JPH0587571A - Shaking type laser - Google Patents
Shaking type laserInfo
- Publication number
- JPH0587571A JPH0587571A JP32010991A JP32010991A JPH0587571A JP H0587571 A JPH0587571 A JP H0587571A JP 32010991 A JP32010991 A JP 32010991A JP 32010991 A JP32010991 A JP 32010991A JP H0587571 A JPH0587571 A JP H0587571A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- laser
- shaking
- pentaprism
- reciprocating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
Description
【産業上の利用分野】本発明は、例えば土木、建築等に
おけるレベル出しや位置出しに用いられる揺動式レーザ
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an oscillating laser used for leveling and positioning in civil engineering, construction, etc.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、土木、建築等においては、例えば
図7に示すように、レーザ本体11から発射されるレー
ザ光線Lをシリンドリカルレンズ30によって扇形に分
散させて対象物Gに投射するライン投影型レーザ100
を用いてレベル出しや位置出しを行うことがある。2. Description of the Related Art Conventionally, in civil engineering and construction, for example, as shown in FIG. 7, a line projection in which a laser beam L emitted from a laser body 11 is fan-shaped dispersed by a cylindrical lens 30 and projected onto an object G. Type laser 100
There is a case where the level is set and the position is set by using.
【0003】また、例えば図8に示すように、レーザ本
体11から発射されるレーザ光線Lを光学素子21で直
角方向に向け変え、この光学素子21を例えば一方向に
回転するモータ40で入射光軸L1の回りの一定方向に
回転させることにより、図9(a)あるいは図9(b)
に示すように、レーザ光線Lを一方向に回転させて対象
物Gに投射する回転式レーザ200を用いてレベル出し
や位置出しを行うことがある。For example, as shown in FIG. 8, a laser beam L emitted from a laser body 11 is redirected by an optical element 21 at a right angle, and the incident light is directed by a motor 40 which rotates the optical element 21 in one direction, for example. 9 (a) or 9 (b) by rotating in a fixed direction around the axis L1.
As shown in, the leveling or positioning may be performed by using the rotary laser 200 that rotates the laser beam L in one direction and projects it on the object G.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ライン投影型レーザ1
00の場合には、レーザ光線Lが扇形に分散されるの
で、対象物G上の各点に投影されるレーザ光線Lのエネ
ルギーが小さく、レーザと対象物Gとの距離が大きくな
ると対象物G上の光を視認することが困難になる場合が
多い。Line projection type laser 1
In the case of 00, since the laser beam L is fan-shaped dispersed, the energy of the laser beam L projected on each point on the object G is small, and when the distance between the laser and the object G is large, the object G is large. It is often difficult to see the light above.
【0005】回転式レーザ200の場合には、レーザ光
線Lが分散されないのでライン投影型レーザ100を用
いる場合よりも遠くにある対象物Gに投影されたレーザ
光線Lを視認することができる。しかし、この場合で
も、レーザ200と対象物Gとの距離が20m以上にな
るとレーザ光線Lの投影を視認できなくなることが多く
なり、周囲が明るい場合には、一層困難になる。In the case of the rotary laser 200, since the laser beam L is not dispersed, it is possible to visually recognize the laser beam L projected on the object G which is farther than in the case where the line projection type laser 100 is used. However, even in this case, when the distance between the laser 200 and the object G is 20 m or more, the projection of the laser beam L often becomes invisible and becomes more difficult when the surroundings are bright.
【0006】周囲が明るい場合には、レーザ光線Lの波
長の光を検出する光検知器を用いてレーザ光線を検出す
ることが可能であるが、検出する位置に光検知器の位置
を合わせるのに手間取ったり、光検知器の検出誤差があ
ったりして、目視で位置出しをを行う場合に比べて精度
や利便性が劣る。When the surroundings are bright, it is possible to detect the laser beam by using a photodetector that detects the light of the wavelength of the laser beam L. However, the position of the photodetector should be aligned with the detection position. Since it takes time and there is a detection error of the photo detector, the accuracy and convenience are inferior as compared with the case where the positioning is visually performed.
【0007】本発明が目的とするところは、従来よりも
レーザと対象物との距離が遠かったり、対象物の周囲が
明るかったりしてもレーザ光線の投影が目視し易くなる
レーザを提供することにある。It is an object of the present invention to provide a laser in which the projection of a laser beam is easier to see even if the distance between the laser and the object is longer than in the prior art or the surroundings of the object are bright. It is in.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、上記の目的を達成するため、例えば図1(a)ない
し図1(c)に示すように、レーザ本体11から発射さ
れるレーザ光線Lの照射方向Dを所定の範囲内で往復揺
動させる往復揺動機構2を備えることを特徴とする。In order to achieve the above object, the invention described in claim 1 is emitted from a laser main body 11 as shown in, for example, FIGS. 1 (a) to 1 (c). A reciprocating rocking mechanism 2 for rocking the irradiation direction D of the laser beam L within a predetermined range is provided.
【0009】請求項2に記載の発明は、上記の目的を達
成するため、請求項1に記載の発明において、例えば図
1(a)あるいは図1(b)に示すように、上記往復揺
動機構2が、レーザ本体1から発射されるレーザ光線L
の光路上に入射光軸L1の回りに揺動可能に配置され、
入射光を直角方向に向け変えて出射させる光学素子21
と、該光学素子21を入射光軸L1の回りに往復駆動す
る往復駆動手段22とを備えることを特徴とする。In order to achieve the above object, the invention according to claim 2 is the same as the invention according to claim 1, in which the reciprocating rocking is performed as shown in, for example, FIG. 1 (a) or 1 (b). The mechanism 2 uses a laser beam L emitted from the laser body 1.
Is arranged on the optical path of so as to be swingable around the incident optical axis L1,
An optical element 21 that redirects incident light in a right-angle direction and emits the light.
And a reciprocating drive means 22 for reciprocally driving the optical element 21 around the incident optical axis L1.
【0010】請求項3に記載の発明は、上記の目的を達
成するため、請求項1に記載の発明において、例えば図
1(c)に示すように、往復揺動機構2がレーザ本体1
1及び光学系12を備えるレーザ光線発射ユニット1を
所定の範囲内で往復揺動駆動するように構成される。In order to achieve the above object, the invention according to claim 3 is the same as the invention according to claim 1, in which the reciprocating rocking mechanism 2 includes a laser body 1 as shown in FIG. 1C, for example.
The laser beam emitting unit 1 including the optical system 1 and the optical system 12 is configured to reciprocally swing within a predetermined range.
【0011】[0011]
【作 用】レーザ本体から発射されるレーザ光線の照射
方向Dを所定の範囲内で往復揺動させると、対象物の各
点が収束されたエネルギー密度の高いレーザ光線で連続
して走査されるので、回転式レーザよりもその揺動範囲
内にレーザ光線が集中して投射され、対象物の各点に投
影されるレーザ光線のエネルギーが大きくなる。[Operation] When the irradiation direction D of the laser beam emitted from the laser main body is reciprocally rocked within a predetermined range, each point of the object is continuously scanned with the converged laser beam having a high energy density. Therefore, the laser beam is more concentrated and projected within the swing range than the rotary laser, and the energy of the laser beam projected to each point of the object becomes larger.
【0012】[0012]
【実施例】図2に示すように、本発明の一実施例に係る
揺動式レーザは、例えば半導体レーザからなるレーザ本
体11とこれから発射されるレーザ光線Lの光路上に配
置された光学系12とを内蔵したレーザ光線発射ユニッ
ト1と、レーザ本体11から発射されるレーザ光線Lの
照射方向Dを所定の範囲内で往復揺動させる往復揺動機
構2を備える。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS As shown in FIG. 2, an oscillating laser according to an embodiment of the present invention comprises a laser body 11 made of, for example, a semiconductor laser and an optical system arranged on the optical path of a laser beam L emitted from the laser body. And a reciprocating oscillating mechanism 2 that reciprocally oscillates the irradiation direction D of the laser beam L emitted from the laser body 11 within a predetermined range.
【0013】上記往復揺動機構2は、レーザ光線発射ユ
ニット1から発射されるレーザ光線Lの光路上に入射光
軸L1の回りに揺動可能に配置され、入射光を直角方向
に向け変えて出射させる光学素子としてのペンタプリズ
ム21と、該ペンタプリズム21及びレーザ光線発射ユ
ニット1をレーザ光線発射ユニット1から発射されたレ
ーザ光線Lの光軸、すなわち、ペンタプリズム21の入
射光軸L1の回りに往復駆動する往復駆動手段22とを
備えている。The reciprocating swing mechanism 2 is swingably arranged around the incident optical axis L1 on the optical path of the laser beam L emitted from the laser beam emitting unit 1 and redirects the incident light in a right angle direction. A pentaprism 21 as an optical element for emitting light, and an optical axis of a laser beam L emitted from the laser beam emitting unit 1, that is, the pentaprism 21 and the laser beam emitting unit 1 around the incident optical axis L1 of the pentaprism 21. And a reciprocating drive means 22 for reciprocating.
【0014】この往復駆動手段22は、レーザ光線発射
ユニット1及びペンタプリズム21を揺動駆動する往復
駆動装置としてのモータ221と、レーザ光線発射ユニ
ット1及びペンタプリズム21の往復揺動角度を可変設
定する揺動角度制御手段222とを備えている。The reciprocating driving means 22 sets a motor 221 as a reciprocating driving device for oscillating and driving the laser beam emitting unit 1 and the pentaprism 21, and a reciprocating oscillating angle of the laser beam emitting unit 1 and the pentaprism 21 to be variably set. The swing angle control means 222 is provided.
【0015】レーザ光線発射ユニット1とペンタプリズ
ム21とを同時に揺動させることは、本発明に必須では
なく、ペンタプリズム21のみを揺動させてもよいが、
この実施例では、両者の間の光学距離やレーザ光線発射
ユニット1の光軸のずれ等によってペンタプリズム21
から出力されるレーザ光線Lの移動平面が入射光軸L1
方向にずれたり、傾斜したりすることを防止するため、
レーザ光線発射ユニット1とペンタプリズム21を一体
的に揺動駆動している。Swinging the laser beam emitting unit 1 and the pentaprism 21 at the same time is not essential to the present invention, and only the pentaprism 21 may be swung.
In this embodiment, the pentaprism 21 is adjusted depending on the optical distance between the two and the deviation of the optical axis of the laser beam emitting unit 1.
The moving plane of the laser beam L output from the incident optical axis L1
In order to prevent shifting or tilting in the direction,
The laser beam emitting unit 1 and the pentaprism 21 are integrally driven to swing.
【0016】上記モータ221としては、特に限定され
ないが、サーボモータ、ステッピングモータ等、正逆両
方向に回転し、しかも、正確に回転位相を制御できるモ
ータが使用される。The motor 221 is not particularly limited, but a motor such as a servo motor or a stepping motor that rotates in both forward and reverse directions and can accurately control the rotation phase is used.
【0017】揺動角度制御手段222は、レーザ光線発
射ユニット1及びペンタプリズム21と連動して揺動す
る回転板222aと、回転板222aに設けられた遮光
板222bと、遮光板222bによって光路が遮断され
る1対のフォトインタラプタ222c、222dと、制
御回路222eとを備える。The swing angle control means 222 forms a light path by a rotary plate 222a that swings in conjunction with the laser beam emitting unit 1 and the pentaprism 21, a light shield plate 222b provided on the rotary plate 222a, and a light shield plate 222b. A pair of photo interrupters 222c and 222d that are cut off and a control circuit 222e are provided.
【0018】各フォトインタラプタ222c、222d
は回転板222aの軸心周りに揺動可能に設けられ、そ
れぞれその移動経路上の任意の位置で固定できるように
してある。Each photo interrupter 222c, 222d
Are provided so as to be swingable around the axis of the rotary plate 222a and can be fixed at arbitrary positions on their moving paths.
【0019】また、制御回路222eは、遮光板222
bによってフォトインタラプタ222c、222dの光
路が遮断されるごとにモータ221の回転方向を反転さ
せるように構成してあり、したがって、各フォトインタ
ラプタ222c、222dによって設定された揺動範囲
にわたってレーザ光線発射ユニット1及びペンタプリズ
ム21が往復揺動される。Further, the control circuit 222e includes a light shielding plate 222.
Each time the optical paths of the photo interrupters 222c and 222d are blocked by b, the rotation direction of the motor 221 is reversed. Therefore, the laser beam emitting unit is provided over the swing range set by the photo interrupters 222c and 222d. 1 and the penta prism 21 are rocked back and forth.
【0020】図3(a)に示すように、レーザ光線発射
ユニット1及びペンタプリズム21の揺動軸心が水平に
なるように配置して各フォトインタラプタ222c、2
22dによって設定された揺動範囲θにわたってレーザ
光線発射ユニット1及びペンタプリズム21を往復揺動
させると、レーザ光線Lの対象物G上の投影はA点とB
点との間を往復することになり、AB2点間の直線上の
位置出しができる。As shown in FIG. 3A, the laser beam emitting unit 1 and the pentaprism 21 are arranged so that the swing axes thereof are horizontal, and the photointerrupters 222c and 222c are provided.
When the laser beam emitting unit 1 and the pentaprism 21 are reciprocally swung over the swing range θ set by 22d, the projection of the laser beam L on the object G is point A and point B.
Since the vehicle makes a round trip to and from the point, it is possible to position on a straight line between the two points AB.
【0021】また、図3(b)に示すように、レーザ光
線発射ユニット1及びペンタプリズム21の揺動軸心が
垂直になるように配置して各フォトインタラプタ222
c、222dによって設定された揺動範囲θにわたって
レーザ光線発射ユニット1及びペンタプリズム21を往
復揺動させると、レーザ光線Lの対象物G上の投影は所
定の揺動角度内を往復することになり、その揺動範囲θ
内でのレベル出しができる。Further, as shown in FIG. 3 (b), each photo interrupter 222 is arranged so that the oscillation axis of the laser beam emitting unit 1 and the pentaprism 21 are vertical.
When the laser beam emitting unit 1 and the pentaprism 21 are reciprocally rocked over the rocking range θ set by c and 222d, the projection of the laser beam L on the object G reciprocates within a predetermined rocking angle. And its swing range θ
You can level within.
【0022】したがって、図7に示すように、レーザ光
線Lをシリンドリカルレンズ102で分散させて対象物
Gに投影する場合に比べると、分散されないレーザ光線
Lを対象物Gに照射するので、対象物Gがレーザから遠
くに位置しても、また、対象物Gの周囲が明るくてもレ
ーザ光線Lの投影がよく見えるようになる。Therefore, as shown in FIG. 7, as compared with the case where the laser beam L is dispersed by the cylindrical lens 102 and projected onto the object G, the non-dispersed laser beam L is applied to the object G. Even if G is located far from the laser, and the circumference of the object G is bright, the projection of the laser beam L can be seen well.
【0023】また、図8あるいは図9に示すようにレー
ザ光線Lを360°回転させる場合に比べても、レーザ
光線LがA、B2点間に投影される割合が多くなり、
A、B2点間にレーザ光線Lが集中して投射され、対象
物の各点に投影されるレーザ光線のエネルギーが大きく
なる。その結果、対象物Gがレーザから遠くに位置して
も、また、対象物Gの周囲が明るくてもレーザ光線Lの
投影がよく見えるようになる。Further, as compared with the case where the laser beam L is rotated by 360 ° as shown in FIG. 8 or 9, the ratio of the laser beam L projected between the points A and B increases,
The laser beam L is concentrated and projected between the points A and B2, and the energy of the laser beam projected on each point of the object becomes large. As a result, even if the object G is located far from the laser and the surroundings of the object G are bright, the projection of the laser beam L can be seen well.
【0024】図4に示す本発明の他の実施例では、揺動
角度制御手段222が外部に設けた入力装置から揺動範
囲を指定する信号を入力する制御回路222fと、その
信号に基づき制御回路222fによって動作を制御され
るモータドライバ222gとで構成される。In another embodiment of the present invention shown in FIG. 4, the swing angle control means 222 inputs a signal for designating a swing range from an externally provided input device, and a control circuit 222f performs control based on the signal. It is composed of a motor driver 222g whose operation is controlled by the circuit 222f.
【0025】その他の構成は、上記の一実施例と同様で
あり、揺動角度制御手段222によって制御されるレー
ザ光線発射ユニット1及びペンタプリズム21の揺動範
囲が外部の入力装置によって与えられることを除けばそ
の作用も上記の一実施例と同様であり、上記の一実施例
と同様の効果を得ることができる。The other construction is the same as that of the above-mentioned embodiment, and the swing range of the laser beam emitting unit 1 and the pentaprism 21 controlled by the swing angle control means 222 is given by an external input device. Except for the above, the operation is similar to that of the above-described embodiment, and the same effect as that of the above-described embodiment can be obtained.
【0026】図5に示す本発明のまた他の実施例では、
往復駆動機構手段22が、一方向に回転するモータ22
4により、カム223aを回転させ、このカム223a
で揺動軸223b及び歯車装置223cを介してペンタ
プリズム21を揺動させるように構成される。In yet another embodiment of the present invention shown in FIG.
The reciprocating drive mechanism means 22 is a motor 22 that rotates in one direction.
4, the cam 223a is rotated, and the cam 223a is rotated.
Is configured to swing the pentaprism 21 via the swing shaft 223b and the gear device 223c.
【0027】ペンタプリズム21の揺動範囲の大きさは
揺動軸223bのアーム223dに設けたカムフォロア
223e、カム223a及びモータ224のクランク軸
心からの位置を変更することにより変更できる。また、
ペンタプリズム21の揺動範囲の位置は、カム223a
及びモータ3を図上、高さ方向に移動させることにより
変更することができる。なお、223fはカム223a
に揺動アーム223bを正確に追随させるための押さえ
バネである。The size of the swing range of the pentaprism 21 can be changed by changing the positions of the cam follower 223e, the cam 223a and the motor 224 provided on the arm 223d of the swing shaft 223b from the crankshaft center. Also,
The position of the swinging range of the pentaprism 21 is determined by the cam 223a.
Also, it can be changed by moving the motor 3 in the height direction in the figure. 223f is a cam 223a
It is a pressing spring for accurately following the swinging arm 223b.
【0028】この実施例は、一方向に回転するモータ2
24が使用されること、ペンタプリズム21のみを揺動
させること、その揺動範囲の制御が純粋に機械的機構に
よって行われることを除けば、本質的に上記の各実施例
と同様に作用し、同様の効果を得ることができる。In this embodiment, the motor 2 rotating in one direction
24 is used, only the pentaprism 21 is swung, and the swing range is controlled purely by a mechanical mechanism. , A similar effect can be obtained.
【0029】図6に示す本発明のもう一つの実施例で
は、往復駆動機構22が、一方向に回転するモータ22
4、偏心カム225a、コネクチングロッド225b、
クランク軸225c及び歯車装置225dによって構成
される。In another embodiment of the present invention shown in FIG. 6, the reciprocating drive mechanism 22 includes a motor 22 that rotates in one direction.
4, eccentric cam 225a, connecting rod 225b,
It is composed of a crankshaft 225c and a gear device 225d.
【0030】この実施例では、コネクチングロッド22
5bとクランク軸225cのクランクアーム225eと
連結点を変更することにより揺動角度の大きさを変更す
ることができ、モータ3及び偏心カム225aの位置を
変更することにより揺動範囲の位置を変更することがで
きる。In this embodiment, the connecting rod 22
5b and the crank arm 225e of the crank shaft 225c and the connecting point can be changed to change the magnitude of the swing angle, and the position of the swing range can be changed by changing the positions of the motor 3 and the eccentric cam 225a. can do.
【0031】この実施例のその他の構成、作用及び効果
は前例と同様であるので、これらの説明は重複を避ける
ため省略する。Other constitutions, operations and effects of this embodiment are the same as those of the previous example, and therefore their explanations are omitted to avoid duplication.
【0032】[0032]
【発明の効果】以上のように、本発明は、レーザ本体か
ら発射されるレーザ光線の照射方向を所定の範囲内で往
復揺動させる往復揺動機構を備えるので、レーザ光線照
射方向を一定の範囲で往復揺動させることにより、その
揺動範囲内にレーザ光線を集中して照射できる。その結
果、対象物の各点に照射されるレーザ光線のエネルギー
が大きくなり、従来よりもレーザと対象物との距離が遠
かったり、対象物の周囲が明るかったりしてもレーザ光
線の投影を目視し易くなる。As described above, the present invention is provided with the reciprocating rocking mechanism for rocking the irradiation direction of the laser beam emitted from the laser body within a predetermined range, so that the irradiation direction of the laser beam is constant. By reciprocally swinging within the range, the laser beam can be concentrated and irradiated within the swinging range. As a result, the energy of the laser beam applied to each point on the target becomes large, and even if the distance between the laser and the target is longer than before or the surroundings of the target are bright, the projection of the laser beam can be viewed. Easier to do.
【図1】本発明の原理図である。FIG. 1 is a principle diagram of the present invention.
【図2】本発明の一実施例の構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention.
【図3】本発明の一実施例による位置出しの手順を示す
説明図(a)とレベル出しの手順を示す説明図(b)で
ある。FIG. 3 is an explanatory view (a) showing a positioning procedure and an explanatory view (b) showing a leveling procedure according to an embodiment of the present invention.
【図4】本発明の他の実施例の構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram of another embodiment of the present invention.
【図5】本発明のまた他の実施例の構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram of another embodiment of the present invention.
【図6】本発明のもう一つの実施例の構成図である。FIG. 6 is a configuration diagram of another embodiment of the present invention.
【図7】従来のライン投影型レーザの構成図である。FIG. 7 is a configuration diagram of a conventional line projection laser.
【図8】回転式レーザの構成図である。によるFIG. 8 is a configuration diagram of a rotary laser. by
【図9】従来の回転式レーザによる位置出しの手順を示
す説明図(a)とレベル出しの手順を示す説明図(b)
である。9 (a) and 9 (b) are explanatory views showing a procedure for position finding by a conventional rotary laser and an illustration (b) showing a procedure for leveling.
Is.
1 レーザ光線発射ユニット 2 往復駆動機構 11 レーザ本体 12 光学系 21 ペンタプリズム 22 往復駆動手段 L レーザ光線 L1 入射光軸 D 照射方向 1 Laser Beam Emitting Unit 2 Reciprocating Drive Mechanism 11 Laser Main Body 12 Optical System 21 Penta Prism 22 Reciprocating Driving Means L Laser Beam L1 Incident Optical Axis D Irradiation Direction
Claims (3)
照射方向を所定の範囲内で往復揺動させる往復揺動機構
を備えることを特徴とする揺動式レーザ。1. An oscillating laser comprising a reciprocating oscillating mechanism for oscillating a laser beam emitted from a laser body in a reciprocating direction within a predetermined range.
射されるレーザ光線の光路上に入射光軸の回りに揺動可
能に配置され、入射光を直角方向に向け変えて出射させ
る光学素子と、該光学素子を入射光軸の回りに所定の揺
動範囲内で往復駆動する往復駆動手段とを備える請求項
1に記載の揺動式レーザ。2. An optical element in which the reciprocating swing mechanism is swingably arranged around an incident optical axis on an optical path of a laser beam emitted from a laser main body, and redirects the incident light in a right-angle direction and emits it. The swing laser according to claim 1, further comprising: a reciprocating driving unit that reciprocally drives the optical element around an incident optical axis within a predetermined swing range.
を備えるレーザ光線発射ユニットを所定の範囲内で往復
揺動駆動するように構成される請求項1に記載の揺動式
レーザ。 【0001】3. The oscillating laser according to claim 1, wherein the reciprocating oscillating mechanism is configured to reciprocally oscillate a laser beam emitting unit including a laser body and an optical system within a predetermined range. [0001]
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32010991A JPH0587571A (en) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | Shaking type laser |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32010991A JPH0587571A (en) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | Shaking type laser |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0587571A true JPH0587571A (en) | 1993-04-06 |
Family
ID=18117803
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32010991A Pending JPH0587571A (en) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | Shaking type laser |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0587571A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0643283A1 (en) * | 1993-09-09 | 1995-03-15 | Kabushiki Kaisha Topcon | Object reflector detection system |
US5838431A (en) * | 1996-01-16 | 1998-11-17 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Laser marking device |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5144937B1 (en) * | 1967-03-23 | 1976-12-01 | ||
JPS60203807A (en) * | 1984-03-29 | 1985-10-15 | Tokyo Optical Co Ltd | Laser measuring machine |
JPS61262611A (en) * | 1985-05-16 | 1986-11-20 | Fujita Corp | Automatic marking apparatus utilizing laser |
-
1991
- 1991-09-27 JP JP32010991A patent/JPH0587571A/en active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5144937B1 (en) * | 1967-03-23 | 1976-12-01 | ||
JPS60203807A (en) * | 1984-03-29 | 1985-10-15 | Tokyo Optical Co Ltd | Laser measuring machine |
JPS61262611A (en) * | 1985-05-16 | 1986-11-20 | Fujita Corp | Automatic marking apparatus utilizing laser |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0643283A1 (en) * | 1993-09-09 | 1995-03-15 | Kabushiki Kaisha Topcon | Object reflector detection system |
US5838431A (en) * | 1996-01-16 | 1998-11-17 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Laser marking device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6462810B1 (en) | Surveying system | |
CN107607056B (en) | Laser morphology detector | |
JPH0712569A (en) | Reflection target and detection apparatus of reflection target | |
JP2013076707A (en) | Laser radar apparatus | |
JPH0772239A (en) | Laser distance-measuring apparatus | |
US5008705A (en) | Autofocus system for microlithography | |
JPH0587571A (en) | Shaking type laser | |
JP3897322B2 (en) | Laser irradiation device | |
JP2001074457A (en) | Laser surveying instrument | |
JPS62254008A (en) | Apparatus for detecting position of moving body | |
JP2939413B2 (en) | Target reflective object detector | |
US3178579A (en) | Photosensitive tuning fork scanner | |
JP3330917B2 (en) | Rotating laser device | |
JPH05228673A (en) | Laser beam machine | |
JP2627819B2 (en) | Optical deflector | |
JPH11257960A (en) | Laser irradiation apparatus | |
WO2024024299A1 (en) | Optical scanning device | |
RU2733804C1 (en) | Target tracking device comprising photodetector with quadrants | |
JP6670355B2 (en) | Tilt detecting device and rotating laser device | |
JP3582853B2 (en) | Target reflector detection device | |
JP3683964B2 (en) | Laser surveying equipment | |
JP3327638B2 (en) | Rotating interferometer | |
JPS59132073A (en) | Laser bar-code scanner | |
JPH07181425A (en) | Collimation optical device | |
JPH07218220A (en) | Fast tracking type laser interference length measuring apparatus |