
面板14の中央には、開口が形成されており、その開口
には、集電荷電極18を保持した絶縁作用をなすスペー
サ16が挿入配置される。
FIG. 7 shows a conventional general ionization chamber. In FIG. 7, a disk-shaped upper plate 14 also made of a metal member is joined to the electrode container 12 made of a cylindrical metal member by, for example, welding. An opening is formed in the center of the upper surface plate 14, and a spacer 16 holding the charge collecting electrode 18 and having an insulating function is inserted and arranged in the opening.

【0004】以上のように形成された電極容器12内に
は、外部から検出ガス100が充填される。具体的に
は、検出ガス100は、容器12に突出形成されたガス
導入用のチューブ20を介して電極容器12内へ導入さ
れ、所定の圧力まで検出ガスが充填されると、チューブ
20を例えば潰すことによって封止が行われる。
The electrode container 12 formed as described above is filled with the detection gas 100 from the outside. Specifically, the detection gas 100 is introduced into the electrode container 12 through the gas introduction tube 20 formed to project from the container 12, and when the detection gas is filled to a predetermined pressure, the tube 20 is filled with the detection gas 100, for example. Sealing is performed by crushing.

【0005】このような電離箱においては、集電荷電極
18と電極容器12との間に直流の高電圧Vが印加され
る。従って、外部から放射線が侵入すると、その放射線
のエネルギーにより検出ガス100が電離し、荷電粒子
が高電圧による電界作用により集電荷電極18に集まる
ことになる。従って、このようにして集められた電荷、
すなわち電流を測定することにより、結果として放射線
の検出が行える。
In such an ionization chamber, a high DC voltage V is applied between the charge collecting electrode 18 and the electrode container 12. Therefore, when the radiation enters from the outside, the detection gas 100 is ionized by the energy of the radiation, and the charged particles are collected on the charge collecting electrode 18 by the electric field action by the high voltage. Therefore, the charge collected in this way,
That is, the radiation can be detected as a result by measuring the current.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の電離箱においては、小型化薄型化が困難であるとい
う問題があった。すなわち、電離箱の形状が円筒形であ
るため、例えばポケット線量計などに適用した場合に、
ポケット線量計の厚みを薄くすることが困難であった。
従って、そのような線量計はかさばるので衣服上の装着
場所の制約が大きかった。
However, the above-mentioned conventional ionization chamber has a problem that it is difficult to make it compact and thin. That is, since the shape of the ionization chamber is cylindrical, when applied to, for example, a pocket dosimeter,
It was difficult to reduce the thickness of the pocket dosimeter.
Therefore, since such a dosimeter is bulky, there is a large restriction on the mounting place on the clothes.

【0007】また、従来の電離箱の製造方法において
は、各電離箱毎にチューブ20にガス導入管を接続して
ガス封入を行わなければならず、製造工程の簡易化の妨
げとなっていた。また、電極容器の封止は、チューブ2
0を潰すこと等によって行われていたが、その処理が煩
雑であると共に、完成後の電離箱において残された残存
チューブが邪魔になるなどの不具合があった。
Further, in the conventional method for manufacturing an ionization chamber, it is necessary to connect a gas introduction pipe to the tube 20 for each ionization chamber to carry out gas filling, which is an obstacle to simplifying the manufacturing process. .. In addition, the electrode container is sealed by the tube 2
Although it was carried out by crushing 0, the process was complicated and there was a problem that the residual tube left in the ionization chamber after completion was an obstacle.

【0008】本発明は、上記従来の課題に鑑みなされた
ものであり、電離箱の小型化薄型化を図ることを目的と
する。
The present invention has been made in view of the above conventional problems, and an object of the present invention is to reduce the size and thickness of an ionization chamber.

【0009】また、本発明は、大量生産に向く電離箱の
簡便な製造方法を提供することを目的とする。
Another object of the present invention is to provide a simple method for manufacturing an ionization chamber suitable for mass production.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、平板状の金属部材からなる上面板及び下
面板と、前記上面板及び下面板の外周縁を連結する金属
材料からなる側周囲壁と、前記上面板、前記下面板、及
び前記側周囲壁で構成される電極容器の中に前記上面板
及び前記下面板の面と平行に配置された平面板状の集電
荷部と、この集電荷部に連なり前記側周囲壁の一部から
突出する端子部と、からなる集電荷電極と、前記電極容
器に配置され、前記集電荷電極を絶縁保持するスペーサ
と、前記電極容器内に封入された検出ガスと、を含むこ
とを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention comprises an upper surface plate and a lower surface plate made of a flat metal member, and a metal material connecting the outer peripheral edges of the upper surface plate and the lower surface plate. A side peripheral wall, a top plate, the bottom plate, and a flat plate-shaped charge collecting portion arranged in parallel with the surfaces of the top plate and the bottom plate in an electrode container composed of the side walls. And a terminal portion connected to the charge collecting portion and protruding from a part of the side peripheral wall, a spacer arranged in the electrode container for insulatingly holding the charge collecting electrode, and the electrode container And a detection gas enclosed therein.

【0011】また、本発明は、電離箱の外周囲をなす容
器であって、少なくとも2つの要素部材からなる電極容
器と、前記電極容器内に配置され、一端が端子部として
外部に突出する集電荷電極と、前記電極容器に配置さ
れ、前記集電荷電極を絶縁保持するスペーサと、を含
み、前記電極容器内に所定の検出ガスを封入してなる電
離箱の製造方法において、少なくとも1つの要素部材に
前記スペーサ及び集電荷電極を配置した後に、前記所定
の検出ガス雰囲気中で、前記要素部材と他の要素部材と
を密封貼り合せすることを特徴とする。
Further, the present invention relates to a container forming an outer periphery of an ionization chamber, which is an electrode container composed of at least two element members, and a collector which is disposed in the electrode container and has one end protruding to the outside as a terminal portion. At least one element in a method for producing an ionization chamber, which includes a charge electrode and a spacer arranged in the electrode container to insulate and hold the collection electrode, and in which a predetermined detection gas is sealed in the electrode container. After disposing the spacer and the charge collecting electrode on the member, the element member and another element member are hermetically bonded in the predetermined detection gas atmosphere.

【0012】[0012]

【作用】上記請求項1記載の発明によれば、電離箱全体
が平板状に形成され、その厚みを従来と比べて著しく薄
くすることが可能となる。従って、ポケットなどに入れ
てもかさばらない例えばポケット線量計などを構成でき
るという利点がある。
According to the invention described in claim 1, the entire ionization chamber is formed in a flat plate shape, and the thickness thereof can be remarkably reduced as compared with the conventional case. Therefore, there is an advantage that, for example, a pocket dosimeter, which is not bulky even if it is put in a pocket or the like, can be configured.

【0013】また、請求項2記載の発明によれば、電極
容器を構成する特定の要素部材と他の要素部材との接合
と、電極容器内への検出ガスの封入と、を同時進行で行
うことができるので、従来に比べ、工程数を減らすこと
が可能となる。また、電離箱自体にガス導入管などを接
続することなく、製造が行えるので、複数の電離箱を一
括して簡便に製造することが可能となり、大量生産に向
くという利点がある。
According to the second aspect of the present invention, the joining of the specific element member forming the electrode container and the other element member and the encapsulation of the detection gas into the electrode container are performed simultaneously. Therefore, it is possible to reduce the number of steps as compared with the related art. In addition, since the production can be performed without connecting a gas introduction pipe or the like to the ionization chamber itself, it is possible to easily manufacture a plurality of ionization chambers collectively, which is advantageous in mass production.

【0014】[0014]

【実施例】以下、本発明の好適な実施例を図面に基づい
て説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0015】図1には、本発明に係る電離箱の外観が示
されている。図示されるように、この電離箱は全体形状
が平板状である。まず、図2を用いて、各部材の説明を
行う。
FIG. 1 shows the appearance of the ionization chamber according to the present invention. As shown, this ionization chamber has a flat plate shape as a whole. First, each member will be described with reference to FIG.

【0016】電極容器22は、上面グランド電極(以
下、上面板という)24と、この上面板24に対向する
下面グランド電極(以下、下面板という)26と、これ
らの両者の外周縁を連結させる側面グランド電極(以
下、側周囲壁という)28と、で構成されている。上面
板24及び下面板26は、金属部材で構成され、本実施
例においてはステンレスで構成されている。また、側周
囲壁28は、固化された導電性樹脂で構成されている。
The electrode container 22 connects the upper surface ground electrode (hereinafter referred to as the upper surface plate) 24, the lower surface ground electrode (hereinafter referred to as the lower surface plate) 26 facing the upper surface plate 24, and the outer peripheral edges of both of them. And a side surface ground electrode (hereinafter, referred to as a side peripheral wall) 28. The upper plate 24 and the lower plate 26 are made of metal members, and in this embodiment, they are made of stainless steel. Further, the side peripheral wall 28 is made of a solidified conductive resin.

【0017】電極容器22の内部には、集電荷電極30
が配置されている。具体的には、この集電荷電極は、電
極容器22内に存在する集電荷部32と、この集電荷部
に連なる端子部34と、で構成されている。ここで、端
子部34は外部に突出している。
Inside the electrode container 22, a charge collecting electrode 30 is provided.
Are arranged. Specifically, this charge collecting electrode is composed of a charge collecting portion 32 existing in the electrode container 22 and a terminal portion 34 connected to this charge collecting portion. Here, the terminal portion 34 projects to the outside.

【0018】この集電荷電極30は、金属部材で構成さ
れ、本実施例においてはステンレスあるいは銅などで構
成されている。この集電荷電極30は、本実施例におい
て平板状に形成され、その面は上面板24及び下面板2
6と平行になっている。 電極容器22の内部には、集
電荷電極30を絶縁保持するため、スペーサ36が配置
されている。このスペーサ36は、例えばアルミナやセ
ラミックなどの絶縁材で構成され、電極容器の側周囲枠
(フレーム)をなすものである。
The collector electrode 30 is made of a metal member, and in this embodiment, it is made of stainless steel, copper, or the like. This charge collecting electrode 30 is formed in a flat plate shape in the present embodiment, and the surface thereof is the upper plate 24 and the lower plate 2.
It is parallel to 6. A spacer 36 is arranged inside the electrode container 22 to insulate and hold the charge collection electrode 30. The spacer 36 is made of an insulating material such as alumina or ceramic, and forms a side peripheral frame of the electrode container.

【0019】図1及び図2から明らかなように、このス
ペーサ36には、前記集電荷電極の端子部34を突出さ
せる開口36aが形成されている。そして、その開口3
6aの内部には、電極容器22内部の封止を行うための
シーリング部材38が配置されている。このシーリング
部材38は、絶縁部材からなるものであり、例えば絶縁
性樹脂を開口36aに流し込むことにより形成される。
As is apparent from FIGS. 1 and 2, the spacer 36 has an opening 36a through which the terminal portion 34 of the charge collecting electrode is projected. And that opening 3
A sealing member 38 for sealing the inside of the electrode container 22 is arranged inside 6a. The sealing member 38 is made of an insulating material, and is formed by pouring an insulating resin into the opening 36a, for example.

【0020】そして、以上のように構成される電離箱の
内部には、放射線検出用の検出ガスが封入され、本実施
例において、例えば7気圧で封入される。これは、検出
感度を高めるためである。なお、電離箱の大きさを参考
までに述べれば、縦が15mm、横が10mm、厚みが
4mmである。なお、上述のように、側周囲壁28は、
スペーサ36の側周囲面に導電性の樹脂をコーティング
し、更に固化することにより形成されている。勿論、金
属製の枠を側周囲壁28としてもよい。しかし、このよ
うに導電性の樹脂などを用いることにより、特別な接合
を施すことなく上面板24と下面板26との電気的な接
合を行うことができ、製造工程を簡易化できるという利
点がある。
A detection gas for detecting radiation is enclosed in the ionization chamber constructed as described above, and in this embodiment, it is enclosed at, for example, 7 atmospheres. This is to increase the detection sensitivity. For reference, the size of the ionization chamber is 15 mm in length, 10 mm in width, and 4 mm in thickness. As described above, the side peripheral wall 28 is
It is formed by coating a conductive resin on the side peripheral surface of the spacer 36 and further solidifying it. Of course, a metal frame may be used as the side peripheral wall 28. However, by using a conductive resin or the like as described above, the upper plate 24 and the lower plate 26 can be electrically joined to each other without special joining, and the manufacturing process can be simplified. is there.

【0021】次に、この電離箱の製造方法について説明
する。
Next, a method of manufacturing this ionization chamber will be described.

【0022】まず、スペーサ36と集電荷電極30が例
えば接着剤などにより貼り合わされる。
First, the spacer 36 and the charge collection electrode 30 are attached to each other with, for example, an adhesive.

【0023】次に、この貼り合わされた部材に対して、
更に上面板24が大気中で接着剤などにより貼り合わさ
れる。
Next, with respect to the bonded members,
Further, the upper surface plate 24 is bonded in the air with an adhesive or the like.

【0024】この後、絶縁性樹脂を前記開口36aに流
し込み、シーリング部材の形成、すなわち開口36aの
封止を行う。上記工程で用いられた接着剤などが同時に
シーリング部材として機能する場合、すなわち余剰の接
着剤が開口36aを封止する場合には、この工程は除か
れる。以上の各工程の後、上記各工程で貼り合わされた
結合物をチャンバー内に入れ、同時に、接着剤を下面板
26に塗布すると共にそれをチャンバー内に入れる。図
3には、チャンバーの概念が示されている。チャンバー
40内は気密状態とされており、ガス供給器42が接続
されている。チャンバー40内部には、載置台44と下
降台46とが設けられ、下降台46は昇降機構50に支
持されている。
After that, an insulating resin is poured into the opening 36a to form a sealing member, that is, the opening 36a is sealed. If the adhesive or the like used in the above step simultaneously functions as a sealing member, that is, if the excess adhesive seals the opening 36a, this step is omitted. After each of the above steps, the bonded product bonded in each of the above steps is put into the chamber, and at the same time, the adhesive is applied to the lower surface plate 26 and put into the chamber. FIG. 3 shows the concept of the chamber. The chamber 40 is in an airtight state, and a gas supplier 42 is connected to the chamber 40. A mounting table 44 and a descending table 46 are provided inside the chamber 40, and the descending table 46 is supported by an elevating mechanism 50.

【0025】載置台44には、上述した結合物が載置さ
れ、一方、昇降台46には、下面板26が保持される。
具体的には、昇降台46に設けられた図示されていない
ホルダによって下面板26が保持される。なお、このと
きに両者の位置合せを正確に行う。次に、チャンバー4
0内を真空に引き、接着剤の脱気を行う。そして、検出
ガスをチャンバー内に導入し、その内部を所定の圧力
(例えば7気圧)にする。
The above-mentioned combined object is placed on the mounting table 44, while the lower plate 26 is held on the elevating table 46.
Specifically, the lower surface plate 26 is held by a holder (not shown) provided on the lift table 46. At this time, the two are accurately aligned. Next, chamber 4
The inside of 0 is evacuated to evacuate the adhesive. Then, the detection gas is introduced into the chamber, and the inside thereof is brought to a predetermined pressure (for example, 7 atm).

【0026】この状態で、昇降機構50を動作させ、上
記結合物へ下面板26を接合させる。そして、所定時間
(例えば12時間)その状態で保持し、接着剤の完全固
化を図る。
In this state, the elevating mechanism 50 is operated to join the lower surface plate 26 to the above-mentioned combined object. Then, the state is maintained for a predetermined time (for example, 12 hours), and the adhesive is completely solidified.

【0027】所定時間の経過後、以上のように形成され
た電離箱をチャンバー内から取り出し、その側面に導電
性の樹脂を塗り、その樹脂を固化させる。このようにし
て形成された電離箱が図1に示されている。
After a lapse of a predetermined time, the ionization chamber formed as described above is taken out of the chamber, a side face thereof is coated with a conductive resin, and the resin is solidified. The ionization chamber thus formed is shown in FIG.

【0028】従って、以上のような製造工程によれば、
検出ガスの封入と部材の接合とを同時に行うことがで
き、工程数を少なくすることができ、ひいては製造コス
トを下げることが可能となる。なお、チャンバー内40
に導入された検出ガスは、再利用することが可能であ
り、これによれば高価な検出ガスを無駄なく使用するこ
とが可能となる。
Therefore, according to the above manufacturing process,
The detection gas can be enclosed and the members can be joined at the same time, the number of steps can be reduced, and the manufacturing cost can be reduced. In addition, 40 in the chamber
The detection gas introduced in the above can be reused, and according to this, the expensive detection gas can be used without waste.

【0029】ここにおいて、接着剤による接合は、本発
明者等の実験によれば十分に封入ガスの圧力に耐え得る
ことが実証されている。なお、本実施例においてはエポ
キシ系接着剤が用いられている。
Here, it has been proved by the experiments of the present inventors that the joining with the adhesive can sufficiently withstand the pressure of the enclosed gas. An epoxy adhesive is used in this embodiment.

【0030】次に、複数の電離箱を製造する方法につい
て述べる。図4には、上面板24が複数連なった上面板
アレイ60が示されている。また、図5には、集電荷電
極30が複数連結された集電荷電極アレイ62が示さ
れ、図6には、複数のスペーサ36が連結されたスペー
サアレイ64が示されている。なお、図示されていない
下面板アレイは、上面板アレイ60と同一の形状であ
る。
Next, a method of manufacturing a plurality of ionization chambers will be described. FIG. 4 shows an upper surface plate array 60 in which a plurality of upper surface plates 24 are connected. Further, FIG. 5 shows a charge collection electrode array 62 in which a plurality of charge collection electrodes 30 are connected, and FIG. 6 shows a spacer array 64 in which a plurality of spacers 36 are connected. The bottom plate array (not shown) has the same shape as the top plate array 60.

【0031】このようなアレイ構造は、露光技術を用い
た腐食法や機械加工などによって形成される。本実施例
においては、エッチングにより加工を行う腐食法が用い
られており、一連のエッチング工程で同時に多数の部材
形成を行うことができる。
Such an array structure is formed by a corrosive method using an exposure technique or machining. In this embodiment, the corrosion method of processing by etching is used, and a large number of members can be simultaneously formed in a series of etching steps.

【0032】複数の電離箱の同時製造について具体的に
説明する。
The simultaneous production of a plurality of ionization chambers will be specifically described.

【0033】まず、スペーサアレイ64と集電荷電極ア
レイ62とが接合され、これに対して上面板アレイ60
が接合される。
First, the spacer array 64 and the collecting charge electrode array 62 are bonded to each other, while the top plate array 60 is joined thereto.
Are joined.

【0034】この状態で、上述のシーリング(シーリン
グ部材38の配置)が行われ、スペーサアレイが個々の
要素に切断される。なお、この状態では、集電荷電極ア
レイ62又は上面板アレイ60あるいは両者は個々に分
離されずに一体的に結合されている。そして、チャンバ
ー内に配置して上述のガス封入及び下面板アレイの接合
を行う。
In this state, the above-described sealing (arrangement of the sealing member 38) is performed, and the spacer array is cut into individual elements. In this state, the collector electrode array 62, the upper plate array 60, or both are not individually separated but are integrally combined. Then, it is placed in the chamber and the above-mentioned gas filling and bonding of the lower surface plate array are performed.

【0035】そして、以上のように形成された電離箱の
連結体である電離箱アレイをチャンバーから取り出し、
各電離箱単体に切り離し、それぞれの電離箱の側周囲面
に上述の導電性の樹脂をコーティングする。
Then, the ionization chamber array, which is a connected body of the ionization chambers formed as described above, is taken out from the chamber,
Each ionization chamber is separated into individual units, and the above-mentioned conductive resin is coated on the side peripheral surface of each ionization chamber.

【0036】従って、以上のような製造方法によれば、
多数の電離箱を一連の工程の中で同時進行で形成できる
ので、製造コストを著しく低減させることができ、また
その精度を均一化させることが可能である。なお、図4
及び図6に示されるように、上面板(下面板)アレイ6
0及びスペーサアレイ64には、位置決め用の突起66
aと窪み66bとが形成され、接着時の両部材間の位置
ずれの防止が図られている。
Therefore, according to the above manufacturing method,
Since a large number of ionization chambers can be formed simultaneously in a series of steps, the manufacturing cost can be remarkably reduced and the accuracy can be made uniform. Note that FIG.
And as shown in FIG. 6, a top plate (bottom plate) array 6
0 and the spacer array 64 include a protrusion 66 for positioning.
By forming a and the recess 66b, it is possible to prevent the positional displacement between the two members at the time of bonding.

【0037】[0037]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
小型かつ薄型の電離箱を提供することができ、例えばポ
ケット線量計などに適用した場合にポケット線量計を薄
型化できるという利点がある。
As described above, according to the present invention,
It is possible to provide a small and thin ionization chamber, and there is an advantage that the pocket dosimeter can be made thin when applied to, for example, a pocket dosimeter.

【0038】また、本発明に係る製造方法によれば、検
出ガスの封入と部材の貼り合せとを同時に行えるので、
製造工程を簡易にでき、これにより製造コストの低減を
図ることが可能となる。また、本発明によれば、多数の
電離箱を同時に製造することが容易に行え、大量生産に
好適な製造方法を提供できるという効果がある。
Further, according to the manufacturing method of the present invention, since the detection gas can be enclosed and the members can be bonded at the same time,
The manufacturing process can be simplified and the manufacturing cost can be reduced. Further, according to the present invention, it is possible to easily manufacture a large number of ionization chambers at the same time, and it is possible to provide a manufacturing method suitable for mass production.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】電離箱の外観を示す外観図である。FIG. 1 is an external view showing the external appearance of an ionization chamber.

【図2】電離箱の構成を示す一部切欠断面図である。FIG. 2 is a partially cutaway sectional view showing a configuration of an ionization chamber.

【図3】チャンバーの構成を示す概念図である。FIG. 3 is a conceptual diagram showing a configuration of a chamber.

【図4】上面板(下面板)アレイの構造を示す平面図で
ある。
FIG. 4 is a plan view showing the structure of a top plate (bottom plate) array.

【図5】集電荷電極アレイの構造を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing the structure of a charge collection electrode array.

【図6】スペーサアレイの構造を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing the structure of a spacer array.

【図7】従来の電離箱の構成を示す分解斜視図である。FIG. 7 is an exploded perspective view showing a configuration of a conventional ionization chamber.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

24 上面板 26 下面板 28 側周囲壁(導電性樹脂コーティング) 30 集電荷電極 36 スペーサ 40 チャンバー 24 upper surface plate 26 lower surface plate 28 side peripheral wall (conductive resin coating) 30 current collecting electrode 36 spacer 40 chamber

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】平板状の金属部材からなる上面板及び下面
板と、 前記上面板及び下面板の外周縁を連結する金属材料から
なる側周囲壁と、 前記上面板前記下面板及び前記側周囲壁で構成される電
極容器の中に前記上面板及び前記下面板の面と平行に配
置された平面板状の集電荷部と、この集電荷部に連なり
前記側周囲壁の一部から突出する端子部と、からなる集
電荷電極と、前記電極容器に配置され、前記集電荷電極
を絶縁保持するスペーサと、 前記電極容器内に封入された検出ガスと、 を含むことを特徴とする電離箱。
1. An upper surface plate and a lower surface plate made of a flat metal member, a side peripheral wall made of a metal material connecting outer peripheral edges of the upper surface plate and the lower surface plate, the upper surface plate, the lower surface plate and the side periphery. A flat plate-shaped charge collecting portion arranged in parallel with the surfaces of the upper surface plate and the lower surface plate in an electrode container formed of a wall, and connected to the charge collecting portion and protruding from a part of the side peripheral wall. An ionization chamber comprising: a charge collecting electrode composed of a terminal portion; a spacer arranged in the electrode container for insulating and holding the charge collecting electrode; and a detection gas sealed in the electrode container. ..
【請求項2】電離箱の外周囲をなす容器であって、少な
くとも2つの要素部材からなる電極容器と、 前記電極容器内に配置され、一端が端子部として外部に
突出する集電荷電極と、前記電極容器に配置され、前記
集電荷電極を絶縁保持するスペーサと、 を含み、前記電極容器内に所定の検出ガスを封入してな
る電離箱の製造方法において、少なくとも1つの要素部
材に前記スペーサ及び集電荷電極を配置した後に、前記
所定の検出ガス雰囲気中で、その要素部材と他の要素部
材とを密封貼り合せすることを特徴とする電離箱の製造
方法。
2. A container forming an outer periphery of an ionization chamber, comprising an electrode container composed of at least two element members, a charge collecting electrode disposed in the electrode container and having one end protruding to the outside as a terminal portion. A spacer arranged in the electrode container and insulatingly holding the collecting electrode; and a spacer for at least one element member in the method of manufacturing an ionization chamber, wherein a predetermined detection gas is sealed in the electrode container. And a method for manufacturing an ionization chamber, characterized in that, after disposing the charge collecting electrode, the element member and another element member are hermetically bonded in the predetermined detection gas atmosphere.
JP25059291A 1991-09-30 1991-09-30 Ionization chamber and its manufacture Pending JPH0589821A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014181935A (en) * 2013-03-18 2014-09-29 Shimadzu Corp Flat panel type radiation detector and manufacturing method of the same
CN109037012A (en) * 2018-06-29 2018-12-18 天津敬慎坊科技有限公司 A kind of Position sensitive ionizntion chamber

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