JPH0574914A - 処理装置 - Google Patents
処理装置Info
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- JPH0574914A JPH0574914A JP25863491A JP25863491A JPH0574914A JP H0574914 A JPH0574914 A JP H0574914A JP 25863491 A JP25863491 A JP 25863491A JP 25863491 A JP25863491 A JP 25863491A JP H0574914 A JPH0574914 A JP H0574914A
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- JP
- Japan
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- transmission
- signal
- energy
- window
- physical quantity
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 処理室を形成する隔離壁を貫通させる貫通端
子の使用数を減少し、あるいは使用をやめることにより
気密維持を容易にすること。 【構成】 処理室１を形成する隔離壁２に近赤外線の伝
送信号１０３の透過を許す部材で構成された透過窓３を
形成すると共に処理室１内の熱電対７，８で検出した温
度信号１０１を近赤外線の伝送信号１０３に変換して該
透過窓３を通して外部に送出する室内送信器１１と、透
過窓３を透過した前記伝送信号１０３を外部で受信して
温度表示用信号１０６を得る外部受信器１４を設けるこ
とにより、隔離壁２の貫通端子を廃止して処理室と外部
の間の気密性の劣化を防止した。
子の使用数を減少し、あるいは使用をやめることにより
気密維持を容易にすること。 【構成】 処理室１を形成する隔離壁２に近赤外線の伝
送信号１０３の透過を許す部材で構成された透過窓３を
形成すると共に処理室１内の熱電対７，８で検出した温
度信号１０１を近赤外線の伝送信号１０３に変換して該
透過窓３を通して外部に送出する室内送信器１１と、透
過窓３を透過した前記伝送信号１０３を外部で受信して
温度表示用信号１０６を得る外部受信器１４を設けるこ
とにより、隔離壁２の貫通端子を廃止して処理室と外部
の間の気密性の劣化を防止した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、外部雰囲気から隔離さ
れた気密の処理室を備えた処理装置に係り、特に前記処
理室内の雰囲気の温度，圧力やウエハなどの被処理物の
処理温度，処理電圧，処理電流などの物理量の検出及び
該処理室内への電力供給に関する。
れた気密の処理室を備えた処理装置に係り、特に前記処
理室内の雰囲気の温度，圧力やウエハなどの被処理物の
処理温度，処理電圧，処理電流などの物理量の検出及び
該処理室内への電力供給に関する。
【０００２】
【従来の技術】ウエハ処理装置などにおいて、処理室内
の前記したような物理量を検出する検出手段への電力供
給や検出信号の取り出しは、例えば、実開平２−４２３
７号公報に記載されているように、該処理室を形成する
隔離壁を貫通する貫通端子を介して行っている。処理室
内の雰囲気は外部の雰囲気と異なる条件であるので、前
記貫通端子はシール材によつて気密に取り付けられる。
の前記したような物理量を検出する検出手段への電力供
給や検出信号の取り出しは、例えば、実開平２−４２３
７号公報に記載されているように、該処理室を形成する
隔離壁を貫通する貫通端子を介して行っている。処理室
内の雰囲気は外部の雰囲気と異なる条件であるので、前
記貫通端子はシール材によつて気密に取り付けられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような処理装置に
おいて、隔離壁に複数の貫通端子を設けると高い気密性
を維持することが困難であり、シール材が劣化して漏洩
が発生した場合には漏洩個所の発見が困難で、その補修
に時間がかかる問題がある。
おいて、隔離壁に複数の貫通端子を設けると高い気密性
を維持することが困難であり、シール材が劣化して漏洩
が発生した場合には漏洩個所の発見が困難で、その補修
に時間がかかる問題がある。
【０００４】従って本発明の目的は、貫通端子の使用数
を減少し、あるいは使用をやめることにより気密維持を
容易にすることにある。
を減少し、あるいは使用をやめることにより気密維持を
容易にすることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、この目的を達
成するために、隔離壁により外部から気密に隔離された
処理室と、該処理室内に設置された物理量検出手段とを
備えた処理装置において、前記隔離壁に設けられ伝送エ
ネルギーの透過を許す部材で構成された透過窓と、前記
物理量検出手段で検出した検出信号を信号伝送エネルギ
ーに変換して前記透過窓を通して外部に送出する室内送
信手段と、外部に設けられ前記透過窓を透過した前記信
号伝送エネルギーを受信して物理量検出信号を得る外部
受信手段とを設けたことを特徴とする。
成するために、隔離壁により外部から気密に隔離された
処理室と、該処理室内に設置された物理量検出手段とを
備えた処理装置において、前記隔離壁に設けられ伝送エ
ネルギーの透過を許す部材で構成された透過窓と、前記
物理量検出手段で検出した検出信号を信号伝送エネルギ
ーに変換して前記透過窓を通して外部に送出する室内送
信手段と、外部に設けられ前記透過窓を透過した前記信
号伝送エネルギーを受信して物理量検出信号を得る外部
受信手段とを設けたことを特徴とする。
【０００６】
【作用】処理室内で得た検出信号は透過窓を透過する伝
送エネルギーの形で該透過窓を透過させて外部に伝送さ
れるので、隔離壁に貫通端子を設ける必要がなくなり処
理室と外部の間の気密性を劣化させることがない。
送エネルギーの形で該透過窓を透過させて外部に伝送さ
れるので、隔離壁に貫通端子を設ける必要がなくなり処
理室と外部の間の気密性を劣化させることがない。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。図１はマイクロ波プラズマを用いてウエハをエ
ッチングするドライエッチングウエハ処理装置の構成図
である。該処理装置は、ウエハとステージの温度を大気
雰囲気中（外部）のモニタでモニタ事項を指示しながら
監視する構成である。
明する。図１はマイクロ波プラズマを用いてウエハをエ
ッチングするドライエッチングウエハ処理装置の構成図
である。該処理装置は、ウエハとステージの温度を大気
雰囲気中（外部）のモニタでモニタ事項を指示しながら
監視する構成である。
【０００８】該処理装置は、処理室１を形成する隔離壁
２に、該処理室内を目視し或いは信号伝送用の近赤外線
と可視光線を透過する石英や樹脂などで気密に形成した
信号伝送透過窓３と、電力供給のためにアルミニウムな
どの非磁性材料で気密に形成した電力伝送透過窓４を備
える。そして、該処理室１内には被処理物であるウエハ
５を載置するステージ６が設けられ、該ステージ６には
前記ウエハ５の温度を電気信号（ウエハ温度信号）に変
換するウエハ熱電対７と該ステージ６の温度を電気信号
（ステージ温度信号）に変換するステージ熱電対８が設
けられる。更に、該処理室１内には検出信号として出力
すべき熱電対７，８の温度信号を選択する熱電対選択器
９と、該熱電対選択器９から出力される温度信号１０１
を増幅して温度検出信号１０２にする増幅器１０と、該
温度検出信号１０２を近赤外線の伝送信号１０３に変換
して前記信号伝送透過窓３を通して外部に送出する室内
送信器１１と、外部から前記信号伝送透過窓３を通して
入力される温度信号選択用の近赤外線の伝送信号１０４
を受信して熱電対選択信号１０５を作成する室内受信器
１２と、前記電力伝送透過窓４を通して入力さる交番磁
束を電力に変換する室内電源１３とが設けられている。
２に、該処理室内を目視し或いは信号伝送用の近赤外線
と可視光線を透過する石英や樹脂などで気密に形成した
信号伝送透過窓３と、電力供給のためにアルミニウムな
どの非磁性材料で気密に形成した電力伝送透過窓４を備
える。そして、該処理室１内には被処理物であるウエハ
５を載置するステージ６が設けられ、該ステージ６には
前記ウエハ５の温度を電気信号（ウエハ温度信号）に変
換するウエハ熱電対７と該ステージ６の温度を電気信号
（ステージ温度信号）に変換するステージ熱電対８が設
けられる。更に、該処理室１内には検出信号として出力
すべき熱電対７，８の温度信号を選択する熱電対選択器
９と、該熱電対選択器９から出力される温度信号１０１
を増幅して温度検出信号１０２にする増幅器１０と、該
温度検出信号１０２を近赤外線の伝送信号１０３に変換
して前記信号伝送透過窓３を通して外部に送出する室内
送信器１１と、外部から前記信号伝送透過窓３を通して
入力される温度信号選択用の近赤外線の伝送信号１０４
を受信して熱電対選択信号１０５を作成する室内受信器
１２と、前記電力伝送透過窓４を通して入力さる交番磁
束を電力に変換する室内電源１３とが設けられている。
【０００９】前記室内送信器１１は、温度に応じた大き
さの電圧の温度検出信号１０２を該電圧の大きさに応じ
た周波数の信号に変換するＶＦコンバータ１１ａと、該
信号の周波数で断続する駆動電流を発生するドライブ回
路１１ｂと、前記駆動電流に付勢されて断続する前記近
赤外線の伝送信号１０３を発生する発光素子１１ｃとを
備える。また、室内受信器１２は、前記信号伝送透過窓
３を通して入力された伝送信号１０４を受信して電気信
号に光電変換する受光素子１２ａと、該電気信号を増幅
して前記熱電対選択信号１０５を作成する増幅器１２ｂ
を備える。そして、前記室内電源装置１３は、電力伝送
透過窓４に近接して設けた２次側磁性材コア１３ａに巻
回した２次巻線１３ｂと、該２次巻線１３ｂに誘起した
交流電圧を整流して平滑な直流電源電圧にする整流平滑
回路１３ｃと、電圧安定化回路１３ｄとを備え、該直流
電源電圧を前記熱電対選択器９と増幅器１０と室内送信
器１１と室内受信器１２に供給する。
さの電圧の温度検出信号１０２を該電圧の大きさに応じ
た周波数の信号に変換するＶＦコンバータ１１ａと、該
信号の周波数で断続する駆動電流を発生するドライブ回
路１１ｂと、前記駆動電流に付勢されて断続する前記近
赤外線の伝送信号１０３を発生する発光素子１１ｃとを
備える。また、室内受信器１２は、前記信号伝送透過窓
３を通して入力された伝送信号１０４を受信して電気信
号に光電変換する受光素子１２ａと、該電気信号を増幅
して前記熱電対選択信号１０５を作成する増幅器１２ｂ
を備える。そして、前記室内電源装置１３は、電力伝送
透過窓４に近接して設けた２次側磁性材コア１３ａに巻
回した２次巻線１３ｂと、該２次巻線１３ｂに誘起した
交流電圧を整流して平滑な直流電源電圧にする整流平滑
回路１３ｃと、電圧安定化回路１３ｄとを備え、該直流
電源電圧を前記熱電対選択器９と増幅器１０と室内送信
器１１と室内受信器１２に供給する。
【００１０】前記室内送信器１１から信号伝送透過窓３
を通して送出された伝送信号１０３を受信する外部受信
器１４は、受信した伝送信号１０３を電気信号に光電変
換する受光素子１４ａと、該電気信号を温度表示用信号
１０６に変換するＦＶコンバータ１４ｂを備える。温度
表示器１５は前記温度表示用信号１０６に基づいた温度
表示を行う。
を通して送出された伝送信号１０３を受信する外部受信
器１４は、受信した伝送信号１０３を電気信号に光電変
換する受光素子１４ａと、該電気信号を温度表示用信号
１０６に変換するＦＶコンバータ１４ｂを備える。温度
表示器１５は前記温度表示用信号１０６に基づいた温度
表示を行う。
【００１１】外部送信器１６は、表示すべきモニタ事項
（ここでは温度表示する熱電対７，８の選択）を指示す
るモニタ指示器１７からの選択指示信号を増幅するドラ
イブ回路１６ａと、該ドライブ回路１６ａに駆動されて
近赤外線の前記伝送信号１０４を出力する発光素子１６
ｂを備える。
（ここでは温度表示する熱電対７，８の選択）を指示す
るモニタ指示器１７からの選択指示信号を増幅するドラ
イブ回路１６ａと、該ドライブ回路１６ａに駆動されて
近赤外線の前記伝送信号１０４を出力する発光素子１６
ｂを備える。
【００１２】そして、外部電源１８は、前記電力伝送透
過窓４に近接し且つ前記２次側磁性材コア１３ａに対向
して設けた１次側磁性材コア１８ａと、該１次側磁性材
コア１８ａに巻回した１次巻線１８ｂを備え、該１次巻
線１８ｂに商用交流電源を接続して発生した交番磁束を
前記電力伝送透過窓４を通して前記室内電源装置１３の
２次側磁性材コア１３ａに供給する。
過窓４に近接し且つ前記２次側磁性材コア１３ａに対向
して設けた１次側磁性材コア１８ａと、該１次側磁性材
コア１８ａに巻回した１次巻線１８ｂを備え、該１次巻
線１８ｂに商用交流電源を接続して発生した交番磁束を
前記電力伝送透過窓４を通して前記室内電源装置１３の
２次側磁性材コア１３ａに供給する。
【００１３】前記発光素子１１ｃと受光素子１４ａ及び
発光素子１６ｂと受光素子１２ａは信号伝送透過窓３を
挾んで直接対向するように設置したが、これらの各素子
と信号伝送透過窓３の間に光ファイバを介在させてもよ
い。
発光素子１６ｂと受光素子１２ａは信号伝送透過窓３を
挾んで直接対向するように設置したが、これらの各素子
と信号伝送透過窓３の間に光ファイバを介在させてもよ
い。
【００１４】以上のような構成の処理装置において、処
理室１内のステージ６にはウエハ５が載置され、マイク
ロ波プラズマによつてエッチングされ、そして該処理室
１内の状況は信号伝送透過窓３を通して目視で監視され
る。
理室１内のステージ６にはウエハ５が載置され、マイク
ロ波プラズマによつてエッチングされ、そして該処理室
１内の状況は信号伝送透過窓３を通して目視で監視され
る。
【００１５】このときのウエハ５の温度をモニタ（表
示）したい場合には、外部のモニタ指示器１７を操作し
て熱電対選択器９がウエハ熱電対７から出力されるウエ
ハ温度信号を選択するように指示する。この指示操作に
より、外部送信器１６のドライブ回路１６ａは該モニタ
指示器１７からのウエハ温度信号選択を指示する指示信
号に基づいて発光素子１６ｂを駆動して近赤外線の伝送
信号１０４を発生し、該伝送信号１０４を信号伝送透過
窓３を通して内部受信器１２に入力する。該伝送信号１
０４を受信した室内受信器１２は受光素子１２ａによつ
て該近赤外線の伝送信号１０４を電気信号に光電変換
し、該電気信号を増幅器１２ｂで増幅して熱電対選択信
号１０５を発生する。熱電対選択器９は該熱電対選択信
号１０５に応じてウエハ熱電対７からのウエハ温度信号
を選択して通過させる。これによりウエハ熱電対７から
のウエハ温度信号が温度信号１０１となり、増幅器１０
は該温度信号１０１を増幅して温度検出信号１０２と
し、該室内送信器１１により伝送信号１０３として送出
する。
示）したい場合には、外部のモニタ指示器１７を操作し
て熱電対選択器９がウエハ熱電対７から出力されるウエ
ハ温度信号を選択するように指示する。この指示操作に
より、外部送信器１６のドライブ回路１６ａは該モニタ
指示器１７からのウエハ温度信号選択を指示する指示信
号に基づいて発光素子１６ｂを駆動して近赤外線の伝送
信号１０４を発生し、該伝送信号１０４を信号伝送透過
窓３を通して内部受信器１２に入力する。該伝送信号１
０４を受信した室内受信器１２は受光素子１２ａによつ
て該近赤外線の伝送信号１０４を電気信号に光電変換
し、該電気信号を増幅器１２ｂで増幅して熱電対選択信
号１０５を発生する。熱電対選択器９は該熱電対選択信
号１０５に応じてウエハ熱電対７からのウエハ温度信号
を選択して通過させる。これによりウエハ熱電対７から
のウエハ温度信号が温度信号１０１となり、増幅器１０
は該温度信号１０１を増幅して温度検出信号１０２と
し、該室内送信器１１により伝送信号１０３として送出
する。
【００１６】該伝送信号１０３を受信した外部受信器１
４は、受光素子１４ａで該伝送信号１０３を電気信号に
変換し、ＦＶコンバータ１４ｂで温度表示用信号１０６
に変換して温度表示器１５でウエハ５の温度として表示
する。
４は、受光素子１４ａで該伝送信号１０３を電気信号に
変換し、ＦＶコンバータ１４ｂで温度表示用信号１０６
に変換して温度表示器１５でウエハ５の温度として表示
する。
【００１７】モニタ指示器１７からの指示がステージ温
度の表示である場合には、同様にして、熱電対選択器９
がステージ熱電対８からのステージ温度信号を通過させ
て温度信号１０１とし、該温度信号を温度表示器１５に
伝達してステージ温度として表示する。
度の表示である場合には、同様にして、熱電対選択器９
がステージ熱電対８からのステージ温度信号を通過させ
て温度信号１０１とし、該温度信号を温度表示器１５に
伝達してステージ温度として表示する。
【００１８】以上のような処理装置によれば、外部から
処理室１内への指示信号の伝達や該処理室１内から外部
への検出信号の伝達および該処理室１内への電源の供給
は、該処理室１を形成する隔離壁２に貫通端子を取付け
ることなく行うことができるので、処理室１の高い気密
性を維持することが容易となる。
処理室１内への指示信号の伝達や該処理室１内から外部
への検出信号の伝達および該処理室１内への電源の供給
は、該処理室１を形成する隔離壁２に貫通端子を取付け
ることなく行うことができるので、処理室１の高い気密
性を維持することが容易となる。
【００１９】なお、上記実施例において信号伝達は近赤
外線エネルギーを使用したが、可視光線，電磁波，磁束
などを使用することも可能であり、電力供給も赤外線，
可視光線，電磁波などを使用して行うことができる。
外線エネルギーを使用したが、可視光線，電磁波，磁束
などを使用することも可能であり、電力供給も赤外線，
可視光線，電磁波などを使用して行うことができる。
【００２０】そして、指示信号や検出信号の伝達は温度
検出以外の室内圧力，処理電圧，処理電流検出などにつ
いても同様に行うことができ、これらの指示信号や検出
信号を時分割で直列伝送し、或いは並列に設置して並列
伝送することができる。
検出以外の室内圧力，処理電圧，処理電流検出などにつ
いても同様に行うことができ、これらの指示信号や検出
信号を時分割で直列伝送し、或いは並列に設置して並列
伝送することができる。
【００２１】また、処理室１内の消費電力が小さい場合
には処理室１内に太陽電池を設置してこれを電源として
使用することも可能である。
には処理室１内に太陽電池を設置してこれを電源として
使用することも可能である。
【００２２】
【発明の効果】以上のように本発明は、処理室内で得た
検出信号を透過窓を透過する伝送エネルギーの形で該透
過窓を透過して外部に伝送するので、隔離壁に貫通端子
を設ける必要性がなくなり処理室と外部の間の気密性を
劣化させることがなく、高い気密性を維持することが容
易となる。
検出信号を透過窓を透過する伝送エネルギーの形で該透
過窓を透過して外部に伝送するので、隔離壁に貫通端子
を設ける必要性がなくなり処理室と外部の間の気密性を
劣化させることがなく、高い気密性を維持することが容
易となる。
【図１】本発明になるウエハ処理装置の構成図である。
１ 処理室 ２ 隔離壁 ３ 信号伝送透過窓 ４ 電力伝送透過窓 ５ ウエハ ６ ステージ ７ ウエハ熱電対 ８ ステージ熱電対 ９ 熱電対選択器 １１ 室内送信器 １２ 室内受信器 １３ 室内電源 １４ 外部受信器 １５ 温度表示器 １６ 外部送信器 １７ モニタ指示器 １８ 外部電源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西畑 廣治 山口県下松市大字東豊井794番地 株式会 社日立製作所笠戸工場内 (72)発明者 坪根 恒彦 山口県下松市大字東豊井794番地 株式会 社日立製作所笠戸工場内 (72)発明者 大平原 勇造 山口県下松市大字東豊井794番地 株式会 社日立製作所笠戸工場内
Claims (9)
- 【請求項１】 隔離壁により外部から気密に隔離された
処理室と、該処理室内に設置された物理量検出手段とを
備えた処理装置において、 前記隔離壁に設けられ伝送エネルギーの透過を許す部材
で構成された透過窓と、前記物理量検出手段で検出した
検出信号を信号伝送エネルギーに変換して前記透過窓を
通して外部に送出する室内送信手段と、 外部に設けられ前記透過窓を透過した前記信号伝送エネ
ルギーを受信して物理量検出信号を得る外部受信手段と
を設けたことを特徴とする処理装置。 - 【請求項２】 請求項１において、前記透過窓を構成す
る部材は光線を透過する部材であることを特徴とする処
理装置。 - 【請求項３】 請求項１において、前記透過窓を構成す
る部材として石英または樹脂を使用し、前記信号伝送エ
ネルギーとして光線を使用したことを特徴とする処理装
置。 - 【請求項４】 隔離壁により外部から気密に隔離された
処理室と、該処理室内に設置された物理量検出手段と、
外部に設置され前記物理量検出手段を制御して所望の検
出信号を得る外部手段とを備えた処理装置において、 前記隔離壁は伝送エネルギーの透過を許す部材で構成さ
れた透過窓を備え、 前記物理量検出手段は、検出した検出信号を検出信号伝
送エネルギーに変換して前記透過窓を通して外部に伝送
する室内送信手段と、外部から伝送される制御指示信号
伝送エネルギーを受信して該物理量検出手段を制御する
制御信号を得る室内受信手段とを備え、 前記外部手段は、前記透過窓を透過した前記検出信号伝
送エネルギーを受信して物理量検出信号を得る外部受信
手段と、制御指示信号を制御指示信号伝送エネルギーに
変換して前記透過窓を通して処理室内に伝送する外部送
信手段とを備えたことを特徴とする処理装置。 - 【請求項５】 請求項４において、前記透過窓を構成す
る部材は、可視光線を透過する部材であることを特徴と
する処理装置。 - 【請求項６】 隔離壁により外部から気密に隔離された
処理室と、該処理室内に設置された物理量検出手段と、
外部に設置され前記物理量検出手段を制御して所望の検
出信号を得る外部手段と、前記物理量検出手段に電力を
供給する電源手段を備えた処理装置において、 前記隔離壁は伝送エネルギーの透過を許す部材で構成さ
れた透過窓を備え、 前記物理量検出手段は、検出した検出信号を検出信号伝
送エネルギーに変換して前記透過窓を通して外部に伝送
する室内送信手段と、外部から伝送される制御指示信号
伝送エネルギーを受信して該物理量検出手段を制御する
指示信号を得る室内受信手段とを備え、 前記外部手段は、前記透過窓を透過した前記検出信号伝
送エネルギーを受信して物理量検出信号を得る外部受信
手段と、制御指示信号を前記制御指示信号伝送エネルギ
ーに変換して前記透過窓を通して処理室内に伝送する外
部送信手段とを備え、 前記電源手段は、供給すべき電力を電力伝送エネルギー
に変換して前記透過窓を通して処理室内に伝送する外部
電源手段と、前記透過窓を透過した電力伝送エネルギー
を受信して電力を得て前記物理量検出手段に供給する内
部電源手段とを備えたことを特徴とする処理装置。 - 【請求項７】 請求項６において、前記信号伝送エネル
ギーとして光線を使用し、電力伝送エネルギーとして磁
束を使用したことを特徴とする処理装置。 - 【請求項８】 請求項６において、前記透過窓は信号伝
送透過窓と電力伝送透過窓を備え、前記信号伝送エネル
ギーとしては光線を使用して前記信号伝送透過窓を透過
させ、前記電力伝送エネルギーとしては磁束を使用して
前記電力伝送透過窓を透過させることを特徴とする処理
装置。 - 【請求項９】 請求項８において、前記信号伝送透過窓
は石英または樹脂で構成されたことを特徴とする処理装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25863491A JPH0574914A (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | 処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25863491A JPH0574914A (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | 処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0574914A true JPH0574914A (ja) | 1993-03-26 |
Family
ID=17322998
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25863491A Pending JPH0574914A (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | 処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0574914A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005052526A1 (ja) * | 2003-11-25 | 2005-06-09 | Digital-Network Corporation | 半導体ウェハーの温度測定方法及びその装置 |
-
1991
- 1991-09-11 JP JP25863491A patent/JPH0574914A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005052526A1 (ja) * | 2003-11-25 | 2005-06-09 | Digital-Network Corporation | 半導体ウェハーの温度測定方法及びその装置 |
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