JPH0564315A - Control method for magnetic levitation - Google Patents
Control method for magnetic levitationInfo
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- JPH0564315A JPH0564315A JP21776291A JP21776291A JPH0564315A JP H0564315 A JPH0564315 A JP H0564315A JP 21776291 A JP21776291 A JP 21776291A JP 21776291 A JP21776291 A JP 21776291A JP H0564315 A JPH0564315 A JP H0564315A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、磁気浮上に用いる変位
センサを少なくとも軌道側に固設し、該変位センサの配
置箇所に浮上用電磁石の磁極を固設し、浮上用電磁石に
より可動体を軌道に対して非接触状態で該軌道に沿って
移動せしめる磁気浮上搬送装置の制御方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention has a displacement sensor used for magnetic levitation fixed to at least the orbital side, a magnetic pole of a levitation electromagnet fixed to a position where the displacement sensor is arranged, and a movable body is fixed by the levitation electromagnet. The present invention relates to a control method for a magnetic levitation transport device that moves along a track in a non-contact state with the track.
【０００２】[0002]
【従来の技術】かかる磁気浮上搬送装置としては、例え
ば特開昭６１−１３９２０１号公報に示されている磁気
浮上式直線スライダがある。この磁気浮上式直線スライ
ダによれば、可動部材は常に４個の磁気軸受により非接
触に保持され、且つ３個のギャップセンサにより間隔が
測定され、該測定された間隔に基づいて磁気軸受に供給
される電流が制御されている。2. Description of the Related Art As such a magnetic levitation transfer device, there is a magnetic levitation type linear slider disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 61-139201. According to this magnetic levitation type linear slider, the movable member is always held in a non-contact state by the four magnetic bearings, the distance is measured by the three gap sensors, and the magnetic bearing is supplied to the magnetic bearing based on the measured distances. The current is controlled.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
の磁気浮上式直線スライダによれば、スライダが直線移
動することにより該スライダを非接触浮上せしめる磁気
軸受及び間隔測定用のギャップセンサが次々に変更する
が、その変更に際して磁気軸受及びギャップセンサを切
り替える度毎に振動その他の好ましくない動きが生ずる
という問題が存在する。そして、振動その他の好ましく
ない動きは、特に半導体製造設備においてウエハの搬送
に磁気浮上搬送装置を使用する場合には、ウエハの破損
等の深刻な事態の要因となり得る。However, according to the above-described conventional magnetic levitation type linear slider, a magnetic bearing and a gap sensor for measuring a gap are provided one after another by which the slider linearly moves so as to float the slider in a non-contact manner. Although there is a change, there is a problem that vibration and other unfavorable movements occur every time the magnetic bearing and the gap sensor are changed. Then, vibrations and other unfavorable movements can cause serious problems such as wafer damage, especially when a magnetic levitation transfer device is used to transfer a wafer in a semiconductor manufacturing facility.
【０００４】本発明は、上述した問題に鑑みてなされた
もので、振動その他の好ましくない動きを生ずることな
く、可動体を滑らかに移動することが出来る磁気浮上搬
送装置の制御方法を提供することを目的としている。The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and provides a control method for a magnetic levitation transfer apparatus capable of smoothly moving a movable body without causing vibrations or other undesirable movements. It is an object.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明の磁気浮上搬送装
置の制御方法は、磁気浮上に用いる変位センサを少なく
とも軌道側に固設し、該変位センサの配置箇所に浮上用
電磁石の磁極を固設し、浮上用電磁石により可動体を軌
道に対して非接触状態で該軌道に沿って移動せしめる磁
気浮上搬送装置の制御方法において、可動体が常時３個
の変位センサ及び６個の磁極と重なる様に前記変位セン
サ及び磁極は配置されており、該３個の変位センサによ
り対向する可動体表面との垂直方向距離を計測して演算
制御ユニットへ出力する工程と、可動体進行方向及び該
進行方向に直交する方向についての各センサの座標と計
測された垂直方向距離とから演算により可動体表面を特
定する工程と、特定された可動体表面の位置に基づいて
前記演算制御ユニットが所定の磁極に供給する電流を制
御する工程と、該可動体が軌道に沿って移動する際に重
なり合う１個の変位センサ及び２個の磁極が変更する度
に前記演算制御ユニットと接続される変位センサ及び磁
極を切り替える工程、とを含んでいる。According to a method of controlling a magnetic levitation transfer apparatus of the present invention, a displacement sensor used for magnetic levitation is fixed at least on a track side, and a magnetic pole of a levitation electromagnet is fixed at a position where the displacement sensor is arranged. In a control method of a magnetic levitation transport device, which is installed and moves a movable body along a track by a levitation electromagnet in a non-contact state with respect to the track, the movable body always overlaps with three displacement sensors and six magnetic poles. As described above, the displacement sensor and the magnetic pole are arranged, and the step of measuring the distance in the vertical direction with the surface of the movable body facing by the three displacement sensors and outputting the measured distance to the arithmetic and control unit, A step of specifying the movable body surface by calculation from the coordinates of each sensor in the direction orthogonal to the direction and the measured vertical distance; and the arithmetic control unit based on the specified position of the movable body surface. Controlling a current supplied to a predetermined magnetic pole by the printer, and one displacement sensor and two magnetic poles that overlap each other when the movable body moves along the trajectory are connected to the arithmetic and control unit. The displacement sensor and the step of switching the magnetic pole.
【０００６】ここで、可動体と変位センサ及び磁極が
「重なる」或いは「重なり合う」ということは、該変位
センサ及び磁極上を可動体（或いは搬送台）が通過して
いるということを意味している。Here, "overlapping" or "overlapping" the movable body with the displacement sensor and the magnetic pole means that the movable body (or the carrier) is passing over the displacement sensor and the magnetic pole. There is.
【０００７】[0007]
【作用】上記のように構成された磁気浮上搬送装置の制
御方法においては、可動体と重なり合う３個の変位セン
サ及び６個の磁極のうち、１個の変位センサ及び２個の
磁極ずつが切り替えられ、可動体は常時３個の変位セン
サ及び６個の磁極と重なるため、切り替え時に振動その
他の好ましくない動きが生じることがない。In the method of controlling the magnetic levitation transporting apparatus configured as described above, one displacement sensor and two magnetic poles are switched among the three displacement sensors and the six magnetic poles overlapping the movable body. However, since the movable body always overlaps with the three displacement sensors and the six magnetic poles, vibration or other undesirable movement does not occur at the time of switching.
【０００８】また、可動体と重なり合うセンサについて
は、可動体進行方向の座標と、該進行方向に直交する方
向について座標とが特定される。これ等の座標と、セン
サにより計測された対向する可動体表面との垂直方向距
離とは、該可動体表面を含む平面を演算により特定する
際のデータとして十分である。そして、可動体表面を含
む平面を特定することにより、該可動体が軌道と接触せ
ず、水平状態を維持して移動或いは走行するのに必要な
精度の高い制御が達成される。For the sensor that overlaps with the movable body, the coordinate in the traveling direction of the movable body and the coordinate in the direction orthogonal to the traveling direction are specified. These coordinates and the distance in the vertical direction between the opposing movable body surface measured by the sensor are sufficient as data for specifying the plane including the movable body surface by calculation. Then, by specifying the plane including the surface of the movable body, the highly accurate control required for the movable body to move or run while maintaining the horizontal state without contacting the track is achieved.
【０００９】すなわち、可動体表面を含む平面を特定す
ることにより、もしもその平面が傾いている場合には、
適当な磁極に供給される電流を増大し磁気的な吸引力を
強化して、該平面及び可動体表面を水平状態に戻すので
ある。これに加えて、磁気的な吸引力を適宜調節して、
可動体の浮上量を調整することも出来る。That is, by specifying the plane including the movable body surface, if the plane is tilted,
The current supplied to the appropriate magnetic pole is increased to enhance the magnetic attractive force, and the flat surface and the movable body surface are returned to the horizontal state. In addition to this, adjust the magnetic attraction force appropriately,
The floating amount of the movable body can also be adjusted.
【００１０】[0010]
【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１１】図１において全体を符号１０で示す磁気浮
上搬送装置は、符号１２で示す軌道と、符号１４で示す
搬送台すなわち可動体と、軌道１２に固設された複数の
磁極１６−ａ、１６−ｂ、１６−ｃ・・・と、可動体１
４との垂直方向距離を計測するためのセンサ１８−ａ、
１８−ｄ、１８−ｅ・・・とを含んでいる。ここで、図
１から明らかな様に、センサ１８−ａ、１８−ｄ、１８
−ｅ・・・は互い違いに配置されており、且つ磁極１６
−ａ、１６−ｄ、１６−ｅ・・・と同一位置に配置され
ている。In FIG. 1, a magnetic levitation transport apparatus generally designated by reference numeral 10 is a track designated by reference numeral 12, a carrier stand or movable body designated by reference numeral 14, and a plurality of magnetic poles 16-a fixedly mounted on the track 12. 16-b, 16-c ... and the movable body 1
Sensor 18-a for measuring the vertical distance from
18-d, 18-e ... Here, as is apparent from FIG. 1, the sensors 18-a, 18-d, 18
-E ... are staggered and the magnetic poles 16 are
-A, 16-d, 16-e ... are arranged at the same position.
【００１２】センサ１８−ａ、１８−ｄ、１８−ｅ・・
・の出力は第１の切替手段２０に入力されており、該切
替手段２０は演算制御ユニット２２に接続されている。
この演算制御ユニット２２は第２の切替手段２４と接続
され、該切替手段２４は磁極１６−ｂ、１６−ｃ、１６
−ｆ・・・に制御信号或いは電流を供給している。ここ
で、第２の切替手段２４を全ての磁極１６−ａ、１６−
ｂ、１６−ｃに接続することも出来る。The sensors 18-a, 18-d, 18-e ...
The output of is input to the first switching means 20, and the switching means 20 is connected to the arithmetic and control unit 22.
The arithmetic and control unit 22 is connected to the second switching means 24, which switches the magnetic poles 16-b, 16-c, 16.
A control signal or current is supplied to -f .... Here, all the magnetic poles 16-a, 16-
b, 16-c can also be connected.
【００１３】第１の切替手段２０は、演算制御ユニット
２２によりセンサ１８−ａ、１８−ｄ、１８−ｅ・・・
から３個のセンサを選択して（切り替えて）、その出力
すなわち可動体１４との垂直方向距離の計測値を演算制
御ユニット２２へ入力する様になっている。一方、第２
の切替手段２４は演算制御ユニット２２からの制御信号
を受けて、該ユニット２２からの制御のための出力を所
定の磁極に対して選択的に供給する。The first switching means 20 includes sensors 18-a, 18-d, 18-e, ...
The three sensors are selected (switched), and the output, that is, the measured value of the vertical distance from the movable body 14 is input to the arithmetic and control unit 22. Meanwhile, the second
The switching means 24 receives the control signal from the arithmetic and control unit 22 and selectively supplies an output for control from the unit 22 to a predetermined magnetic pole.
【００１４】なお、図１において符号Ａ〜Ｊは、可動体
１４において磁極１６−ａ、１６−ｂ、１６−ｃ・・・
に対応する箇所（点）を表示するものである。In FIG. 1, reference numerals A to J denote the magnetic poles 16-a, 16-b, 16-c ... In the movable body 14.
The point (point) corresponding to is displayed.
【００１５】次に図１〜３を参照して、この実施例の作
用について説明する。Next, the operation of this embodiment will be described with reference to FIGS.
【００１６】図１において、実線で示す位置に存在する
可動体１４は、磁極１６−ａ、１６−ｂ、１６−ｃ、１
６−ｄ、１６−ｅ、１６−ｆ及びセンサ１８−ａ、１８
−ｄ、１８−ｅに重なっている。そして、可動体１４に
おける磁極１６−ａ〜ｆに対応する箇所（点）Ａ〜Ｆが
図２において直交座標系に示されている。In FIG. 1, the movable body 14 existing at the position indicated by the solid line is the magnetic poles 16-a, 16-b, 16-c, 1.
6-d, 16-e, 16-f and sensors 18-a, 18
-D, 18-e. Then, points (points) A to F corresponding to the magnetic poles 16-a to f in the movable body 14 are shown in the orthogonal coordinate system in FIG.
【００１７】ＡＥ間のｙ方向距離すなわちセンサ１６−
ａと１６−ｅとのｙ方向距離を２Ｗとして、ＡＤ間のｘ
方向距離すなわちセンサ１６−ａと１６−ｂとのｘ方向
距離をＳとする。そして、センサ１８−ａ、１８−ｄ、
１８−ｅにより計測された箇所Ａ、Ｅ、Ｄへのｚ方向距
離をそれぞれｚ1 、ｚ2 、ｚ3 とする。これ等の数値と
計測されたｚ方向距離ｚ1 、ｚ2 、ｚ3 とを参照し、図
２で示す位置に原点Ｏを設定すると、点Ａの座標は
（０，０，ｚ1 ）となり、点Ｄの座標は（Ｓ、Ｗ、
ｚ3 ）となり、点Ｅの座標は（０，２Ｗ，ｚ2 ）とな
る。The y-direction distance between AEs, that is, the sensor 16
When the distance between a and 16-e in the y direction is 2 W, x between ADs
The directional distance, that is, the distance in the x direction between the sensors 16-a and 16-b is S. Then, the sensors 18-a, 18-d,
The z-direction distances to the points A, E, and D measured by 18-e are z 1 , z 2 , and z 3 , respectively. By referring to these numerical values and the measured z-direction distances z 1 , z 2 , and z 3, and setting the origin O at the position shown in FIG. 2, the coordinates of the point A become (0, 0, z 1 ) , The coordinates of point D are (S, W,
z 3 ), and the coordinates of the point E are (0, 2W, z 2 ).
【００１８】点Ａ〜Ｆを含む可動体表面を包含する平面
の座標は、 Ｌｘ＋Ｍｙ＋Ｎｚ＝Ｐ・・・（１） なる式で表現される。この（１）式において、変数ｘ、
ｙ、ｚにそれぞれ点Ａ、Ｄ、Ｅの座標を代入すれば、
（１）式におけるＬ、Ｍ、Ｎが決定される。すなわち、
（１）式に点Ａの座標を代入すれば、Ｎｚ1 ＝Ｐとな
り、 Ｎ＝Ｐ／ｚ1 ・・・（２） が導かれる。次に、点Ｅの座標及び上式（２）を式
（１）に代入すればＭが求まる。The coordinates of the plane including the surface of the movable body including the points A to F are expressed by the following equation: Lx + My + Nz = P (1) In this equation (1), the variable x,
Substituting the coordinates of points A, D, and E for y and z respectively,
L, M and N in the equation (1) are determined. That is,
By substituting the coordinates of the point A into the equation (1), Nz 1 = P and N = P / z 1 (2) is derived. Next, M is obtained by substituting the coordinates of the point E and the above equation (2) into the equation (1).
【００１９】 Ｍ＝Ｐ（ｚ1 −ｚ2 ）／２Ｗｚ1 ・・・（３） さらに、点Ｄの座標と上式（２）及び（３）を式（１）
に代入すればＮが求まる。M = P (z 1 −z 2 ) / 2Wz 1 (3) Further, the coordinates of the point D and the above equations (2) and (3) are given by the equation (1).
By substituting for, N can be obtained.
【００２０】 Ｌ＝Ｐ（ｚ1 ＋ｚ2 −２ｚ3 ）／２Ｓｚ1・・・（４） そして、Ｌ、Ｍ、Ｎが求まれば、式（１）すなわち点Ａ
〜Ｆを含む平面が特定されるのである。L = P (z 1 + z 2 −2z 3 ) / 2Sz 1 (4) Then, if L, M, and N are obtained, equation (1), that is, point A
The plane containing ~ F is specified.
【００２１】特定された式（１）から、点Ｂ、Ｃ、Ｆの
ｚ方向座標（ｚ方向距離）ｚ4 、ｚ6 、ｚ5 が演算され
る。そして、点Ｂ、Ｆに対応する磁極１６−ｂ、１６−
ｆに供給するべき電流が演算され、演算制御ユニット２
２から第２の切替手段２４を介して、該磁極１６−ｂ、
１６−ｆに供給される。換言するとｚ方向距離ｚ4 、ｚ
5 がｚ1 、ｚ2 と等しくなり、ｘ方向については傾斜が
生じない様に、磁極１６−ｂ、１６−ｆが磁気吸引力を
発生する。図１において、演算制御ユニット２２からの
出力は、第２の切替手段２４を介して該磁極１６−ｂ、
１６−ｃ、１６−ｆにのみ供給されるが、少なくとも可
動体１４の４隅部に対応する磁極１６−ａ、１６−ｂ、
１６−ｅ、１６−ｆに出力して、これ等におけるｚ方向
の座標ｚ1 、ｚ2 、ｚ4 、ｚ5 を適当に調節することが
出来るのである。From the specified equation (1), z-direction coordinates (distance in z-direction) z 4 , z 6 and z 5 of the points B, C and F are calculated. Then, the magnetic poles 16-b and 16- corresponding to the points B and F, respectively.
The current to be supplied to f is calculated, and the calculation control unit 2
2 through the second switching means 24, the magnetic poles 16-b,
16-f. In other words, the z-direction distance z 4 , z
5 becomes equal to z 1 and z 2, and the magnetic poles 16-b and 16-f generate a magnetic attraction force so that no inclination occurs in the x direction. In FIG. 1, the output from the arithmetic and control unit 22 is transmitted through the second switching means 24 to the magnetic poles 16-b,
16-c, 16-f, but the magnetic poles 16-a, 16-b corresponding to at least the four corners of the movable body 14,
It is possible to output to 16-e and 16-f and appropriately adjust the coordinates z 1 , z 2 , z 4 and z 5 in the z direction in these.
【００２２】ここで、図１において示されている様に、
可動体１４が実線で示す位置から１点鎖線で示す位置１
４−１、２点鎖線で示す位置１４−２に移動しても、常
に３個の変位センサ及び６個の磁極と重なっている。そ
して、第１の切替部材２０は常に３個の変位センサの出
力を選択して演算制御ユニット２２へ送出し、第２の切
替手段２４は演算制御ユニット２２の制御信号を所定の
磁極（図１において可動部材１４が実線位置にある場合
は磁極１６−ｂ、１６−ｆ：但し１６−ａ、１６−ｂ、
１６−ｅ、１６−ｆに出力する場合、その他の場合があ
る）へ供給するのである。Now, as shown in FIG.
From the position where the movable body 14 is shown by the solid line to the position 1 shown by the chain line
4-1 Even when it moves to the position 14-2 shown by the chain double-dashed line, it always overlaps with the three displacement sensors and the six magnetic poles. Then, the first switching member 20 always selects and outputs the outputs of the three displacement sensors to the arithmetic control unit 22, and the second switching means 24 outputs the control signal of the arithmetic control unit 22 to a predetermined magnetic pole (FIG. 1). In the case where the movable member 14 is in the solid line position, the magnetic poles 16-b, 16-f: 16-a, 16-b,
When outputting to 16-e and 16-f, there are other cases).
【００２３】次に、上記の作用を図３のフローチャート
を参照しつつ説明する。Next, the above operation will be described with reference to the flowchart of FIG.
【００２４】まず、可動体１４とのｚ方向距離を計測し
ている３つの変位センサの出力を選択して、第１の切替
手段２０を介して演算制御ユニット２２へ送出する（ス
テップＳ１）。そして、該３つの変位センサの出力に基
づいて、図２で説明した様な態様にて演算制御ユニット
２２は可動体表面を特定する（ステップＳ２）。First, the outputs of the three displacement sensors measuring the distance in the z direction from the movable body 14 are selected and sent to the arithmetic and control unit 22 via the first switching means 20 (step S1). Then, based on the outputs of the three displacement sensors, the arithmetic and control unit 22 specifies the surface of the movable body in the manner described in FIG. 2 (step S2).
【００２５】可動体表面が特定されれば、可動体の水平
状態を維持するためにはどの磁極にどの程度の電流を供
給すれば良いのかが求まるので（ステップＳ３）、第２
の切替手段２４を介して演算制御ユニット２２から所定
の制御電流（制御出力）が所定の磁極に対して送出され
る（ステップＳ４）。When the surface of the movable body is specified, it is possible to determine which magnetic pole and how much current should be supplied to maintain the horizontal state of the movable body (step S3).
A predetermined control current (control output) is sent from the arithmetic and control unit 22 to a predetermined magnetic pole via the switching means 24 (step S4).
【００２６】その後、可動体１４の移動につれて（ステ
ップＳ５がＮＯ）、可動体１４とのｚ方向距離を計測し
ている３つの変位センサが交替するが、常に可動体１４
とのｚ方向距離の計測出力が演算制御ユニット２２に送
られて、可動体の水平状態が維持される。一方、磁気浮
上搬送装置の運転を停止し、可動体１４が停止する場合
には（ステップＳ５がＹＥＳ）、磁極への電流供給が停
止される（ステップＳ６）。After that, as the movable body 14 moves (NO in step S5), the three displacement sensors measuring the distance in the z direction from the movable body 14 are replaced, but the movable body 14 is always moved.
The measurement output of the z-direction distance between and is sent to the arithmetic and control unit 22, and the horizontal state of the movable body is maintained. On the other hand, when the operation of the magnetic levitation transport device is stopped and the movable body 14 is stopped (YES in step S5), the current supply to the magnetic pole is stopped (step S6).
【００２７】[0027]
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、可動体と重なり合う３個の変位センサ及び
６個の磁極のうち、１個の変位センサ及び２個の磁極ず
つが切り替えられ、可動体は常時３個の変位センサ及び
６個の磁極と重なるため、切り替え時に振動その他の好
ましくない動きが生じることがない。Since the present invention is configured as described above, one displacement sensor and two magnetic poles are switched among the three displacement sensors and the six magnetic poles that overlap the movable body. However, since the movable body always overlaps with the three displacement sensors and the six magnetic poles, vibration or other undesirable movement does not occur at the time of switching.
【００２８】また、可動体と重なり合うセンサが計測し
た距離及び該センサの座標に基づいて可動体表面を含む
平面を演算により特定することにより、該可動体が軌道
と接触せず、水平状態を維持して移動或いは走行するの
に必要な精度の高い制御が達成される。Further, the plane including the surface of the movable body is specified by calculation based on the distance measured by the sensor overlapping with the movable body and the coordinates of the sensor, so that the movable body does not come into contact with the track and the horizontal state is maintained. The precise control required for moving or traveling is achieved.
【００２９】これに加えて、磁気的な吸引力を適宜調節
して、可動体の浮上量を調整することも出来る。In addition to this, the floating amount of the movable body can be adjusted by appropriately adjusting the magnetic attraction force.
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention.
【図２】可動体表面の特定の態様を説明するための直交
座標系を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an orthogonal coordinate system for explaining a specific aspect of a movable body surface.
【図３】フローチャートを示す図。FIG. 3 is a diagram showing a flowchart.
１０・・・磁気浮上搬送装置 １２・・・軌道 １４・・・可動体 １６−ａ・・・１６−ｎ・・・磁極 １８−ａ・・・１８−ｎ・・・変位センサ ２０、２４・・・切替手段 ２２・・・演算制御ユニット Ａ〜Ｆ・・・可動体表面の磁極に対応する箇所（或いは
点）10 ... Magnetic levitation transport device 12 ... Orbit 14 ... Movable body 16-a ... 16-n ... Magnetic pole 18-a ... 18-n ... Displacement sensor 20, 24 ... .... Switching means 22 ... Arithmetic control units AF ... locations (or points) corresponding to magnetic poles on the surface of the movable body
Claims (1)
も軌道側に固設し、該変位センサの配置箇所に浮上用電
磁石の磁極を固設し、浮上用電磁石により可動体を軌道
に対して非接触状態で該軌道に沿って移動せしめる磁気
浮上搬送装置の制御方法において、可動体が常時３個の
変位センサ及び６個の磁極と重なる様に前記変位センサ
及び磁極は配置されており、該３個の変位センサにより
対向する可動体表面との垂直方向距離を計測して演算制
御ユニットへ出力する工程と、可動体進行方向及び該進
行方向に直交する方向についての各センサの座標と計測
された垂直方向距離とから演算により可動体表面を特定
する工程と、特定された可動体表面の位置に基づいて前
記演算制御ユニットが所定の磁極に供給する電流を制御
する工程と、該可動体が軌道に沿って移動する際に重な
り合う１個の変位センサ及び２個の磁極が変更する度に
前記演算制御ユニットと接続される変位センサ及び磁極
を切り替える工程、とを含むことを特徴とする磁気浮上
搬送装置の制御方法。1. A displacement sensor used for magnetic levitation is fixed at least on the track side, a magnetic pole of a levitation electromagnet is fixed at a position where the displacement sensor is arranged, and the movable body is not in contact with the track by the levitation electromagnet. In a control method of a magnetic levitation transport device that moves along the track in a state, the displacement sensor and the magnetic pole are arranged so that the movable body always overlaps with the three displacement sensors and the six magnetic poles. Measuring the distance in the vertical direction from the surface of the movable body facing the displacement sensor by using the displacement sensor and outputting it to the arithmetic and control unit; A step of specifying the surface of the movable body by calculation from the directional distance; a step of controlling the current supplied to the predetermined magnetic pole by the arithmetic control unit based on the position of the specified surface of the movable body; Switching between the displacement sensor and the magnetic pole connected to the arithmetic and control unit each time the displacement sensor and the two magnetic poles that overlap each other when the body moves along the trajectory change. Control method of magnetic levitation transportation device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3217762A JP2547489B2 (en) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | Control method of magnetic levitation carrier |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3217762A JP2547489B2 (en) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | Control method of magnetic levitation carrier |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0564315A true JPH0564315A (en) | 1993-03-12 |
| JP2547489B2 JP2547489B2 (en) | 1996-10-23 |
Family
ID=16709338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3217762A Expired - Lifetime JP2547489B2 (en) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | Control method of magnetic levitation carrier |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2547489B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015183465A (en) * | 2014-03-25 | 2015-10-22 | Ｊｆｅ建材株式会社 | Rotation preventing tool and aseismic metal hanger comprising rotation preventing tool |
| US11472638B2 (en) | 2020-02-07 | 2022-10-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Conveyance apparatus, production system, and method for manufacturing article |
Citations (2)
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| JPH0332306A (en) * | 1989-06-26 | 1991-02-12 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Magnetic levitation controller |
| JPH03190507A (en) * | 1989-12-15 | 1991-08-20 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | Magnetic levitation carrying method and facility |
-
1991
- 1991-08-29 JP JP3217762A patent/JP2547489B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US11472638B2 (en) | 2020-02-07 | 2022-10-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Conveyance apparatus, production system, and method for manufacturing article |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2547489B2 (en) | 1996-10-23 |
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