JPH0584871B2 - - Google Patents
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- JPH0584871B2 JPH0584871B2 JP62240797A JP24079787A JPH0584871B2 JP H0584871 B2 JPH0584871 B2 JP H0584871B2 JP 62240797 A JP62240797 A JP 62240797A JP 24079787 A JP24079787 A JP 24079787A JP H0584871 B2 JPH0584871 B2 JP H0584871B2
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、加速度センサーに関し、詳しくは、
物体に加えられた衝撃や振動の大きさを計測する
ことができる加速度センサーに関し、さらに詳し
くは、物体に加えられた衝撃や振動の大きさを精
度よく計測することができる小型の加速度センサ
ーに関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to an acceleration sensor, and in detail,
The present invention relates to an acceleration sensor that can measure the magnitude of impact or vibration applied to an object, and more specifically, to a small-sized acceleration sensor that can accurately measure the magnitude of impact or vibration applied to an object.
本発明の加速度センサーは、衝撃試験機のセン
サーとして利用することができるだけでなく、さ
らに精密器械などの製品の輸送、保管中に受けた
振動や衝撃を検出、記録する衝撃記録計に利用す
ることができる。 The acceleration sensor of the present invention can be used not only as a sensor for an impact testing machine, but also for an impact recorder that detects and records vibrations and impacts received during transportation and storage of products such as precision instruments. I can do it.
衝撃試験機のハンマーの衝撃刃（ウエイト）の
背面に圧電性高分子フイルムを取り付け、この圧
電性高分子フイルムの上に慣性重量体（錘り）を
取り付けて、圧電センサーを構成し、材料の試験
の際に、衝撃刃（ウエイト）の受ける衝撃を、慣
性重量体によつて、圧電性高分子フイルムに作用
し、圧電性高分子フイルムに生じた（＋）および
（−）の電荷を電位差により計測し、これをコン
ピユーターによつて衝撃の大きさとして検出する
ことが試みられている（特開昭60−97237号公報、
特開昭60−93942号公報）。
A piezoelectric polymer film is attached to the back of the impact blade (weight) of the hammer of the impact testing machine, and an inertial weight body (weight) is attached on top of this piezoelectric polymer film to constitute a piezoelectric sensor and detect the impact of the material. During the test, the impact received by the impact blade (weight) is applied to the piezoelectric polymer film by an inertial weight body, and the (+) and (-) charges generated on the piezoelectric polymer film are converted into potential differences. Attempts have been made to measure the magnitude of the impact using a computer (Japanese Patent Laid-Open No. 60-97237,
(Japanese Patent Application Laid-open No. 1983-93942).
一方において、本発明者の一人は、衝撃検出セ
ンサー、衝撃センサーのアナログ信号のアナログ
−デジタル変換器、集積回路およびデイスプレー
からなる衝撃記録計を提案した（特願昭61−
236169号）。 On the other hand, one of the inventors of the present invention proposed an impact recorder consisting of an impact detection sensor, an analog-to-digital converter for the analog signal of the impact sensor, an integrated circuit, and a display.
No. 236169).
さらに、ベース１に圧電性セラミツクス２を載
置し、その上に質量体（慣性重量体）３を載置
し、これらをボルト４または接着によつてベース
１に固定し、圧電性セラミツクスに生じた（＋）
および（−）の電荷を電極２３および２４により
取り出す加速度センサー（第３図）も広く知られ
ている。 Furthermore, a piezoelectric ceramic 2 is placed on the base 1, a mass body (inertial weight body) 3 is placed on top of the piezoelectric ceramic 2, and these are fixed to the base 1 with bolts 4 or adhesive, so that the Ta(+)
An acceleration sensor (FIG. 3) in which negative and (-) charges are taken out by electrodes 23 and 24 is also widely known.
他方において、分極処理を施したPZTの薄板
を切断加工し、これを有機高分子と複合化した１
−３結合構造の複合圧電材料が提案され（特開昭
58−21883号公報）、さらに、１〜50Kg・ｆ／mm2の
弾性率を有する合成樹脂マトリツクスに6000Kg・
ｆ／mm2以上の弾性率を有する無機圧電体を配列す
る複合圧電材料が本発明者の一人によつて提案さ
れている（特願昭62−97号）。 On the other hand, a thin plate of polarized PZT was cut and composited with an organic polymer.
- A composite piezoelectric material with a three-bond structure was proposed (Unexamined Japanese Patent Publication No.
58-21883), and furthermore, a synthetic resin matrix with an elastic modulus of 1 to 50 Kg/f/mm
One of the inventors of the present invention has proposed a composite piezoelectric material in which inorganic piezoelectric bodies having an elastic modulus of f/mm 2 or more are arranged (Japanese Patent Application No. 1982-97).
本発明者らは、セラミツクスの製造、利用につ
いて永年研究を続けているが、その研究におい
て、第３図に示すとおりの基本的構造の上部に錘
体（慣性重量体）３を載置した円板状の無機圧電
体２をベース１に固定した加速度センサーにおい
て、円板状の無機圧電体として、特定の弾性率を
持つ合成樹脂マトリツクスに特定の弾性率を持つ
柱状のチタン酸ジルコン酸鉛（PZT）を配列し
た複合圧電材料を使用したものは、円板状の無機
圧電体として、チタン酸ジルコン酸鉛（PZT）
を使用したものに比べて同一の加振加速度におい
て２倍以上の出力電圧が得られることを見出し、
この知見に基づいて本発明に到達した。 The present inventors have been conducting research on the production and utilization of ceramics for many years. In an acceleration sensor in which a plate-shaped inorganic piezoelectric body 2 is fixed to a base 1, the disk-shaped inorganic piezoelectric body is made of a columnar lead zirconate titanate (lead zirconate titanate) having a specific elastic modulus in a synthetic resin matrix with a specific elastic modulus. PZT) is used as a disc-shaped inorganic piezoelectric material.
We found that more than twice the output voltage can be obtained at the same excitation acceleration compared to the one using
The present invention was achieved based on this knowledge.
本発明の目的は、検出感度の高い加速度センサ
ーを提供することにあり、詳しくは検出感度が高
い小型の加速度センサーを提供することにある。
An object of the present invention is to provide an acceleration sensor with high detection sensitivity, and more specifically, to provide a small-sized acceleration sensor with high detection sensitivity.
本発明は、錘体を載置した圧電素子を台座に固
定した加速度センサーにおいて、圧電素子が、合
成樹脂マトリツクスに、長さ方向に分極した柱状
の無機圧電体を配列して、一体化し、柱状の無機
圧電体の長さ方向の両端面に電極を取り付けた複
合圧電素子であつて、前記合成樹脂マトリツクス
における合成樹脂が１〜50Kg・ｆ／mm2の弾性率を
有するものであり、前記柱状の無機圧電体が6000
Kg・ｆ／mm2以上の弾性率を有するものであること
を特徴とする加速度センサーである。 The present invention provides an acceleration sensor in which a piezoelectric element on which a weight body is mounted is fixed to a base, in which the piezoelectric element is integrated with columnar inorganic piezoelectric bodies polarized in the length direction arranged in a synthetic resin matrix. A composite piezoelectric element in which electrodes are attached to both longitudinal end faces of an inorganic piezoelectric body, wherein the synthetic resin in the synthetic resin matrix has an elastic modulus of 1 to 50 Kg·f/mm 2 , and the columnar 6000 inorganic piezoelectric materials
This is an acceleration sensor characterized by having an elastic modulus of Kg·f/mm 2 or more.
本発明の加速度センサーにおいて、柱状の無機
圧電体は、２以上の長サ／幅（辺）の比を有する
形状のものを使用することができ、また合成樹脂
マトリツクスにおける合成樹脂は、シリコンゴ
ム、ウレタンゴム、ブタジエンゴム、ニトリルゴ
ム、エチレンプロピレンゴム、クロロプレンゴ
ム、フツ素ゴム、エチレンアクリルゴム、ポリエ
ステルエラストマー、エピクロルヒドリンゴム、
アクリルゴムまたは塩素化ポリエチレンゴムなど
を使用することができ、さらに柱状の無機圧電体
における無機圧電体は、チタン酸バリウム、チタ
ン酸鉛またはチタン酸ジルコン酸鉛を使用するこ
とができる。 In the acceleration sensor of the present invention, the columnar inorganic piezoelectric body may have a length/width (side) ratio of 2 or more, and the synthetic resin in the synthetic resin matrix may be silicone rubber, Urethane rubber, butadiene rubber, nitrile rubber, ethylene propylene rubber, chloroprene rubber, fluorine rubber, ethylene acrylic rubber, polyester elastomer, epichlorohydrin rubber,
Acrylic rubber, chlorinated polyethylene rubber, or the like can be used, and barium titanate, lead titanate, or lead zirconate titanate can be used as the inorganic piezoelectric material in the columnar inorganic piezoelectric material.
第１図は本発明の加速度センサーの内部断面を
示す側面図である。
FIG. 1 is a side view showing an internal cross section of the acceleration sensor of the present invention.
１は台座、２は複合圧電素子、３は錘体、４は
ネジであつて、錘体３を上面に載置した複合圧電
素子２は、ネジ４により台座に固定される。５は
加速度センサーのケースの側壁、６はケースの
蓋、７はラグ端子であり、２３および２４は複合
圧電素子２の一対の電極、そして８はリード線で
ある。ケースの側壁５は台座１に固定され、その
上面にケースの蓋６をはめ込み、その内部空間に
錘体３を載置し、台座１に固定された複合圧電素
子２を収容する。ケースの蓋６に、ラグ端子７，
７が取り付けられ、ラグ端子７，７はリード線８
により複合圧電素子２の電極２３および２４に結
線され、複合圧電素子２に発生した電気信号はラ
グ端子７，７を通じてその外部端から加速度セン
サーの外部に取り出される。９はスタツドのネジ
穴であつて、台座１の底部の裏面（外側）に穿孔
されていて、スタツドのネジ穴９に被験物体（図
示なし）に取り付けたボルト（図示なし）をネジ
込むことによつて本発明の加速度センサーを被験
物体に取り付ける。 1 is a base, 2 is a composite piezoelectric element, 3 is a weight body, and 4 is a screw, and the composite piezoelectric element 2 with the weight body 3 placed on the upper surface is fixed to the base by the screw 4. 5 is a side wall of the case of the acceleration sensor, 6 is a lid of the case, 7 is a lug terminal, 23 and 24 are a pair of electrodes of the composite piezoelectric element 2, and 8 is a lead wire. A side wall 5 of the case is fixed to the pedestal 1, a lid 6 of the case is fitted on the upper surface thereof, a weight body 3 is placed in the internal space, and the composite piezoelectric element 2 fixed to the pedestal 1 is accommodated. Attach the lug terminal 7 to the case lid 6.
7 is attached, and the lug terminals 7, 7 are connected to the lead wire 8.
is connected to the electrodes 23 and 24 of the composite piezoelectric element 2, and the electrical signal generated in the composite piezoelectric element 2 is taken out from its outer end to the outside of the acceleration sensor through the lug terminals 7, 7. Reference numeral 9 denotes a screw hole of the stud, which is bored on the back (outside) of the bottom of the pedestal 1, and a bolt (not shown) attached to the test object (not shown) is screwed into the screw hole 9 of the stud. Therefore, the acceleration sensor of the present invention is attached to the test object.
第２図は複合圧電素子２の電極２３の一部を切
欠いた斜視図である。２１はその長さ方向に分極
した柱状の無機圧電体、２２は合成樹脂マトリツ
クス、２３および２４は電極であつて、多数の柱
状の無機圧電体２１が合成樹脂マトリツクス２２
に規則正しく配列して、一体化し、複合圧電素子
２の本体を形成する。複合圧電素子２の本体の柱
状の無機圧電体２１の長さ方向の両端面に電極２
３および２４を取り付けて複合圧電素子２を形成
する。 FIG. 2 is a partially cutaway perspective view of the electrode 23 of the composite piezoelectric element 2. As shown in FIG. 21 is a columnar inorganic piezoelectric material polarized in its length direction, 22 is a synthetic resin matrix, 23 and 24 are electrodes, and a large number of columnar inorganic piezoelectric materials 21 are connected to a synthetic resin matrix 22.
are regularly arranged and integrated to form the main body of the composite piezoelectric element 2. Electrodes 2 are provided on both longitudinal end surfaces of the columnar inorganic piezoelectric body 21 of the main body of the composite piezoelectric element 2.
3 and 24 are attached to form the composite piezoelectric element 2.
柱状の無機圧電体２１は、その長さ方向に分極
されていて、その長さ方向に圧縮されるとその長
さ方向の両端に（＋）および（−）の電荷を生じ
るが、その電荷は複合圧電素子２の電極２３およ
び２４の間の電位差として計測することができ
る。複合圧電素子２の電極２３および２４の両端
面を圧縮する力を加えると、その力の大きさは複
合圧電素子２の電極２３および２４の間の電位差
の計測により計測することができる。 The columnar inorganic piezoelectric material 21 is polarized in its length direction, and when compressed in its length direction, (+) and (-) charges are generated at both ends of its length, but the charges are It can be measured as the potential difference between the electrodes 23 and 24 of the composite piezoelectric element 2. When a compressive force is applied to both end faces of the electrodes 23 and 24 of the composite piezoelectric element 2, the magnitude of the force can be measured by measuring the potential difference between the electrodes 23 and 24 of the composite piezoelectric element 2.
本発明の加速度センサーは、第１図に示すとお
り、上面に錘体３を載置した複合圧電素子２がネ
ジ４によつて台座１に固定されているので静止し
ている台座１が急上昇する瞬間、または下降する
台座１が急停止する瞬間に、複合圧電素子２はそ
の上面に載置する錘体３の慣性の力によつて、そ
の電極２３および２４の両端面に圧縮する力を受
け、それによつてその電極２３および２４に
（＋）および（−）の電荷を生じ、それは電極２
３および２４の両端面の電位差により計測するこ
とができる。本発明の加速度センサーは、台座１
をスタツドのネジ穴９により、被験物体（図示な
し）に固定することによつて被験物体に加えられ
た衝撃の大きさを複合圧電素子２の電極２３およ
び２４の間の電位差の計測によつて計測すること
ができる。 As shown in FIG. 1, in the acceleration sensor of the present invention, a composite piezoelectric element 2 with a weight 3 mounted on the upper surface is fixed to a pedestal 1 with screws 4, so that the pedestal 1, which is stationary, suddenly rises. At an instant, or at the moment when the descending pedestal 1 suddenly stops, the composite piezoelectric element 2 receives a compressive force on both end faces of its electrodes 23 and 24 due to the inertial force of the weight 3 placed on its upper surface. , thereby producing (+) and (-) charges on its electrodes 23 and 24, which
It can be measured by the potential difference between the end faces of 3 and 24. The acceleration sensor of the present invention has a pedestal 1
is fixed to a test object (not shown) through the screw hole 9 of the stud, and the magnitude of the impact applied to the test object is measured by measuring the potential difference between the electrodes 23 and 24 of the composite piezoelectric element 2. It can be measured.
無機圧電体２１の長さ方向の圧縮により生じる
その長さ方向の両端面の電位差〔すなわち、圧縮
により生じる（＋）および（−）の電荷の量〕は
無機圧電体２１の材質および形状によつて変動す
る固有のものであるから、個々の加速度センサー
について加速度センサーの台座１が受けた衝撃の
大きさと複合圧電素子２の電極２３および２４の
間の電位差の関係を予備実験において求めておけ
ば、加速度センサー１の台座１が受けた衝撃の大
きさを複合圧電素子２の電極２３および２４の間
の電位差の計測によつて計測することができる。 The potential difference between the longitudinal end faces of the inorganic piezoelectric body 21 caused by compression in the length direction (i.e., the amount of (+) and (-) charges generated by the compression) depends on the material and shape of the inorganic piezoelectric body 21. Therefore, for each acceleration sensor, the relationship between the magnitude of the impact received by the acceleration sensor pedestal 1 and the potential difference between the electrodes 23 and 24 of the composite piezoelectric element 2 should be determined in a preliminary experiment. The magnitude of the impact received by the base 1 of the acceleration sensor 1 can be measured by measuring the potential difference between the electrodes 23 and 24 of the composite piezoelectric element 2.
本発明の加速度センサーの複合圧電素子２にお
ける柱状の無機圧電体２１は、圧電特性を有する
ものであれば、これを使用することができるが、
チタン酸バリウム焼結体、チタン酸鉛焼結体また
はチタン酸ジルコン酸鉛（PZT）焼結体を使用
するのが好ましい。その形状は長サ／幅（辺）の
比が２以上（より好ましくは２〜６）のものを使
用するのが好ましい。さらに柱状の無機圧電体は
6000Kg・ｆ／mm2以上の弾性率を有するものが好ま
しい。柱状の無機圧電体２１がこれらの材質、形
状および特性のものであることによつて、台座１
（すなわちこれを固定した被験物体）に加えられ
た衝撃の検出感度を高くすることができる。 The columnar inorganic piezoelectric material 21 in the composite piezoelectric element 2 of the acceleration sensor of the present invention can be any material as long as it has piezoelectric properties.
It is preferable to use a barium titanate sintered body, a lead titanate sintered body or a lead zirconate titanate (PZT) sintered body. It is preferable to use a shape having a length/width (side) ratio of 2 or more (more preferably 2 to 6). Furthermore, the columnar inorganic piezoelectric material
It is preferable to have an elastic modulus of 6000 Kg·f/mm 2 or more. Since the columnar inorganic piezoelectric body 21 has these materials, shapes, and characteristics, the pedestal 1
(that is, the test object to which it is fixed) can be detected with high sensitivity.
本発明の加速度センサーの複合圧電素子２にお
ける合成樹脂マトリツクスの合成樹脂は、無機圧
電体２１と結合して一体化しうるものであれば、
これを使用することができ、例えば、シリコンゴ
ム、ウレタンゴム、ブタジエンゴム、ニトリルゴ
ム、エチレンプロピレンゴム、クロロプレンゴ
ム、フツ素ゴム、エチレンアクリルゴム、ポリエ
ステルエラストマー、エピクロルヒドリンゴム、
アクリルゴムまたは塩素化ポリエチレンゴムなど
を使用するが、シリコンゴム、ウレタンゴムまた
はブタジエンゴムを使用するのが好ましく、また
１〜50Kg・ｆ／mm2の弾性率を有するものを使用す
るのがさらに好ましい。合成樹脂マトリツクス２
２における合成樹脂が、これらの材質および特性
を有することによつて台座１（すなわちこれを固
定した被験物体）に加えられた衝撃の検出感度を
高くすることができる。 The synthetic resin of the synthetic resin matrix in the composite piezoelectric element 2 of the acceleration sensor of the present invention may be any material that can be combined with and integrated with the inorganic piezoelectric material 21.
This can be used, for example, silicone rubber, urethane rubber, butadiene rubber, nitrile rubber, ethylene propylene rubber, chloroprene rubber, fluorine rubber, ethylene acrylic rubber, polyester elastomer, epichlorohydrin rubber,
Acrylic rubber or chlorinated polyethylene rubber is used, but it is preferable to use silicone rubber, urethane rubber or butadiene rubber, and it is more preferable to use one having an elastic modulus of 1 to 50 Kg・f/mm 2 . Synthetic resin matrix 2
Since the synthetic resin in 2 has these materials and characteristics, it is possible to increase the detection sensitivity of the impact applied to the pedestal 1 (that is, the test object to which it is fixed).
本発明の加速度センサーの複合圧電素子２にお
ける
（無機圧電体）／（合成樹脂マトリツクス）
の容積比が８／92〜40／60のものを使用するのが
好ましい。 The composite piezoelectric element 2 of the acceleration sensor of the present invention preferably has a volume ratio of (inorganic piezoelectric material)/(synthetic resin matrix) of 8/92 to 40/60.
複合圧電素子の圧電特性が高いことによつて、
加速度センサーの圧電素子部品の厚みを薄くする
ことができ、それによつて全体を小型化すること
ができる。
Due to the high piezoelectric properties of the composite piezoelectric element,
The thickness of the piezoelectric element component of the acceleration sensor can be reduced, thereby making it possible to reduce the overall size.
複合圧電素子の電気機械結合係数が高いことに
よつて、加速度センサーの錘りを小さくすること
ができ、それによつて全体を小型化することがで
きる。 Due to the high electromechanical coupling coefficient of the composite piezoelectric element, the weight of the acceleration sensor can be reduced, thereby making it possible to reduce the overall size.
特に、本発明の加速度センサーにあつては、圧
電素子を１〜50Kg・ｆ／mm2の弾性率を有する合成
樹脂製のマトリツクス中に、6000Kg・ｆ／mm2以上
の弾性率を有する柱状の無機圧電体を一体化して
構成したことにより、圧電素子に対して適度の剛
性と柔軟性を与えることが可能となり、圧電素子
に斜め方向の加速度が加わつた場合にあつても圧
電素子全体の座屈による破壊あるいは誤計測を阻
止することができる。さらに、合成樹脂マトリツ
クスが適度のダンパー機能として作用することか
ら隣接する柱状無機圧電体同志の緩衝を阻止する
ことが可能となるり、信頼性の高い加速度の測定
が可能となる。 In particular, in the acceleration sensor of the present invention, the piezoelectric element is placed in a columnar matrix having an elastic modulus of 6000 Kg·f/mm 2 or more in a synthetic resin matrix having an elastic modulus of 1 to 50 Kg·f/mm 2 . By integrating the inorganic piezoelectric material into the structure, it is possible to give the piezoelectric element appropriate rigidity and flexibility, and even when diagonal acceleration is applied to the piezoelectric element, the entire piezoelectric element remains seated. Destruction or erroneous measurements due to bending can be prevented. Furthermore, since the synthetic resin matrix acts as a moderate damper function, it is possible to prevent adjacent columnar inorganic piezoelectric bodies from being buffered, and highly reliable acceleration measurement is possible.
第１図は本発明の加速度センサーの内部断面を
示す側面図、第２図は本発明の加速度センサーに
おける複合圧電素子の斜視図であり、第３図は公
知の加速度センサーの断面を示す側面図、第４図
は公知の加速度センサーにおける圧電素子の斜視
図である。
図面符号、１……台座、２……複合圧電素子、
３……錘体、４……ネジ、５……ケースの側壁、
６……ケースの蓋、７……ラグ端子、８……リー
ド線、９……スタツドのネジ穴、２１……柱状の
無機圧電体、２２……合成樹脂マトリツクス、２
３，２４……電極。
FIG. 1 is a side view showing an internal cross section of the acceleration sensor of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of a composite piezoelectric element in the acceleration sensor of the present invention, and FIG. 3 is a side view showing a cross section of a known acceleration sensor. , FIG. 4 is a perspective view of a piezoelectric element in a known acceleration sensor. Drawing code, 1... pedestal, 2... composite piezoelectric element,
3... Weight body, 4... Screw, 5... Side wall of the case,
6... Case lid, 7... Lug terminal, 8... Lead wire, 9... Stud screw hole, 21... Column-shaped inorganic piezoelectric body, 22... Synthetic resin matrix, 2
3, 24...electrode.
Claims (1)
速度センサーにおいて、圧電素子が、合成樹脂マ
トリツクスに、長さ方向に分極した柱状の無機圧
電体を配列して、一体化し、柱状の無機圧電体の
長さ方向の両端面に電極を取り付けた複合圧電素
子であつて、前記合成樹脂マトリツクスにおける
合成樹脂が１〜50Kg・ｆ／mm2の弾性率を有するも
のであり、前記柱状の無機圧電体が6000Kg・ｆ／
mm2以上の弾性率を有するものであることを特徴と
する加速度センサー。 ２ 柱状の無機圧電体が、２以上の長さ／幅
（辺）の比を有するものであることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の加速度センサー。 ３ 合成樹脂マトリツクスにおける合成樹脂が、
シリコンゴム、ウレタンゴムおよびブタジエンゴ
ムからなる群より選択されたものであることを特
徴とする特許請求の範囲第１項または第２項に記
載の加速度センサー。 ４ 柱状の無機圧電体における無機圧電体が、チ
タン酸バリウム、チタン酸鉛およびチタン酸ジル
コン酸鉛からなる群より選択されたものであるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第３
項のいずれかに記載の加速度センサー。[Scope of Claims] 1. In an acceleration sensor in which a piezoelectric element on which a weight body is mounted is fixed to a base, the piezoelectric element is integrally formed by arranging columnar inorganic piezoelectric bodies polarized in the length direction in a synthetic resin matrix. It is a composite piezoelectric element in which electrodes are attached to both longitudinal end faces of a columnar inorganic piezoelectric body, in which the synthetic resin in the synthetic resin matrix has an elastic modulus of 1 to 50 Kg·f/mm 2 . , the columnar inorganic piezoelectric body weighs 6000Kg・f/
An acceleration sensor having an elastic modulus of mm 2 or more. 2. The acceleration sensor according to claim 1, wherein the columnar inorganic piezoelectric body has a length/width (side) ratio of 2 or more. 3 The synthetic resin in the synthetic resin matrix is
The acceleration sensor according to claim 1 or 2, wherein the acceleration sensor is selected from the group consisting of silicone rubber, urethane rubber, and butadiene rubber. 4. Claims 1 to 3, characterized in that the inorganic piezoelectric material in the columnar inorganic piezoelectric material is selected from the group consisting of barium titanate, lead titanate, and lead zirconate titanate.
The acceleration sensor described in any of the paragraphs.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24079787A JPS6484152A (en) | 1987-09-28 | 1987-09-28 | Acceleration sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24079787A JPS6484152A (en) | 1987-09-28 | 1987-09-28 | Acceleration sensor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6484152A JPS6484152A (en) | 1989-03-29 |
| JPH0584871B2 true JPH0584871B2 (en) | 1993-12-03 |
Family
ID=17064831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24079787A Granted JPS6484152A (en) | 1987-09-28 | 1987-09-28 | Acceleration sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6484152A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4332835A1 (en) | 2022-08-29 | 2024-03-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Image processing device, image processing method, and storage medium using an attention map for partial images |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5821883A (en) * | 1981-08-03 | 1983-02-08 | Hitachi Medical Corp | Manufacture of composite piezoelectric material |
| JPS62153767A (en) * | 1985-12-27 | 1987-07-08 | Nippon Denki Sanei Kk | Laminated type piezoelectric ceramic element |
-
1987
- 1987-09-28 JP JP24079787A patent/JPS6484152A/en active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5821883A (en) * | 1981-08-03 | 1983-02-08 | Hitachi Medical Corp | Manufacture of composite piezoelectric material |
| JPS62153767A (en) * | 1985-12-27 | 1987-07-08 | Nippon Denki Sanei Kk | Laminated type piezoelectric ceramic element |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4332835A1 (en) | 2022-08-29 | 2024-03-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Image processing device, image processing method, and storage medium using an attention map for partial images |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6484152A (en) | 1989-03-29 |
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