JPH0577264U - Drainage treatment tank - Google Patents

Drainage treatment tank

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JPH0577264U JP1577792U JP1577792U JPH0577264U JP H0577264 U JPH0577264 U JP H0577264U JP 1577792 U JP1577792 U JP 1577792U JP 1577792 U JP1577792 U JP 1577792U JP H0577264 U JPH0577264 U JP H0577264U
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正高 桧山
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株式会社アルメックス
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Abstract

(57)【要約】 【目的】液ミストの結晶や塵の再飛散を防止する。 【構成】槽本体(10)内に垂下保持された被処理物
(25)にノズル(15)からエアーを吹付けて液切り
を行う液切処理槽において、両内側壁に接近配設された
複数のガイド(31)を配設するとともに各ガイド板
(31)と内側壁面(11)との間にダウンフロー流路
(34)を形成しかつ槽本体(10)の下方に設けた開
口部(32)と連通する排気装置(30)を設け、被処
理物(25)から除去された液ミスト等をダウンフロー
流路(34)を通して外部に排出する構成とされてい
る。
(57) [Summary] [Purpose] To prevent re-dispersion of liquid mist crystals and dust. [Structure] In a liquid draining treatment tank in which air is blown from a nozzle (15) to an object to be treated (25) suspended and held in a tank main body (10), liquid is disposed close to both inner side walls. An opening provided with a plurality of guides (31) and forming a downflow channel (34) between each guide plate (31) and the inner wall surface (11) and provided below the tank body (10). An exhaust device (30) communicating with (32) is provided to discharge liquid mist and the like removed from the object to be treated (25) to the outside through the downflow channel (34).

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、被処理物にエアーを吹付けて液切りを行う液切処理槽に関する。 The present invention relates to a liquid draining treatment tank for draining liquid by blowing air onto an object to be processed.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior Art]

各種表面処理装置には、いわゆるエアーナイフ使用による液切処理槽が配設さ れているものが多い。 かかる液切処理槽の一般的な従来構造を図2に示す。 同図において、10は槽本体でエアーナイフを形成するためのノズル15,1 5が配設されている。20は搬送枠でハンガー21を介して被処理物25を吊下 保持し、クレーン等で搬送され上方の枠受台22に載置される。 Many of the various surface treatment devices are equipped with a so-called liquid drainage treatment tank using an air knife. A general conventional structure of such a liquid draining treatment tank is shown in FIG. In the figure, reference numeral 10 denotes a tank main body in which nozzles 15 and 15 for forming an air knife are arranged. Reference numeral 20 denotes a transfer frame, which holds and suspends an object to be processed 25 via a hanger 21, and is transferred by a crane or the like and placed on an upper frame support 22.

【0003】 したがって、垂下保持された被処理物25の表裏面にノズル15,15からエ アーを吹付ければ、付着液を簡単かつ迅速に液切りできる。被処理物25に傷損 を与えることもないので、好都合である。液切効果と液切速度とを一段と向上さ せるには、吹付エアー量乃至その流速を高めればよい。Therefore, by spraying the air from the nozzles 15 and 15 on the front and back surfaces of the processing target object 25 which is held down, the attached liquid can be easily and quickly drained. This is convenient because it does not damage the object to be processed 25. In order to further improve the liquid draining effect and the liquid draining speed, the amount of sprayed air or its flow velocity may be increased.

【0004】[0004]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

しかしながら、上記従来構造には、次のような問題点がある。 すなわち、被処理物25から除去された液ミストが両内側壁面11,11およ び底床12に付着しかつ乾燥して結晶化する。また、外部から侵入した塵も堆積 する。一方、ノズル15,15から吐出されたエアーは、槽本体10内を流動し 最終的には上方外部へ排出される。 したがって、ノズル15,15からのエアー吹出量,吹出速度,被処理物25 の形態等によっては、付着結晶や塵が飛散して被処理物25の表裏面に付着して しまう。 However, the above conventional structure has the following problems. That is, the liquid mist removed from the object to be treated 25 adheres to the inner wall surfaces 11 and 11 and the bottom floor 12 and is dried and crystallized. In addition, dust that has entered from the outside also accumulates. On the other hand, the air discharged from the nozzles 15 and 15 flows in the tank body 10 and is finally discharged to the upper outside. Therefore, depending on the amount of air blown from the nozzles 15 and 15, the blowing speed, the form of the object to be processed 25, etc., adhered crystals and dust are scattered and adhere to the front and back surfaces of the object to be processed 25.

【0005】 この付着は、被処理物25あるいは、その後の処理によっては単なる外観劣化 として認められる場合もあるが、例えばプリント配線基板(25)に電着レジス ト処理を施すような場合はその後の露光不良や解像度の低下を誘発することにな るので許されない。This adhesion may be recognized as a mere appearance deterioration depending on the object to be processed 25 or the subsequent processing. For example, when the printed wiring board (25) is subjected to electrodeposition resist processing, It is unacceptable as it will cause poor exposure and reduced resolution.

【0006】 そこで従来は、図2に1点鎖線で示すようにネット19,19を装着している 。しかし、ネット19,19は一時的に有効であるが、頻繁に交換しなければな らないのでコスト高で手間が掛る。また、液ミストの捕集が完全でないので、両 内側壁面11,11に依然として結晶が見られる。床底12にも堆積する。 したがって、これら結晶,堆積物が再飛散してしまうので、上記電着レジスト 処理の如き場合は抜本的対策といい難い。Therefore, conventionally, the nets 19 and 19 are attached as shown by the one-dot chain line in FIG. However, although the nets 19 and 19 are temporarily effective, they must be replaced frequently, which is expensive and time-consuming. Further, since the collection of the liquid mist is not perfect, crystals are still seen on both inner wall surfaces 11, 11. It also deposits on the floor bottom 12. Therefore, since these crystals and deposits are scattered again, it is difficult to say that this is a drastic measure in the case of the above electrodeposition resist treatment.

【0007】 かくして、電着レジスト処理を含む多数の前後処理をいかに慎重に行っても、 液切処理において目視困難な微細の結晶や塵等が付着してしまったのでは、品質 低下を招きかつ歩留りが悪い。Thus, no matter how carefully pre- and post-treatments including the electrodeposition resist treatment are carried out, if fine crystals and dusts which are difficult to see are adhered in the liquid draining treatment, the quality may deteriorate. The yield is bad.

【0008】 本考案の目的は、液ミストの結晶や塵が被処理物に付着することを完全防止で きる液切処理槽を提供することにある。An object of the present invention is to provide a liquid-cutting treatment tank capable of completely preventing liquid mist crystals and dust from adhering to an object to be treated.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

本考案に係る液切処理槽は、槽本体内に垂下保持された被処理物にノズルから エアーを吹付けて液切りを行う液切処理槽において、前記槽本体の両内側壁に接 近されその壁面に向って下降傾斜する複数のガイド板を配設するとともにこれら ガイド板と当該内側壁面との間にダウンフロー流路を形成し、かつ両内側壁面の 下方に設けられた開口部から槽本体内のエアーを外部へ排出する排気装置を設け たことを特徴とする。 The liquid draining treatment tank according to the present invention is a liquid draining treatment tank in which air is blown from a nozzle to an object to be processed that is suspended and held in the tank body, and the liquid draining treatment tank is close to both inner side walls of the tank body. A plurality of guide plates that descend and incline toward the wall surface are arranged, a downflow channel is formed between these guide plates and the inner wall surface, and the tanks are opened from the openings below both inner wall surfaces. It is characterized by the provision of an exhaust device for discharging the air inside the main body to the outside.

【0010】[0010]

【作用】[Action]

上記構成による本考案では、ノズルからエアーを吹付けると被処理物の表面に 付着した処理液が液切れされるとともに、その液ミストはエアーとともに両内側 壁側に流れる。 そして、傾斜配設されたガイド板に案内され内側壁面との間に形成されたダウ ンフロー流路に至る。すると、このダウンフロー流路には排気装置によるダウン フローが形成されているので、槽本体下方の開口部から外部へ排出される。 したがって、ガイド板や内側壁面に液ミスト停滞による結晶が析出しないから 、その結晶による再飛散を防止できる。槽本体内に侵入する塵についても同様で ある。さらに、ノズルから吐出されたエアーは、液ミスト,再飛散結晶の排出用 流れとなって開口部から放出されるので、槽本体上部から枠受台側への逆流飛散 も防止できる。 In the present invention having the above-mentioned configuration, when air is blown from the nozzle, the processing liquid adhering to the surface of the object to be processed is drained, and the liquid mist flows with the air to both inner wall sides. Then, it is guided by the inclined guide plate and reaches the downflow channel formed between the guide plate and the inner wall surface. Then, since a downflow by the exhaust device is formed in the downflow passage, the downflow is discharged to the outside from the opening below the tank body. Therefore, the crystals due to the liquid mist stagnation do not deposit on the guide plate or the inner wall surface, so that re-scattering due to the crystals can be prevented. The same applies to dust that enters the tank body. Furthermore, since the air discharged from the nozzle becomes a flow for discharging liquid mist and re-scattered crystals and is discharged from the opening, backflow scattering from the upper part of the tank body to the frame cradle side can also be prevented.

【0011】[0011]

【実施例】【Example】

以下、本考案の実施例を図1に基づいて説明する。 図1において、槽本体10は被処理物25に電着レジスト処理を行う多数槽の うちの1つで、液切り工程に供される。この実施例における被処理物25は、平 板形状のプリント配線基板とされ、ハンガー21を介して搬送枠20に吊下保持 される。搬送枠20を枠受台22に載置することによって、槽本体10内の所定 位置に垂下保持される。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. In FIG. 1, the tank main body 10 is one of a large number of tanks for subjecting the object to be processed 25 to the electrodeposition resist treatment, and is used in the draining process. The object to be processed 25 in this embodiment is a flat-plate-shaped printed wiring board, and is hung and held by the transport frame 20 via a hanger 21. By placing the transport frame 20 on the frame pedestal 22, it is suspended and held at a predetermined position in the tank body 10.

【0012】 この吊下状態の被処理物25にエアーナイフ形成用のエアーを吹付けるのがノ ズル15であり、各ノズル15,15には、圧搾エアー源(図示省略)から所定 圧で所定流量の圧搾エアーが供給される。したがって、被処理物25の表裏面に 付着した処理液を迅速かつ高効率で液切りできる。The nozzle 15 blows air for forming an air knife onto the suspended object 25 to be processed, and each nozzle 15, 15 is supplied with a predetermined pressure from a compressed air source (not shown). A flow of compressed air is supplied. Therefore, the processing liquid adhering to the front and back surfaces of the object to be processed 25 can be drained quickly and highly efficiently.

【0013】 ここに、槽本体10の両内側壁の近くには、内側壁面11,11に向って下降 傾斜する複数のガイド板31が設けられている。これらガイド板31は、左右そ れぞれにユニット化されており、槽外へ取出して清浄できる。 各ガイド板31の役割は、第1に被処理物25から除去された液ミストを含む エアー流を槽本体10内で再環流させることなく内側壁面11側に導くこと、第 2に底床12側からはねかえったエアー流の上昇流を妨げかつ内側壁面11へ方 向転換させること、第3に槽本体10の上方から侵入する塵を内側壁面11側に 導くことである。Here, a plurality of guide plates 31 that are inclined downward toward the inner wall surfaces 11, 11 are provided near both inner side walls of the tank body 10. These guide plates 31 are unitized on the left and right, and can be taken out of the tank and cleaned. The role of each guide plate 31 is to first guide the air flow containing the liquid mist removed from the object to be treated 25 to the inner wall surface 11 side without recirculating in the tank body 10, and secondly to the bottom floor 12. It is to prevent the upward flow of the air flow repelled from the side and redirect the air to the inner wall surface 11, and thirdly, to guide the dust entering from the upper part of the tank body 10 to the inner wall surface 11 side.

【0014】 そして、これらガイド板31と内側壁面11,11との間には、ダウンフロー 流路34,34が形成されている。したがって、内側壁面11側に導かれた液ミ ストや塵は、下方に落下する。Downflow channels 34, 34 are formed between the guide plate 31 and the inner wall surfaces 11, 11. Therefore, the liquid mist and dust guided to the inner wall surface 11 side falls downward.

【0015】 しかも、ダウンフロー流路34,34は、槽本体10の下方側に設けられた開 口部32,32に連通され、かつ排気装置30によって強制吸引流が形成されて いる。したがって、液ミストは各ガイド板31や内側壁面11に停滞して結晶化 することがない。また、塵も堆積しない。Moreover, the downflow channels 34, 34 are connected to the openings 32, 32 provided on the lower side of the tank body 10, and the exhaust device 30 forms a forced suction flow. Therefore, the liquid mist does not stay in each guide plate 31 or the inner wall surface 11 and crystallize. Also, no dust is deposited.

【0016】 次に、排気装置30は、開口部32,32を囲むダクト33,33と排気ファ ン35とからなり、この実施例では搬送枠20が枠受台22に載置されたことを 条件に排気動作するものと形成されている。排気ファン35からの排出は、適所 に配設された空気清浄器(図示省略)で処理され、大気放出される。Next, the exhaust device 30 is composed of ducts 33, 33 surrounding the openings 32, 32 and an exhaust fan 35. In this embodiment, the transport frame 20 is mounted on the frame pedestal 22. It is formed so as to perform exhaust operation under the conditions. The discharge from the exhaust fan 35 is processed by an air purifier (not shown) arranged in a proper place, and is discharged to the atmosphere.

【0017】 さらに、この実施例では、結晶や塵の再飛散防止の一層の完壁化から、槽底( 12)に水張(W)している。したがって、被処理物25から直接的に落下し、 あるいは内側壁面11,11側から間接的に落下した液ミスト,結晶あるいは塵 を、水中に吸収できる。Further, in this embodiment, the bottom (12) of the tank is water-filled (W) in order to complete the prevention of re-scattering of crystals and dust. Therefore, liquid mist, crystals, or dust that has fallen directly from the object to be treated 25 or indirectly dropped from the inner wall surfaces 11 and 11 can be absorbed in water.

【0018】 かかる構成の本実施例では、搬送枠20を枠受台22に載置し被処理物25を 所定位置に吊下保持すると、排気ファン35が駆動される。各ガイド板31には 傾斜下降流が形成され、ダウンフロー流路34には開口部32,ダクト33に向 うダウンフローが形成される。In the present embodiment having such a configuration, when the transport frame 20 is placed on the frame pedestal 22 and the workpiece 25 is suspended and held at a predetermined position, the exhaust fan 35 is driven. An inclined downflow is formed in each guide plate 31, and a downflow toward the opening 32 and the duct 33 is formed in the downflow passage 34.

【0019】 ここに、ノズル15,15からエアーを吹付けて被処理物25の表裏面の液切 りを行う。除去された液ミストは槽内壁側に流れ、ガイド板31を通しダウンフ ロー流路34内を下降し開口部32に至る。そして、ダクト33を通して排出さ れる。槽本体10の上方から侵入した塵は、直接的にダウンフロー流路34側に 吸込される。また、底床12方向に流れた液ミスト等は水張された水中に回収さ れる。Here, air is blown from the nozzles 15 and 15 to drain the front and back surfaces of the object 25 to be processed. The removed liquid mist flows toward the inner wall of the tank, passes through the guide plate 31 and descends in the down flow passage 34 to reach the opening 32. Then, it is discharged through the duct 33. The dust that has entered from above the tank body 10 is directly sucked into the downflow channel 34 side. Further, the liquid mist or the like flowing toward the bottom floor 12 is collected in the water filled with water.

【0020】 しかして、この実施例によれば、両内側壁に接近配設された複数のガイド31 を配設するとともに各ガイド板31と内側壁面11との間にダウンフロー流路3 4を形成しかつ槽本体10の下方に設けた開口部32と連通する排気装置30を 設け、被処理物25から除去された液ミストをダウンフロー流路34を通して外 部に排出する構成とされているので、内側壁面11に液ミストが付着停滞して結 晶化することを防止でき、上方から侵入した塵が堆積することも防止できる。よ って、結晶や塵が直接的かつ再飛散によって被処理物25に付着することを完全 に防止でき、高品質製品を歩留りよく生産できコストも低減できる。Therefore, according to this embodiment, the plurality of guides 31 arranged close to both inner side walls are arranged, and the downflow channel 34 is formed between each guide plate 31 and the inner side wall 11. An exhaust device 30 that is formed and communicates with an opening 32 provided below the tank body 10 is provided, and the liquid mist removed from the object to be treated 25 is discharged to the outside through the downflow channel 34. Therefore, it is possible to prevent the liquid mist from adhering and stagnating on the inner wall surface 11 and crystallizing, and it is also possible to prevent the dust that has entered from above from accumulating. Therefore, it is possible to completely prevent the crystals and dust from directly and re-scattering to adhere to the object to be treated 25, and it is possible to produce a high quality product with a high yield and reduce the cost.

【0021】 また、左右の各ガイド板31はユニット化されているので、槽本体10から取 外して簡単に清浄できる。したがって、常にダウンフロー流路34への導風を効 率よく行える。Further, since the left and right guide plates 31 are unitized, they can be easily cleaned by removing them from the tank body 10. Therefore, it is possible to efficiently guide the air to the downflow channel 34 efficiently.

【0022】 また、排気装置30は、搬送枠20を枠受台22に載置したことを条件に駆動 されるので、無駄な電力消費が生じない。Further, since the exhaust device 30 is driven under the condition that the carrier frame 20 is placed on the frame receiving base 22, no wasteful power consumption occurs.

【0023】 さらに、底床12に水張(W)しているので、下方に落下した塵や結晶は水中 に回収される。よって、再飛散を一段と確実に防止できる。Furthermore, since the bottom floor 12 is water-filled (W), dust and crystals that have dropped downward are collected in water. Therefore, re-scattering can be prevented more reliably.

【0024】 なお、電着レジスト処理について開示したが、本考案は、例えば電気メッキ等 の他の表面処理装置の液切処理槽にもそのまま適用される。Although the electrodeposition resist treatment has been disclosed, the present invention can be directly applied to a drainage treatment tank of another surface treatment apparatus such as electroplating.

【0025】[0025]

【考案の効果】[Effect of the device]

本考案によれば、両内側壁に接近配設された複数のガイドを配設するとともに 各ガイド板と内側壁面との間にダウンフロー流路を形成しかつ槽本体の下方に設 けた開口部と連通する排気装置を設け、被処理物から除去された液ミストはダウ ンフロー流路を通して外部に排出する構成とされているので、内側壁面に液ミス トが付着停滞して結晶化することを防止でき、上方から侵入した塵が堆積するこ とも防止できる。よって、結晶や塵が直接的かつ再飛散によって被処理物に付着 することを完全に防止でき、高品質製品を歩留りよく生産できコストも低減でき る。 According to the present invention, a plurality of guides disposed close to both inner side walls are arranged, a downflow channel is formed between each guide plate and the inner wall surface, and an opening provided below the tank body. An exhaust device that communicates with the liquid mist is provided so that the liquid mist removed from the material to be processed is discharged to the outside through the downflow passage, so that the liquid mist does not adhere to the inner wall surface and stays crystallization. It is also possible to prevent dust that has entered from above from accumulating. Therefore, it is possible to completely prevent the crystals and dust from directly and re-scattering to adhere to the object to be processed, and it is possible to produce a high quality product with a high yield and reduce the cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案の実施例を説明するための図である。FIG. 1 is a diagram for explaining an embodiment of the present invention.

【図2】従来例を説明するための図である。FIG. 2 is a diagram for explaining a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 槽本体 11 内側壁面 12 底床 15 ノズル 20 搬送枠 22 枠受台 30 排気装置 31 ガイド板 32 開口部 33 ダクト 34 ダウンフロー流路 10 Tank Main Body 11 Inner Wall Surface 12 Bottom Floor 15 Nozzle 20 Transport Frame 22 Frame Cradle 30 Exhaust Device 31 Guide Plate 32 Opening 33 Duct 34 Downflow Channel

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 槽本体内に垂下保持された被処理物にノ
ズルからエアーを吹付けて液切りを行う液切処理槽にお
いて、 前記槽本体の両内側壁に接近されその壁面に向って下降
傾斜する複数のガイド板を配設するとともにこれらガイ
ド板と当該内側壁面との間にダウンフロー流路を形成
し、かつ両内側壁面の下方に設けられた開口部から槽本
体内のエアーを外部へ排出する排気装置を設けたことを
特徴とする液切処理槽。
1. A liquid-cutting treatment tank in which air is blown from a nozzle to a workpiece to be drooped and held in the tank main body to drain the liquid, in which both inner side walls of the tank main body are approached and descend toward the wall surface. A plurality of sloping guide plates are arranged, a downflow flow path is formed between these guide plates and the inner wall surface, and the air in the tank main body is discharged from the openings provided below both inner wall surfaces. A liquid draining treatment tank, which is provided with an exhaust device for discharging the liquid to.
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