JPH0569256A - Multiaxis airslide table - Google Patents

Multiaxis airslide table

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Publication number
JPH0569256A
JPH0569256A JP26055491A JP26055491A JPH0569256A JP H0569256 A JPH0569256 A JP H0569256A JP 26055491 A JP26055491 A JP 26055491A JP 26055491 A JP26055491 A JP 26055491A JP H0569256 A JPH0569256 A JP H0569256A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
axis
air
slider
pressure air
supplied
Prior art date
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Pending
Application number
JP26055491A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hisashi Ihi
尚志 衣斐
Yasuhiro Okamoto
泰弘 岡本
Nobuaki Iguchi
信明 井口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Minolta Co Ltd
Kuroda Precision Industries Ltd
Original Assignee
Minolta Co Ltd
Kuroda Precision Industries Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Minolta Co Ltd, Kuroda Precision Industries Ltd filed Critical Minolta Co Ltd
Priority to JP26055491A priority Critical patent/JPH0569256A/en
Publication of JPH0569256A publication Critical patent/JPH0569256A/en
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Abstract

PURPOSE:To supply pressure air to the air bearing of a slide unit through the inside of the slide unit forming a multiaxis airslide table. CONSTITUTION:Pressure air is supplied into an air bearing part Bx formed at a sliding part between an X-axis guide 3 and an X-axis slider 4 forming a slide unit, from the pressure air supply port 2 of a fixed base 1 through the air holes 21, 22 of the X-axis guide 3, and a part of the pressure air is further supplied into the air holes 24 of a Y-axis base 5 fixed to the X-axis slider 4, through a pressure air supply groove 4a and an air hole 23 provided at the X-axis slider 4. Pressure air can be supplied to plural slide units by providing a pressure air supply tube at one place outside an airslide table.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、精密測定器、精密工
作機械、精密組立て装置等に使用される多軸エアスライ
ドテ−ブルに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multi-axis air slide table used for precision measuring instruments, precision machine tools, precision assembling devices and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】精密測定器、精密工作機械、精密組立て
装置等においては、加工物の移動、位置決めにX,Y、
Z軸及び回転軸(θ軸)に沿つて移動できる多軸スライ
ドテ−ブルが使用される。この種の多軸スライドテ−ブ
ルは、基本的には直線案内軸にスライダを直線摺動自在
に支持した直線摺動ユニツト、あるいは円柱状案内軸に
スライダを揺動、回転自在に支持した回転摺動ユニツト
を所要軸数組み合わせて構成されている。
2. Description of the Related Art In precision measuring instruments, precision machine tools, precision assembly equipment, etc., X, Y, and
A multi-axis slide table is used that can move along the Z axis and the rotation axis (θ axis). This type of multi-axis slide table is basically a linear slide unit in which a slider is linearly slidably supported by a linear guide shaft, or a rotary slide in which a slider is rotatably and rotatably supported by a cylindrical guide shaft. It is constructed by combining the required number of dynamic units.

【0003】スライダを案内軸に対して円滑に、且つ精
度良く支持するため、軸受には精密軸受が使用される
が、最近はスライダと案内軸との間の摺動面に圧力空気
を供給し、両者間に10〜20μm程度の空隙を形成し
た空気軸受を使用するものがある。
In order to support the slider smoothly and accurately with respect to the guide shaft, a precision bearing is used as the bearing. Recently, pressurized air is supplied to the sliding surface between the slider and the guide shaft. There are some which use an air bearing in which a gap of about 10 to 20 μm is formed between them.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】この種の空気軸受では
常時軸受部分に圧力空気を供給する必要がある。したが
つて、多軸エアスライドテ−ブルのように軸数が多い装
置に空気軸受を採用した場合は、直線あるいは回転摺動
ユニツトの軸受部分に圧力空気を供給するための多数の
圧力空気供給管が接続されることになる。スライドテ−
ブルが移動するときはこれ等多数の圧力空気供給管を引
き摺りながら移動することになるから、このような構成
はスライドテ−ブルの位置決め精度に影響を与えるばか
りでなく、スライドテ−ブル周辺が繁雑となり、作業効
率にも影響を与えていた。この発明は上記課題を解決す
ることを目的とするものである。
In this type of air bearing, it is necessary to constantly supply pressurized air to the bearing portion. Therefore, when an air bearing is used in a device with a large number of shafts such as a multi-axis air slide table, a large number of compressed air supply for supplying compressed air to the bearing part of the linear or rotary sliding unit. The pipe will be connected. Slide table
When the table moves, it moves while dragging a large number of these compressed air supply pipes.Therefore, such a structure not only affects the positioning accuracy of the slide table but also the vicinity of the slide table becomes complicated. , It also affected work efficiency. The present invention is intended to solve the above problems.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】この発明は上記課題を解
決するもので、ガイドとスライダとの間の摺動面に供給
される圧力空気により形成される空気軸受で前記スライ
ダを摺動自在に支持する摺動ユニツトを所要軸数結合し
て構成した多軸エアスライドテ−ブルにおいて、各摺動
ユニツトの空気軸受の形成される摺動面に摺動ユニツト
の許容摺動範囲にわたつて圧力空気供給溝を設けると共
に、前記圧力空気供給溝に連通する通気孔をスライダ側
に設け、摺動ユニツトに供給される圧力空気を、前記圧
力空気供給溝及び前記通気孔を経て、当該摺動ユニツト
のスライダに結合される次段の摺動ユニツトに供給する
ように構成したことを特徴とするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and makes the slider slidable by an air bearing formed by pressurized air supplied to the sliding surface between the guide and the slider. In a multi-axis air slide table constructed by connecting the required number of supporting sliding units, the sliding surface on which the air bearing of each sliding unit is formed is pressed over the allowable sliding range of the sliding unit. An air supply groove is provided, and a ventilation hole communicating with the pressure air supply groove is provided on the slider side, and the pressure air supplied to the sliding unit is passed through the pressure air supply groove and the ventilation hole to the sliding unit. It is characterized in that it is configured so as to be supplied to the sliding unit at the next stage connected to the slider.

【0006】[0006]

【作用】各摺動ユニツトの空気軸受の形成される摺動面
に設けた圧力空気供給溝は、摺動ユニツトが移動しても
許容摺動範囲内にあるとき、常にスライダ側の通気孔を
経て次段の摺動ユニツトに設けられた通気孔に連通す
る。これにより、1つの摺動ユニツトに供給された圧力
空気は、各摺動ユニツト内の圧力空気供給溝と通気孔を
経て順次、次の段の摺動ユニツトに供給される。
[Function] The pressure air supply groove provided on the sliding surface on which the air bearing of each sliding unit is formed always has a ventilation hole on the slider side when the sliding unit moves within the allowable sliding range. After that, it communicates with the ventilation hole provided in the sliding unit of the next stage. As a result, the pressure air supplied to one sliding unit is sequentially supplied to the sliding unit of the next stage through the pressure air supply groove and the ventilation hole in each sliding unit.

【0007】[0007]

【実施例】以下、この発明の実施例について説明する。
以下説明する第1の実施例は、左右(X軸)、前後(Y
軸)、上下(Z軸)、及び回転(θ軸)の運動ができる
4軸エアスライドテ−ブルである。
Embodiments of the present invention will be described below.
In the first embodiment described below, left and right (X axis), front and rear (Y
It is a 4-axis air slide table that can move vertically (Z axis), and rotate (θ axis).

【0008】図1はエアスライドテ−ブルの正面図、図
2は図1のA−A線に沿つた断面図、図3は図2のB−
B線に沿つた断面図を示す。図1、2、3において、1
はエアスライドテ−ブルの基台である固定ベ−ス、2は
固定ベ−ス1に設けられた圧力空気供給口、3はX軸ガ
イド、4はX軸スライダで、X軸ガイド3とX軸スライ
ダ4とでX軸摺動ユニツトを構成している。X軸スライ
ダ4はX軸ガイド3に沿つてX軸方向(図1、図3で左
右方向、図2では紙面に対し前後方向)に摺動自在に支
持されている。
FIG. 1 is a front view of the air slide table, FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG. 1, and FIG. 3 is B- of FIG.
A cross-sectional view along line B is shown. 1, 2 and 3, 1
Is a fixed base which is the base of the air slide table, 2 is a pressure air supply port provided in the fixed base 1, 3 is an X-axis guide, 4 is an X-axis slider, and an X-axis guide 3 and An X-axis sliding unit is constructed with the X-axis slider 4. The X-axis slider 4 is slidably supported along the X-axis guide 3 in the X-axis direction (horizontal direction in FIGS. 1 and 3, and front-back direction in FIG. 2).

【0009】5はY軸ベ−スで、X軸スライダ4に固定
されており、X軸方向に移動自在とされている。6はY
軸ベ−ス5に固定されたY軸ガイド、7はY軸スライダ
で、Y軸ガイド6とY軸スライダ7とでY軸摺動ユニツ
トを構成している。Y軸スライダ7はY軸ベ−ス5に固
定されたY軸ガイド6に沿つてY軸方向(図2で左右方
向、図3で紙面に対し前後方向)に摺動自在に支持され
ているから、Y軸スライダ7は固定ベ−ス1に対して
は、X軸及びY軸方向に移動自在となる。
A Y-axis base 5 is fixed to the X-axis slider 4 and is movable in the X-axis direction. 6 is Y
A Y-axis guide fixed to the shaft base 5, and 7 is a Y-axis slider, and the Y-axis guide 6 and the Y-axis slider 7 constitute a Y-axis sliding unit. The Y-axis slider 7 is slidably supported along the Y-axis guide 6 fixed to the Y-axis base 5 in the Y-axis direction (left and right direction in FIG. 2, front-back direction with respect to paper surface in FIG. 3). Therefore, the Y-axis slider 7 is movable in the X-axis and Y-axis directions with respect to the fixed base 1.

【0010】8はY軸スライダ7に固定されたZ軸ガイ
ド、9はZ軸スライダで、Z軸ガイド8とZ軸スライダ
9とでZ軸摺動ユニツトを構成している。Z軸スライダ
9はZ軸ガイド8に沿つてZ軸方向(図1、2、3で上
下方向)に摺動自在に支持されている。また、10はθ
軸ベ−スで、Z軸スライダ9に固定されている。したが
つて、θ軸ベ−ス10は固定ベ−ス1に対してX軸、Y
軸、Z軸方向に移動自在となる。11はθ軸ベ−ス10
に固定されたθ軸ガイド、12はθ軸テ−ブルで、θ軸
ガイド11とθ軸テ−ブル12とでθ軸回転摺動ユニツ
トを構成している。θ軸テ−ブル12はθ軸ガイド11
の周りに回転(θ軸)自在に支持されているから、θ軸
テ−ブル12は固定ベ−ス1に対しては、X、Y、Zの
各軸での摺動、及びθ軸回転の4軸の運動が可能とな
る。
Reference numeral 8 is a Z-axis guide fixed to the Y-axis slider 7, reference numeral 9 is a Z-axis slider, and the Z-axis guide 8 and the Z-axis slider 9 constitute a Z-axis sliding unit. The Z-axis slider 9 is slidably supported along the Z-axis guide 8 in the Z-axis direction (vertical direction in FIGS. 1, 2, and 3). Also, 10 is θ
It is fixed to the Z-axis slider 9 with an axial base. Therefore, the θ-axis base 10 has the X-axis and Y-axis relative to the fixed base 1.
It is movable in the axis and Z-axis directions. 11 is the θ-axis base 10
The .theta.-axis guide is fixed to the .theta.-axis table 12, and the .theta.-axis table 11 and the .theta.-axis table 12 constitute a .theta.-axis rotary sliding unit. The θ-axis table 12 is the θ-axis guide 11
Since it is rotatably supported around (θ axis), the θ axis table 12 slides with respect to the fixed base 1 along the X, Y, and Z axes, and the θ axis rotates. It is possible to move in four axes.

【0011】次に、直線摺動ユニツト、回転摺動ユニツ
トの摺動面に形成される空気軸受部の構成を説明する。
空気軸受部の構成はいずれの摺動ユニツト、回転ユニツ
トでもほぼ同様の構成であるから、ここでは、X軸摺動
ユニツトの空気軸受部の構成を図4及び図5により説明
することにし、他の軸の摺動ユニツトの空気軸受部の構
成については説明を省略する。
Next, the structure of the air bearing portion formed on the sliding surfaces of the linear sliding unit and the rotary sliding unit will be described.
The configuration of the air bearing portion is almost the same in any of the sliding unit and the rotating unit. Therefore, here, the configuration of the air bearing portion of the X-axis sliding unit will be described with reference to FIGS. The description of the structure of the air bearing portion of the sliding unit of the shaft is omitted.

【0012】図4はX軸摺動ユニツトの空気軸受部の構
成を示す一部拡大断面図である。図において、X軸ガイ
ド3には圧力空気供給源に接続される通気孔21が設け
られており、通気孔21はX軸スライダ4との摺動面に
形成される空気軸受部Bxに圧力空気を供給する通気孔
22と連通している。X軸スライダ4にはその許容移動
範囲にわたつて通気孔22と連通する圧力空気供給溝4
aと、圧力空気供給溝4aに連通する通気孔23が形成
されている。また、X軸スライダ4に固定されているY
軸ベ−ス5には、X軸スライダ4の通気孔23と連通す
る通気孔24が設けられている。Y軸ベ−ス5の通気孔
24は、この段の摺動ユニツト(Y軸摺動ユニツト)に
圧力空気を供給するためのものである。
FIG. 4 is a partially enlarged sectional view showing the structure of the air bearing portion of the X-axis sliding unit. In the figure, the X-axis guide 3 is provided with a vent hole 21 connected to a pressure air supply source. Is in communication with the vent hole 22 for supplying air. The X-axis slider 4 has a pressure air supply groove 4 communicating with the ventilation hole 22 over its allowable movement range.
a and a vent hole 23 communicating with the pressure air supply groove 4a. Further, Y fixed to the X-axis slider 4
The shaft base 5 is provided with a vent hole 24 communicating with the vent hole 23 of the X-axis slider 4. The vent hole 24 of the Y-axis base 5 is for supplying pressurized air to the sliding unit of this stage (Y-axis sliding unit).

【0013】以上の構成により、通気孔21及び通気孔
22から供給された圧力空気はX軸ガイド3とX軸スラ
イダ4との摺動面に空気軸受Bxを形成するとともに、
圧力空気の一部は通気孔22と連通する圧力空気供給溝
4a、通気孔23を経てY軸ベ−ス5の通気孔24に供
給される。そして、X軸スライダ4がその許容移動範囲
にわたつて移動しても、図5に示すように、通気孔2
2、圧力空気供給溝4a、通気孔23を経てY軸ベ−ス
5の通気孔24に至る圧力空気の供給路は維持される。
With the above structure, the compressed air supplied from the ventilation holes 21 and 22 forms the air bearing Bx on the sliding surface between the X-axis guide 3 and the X-axis slider 4, and
Part of the compressed air is supplied to the ventilation hole 24 of the Y-axis base 5 through the compressed air supply groove 4 a communicating with the ventilation hole 22 and the ventilation hole 23. Even if the X-axis slider 4 moves over the allowable movement range, as shown in FIG.
2, the compressed air supply passage is maintained through the compressed air supply groove 4a and the ventilation hole 23 to the ventilation hole 24 of the Y-axis base 5.

【0014】次に、圧力空気の配管と、圧力空気が各軸
摺動ユニツトに供給される状況を図2、3により説明す
る。
Next, the piping for the pressure air and the situation in which the pressure air is supplied to each shaft sliding unit will be described with reference to FIGS.

【0015】図示しない空気圧縮機から供給された圧力
空気は、図示しない配管を経て固定ベ−ス1に設けた圧
力空気供給口2に供給される。圧力空気は固定ベ−ス1
に設けた通気孔20、X軸ガイド3に設けた通気孔2
1、通気孔22を経てX軸ガイド3、X軸スライダ4の
摺動面で形成される空気軸受部Bxに供給される。空気
軸受部Bxに供給された圧力空気の一部はX軸スライダ
4に設けた圧力空気供給溝4a、通気孔23を経てY軸
ベ−スに設けた通気孔24に供給される。
Pressure air supplied from an air compressor (not shown) is supplied to a pressure air supply port 2 provided in the fixed base 1 through a pipe (not shown). Fixed air is fixed base 1
Vent hole 20 provided on the X-axis guide 3
1, the air is supplied to the air bearing portion Bx formed by the sliding surfaces of the X-axis guide 3 and the X-axis slider 4 through the ventilation hole 22. A part of the pressure air supplied to the air bearing portion Bx is supplied to the ventilation hole 24 provided in the Y-axis base through the pressure air supply groove 4a provided in the X-axis slider 4 and the ventilation hole 23.

【0016】Y軸ベ−ス5の通気孔24に供給された圧
力空気は、Y軸ガイド6に設けた通気孔25、通気孔2
6を経てY軸ガイド6とY軸スライダ7の摺動面で形成
される空気軸受部Byに供給される。空気軸受部Byに
供給された圧力空気の一部はY軸スライダ7に設けた圧
力空気供給溝7a、通気孔27を経てZ軸ガイド8に設
けた通気孔28に供給される。
The pressure air supplied to the ventilation hole 24 of the Y-axis base 5 is the ventilation hole 25 and the ventilation hole 2 provided in the Y-axis guide 6.
It is supplied to the air bearing portion By formed by the sliding surface of the Y-axis guide 6 and the Y-axis slider 7 via 6. A part of the pressure air supplied to the air bearing portion By is supplied to the ventilation hole 28 provided in the Z-axis guide 8 through the pressure air supply groove 7 a provided in the Y-axis slider 7 and the ventilation hole 27.

【0017】Z軸ガイド8の通気孔28に供給された圧
力空気は、Z軸ガイド8に設けた通気孔29を経てZ軸
ガイド8とZ軸スライダ9の摺動面で形成される空気軸
受部Bzに供給される。空気軸受部Bzに供給された圧
力空気の一部はZ軸スライダ9に設けた圧力空気供給溝
9a、通気孔30を経てθ軸ベ−ス10に設けた通気孔
31に供給される。
The compressed air supplied to the ventilation hole 28 of the Z-axis guide 8 passes through the ventilation hole 29 provided in the Z-axis guide 8 and is an air bearing formed by the sliding surface of the Z-axis guide 8 and the Z-axis slider 9. It is supplied to the section Bz. A part of the pressure air supplied to the air bearing portion Bz is supplied to the ventilation hole 31 provided in the θ-axis base 10 through the pressure air supply groove 9a provided in the Z-axis slider 9 and the ventilation hole 30.

【0018】θ軸ベ−ス10の通気孔31に供給された
圧力空気は、θ軸ガイド11に設けた通気孔32を経て
θ軸ガイド11とθ軸テ−ブル12の摺動面で形成され
る空気軸受部Bθに供給される。
The pressure air supplied to the ventilation hole 31 of the θ-axis base 10 passes through the ventilation hole 32 provided in the θ-axis guide 11 and is formed on the sliding surface of the θ-axis guide 11 and the θ-axis table 12. Is supplied to the air bearing portion Bθ.

【0019】次に、この発明の第2の実施例について説
明する。第2の実施例は、X軸及びY軸の運動ができる
2軸エアスライドテ−ブルである。
Next, a second embodiment of the present invention will be described. The second embodiment is a biaxial air slide table that can move in the X and Y axes.

【0020】図6は2軸エアスライドテ−ブルの平面
図、図7はその正面図、図8は図7のC−C線に沿つた
断面図である。図6、7、8において、51は固定ベ−
ス、52,53は固定ベ−ス51に固定されたX軸ガイ
ド、54はX軸ガイド52に摺動自在に支持されたX軸
スライダ、55はX軸ガイド53に摺動自在に支持され
たX軸スライダであり、X軸ガイド52とX軸スライダ
54、及びX軸ガイド53とX軸スライダ55はそれぞ
れX軸方向(図6で左右方向)に移動自在なX軸摺動ユ
ニツトを構成する。なお、図6、図8では固定ベ−ス5
1を省略して示した。
FIG. 6 is a plan view of the biaxial air slide table, FIG. 7 is a front view thereof, and FIG. 8 is a sectional view taken along the line CC of FIG. In FIGS. 6, 7 and 8, 51 is a fixed base.
5, 52 and 53 are X-axis guides fixed to the fixed base 51, 54 is an X-axis slider slidably supported by the X-axis guide 52, and 55 is slidably supported by the X-axis guide 53. The X-axis slider 52 and the X-axis slider 54, and the X-axis guide 53 and the X-axis slider 55 constitute an X-axis sliding unit that is movable in the X-axis direction (left and right direction in FIG. 6). To do. 6 and 8, the fixed base 5 is used.
1 is omitted and shown.

【0021】56、57はY軸ガイド、58はY軸ガイ
ド56に摺動自在に支持されたY軸スライダ、59はY
軸ガイド57に摺動自在に支持されたY軸スライダであ
り、Y軸ガイド56とY軸スライダ58、Y軸ガイド5
7とY軸スライダ59はそれぞれY軸方向(図6、図8
で上下方向)に移動自在なY軸摺動ユニツトを構成す
る。
Reference numerals 56 and 57 are Y-axis guides, 58 is a Y-axis slider slidably supported by the Y-axis guide 56, and 59 is Y.
A Y-axis slider slidably supported by the shaft guide 57, including a Y-axis guide 56, a Y-axis slider 58, and a Y-axis guide 5.
7 and the Y-axis slider 59 respectively move in the Y-axis direction (see FIGS. 6 and 8).
To form a Y-axis sliding unit that can be moved vertically.

【0022】X軸スライダ54、55とY軸ガイド5
6、57とは方形の枠を形成するように連結されてお
り、その内部には、図8に示すように連通した通気孔6
5、66、67、70が設けられている。また、X軸ガ
イド52にはX軸スライダ54の許容摺動範囲にわたり
圧力空気供給溝52aが形成されており、X軸スライダ
54が許容摺動範囲内にあるときは、X軸スライダ54
の位置に関係無く圧力空気供給溝52aを介して圧力空
気供給口61と通気孔65とが連通するよう構成されて
いる。
X-axis sliders 54 and 55 and Y-axis guide 5
6 and 57 are connected so as to form a rectangular frame, and the inside of the vent hole 6 communicates as shown in FIG.
5, 66, 67 and 70 are provided. Further, the X-axis guide 52 has a pressure air supply groove 52a formed over the allowable sliding range of the X-axis slider 54, and when the X-axis slider 54 is within the allowable sliding range, the X-axis slider 54 is formed.
The pressure air supply port 61 and the vent hole 65 communicate with each other via the pressure air supply groove 52a regardless of the position.

【0023】60は2本のY軸スライダ58、59を連
結する天板で、加工物保持部分となる。天板60はX軸
スライダ、Y軸スライダの動きが合成されるからX軸及
びY軸の運動が可能となる。
A top plate 60 connects the two Y-axis sliders 58 and 59, and serves as a workpiece holding portion. Since the top plate 60 combines the movements of the X-axis slider and the Y-axis slider, it is possible to move the X-axis and the Y-axis.

【0024】次に、圧力空気の配管と、圧力空気がX
軸、Y軸の各摺動ユニツトに供給される状況を図8によ
り説明する。
Next, the pressure air pipe and the pressure air are
The situation in which each of the sliding units of the shaft and the Y-axis is supplied will be described with reference to FIG.

【0025】図示しない空気圧縮機から供給された圧力
空気は、図示しない配管を経て固定ベ−ス51に固定さ
れたX軸ガイド52の圧力空気供給口61に供給され
る。圧力空気はX軸ガイド52に設けた通気孔62、X
軸ガイド52に設けた圧力空気供給溝52a、X軸スラ
イダ54に設けた通気孔63を経て、X軸ガイド52と
X軸スライダ53との摺動面で形成される空気軸受部B
x1に供給される。供給された圧力空気の一部は、X軸
スライダ54に設けた通気孔63と連通する通気孔6
5、Y軸ガイド56に設けた通気孔66、該通気孔66
に連通する通気孔68を経て、Y軸ガイド56とY軸ス
ライダ58との摺動面で形成される空気軸受部By1に
供給され、また、Y軸ガイド57に設けた通気孔67、
該通気孔67に連通する通気孔69を経て、Y軸ガイド
57とY軸スライダ59との摺動面で形成される空気軸
受部By2に供給される。さらに、通気孔66、通気孔
67はX軸スライダ55に設けた通気孔70、該通気孔
70に連通する通気孔71を経てX軸ガイド53とX軸
スライダ55の摺動面で形成される空気軸受部Bx2に
供給される。
The pressure air supplied from the air compressor (not shown) is supplied to the pressure air supply port 61 of the X-axis guide 52 fixed to the fixed base 51 through a pipe (not shown). The compressed air flows through the ventilation holes 62, X
An air bearing portion B formed by a sliding surface of the X-axis guide 52 and the X-axis slider 53 through a pressure air supply groove 52a provided in the shaft guide 52 and a ventilation hole 63 provided in the X-axis slider 54.
x1. A part of the supplied pressurized air communicates with the ventilation hole 63 provided in the X-axis slider 54.
5. Vent hole 66 provided in Y-axis guide 56, and vent hole 66
Is supplied to the air bearing portion By1 formed by the sliding surface of the Y-axis guide 56 and the Y-axis slider 58 through a vent hole 68 communicating with the air-bearing part 67 provided in the Y-axis guide 57.
It is supplied to the air bearing portion By2 formed by the sliding surface of the Y-axis guide 57 and the Y-axis slider 59 via the ventilation hole 69 communicating with the ventilation hole 67. Further, the ventilation holes 66 and 67 are formed by the sliding surfaces of the X-axis guide 53 and the X-axis slider 55 through the ventilation hole 70 provided in the X-axis slider 55 and the ventilation hole 71 communicating with the ventilation hole 70. It is supplied to the air bearing portion Bx2.

【0026】以上4軸、及び2軸のエアスライドテ−ブ
ルの実施例について説明したが、この発明はこれに限ら
れるものではなく、任意の数の移動軸を持つエアスライ
ドテ−ブルに適用することができることは言うまでもな
い。
Although the embodiment of the 4-axis and 2-axis air slide table has been described above, the present invention is not limited to this, and is applied to an air slide table having an arbitrary number of moving axes. It goes without saying that you can do it.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、多軸のエアスライドテ−ブルを構成する1つの摺動
ユニツトから次の段の摺動ユニツトへ、摺動ユニツト内
部の圧力空気供給溝、通気孔を経て順次圧力空気を供給
することができ、各摺動ユニツトに圧力空気を供給する
多数の圧力空気供給管を省くことができる。これによ
り、エアスライドテ−ブルが移動するとき多数の圧力空
気供給管を引き摺ることがなくなり、エアスライドテ−
ブルの位置決め精度を向上させることができるばかりで
なく、エアスライドテ−ブルの周辺が繁雑にならず、作
業効率を改善することができる。
As described above, according to the present invention, the pressure air inside the sliding unit is changed from one sliding unit constituting the multi-axis air slide table to the next sliding unit. Pressured air can be sequentially supplied through the supply groove and the ventilation hole, and a large number of pressurized air supply pipes for supplying pressurized air to each sliding unit can be omitted. As a result, when the air slide table moves, the large number of pressure air supply pipes are not dragged, and the air slide table is not dragged.
Not only can the positioning accuracy of the bull be improved, but the area around the air slide table is not complicated, and the working efficiency can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明を適用した第1実施例の外観を示す正
面図。
FIG. 1 is a front view showing the outer appearance of a first embodiment to which the present invention is applied.

【図2】図1に示す第1実施例のA−A線に沿つた断面
図。
FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of the first embodiment shown in FIG.

【図3】図2に示す第1実施例のB−B線に沿つた断面
図。
FIG. 3 is a sectional view taken along line BB of the first embodiment shown in FIG.

【図4】第1実施例の空気軸受部分の断面図。FIG. 4 is a sectional view of an air bearing portion of the first embodiment.

【図5】図5に示す空気軸受部分のスライダが移動した
状態を示す断面図。
5 is a cross-sectional view showing a state where the slider of the air bearing portion shown in FIG. 5 has moved.

【図6】この発明を適用した第2実施例の外観を示す平
面図。
FIG. 6 is a plan view showing the outer appearance of a second embodiment to which the invention is applied.

【図7】第2実施例の外観を示す正面図。FIG. 7 is a front view showing the outer appearance of the second embodiment.

【図8】図7に示す第2実施例のC−C線に沿つた断面
図。
FIG. 8 is a sectional view taken along the line CC of the second embodiment shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、51:固定ベ−ス 3、52、53:X軸ガイド 4、54、55:X軸スライダ 5:Y軸ベ−ス 6、56、57:Y軸ガイド 7、58、59:Y軸スライダ 8:Z軸ガイド 9:Z軸スライダ 10:θ軸ベ−ス 11:θ軸ガイド 12:θ軸テ−ブル 4a、7a、9a、52a:圧力空気供給溝 20、21、22、23、24、25、26、27、2
8、29、30、31、32、62、63、65、6
6、67、68、69、70、71:通気孔
1, 51: Fixed base 3, 52, 53: X-axis guide 4, 54, 55: X-axis slider 5: Y-axis base 6, 56, 57: Y-axis guide 7, 58, 59: Y-axis Slider 8: Z-axis guide 9: Z-axis slider 10: θ-axis base 11: θ-axis guide 12: θ-axis table 4a, 7a, 9a, 52a: Pressure air supply groove 20, 21, 22, 23, 24, 25, 26, 27, 2
8, 29, 30, 31, 32, 62, 63, 65, 6
6, 67, 68, 69, 70, 71: Vent hole

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡本 泰弘 大阪市中央区安土町二丁目3番13号 大阪 国際ビルミノルタカメラ株式会社内 (72)発明者 井口 信明 神奈川県川崎市幸区下平間239番地 黒田 精工株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Yasuhiro Okamoto 2-3-3 Azuchi-cho, Chuo-ku, Osaka, Osaka International Building Minolta Camera Co., Ltd. (72) Inventor Nobuaki Iguchi 239 Shimohirama, Saiwai-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Address Kuroda Seiko Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ガイドとスライダとの間の摺動面に供給さ
れる圧力空気により形成される空気軸受で前記スライダ
を摺動自在に支持する摺動ユニツトを所要軸数結合して
構成した多軸エアスライドテ−ブルにおいて、 各摺動ユニツトの空気軸受の形成される摺動面に摺動ユ
ニツトの許容摺動範囲にわたつて圧力空気供給溝を設け
ると共に、前記圧力空気供給溝に連通する通気孔をスラ
イダ側に設け、 摺動ユニツトに供給される圧力空気を、前記圧力空気供
給溝及び前記通気孔を経て当該摺動ユニツトのスライダ
に結合される次段の摺動ユニツトに供給するように構成
したことを特徴とする多軸エアスライドテ−ブル。
1. A sliding unit for slidably supporting the slider by an air bearing formed by pressurized air supplied to a sliding surface between a guide and a slider, the sliding unit being connected by a required number of axes. In the axial air slide table, a pressure air supply groove is provided on the sliding surface on which the air bearing of each sliding unit is formed, over the allowable sliding range of the sliding unit, and communicates with the pressure air supply groove. An air hole is provided on the slider side so that the pressure air supplied to the sliding unit is supplied to the next sliding unit connected to the slider of the sliding unit through the pressure air supply groove and the air hole. A multi-axis air slide table characterized in that
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