JPH0582890A - Semiconductor laser module - Google Patents

Semiconductor laser module

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Publication number
JPH0582890A
JPH0582890A JP24137091A JP24137091A JPH0582890A JP H0582890 A JPH0582890 A JP H0582890A JP 24137091 A JP24137091 A JP 24137091A JP 24137091 A JP24137091 A JP 24137091A JP H0582890 A JPH0582890 A JP H0582890A
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JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor laser
wavelength
optical fiber
optical
filter
Prior art date
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Application number
JP24137091A
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Japanese (ja)
Inventor
Makoto Shimizu
誠 清水
Makoto Yamada
誠 山田
Masaharu Horiguchi
正治 堀口
Hiroaki Yamada
裕朗 山田
Taisuke Oguchi
泰介 小口
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To stabilize the lasing light wavelength by providing a first optical filter having a narrow band pass characteristic of one wavelength in the range of lasable wavelength of a semiconductor laser as its central wavelength, and a second optical filter having a given reflectivity in the range of leasable wavelength of the semiconductor laser. CONSTITUTION:A spherical lens 22, optical filters 23 and 24, and a spherical lens 25 are fixed by a low melting point glass in a case 27 in that order. The optical filter 23 has a band pass characteristic of 0.98mum central wavelength, 0.5-nm transmission band width, and 80% maximum transmittance. The surface of the filter is inclined at an angle of approximately ten degrees to the central axis of the case 27 in the normal direction. The optical filter 24 has a 30% reflectivity which is substantially constant having a wavelength width of more than 20nm and a wavelength of 0.98mum as its center, and the surface of the filter is arranged to agree with the central axis of the case 27 in the normal line direction. Then, a semiconductor laser 21 is fixed to the case 27 by resistance heating. On the other hand, a pig tail optical fiber 26 is adhesively bonded to a ferrule 28 and is further adhesively fixed to the case 27.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、半導体レーザとその出
射光を取り出す単一モード光ファイバとが一体に構成さ
れた半導体レーザモジュールに関する。なお、半導体レ
ーザモジュールは、例えば光通信に使用するエルビウム
添加光ファイバ増幅器の励起光用の光源として使用され
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor laser module in which a semiconductor laser and a single mode optical fiber for extracting the emitted light are integrally formed. The semiconductor laser module is used as a light source for pumping light of an erbium-doped optical fiber amplifier used for optical communication, for example.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザ光の出射端に単一モード光ファイ
バが結合され、この光ファイバを介してレーザ光が取り
出される構造のピグテイル光ファイバ付き半導体レーザ
モジュールでは、従来はレーザチップの近傍に光アイソ
レータを設置し、光ファイバ入射端や光ファイバ遠端で
の反射光がレーザチップに再注入されないようにして発
振光波長の安定化を図っている。
2. Description of the Related Art In a semiconductor laser module with a pigtail optical fiber having a structure in which a single mode optical fiber is coupled to the emitting end of laser light and the laser light is taken out through this optical fiber, conventionally, the light is emitted near the laser chip. An isolator is installed to prevent the reflected light at the optical fiber entrance end or the optical fiber far end from being reinjected into the laser chip to stabilize the oscillation light wavelength.

【0003】図6は、従来のピグテイル光ファイバ付き
半導体レーザモジュールの構成例を示す断面図である。
図において、半導体レーザ(LD)61から出射された
レーザ光は、ARコーティングを施した球レンズ62を
介して平行ビーム化され、光アイソレータ63に入射さ
れる。光アイソレータ63を通過したレーザ光は、同様
にARコーティングを施した球レンズ64を介して集光
され、ピグテイル光ファイバ65に結合される。半導体
レーザモジュールのケース(図中斜線部分)66とピグ
テイル光ファイバ65との接続部分には、端面がARコ
ーティングおよび斜め研磨されたフェルール(中子)6
7が使用される。
FIG. 6 is a sectional view showing a structural example of a conventional semiconductor laser module with a pigtail optical fiber.
In the figure, laser light emitted from a semiconductor laser (LD) 61 is made into a parallel beam through a spherical lens 62 provided with an AR coating, and is incident on an optical isolator 63. The laser light that has passed through the optical isolator 63 is condensed via a spherical lens 64 similarly provided with an AR coating, and is coupled to a pigtail optical fiber 65. A ferrule (core) 6 whose end face is AR-coated and obliquely polished is formed at a connection portion between the case (hatched portion in the drawing) 66 of the semiconductor laser module and the pigtail optical fiber 65.
7 is used.

【0004】ここで、ピグテイル光ファイバ65の入射
端における反射光は、フェルール67の端面が斜め研磨
されているために半導体レーザ61に戻ることはない。
また、ピグテイル光ファイバ65の遠端からの反射戻り
光も、光アイソレータ63によって阻止されるために半
導体レーザ61に再注入されることはない。
Here, the reflected light at the incident end of the pigtail optical fiber 65 does not return to the semiconductor laser 61 because the end face of the ferrule 67 is obliquely polished.
Further, the reflected return light from the far end of the pigtail optical fiber 65 is also prevented from being reinjected into the semiconductor laser 61 because it is blocked by the optical isolator 63.

【0005】このように、従来のピグテイル光ファイバ
付き半導体レーザモジュールでは、半導体レーザ61の
発振光波長を不安定にする要因である反射戻り光を光ア
イソレータ63で取り除いて安定化させる手法をとって
いた。
As described above, in the conventional semiconductor laser module with a pigtail optical fiber, the optical isolator 63 removes and stabilizes the reflected return light which causes the oscillation wavelength of the semiconductor laser 61 to be unstable. It was

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、 1.1μm以
上の長波長帯で動作させる光アイソレータには、ファラ
デー回転素子としてヴェルデ定数の大きなYIG(イッ
トリウム−鉄−ガーネット)結晶が使用でき、小型で優
れた特性を実現している。
By the way, YIG (yttrium-iron-garnet) crystals having a large Verdet constant can be used as a Faraday rotator in an optical isolator operating in a long wavelength band of 1.1 μm or more, which is small and excellent. It realizes the characteristics.

【0007】一方、 1.1μmより短波長側ではYIG結
晶自身の強い吸収によって使用できず、代わりにその波
長帯で損失が極めて小さい希土類元素添加ガラス(ファ
ラデーガラス)が用いられる。しかし、この希土類元素
添加ガラスはヴェルデ定数が小さいために小型化ができ
ず、半導体レーザモジュール内に光アイソレータを内蔵
させることが極めて困難であった。
On the other hand, on the wavelength side shorter than 1.1 μm, it cannot be used due to the strong absorption of the YIG crystal itself, and instead, rare earth element-added glass (Faraday glass) with extremely small loss in that wavelength band is used. However, since the rare earth element-added glass has a small Verdet constant, it cannot be downsized, and it is extremely difficult to incorporate an optical isolator in the semiconductor laser module.

【0008】本発明は、従来方式とはまったく異なる方
式によって発振光波長の安定化を図り、かつ短波長領域
においても小型化が可能な半導体レーザモジュールを提
供することを目的とする。
It is an object of the present invention to provide a semiconductor laser module which can stabilize the oscillation light wavelength by a method which is completely different from the conventional method and can be miniaturized even in a short wavelength region.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、半導体レーザと、そのレーザ光出射端に結合される
単一モード光ファイバとを有し、その光ファイバを介し
てレーザ光が取り出される構成の半導体レーザモジュー
ルにおいて、前記半導体レーザの発振可能波長範囲内の
1波長を中心波長とする狭帯域通過特性を有し、前記半
導体レーザと前記単一モード光ファイバとを結ぶ光軸上
に、フィルタ面がその光軸に非直交で配置される第1の
光フィルタと、前記半導体レーザの発振可能波長範囲で
所定の反射率を有し、前記半導体レーザと前記単一モー
ド光ファイバとを結ぶ光軸上に、前記第1の光フィルタ
に対して前記半導体レーザの反対側の位置でフィルタ面
がその光軸に直交して配置される第2の光フィルタとを
備えたことを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a semiconductor laser and a single mode optical fiber coupled to the laser light emitting end, and the laser light is transmitted through the optical fiber. In a semiconductor laser module having a configuration to be taken out, the semiconductor laser module has a narrow bandpass characteristic whose center wavelength is one wavelength within a lasing wavelength range of the semiconductor laser, and is on an optical axis connecting the semiconductor laser and the single mode optical fiber A first optical filter whose filter surface is arranged non-orthogonally to its optical axis; and a semiconductor laser and the single-mode optical fiber which have a predetermined reflectance in the oscillating wavelength range of the semiconductor laser. And a second optical filter whose filter surface is arranged orthogonal to the optical axis at a position opposite to the semiconductor laser with respect to the first optical filter on the optical axis connecting the two. When That.

【0010】請求項2に記載の発明は、半導体レーザ
と、そのレーザ光出射端に結合される単一モード光ファ
イバとを有し、その光ファイバを介してレーザ光が取り
出される構成の半導体レーザモジュールにおいて、前記
半導体レーザの発振可能波長範囲内の1波長を中心波長
とする狭帯域通過特性を有し、前記単一モード光ファイ
バの途中に設けられる第1の切断部に、フィルタ面がそ
の光軸に非直交で配置される第1の光フィルタと、前記
半導体レーザの発振可能波長範囲で所定の反射率を有
し、前記単一モード光ファイバの途中で前記第1の切断
部に対して前記半導体レーザの反対側に設けられる第2
の切断部に、フィルタ面がその光軸に直交して配置され
る第2の光フィルタとを備えたことを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a semiconductor laser having a semiconductor laser and a single-mode optical fiber coupled to the laser light emitting end, through which the laser light is taken out. In the module, the semiconductor laser has a narrow bandpass characteristic whose center wavelength is one wavelength within the oscillating wavelength range of the semiconductor laser, and a filter surface is provided at a first cut portion provided in the middle of the single mode optical fiber. A first optical filter arranged non-orthogonally to the optical axis and having a predetermined reflectance in the wavelength range in which the semiconductor laser can oscillate, and with respect to the first cut portion in the middle of the single mode optical fiber; Second provided on the opposite side of the semiconductor laser
And a second optical filter whose filter surface is arranged orthogonal to the optical axis thereof.

【0011】[0011]

【作用】図1は、本発明の原理構成を示す図である。図
において、半導体レーザ(LD)11のAR面側に、第
1の光フィルタ12と第2の光フィルタ13が直列に配
置される。ここで、第1の光フィルタ12は、半導体レ
ーザ11の発振可能波長範囲内の1波長を中心波長とす
る狭帯域通過特性を有し、かつそのフィルタ面が半導体
レーザ11から出射されるレーザ光の光路に対して傾け
て設置される。また、第2の光フィルタ13は、半導体
レーザ11の発振可能波長範囲で所定の反射率を有し、
かつそのフィルタ面が半導体レーザ11から出射される
レーザ光の光路に対して90度の角度で設置される。
FIG. 1 is a diagram showing the principle configuration of the present invention. In the figure, a first optical filter 12 and a second optical filter 13 are arranged in series on the AR surface side of a semiconductor laser (LD) 11. Here, the first optical filter 12 has a narrow bandpass characteristic whose center wavelength is one wavelength within the oscillating wavelength range of the semiconductor laser 11, and its filter surface is a laser beam emitted from the semiconductor laser 11. It is installed at an angle to the optical path of. Further, the second optical filter 13 has a predetermined reflectance in the oscillating wavelength range of the semiconductor laser 11,
Further, the filter surface thereof is installed at an angle of 90 degrees with respect to the optical path of the laser light emitted from the semiconductor laser 11.

【0012】なお、第1の光フィルタ12および第2の
光フィルタ13は、請求項1に記載の半導体レーザモジ
ュールでは半導体レーザ11と単一モード光ファイバと
の結合部に設置され、請求項2に記載の半導体レーザモ
ジュールでは半導体レーザ11に結合される単一モード
光ファイバの途中に設けられる2箇所の切断部に設置さ
れるが、ここでは説明を簡単にするために単一モード光
ファイバを省略し、半導体レーザ11,第1の光フィル
タ12および第2の光フィルタ13のみを示す。
In the semiconductor laser module according to claim 1, the first optical filter 12 and the second optical filter 13 are installed at the coupling portion between the semiconductor laser 11 and the single mode optical fiber. In the semiconductor laser module described in 1), the single mode optical fiber coupled to the semiconductor laser 11 is installed at two cut portions provided in the middle. It is omitted, and only the semiconductor laser 11, the first optical filter 12, and the second optical filter 13 are shown.

【0013】半導体レーザ11のAR面から出射された
レーザ光のスペクトルは、比較的広帯域の波長成分を
有する。このレーザ光が第1の光フィルタ12を通過
する際には、その帯域通過特性によって狭帯域の波長成
分のみを有するレーザ光に変換され、第2の光フィル
タ13に入射される。同時に、第1の光フィルタ12が
傾いているために、そこで反射されるレーザ光は半導
体レーザ11に入射されずにその外部に放射される。
The spectrum of the laser light emitted from the AR surface of the semiconductor laser 11 has a wavelength component of a relatively wide band. When this laser light passes through the first optical filter 12, it is converted into laser light having only a narrow band wavelength component due to its bandpass characteristic, and is incident on the second optical filter 13. At the same time, since the first optical filter 12 is inclined, the laser light reflected there is not incident on the semiconductor laser 11 and is emitted to the outside.

【0014】第1の光フィルタ12を通過したレーザ光
は、第2の光フィルタ13でその一部が反射される。
第2の光フィルタ13は光路に対して90度の角度で設置
されているために、そこで反射したレーザ光は第1の
光フィルタ12を再度通過して半導体レーザ11に戻
り、半導体レーザ11のHR面と第2の光フィルタ13
との間で共振器が形成される。この共振器における共振
波長と第1の光フィルタ12を通過する波長とを一致さ
せ、この共振器の共振特性に波長依存性を持たせること
により、反射戻り光に対して半導体レーザ11の発振光
波長を安定化させることができる。なお、この共振器に
よって発振光波長が安定化されたレーザ光は、第2の
光フィルタ13の通過光として取り出される。
The laser light that has passed through the first optical filter 12 is partially reflected by the second optical filter 13.
Since the second optical filter 13 is installed at an angle of 90 degrees with respect to the optical path, the laser light reflected there passes through the first optical filter 12 again and returns to the semiconductor laser 11 to HR surface and second optical filter 13
A resonator is formed between and. The resonance wavelength of this resonator is matched with the wavelength that passes through the first optical filter 12, and the resonance characteristics of this resonator have wavelength dependence, so that the oscillation light of the semiconductor laser 11 with respect to the reflected return light. The wavelength can be stabilized. The laser light whose oscillation light wavelength is stabilized by this resonator is extracted as the light passing through the second optical filter 13.

【0015】[0015]

【実施例】図2は、請求項1に記載の半導体レーザモジ
ュールの実施例構成を示す断面図である。
FIG. 2 is a sectional view showing the configuration of an embodiment of the semiconductor laser module according to claim 1.

【0016】図において、半導体レーザ(LD)21
は、歪量子井戸構造を活性層に用いた0.98μm発振のIn
GaAs-SQW-LD である。この半導体レーザ21から出射さ
れたレーザ光は、0.98μmの波長においてARコーティ
ングを施した球レンズ22を介して平行ビーム化され、
2枚の光フィルタ23,24を通過し、さらに同様にA
Rコーティングを施した球レンズ25を介して集光さ
れ、ピグテイル光ファイバ26に結合される。半導体レ
ーザモジュールのケース(図中斜線部分)27とピグテ
イル光ファイバ26との接続部分には、フェルール(中
子)28が使用される。なお、半導体レーザ21、球レ
ンズ22,25、フェルール28および光フィルタ2
3,24はケース27に固定される。
In the figure, a semiconductor laser (LD) 21
Is a 0.98 μm oscillation In using a strained quantum well structure for the active layer.
It is a GaAs-SQW-LD. Laser light emitted from this semiconductor laser 21 is converted into a parallel beam through a spherical lens 22 having an AR coating at a wavelength of 0.98 μm,
After passing through the two optical filters 23 and 24,
It is collected through a spherical lens 25 having an R coating and coupled to a pigtail optical fiber 26. A ferrule (core) 28 is used at the connecting portion between the case (hatched portion in the drawing) 27 of the semiconductor laser module and the pigtail optical fiber 26. The semiconductor laser 21, the spherical lenses 22 and 25, the ferrule 28, and the optical filter 2
3, 24 are fixed to the case 27.

【0017】ここで、本実施例の半導体レーザモジュー
ルの組立手順について説明する。ケース27の内側に
は、あらかじめ各部品が固定される位置に切り欠きが形
成される。まずケース27に、球レンズ22、光フィル
タ23,24、球レンズ25の順で低融点ガラスにより
固定させる。なお、光フィルタ23は、図3(1) のaで
示すように、中心波長が0.98μm、透過帯域幅が0.5n
m、最大透過率が80%の帯域通過特性を有し、そのフィ
ルタ面の法線方向がケース27の中心軸(半導体レーザ
21とピグテイル光ファイバ26とを結ぶ光軸)に対し
て約10度傾けて設置される。また、光フィルタ24は、
図3(1) のbで示すように、波長0.98μmを中心に20n
m以上の波長幅でほぼ一定の反射率30%を有し、そのフ
ィルタ面の法線方向がケース27の中心軸に一致させて
設置される。
Now, the procedure for assembling the semiconductor laser module of this embodiment will be described. A notch is formed inside the case 27 at a position where each component is fixed in advance. First, the ball lens 22, the optical filters 23 and 24, and the ball lens 25 are fixed to the case 27 in this order by low melting glass. The optical filter 23 has a center wavelength of 0.98 μm and a transmission bandwidth of 0.5 n, as indicated by a in FIG. 3 (1).
m, the maximum transmittance is 80%, and the normal direction of the filter surface is about 10 degrees with respect to the central axis of the case 27 (the optical axis connecting the semiconductor laser 21 and the pigtail optical fiber 26). It is installed at an angle. Further, the optical filter 24 is
As shown by b in Fig. 3 (1), 20n centered on a wavelength of 0.98μm
It has a substantially constant reflectance of 30% in a wavelength width of m or more, and is installed such that the normal direction of its filter surface coincides with the central axis of the case 27.

【0018】次に、半導体レーザ21を抵抗加熱法によ
ってケース27に融着固定する。一方、ピグテイル光フ
ァイバ26は、端面を約8度に斜め研磨し0.98μmの波
長においてARコーティングを施したフェルール28に
接着固定され、さらに半導体レーザ21との結合が最大
になるように位置を調整した後にケース27に接着固定
される。
Next, the semiconductor laser 21 is fused and fixed to the case 27 by a resistance heating method. On the other hand, the pigtail optical fiber 26 is adhesively fixed to the ferrule 28 whose end face is obliquely polished to about 8 degrees and AR coating is applied at a wavelength of 0.98 μm, and the position is adjusted so that the coupling with the semiconductor laser 21 is maximized. After that, it is adhesively fixed to the case 27.

【0019】このように構成される半導体レーザモジュ
ールでは、図1を参照して説明した動作原理に基づいて
共振器として動作し、図3(2) に示すような波長0.98μ
mの発振光波長特性が得られる。
The semiconductor laser module thus constructed operates as a resonator based on the operating principle described with reference to FIG. 1, and has a wavelength of 0.98 μm as shown in FIG. 3 (2).
The oscillation light wavelength characteristic of m can be obtained.

【0020】図4は、本実施例の半導体レーザモジュー
ルにおけるピグテイル光ファイバ26のレーザ光出射端
面の反射率の変化に対する発振光波長の変化を示す図で
ある。
FIG. 4 is a diagram showing changes in the oscillation light wavelength with respect to changes in the reflectance of the laser light emitting end face of the pigtail optical fiber 26 in the semiconductor laser module of this embodiment.

【0021】図において、横軸は時間を示し、符号41
はレーザ光出射端面における反射戻り光強度の時間変化
を示し、符号42は本実施例の半導体レーザモジュール
での発振光波長の時間変化を示し、符号43は本実施例
の半導体レーザモジュールから光フィルタ23,24を
取り外した場合の発振光波長の時間変化を示す。図に示
すように、本実施例の半導体レーザモジュールでは、光
フィルタ23,24の働きにより発振光波長の変化が1
nm以下に抑えられ、光アイソレータを用いなくても十
分に発振光波長の安定化が図られていることがわかる。
In the figure, the horizontal axis represents time, and the reference numeral 41
Indicates the time change of the reflected return light intensity at the laser light emitting end face, reference numeral 42 indicates the time change of the oscillation light wavelength in the semiconductor laser module of this embodiment, and reference numeral 43 indicates the optical filter from the semiconductor laser module of this embodiment. The time change of the oscillation light wavelength when 23 and 24 are removed is shown. As shown in the figure, in the semiconductor laser module of the present embodiment, the change of the oscillation light wavelength is 1 due to the action of the optical filters 23 and 24.
It can be seen that the wavelength is suppressed to nm or less, and the oscillation light wavelength is sufficiently stabilized without using an optical isolator.

【0022】なお、本実施例において、半導体レーザ2
1をファブリペロー構造とした場合でも同様に本発明を
実施することができる。また、発振光波長の変更には、
球レンズ22,25およびフェルール28の端面でのA
Rコーティングの波長と、光フィルタ23の中心波長の
変更により対処することができる。
In the present embodiment, the semiconductor laser 2
The present invention can be similarly implemented even when 1 has a Fabry-Perot structure. Also, to change the oscillation light wavelength,
A at the end faces of the spherical lenses 22 and 25 and the ferrule 28
This can be dealt with by changing the wavelength of the R coating and the center wavelength of the optical filter 23.

【0023】図5は、請求項2に記載の半導体レーザモ
ジュールの実施例構成を示す断面図である。図におい
て、半導体レーザ(LD)51から出射された波長0.98
μmのレーザ光は、0.98μmの波長においてARコーテ
ィングを施した球レンズ52を介して集光され、ピグテ
イル光ファイバ53に結合される。半導体レーザモジュ
ールのケース(図中斜線部分)54とピグテイル光ファ
イバ53との接続部分には、端面を斜め研磨し0.98μm
の波長においてARコーティングを施したフェルール
(中子)55が使用される。なお、半導体レーザ51、
球レンズ52およびフェルール55はケース54に固定
される。
FIG. 5 is a sectional view showing the structure of an embodiment of the semiconductor laser module according to the present invention. In the figure, the wavelength of 0.98 emitted from the semiconductor laser (LD) 51
The laser light of μm is condensed through a spherical lens 52 having an AR coating at a wavelength of 0.98 μm and coupled to a pigtail optical fiber 53. At the connection portion between the case (hatched portion in the figure) 54 of the semiconductor laser module and the pigtail optical fiber 53, the end face is diagonally polished to 0.98 μm.
A ferrule (core) 55 having an AR coating at the wavelength of is used. The semiconductor laser 51,
The ball lens 52 and the ferrule 55 are fixed to the case 54.

【0024】一方、ピグテイル光ファイバ53を溝56
1 で保持する石英ガラス基板56には、溝561 に非直
角で形成される幅 100μmの溝562 と、溝561 に直
角で形成される幅 100μmの溝563 とが設けられ、ピ
グテイル光ファイバ53が溝562 ,563 の位置で切
断される。溝562 には、図3(1) のaで示す特性を有
する光フィルタ57が挿入され、溝563 には、図3
(1) のbで示す特性を有する光フィルタ58が挿入され
る。なお、溝562 ,563 の位置で切断されたピグテ
イル光ファイバ53のコア部は、局所的に1000度以上の
温度で熱処理されて屈折率形成用ドーパントが拡散さ
れ、実効的にコア径が2倍に拡大される。これは、ピグ
テイル光ファイバ53と溝562 ,563 に挿入される
光フィルタ57,58との位置合わせを容易にし、接続
損失を低下させる機能がある。
On the other hand, the pigtail optical fiber 53 is inserted into the groove 56.
The quartz glass substrate 56 for holding one, a groove 56 second width 100μm formed by non-perpendicular to the grooves 56 1, and the groove 56 third width 100μm formed by a right angle in the groove 56 1 is provided, pigtail optical fiber 53 is cut at the position of the groove 56 2, 56 3. The groove 56 2 is inserted an optical filter 57 having a characteristic indicated by a in FIG. 3 (1), the groove 56 3 3
The optical filter 58 having the characteristic indicated by b in (1) is inserted. The core portion of the groove 56 2, 56 pigtail optical fiber 53 that is cut at a position of 3 is locally heat treated at 1000 ° temperatures above the refractive index for forming the dopant is diffused, is effectively a core diameter It will be doubled. This facilitates the alignment of the optical filter 57, 58 to be inserted into the pigtail optical fiber 53 and the groove 56 2, 56 3, has the ability to reduce the connection loss.

【0025】したがって、光フィルタ57のフィルタ面
の法線方向とピグテイル光ファイバ53の光軸とは一致
せず、光フィルタ57で反射した成分はピグテイル光フ
ァイバ53の放射成分となり、半導体レーザ51には戻
らない。また、光フィルタ58のフィルタ面の法線方向
とピグテイル光ファイバ53の光軸が一致するので、光
フィルタ58で反射したレーザ光はピグテイル光ファイ
バ53の伝搬モードとなって半導体レーザ51に戻り、
半導体レーザ51との間で共振器が形成される。すなわ
ち、このように構成される半導体レーザモジュールにお
いても、図1を参照して説明した動作原理に基づいて動
作し、図3(2) に示すような波長0.98μmの発振光波長
特性が得られる。
Therefore, the normal line direction of the filter surface of the optical filter 57 and the optical axis of the pigtail optical fiber 53 do not coincide with each other, and the component reflected by the optical filter 57 becomes a radiation component of the pigtail optical fiber 53 and becomes the semiconductor laser 51. Does not return. Further, since the normal direction of the filter surface of the optical filter 58 and the optical axis of the pigtail optical fiber 53 coincide with each other, the laser light reflected by the optical filter 58 becomes the propagation mode of the pigtail optical fiber 53 and returns to the semiconductor laser 51.
A resonator is formed between the semiconductor laser 51 and the semiconductor laser 51. That is, even the semiconductor laser module configured as described above operates based on the operation principle described with reference to FIG. 1 and obtains the oscillation light wavelength characteristic of wavelength 0.98 μm as shown in FIG. 3 (2). ..

【0026】なお、本実施例に対してもピグテイル光フ
ァイバ53のレーザ光出射端面の反射率の変化に対する
発振光波長の変化を測定したが、反射戻り光強度を−14
dB〜−45dBに変化させても発振光波長の変化は2nm以
下に抑えることができた。
Also in this embodiment, the change of the oscillation light wavelength with respect to the change of the reflectance of the laser light emitting end face of the pigtail optical fiber 53 was measured.
Even if it was changed from dB to -45 dB, the change of the oscillation light wavelength could be suppressed to 2 nm or less.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、従来の光
アイソレータを用いる代わりに、半導体レーザと外部の
光フィルタとにより共振器を形成し、その波長依存性に
よって反射戻り光による半導体レーザの発振光波長の変
化を抑圧する方式であるので、小型化に適し、かつ同一
の構造で短波長帯から長波長帯までの半導体レーザモジ
ュールに柔軟に対応することができる。
As described above, according to the present invention, instead of using the conventional optical isolator, a resonator is formed by the semiconductor laser and an external optical filter, and the wavelength dependence of the resonator causes the reflected return light of the semiconductor laser. Since this method suppresses changes in the wavelength of the oscillated light, it is suitable for downsizing and can flexibly support semiconductor laser modules from the short wavelength band to the long wavelength band with the same structure.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の原理構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a principle configuration of the present invention.

【図2】請求項1に記載の半導体レーザモジュールの実
施例構成を示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing the configuration of an embodiment of the semiconductor laser module according to claim 1.

【図3】本発明に用いる光フィルタの特性を示す図であ
る。
FIG. 3 is a diagram showing characteristics of an optical filter used in the present invention.

【図4】実施例におけるピグテイル光ファイバのレーザ
光出射端面の反射率の変化に対する発振光波長の変化を
示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a change in oscillation light wavelength with respect to a change in reflectance of a laser light emitting end surface of a pigtail optical fiber in an example.

【図5】請求項2に記載の半導体レーザモジュールの実
施例構成を示す断面図である。
FIG. 5 is a sectional view showing a configuration of an embodiment of the semiconductor laser module according to claim 2;

【図6】従来のピグテイル光ファイバ付き半導体レーザ
モジュールの構成例を示す断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a configuration example of a conventional semiconductor laser module with a pigtail optical fiber.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 半導体レーザ(LD) 12 第1の光フィルタ 13 第2の光フィルタ 21 半導体レーザ(LD) 22,25 球レンズ 23,24 光フィルタ 26 ピグテイル光ファイバ 27 ケース 28 フェルール 51 半導体レーザ(LD) 52 球レンズ 53 ピグテイル光ファイバ 54 ケース 55 フェルール 56 石英ガラス基板 57,58 光フィルタ 61 半導体レーザ(LD) 62,64 球レンズ 63 光アイソレータ 65 ピグテイル光ファイバ 66 ケース 67 フェルール 11 Semiconductor Laser (LD) 12 First Optical Filter 13 Second Optical Filter 21 Semiconductor Laser (LD) 22,25 Ball Lens 23,24 Optical Filter 26 Pigtail Optical Fiber 27 Case 28 Ferrule 51 Semiconductor Laser (LD) 52 Ball Lens 53 Pigtail optical fiber 54 Case 55 Ferrule 56 Quartz glass substrate 57,58 Optical filter 61 Semiconductor laser (LD) 62,64 Ball lens 63 Optical isolator 65 Pigtail optical fiber 66 Case 67 Ferrule

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山田 裕朗 東京都千代田区内幸町1丁目1番6号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 小口 泰介 東京都千代田区内幸町1丁目1番6号 日 本電信電話株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Yuro Yamada 1-6 Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo Nihon Telegraph and Telephone Corporation (72) Taisuke Oguchi 1-1-6 Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo Nippon Telegraph and Telephone Corporation

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半導体レーザと、そのレーザ光出射端に
結合される単一モード光ファイバとを有し、その光ファ
イバを介してレーザ光が取り出される構成の半導体レー
ザモジュールにおいて、 前記半導体レーザの発振可能波長範囲内の1波長を中心
波長とする狭帯域通過特性を有し、前記半導体レーザと
前記単一モード光ファイバとを結ぶ光軸上に、フィルタ
面がその光軸に非直交で配置される第1の光フィルタ
と、 前記半導体レーザの発振可能波長範囲で所定の反射率を
有し、前記半導体レーザと前記単一モード光ファイバと
を結ぶ光軸上に、前記第1の光フィルタに対して前記半
導体レーザの反対側の位置でフィルタ面がその光軸に直
交して配置される第2の光フィルタとを備えたことを特
徴とする半導体レーザモジュール。
1. A semiconductor laser module having a semiconductor laser and a single-mode optical fiber coupled to the laser light emitting end, wherein laser light is extracted through the optical fiber. It has a narrow bandpass characteristic having one wavelength in the oscillating wavelength range as a central wavelength, and a filter surface is arranged non-orthogonally to the optical axis connecting the semiconductor laser and the single mode optical fiber. And a first optical filter having a predetermined reflectance in the wavelength range in which the semiconductor laser can oscillate and on the optical axis connecting the semiconductor laser and the single-mode optical fiber. And a second optical filter whose filter surface is arranged orthogonal to the optical axis at a position opposite to the semiconductor laser.
【請求項2】 半導体レーザと、そのレーザ光出射端に
結合される単一モード光ファイバとを有し、その光ファ
イバを介してレーザ光が取り出される構成の半導体レー
ザモジュールにおいて、 前記半導体レーザの発振可能波長範囲内の1波長を中心
波長とする狭帯域通過特性を有し、前記単一モード光フ
ァイバの途中に設けられる第1の切断部に、フィルタ面
がその光軸に非直交で配置される第1の光フィルタと、 前記半導体レーザの発振可能波長範囲で所定の反射率を
有し、前記単一モード光ファイバの途中で前記第1の切
断部に対して前記半導体レーザの反対側に設けられる第
2の切断部に、フィルタ面がその光軸に直交して配置さ
れる第2の光フィルタとを備えたことを特徴とする半導
体レーザモジュール。
2. A semiconductor laser module having a semiconductor laser and a single-mode optical fiber coupled to the laser light emitting end, wherein laser light is taken out through the optical fiber. Having a narrow bandpass characteristic with one wavelength in the oscillating wavelength range as the central wavelength, the filter surface is arranged non-orthogonally to the optical axis of the first cut portion provided in the middle of the single mode optical fiber. A first optical filter, which has a predetermined reflectance in the wavelength range in which the semiconductor laser can oscillate, and which is on the opposite side of the semiconductor laser with respect to the first cut portion in the middle of the single mode optical fiber. And a second optical filter having a filter surface arranged orthogonal to the optical axis of the second cut portion provided in the semiconductor laser module.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000353856A (en) * 1999-06-11 2000-12-19 Nec Corp Semiconductor laser module
US6950767B2 (en) 2002-11-15 2005-09-27 Renesas Technology Corp. Quality monitoring system for building structure, quality monitoring method for building structure and semiconductor integrated circuit device
JP2007042798A (en) * 2005-08-02 2007-02-15 Aisin Seiki Co Ltd Device for monitoring resonator of pulse laser

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