JPH0552772A - 表面分析装置 - Google Patents
表面分析装置Info
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- JPH0552772A JPH0552772A JP3240214A JP24021491A JPH0552772A JP H0552772 A JPH0552772 A JP H0552772A JP 3240214 A JP3240214 A JP 3240214A JP 24021491 A JP24021491 A JP 24021491A JP H0552772 A JPH0552772 A JP H0552772A
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Abstract
平基準の原点が出せるようにする。 【構成】 真空容器2の内部には試料保持台16があ
り、その上には二つの水準器20、22を互いに直角に
なるように配置してある。水準器20、22は覗き窓
8、10から観察できる。試料保持台16は、回転導入
器12、14によって水平回転軸13、15の回りに回
転させることができる。真空容器2を真空に排気した状
態で、覗き窓8、10から水準器20、22を観察し、
水準器20、22の気泡が中央にない場合は、回転導入
器12、14を回転することによって気泡を水準器の中
央にもってくる。
Description
保持台を改良した表面分析装置に関する。
面層の元素の種類や量、あるいは元素間の結合状態など
(以下、表面層の情報という。)を測定する装置であ
る。試料の表面層の情報を測定するには、イオン線や電
子線やX線など(以下、照射線という。)を試料表面に
当てて、そこから放射される2次イオンや2次電子など
を分析器で測定する。その際、照射線の発生源と試料と
分析器との相対位置関係を最適な状態に設定する必要が
ある。従来は、この設定方法として次の方法がとられて
いた。まず、真空容器を排気する前に、すなわち大気圧
の状態で、試料保持台を正しく水平状態に設定する。そ
のためには、試料保持台の上に、通常使われている水準
器を置き、真空容器の外部に設けられた駆動機構で試料
保持台を動かすことによって、水平の位置出しを行う。
これによって、駆動機構の原点を決定する。その後、真
空容器を排気して超高真空にする。
面層の元素分析を行うには、真空容器内の圧力を10- 1
0 Torr以下にしなければならない。このような超高
真空を得るには、真空容器を排気しながら、真空容器全
体を約200℃で24時間以上加熱する(いわゆるベ−
キングをする)必要がある。このベ−キングによって真
空容器の内壁面や真空容器内部の構成部品からのガス放
出を促進している。このベ−キング作業の終了後、真空
容器を室温まで冷却し、所望の超高真空を得ている。こ
のベ−キング作業は、装置を大気にさらした後は必要不
可欠の作業である。ところで、このベ−キング作業を繰
り返すと熱変形によって試料保持台の水平状態が狂って
くることがある。すると、大気圧中で決めた駆動機構の
原点も狂ってくる。こうなると、試料保持台の水平基準
の原点がわからなくなってしまい、試料に入射する照射
線の入射角や、試料から放出される2次イオンなどの放
出角の、分析器に対する角度の絶対値が不明となる。そ
の結果、測定された分析結果の解釈に不明確さを残すこ
とになる。
た状態でも試料保持台の水平基準の原点が出せる表面分
析装置を提供することにある。
の表面層の情報を測定する表面分析装置において、試料
を保持する試料保持台に水準器を設置したことを特徴と
している。その際、2個の水準器を水平面内で互いに直
角になるように配置することができる。そして、水準器
を観察するための覗き窓を真空容器に取り付けることが
できる。また、試料保持台を真空容器の外部から動かす
ための駆動機構を設けることができる。水準器の外側の
密封容器は石英製にするのが好ましい。
狂った場合には、試料保持台に設置した水準器を観察す
ることにより、この狂いを確認することができる。ま
た、真空容器の外部から駆動機構を操作することによっ
て試料保持台の水平状態を正しく直すことができる。水
準器は外側を石英製とすることにより、耐熱性を持たせ
て、かつガス放出を少なくしている。
示す斜視図である。真空容器2は想像線で描いてあり、
真空容器の内部構造が見えるようにしてある。この表面
分析装置は、真空容器2に、分析器4と、イオン線や電
子線を照射するための照射線発生源6と、二つの覗き窓
8、10と、二つの回転導入機12、14とを取り付け
てある。なお、本発明に直接関係しない装置構成部分に
ついては図示を省略してある。真空容器2の内部には試
料保持台16があり、これに試料18を保持する。試料
保持台16の上には、二つの水準器20、22を互いに
直角になるように配置してある。水準器20は覗き窓8
から観察することができ、水準器22は覗き窓10から
観察することができる。回転導入機12を回転させる
と、試料保持台16を回転軸13の回りに回転させるこ
とができる。また、もう一方の回転導入機14を回転さ
せると、試料保持台16を回転軸15の回りに回転させ
ることができる。
の水準器20は、石英製の密封容器23の内部に水(ま
たは水より粘性の低い液体)が入っており、透明窓24
が形成されている。水の中には小さな気泡28が封入さ
れている。透明窓24には十字線26が描かれており、
水準器20が水平になると気泡28が十字線26の中央
にくるようになっている。もう一方の水準器22も水準
器20と同じ構成である。
の容器が鉄製であったりステンレス鋼製であったりす
る。これに対して、この実施例で使用する水準器は石英
製の容器となっている。これは次の理由による。表面分
析装置では、超高真空を得るために上述のように200
℃程度の温度に長時間保持することになるので、この真
空容器中に設置する水準器はこのベ−キングに適したも
のでなければならない。すなわち、使用する材質として
耐熱性があることとガス放出が少ないことを満たす必要
がある。この様な観点から、水準器の外側の密封容器の
材質として石英を採用している。
る。図1において、真空容器2を大気に開放した状態
で、試料18を試料保持台16にセットしたり、水準器
20、22を観察しながら試料保持台16の水平出しを
行ったりする。次に、真空容器2を排気しながら、約2
00℃で24時間以上のベ−キングを行う。その後、真
空容器2を室温まで冷却して、所望の超高真空を得る。
そして、照射線発生源6からイオン線や電子線などを試
料18に照射し、そこから放出された2次イオンや2次
電子などを分析器4で測定する。
10から水準器20、22の気泡の位置を観察して、試
料保持台16の水平状態が狂っているのが確認された
ら、次のような水平調整作業を行う。水準器20の気泡
の位置が中央からずれていたら、回転導入器12を回転
させて、試料保持台16を回転軸13の回りに微小回転
させる。そして、覗き窓8から観察しながら水準器20
の気泡が中央にくるように回転導入器12を微調整す
る。また、水準器22の気泡の位置が中央からずれてい
たら、回転導入器14を回転させて、同様の微調整を行
う。これにより、試料保持台16を正しい水平状態に戻
すことができる。
の手段として、試料保持台に取り付けた回転導入器だけ
を示しているが、実際の表面分析装置では、試料の高さ
方向や前後左右方向の位置を調整するための手段も備え
ているのが普通である。これらの位置調整は試料の水平
出しには直接関係しないので、この明細書では説明を省
略してある。
たとえば、オ−ジェ電子分光装置、イオンマイクロアナ
ライザ、SIMS、ESCA、LAMMA、X線マイク
ロアナライザ、蛍光X線分析装置などがある。
る試料保持台に水準器を設置したことにより、ベ−キン
グ作業後に試料保持台の水平状態が狂っても、試料保持
台に設置した水準器を観察することによりこの狂いを確
認することができる。また、真空容器の外部から駆動機
構を操作することによって試料保持台の水平状態を正し
く直すことができる。また、水準器の外側の密封容器を
石英製とすることにより、耐熱性を持たせて、かつガス
放出を少なくしている。
Claims (5)
- 【請求項1】 真空中で試料の表面層の情報を測定する
表面分析装置において、試料を保持する試料保持台に水
準器を設置したことを特徴とする表面分析装置。 - 【請求項2】 2個の水準器を水平面内で互いに直角に
なるように配置したことを特徴とする請求項1記載の表
面分析装置。 - 【請求項3】 水準器を観察するための覗き窓を真空容
器に取り付けたことを特徴とする請求項1記載の表面分
析装置。 - 【請求項4】 試料保持台を真空容器の外部から動かす
ための駆動機構を設けたことを特徴とする請求項1記載
の表面分析装置。 - 【請求項5】 水準器の密封容器を石英製にしたことを
特徴とする請求項1記載の表面分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03240214A JP3118280B2 (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | 表面分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03240214A JP3118280B2 (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | 表面分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0552772A true JPH0552772A (ja) | 1993-03-02 |
JP3118280B2 JP3118280B2 (ja) | 2000-12-18 |
Family
ID=17056150
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP03240214A Expired - Fee Related JP3118280B2 (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | 表面分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3118280B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20060078939A (ko) * | 2004-12-31 | 2006-07-05 | 안일신 | 수준기를 구비하는 타원해석기 |
JP2015222235A (ja) * | 2014-05-23 | 2015-12-10 | パルステック工業株式会社 | X線回折測定方法 |
-
1991
- 1991-08-28 JP JP03240214A patent/JP3118280B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20060078939A (ko) * | 2004-12-31 | 2006-07-05 | 안일신 | 수준기를 구비하는 타원해석기 |
JP2015222235A (ja) * | 2014-05-23 | 2015-12-10 | パルステック工業株式会社 | X線回折測定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3118280B2 (ja) | 2000-12-18 |
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