JPH0554303A - Magnetic disk - Google Patents
Magnetic diskInfo
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- JPH0554303A JPH0554303A JP24283091A JP24283091A JPH0554303A JP H0554303 A JPH0554303 A JP H0554303A JP 24283091 A JP24283091 A JP 24283091A JP 24283091 A JP24283091 A JP 24283091A JP H0554303 A JPH0554303 A JP H0554303A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、コンピュータの外部記
憶に使用する磁気ディスク装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk device used for external storage of a computer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】磁気ディスク装置においては、起動時に
磁気ディスクが回転し、ヘッドは、ディスクに接触しな
がら浮力を受けて浮上し、一定回転数では、一定の浮上
量を保つ。停止時には、回転数の低下と共にヘッド浮上
量は、低下し、ディスクと接触して停止する。これはコ
ンタクト・スタート，コンタクト・ストップ（ＣＳＳ）
方式と呼ばれ、広く採用されている方式である。2. Description of the Related Art In a magnetic disk device, a magnetic disk rotates at the time of start-up, and a head floats by receiving buoyancy while contacting the disk, and maintains a constant flying height at a constant rotation speed. At the time of stop, the flying height of the head decreases as the number of revolutions decreases, and the head contacts the disk and stops. This is contact start, contact stop (CSS)
It is called a method and is a widely adopted method.
【０００３】記録密度を向上させるために低浮上化が図
られ、浮上量は、０．１μｍの達成を要求されており、
さらには０．１μｍのニア・コンタクトの領域、そして
最終的には常時接触するコンタクト方式まで進むと考え
られている。コンタクト方式の磁気ディスク装置とし
て、ヘッドの軽量化及び低荷重化を図った装置が考案さ
れている。In order to improve the recording density, the flying height is lowered, and the flying height is required to reach 0.1 μm.
Further, it is considered that the near contact region of 0.1 μm and finally the contact system in which the contact is always made will progress. 2. Description of the Related Art As a contact type magnetic disk device, a device for reducing the weight and weight of a head has been devised.
【０００４】磁気ディスクには、Ｎｉ−Ｐメッキ処理し
たアルミ基板を用い、その上にスパッタ法で成膜した下
地Ｃｒ膜、磁性膜及びアモルファスカーボン保護膜、最
表面に潤滑膜を有するのが一般的である。他の保護膜と
して、硬質非晶質カーボンやセラミックス（ＺｒＯ2，
ＳｉＯ2，ＴｉＮ，ＢＮ等）が考案されているが、しか
し、広くは使われていない。For the magnetic disk, an Ni-P plated aluminum substrate is used, and a Cr film, a magnetic film and an amorphous carbon protective film, which are formed by a sputtering method, and a lubricating film on the outermost surface are generally used. Target. Other protective films include hard amorphous carbon and ceramics (ZrO 2 ,
(SiO 2 , TiN, BN, etc.) have been devised, but not widely used.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】コンタクト方式の磁気
ディスク装置では、ヘッドと磁気ディスクとが常時接触
しているため、低荷重であっても、従来のスパッタアモ
ルファスカーボン膜が摩耗することがあり、このため、
磁気ディスクが損傷したり、発生した摩耗粉がヘッドに
付着して電磁気特性に悪影響を与えるという問題点があ
った。In the contact type magnetic disk device, since the head and the magnetic disk are constantly in contact with each other, the conventional sputtered amorphous carbon film may be worn even under a low load. For this reason,
There is a problem in that the magnetic disk is damaged, or the generated abrasion powder adheres to the head and adversely affects the electromagnetic characteristics.
【０００６】さらに、磁気ディスク表面上の微少突起
は、ヘッドと衝突した最に低荷重のヘッドが跳ね上り、
磁気ディスクを損傷させるという問題点があった。Further, the minute projections on the surface of the magnetic disk bounce up the head with the lowest load when it collides with the head.
There is a problem that the magnetic disk is damaged.
【０００７】硬質非晶質カーボン保護膜やセラミックス
保護膜は、硬度が大きく優れた耐摩耗性を持つ。しかし
ながら、膜の内部応力も大きく、高速で回転している磁
気ディスクとヘッドとが接触した際の強い衝撃力が加わ
ると、膜が剥離するという問題点があった。The hard amorphous carbon protective film and the ceramics protective film have high hardness and excellent wear resistance. However, the internal stress of the film is large, and there is a problem that the film peels off when a strong impact force is applied when the magnetic disk rotating at high speed and the head come into contact with each other.
【０００８】本発明の目的は、常時ヘッドと磁気ディス
クとを接触摺動させるコンタクトレコーディング式磁気
ディスク装置の耐摩耗性を向上させた磁気ディスク装置
を提供することにある。It is an object of the present invention to provide a magnetic disk device having improved wear resistance of a contact recording type magnetic disk device in which a head and a magnetic disk are constantly in sliding contact with each other.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明による磁気ディスク装置においては、磁気デ
ィスクとヘッドとの組合せを有する磁気ディスク装置で
あって、磁気ディスクは、ガラス基板を用いたものであ
り、ヘッドは、荷重０．０１〜０．１ｇで磁気ディスク
に接触させるものである。In order to achieve the above object, a magnetic disk device according to the present invention is a magnetic disk device having a combination of a magnetic disk and a head, and the magnetic disk uses a glass substrate. The head is brought into contact with the magnetic disk with a load of 0.01 to 0.1 g.
【００１０】また、前記磁気ディスクは、ガラス基板上
に順に積層された磁性膜と、保護膜と、潤滑膜とを有す
るものである。Further, the magnetic disk has a magnetic film, a protective film, and a lubricating film, which are sequentially laminated on a glass substrate.
【００１１】また、前記保護膜は、硬質非晶質カーボン
又はセラミックスである。The protective film is made of hard amorphous carbon or ceramics.
【００１２】また、前記セラミックスは、ＺｒＯ2，Ｓ
ｉＯ2，ＴｉＮ及びＢＮの中のいずれか一つが選択使用
されたものである。Further, the ceramic is ZrO 2 , S
Any one of iO 2 , TiN and BN is selectively used.
【００１３】[0013]
【作用】表面平滑性のよいガラス基板は、ヘッドと磁気
ディスク上の微少突起とが接触する機会を減少させ、硬
度の高い保護膜は、膜の摩耗を防ぐ。また、低荷重のヘ
ッドを用いているため、ヘッドと磁気ディスクとの摩擦
力は小さく、保護膜が剥離することはない。The glass substrate having a good surface smoothness reduces the chance of contact between the head and the minute projections on the magnetic disk, and the protective film having a high hardness prevents abrasion of the film. Further, since the head with a low load is used, the frictional force between the head and the magnetic disk is small, and the protective film does not peel off.
【００１４】[0014]
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, the present invention will be described with reference to the drawings.
【００１５】図１は、本発明の一実施例の磁気ディスク
装置の構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing the configuration of a magnetic disk device according to an embodiment of the present invention.
【００１６】図において、ベース１は、スピンドルモー
タ２と、アクチュエータ３とがマウントされ、スピンド
ルモータ２には、磁気ディスク４が取り付けられ、アク
チュエータ３には、ヘッドアーム５を介してヘッド６が
取り付けられている。In the drawing, a spindle motor 2 and an actuator 3 are mounted on a base 1, a magnetic disk 4 is attached to the spindle motor 2, and a head 6 is attached to the actuator 3 via a head arm 5. Has been.
【００１７】ヘッド６は、０．０１〜０．１ｇの低荷重
で磁気ディスク４上にロードされ、ボイスコイルモータ
７によって磁気ディスク４の半径方向の移動（以下シー
クと称する）が可能となっている。The head 6 is loaded on the magnetic disk 4 with a low load of 0.01 to 0.1 g, and the voice coil motor 7 allows the magnetic disk 4 to move in the radial direction (hereinafter referred to as seek). There is.
【００１８】図２は、本発明の一実施例の磁気ディスク
装置に用いたヘッド６の構成を示す図である。図２
（ａ），（ｂ）において、ヘッド６は、ジンバル８に取
り付けられたＡｌ2Ｏ3ＴｉＣ製のコア９を有し、コア９
には、図２（ｃ）のようにパーマロイ１０に挾まれた絶
縁層１１中に、コイル１２が形成され、最上層には絶縁
保護膜１３が設けられている。FIG. 2 is a diagram showing the configuration of the head 6 used in the magnetic disk drive of one embodiment of the present invention. Figure 2
In (a) and (b), the head 6 has a core 9 made of Al 2 O 3 TiC attached to the gimbal 8 and
2C, the coil 12 is formed in the insulating layer 11 sandwiched by the permalloy 10 as shown in FIG. 2C, and the insulating protective film 13 is provided on the uppermost layer.
【００１９】図３は、本発明の一実施例の磁気ディスク
装置に用いた磁気ディスク４の構成を示す図である。図
において、表面粗さＲａ＝１．０〜１．５ｎｍに仕上げ
られたガラス基板１４上に、Ｃｒの１０００Åの下地膜
１５，ＣｏＣｒＰｔの３０００Åの磁性膜１６，硬質非
晶質カーボン又はセラミックス（ＺｒＯ3，ＳｉＯ2，Ｔ
ｉＮ，ＢＮのいずれか１つよりなる３００Åの保護膜１
７、フッ素系液体パーフルオロポエーテルによる２０Å
の潤滑膜１８が成膜されている。FIG. 3 is a diagram showing the structure of the magnetic disk 4 used in the magnetic disk device of one embodiment of the present invention. In the figure, on a glass substrate 14 finished to have a surface roughness Ra = 1.0 to 1.5 nm, a 1000 Å underlayer film 15 of Cr, a 3000 Å magnetic film 16 of CoCrPt, a hard amorphous carbon or ceramics (ZrO 2). 3 , SiO 2 , T
300Å protective film 1 consisting of either iN or BN 1
7. Fluorine-based liquid perfluoropolyether 20Å
The lubricating film 18 is formed.
【００２０】下地膜１５，磁性膜１６及びセラミックス
の保護膜１７は、スパッタ法により形成した。硬質非晶
質カーボンの保護膜１７は、ＤＣプラズマＣＶＤ法によ
り形成した。潤滑膜１８は、ディッピング法により形成
した。The base film 15, the magnetic film 16 and the ceramic protective film 17 were formed by the sputtering method. The hard amorphous carbon protective film 17 was formed by a DC plasma CVD method. The lubricating film 18 was formed by the dipping method.
【００２１】図４は、従来例の磁気ディスク装置に用い
た磁気ディスクの構成を示す図である。図において、メ
ッキ処理による２０μｍのＮｉ−Ｐ膜２０を有するアル
ミ基板１９に、スパッタ法による１００ÅのＣｒの下地
膜１５、ＣｏＣｒＰｔによる３００Åの磁性膜１６、カ
ーボンによる３００Åの保護膜１７を形成後、ディッピ
ング法によりパークルオロポエーテルによる２０Åの潤
滑膜１８を形成した。FIG. 4 is a diagram showing the structure of a magnetic disk used in a conventional magnetic disk device. In the figure, an aluminum substrate 19 having a Ni—P film 20 of 20 μm formed by plating is formed with a 100 Å Cr base film 15 by sputtering, a 300 Å magnetic film 16 of CoCrPt, and a 300 Å protective film 17 of carbon. A lubrication film 18 of 20Å was formed from perchlor orpoether by the dipping method.
【００２２】表１は、５℃−５％ＲＨ，２３℃−５０％
ＲＨ及び６０℃−８０％ＲＨの環境で図１に示す磁気デ
ィスク装置のヘッド６の位置を固定して、磁気ディスク
４を３６００ｒｐｍの回転速度で５００時間連続回転さ
せた後の磁気ディスク４とヘッド６の外観を調査した結
果を、実施例と従来例を比較して示したものである。Table 1 shows 5 ° C-5% RH and 23 ° C-50%.
The position of the head 6 of the magnetic disk device shown in FIG. 1 is fixed in an environment of RH and 60 ° C.-80% RH, and the magnetic disk 4 and the head after the magnetic disk 4 is continuously rotated at a rotation speed of 3600 rpm for 500 hours. The results of examining the appearance of No. 6 are shown by comparing the example with the conventional example.
【００２３】[0023]
【表１】 [Table 1]
【００２４】実施例では全ての環境で異常は認められな
かったが、従来例では５℃−５％ＲＨ及び６０℃−８０
％ＲＨで磁気ディスク４の摩耗による異常が認められ
た。No abnormalities were observed in all the environments in the examples, but in the conventional example, 5 ° C.-5% RH and 60 ° C.-80.
Abnormality due to abrasion of the magnetic disk 4 was recognized at% RH.
【００２５】[0025]
【発明の効果】以上説明したように本発明の磁気ディス
ク装置によれば、ガラス基板と硬質非晶質カーボン又は
セラミックスの保護膜を有する磁気ディスクと、低荷重
のヘッドとの組み合せを備えたので、磁気ディスクが摩
耗しにくく耐久性に優れるという効果を有する。As described above, according to the magnetic disk device of the present invention, the combination of the magnetic disk having the glass substrate and the protective film of hard amorphous carbon or ceramics and the head of low load is provided. The magnetic disk is less likely to wear and has excellent durability.
【図１】本発明の一実施例の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention.
【図２】図１に示したヘッドの構成図であり、（ａ）は
正面図、（ｂ）は底面図、（ｃ）は要部の拡大図であ
る。2A and 2B are configuration diagrams of the head shown in FIG. 1, in which FIG. 2A is a front view, FIG. 2B is a bottom view, and FIG.
【図３】図１に示した磁気ディスクの構成図である。3 is a configuration diagram of the magnetic disk shown in FIG. 1. FIG.
【図４】従来例に用いた磁気ディスクの構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram of a magnetic disk used in a conventional example.
１ ベース ２ スピンドルモータ ３ アクチュエータ ４ 磁気ディスク ５ ヘッドアーム ６ ヘッド ７ ボイスコイルモータ ８ ジンバル ９ コア １０ パーマロイ １１ 絶縁層 １２ コイル １３ 絶縁保護膜 １４ ガラス基板 １５ 下地層 １６ 磁性層 １７ 保護膜 １８ 潤滑膜 １９ アルミ基板 ２０ Ｎｉ−Ｐ膜 1 Base 2 Spindle Motor 3 Actuator 4 Magnetic Disk 5 Head Arm 6 Head 7 Voice Coil Motor 8 Gimbal 9 Core 10 Permalloy 11 Insulation Layer 12 Coil 13 Insulation Protective Film 14 Glass Substrate 15 Underlayer 16 Magnetic Layer 17 Protective Film 18 Lubrication Film 19 Aluminum substrate 20 Ni-P film
Claims (4)
る磁気ディスク装置であって、 磁気ディスクは、ガラス基板を用いたものであり、 ヘッドは、荷重０．０１〜０．１ｇで磁気ディスクに接
触させるものであることを特徴とする磁気ディスク装
置。1. A magnetic disk device having a combination of a magnetic disk and a head, wherein the magnetic disk uses a glass substrate, and the head contacts the magnetic disk with a load of 0.01 to 0.1 g. A magnetic disk device characterized in that
に積層された磁性膜と、保護膜と、潤滑膜とを有するも
のである請求項１に記載の磁気ディスク装置。2. The magnetic disk device according to claim 1, wherein the magnetic disk has a magnetic film, a protective film, and a lubricating film, which are sequentially stacked on a glass substrate.
セラミックスである請求項２に記載の磁気ディスク装
置。3. The magnetic disk device according to claim 2, wherein the protective film is made of hard amorphous carbon or ceramics.
Ｏ2，ＴｉＮ及びＢＮの中のいずれか一つが選択使用さ
れたものである請求項１に記載の磁気ディスク装置。4. The ceramic is ZrO 2 , Si
2. The magnetic disk drive according to claim 1, wherein any one of O 2 , TiN and BN is selectively used.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24283091A JPH0554303A (en) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | Magnetic disk |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24283091A JPH0554303A (en) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | Magnetic disk |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0554303A true JPH0554303A (en) | 1993-03-05 |
Family
ID=17094929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24283091A Pending JPH0554303A (en) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | Magnetic disk |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0554303A (en) |
-
1991
- 1991-08-28 JP JP24283091A patent/JPH0554303A/en active Pending
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