JPH0578437U - Bearing device - Google Patents
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- JPH0578437U JPH0578437U JP2540192U JP2540192U JPH0578437U JP H0578437 U JPH0578437 U JP H0578437U JP 2540192 U JP2540192 U JP 2540192U JP 2540192 U JP2540192 U JP 2540192U JP H0578437 U JPH0578437 U JP H0578437U
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本考案は、ハイブリッド軸受でベッド上に摺動
可能に支持したスライドテーブルのスベリスライド面圧
を、スライドテーブルの負荷重量に応じて適性に調整制
御可能にした軸受装置を提供する。
【構成】ハイブリッドスライド軸受のローラ部27にス
ライドテーブル8を支持する油圧シリンダ装置32を設
け、スライドテーブル8の負荷重量を重量検出装置39
で検出し、その重量に応じて油圧シリンダ装置32に供
給する油圧力を制御装置35により調整することを特徴
とする。
(57) [Abstract] [Purpose] The present invention is a bearing capable of appropriately adjusting and controlling the sliding slide surface pressure of a slide table slidably supported on a bed by a hybrid bearing according to the load weight of the slide table. Provide a device. [Structure] A hydraulic cylinder device 32 for supporting a slide table 8 is provided on a roller portion 27 of a hybrid slide bearing, and a weight detection device 39 for detecting a load weight of the slide table 8 is provided.
It is characterized in that the controller 35 adjusts the oil pressure supplied to the hydraulic cylinder device 32 according to the weight detected by the control device 35.
Description
【0001】[0001]
本考案は、工作機械における摺動面の軸受装置に関するものである。 The present invention relates to a bearing device for a sliding surface of a machine tool.
【0002】[0002]
マシニングセンタ等において、ワークテーブルを構成しているスライドテーブ ル及び回転テーブルのスベリスライドの場合、移動物の重量が重くなった時、ス ライドにかかる接触面圧が大きくなる。この接触面圧が大きくなるとスティック スリップが発生しやすくなり、位置決め精度、加工精度が悪くなる。 In a machining center or the like, in the case of sliding slides of a slide table and a rotary table constituting a work table, when the weight of a moving object becomes heavy, the contact surface pressure applied to the slide becomes large. If this contact surface pressure becomes large, stick-slip easily occurs, resulting in poor positioning accuracy and processing accuracy.
【0003】 これを避けるために、スベリスライドとコロガリスライドとを組み合わせたハ イブリッドスライド軸受を用いているものがある。このハイブリッドスライド軸 受は、一定の予圧を皿バネによりローラに付与し、常に一定重量をローラに分担 させている。In order to avoid this, there are some which use a hybrid slide bearing in which a slide slide and a roll slide are combined. In this hybrid slide bearing, a constant preload is applied to the roller by a disc spring, and a constant weight is always shared by the roller.
【0004】[0004]
前記皿バネによる予圧は、皿バネ個々の特性のバラツキ、皿バネの撓みが若干 変わることによる出力値の過敏な変動等により調整が非常に難しい。また、皿バ ネでは、移動物重量(テーブル+ワーク等)の一定荷重しか分担できないため、 重量の変動によりスライド面圧が変わってしまい、最適な制御ができないという 問題があった。 It is very difficult to adjust the preload by the disc springs due to variations in the characteristics of the disc springs and the sensitive changes in the output value due to slight changes in the deflection of the disc springs. In addition, since the pan / bread can only bear a constant load of the weight of the moving object (table + work, etc.), there is a problem that the slide surface pressure changes due to the change in weight, and optimal control cannot be performed.
【0005】 本考案の目的は、重量変動に拘らずスベリスライド面圧が一定となり、位置決 め精度の安定化、高速送り加工時の追従性を向上した軸受装置を提供することで ある。An object of the present invention is to provide a bearing device in which the sliding slide surface pressure is constant irrespective of the weight variation, the positioning accuracy is stabilized, and the followability during high-speed feed processing is improved.
【0006】[0006]
上記の目的を達成する本考案の特徴とする構成は、ベッド上にスベリスライド とローラによるコロガリスライドとからなるハイブリッドスライド軸受を介して 直線運動可能に支持したスライドテーブルにおいて、前記ハイブリッドスライド 軸受のローラ部を上下方向に駆動して前記スライドテーブルを支持する油圧シリ ンダ装置と、この油圧シリンダ装置に圧油を供給する油圧源と、前記スライドテ ーブルの負荷重量を検出する重量検出装置と、この重量検出装置で検出した重量 に応じて前記油圧シリンダ装置に供給する油圧力を調整する制御装置とを備えた ものである。 A feature of the present invention that achieves the above object is to provide a slide table supported linearly through a hybrid slide bearing consisting of a slide slide and a roller slide on the bed, and a roller of the hybrid slide bearing. A hydraulic cylinder device that drives the slide unit up and down to support the slide table, a hydraulic source that supplies pressure oil to the hydraulic cylinder device, a weight detection device that detects the load weight of the slide table, and a weight detection device that detects the weight. And a control device that adjusts the hydraulic pressure supplied to the hydraulic cylinder device according to the weight detected by the detection device.
【0007】[0007]
上記の構成により、スライドテーブルの負荷重量の変動を重量検出装置で検出 し、ハイブリッドスライド軸受のローラ部の油圧シリンダ装置に供給する油圧力 を前記負荷重量に応じて調整してスベリスライド面の面圧を常に一定に保持する ものである。 With the above configuration, the weight detection device detects changes in the load weight of the slide table, and the hydraulic pressure supplied to the hydraulic cylinder device of the roller portion of the hybrid slide bearing is adjusted according to the load weight to determine the sliding surface. The pressure is always kept constant.
【0008】[0008]
以下本考案の実施例を図面に基づいて説明する。図1は本考案を用いた工作機 械の1例を示す平面図であり、1はマシニングセンタであり、ベッド2と、この ベッド2上に進後退移動可能に設けられたコラム3と、このコラム3に上下動可 能もに設けられた主軸ヘッド5と、コラム3の前方のベッド2上に配置されたワ ークテーブル7とからなり、5aは前記主軸ヘッド5に回転可能に軸承されたス ピンドル、4は前記コラム3の進退作動用サーボモータ、6は前記主軸ヘッド5 の上下動用サーボモータである。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view showing an example of a machine tool using the present invention. 1 is a machining center, a bed 2, a column 3 provided on the bed 2 so as to be movable back and forth, and this column. 3 includes a spindle head 5 which is vertically movable, and a work table 7 arranged on the bed 2 in front of the column 3, and 5a is a spindle which is rotatably supported by the spindle head 5. Reference numeral 4 is a servomotor for moving the column 3 forward and backward, and 6 is a servomotor for moving the spindle head 5 up and down.
【0009】 前記ワークテーブル7は、前記コラム3の進退移動方向とは直交する左右方向 に移動可能に案内されたスライドテーブル8と、このスライドテーブル8上に回 転可能に案内された回転テーブル10とから構成され、前記回転テーブル10上 にはワークを載置したパレット11が搬入出される。9は前記スライドテーブル 8の左右移動用サーボモータである。13はパレット11のクランプ部材であり 回転テーブル10に設けられている。The work table 7 is guided by a slide table 8 movably in a left-right direction which is orthogonal to the forward / backward movement direction of the column 3, and a rotary table 10 rotatably guided on the slide table 8. The pallet 11 on which the work is placed is carried in and out on the rotary table 10. Reference numeral 9 is a servomotor for moving the slide table 8 left and right. A clamp member 13 for the pallet 11 is provided on the turntable 10.
【0010】 13は前記ワークテーブル7の前方に配置しているパレットチェンジャである 。このパレットチェンジャ13は、前記スライドテーブル8の左右移動方向に対 して平面内で直交する方向に移動可能なフック16を備えた交換駆動装置15と 、この交換駆動装置15の左右位置に配置されたパレット支持台14a、14b とから構成されている。Reference numeral 13 denotes a pallet changer arranged in front of the work table 7. The pallet changer 13 is provided with a replacement driving device 15 provided with a hook 16 which is movable in a direction orthogonal to a horizontal direction of the slide table 8 and a left and right position of the replacement driving device 15. And pallet support bases 14a and 14b.
【0011】 17は数値制御装置であり、入力装置18とメモリ19が接続され、この数値 制御装置17と前記コラム3の進退作動用サーボモータ4、主軸ヘッド5の上下 動用サーボモータ6及びスライドテーブル8の左右移動用サーボモータ9のそれ ぞれにパルス分配回路20a、20b、20c、駆動回路21a、21b、21 cを介して接続されている。また、前記数値制御装置17とパレット11の交換 駆動装置15とはシーケンスコントローラ22を介して接続されている。Reference numeral 17 denotes a numerical control device, which is connected to an input device 18 and a memory 19. The numerical control device 17 and the servo motor 4 for advancing and retracting the column 3, the servo motor 6 for moving the spindle head 5 up and down, and the slide table. 8 are connected to the left and right moving servomotors 9 via pulse distribution circuits 20a, 20b and 20c and drive circuits 21a, 21b and 21c, respectively. The numerical control device 17 and the exchange driving device 15 for the pallet 11 are connected via a sequence controller 22.
【0012】 前記ワークテーブル7の詳細な構成を図2及び図4によって説明する。スライ ドテーブル8はベッド2に平面部と立面部との複数個所のスベリスライド用の案 内面30を介してスライド可能に案内され、この複数個所のスベリスライド用の 案内面30内で平面部の1個所にはローラ31によるコロガリスライドによるも のであり、前記スベリスライドとコロガリスライドとによるハイブリッドスライ ド軸受を構成している。A detailed configuration of the work table 7 will be described with reference to FIGS. 2 and 4. The sliding table 8 is slidably guided to the bed 2 through a plurality of sliding surface inner surfaces 30 of a flat surface portion and an upright surface portion. One of them is the roller slide by the roller 31, and constitutes a hybrid slide bearing by the sliding slide and the roller slide.
【0013】 前記回転テーブル10は、前記スライドテーブル8の中央に立設した支持軸2 3に回転可能に案内され、またスライドテーブル8上の平面部の複数個所のスベ リスライド回転用の案内面25を介して支持されている。スライドテーブル8に はローラ27と、回転テーブル10の割り出し位置でローラ27を案内面25に 押し付けて回転テーブル10を拘束するクランプ用の油圧シリンダ26とが回転 テーブル10の回転方向に複数設けられている。前記回転テーブル10は図示省 略しているモータによりウォーム28とウォームホイール29を介して回転割り 出しされる。The rotary table 10 is rotatably guided by a support shaft 23 provided upright in the center of the slide table 8, and guide surfaces for sliding slide rotation at a plurality of flat portions on the slide table 8. It is supported via 25. The slide table 8 is provided with a plurality of rollers 27 and a plurality of hydraulic cylinders 26 for clamping, which press the rollers 27 against the guide surface 25 at the indexing position of the rotary table 10 to restrain the rotary table 10, in the rotating direction of the rotary table 10. There is. The rotary table 10 is rotationally indexed by a motor (not shown) via a worm 28 and a worm wheel 29.
【0014】 前記パレット11のクランプ部材12は回転テーブル10上に配設されたクラ ンプシリンダ24に設けられている。The clamp member 12 of the pallet 11 is provided on a clamp cylinder 24 arranged on the rotary table 10.
【0015】 そこで、本考案は、ローラ31部に連結されたピストン33を有し、このピス トン33に油圧を加えることによりスライドテーブル8を支持する油圧シリンダ 装置32と、この油圧シリンダ装置32に圧油を供給する油圧源と、前記スライ ドテーブル8の負荷重量を検出する重量検出装置と、この重量検出装置で検出し た重量に応じて前記油圧シリンダ装置32に供給する油圧力を調整する制御装置 とを備えたものである。前記ローラ31と油圧シリンダ装置32はスライドテー ブル8の下面にスライド方向に複数設けられ、ローラ31は案内面30上を転動 する。Therefore, the present invention has a piston 33 connected to the roller 31 and supports the slide table 8 by applying hydraulic pressure to the piston 33, and the hydraulic cylinder device 32 A hydraulic pressure source for supplying pressure oil, a weight detection device for detecting the load weight of the slide table 8, and an oil pressure supplied to the hydraulic cylinder device 32 according to the weight detected by the weight detection device. And a control device. A plurality of the rollers 31 and the hydraulic cylinder device 32 are provided on the lower surface of the slide table 8 in the sliding direction, and the rollers 31 roll on the guide surface 30.
【0016】 前記スライドテーブル8に負荷される荷重を検出する重量検出装置と、この重 量検出装置で検出した重量に応じて前記油圧シリンダ装置32に供給する油圧力 を調整する制御装置の第1実施例について図2により説明する。A weight detection device for detecting the load applied to the slide table 8 and a first control device for adjusting the oil pressure supplied to the hydraulic cylinder device 32 according to the weight detected by the weight detection device. An example will be described with reference to FIG.
【0017】 前記油圧シリンダ装置32は油圧ポンプ34と減圧弁35を介して配管接続さ れている。また、前記回転テーブル10上に設けられたパレット11のクランプ シリンダ24は油圧ポンプ36と第1切換弁37、第2切換弁38を介して配管 接続されている。The hydraulic cylinder device 32 is connected to a hydraulic pump 34 via a pressure reducing valve 35 by piping. The clamp cylinder 24 of the pallet 11 provided on the rotary table 10 is connected to the hydraulic pump 36 via a first switching valve 37 and a second switching valve 38.
【0018】 前記第1切換弁37はクランプ用ポート37aとアンクランプ用ポート37b とを有し、第2切換弁38はクランプ及びアンクランプ用ポート38aと油圧ブ ロック用ポート38bとを有している。The first switching valve 37 has a clamping port 37a and an unclamping port 37b, and the second switching valve 38 has a clamping and unclamping port 38a and a hydraulic block port 38b. There is.
【0019】 前記スライドテーブル8に負荷される荷重を検出する重量検出装置は、前記パ レット11のクランプシリンダ24の油圧配管上に圧力センサ39を設け、前記 第1切換弁37をアンクランプ用ポート37bに切換え、第2切換弁38の油圧 ブロック用ポート38bに切り換えた時のクランプシリンダ24上の重量と釣り 合う圧力を前記圧力センサ39により検知する。尚圧力センサ39に代えてロー ドセルでもよい。この場合、回転テーブル10上にロードセルを設け、このロー ドセルにパレットを載せてパレットの重量を検出する。In the weight detection device for detecting the load applied to the slide table 8, a pressure sensor 39 is provided on the hydraulic pipe of the clamp cylinder 24 of the pallet 11, and the first switching valve 37 is attached to the unclamp port. The pressure sensor 39 detects a pressure that balances the weight on the clamp cylinder 24 when the pressure is switched to 37b and switched to the hydraulic blocking port 38b of the second switching valve 38. A load cell may be used instead of the pressure sensor 39. In this case, a load cell is provided on the rotary table 10, and a pallet is placed on this load cell to detect the weight of the pallet.
【0020】 前記圧力センサ39はアンプ40及びゲート回路41を介して前記制御弁35 と接続され、前記ゲート回路41は前記シーケンスコントローラ22と接続され ている。The pressure sensor 39 is connected to the control valve 35 via an amplifier 40 and a gate circuit 41, and the gate circuit 41 is connected to the sequence controller 22.
【0021】 上記本考案の第1実施例の構造による動作を図3のフローチャートに沿って説 明する。先ず、スライドテーブル8をパレットチェンジャ13のパレット支持台 14a側へ位置決め(ステップ50)する。次いでフック16を前進(ステップ 51)する。その後、第2切換弁38をクランプ及びアンクランプ用ポート38 a側に切換え、また、第1切換弁37はアンクランプ用ポート37b側に切換え てクランプシリンダ24によりパレット11をアンクランプ(ステップ52)し 、フック16にパレット11を係合させる。フック16を後退(ステップ53) してパレット11をパレット支持台14a側へ取り出し、パレット11を支持し たパレット支持台14aは下降(ステップ54)する。この結果、パレット11 とフック16との係合が解除される。The operation of the structure of the first embodiment of the present invention will be described with reference to the flowchart of FIG. First, the slide table 8 is positioned on the pallet support base 14a side of the pallet changer 13 (step 50). Next, the hook 16 is advanced (step 51). Thereafter, the second switching valve 38 is switched to the clamping and unclamping port 38a side, and the first switching valve 37 is switched to the unclamping port 37b side to unclamp the pallet 11 by the clamp cylinder 24 (step 52). Then, the pallet 11 is engaged with the hook 16. The hook 16 is retracted (step 53) to take out the pallet 11 to the pallet support base 14a side, and the pallet support base 14a supporting the pallet 11 is lowered (step 54). As a result, the engagement between the pallet 11 and the hook 16 is released.
【0022】 次にスライドテーブル8をパレットチェンジャ13のパレット支持台14b側 へ位置決め(ステップ55)し、パレット11を支持しているパレット支持台1 4bを上昇(ステップ56)し、パレット11とフック16とを係合させる。次 いでフック16を前進(ステップ57)してパレット支持台14b上のパレット 11を回転テーブル10上に搬入する。Next, the slide table 8 is positioned on the pallet support base 14b side of the pallet changer 13 (step 55), the pallet support base 14b supporting the pallet 11 is raised (step 56), and the pallet 11 and the hooks are hooked. 16 and are engaged. Next, the hook 16 is moved forward (step 57) to carry the pallet 11 on the pallet support base 14b onto the rotary table 10.
【0023】 このパレット11が回転テーブル10上に搬入したところで第2切換弁38を 油圧ブロック用ポート38bに切換えてパレット重量を検出(ステップ58)す る。このパレット重量の検出は、前述の通り第1切換弁37をアンクランプ用ポ ート37bに切換えた状態で、第2切換弁38の油圧ブロック用ポート38bに 切り換えた時のクランプシリンダ24上の重量と釣り合う圧力を圧力センサ39 により検知する。When the pallet 11 is loaded onto the rotary table 10, the second switching valve 38 is switched to the hydraulic block port 38b to detect the pallet weight (step 58). The pallet weight is detected on the clamp cylinder 24 when the pallet weight is switched to the hydraulic block port 38b of the second switching valve 38 with the first switching valve 37 switched to the unclamping port 37b as described above. A pressure sensor 39 detects the pressure that balances the weight.
【0024】 前記圧力センサ39の重量検知信号はアンプ40で増幅してゲート回路41に 送信され、また、シーケンスコントローラ22からゲート回路41に送信される データラッチ信号によりアンプ40からの信号が減圧弁35に入力される。これ により減圧弁35を制御し、ローラ31部の油圧シリンダ装置32へ供給する油 圧力を調整する(ステップ59)。この結果、ローラ31部によってスライドテ ーブル8を支持する重量が変化し、スベリスライド用の案内面30によってスラ イドテーブル8を支持する重量が変化する。すなわち、スベリスライド用の案内 面30の面圧をスライドテーブル8に作用する負荷重量に応じて最適に制御でき る。The weight detection signal of the pressure sensor 39 is amplified by the amplifier 40 and transmitted to the gate circuit 41. Further, the signal from the amplifier 40 is changed by the data latch signal transmitted from the sequence controller 22 to the gate circuit 41. 35 is input. As a result, the pressure reducing valve 35 is controlled to adjust the hydraulic pressure supplied to the hydraulic cylinder device 32 of the roller 31 (step 59). As a result, the weight of the slide table 8 supported by the roller 31 changes, and the weight of the slide table 8 supported by the sliding slide guide surface 30 changes. That is, the surface pressure of the sliding slide guide surface 30 can be optimally controlled according to the load weight acting on the slide table 8.
【0025】 その後、第1切換弁37をクランプ用ポート37aに、また、第2切換弁38 をクランプ及びアンクランプ用ポート38aに切換えてパレット11を回転テー ブル10上にクランプ(ステップ60)し、フック16を後退(ステップ61) してサイクルを完了する。After that, the first switching valve 37 is switched to the clamping port 37a and the second switching valve 38 is switched to the clamping and unclamping port 38a to clamp the pallet 11 on the rotary table 10 (step 60). , The hook 16 is retracted (step 61) to complete the cycle.
【0026】 図4は本考案の第2実施例である。この第2実施例は、ワークテーブル7の構 成及び重量検出装置は前記第1実施例と同一であり、ローラ31部の油圧シリン ダ装置32へ供給する油圧力を調整制御手段にて調整するように変更している。 すなわち、油圧ポンプ34から油圧シリンダ32への配管に、既に圧力P1、P 2、P3を調整した複数個の減圧弁42、43、44を配置し、圧力センサ39 で検知した重量信号に基づいてシーケンスコントローラ17により前記複数個の 減圧弁42、43、44を選択して制御することにより前記第1実施例と同様に ローラ31部の油圧シリンダ装置32へ供給する油圧力を調整してスベリスライ ド用の案内面30の面圧を重量に応じて最適に制御可能とするものである。FIG. 4 shows a second embodiment of the present invention. In the second embodiment, the construction of the work table 7 and the weight detecting device are the same as those in the first embodiment, and the oil pressure supplied to the hydraulic cylinder device 32 of the roller 31 is adjusted by the adjusting control means. Has changed. That is, a plurality of pressure reducing valves 42, 43, and 44, whose pressures P1, P2, and P3 have already been adjusted, are arranged in the pipe from the hydraulic pump 34 to the hydraulic cylinder 32, and based on the weight signal detected by the pressure sensor 39. By selecting and controlling the plurality of pressure reducing valves 42, 43, 44 by the sequence controller 17, the hydraulic pressure to be supplied to the hydraulic cylinder device 32 of the roller 31 is adjusted in the same manner as in the first embodiment. It is possible to optimally control the surface pressure of the guide surface 30 for use according to the weight.
【0027】[0027]
以上のように本考案は、ベッド上にスベリスライドとローラによるコロガリス ライドとからなるハイブリッドスライド軸受を介して直線運動可能に支持したス ライドテーブルにおいて、前記ハイブリッドスライド軸受のローラ部を上下方向 に駆動して前記スライドテーブルを支持する油圧シリンダ装置と、この油圧シリ ンダ装置に圧油を供給する油圧源と、前記スライドテーブルの負荷重量を検出す る重量検出装置と、この重量検出装置で検出した重量に応じて前記油圧シリンダ 装置に供給する油圧力を調整する制御装置とを備えた構成であるから、スライド テーブルの負荷重量、すなわち、ワーク重量に応じてスライドテーブルのスベリ スライド面圧が適性に調整制御され、スライドテーブルの位置決め精度の安定化 及び高速送り加工時の追従性が向上する。 As described above, according to the present invention, in a slide table supported linearly through a hybrid slide bearing composed of a slide slide and a roller slide on a bed, the roller portion of the hybrid slide bearing is driven vertically. And a hydraulic cylinder device that supports the slide table, a hydraulic pressure source that supplies pressure oil to the hydraulic cylinder device, a weight detection device that detects the load weight of the slide table, and a weight detection device that detects the weight. Since the control device adjusts the hydraulic pressure to be supplied to the hydraulic cylinder device according to the weight, the sliding table load weight, that is, the sliding slide surface pressure of the slide table is appropriately adjusted according to the work weight. Adjusted and controlled to stabilize slide table positioning accuracy and high-speed feed It is improved follow-up of the time.
【図1】本考案装置を用いた工作機械の実施例を示す平
面図FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a machine tool using the device of the present invention.
【図2】本考案装置の第1実施例を示す断面図FIG. 2 is a sectional view showing a first embodiment of the device of the present invention.
【図3】本考案装置の動作を示すフローチャートFIG. 3 is a flowchart showing the operation of the device of the present invention.
【図4】本考案装置の第2実施例の要部断面図FIG. 4 is a sectional view of the essential parts of a second embodiment of the device of the present invention.
2 ベッド 8 スライドテーブル 10 回転テーブル 30 スベリスライド用の案内面 31 ローラ 32 油圧シリンダ装置 34 油圧ポンプ 35 減圧弁 39 圧力センサ 2 bed 8 slide table 10 rotary table 30 guide surface for sliding slide 31 roller 32 hydraulic cylinder device 34 hydraulic pump 35 pressure reducing valve 39 pressure sensor
Claims (1)
るコロガリスライドとからなるハイブリッドスライド軸
受を介して直線運動可能に支持したスライドテーブルに
おいて、前記ハイブリッドスライド軸受のローラ部を上
下方向に駆動して前記スライドテーブルを支持する油圧
シリンダ装置と、この油圧シリンダ装置に圧油を供給す
る油圧源と、前記スライドテーブルの負荷重量を検出す
る重量検出装置と、この重量検出装置で検出した重量に
応じて前記油圧シリンダ装置に供給する油圧力を調整す
る制御装置とを備えたことを特徴とする軸受装置。1. A slide table supported on a bed so as to be linearly movable via a hybrid slide bearing consisting of a sliding slide and a roller slide by a roller, and the roller portion of the hybrid slide bearing is driven in the vertical direction to perform the slide. A hydraulic cylinder device that supports the table, a hydraulic source that supplies pressurized oil to the hydraulic cylinder device, a weight detection device that detects the load weight of the slide table, and the hydraulic pressure according to the weight detected by the weight detection device. A bearing device, comprising: a control device that adjusts the hydraulic pressure supplied to the cylinder device.
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JP2592505Y2 JP2592505Y2 (en) | 1999-03-24 |
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- 1992-03-27 JP JP1992025401U patent/JP2592505Y2/en not_active Expired - Fee Related
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018039061A (en) * | 2016-09-05 | 2018-03-15 | ファナック株式会社 | Bellows support structure and slide table device |
US10280976B2 (en) | 2016-09-05 | 2019-05-07 | Fanuc Corporation | Bellows support structure and slide table device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2592505Y2 (en) | 1999-03-24 |
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