JPH0588182A - Rubbing device - Google Patents

Rubbing device

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Publication number
JPH0588182A
JPH0588182A JP25102591A JP25102591A JPH0588182A JP H0588182 A JPH0588182 A JP H0588182A JP 25102591 A JP25102591 A JP 25102591A JP 25102591 A JP25102591 A JP 25102591A JP H0588182 A JPH0588182 A JP H0588182A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rubbing
rubbing cloth
cloth
tape
alignment film
Prior art date
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Pending
Application number
JP25102591A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masao Yoshino
正雄 吉野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Casio Computer Co Ltd
Original Assignee
Casio Computer Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Casio Computer Co Ltd filed Critical Casio Computer Co Ltd
Priority to JP25102591A priority Critical patent/JPH0588182A/en
Publication of JPH0588182A publication Critical patent/JPH0588182A/en
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Abstract

PURPOSE:To allow the oriented films of all substrates to be subjected to a uniform and good orientation treatment by bringing a tape-shaped rubbing cloth into contact with the oriented film by means of a rubbing pressure imparting roller while sending the cloth, thereby rubbing the oriented film. CONSTITUTION:A rubbing cloth feed mechanism 12 is held driven prior to the start of the movement of a moving stage 11 to send the tape-shaped rubbing cloth 15 at a specified speed from a rubbing cloth supplying section 13 to a rubbing cloth recovering section 14. The rubbing pressure imparting roller 16 is brought into contact under a specified contact pressure with the rear surface (front surface) of the tape-shaped rubbing cloth 15. The tape-shaped rubbing cloth 15 is pressed under the specified contact pressure by the rubbing pressure imparting roller 16 to the film surface of the oriented film a of the substrate A when the substrate A on the moving stage 11 is sent under the rubbing pressure imparting roller 16 by the movement of the moving stage. The film surface of the oriented film a is then rubbed successively in one direction from one end side to the other end side of the oriented film a as the moving stage 11 moves.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、配向膜のラビング装置
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an alignment film rubbing apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示素子に用いる透明基板の電極形
成面に形成される配向膜は、ポリイミド樹脂等の配向材
で形成されており、この配向膜には、液晶分子を所定の
方向に配列させるための配向処理が施されている。
2. Description of the Related Art An alignment film formed on an electrode formation surface of a transparent substrate used for a liquid crystal display element is formed of an alignment material such as a polyimide resin. Liquid crystal molecules are arranged in a predetermined direction on the alignment film. Orientation processing is performed to make it.

【0003】この配向処理は、配向膜の膜面を一方向に
ラビングする方法で行なわれており、この配向膜面のラ
ビングは、従来、図4に示したラビング装置によって行
なわれている。
This alignment treatment is performed by a method of rubbing the film surface of the alignment film in one direction, and the rubbing of the alignment film surface is conventionally performed by the rubbing apparatus shown in FIG.

【0004】このラビング装置は、固定ステージ1の上
に配向膜aを形成した基板Aをその配向膜形成面を上に
して載置し、この基板A上の配向膜aの膜面にラビング
ローラ2を接触させて、このラビングローラ2を一方向
に回転させながら配向膜面に沿って平行移動させること
により、配向膜aの膜面を一方向にラビングして行くも
ので、上記ラビングローラ2としては、綿布等の布地4
aにレーヨン、ナイロン等の繊維毛4bを植毛したラビ
ング布4をローラ本体3の外周面に巻付けたものが使用
されている。
In this rubbing apparatus, a substrate A having an alignment film a formed thereon is placed on a fixed stage 1 with the alignment film forming surface facing upward, and a rubbing roller is placed on the film surface of the alignment film a on the substrate A. When the rubbing roller 2 is brought into contact with the rubbing roller 2, the rubbing roller 2 is rubbed in one direction by moving the rubbing roller 2 in parallel along the alignment film surface while rotating in one direction. As for cloth 4 such as cotton cloth
A rubbing cloth 4 in which fiber bristles 4b of rayon, nylon, etc. are planted around a is wound around the outer peripheral surface of the roller body 3.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のラビング装置は、ローラ本体3の外周面にラビング
布4を巻付けたラビングローラ2によって配向膜aの膜
面をラビングするものであるため、全ての基板の配向膜
に均一でかつ良好な配向処理を施すことができないとい
う問題をもっていた。
However, in the conventional rubbing device, the rubbing roller 2 having the rubbing cloth 4 wound around the outer peripheral surface of the roller body 3 rubs the film surface of the alignment film a. There has been a problem that the alignment films on all the substrates cannot be subjected to uniform and good alignment treatment.

【0006】これは、ラビングローラ外周面のラビング
布4の汚れや、その繊維毛4bの磨耗によるものであ
る。すなわち、配向膜のラビングは、ラビング布4で配
向膜面を擦ることによって行なわれるため、配向膜であ
るポリイミド樹脂膜等の表面がラビング布4で削られ、
この削られた樹脂がラビング布4に付着してラビング布
4が汚れるし、また、ラビング布4の繊維毛4bも、配
向膜との摩擦によって磨耗する。
This is due to dirt on the rubbing cloth 4 on the outer peripheral surface of the rubbing roller and abrasion of the fiber bristles 4b. That is, since the rubbing of the alignment film is performed by rubbing the surface of the alignment film with the rubbing cloth 4, the surface of the polyimide resin film or the like which is the alignment film is scraped with the rubbing cloth 4.
The scraped resin adheres to the rubbing cloth 4 to stain the rubbing cloth 4, and the fiber bristles 4b of the rubbing cloth 4 also wear due to friction with the alignment film.

【0007】そして上記従来のラビング装置は、多数の
基板の配向膜を同じラビングローラ2によってラビング
するものであるため、ラビングの繰返しにより、ラビン
グローラ外周面のラビング布4の汚れや繊維毛4bの磨
耗が進行し、その結果、次にラビングされる配向膜ラビ
ング状態がラビング布4の汚れや繊維毛4bの磨耗によ
って変化して、この配向膜に配向不良が発生する。本発
明の目的は、全ての基板の配向膜に均一でかつ良好な配
向処理を施すことができるラビング装置を提供すること
にある。
Since the above-mentioned conventional rubbing apparatus rubs the alignment films of a large number of substrates by the same rubbing roller 2, the rubbing cloth 4 on the outer circumferential surface of the rubbing roller and the fiber bristles 4b are repeatedly rubbed. Abrasion progresses, and as a result, the rubbing state of the alignment film to be rubbed next changes due to the dirt on the rubbing cloth 4 and the abrasion of the fiber bristles 4b, and an alignment defect occurs in this alignment film. An object of the present invention is to provide a rubbing device capable of uniformly and favorably performing alignment treatment on alignment films of all substrates.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明のラビング装置
は、ラビング布供給部とラビング布回収部とを有し、前
記ラビング布供給部からテープ状のラビング布を繰出し
てこのラビング布を前記ラビング布回収部に回収するラ
ビング布送り機構と、前記ラビング布供給部から繰出さ
れたラビング布を前記配向膜面に接触させるラビング圧
付与ローラとを備えたことを特徴とするものである。
A rubbing apparatus according to the present invention has a rubbing cloth feeding section and a rubbing cloth collecting section, and a tape-like rubbing cloth is fed from the rubbing cloth feeding section to rubbing the rubbing cloth. The rubbing cloth feeding mechanism for collecting the rubbing cloth in the cloth collecting section and the rubbing pressure applying roller for bringing the rubbing cloth fed from the rubbing cloth supply section into contact with the alignment film surface are provided.

【0009】[0009]

【作用】すなわち、本発明のラビング装置は、テープ状
のラビング布をラビング布供給部からラビング布回収部
に送りながら、このラビング布をラビング圧付与ローラ
により配向膜面に接触させて、配向膜面をラビングする
ものであり、このラビング装置によれば、配向膜面を常
に新しいラビング布(テープ状ラビング布の未使用部
分)でラビングできるから、全ての基板の配向膜に均一
でかつ良好な配向処理を施すことができる。
That is, the rubbing device of the present invention, while feeding the tape-shaped rubbing cloth from the rubbing cloth supply section to the rubbing cloth collecting section, the rubbing cloth is brought into contact with the alignment film surface by the rubbing pressure applying roller to make the alignment film. With this rubbing device, the alignment film surface can always be rubbed with a new rubbing cloth (unused portion of the tape-like rubbing cloth), so that the alignment film on all the substrates is uniform and excellent. An orientation treatment can be performed.

【0010】[0010]

【実施例】以下、本発明の一実施例を図1および図2を
参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.

【0011】図1は、本実施例のラビング装置の側面図
であり、このラビング装置は、配向膜aを形成した基板
Aをその配向膜形成面を上にした状態で水平に載置して
水平方向に移動する移動ステージ11と、この移動ステ
ージ11の移動路の上方に配置されたラビング布送り機
構12と、上記基板A上の配向膜a面にラビング布を接
触させるラビング圧付与ローラ16とを備えている。
FIG. 1 is a side view of the rubbing apparatus of this embodiment. In this rubbing apparatus, a substrate A having an alignment film a formed thereon is placed horizontally with its alignment film forming surface facing upward. A moving stage 11 that moves in the horizontal direction, a rubbing cloth feed mechanism 12 disposed above the moving path of the moving stage 11, and a rubbing pressure applying roller 16 that brings the rubbing cloth into contact with the surface of the alignment film a on the substrate A. It has and.

【0012】上記ラビング布送り機構12は、ラビング
布供給部13とラビング布回収部14とを有し、ラビン
グ布供給部13からテープ状のラビング布15を繰出し
てこのラビング布15をラビング布回収部14に回収す
るもので、ラビング布供給部13には、テープ状ラビン
グ布15を巻付けたラビング布繰出しリール13aが設
けられ、ラビング布回収部14には、上記ラビング布繰
出しリール13aから繰出されるテープ状ラビング布1
5を巻取るラビング布巻取リール14aが設けられてい
る。
The rubbing cloth feeding mechanism 12 has a rubbing cloth feeding section 13 and a rubbing cloth collecting section 14, and a tape-like rubbing cloth 15 is fed from the rubbing cloth feeding section 13 to collect the rubbing cloth 15 from the rubbing cloth. The rubbing cloth feeding section 13 is provided with a rubbing cloth feeding reel 13a around which the tape-like rubbing cloth 15 is wound, and the rubbing cloth collecting section 14 is fed from the rubbing cloth feeding reel 13a. Tape-shaped rubbing cloth 1
A rubbing cloth take-up reel 14a for winding 5 is provided.

【0013】このラビング布送り機構12は、テープ状
ラビング布15を、上記移動ステージ11の移動方向F
と平行でかつ移動ステージ11の移動方向Fに対して逆
方向に送るもので、図示しないが、ラビング布繰出しリ
ール13aにはテープ状ラビング布15にバックテンシ
ョンを与える機構が設けられており、またラビング布巻
取リール14aは図示しないモータおよび減速機により
微速で回転駆動されて、テープ状ラビング布15を一定
速度で巻取るようになっている。
The rubbing cloth feeding mechanism 12 moves the tape-like rubbing cloth 15 in the moving direction F of the moving stage 11.
Although not shown, the rubbing cloth feeding reel 13a is provided with a mechanism for applying a back tension to the tape-like rubbing cloth 15, which is parallel to the above and is fed in a direction opposite to the moving direction F of the moving stage 11. The rubbing cloth take-up reel 14a is rotationally driven at a very low speed by a motor and a speed reducer (not shown) to wind the tape-like rubbing cloth 15 at a constant speed.

【0014】また、上記テープ状ラビング布15は、図
2に示すように、綿布等からなるテープ状布地15aの
全長および全幅にレーヨン、ナイロン等の繊維毛15b
を植毛したもので、テープ状ラビング布15は、その植
毛面を外側にしてラビング布繰出しリール13aに巻か
れており、このラビング布繰出しリール13aから植毛
面が下面になる状態で繰出されて、ラビング圧付与ロー
ラ16により上記基板A上の配向膜a面に接触される。
Further, as shown in FIG. 2, the tape-like rubbing cloth 15 has a fiber-like hair 15b made of rayon, nylon or the like over the entire length and width of the tape-like cloth 15a made of cotton cloth or the like.
The tape-shaped rubbing cloth 15 is wound around the rubbing cloth feeding reel 13a with the flocked surface facing outward, and is fed from the rubbing cloth feeding reel 13a with the flocked surface being the lower surface. The rubbing pressure applying roller 16 makes contact with the surface of the alignment film a on the substrate A.

【0015】このラビング圧付与ローラ16は、ばね力
により下方に押圧されてテープ状ラビング布15を一定
圧で配向膜a面に接触させるもので、このラビング圧付
与ローラ16は、その軸方向をテープ状ラビング布15
の幅方向と平行にして、上記ラビング布供給部13とラ
ビング布回収部14との中間部に配置されている。な
お、このラビング圧付与ローラ16と、ラビング布供給
部13およびラビング布回収部14のラビング布繰出し
リール13aおよび巻取リール14aは共通のフレーム
(図示せず)に一定の位置関係で支持されている。上記
ラビング装置による配向膜a面のラビングは、次のよう
にして行なう。
The rubbing pressure applying roller 16 is pressed downward by a spring force to bring the tape-like rubbing cloth 15 into contact with the surface of the alignment film a at a constant pressure. Tape-shaped rubbing cloth 15
It is arranged in an intermediate portion between the rubbing cloth supply section 13 and the rubbing cloth collecting section 14 in parallel with the width direction of the rubbing cloth. The rubbing pressure applying roller 16 and the rubbing cloth feeding reel 13a and the winding reel 14a of the rubbing cloth supply section 13 and the rubbing cloth collecting section 14 are supported by a common frame (not shown) in a fixed positional relationship. There is. The rubbing of the surface of the alignment film a by the rubbing device is performed as follows.

【0016】まず、配向膜aを形成した基板Aをその配
向膜形成面を上にして移動ステージ11の上に載置し、
この基板Aを真空吸着等の手段で移動ステージ11に固
定した後、この移動ステージ11を一定速度で移動させ
て、その上の基板Aをその一端側からラビング圧付与ロ
ーラ16の下に送り込む。なお、この実施例では、上記
移動ステージ11を多数台備えておき、この各移動ステ
ージ11に順次基板Aを載置して、ラビング圧付与ロー
ラ16の下に連続的に基板Aを送り込むようにしてい
る。
First, the substrate A on which the alignment film a is formed is placed on the moving stage 11 with the alignment film formation surface facing up.
After fixing the substrate A to the moving stage 11 by means such as vacuum suction, the moving stage 11 is moved at a constant speed, and the substrate A on the moving stage 11 is fed from below the rubbing pressure applying roller 16 from one end side thereof. In this embodiment, a large number of the moving stages 11 are provided, the substrates A are sequentially placed on the moving stages 11, and the substrates A are continuously fed under the rubbing pressure applying roller 16. ing.

【0017】一方、ラビング布送り機構12は、上記移
動ステージ11の移動開始に先立って駆動されており、
テープ状ラビング布15を一定速度でラビング布供給部
13からラビング布回収部14に送っている。また、ラ
ビング圧付与ローラ16は、テープ状ラビング布15の
裏面(上面)に一定の接触圧で接触している。なお、こ
のラビング圧付与ローラ16は、フリー回転ローラであ
り、テープ状ラビング布15の送りにともなって同じ速
度で回転する。
On the other hand, the rubbing cloth feed mechanism 12 is driven prior to the start of the movement of the moving stage 11,
The tape-shaped rubbing cloth 15 is sent from the rubbing cloth supply unit 13 to the rubbing cloth collecting unit 14 at a constant speed. The rubbing pressure application roller 16 is in contact with the back surface (upper surface) of the tape-shaped rubbing cloth 15 with a constant contact pressure. The rubbing pressure applying roller 16 is a free rotation roller and rotates at the same speed as the tape-like rubbing cloth 15 is fed.

【0018】そして、移動ステージ11の移動によりそ
の上の基板Aがラビング圧付与ローラ16の下に送り込
まれてくると、この基板A上の配向膜aの膜面にテープ
状ラビング布15がラビング圧付与ローラ16によって
一定の接触圧で押し付けられ配向膜aの膜面が、移動ス
テージ11の移動にともなって、配向膜aの一端側から
他端側に向かって一方向にラビングされて行く。
When the substrate A on the moving stage 11 is sent under the rubbing pressure applying roller 16 by the movement of the moving stage 11, the tape-like rubbing cloth 15 is rubbed on the film surface of the alignment film a on the substrate A. The film surface of the alignment film a pressed by the pressure application roller 16 with a constant contact pressure is rubbed in one direction from one end side to the other end side of the alignment film a as the moving stage 11 moves.

【0019】この場合、配向膜a面をテープ状ラビング
布15が擦るため、配向膜aであるポリイミド樹脂膜等
の表面がラビング布15で削られ、この削られた樹脂が
ラビング布15に付着してラビング布15が汚れるが、
上記テープ状ラビング布15は、ラビング布送り機構1
2により常に一定速度で送られているため、テープ状ラ
ビング布15の汚れた部分、つまり使用済み部分は、再
び配向膜a面に触れることなくラビング布回収部14に
巻取回収されて行き、また、配向膜a面の未ラビンブ部
分は、ラビング布供給部13から繰出されてくるテープ
状ラビング布15の未使用部分によってラビングされ
る。
In this case, since the tape-shaped rubbing cloth 15 rubs the surface of the alignment film a, the surface of the polyimide resin film or the like which is the alignment film a is scraped by the rubbing cloth 15, and the scraped resin adheres to the rubbing cloth 15. And the rubbing cloth 15 gets dirty,
The tape-like rubbing cloth 15 is the rubbing cloth feeding mechanism 1.
Since the tape-shaped rubbing cloth 15 is always fed at a constant speed by 2, the dirty portion of the tape-shaped rubbing cloth 15, that is, the used portion, is wound and collected by the rubbing cloth collecting unit 14 without touching the surface of the alignment film a again. The unrubbed portion on the surface of the alignment film a is rubbed by the unused portion of the tape-shaped rubbing cloth 15 fed from the rubbing cloth supply unit 13.

【0020】すなわち、上記ラビング装置は、テープ状
のラビング布15をラビング布供給部13からラビング
布回収部14に送りながら、このラビング布15をラビ
ング圧付与ローラ16により配向膜a面に接触させて、
配向膜a面をラビングするものであり、このラビング装
置によれば、配向膜a面を常に新しいラビング布(テー
プ状ラビング布15の未使用部分)でラビングできるか
ら、全ての基板の配向膜に均一でかつ良好な配向処理を
施すことができる。
That is, in the rubbing apparatus, while feeding the tape-shaped rubbing cloth 15 from the rubbing cloth feeding section 13 to the rubbing cloth collecting section 14, the rubbing cloth 15 is brought into contact with the surface of the alignment film a by the rubbing pressure applying roller 16. hand,
The surface of the alignment film a is rubbed. According to this rubbing device, the surface of the alignment film a can always be rubbed with a new rubbing cloth (unused portion of the tape-shaped rubbing cloth 15), and thus the alignment film of all substrates can be rubbed. A uniform and good orientation treatment can be performed.

【0021】次に、本発明の他の実施例を説明する。こ
の実施例は、ラビング布送り機構12とラビング圧付与
ローラ16とを備えたラビングユニット20を複数台移
動ステージ11の移動方向Fに並べて配置し、移動ステ
ージ11により送られてくる基板A上の配向膜a面を複
数台のラビングユニット20によって繰返しラビングす
るようにしたものである。
Next, another embodiment of the present invention will be described. In this embodiment, a plurality of rubbing units 20 each having a rubbing cloth feeding mechanism 12 and a rubbing pressure imparting roller 16 are arranged side by side in the moving direction F of the moving stage 11, and are fed by the moving stage 11 on the substrate A. The surface of the alignment film a is repeatedly rubbed by a plurality of rubbing units 20.

【0022】この実施例では、ラビング布送り機構12
を、ラビング布供給部13とラビング布回収部14とを
上下に配置した構造とするとともに、このラビング布供
給部13およびラビング布回収部14の下方にラビング
圧付与ローラ16を配置してラビングユニット20をコ
ンパクト化している。
In this embodiment, the rubbing cloth feeding mechanism 12 is used.
Has a structure in which the rubbing cloth supply unit 13 and the rubbing cloth collecting unit 14 are arranged vertically, and the rubbing pressure applying roller 16 is arranged below the rubbing cloth supplying unit 13 and the rubbing cloth collecting unit 14 to arrange the rubbing unit. 20 is made compact.

【0023】なお、この実施例のラビング布送り機構1
2およびラビング圧付与ローラ16は、その配置位置が
異なるだけで、個々の構造は図1および図2に示した実
施例と同じであるから、その説明は図に同符号を付して
省略する。
The rubbing cloth feeding mechanism 1 of this embodiment
2 and the rubbing pressure imparting roller 16 are the same as the embodiment shown in FIG. 1 and FIG. 2 only in the disposition position, and therefore the description thereof is given the same reference numerals in the drawings and omitted. ..

【0024】この実施例のラビング装置においても、各
ラビングユニット20が、テープ状ラビング布15を送
りながらこのラビング布15をラビング圧付与ローラ1
6により配向膜a面に接触させて配向膜a面をラビング
するものであるため、配向膜a面を常に新しいラビング
布(テープ状ラビング布15の未使用部分)でラビング
でき、したがって、全ての基板の配向膜に均一でかつ良
好な配向処理を施すことができる。
Also in the rubbing apparatus of this embodiment, each rubbing unit 20 feeds the rubbing cloth 15 while feeding the tape-like rubbing cloth 15.
Since the surface of the alignment film a is rubbed by contacting the surface of the alignment film a by means of 6, the surface of the alignment film a can always be rubbed with a new rubbing cloth (unused portion of the tape-like rubbing cloth 15). The alignment film on the substrate can be subjected to uniform and excellent alignment treatment.

【0025】しかも、この実施例によれば、複数台のラ
ビングユニット20を備えているため、これらラビング
ユニット20のうちの何台かを休止状態(テープ状ラビ
ング布15の送りを停止するとともに、ラビング圧付与
ローラ16を引上げてラビング布15を配向膜a面に接
触させないようにした状態)にして、ラビングユニット
20の使用数を変えてやれば、配向膜a面のラビング回
数を任意に選択することができるから、配向膜a面のラ
ビング密度を制御して、任意の配向処理を施すことがで
きる。
Moreover, according to this embodiment, since a plurality of rubbing units 20 are provided, some of the rubbing units 20 are in a resting state (the feeding of the tape-like rubbing cloth 15 is stopped, and The rubbing pressure imparting roller 16 is pulled up so that the rubbing cloth 15 does not come into contact with the surface of the alignment film a), and the number of times the rubbing unit 20 is used is changed to arbitrarily select the number of times of rubbing on the surface of the alignment film a. Therefore, it is possible to control the rubbing density of the surface of the alignment film a and perform an arbitrary alignment treatment.

【0026】なお、上記各実施例では、基板Aを移動ス
テージ11により移動させながら基板A上の配向膜a面
をラビングしているが、上記基板Aは固定ステージの上
に載置してもよく、その場合は、ラビング布送り機構1
2およびラビング圧付与ローラ16を基板A面に沿って
一方向に平行移動させながら、基板A上の配向膜a面を
ラビングすればよい。
In each of the above embodiments, the surface of the alignment film a on the substrate A is rubbed while the substrate A is moved by the moving stage 11. However, the substrate A may be placed on the fixed stage. Well, in that case, rubbing cloth feed mechanism 1
The alignment film a surface on the substrate A may be rubbed while the 2 and the rubbing pressure applying roller 16 are moved in parallel in one direction along the surface of the substrate A.

【0027】[0027]

【発明の効果】本発明のラビング装置は、テープ状のラ
ビング布をラビング布供給部からラビング布回収部に送
りながら、このラビング布をラビング圧付与ローラによ
り配向膜面に接触させて、配向膜面をラビングするもの
であるから、配向膜面を常に新しいラビング布(テープ
状ラビング布の未使用部分)でラビングすることがで
き、したがって、全ての基板の配向膜に均一でかつ良好
な配向処理を施すことができる。
According to the rubbing apparatus of the present invention, while feeding a tape-like rubbing cloth from the rubbing cloth feeding section to the rubbing cloth collecting section, the rubbing cloth is brought into contact with the alignment film surface by the rubbing pressure applying roller, and the alignment film is formed. Since the surface is rubbed, the alignment film surface can always be rubbed with a new rubbing cloth (the unused part of the tape-like rubbing cloth), and therefore, the alignment film on all substrates can be uniformly and favorably treated. Can be applied.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例を示すラビング装置の側面
図。
FIG. 1 is a side view of a rubbing apparatus showing an embodiment of the present invention.

【図2】図1の一部分の拡大図。FIG. 2 is an enlarged view of a part of FIG.

【図3】本発明の他の実施例を示すラビング装置の一部
切開側面図。
FIG. 3 is a partially cutaway side view of a rubbing device showing another embodiment of the present invention.

【図4】従来のラビング装置の側面図。FIG. 4 is a side view of a conventional rubbing device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

A…基板、a…配向膜、11…移動ステージ、12…ラ
ビング布送り機構、13…ラビング布供給部、13a…
ラビング布繰出しリール、14…ラビング布回収部、1
4a…ラビング布巻取リール、15…テープ状ラビング
布、15a…テープ状布地、15b…繊維毛、16…ラ
ビング圧付与ローラ、20…ラビングユニット。
A ... Substrate, a ... Alignment film, 11 ... Moving stage, 12 ... Rubbing cloth feeding mechanism, 13 ... Rubbing cloth supply section, 13a ...
Rubbing cloth feeding reel, 14 ... rubbing cloth collecting section, 1
4a ... rubbing cloth take-up reel, 15 ... tape-like rubbing cloth, 15a ... tape-like cloth, 15b ... fiber bristles, 16 ... rubbing pressure applying roller, 20 ... rubbing unit.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上に形成した配向膜の膜面を一方向
にラビングするラビング装置において、ラビング布供給
部とラビング布回収部とを有し、前記ラビング布供給部
からテープ状のラビング布を繰出してこのラビング布を
前記ラビング布回収部に回収するラビング布送り機構
と、前記ラビング布供給部から繰出されたラビング布を
前記配向膜面に接触させるラビング圧付与ローラとを備
えたことを特徴とするラビング装置。
1. A rubbing device for rubbing the film surface of an alignment film formed on a substrate in one direction, comprising a rubbing cloth supply section and a rubbing cloth collecting section, wherein the rubbing cloth supply section is a tape-like rubbing cloth. A rubbing cloth feeding mechanism for feeding out the rubbing cloth to the rubbing cloth collecting section, and a rubbing pressure imparting roller for bringing the rubbing cloth fed from the rubbing cloth supply section into contact with the alignment film surface. Characteristic rubbing device.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05323320A (en) * 1992-05-22 1993-12-07 Nec Kagoshima Ltd Rubbing device

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JPH05323320A (en) * 1992-05-22 1993-12-07 Nec Kagoshima Ltd Rubbing device

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