JPH0562825U - Balance with draft shield - Google Patents
Balance with draft shieldInfo
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- JPH0562825U JPH0562825U JP313592U JP313592U JPH0562825U JP H0562825 U JPH0562825 U JP H0562825U JP 313592 U JP313592 U JP 313592U JP 313592 U JP313592 U JP 313592U JP H0562825 U JPH0562825 U JP H0562825U
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- windshield
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 風防扉の開閉に際して発生するダストが被計
量物にふりかかることなく、特にクリーンルーム内での
使用に適し、しかも設置面積の小さい風防付き天びんを
提供する。
【構成】 ひょう量皿を内部に収容し、かつ、被計量物
出し入れ用開口部を持つ風防の、当該開口部を開閉する
扉を、ひょう量皿の配設高さよりも低い位置でのみ支持
部材で支持して上下にスライドするようにし、この開閉
動作中に扉が支持部材に対して接触する領域の全てが、
その開閉動作のいずれの状態においてもひょう量皿の配
設高さに達しないように構成する。
(57) [Summary] [Purpose] To provide a balance with a windshield that is suitable for use in a clean room and has a small installation area, without dust generated when the windshield door is opened or closed being scattered on the object to be weighed. [Structure] A door for holding a weighing pan inside and having an opening for loading and unloading an object to be weighed, which opens and closes the opening, is supported only at a position lower than the height of the weighing pan. Supported by and slid up and down, and the entire area where the door contacts the support member during this opening and closing operation,
The arrangement height of the weighing pan is not reached in any state of the opening / closing operation.
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】 本考案は、例えばクリーンルーム内等において使用 するのに適した風防付き天びんに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a windshield balance suitable for use in, for example, a clean room.
【０００２】[0002]
【従来の技術】 高精度の天びんにおいては、一般に、風がひょう量皿に作 用することにより生じるひょう量値の変動を防止するため、ひょう量皿を囲う風 防を設けることが行われる。特に、クリーンルームでは、室の上方から下方へと 向かう空気流、いわゆるダウンフローが流されており、風防が無い場合には計量 表示値が変動してある程度以上の精密な天びんは使用することができない。2. Description of the Related Art Generally, in a high-precision balance, a windshield surrounding the weighing pan is provided in order to prevent fluctuations in the weighing value caused by the wind acting on the weighing pan. Especially in a clean room, an air flow from the upper part to the lower part of the room, so-called downflow, flows, and if there is no windshield, the measured value will fluctuate and it will not be possible to use a precision balance above a certain level. ..
【０００３】 従来の風防は、一般に、ひょう量皿の周囲に設けた側壁および天井とによりひ ょう量室を形成し、その側壁の一部に扉を設けた構成を採っている。そして、こ の扉は、板状体の上辺および下辺部分においてひょう量室の構成部材に移動自在 にガイドされるようになっている。A conventional windshield generally has a configuration in which a side wall provided around a weighing pan and a ceiling form a weighing chamber, and a door is provided on a part of the side wall. The door is movably guided by the components of the weighing chamber at the upper and lower sides of the plate.
【０００４】[0004]
【考案が解決しようとする課題】 以上のような従来のひょう量室では、扉 を開閉する際にそのガイド部における擦れによって僅かではあるがダストが発生 し、このダストが被計量物にふりかかることになり、特にクリーンルーム内での 処理を必要とするような物品を、そのクリーンルーム内で計量する場合等に供す るには不適当である。[Problems to be Solved by the Invention] In the conventional weighing chamber as described above, when the door is opened and closed, a small amount of dust is generated due to the rubbing of the guide portion, and the dust is applied to the object to be weighed. In particular, it is unsuitable for use in the case of weighing items in the clean room that require processing in the clean room.
【０００５】 そこで、クリーンルーム内で、天びん全体または天びんを載せている台ないし は装置の全体を大きなカバー等で覆うことが考えられるが、クリーンルーム内で は、通常、前記したようにダウンフローの気流が流されており、天びんを含む装 置等の全体をカバー等で覆うと、ここで発生したダストをこのカバー内に滞留さ せることになって好ましくない。Therefore, it is conceivable to cover the entire balance or the base on which the balance is mounted or the entire device with a large cover in a clean room. However, in a clean room, as described above, the downflow air flow is usually generated. If the entire equipment including the balance is covered with a cover or the like, dust generated here is retained in the cover, which is not preferable.
【０００６】 本考案はこのような点に鑑みてなされたもので、風防扉の開閉に際して発生す るダストが被計量物にふりかかることなく、特にクリーンルーム内での使用に適 し、しかも、コンパクトで設置面積の小さい風防付き天びんの提供を目的として いる。The present invention has been made in view of the above point, and is suitable for use in a clean room, in particular, because dust generated when the windshield door is opened and closed does not impinge on the object to be weighed, and is compact. The purpose is to provide a balance with a windshield that has a small installation area.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】 上記の目的を達成するため、本考案の風防 付き天びんは、ひょう量皿をその内部に収容し、かつ、被計量物出し入れ用の開 口部を有する風防の、その開口部を開閉する扉が、ひょう量皿の配設高さよりも 低い位置でのみ支持部材で支持された状態で上下方向にスライドして開口部を開 閉するとともに、この開閉動作中に当該扉が支持部材に対して接触する領域の全 てが、その開閉動作のいずれの状態においてもひょう量皿の配設高さに達しない ように構成されていることによって特徴付けられる。[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, a balance with a draft shield of the present invention is a windshield that has a weighing pan accommodated therein and has an opening for loading and unloading objects to be weighed. , The door that opens and closes the opening is opened and closed by sliding it up and down while being supported by the support member only at a position lower than the height of the weighing pan. It is characterized in that the entire area of contact of the door with respect to the support member is configured so as not to reach the placement height of the weighing pan in any state of its opening / closing operation.
【０００８】[0008]
【作用】 扉の支持部材による支持位置、つまり扉と支持部材との接触位置 がひょう量皿の配設高さよりも低い位置にあること、および、開閉動作中で扉が 支持部材に接触する領域の全てが、全開閉動作中にひょう量皿の配設高さに達し ないことで、扉の開閉に際して支持部材との接触によりダストが発生しても、そ のダストがひょう量皿上の被計量物にふりかかることがなく、かつ、この扉は上 下方向にスライドして風防開口部を開閉するから、扉の移動に基づく設置スペー スの増大がなく、所期の目的を達成できる。[Operation] The supporting position of the door supporting member, that is, the contact position between the door and the supporting member is lower than the arrangement height of the weighing pan, and the area where the door contacts the supporting member during the opening / closing operation. Since all of them do not reach the placement height of the weighing pan during the full opening / closing operation, even if dust is generated due to contact with the support member when the door is opened / closed, the dust will not cover the weighing pan. Since the weighing object is not splashed and the door slides up and down to open and close the draft shield opening, the installation space does not increase due to the movement of the door and the intended purpose can be achieved.
【０００９】[0009]
【実施例】 図１は本考案実施例の中央縦断面右側面図で、（Ａ）は扉８を 閉じた状態、（Ｂ）は扉８を開いた状態を示している。また、図２は図１（Ａ） のＡ−Ａ断面で示す正面図である。また、図３は図２のＢ−Ｂ断面図である。Embodiments FIG. 1 is a right side view of a central longitudinal section of an embodiment of the present invention, (A) showing a state in which a door 8 is closed, and (B) showing a state in which the door 8 is opened. Further, FIG. 2 is a front view showing a cross section taken along the line AA of FIG. 3 is a sectional view taken along line BB of FIG.
【００１０】 ベース板１の上面にスペーサ２を介して例えば電磁力平衡式等の荷重検出ユニ ット３が固着されており、この荷重検出ユニット３の上方には皿受け軸４ａを介 してひょう量皿４が配置されている。なお、この例はウエハ等の板状の被計量物 を測定するための天びんであり、ひょう量皿４はこのような板状物を汚染させず に安定して載置するために、上方に４つの突起を持つ構造のものが採用されてい る。A load detection unit 3 of, for example, an electromagnetic force balance type is fixed to the upper surface of the base plate 1 via a spacer 2. Above the load detection unit 3, a plate receiving shaft 4a is interposed. A weighing pan 4 is arranged. Note that this example is a balance for measuring a plate-like object to be weighed, such as a wafer, and the weighing pan 4 is placed above the plate-like object in order to stably place it without contaminating the plate-like object. A structure with four protrusions is adopted.
【００１１】 ベース板１の上面には、荷重検出ユニット３およびひょう量皿４の四方および 上方を覆うような風防５が固着されている。そして、この風防５内には、ひょう 量皿４の底面と荷重検出ユニット３の上面との間を仕切り、かつ、皿受け軸４ａ を貫通させる孔６ａを有するひょう量室床材６が固着されており、このひょう量 室床板６と風防５の天井との間の空間がひょう量室Ｒを形成している。ひょう量 室床材６の前端縁には、下方に向かって略９０°に屈曲する折り返し部６ｂが形 成されている。A windshield 5 is fixed to the upper surface of the base plate 1 so as to cover the load detection unit 3 and the weighing pan 4 on all sides and above. Then, in the windshield 5, a weighing chamber flooring 6 having a hole 6a for partitioning the bottom surface of the weighing pan 4 and the upper surface of the load detection unit 3 and having a plate receiving shaft 4a penetrating is fixed. The space between the weighing chamber floor plate 6 and the ceiling of the windshield 5 forms a weighing chamber R. At the front edge of the weighing chamber flooring 6, there is formed a folded-back portion 6b which is bent downward at approximately 90 °.
【００１２】 風防５の前側の側壁には、被計量物を出し入れするための開口部７が形成され ている。この開口部７の上縁は、風防５の前側側壁と天井との交差部にまでは至 っておらず、その上方部分には天井から下方に伸びる所定長さの折り返し部５ａ が形成されている。そしてこの開口部７は、以下に示すような機構により上下方 向にスライドする扉８によって開閉される。An opening 7 for taking in and out an object to be weighed is formed on a front side wall of the windshield 5. The upper edge of the opening 7 does not reach the intersection of the front side wall of the windshield 5 and the ceiling, and the folded portion 5a of a predetermined length extending downward from the ceiling is formed in the upper portion thereof. There is. The opening 7 is opened and closed by a door 8 that slides upward and downward by the mechanism described below.
【００１３】 すなわち、扉８には上下方向に伸びるラック９が固着されているとともに、ベ ース板１にはこのラック９を含めた扉８を貫通させるための切り欠き１ａが形成 されている。また、このベース板１の下面には、扉８の表裏両面に沿う上下方向 の溝１０ａが形成された一対の支持部材１０と、扉８に固着されたラック９と噛 み合うピニオン１１が配設されており、ピニオン１１をモータ１２によって回転 させることにより、その回転の向きに応じて、扉８はラック９を介して支持部材 １０の溝１０ａに沿って上方または下方に変位するように構成されている。ここ で、ピニオン１１とラック９との噛み合い位置は、支持部材１０の上縁の位置よ りも低い位置である。That is, a rack 9 extending vertically is fixed to the door 8, and a notch 1a for allowing the door 8 including the rack 9 to penetrate is formed in the base plate 1. .. Further, on the lower surface of the base plate 1, there are arranged a pair of support members 10 in which vertical grooves 10a are formed along both front and back surfaces of the door 8 and a pinion 11 that meshes with a rack 9 fixed to the door 8. When the pinion 11 is rotated by the motor 12, the door 8 is displaced upward or downward along the groove 10a of the support member 10 via the rack 9 depending on the direction of the rotation. Has been done. Here, the meshing position between the pinion 11 and the rack 9 is lower than the position of the upper edge of the support member 10.
【００１４】 以上のような本考案実施例は、例えばウエハのハンドリング装置およびその駆 動制御部（いずれも図示せず）等とともに、ウエハ質量の自動測定装置等として 実用化されるもので、ベース板１がこのような自動測定装置の構造部材Ｓの上に 固着された状態で使用され、扉８の下方部分には空間が形成されるようになって いる。The embodiment of the present invention as described above is put to practical use as, for example, an automatic wafer mass measuring device together with a wafer handling device and its drive control unit (neither is shown). The plate 1 is used while being fixed on the structural member S of such an automatic measuring device, and a space is formed in the lower portion of the door 8.
【００１５】 以上の本考案実施例の構成において、扉８の上縁部のスライド上限位置をＡ、 同じく上縁部のスライド下限位置をひょう量室床材６の上面よりも低い位置Ｂと し、支持部材１０の上縁の高さをＣとするとともに、ＡとＢとのなす距離、つま り扉８のストロークをＬ1 としたとき、Ｂ〜Ｃ間の距離Ｌ2 は、Ｌ1 ＜Ｌ2 とな っている。これにより、扉８の全開閉動作において扉８が支持部材１０と接触す る領域の最上部が、扉８が上限位置に達した時点でもＢの高さをに達することが なく、従って、扉８は常にひょう量皿４よりも低い位置においてのみ他部材に当 接して上下方向にスライドするばかりでなく、全開閉動作中のいずれの状態にお いても、他部材と接触した部分がひょう量皿４の配設高さに達することがない。 その結果、クリーンルーム内のダウンフロー環境化において、扉８のスライド時 に支持部材１０との接触により発生して飛散したダストは、風防５内のひょう量 室床材６よりも上方の空間、つまりひょう量室Ｒ内に侵入することがないととも に、支持部材１０との接触によって発生したダストの付着により汚染される可能 性のある扉８の領域がひょう量室床材６よりも上方に移動しないことから、ここ に付着したダストが扉８を介して間接的にひょう量室Ｒ内に侵入することもなく 、ひょう量室Ｒは常に清浄な環境に保たれる。In the above-described embodiment of the present invention, the upper limit of sliding of the upper edge of the door 8 is A, and the lower limit of sliding of the upper edge is the position B lower than the upper surface of the weighing chamber flooring 6. Assuming that the height of the upper edge of the support member 10 is C, the distance between A and B, and the stroke of the door 8 is L 1 , the distance L 2 between B and C is L 1 < It is L 2 . As a result, the uppermost part of the area where the door 8 comes into contact with the support member 10 does not reach the height of B even when the door 8 reaches the upper limit position in the entire opening / closing operation of the door 8, and therefore the door 8 Not only does 8 always contact the other member and slide vertically only at a position lower than the weighing pan 4, but also in any state during the whole opening / closing operation, the portion in contact with the other member 8 is the weighing capacity. The height at which the plate 4 is arranged is never reached. As a result, in the downflow environment in the clean room, the dust generated by the contact with the support member 10 when the door 8 is slid and scattered is a space above the weighing chamber floor material 6 in the windshield 5, that is, The area of the door 8 that does not enter the weighing chamber R and may be contaminated by the adhesion of dust generated by the contact with the supporting member 10 is located above the weighing chamber flooring 6. Since it does not move, the dust attached here does not indirectly enter the weighing chamber R through the door 8 and the weighing chamber R is always kept in a clean environment.
【００１６】 また、図１（Ａ）に示すように扉８が上限位置に位置している状態、つまり扉 ８を閉じている状態では、その上縁部と開口部７の上縁部との間に、風防折り返 し部５ａと扉８とが距離ｔにわたって重複するようになっており、この重複部の 存在により、本考案実施例をダウンフローの環境下においても、扉８を閉じたと きにひょう量室Ｒ内にダウンフローが侵入して質量測定精度に影響を及ぼすこと がない。Further, as shown in FIG. 1A, when the door 8 is located at the upper limit position, that is, when the door 8 is closed, the upper edge of the door 8 and the upper edge of the opening 7 are separated from each other. In the meantime, the windshield folding-back portion 5a and the door 8 overlap each other over the distance t. Due to the presence of this overlapping portion, the door 8 is closed even in the downflow environment. Downflow does not enter the weighing chamber R and affect the accuracy of mass measurement.
【００１７】 なお、図２に示したＢの位置、すなわち扉８が下限位置にある状態における扉 ８の上縁部の位置は、図１（Ｂ）に例示するようなＢ1 ，Ｂ2 ，またはＢ3 、あ るいはその近傍のいずれでもよい。ここで、Ｂ1 はひょう量室床材６の表面高さ で、この高さをＢの上限高さとし、Ｂ3 はひょう量室床材６の折り返し部６ｂの 下縁高さで、この高さをＢの下限高さとして、その間の例えば開口部７の最下面 高さＢ2 あるいはその近傍等に設定することができる。The position of B shown in FIG. 2, that is, the position of the upper edge of the door 8 when the door 8 is at the lower limit position is B 1 , B 2 , as illustrated in FIG. 1B. Alternatively, it may be B 3 , or in the vicinity thereof. Here, B 1 is the surface height of the weighing chamber floor material 6, and this height is the upper limit height of B, and B 3 is the lower edge height of the folded-back portion 6 b of the weighing chamber floor material 6, which is this height. The height can be set as the lower limit height of B, for example, the height B 2 of the lowermost surface of the opening 7 or the vicinity thereof or the like.
【００１８】 また、以上の実施例では、ピニオン１１を駆動するためのモータ１２をベース 板１よりも下方に配置しているが、これにより、風防５内のひょう量室Ｒよりも 下方部分にもモータ１２からのダストが侵入せずに好都合となる。ただし、本考 案はモータ１２等をベース板１とひょう量室床材６との間に配置することを妨げ ない。すなわち、上記した実施例のようにウエハ質量自動測定装置等に組み込ん で使用する場合には、モータ１２等をベース板１よりも下方に配置しても問題は ないが、例えば本考案による天びんを単独で使用する場合に、モータ１２等がベ ース板１の下方にあるが故に設置が困難であれば、これをベース板１の上に配置 してもよい。なお、本考案に係る天びんを単独で使用し、しかもモータ１２等を ベース板１の下方に配置する場合には、例えば図４に示すように設置用の脚部４ ０を必要な長さにすることで対処可能である。Further, in the above embodiment, the motor 12 for driving the pinion 11 is arranged below the base plate 1, so that the motor 12 in the windshield 5 is located below the weighing chamber R. Also, it is convenient because dust from the motor 12 does not enter. However, the present proposal does not prevent the motor 12 and the like from being arranged between the base plate 1 and the weighing chamber flooring 6. That is, when the wafer mass automatic measuring device is used by incorporating it as in the above-described embodiment, there is no problem in arranging the motor 12 and the like below the base plate 1. When it is used alone, if it is difficult to install it because the motor 12 and the like are below the base plate 1, it may be arranged on the base plate 1. When the balance according to the present invention is used alone and the motor 12 and the like are arranged below the base plate 1, for example, as shown in FIG. It can be dealt with.
【００１９】 更に、上記した実施例では扉８を支持部材１０に形成した溝１０ａに沿って摺 動させるようにしたが、この支持部材としてスライドベアリング等の他のガイド 機構を用い得ることは勿論である。Further, although the door 8 is slid along the groove 10a formed in the supporting member 10 in the above-mentioned embodiment, other guide mechanisms such as slide bearings can of course be used as the supporting member. Is.
【００２０】 また、扉８の上下方向の駆動機構としては、上記した実施例のようなラック・ ピニオン機構のほか、エアシリンダ、油圧シリンダ、リニアモータ等の公知の駆 動機構を採用し得ることは言うまでもない。Further, as the vertical drive mechanism for the door 8, a known drive mechanism such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a linear motor, etc. can be adopted in addition to the rack and pinion mechanism as in the above-described embodiment. Needless to say.
【００２１】 更に、荷重検出ユニット３としては電磁力平衡式のほか、ロードセル等の他の 方式のものを使用することができるとともに、この荷重検出ユニット３とベース 板１との間に介在させるスペーサ２を、制振性のあるゴム等で作成すると、モー タ１２等の駆動時の振動が荷重検出ユニット３に伝わりにくくなり、より好まし い。Further, as the load detecting unit 3, other types such as a load cell in addition to the electromagnetic force balancing type can be used, and a spacer interposed between the load detecting unit 3 and the base plate 1 If 2 is made of vibration-damping rubber or the like, vibration during driving of the motor 12 or the like is less likely to be transmitted to the load detection unit 3, which is more preferable.
【００２２】 なお更に、ひょう量室Ｒの容積は、できるだけ小さい方が、内部で気流が生じ にくいため好ましい。そこで、ひょう量室床材６の左右両縁部および後縁部を立 ち上がらせて、これらにより風防５内で更にひょう量皿４を囲むひょう量室を形 成してもよい。図５はその具体的構成例で、風防５を取り除いた状態で示す要部 斜視図である。この例において、ひょう量室床材６の左右および後部縁部から立 ち上がらせてひょう量皿４を三方で囲む壁６ｃ，６ｄおよび６ｅを形成するとと もに、左右の壁６ｃおよび６ｄに室外側へ略９０°で屈曲する折り返し部６ｆお よび６ｇを形成している。そして、この折り返し部６ｆおよび６ｇは、扉８と所 定の僅かな隙間を介して重なるようになっている。Furthermore, it is preferable that the volume of the weighing chamber R is as small as possible, because air flow is less likely to occur inside. Therefore, the left and right edges and the rear edge of the weighing chamber flooring 6 may be raised to form a weighing chamber further enclosing the weighing pan 4 in the windshield 5. FIG. 5 is a perspective view of a main part showing a specific configuration example thereof with the windshield 5 removed. In this example, the walls 6c, 6d and 6e surrounding the weighing pan 4 on three sides are formed by being raised from the left and right edges and the rear edge of the weighing chamber flooring 6 and the left and right walls 6c and 6d. The folded-back portions 6f and 6g are formed to bend at approximately 90 ° to the outside of the room. The folded-back portions 6f and 6g are arranged to overlap the door 8 with a certain small gap.
【００２３】 この図５の構造によれば、ひょう量室Ｒを小さくすることによる当該室内での 気流の発生を抑制する効果のほかに、扉８を閉じた状態において、扉８と折り返 し部６ｆ，６ｇとの重なり部分の存在により、および前記した折り返し部６ｂの 存在をも併せて、扉８とひょう量室Ｒ構成部材との隙間からひょう量室Ｒ内への 風の回り込みを少なくできるという効果を奏することができる。なお、ひょう量 室Ｒをあまり小さくすると、試料の帯電によるクーロン力のため、試料とひょう 量室Ｒの壁や床とが近づき過ぎてあまり好ましくなく、従ってひょう量室Ｒの容 積はこの点をも含めて最適な容積とすべきである。According to the structure of FIG. 5, in addition to the effect of suppressing the generation of the air flow in the weighing chamber R by making the weighing chamber R small, the weighing chamber R is folded back with the door 8 when the door 8 is closed. Due to the presence of the overlapping portions with the portions 6f and 6g and the presence of the folded-back portion 6b described above, the air flow into the weighing chamber R from the gap between the door 8 and the component of the weighing chamber R is reduced. The effect that can be achieved can be exhibited. Note that if the weighing chamber R is made too small, the sample and the walls and floor of the weighing chamber R are too close to each other due to the Coulomb force due to the electrification of the sample, which is not preferable. Therefore, the volume of the weighing chamber R is at this point. It should be the optimum volume including that.
【００２４】[0024]
【考案の効果】 以上説明したように、本考案によれば、風防の開口部に設 けられる扉を上下方向にスライドして当該開口部を開閉するように構成するとと もに、この扉を、ひょう量皿よりも下方においてのみ支持部材で支持した状態で スライドさせ、かつ、この開閉動作中に扉が支持部材に対して接触する領域の全 てが、その開閉動作のいずれの状態においてもひょう量皿の配設高さに達しない ように構成しているので、扉のスライド時に支持部材との接触により発生する可 能性のあるダストは、直接飛散してひょう量皿を含むひょう量室内に侵入しない ばかりでなく、このダストが扉に付着して間接的にひょう量室内に侵入すること もなく、ひょう量室内は常に清浄な状態に保たれることになり、被計量物にダス トがふりかかることなく高クリーン度を維持することのできる風防付き天びんが 得られる。しかも、扉は上下方向にスライドするから、水平方向にスライドする 場合に比して設置に必要な面積が少なくてすむ。As described above, according to the present invention, the door provided at the opening of the windshield is configured to slide in the vertical direction to open and close the opening, and the door is also opened. Slide only below the weighing pan while being supported by the support member, and during the opening / closing operation, the entire area where the door comes into contact with the support member is not affected by the opening / closing operation. Since it is configured so that it does not reach the height of the weighing pan, dust that may be generated by contact with the support member when the door slides will be directly scattered and the weighing capacity including the weighing pan. Not only does it not enter the room, but this dust does not adhere to the door and indirectly enter the weighing chamber, and the weighing chamber is always kept clean. To be spoiled A balance with a draft shield that can maintain a high degree of cleanliness is obtained. Moreover, since the door slides vertically, the area required for installation is smaller than when it slides horizontally.
【図１】 本考案実施例の中央縦断面右側面図で、
（Ａ）は扉８を閉じた状態、（Ｂ）同じく扉８を開いた
状態で示す図FIG. 1 is a right side view of a central longitudinal section of an embodiment of the present invention,
(A) shows the door 8 closed, (B) shows the door 8 open
【図２】 図１（Ａ）のＡ−Ａ断面で示す正面図FIG. 2 is a front view showing a cross section AA of FIG.
【図３】 図２のＢ−Ｂ断面図3 is a sectional view taken along line BB of FIG.
【図４】 本考案の他の実施例の中央縦断面右側面図FIG. 4 is a right side view of a central longitudinal section of another embodiment of the present invention.
【図５】 本考案の更に他の実施例の風防を取り除いた
状態で示す要部斜視図FIG. 5 is a perspective view of a main part of the device according to still another embodiment of the present invention with the windshield removed.
１・・・・ベース板 ２・・・・スペーサ ３・・・・荷重検出ユニット ４・・・・ひょう量皿 ４ａ・・・・皿受け軸 ５・・・・風防 ５ａ・・・・折り返し部 ６・・・・ひょう量室床材 ６ａ・・・・孔 ６ｂ・・・・折り返し部 ７・・・・開口部 ８・・・・扉 ９・・・・ラック １０・・・・支持部材 １０ａ・・・・溝 １１・・・・ピニオン １２・・・・モータ 1 ... Base plate 2 ... Spacer 3 ... Load detection unit 4 ... Weighing pan 4a ... Plate receiving shaft 5 ... Wind shield 5a ... 6 ...- Weighing chamber floor material 6a-hole 6b-folded part 7-opening 8-door 9-rack 10-supporting member 10a .... Groove 11 .... Pinion 12 .... Motor
Claims (1)
が、被計量物出し入れ用の開口部を有する風防内に収容
されているとともに、この開口部には開閉自在の扉が設
けられてなる天びんにおいて、上記扉は、上記ひょう量
皿の配設高さよりも低い位置でのみ支持部材で支持され
た状態で上下方向にスライドして上記開口部を開閉する
とともに、この開閉動作中に当該扉が上記支持部材に対
して接触する領域の全てが、上記開閉動作のいずれの状
態においても上記ひょう量皿の配設高さに達しないよう
に構成されていることを特徴とする風防付き天びん。1. A weighing pan for placing an object to be weighed is housed in a windshield having an opening for loading and unloading the object to be weighed, and an opening / closing door is provided in this opening. In the balance comprising the above, the door is slid up and down to open and close the opening while being supported by the supporting member only at a position lower than the arrangement height of the weighing pan, and during this opening and closing operation. The windshield is characterized in that the entire area where the door comes into contact with the support member is configured so as not to reach the disposition height of the weighing pan in any state of the opening / closing operation. Balance.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP313592U JP2513580Y2 (en) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | Balance with windshield |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP313592U JP2513580Y2 (en) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | Balance with windshield |
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|---|---|
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019194527A (en) * | 2018-05-01 | 2019-11-07 | 三菱電機株式会社 | electronic balance |
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| WO2022009266A1 (en) * | 2020-07-06 | 2022-01-13 | 株式会社 エー・アンド・デイ | Wind screen for balance scale |
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-
1992
- 1992-01-31 JP JP313592U patent/JP2513580Y2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019194527A (en) * | 2018-05-01 | 2019-11-07 | 三菱電機株式会社 | electronic balance |
| WO2020129191A1 (en) | 2018-12-19 | 2020-06-25 | 株式会社 エー・アンド・デイ | Electronic balance |
| US11460339B2 (en) | 2018-12-19 | 2022-10-04 | A&D Company, Limited | Electronic balance with powered sliding windshield door |
| US11473966B2 (en) | 2018-12-19 | 2022-10-18 | A&D Company, Limited | Electronic balance |
| WO2022009266A1 (en) * | 2020-07-06 | 2022-01-13 | 株式会社 エー・アンド・デイ | Wind screen for balance scale |
| JPWO2022009266A1 (en) * | 2020-07-06 | 2022-01-13 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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