JPH0588011A - Production of color filter - Google Patents
Production of color filterInfo
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- JPH0588011A JPH0588011A JP14927491A JP14927491A JPH0588011A JP H0588011 A JPH0588011 A JP H0588011A JP 14927491 A JP14927491 A JP 14927491A JP 14927491 A JP14927491 A JP 14927491A JP H0588011 A JPH0588011 A JP H0588011A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、カラーフィルタの製造
方法に関し、特にカラーディスプレイ用として好適なカ
ラーフィルタの製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color filter manufacturing method, and more particularly to a color filter manufacturing method suitable for a color display.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、カラーフィルタとしては、基板上
にゼラチン、カゼイン、グリューあるいはポリビニルア
ルコールなどの親水性高分子物質からなる媒染層を設
け、その媒染層を色素で染色して着色層を形成する染色
カラーフィルタが知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a color filter, a mordant layer made of a hydrophilic polymer such as gelatin, casein, mulberry or polyvinyl alcohol is provided on a substrate, and the mordant layer is dyed with a dye to form a colored layer. A dyeing color filter that does is known.
【0003】このような染色法では、使用可能な染料が
多く、カラーフィルタとして要求される分光特性への対
応が比較的容易であるが、媒染層の染色工程に、染料を
溶解させた染色浴中に媒染層を浸漬するというコントロ
ールの難しい湿式工程を採用しており、また各色毎に防
染用の中間層を設けるという複雑な工程を有するため歩
留りが悪くなる欠点を有している。また、染色可能な色
素の耐熱性が150℃程度以下と比較的低く、該フィル
タに熱的処理を必要とする場合には、使用が困難である
上、染色膜自体の耐熱性、耐光性等の信頼性が劣るとい
う欠点も有している。In such a dyeing method, many dyes can be used, and it is relatively easy to meet the spectral characteristics required for a color filter. However, in the dyeing process of the mordant layer, a dye bath in which the dye is dissolved is used. It employs a difficult wet process of immersing a mordant layer in it, and has a complicated process of providing an intermediate layer for dye protection for each color, which has the drawback of lowering the yield. Further, the heat resistance of the dyeable dye is relatively low at about 150 ° C. or less, and it is difficult to use when heat treatment is required for the filter, and the heat resistance, light resistance, etc. of the dye film itself. It also has the drawback of poor reliability.
【0004】これに対し、従来、ある種の着色材料が透
明樹脂中に分散されてなる着色樹脂を用いたカラーフィ
ルタが知られている。On the other hand, conventionally, a color filter using a colored resin in which a certain colored material is dispersed in a transparent resin is known.
【0005】このようなカラーフィルタは、例えば、特
開昭58−46325号公報、特開昭60ー78401
号公報、特開昭60ー184202号公報、特開昭60
ー184203号公報、特開昭60ー184204号公
報、および特開昭60ー184205号公報等に示され
ているように、ポリアミドまたはポリイミド系樹脂に着
色材料を混合した着色樹脂材料を用いて印刷する方法、
あるいは着色樹脂膜上にレジストによるマスクを設けた
後に該着色樹脂膜をエッチングする方法により形成する
ことができる。Such color filters are disclosed, for example, in Japanese Patent Laid-Open Nos. 58-46325 and 60-78401.
JP, JP-A-60-184202, JP, JP-A-60
-184203, JP-A-60-184204, JP-A-60-184205, etc., printing using a colored resin material in which a coloring material is mixed with a polyamide or polyimide resin. how to,
Alternatively, it can be formed by a method in which a mask of resist is provided on the colored resin film and then the colored resin film is etched.
【0006】また、特開昭57ー16407号公報、特
開昭57ー74707号公報、および特開昭60ー12
9707号公報等に示されているように、感光性樹脂に
着色材料を混合した感光性着色樹脂膜を用いてフォトリ
ソ工程による方法によりカラーフィルタを形成すること
ができる。Further, JP-A-57-16407, JP-A-57-74707, and JP-A-60-12.
As disclosed in Japanese Patent No. 9707, etc., a color filter can be formed by a photolithography process using a photosensitive colored resin film in which a coloring material is mixed with a photosensitive resin.
【0007】これらのカラーフィルタは、前記染色カラ
ーフィルタに比べて、信頼性の高い材料を用いることが
できる上、比較的簡便な方法で形成することができ、有
用なカラーフィルタといえる。These color filters can be said to be useful color filters because they can use materials having higher reliability than the dyed color filters and can be formed by a relatively simple method.
【0008】混合する有機顔料としては、溶性アゾ系、
不溶性アゾ系および縮合アゾ系等のアゾ顔料、フタロシ
アニン系顔料、ならびにインジゴ系、アントラキノン
系、ペリレン系、ペリノン系、ジオキサジン系、キナク
リトン系、その他金属錯体系を含む縮合多環系顔料が用
いられる。Organic pigments to be mixed include soluble azo pigments,
Insoluble azo pigments and condensed azo pigments, phthalocyanine pigments, and condensed polycyclic pigments including indigo pigments, anthraquinone pigments, perylene pigments, perinone pigments, dioxazine pigments, quinacryton pigments, and other metal complex pigments are used.
【0009】カラー液晶表示素子はこのような赤
(R)、緑(G)および青(B)のフィルタ上に光シャ
ッタとして機能する多数の画素を作り込み、3色を1絵
素としてカラー表示を行なっている。こうした方式にお
いてなるべく多くの色を表示するには画素毎の階調制御
が必要となるが、特に強誘電性液晶では無段階諧調制御
が困難なため、2値のみの階調制御が行なわれている。
この2値のみの階調制御では原理的に1絵素は8色表示
までとなる。A color liquid crystal display element has a large number of pixels functioning as optical shutters formed on the red (R), green (G) and blue (B) filters, and displays three colors as one pixel. Are doing. In order to display as many colors as possible in such a system, gradation control for each pixel is necessary, but since stepless gradation control is particularly difficult with a ferroelectric liquid crystal, gradation control of only two values is performed. There is.
In principle, with this gradation control of only two values, one picture element can display up to eight colors.
【0010】特開平2−118521号公報には、上記
の3色に白(または透明)を加えて4色で1絵素を形成
する提案がされている。この4色フィルタ方式によれ
ば、2値のみの階調制御で、前記3色フィルタ方式の8
色表示に、白と黒を除く6色の明色(ライトレッド、ラ
イトグリーン等)を加えた14色、さらには明度(輝
度)の異なる無彩色を加えた15〜16色の表示が可能
になる。Japanese Unexamined Patent Publication No. 2-118521 proposes to add white (or transparent) to the above three colors to form one picture element with four colors. According to this four-color filter method, gradation control of only two values is performed, and the eight-color filter method
It is possible to display 14 colors by adding 6 bright colors (light red, light green, etc.) excluding white and black to the color display, and 15-16 colors by adding achromatic colors with different brightness (luminance). Become.
【0011】[0011]
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記の着色
材料混合および非混合の感光性樹脂を用いてR、G、B
およびW(赤、緑、青および白(または透明))の画素
パターンを形成する際は、白パターンの後に他色のパタ
ーンを形成すると白パターン上に他色の残渣が残るた
め、白パターンはなるべく後に形成されていた。この残
渣に関しては、近年、残渣除去でクリアできるようにな
ったが、習慣として白パターンの形成は後の工程のまま
であった。By the way, by using the above-mentioned photosensitive resin with or without mixing of coloring materials, R, G and B are mixed.
And W (red, green, blue, and white (or transparent)) pixel patterns are formed, when a pattern of another color is formed after the white pattern, the residue of the other color remains on the white pattern. It was formed as late as possible. With respect to this residue, it has become possible to clear it by removing the residue in recent years, but as a custom, the formation of the white pattern remains as a subsequent step.
【0012】TNやSTN等のセルギャップが広い(例
えば6μm以上)液晶表示パネルを製造する際にはこの
ように白パターンを後から形成する方法でも何ら問題は
なかった。しかしながら、強誘電性液晶表示パネルのよ
うにセルギャップの狭い(例えば6μm未満)パネルに
おいて、他色の画素パターンを形成した後に白パターン
を形成する従来のカラーフィルタを用いた場合、このカ
ラーフィルタ上に電極等を形成し、対向電極等を形成さ
れた対向基板と重ね合わせてセルを形成し、そのセルに
液晶を注入してパネルを形成する際、セルギャップ不良
が生じ、パネルの配向不良、上下電極間ショート、色づ
き、駆動時の液晶の駆動マージンの減少等の欠陥の原因
になるという不都合があった。When a liquid crystal display panel having a wide cell gap such as TN or STN (for example, 6 μm or more) is manufactured, there is no problem in the method of forming the white pattern later. However, in a panel having a narrow cell gap (for example, less than 6 μm) such as a ferroelectric liquid crystal display panel, when a conventional color filter that forms a white pattern after forming a pixel pattern of another color is used, When forming a panel by forming an electrode or the like on the counter substrate and a counter substrate on which a counter electrode or the like is formed, and then injecting liquid crystal into the cell to form a panel, a cell gap defect occurs, a panel alignment defect, There are inconveniences such as a short circuit between the upper and lower electrodes, coloring, and a defect such as a decrease in driving margin of the liquid crystal during driving.
【0013】すなわち、セルギャップの狭いパネルで、
前記のような着色材料と感光性樹脂により構成された感
光性着色樹脂を用いて形成したカラーフィルタにおい
て、特にポリイミドまたはポリアミドを主とした感光性
樹脂を用い、通常のRGB(赤、緑、青)以外に白(ま
たは透明)の画素を設けた場合、各色画素パターンの形
成順序を間違えると、このようなカラーフィルタを用い
たパネルはギャップ不良が発生し、ディスプレイとして
甚だ不都合であった。That is, in a panel having a narrow cell gap,
In the color filter formed by using the photosensitive coloring resin composed of the coloring material and the photosensitive resin as described above, the photosensitive resin mainly composed of polyimide or polyamide is used, and ordinary RGB (red, green, blue) is used. In the case where white (or transparent) pixels are provided in addition to the above, if the formation order of each color pixel pattern is incorrect, a panel using such a color filter causes a gap defect, which is very inconvenient as a display.
【0014】本発明は、このような従来例における問題
点に鑑みてなされたもので、ポリイミドまたはポリアミ
ドを主とした感光性樹脂を用いてRGBWのパターンを
形成された耐熱性および耐光性が良好な4色カラーフィ
ルタであって、セルギャップの狭いパネルに用いる場合
にもパネルのギャップ不良を生じ難いカラーフィルタを
製造する方法を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above problems in the prior art, and has excellent heat resistance and light resistance in which an RGBW pattern is formed using a photosensitive resin mainly containing polyimide or polyamide. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a color filter that is a simple four-color filter that is less likely to cause a panel gap defect even when used in a panel having a narrow cell gap.
【0015】[0015]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明では、ポリアミドまたはポリイミドを主体と
する感光性樹脂中に顔料を分散させた感光性着色樹脂を
用いて基板上にフォトリソ工程によりパターニングし、
赤、緑および青の画素パターンを形成するとともに、ポ
リアミドまたはポリイミドを主体とし顔料を含まない感
光性樹脂を用いて基板上にフォトリソ工程によりパター
ニングし、白(または透明)画素パターンを形成する、
赤、緑、青および白の4色の画素パターンからなるカラ
ーフィルタの製造方法において、前記白画素パターンの
形成を、各白画素が他の色の画素と隣り合わない状態で
行なうことを特徴とする。To achieve the above object, in the present invention, a photolithographic process is performed on a substrate by using a photosensitive coloring resin in which a pigment is dispersed in a photosensitive resin mainly containing polyamide or polyimide. Patterning by
In addition to forming red, green and blue pixel patterns, a photosensitive resin mainly containing polyamide or polyimide and not containing a pigment is used to form a white (or transparent) pixel pattern by patterning on a substrate by a photolithography process.
In a method of manufacturing a color filter including four color pixel patterns of red, green, blue and white, the white pixel pattern is formed in a state where each white pixel is not adjacent to a pixel of another color. To do.
【0016】具体的には、白画素パターンを第1色目に
形成するか、あるいは第1色目として赤、緑および青の
いずれかの画素パターンを形成した後、白画素パターン
を第2色目として第1色目に形成した画素パターンとは
隣り合わない位置に形成する。Specifically, a white pixel pattern is formed in the first color, or a pixel pattern of red, green, or blue is formed as the first color, and then the white pixel pattern is formed in the second color. It is formed at a position not adjacent to the pixel pattern formed for the first color.
【0017】本発明は、特にセルギャップが6μm未満
と狭い液晶表示パネルに用いて好適なものである。The present invention is particularly suitable for use in a liquid crystal display panel having a narrow cell gap of less than 6 μm.
【0018】[0018]
【作用】本発明で用いられるポリアミドまたはポリイミ
ド主体の感光性樹脂材料は、耐熱性が良く、後工程での
高温処理が可能となる。例えばこれらの材料で形成され
たカラーフィルタ上へのITO成膜時の基板過熱温度や
配向膜成膜時の焼成温度を高くすることができるので、
良好なディスプレイを得ることができる。特に、強誘電
性液晶パネルを製造するにあたっては、配向膜焼成温度
は250℃以上が望ましいため、これらは必要不可欠な
材料と言える。The polyamide or polyimide-based photosensitive resin material used in the present invention has good heat resistance and can be subjected to a high temperature treatment in a subsequent step. For example, since it is possible to increase the substrate heating temperature during ITO film formation on the color filter formed of these materials and the firing temperature during alignment film formation,
A good display can be obtained. In particular, when manufacturing a ferroelectric liquid crystal panel, it is desirable that the baking temperature of the alignment film is 250 ° C. or higher, and thus these materials are indispensable.
【0019】一方、強誘電性液晶は、通常のTN液晶と
異なり無段階の諧調制御が難しいので、通常、2値制御
される。このため、この種の液晶で多色表示を行なうに
はRGB(赤、緑、青)のみでは色数が少ない。そこ
で、白もしくは透明な画素を設け、色数を増やすことが
必要となる。この白(または透明)の部分の画素は透明
な樹脂を用いて形成するが、白の画素パターンを形成す
る際、白の画素部分が他色の画素で挟まれたり、囲まれ
た状態になっていると、そこに塗布された樹脂は図1
(c)の6のようになる。この状態で図2に示す手法で
パターニングしていくと、図1(c)の領域10が光硬
化され、図1(b)に示すようにパターニング端が盛り
上がる欠点が生じる。図中、1は白画素、2,3,4は
それぞれ他の色(赤、緑、青)の画素、5はガラス基
板、9は白画素1の盛り上がり部分である。白以外の他
の色でもこの現象は生じるが、他の色は顔料が含まれて
いるため、このような盛り上がり部分は大きくならずに
済んでいる。白の場合で、盛り上がり部分の高さは70
00Å前後、他の色で通常2000Å前後であり、図6
に示すような絶縁層17を形成しても白の部分で350
0Å前後の凸が生じていることになる。On the other hand, the ferroelectric liquid crystal, unlike the normal TN liquid crystal, is difficult to control stepless gradation, so that it is usually binary-controlled. Therefore, RGB (red, green, blue) alone has a small number of colors to perform multicolor display with this type of liquid crystal. Therefore, it is necessary to increase the number of colors by providing white or transparent pixels. The white (or transparent) pixels are formed by using a transparent resin, but when forming the white pixel pattern, the white pixel portion is sandwiched or surrounded by pixels of other colors. The resin applied on the
It becomes like 6 of (c). If patterning is performed in this state by the method shown in FIG. 2, the region 10 of FIG. 1C is photo-cured, resulting in a defect that the patterning edge rises as shown in FIG. 1B. In the figure, 1 is a white pixel, 2 and 3 and 4 are pixels of other colors (red, green and blue), 5 is a glass substrate, and 9 is a raised portion of the white pixel 1. This phenomenon occurs with colors other than white, but since other colors contain pigments, such raised portions do not have to become large. In the case of white, the height of the raised part is 70
About 00Å, other colors are usually around 2000Å.
Even if the insulating layer 17 as shown in FIG.
It means that there is a convexity around 0Å.
【0020】強誘電性液晶は、セルギャップを1.5μ
m以下とすることが好ましいが、前記の凸は、このよう
なセルギャップの狭いパネルの形成時にセルギャップ不
良の原因となり、パネルの配向不良、上下電極間のショ
ート、ギャップ不良による色づき、駆動時の液晶の駆動
マージンの減少など様々な欠陥の原因になっていた。Ferroelectric liquid crystal has a cell gap of 1.5 μm.
The thickness is preferably m or less, but the above-mentioned protrusions cause a cell gap defect when forming a panel having such a narrow cell gap, and there is a panel alignment defect, a short circuit between upper and lower electrodes, coloring due to a gap defect, and driving. This has been a cause of various defects such as a decrease in the driving margin of the liquid crystal.
【0021】本発明では、ポリイミドまたはポリイミド
を主とした感光性樹脂を白画素として使用するとき、白
画素パターンの形成時に、各白画素が他の色と隣り合わ
ないようにしたため、図1(a)に示すように各画素パ
ターン、特に白画素パターンの盛り上がりが小さくな
り、前記セルギャップ不良等の欠陥を防止することがで
きる。In the present invention, when a polyimide or a photosensitive resin mainly containing polyimide is used as a white pixel, each white pixel is prevented from being adjacent to other colors when forming a white pixel pattern. As shown in a), the swelling of each pixel pattern, particularly the white pixel pattern is reduced, and defects such as the cell gap defect can be prevented.
【0022】以下、本発明の実施例を説明する。Examples of the present invention will be described below.
【0023】[0023]
【実施例1】図2(a)〜(e)に示す方法によりカラ
ーフィルタを製造した。Example 1 A color filter was manufactured by the method shown in FIGS.
【0024】先ず、図2(a)に示すように、ガラス基
板(厚さ1.1mm)5上に、スピンナ法を用いてポリ
アミド主体の感光性樹脂(本実施例においては宇部興産
社製PA1000C)を塗布し、感光性樹脂層6を形成
した。次に、これをプリベークした後、フォトマスク7
を用いて露光し(図2(b))、感光性樹脂層6の所望
部分6aを光硬化させた(図2(c))。その後、現像
処理により前記所望部分6a以外の部分を除去し(図2
(d))、図1(a)に示す白(または透明)画素1部
分を形成させた。次に、同様な工程を通し、図1(a)
のごとく他の3色(赤、緑および青)の画素2〜4を形
成した。他の3色の形成順序は用いる材料の特性、すな
わち密着性や含まれる顔料の大きさ等によって変化する
が、例えば、ポリアミド主体の感光性樹脂中に顔料を分
散させたPA−1012(宇部興産社製)を用いた場
合、青を白の次に形成し、順次、緑、赤と形成した方が
ギャップ不良の原因となるパターン端部の盛り上がりが
少なかった。但し、赤、緑、青の順番を変えても、盛り
上がりの差は軽微なため、ギャップ不良の程度は実質的
に変わらなかった。First, as shown in FIG. 2A, a polyamide-based photosensitive resin (PA1000C manufactured by Ube Industries, Ltd. in this embodiment) was formed on a glass substrate (thickness: 1.1 mm) 5 by a spinner method. ) Was applied to form a photosensitive resin layer 6. Next, after prebaking this, the photomask 7
Was used for exposure (FIG. 2B), and the desired portion 6a of the photosensitive resin layer 6 was photocured (FIG. 2C). After that, a portion other than the desired portion 6a is removed by a developing process (see FIG.
(D)), white (or transparent) pixel 1 portion shown in FIG. 1 (a) was formed. Next, a similar process is performed, and FIG.
Pixels 3 to 4 of the other three colors (red, green and blue) were formed. The order of formation of the other three colors varies depending on the characteristics of the material used, that is, the adhesiveness, the size of the pigment contained, etc. (Manufactured by Mfg. Co., Ltd.), blue was formed next to white, and then green and red were formed successively, which caused less swelling at the end of the pattern, which causes a gap defect. However, even if the order of red, green, and blue was changed, the difference in swelling was slight, so the degree of gap defect did not substantially change.
【0025】上記の方法によって図3(c)に示す画素
配置のカラーフィルタを形成した。図3(c)において
1つの画素は190μm角であり、画素間の間隔は10
μmである。このカラーフィルタの表面形状をYおよび
X方向に測定した結果を図3(a)および(b)に示
す。また、図4(a),(b)には、白(または透明)
画素のパターンを第4色目に形成したときのカラーフィ
ルタの表面形状を測定した結果を示す。A color filter having the pixel arrangement shown in FIG. 3C was formed by the above method. In FIG. 3C, one pixel is 190 μm square, and the interval between pixels is 10 μm.
μm. The results of measuring the surface shape of this color filter in the Y and X directions are shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b). In addition, white (or transparent) is shown in FIGS.
The result of measuring the surface shape of the color filter when the pixel pattern is formed in the fourth color is shown.
【0026】図4から分かるように、従来法によるカラ
ーフィルタの白パターン端部の盛り上がりは約7000
Åである。一方、本発明による方法で形成したものは図
3から明らかなように、白パターン端部の盛り上がりは
最大で約3000Åであった。As can be seen from FIG. 4, the swelling of the end portion of the white pattern of the color filter according to the conventional method is about 7,000.
It is Å. On the other hand, as can be seen from FIG. 3, the swelling at the end portion of the white pattern was about 3000 Å at the maximum, which was formed by the method according to the present invention.
【0027】次に、このように形成したカラーフィルタ
を用いて図6に示す構成の液晶パネルを作製した。すな
わち、ガラス基板5a上に形成されたカラーフィルタ1
8の上に絶縁性の保護層17を設け、さらにITO膜お
よびメタル補助電極膜を設け各々パターニングして表示
電極11aおよび金属引回し電極12aをストライプ状
に形成し、絶縁層13aおよび配向膜層14aを形成処
理した後、表示電極11b,金属引回し電極12b、絶
縁層13bおよび配向膜層14bを形成された対向基板
5bとをギャップ量を1.0〜1.5μmの間の値に設
定して貼り合わせ、このギャップに強誘電液晶16を注
入封止して液晶パネルを完成した。図6において、15
はギャップ設定のためのセルギャップ材、19は画素間
の隙間からの光漏れを防止するための遮光マスク(金属
膜)である。このパネルを駆動したところ、画素内での
ギャップ不良が少ないため、品位の優れたディスプレイ
を得ることができた。Next, a liquid crystal panel having the structure shown in FIG. 6 was produced using the color filter thus formed. That is, the color filter 1 formed on the glass substrate 5a
8 is provided with an insulating protective layer 17, and further an ITO film and a metal auxiliary electrode film are provided and patterned to form the display electrodes 11a and the metal routing electrodes 12a in stripes, and the insulating layer 13a and the alignment film layer. After forming 14a, the display electrode 11b, the metal leading electrode 12b, the insulating layer 13b, and the counter substrate 5b on which the alignment film layer 14b is formed have a gap amount set to a value between 1.0 and 1.5 μm. Then, the liquid crystal panel was completed by injecting and sealing the ferroelectric liquid crystal 16 in this gap. In FIG. 6, 15
Is a cell gap material for setting a gap, and 19 is a light-shielding mask (metal film) for preventing light leakage from a gap between pixels. When this panel was driven, there were few gap defects in the pixels, so a display of excellent quality could be obtained.
【0028】[0028]
【実施例2】実施例1とほぼ同様な形成方法であるが、
本実施例では白を第2番目に形成している。パターン構
成は図3(c)と同じであり、この構成からだと第1色
目、すなわち白パターンと隣り合わない画素パターンは
緑となる。図3(c)のパターンにこだわる必要はなく
配置は適宜に変えてもよい。配置を決める要素としては
駆動信号の入り方と白以外の赤、緑、青の樹脂の密着性
が主となる。[Embodiment 2] The formation method is almost the same as in Embodiment 1,
In this embodiment, white is formed second. The pattern configuration is the same as in FIG. 3C, and with this configuration, the first color, that is, the pixel pattern that is not adjacent to the white pattern is green. It is not necessary to pay attention to the pattern of FIG. 3C, and the arrangement may be changed appropriately. The factors that determine the layout are mainly how the drive signal enters and the adhesion of the red, green, and blue resins other than white.
【0029】上記の如く、本実施例においては、緑→白
(透明)→青→赤の順に、図2に示すフォトリソ工程を
用いて各色の画素パターンを形成した。このときのカラ
ーフィルタの表面状態を図5に示す。As described above, in this embodiment, the pixel pattern of each color was formed in the order of green → white (transparent) → blue → red using the photolithography process shown in FIG. The surface condition of the color filter at this time is shown in FIG.
【0030】図5(a)に示すように、対角に存在する
緑のパターンにひきづられた白の角近傍のパターン端部
の盛り上がりが若干みえる。但し、この盛り上がりの高
さは1000〜1500Åであるので実質上全く問題に
ならない。As shown in FIG. 5 (a), a slight rise is seen at the end of the pattern in the vicinity of the white corners drawn by the green patterns existing diagonally. However, since the height of this bulge is 1000 to 1500 Å, there is practically no problem.
【0031】この基板を実施例1と同様な方法でパネル
化し駆動したところ品位の優れたディスプレイを得られ
た。When this substrate was formed into a panel and driven in the same manner as in Example 1, a display of excellent quality was obtained.
【0032】[0032]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
R(赤)、G(緑)、B(青)およびW(白)のフィル
タ画素を必要とするカラーフィルタにおいて、白を第1
色目、あるいは第2色目でもかまわないが第1色目とは
隣り合わない位置に形成することによって、白のパター
ニング時におけるパターン端の盛り上がりを防ぐことが
でき、特にセルギャップの狭いパネルを製造するときの
セルギャップ不良を防ぐことができる。前述の感光性樹
脂においては、一般に、顔料を含んだ赤、緑および青よ
りも白の方が密着性が高く、この点からも白を第1色目
とした方が好ましい。白を第1色目にもって来ることに
より、第1色目の密着不良による欠陥をも合せて解決す
ることができる。As described above, according to the present invention,
In a color filter that requires R (red), G (green), B (blue) and W (white) filter pixels, white is first
By forming it at a position where it may be the second color or the second color, but it is not adjacent to the first color, it is possible to prevent the pattern edge from rising at the time of white patterning, especially when manufacturing a panel with a narrow cell gap. It is possible to prevent defective cell gap. In the above-mentioned photosensitive resin, in general, white has higher adhesiveness than red, green, and blue containing pigments, and from this point, it is preferable to use white as the first color. By bringing white to the first color, defects due to poor adhesion of the first color can also be solved.
【図1】 (a)および(b)はそれぞれ本発明および
従来の方法で製造されたカラーフィルタの表面状態のイ
メージ図であり、(c)は従来法による白画素パターン
形成時のイメージ図である。1A and 1B are image diagrams of a surface state of a color filter manufactured by the present invention and a conventional method, respectively, and FIG. 1C is an image diagram when a white pixel pattern is formed by a conventional method.
【図2】 カラーフィルタの製造方法の一例を示す説明
図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing an example of a method of manufacturing a color filter.
【図3】 本発明の一実施例に係るカラーフィルタの表
面状態((a)および(b))を示す図と、画素配置図
((c))である。FIG. 3 is a diagram showing a surface state ((a) and (b)) of a color filter according to an embodiment of the present invention and a pixel arrangement diagram ((c)).
【図4】 従来法により製造されたカラーフィルタの表
面状態を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a surface state of a color filter manufactured by a conventional method.
【図5】 本発明の第2の実施例に係るカラーフィルタ
の表面状態を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a surface state of a color filter according to a second embodiment of the present invention.
【図6】 液晶パネルの断面のイメージ図である。FIG. 6 is an image diagram of a cross section of a liquid crystal panel.
1:白画素、2:赤画素、3:緑画素、4:青画素、
5,5a,5b:ガラス基板、6:感光性樹脂膜、7:
フォトマスク、10:白画素パターンの光硬化部、11
a,11b:表示電極、12a,12b:金属引回し電
極、13a,13b:絶縁層、14a,14b:配向
膜、15:セルギャップ材、16:液晶、17:保護膜
(絶縁層)、18:カラーフィルタ、19:遮光マスク
(金属膜)。1: white pixel, 2: red pixel, 3: green pixel, 4: blue pixel,
5, 5a, 5b: glass substrate, 6: photosensitive resin film, 7:
Photomask, 10: Photocuring part of white pixel pattern, 11
a, 11b: display electrode, 12a, 12b: metal leading electrode, 13a, 13b: insulating layer, 14a, 14b: alignment film, 15: cell gap material, 16: liquid crystal, 17: protective film (insulating layer), 18 : Color filter, 19: Light-shielding mask (metal film).
Claims (5)
る感光性樹脂中に顔料を分散させた感光性着色樹脂を用
いて基板上にフォトリソ工程によりパターニングし、
赤、緑および青の画素パターンを形成するとともに、ポ
リアミドまたはポリイミドを主体とし顔料を含まない感
光性樹脂を用いて基板上にフォトリソ工程によりパター
ニングし、白画素パターンを形成する、赤、緑、青およ
び白の4色の画素からなるカラーフィルタの製造方法に
おいて、 前記白画素パターンの形成を、各白画素が他の色の画素
と隣り合わない状態で行なうことを特徴とするカラーフ
ィルタの製造方法。1. A patterning is performed on a substrate by a photolithography process using a photosensitive coloring resin in which a pigment is dispersed in a photosensitive resin mainly composed of polyamide or polyimide,
In addition to forming red, green and blue pixel patterns, a photosensitive resin mainly containing polyamide or polyimide is used to form a white pixel pattern by patterning on a substrate by a photolithography process using a photolithography process, red, green and blue. And a method of manufacturing a color filter composed of pixels of four colors of white, wherein the white pixel pattern is formed in a state where each white pixel is not adjacent to a pixel of another color. ..
ることを特徴とする請求項1記載の製造方法。2. The manufacturing method according to claim 1, wherein the white pixel pattern is formed first.
ターンを第1番目に形成し、前記白画素パターンをその
第1色目を形成した位置とは隣り合わない位置に第2番
目に形成することを特徴とする請求項1記載の製造方
法。3. The red, green, or blue pixel pattern is formed first, and the white pixel pattern is formed second at a position that is not adjacent to the position where the first color is formed. The manufacturing method according to claim 1, wherein
い液晶表示パネルのセル内面側に形成される請求項1記
載の製造方法。4. The manufacturing method according to claim 1, wherein the color filter is formed on a cell inner surface side of a liquid crystal display panel having a narrow cell gap.
求項4記載の製造方法。5. The manufacturing method according to claim 4, wherein the cell gap is less than 6 μm.
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Publication Number | Publication Date |
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JPH0588011A true JPH0588011A (en) | 1993-04-09 |
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- 1991-05-27 JP JP14927491A patent/JPH0588011A/en active Pending
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