JPH0551440B2 - - Google Patents

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JPH0551440B2
JPH0551440B2 JP60057414A JP5741485A JPH0551440B2 JP H0551440 B2 JPH0551440 B2 JP H0551440B2 JP 60057414 A JP60057414 A JP 60057414A JP 5741485 A JP5741485 A JP 5741485A JP H0551440 B2 JPH0551440 B2 JP H0551440B2
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JP
Japan
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force
plate
elastic body
displacement
leaf spring
Prior art date
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Application number
JP60057414A
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Japanese (ja)
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JPS61226285A (en
Inventor
Kazuo Asakawa
Nobuhiko Onda
Tadashi Akita
Tooru Kamata
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Priority to EP85306871A priority patent/EP0177284B1/en
Priority to AU48139/85A priority patent/AU564927B2/en
Priority to DE8585306871T priority patent/DE3584066D1/en
Priority to KR1019850007175A priority patent/KR910000267B1/en
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Description

【発明の詳細な説明】 〔目次〕 産業上の利用分野 従来技術 発明が解決しようとする問題点 問題点を解決するための手段 作 用 実施例 発明の効果 〔産業上の利用分野〕 本発明は板状弾性体を支持する第1の部材と板
状弾性体の変位を規制する変位規制手段とを有す
る支持装置の構造の改良に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Table of Contents] Industrial Application Fields Prior Art Problems to be Solved by the Invention Means for Solving the Problems Effects of the Invention [Industrial Application Fields] The present invention The present invention relates to an improvement in the structure of a support device having a first member that supports a plate-shaped elastic body and a displacement regulating means that regulates displacement of the plate-shaped elastic body.

近年、産業用ロボツトの製造ラインへの導入が
盛んに行なわれている。しかしながら、位置制御
型のロボツトでは環境からの拘束力に関係なく動
作してしまうため、微妙な力加減を要する組立ラ
インの自動化への導入は極めて困難である。
In recent years, industrial robots have been frequently introduced into production lines. However, since position-controlled robots operate regardless of restraining forces from the environment, it is extremely difficult to introduce them into assembly line automation, which requires delicate force adjustment.

これは、組立作業には、部品の嵌め合いや取付
け作業等のように部品の置かれた絶対的な位置精
度を必要とする作業が多いことによる。
This is because many assembly operations require absolute positional accuracy of parts, such as fitting and attaching parts.

もし部品の嵌め合いを位置制御型ロボツトで実
行するならば、組立対象から決る移動軌跡をロボ
ツト座標に対して正確に記述し、且つ正確に先端
を所定の軌跡通りに制御しなければならない。
If the fitting of parts is to be carried out by a position-controlled robot, the locus of movement determined from the assembly object must be accurately described with respect to the robot coordinates, and the tip must be precisely controlled to follow a predetermined locus.

ところが、実際の位置制御型のロボツトでは、
ロボツト自身が持つ機械的誤差や制御上の誤差等
により絶対的位置精度を高くすることは極めて難
しい。
However, in actual position-controlled robots,
It is extremely difficult to increase absolute positional accuracy due to mechanical errors and control errors inherent in the robot itself.

この様なことから、組立ロボツトでは、ロボツ
トと対象物との間の相対位置誤差を補正あるいは
吸収するためのコンプライアンス機構がロボツト
とハンドとの間の手首に設けられている。
For this reason, in assembly robots, a compliance mechanism is provided at the wrist between the robot and the hand to correct or absorb the relative position error between the robot and the object.

また、この手首に設けられるコンプライアンス
機構だけでは、誤差を補正あるいは吸収する量が
極めて微小であるため、ロボツトと対象物との間
の相対位置誤差を補正あるいは吸収することがで
きない。
Furthermore, the amount of error correction or absorption that can be corrected or absorbed by the compliance mechanism provided on the wrist is extremely small, and therefore cannot correct or absorb the relative position error between the robot and the object.

このため、前述した相対位置誤差を手首に生じ
る反力として検出し、検出した反力をロボツトに
フイードバツクして反力が零となるようにロボツ
トを位置補正させるための前記反力を検出する反
力検出装置(センサ)の開発が進められている。
For this reason, the above-mentioned relative position error is detected as a reaction force generated at the wrist, and the reaction force that detects the reaction force is fed back to the robot to correct the position of the robot so that the reaction force becomes zero. The development of force detection devices (sensors) is progressing.

第11図はこのようなコンプライアンス機構及
び力検出装置を説明するための図である。
FIG. 11 is a diagram for explaining such a compliance mechanism and force detection device.

図において、9はX方向平行ばねであり、10
はY方向平行ばねであり、力検出装置6は互いに
直交するX方向、Y方向に変位可能な2組の平行
板ばね9,10によつて構成されている。
In the figure, 9 is a parallel spring in the X direction, and 10
are parallel springs in the Y direction, and the force detection device 6 is constituted by two sets of parallel plate springs 9 and 10 that can be displaced in the X direction and the Y direction, which are orthogonal to each other.

従つて、力検出装置6の上部でX方向平行板ば
ね9によりX方向に変位可能で、下部でY方向平
行板ばね10によりY方向に変位可能である。
Therefore, the upper part of the force detection device 6 can be displaced in the X direction by the parallel plate spring 9 in the X direction, and the lower part can be displaced in the Y direction by the parallel plate spring 10 in the Y direction.

11は十字ばねであり、係る平行板ばね群9,
10の上部に設けられた十字形の板ばねから成り
ハンドと接続するための連結棒12は十字ばね1
1の作用により、平行板ばね群の垂直方向軸(Z
軸)に対し横方向に傾斜可能であり、かつZ軸方
向(垂直方向)にも変位可能である。
11 is a cross spring, and parallel leaf spring groups 9,
The connecting rod 12, which consists of a cross-shaped leaf spring provided on the top of the cross-shaped spring 1, is connected to the hand.
1, the vertical axis (Z
It can be tilted laterally with respect to the Z-axis (axis), and can also be displaced in the Z-axis direction (vertical direction).

このX、Y、Z方向に夫々変位する板ばね組立
(コンプライアンス機構)をロボツトのアームと
ハンドとの間の手首部に設け、ロボツトの位置決
め誤差を吸収するようにしている。
A leaf spring assembly (compliance mechanism) that can be displaced in the X, Y, and Z directions is provided at the wrist between the arm and hand of the robot to absorb positioning errors of the robot.

また、コンプライアンス機構を構成する各板ば
ね体に歪ゲージを貼付することにより構成した力
検出装置によつて、各板ばね体の変位量を検出す
ることで、ロボツトの位置決め誤差により生じた
反力の大きさとその方向を検出し、検出出力に基
づいてこの反力を打消すようにロボツトを駆動し
ている。
In addition, by detecting the amount of displacement of each leaf spring body using a force detection device configured by attaching a strain gauge to each leaf spring body that makes up the compliance mechanism, we can detect the reaction force caused by positioning errors of the robot. The magnitude and direction of the reaction force are detected, and the robot is driven to cancel this reaction force based on the detected output.

以下に、反力を検出するための歪ゲージの貼付
例及び歪ゲージの出力からハンドに加わる反力を
算出する例について説明する。
Below, an example of attaching a strain gauge for detecting a reaction force and an example of calculating the reaction force applied to the hand from the output of the strain gauge will be described.

第11図において、13a,13b,13c,
13dは夫々歪ゲージ(検出器)であり、十字ば
ね11の各片に設けられ、各片のモーメント
Ma,Mb,Mc,Mdを検出するものであり、歪
ゲージ13aはモーメントMaを検出するもの、
歪ゲージ13bはモーメントMbを検出するも
の、歪ゲージ13cはモーメントMcを検出する
もの、歪ゲージ13dはモーメントMdを検出す
るものである。
In FIG. 11, 13a, 13b, 13c,
13d is a strain gauge (detector), which is provided on each piece of the cross spring 11 and measures the moment of each piece.
The strain gauge 13a detects the moment Ma, and the strain gauge 13a detects the moment Ma.
The strain gauge 13b detects the moment Mb, the strain gauge 13c detects the moment Mc, and the strain gauge 13d detects the moment Md.

歪ゲージ14a,14bは各々歪ゲージであ
り、各々X方向平行板ばね9、Y方向平行板ばね
10の壁面に設けられ、平行板ばねに付与される
モーメントMe,Mfを検出するためのものであ
る。
The strain gauges 14a and 14b are strain gauges, and are provided on the walls of the parallel leaf spring 9 in the X direction and the parallel leaf spring 10 in the Y direction, respectively, and are used to detect moments Me and Mf applied to the parallel leaf springs. be.

尚、周知の如く、各歪ゲージは4つの抵抗群が
ブリツジ回路を構成する様に接続されて構成され
ており、入力電圧に対する出力電圧の変化によつ
てモーメントを検出するものである。
As is well known, each strain gauge is constructed by connecting four resistor groups to form a bridge circuit, and detects a moment based on a change in output voltage with respect to input voltage.

尚、これら各歪ゲージ13a〜13d,14a
〜14bの出力Ma〜Mfからのハンド4の先端に
加わる各軸X,Y,Zの方向の力Fx,Fy,Fz及
びX,Y方向のモーメントMx、Myは次のよう
にして求める。
In addition, each of these strain gauges 13a to 13d, 14a
The forces Fx, Fy, Fz in the directions of the respective axes X, Y, Z and the moments Mx, My in the X, Y directions which are applied to the tip of the hand 4 from the outputs Ma to Mf of ~14b are determined as follows.

Ma=a・Fz+My ……(1) Mb=a・Fz+Mx ……(2) Mc=a・Fz−My ……(3) Md=a・Fz−Mx ……(4) Me=n・Fx ……(5) Mf=m・Fy ……(6) 但し、aは十字ばね11の中心と各歪ゲージ1
3a〜13dとの距離(第11図参照)、m,n
は各平行板ばね9,10の中心と歪ゲージ14
a,14bとの距離(第11図参照)である。
Ma=a・Fz+My …(1) Mb=a・Fz+Mx …(2) Mc=a・Fz−My …(3) Md=a・Fz−Mx …(4) Me=n・Fx … ...(5) Mf=m・Fy ...(6) However, a is the center of the cross spring 11 and each strain gauge 1
Distance from 3a to 13d (see Figure 11), m, n
are the center of each parallel leaf spring 9, 10 and the strain gauge 14
a, 14b (see FIG. 11).

尚、第11図において、Fx〜Myまでは連結棒
12の上部先端での力及びモーメントを表わして
いるが、前記(1)〜(6)式は、連結棒の下部先端、す
なわち十字ばね11上での力及びモーメントを求
める式となつている。
In FIG. 11, Fx to My represent the force and moment at the upper end of the connecting rod 12, but the equations (1) to (6) above are applied to the lower end of the connecting rod, that is, the cross spring 11. This is the formula for calculating the force and moment above.

従つて、前述した(1)〜(6)式より各力ベクトルの
各成分Fx〜Fz,Mx,Myは、 Fx=Me/n ……(7) Fy=Mf/m ……(8) Fz=(Ma+Mb+Mc+Md)/4a ……(9) Mx=(Mb−Md)/2 ……(10) My=(Ma−Mc)/2 ……(11) となる。
Therefore, from equations (1) to (6) above, each component Fx to Fz, Mx, My of each force vector is: Fx=Me/n...(7) Fy=Mf/m...(8) Fz = (Ma + Mb + Mc + Md) / 4a ... (9) Mx = (Mb - Md) / 2 ... (10) My = (Ma - Mc) / 2 ... (11).

前述したような従来のコンプライアンス機構及
び力検出装置は、第11図からも明らかなよう
に、各板ばね体の厚さは極めて薄いため、例えば
ロボツトが暴走した場合、あるいはロボツトの位
置決め誤差が過大の場合等において多大な外力が
加わると塑性変形を起してしまい、検出装置が破
壊するという欠点があつた。
As is clear from Fig. 11, in the conventional compliance mechanism and force detection device as described above, each leaf spring body is extremely thin, so if the robot goes out of control, or the positioning error of the robot is excessive. In such cases, if a large external force is applied, plastic deformation occurs, resulting in the detection device being destroyed.

〔従来技術〕[Prior art]

このため、例えば特開昭59−59388号等に示さ
れるような板ばね体の変位を規制するリミツト機
構を設けるようにしたものが本出願人により提案
されている。
For this reason, the present applicant has proposed a device in which a limit mechanism is provided to restrict the displacement of the leaf spring body, as disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 59-59388.

第12図はリミツト機構を有するコンプライア
ンス機構を説明するための図である。
FIG. 12 is a diagram for explaining a compliance mechanism having a limit mechanism.

図において、力検出装置6はX方向に変位可能
な平行板ばね9a,9b及びX方向と直交するY
方向に変位可能な平行板バネ10a,10bによ
り構成される。各平行板バネ9a,9b,10
a,10bの上端は正方形の共通取付台16の各
辺上にネジ15により着脱可能に固定される。X
方向平行板ばね9a,9bの下端はネジ15によ
り取付台16aに固定され、Y方向平行板バネ1
0a,10bの下端はネジ15により別の取付台
16bに固定される。力検出装置6の上方に位置
する図示しないアームとの連結棒18がY方向平
行板バネ10a,10bの下端取付台16bに固
定され、この連結棒18は平行板バネ9a,9
b,10a,10bの上端の共通取付台16の貫
通孔16cを介してアームと連結される。18a
はアームとの連結用ネジ孔である。X方向板バネ
9a,9bおよびY方向板バネ10a,10bは
それの交換により任意のバネ定数を得るべくネジ
15により各取付台16,16a,16bに締結
されている。このような手首とアームとの連結棒
18に力Fが加わるとその分力Px,Pyに応じて
X方向平行板バネ9a,9bおよびY方向平行板
バネ10a,10bが変形してこの力Fを吸収す
る。この場合、貫通孔16cの径の大きさによつ
て連結棒18の可動範囲が定まるため、平行板バ
ネの変位は貫通孔16cに規制される。
In the figure, the force detection device 6 includes parallel plate springs 9a and 9b that are displaceable in the X direction and Y
It is composed of parallel plate springs 10a and 10b that can be displaced in the direction. Each parallel plate spring 9a, 9b, 10
The upper ends of a and 10b are removably fixed to each side of a square common mounting base 16 with screws 15. X
The lower ends of the direction parallel leaf springs 9a and 9b are fixed to the mounting base 16a with screws 15, and the Y direction parallel leaf springs 1
The lower ends of 0a and 10b are fixed to another mounting base 16b with screws 15. A connecting rod 18 connected to an arm (not shown) located above the force detection device 6 is fixed to a lower end mounting base 16b of the parallel plate springs 10a, 10b in the Y direction.
b, 10a, 10b are connected to the arm through the through hole 16c of the common mounting base 16 at the upper end. 18a
is a screw hole for connection with the arm. The X-direction leaf springs 9a, 9b and the Y-direction leaf springs 10a, 10b are fastened to the mounting bases 16, 16a, 16b with screws 15 so that arbitrary spring constants can be obtained by replacing them. When a force F is applied to the connecting rod 18 between the wrist and the arm, the parallel leaf springs 9a and 9b in the X direction and the parallel leaf springs 10a and 10b in the Y direction are deformed in accordance with the component forces Px and Py, and this force F is absorb. In this case, since the movable range of the connecting rod 18 is determined by the diameter of the through hole 16c, the displacement of the parallel plate spring is regulated by the through hole 16c.

第13図は別の例の斜視図である。この例にお
いては、各平行板バネ9a,9b,10a,10
bの下端取付台16a,16bは第14図に示す
ようにコ字形であつて各々コ字形凹部16a′,1
6b′を有する。各取付台16a,16bは凹部同
士を対面させ、各取付台が相手側の取付台の凹部
内に入り込むように相互に直交させて配置され
る。各取付台の凹部の幅W1とこれに入り込む相
手側の取付台の幅W2との差により各取付台のX、
Y方向の可動範囲が定まり平行板バネの変位が規
制される。この例においては各平行板バネ9a,
9b,10a,10bの長さLxおよびLyは等し
い。よつて1種類のバネ形状によりX、Y方向で
同じバネ定数が得られる。
FIG. 13 is a perspective view of another example. In this example, each parallel plate spring 9a, 9b, 10a, 10
As shown in FIG.
6b'. The mounts 16a and 16b are arranged so that their recesses face each other and are orthogonal to each other so that each mount fits into the recess of the other mount. The width of each mounting base is
The movable range in the Y direction is determined, and the displacement of the parallel leaf spring is regulated. In this example, each parallel plate spring 9a,
The lengths Lx and Ly of 9b, 10a, and 10b are equal. Therefore, the same spring constant can be obtained in the X and Y directions using one type of spring shape.

尚、各力成分は各板ばねに歪ゲージを貼付し、
その出力を前述の各式を用いて演算することによ
り求めることができる。
In addition, each force component is measured by attaching a strain gauge to each leaf spring.
The output can be calculated by using the above-mentioned formulas.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

しかしながら、前述したような従来のコンプラ
イアンス機構、力検出装置では、リミツト機構の
構造が複雑であると共に、力成分を算出するため
に、前述の式のような演算を行なわねばならず、
ロボツトを実時間制御するための力検出装置とし
て改良する必要がある。
However, in the conventional compliance mechanism and force detection device as described above, the structure of the limit mechanism is complicated, and calculations such as the above formula must be performed in order to calculate the force component.
It is necessary to improve the force detection device for real-time control of robots.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

第1図は本発明の支持装置の原理ブロツク図で
ある。
FIG. 1 is a basic block diagram of the support device of the present invention.

第1図において、第1の部材1(又は第2の部
材5)は、スリツト状溝部1aが開けられること
で、薄肉部2aと厚肉部3aとが形成される。
In FIG. 1, a first member 1 (or a second member 5) has a slit-like groove 1a formed therein to form a thin part 2a and a thick part 3a.

この薄肉部2aが板状弾性体2を構成し、厚肉
部3aが板状弾性体2の過大な変位を規制する変
位規制部材を構成する。
The thin portion 2a constitutes the plate-like elastic body 2, and the thick portion 3a constitutes a displacement regulating member that restricts excessive displacement of the plate-like elastic body 2.

そして、第1の部材1(又は第2の部材5)は
この板状弾性体2を介して第2の部材5(又は第
1の部材1)を柔軟に支持する。
The first member 1 (or the second member 5) flexibly supports the second member 5 (or the first member 1) via the plate-like elastic body 2.

すなわち、第2の部材5(又は第1の部材1)
が外力を受けた際に、第1の部材1(又は第2の
部材5)に対して相対的に変位可能となるように
板状弾性体2により支持されている。
That is, the second member 5 (or the first member 1)
It is supported by the plate-shaped elastic body 2 so that it can be displaced relative to the first member 1 (or the second member 5) when it receives an external force.

また、スリツト状溝部1aの幅は、この板状弾
性体2を構成する薄肉部2aの弾性変形範囲内の
変位量に対応する幅である。
Further, the width of the slit-like groove portion 1a is a width corresponding to the amount of displacement within the elastic deformation range of the thin-walled portion 2a constituting the plate-like elastic body 2.

〔作用〕[Effect]

すなわち、本発明では、第1の部材1(又は第
2の部材5)にスリツト状溝部1aを形成し、薄
肉部2aと厚肉部3aとを形成するのみで、板じ
状弾性体2と変位規制部材3とを同時に形成する
ことが可能となる。
That is, in the present invention, the strip-like elastic body 2 and the strip-like elastic body 2 are formed only by forming the slit-like groove portion 1a in the first member 1 (or the second member 5) and forming the thin-walled portion 2a and the thick-walled portion 3a. It becomes possible to form the displacement regulating member 3 at the same time.

〔実施例〕〔Example〕

第2図、第3図は本発明の支持装置の実施例の
説明図であつて、第2図は斜視図、第3図は第2
図の分解斜視図である。
2 and 3 are explanatory diagrams of an embodiment of the support device of the present invention, in which FIG. 2 is a perspective view and FIG.
FIG.

また、第4図はXYZモジユールの平面図、第
5図はXYZモジユールの側面図、第6図はγモ
ジユールの平面図である。
4 is a plan view of the XYZ module, FIG. 5 is a side view of the XYZ module, and FIG. 6 is a plan view of the γ module.

図において、30はX,Y,Z軸方向の力を検
出する力検出モジユールであつて、X,Y,Zの
3方向に変形する角棒21,22より構成される
十字状の構造体である。
In the figure, 30 is a force detection module that detects forces in the X, Y, and Z axis directions, and is a cross-shaped structure composed of square rods 21 and 22 that deform in the three directions of X, Y, and Z. be.

このXYZモジユール20にスリツト状間隙a,
a′,b,b′,c,c′(第1図に示される原理ブロツ
ク図のスリツト状溝部に相当)をワイヤ放電加工
により形成することによつて、角棒21,22の
夫々に平行板ばね体23,24,25,26,2
7,28(第1図に示される原理ブロツク図の板
状弾性体及び薄肉部に相当)が形成されている。
尚、第4図、第5図において、50,51,5
2,53,54,55はワイヤ放電加工用のワイ
ヤを通すために予じめドリル等により形成された
貫通孔であり、第2図、第3図では図示省略して
いる。
This XYZ module 20 has a slit-like gap a,
By forming a', b, b', c, and c' (corresponding to the slit-shaped grooves in the principle block diagram shown in Fig. 1) by wire electric discharge machining, parallel to each of the square bars 21 and 22, Leaf spring bodies 23, 24, 25, 26, 2
7 and 28 (corresponding to the plate-like elastic body and thin wall portion in the principle block diagram shown in FIG. 1) are formed.
In addition, in Figures 4 and 5, 50, 51, 5
Reference numerals 2, 53, 54, and 55 are through holes formed in advance by a drill or the like to pass wires for wire electrical discharge machining, and are not shown in FIGS. 2 and 3.

従つて、このXYZモジユール20にスリツト
状間隙a,a′,b,b′,c,c′を形成して平行板
ばね体23〜28を形成すると同時に、この平行
板ばね体の変位を規制するための変位規制部材5
6,57,58,59,60,61(第1図に示
される原理ブロツク図の変位規制部材及び厚肉部
に相当)が形成される。
Therefore, the slit-like gaps a, a', b, b', c, and c' are formed in this XYZ module 20 to form the parallel leaf spring bodies 23 to 28, and at the same time, the displacement of the parallel leaf spring bodies is restricted. Displacement regulating member 5 for
6, 57, 58, 59, 60, and 61 (corresponding to the displacement regulating member and thick wall portion in the principle block diagram shown in FIG. 1) are formed.

すなわち、各平行板ばね体23〜28が外力に
より変位したとしても変位規制部材56〜61が
微小間隙(ワイヤの太さ分約3mm)を介して配置
されているので、これ以上は変位しない。従つ
て、板ばね部分を薄くした場合であつても過大外
力が加わつた際に座屈することがない。
That is, even if each parallel leaf spring body 23-28 is displaced by an external force, it will not be displaced any further because the displacement regulating members 56-61 are arranged with a minute gap (approximately 3 mm for the thickness of the wire). Therefore, even if the plate spring portion is made thin, it will not buckle when an excessive external force is applied.

力検出モジユール30は第3図、第4図及び第
5図から明らかなように各平行板ばね体23,2
4,25,26,27,28は変位方向が互いに
直交するように設けられており、平行板ばね体2
3,24でX軸方向の変位(たわみ)平行板ばね
体25,26でY軸方向のたわみ、平行板ばね体
27,28でZ軸方向のたわみを夫々分担する3
自由度を有する。
As is clear from FIGS. 3, 4, and 5, the force detection module 30 includes parallel leaf spring bodies 23, 2.
4, 25, 26, 27, and 28 are provided so that their displacement directions are orthogonal to each other, and parallel plate spring bodies 2
3 and 24 share the displacement (deflection) in the X-axis direction, parallel plate spring bodies 25 and 26 share the deflection in the Y-axis direction, and parallel plate spring bodies 27 and 28 share the deflection in the Z-axis direction, respectively.
It has a degree of freedom.

31,32は夫々力検出モジユール30を支持
する支持体であつて、支持体31はねじ33によ
り角棒22と連結され、支持体32はねじ34に
より角棒21と連結されている。支持体32に連
結されている部分である角棒21の端部が、第1
図に示される原理ブロツク図の第1の部材に相当
する。尚、ねじ33,34は片方のみ示し、さら
に、各ねじ33が螺合するねじ穴33aと他方の
穴は穴37の中心位置から等しい距離の位置に設
定され、同様にねじ34が螺合するねじ穴34a
と34bは穴37の中心位置から等しい距離(L
9=L10)の位置に設定されている。
31 and 32 are supports that support the force detection module 30, respectively. The support 31 is connected to the square bar 22 by a screw 33, and the support 32 is connected to the square bar 21 by a screw 34. The end of the square rod 21, which is the part connected to the support body 32, is connected to the first
This corresponds to the first member of the principle block diagram shown in the figure. Note that only one of the screws 33 and 34 is shown, and the screw hole 33a into which each screw 33 is screwed and the other hole are set at the same distance from the center position of the hole 37, and the screw 34 is similarly screwed into the hole 33a. Screw hole 34a
and 34b are at equal distances (L
9=L10).

35は支持体31にねじ36により連結される
出力棒であつて、力検出モジユール30に設けら
れた穴37を貫通するように構成されている。出
力棒35ら、出力棒35と角棒21,22との連
結部にかけての部分が、第1図に示される原理ブ
ロツク図の第2の部材に相当する。
Reference numeral 35 is an output rod connected to the support body 31 by a screw 36, and is configured to pass through a hole 37 provided in the force detection module 30. The output rod 35 and the portion extending to the connecting portion between the output rod 35 and the square rods 21 and 22 correspond to the second member in the principle block diagram shown in FIG.

この場合、支持体32が例えばロボツト等の基
台上に固定される。尚、ロボツトへの支持体32
の固定は、ねじ穴32a,32bに螺合するねじ
(図示しない)が使用される。
In this case, the support 32 is fixed on a base such as a robot. In addition, the support body 32 for the robot
For fixing, screws (not shown) that are screwed into the screw holes 32a and 32b are used.

40a,40b,40c,40d,40e,4
0fは歪ゲージであつて、夫々各平行板ばね体2
3,25,28の変位を検出する。
40a, 40b, 40c, 40d, 40e, 4
0f is a strain gauge, and each parallel plate spring body 2
Detect displacements of 3, 25, and 28.

また、各歪ゲージは軸方向の力をトルクの影響
を受けずに検出するため、穴37を中心として中
心点対象となるように各平行板ばね体24,2
6,27にも貼付されており、また各歪ゲージは
公知のブリツジ回路を構成するように設けられて
おり、各平行板ばね体の変位を検出するよう構成
している。
In addition, since each strain gauge detects the force in the axial direction without being affected by torque, each parallel plate spring body 24, 2
6 and 27, and each strain gauge is provided to constitute a known bridge circuit, and is configured to detect the displacement of each parallel leaf spring body.

ここで、穴37を中心として中心点対象となる
ように各平行板ばね体23〜28に歪ゲージを貼
付することによつて各軸方向の力をトルクの影響
なしに検出する手法を説明する。
Here, a method will be explained in which the force in each axial direction is detected without the influence of torque by attaching strain gauges to each of the parallel plate spring bodies 23 to 28 so as to be symmetrical about the hole 37. .

第7図は軸方向の力をトルクの影響なしに検出
する手法の説明図である。
FIG. 7 is an explanatory diagram of a method for detecting axial force without the influence of torque.

第7図aは、第3図に示すXYZモジユール2
0の角棒21に対してY軸方向の力Fが加わつた
状態を示す図であり、第7図bは同様に角棒22
に対して穴37の中心Dを中心として回転する方
向の力Fが加わつた状態を示す図である。
Figure 7a shows the XYZ module 2 shown in Figure 3.
7b is a diagram showing a state in which a force F in the Y-axis direction is applied to the square bar 21 of 0. Similarly, FIG.
FIG. 4 is a diagram showing a state in which a force F in a direction of rotation about the center D of the hole 37 is applied to the hole 37.

図において、23〜26は平行板ばね体を示
し、23a,23b,24a,…26bは板ばね
である。14g,14h,14i,14jは歪ゲ
ージであり、夫々穴37の中心Dを通る中心線対
象となるように貼付されている。すなわち、歪ゲ
ージ14gと14i、歪ゲージ14hと14jが
中心点Dを中心として中心点対象位置の板ばね2
6aと25bに貼付されている。尚、各歪ゲージ
14g〜14jの抵抗値はRとする。
In the figure, 23 to 26 indicate parallel leaf spring bodies, and 23a, 23b, 24a, . . . 26b are leaf springs. 14g, 14h, 14i, and 14j are strain gauges, which are attached so as to be aligned with the center line passing through the center D of the hole 37, respectively. That is, the strain gauges 14g and 14i and the strain gauges 14h and 14j are connected to the leaf spring 2 at the center point symmetrical position with the center point D as the center.
6a and 25b. Note that the resistance value of each strain gauge 14g to 14j is R.

また、各歪ゲージ14g〜14jは第8図に示
すブリツジ回路を構成するように、夫々の図示さ
れざる出力線が接続されている。
Further, the strain gauges 14g to 14j are connected to their respective output lines (not shown) so as to form a bridge circuit shown in FIG.

従つて、第7図aに示すように、軸方向の力F
が加わつた場合、歪ゲージ14g,14hは縮み
状態となるので、抵抗値は、(R−ΔR)となり、
歪ゲージ14i,14jは伸び状態となるので、
抵抗値は、(R+ΔR)となるので、第8図に示
すブリツジ回路の端子a−b間の電圧は、 (R−ΔR)i−(R+ΔR)i=−2ΔRi……(12) となる。
Therefore, as shown in FIG. 7a, the axial force F
When , the strain gauges 14g and 14h are in a contracted state, so the resistance value becomes (R - ΔR),
Since the strain gauges 14i and 14j are in a stretched state,
Since the resistance value is (R+ΔR), the voltage between terminals a and b of the bridge circuit shown in FIG. 8 is (R−ΔR)i−(R+ΔR)i=−2ΔRi (12).

また、第7図bに示すように回転方向の力、F
が加わつた場合、歪ゲージ14g,14h及び歪
ゲージ14i,14jは全て縮み状態となるの
で、端子a−b間の電圧は、 (R−ΔR)i−(R−ΔR)i=0 ……(13) となる。
In addition, as shown in Fig. 7b, the force in the rotational direction, F
When , strain gauges 14g, 14h and strain gauges 14i, 14j are all in a contracted state, so the voltage between terminals a and b is (R-ΔR)i-(R-ΔR)i=0... (13) becomes.

従つて、歪ゲージ14g〜14jを第7図のよ
うに貼付して、第8図の如き、ブリツジ回路を構
成することによりトルクの影響を受けることな
く、軸方向の力のみを検出することができる。
Therefore, by attaching the strain gauges 14g to 14j as shown in Fig. 7 and configuring a bridge circuit as shown in Fig. 8, it is possible to detect only the force in the axial direction without being affected by torque. can.

尚、前述の説明については1軸(Y軸)方向の
場合についてしか説明していないが、同様にして
板ばね23bと24bに貼付したり、板ばね体2
8,27(第3図)に貼付することによつて、
XYZ軸方向の力をトルクの影響なしに検出する
ことができる。
Although the above description is only for the case of one axis (Y axis), it can be attached to the leaf springs 23b and 24b in the same way, or the leaf spring body 2
8, 27 (Figure 3),
Forces in the XYZ axes can be detected without the influence of torque.

すなわち、第3図には、歪ゲージ40a〜40
fしか図示されていないが、実際には穴37を中
心点として対象位置となるように歪ゲージが貼付
されている。
That is, in FIG. 3, strain gauges 40a to 40
Although only f is shown in the figure, the strain gauge is actually attached so that the hole 37 is the center point and is at the target position.

また、第3図において、41はZ軸回りのトル
クを検出するためのγモジユールであつて、力検
出モジユール30の出力棒35に中心部材42を
介してねじ39によつて取付けられる。
Further, in FIG. 3, reference numeral 41 denotes a γ module for detecting torque around the Z-axis, which is attached to the output rod 35 of the force detection module 30 via a central member 42 with a screw 39.

γモジユール41は、第6図に示すように円板
状部材43にスリツト状関隙a,b,c,dをワ
イヤ放電加工により形成することによつて、板ば
ね41a,41b,41c,41dが形成されて
いる。
As shown in FIG. 6, the γ module 41 is made of leaf springs 41a, 41b, 41c, and 41d by forming slit-shaped gaps a, b, c, and d in a disc-shaped member 43 by wire electric discharge machining. is formed.

また、XYZモジユールと同様に放電加工用の
ワイヤを通すための貫通孔62,63が形成され
ている。(第3図図示省略) 従つて、この板ばね41a〜41dの形成と同
時に、この板ばね41a〜41dの変位を規制す
るための変位規制部材64,65,66,67が
形成される。
Also, like the XYZ module, through holes 62 and 63 are formed for passing wires for electrical discharge machining. (Figure 3 not shown) Therefore, at the same time as the leaf springs 41a to 41d are formed, displacement regulating members 64, 65, 66, and 67 for regulating the displacement of the leaf springs 41a to 41d are formed.

尚、68,69は逃げ孔であつて、ワイヤ放電
加工時に形成されるものであつて、歪ゲージ44
a,44b,44c,44dを貼付し易くするた
めのものである。
Note that 68 and 69 are escape holes that are formed during wire electrical discharge machining, and are
This is to make it easier to attach the marks a, 44b, 44c, and 44d.

第3図からも明らかなように、歪ゲージ44a
〜44dは中心部材42の中心点を対象位置とし
て板ばね41a,41bの同一面側に貼付されて
いてる。
As is clear from FIG. 3, the strain gauge 44a
44d are attached to the same side of the leaf springs 41a and 41b with the center point of the central member 42 as the target position.

このように歪ゲージを貼付することにより、軸
回りのトルクを軸方向の力の影響なしに独立して
検出することができる。
By attaching the strain gauge in this manner, the torque around the shaft can be detected independently without the influence of axial force.

これを第9図を用いて説明する。 This will be explained using FIG. 9.

第9図は軸回りのトルクを軸方向の力の影響な
しに検出する手法の説明図である。
FIG. 9 is an explanatory diagram of a method for detecting torque around an axis without being affected by axial force.

尚、この例は、XYZモジユール20を用いて
説明する。
Note that this example will be explained using the XYZ module 20.

第9図において、第7図と同一部分には同一番
号を付すことにより説明は省略する。第7図と異
なる点は、歪ゲージ14i,14jが板ばね25
aに貼付されている点、すなわち、歪ゲージ14
g〜14jが板ばねの同一面側が貼付されている
点である。また、夫々の歪ゲージ14g〜14j
は中心点Dから同一の距離となるように貼付され
ている。
In FIG. 9, parts that are the same as those in FIG. 7 are given the same numbers and their explanations will be omitted. The difference from FIG. 7 is that the strain gauges 14i, 14j are plate springs 25.
The point attached to a, that is, the strain gauge 14
Points g to 14j are the points where the same side of the leaf spring is attached. In addition, each strain gauge 14g to 14j
are attached at the same distance from the center point D.

更に、歪ゲージ14g〜14jは第8図のよう
にブリツジ回路を構成している。
Furthermore, the strain gauges 14g to 14j constitute a bridge circuit as shown in FIG.

従つて、第9図aに示すように軸方向の力Fが
加わつた場合、各歪ゲージ14g〜14jは全て
縮み状態となるので、端子a−b間の電圧は (R−ΔR)i−(R−ΔR)i=0 ……(14) となる。
Therefore, when an axial force F is applied as shown in FIG. 9a, all strain gauges 14g to 14j are in a contracted state, so the voltage between terminals a and b is (R-ΔR)i- (R-ΔR)i=0...(14).

また、同様に第9図bに示すように軸回りの力
Fが加わつた場合歪ゲージ14g,14hが縮み
状態となり、歪ゲージ14i,14jが伸び状態
となるので、端子a−b間の電圧は (R−ΔR)i−(R+ΔR)i=−2ΔRi ……(15) となる。
Similarly, as shown in FIG. 9b, when a force F around the axis is applied, the strain gauges 14g and 14h are contracted, and the strain gauges 14i and 14j are stretched, so that the voltage between terminals a and b is is (R-ΔR)i-(R+ΔR)i=-2ΔRi...(15).

従つて、軸方向の力の影響を受けることなく、
独立して軸回りの力、すなわちトルクを検出する
ことが可能となる。
Therefore, without being affected by axial force,
It becomes possible to independently detect the force around the axis, that is, the torque.

尚、以上の説明において、歪ゲージを中心点か
ら等しい距離の位置に配置するのは、同一の力に
対して、同一の電圧値になるようにするためであ
る。すなわち、距離が異なると板ばねの変位量も
異なるので、出力電圧が異なるためである。
In the above description, the reason why the strain gauges are placed at equal distances from the center point is to ensure that the same voltage value is obtained for the same force. In other words, if the distance is different, the amount of displacement of the leaf spring will be different, and therefore the output voltage will be different.

尚、γモジユール41の出力棒35への取付け
は、ねじ39のみで出力棒35の中心位置として
いるが、この構成では外輪43にトルクを与えた
際に、ねじ39のゆるみ等が生じるため、実際に
は、中心部材42から突出するピンを出力軸35
に係合させてまわり止めを施すと共に、中心位置
からずれたところでねじ39により固定する必要
がある。
Note that the γ module 41 is attached to the output rod 35 using only the screw 39 at the center of the output rod 35, but with this configuration, when torque is applied to the outer ring 43, the screw 39 may loosen. Actually, the pin protruding from the central member 42 is connected to the output shaft 35.
It is necessary to prevent rotation by engaging with the center position, and to fix it with a screw 39 at a position deviated from the center position.

また、このことは、出力軸35と支持体32と
の結合の場合いも同様である。また、43a,4
3b,43c,43dで示すねじ穴はハンドを取
付けるためのものである。
Further, this also applies to the connection between the output shaft 35 and the support body 32. Also, 43a, 4
The screw holes indicated by 3b, 43c, and 43d are for attaching the hand.

この構成とすることにより中心部材42を固定
し、円板状部材43に中心軸(Z軸)まわりのト
ルクを加えると板バネ41a,41b,41c,
41dがたわむ。このたわみを歪ゲージ44a,
44b,44c,44dで検出し、ブリツジ回路
に介して出力を取り出すことにより、Z軸(γ)
に関するトルクのみを検出することができる。
With this configuration, when the center member 42 is fixed and torque around the center axis (Z axis) is applied to the disk-shaped member 43, the leaf springs 41a, 41b, 41c,
41d is deflected. This deflection is measured by the strain gauge 44a,
By detecting at 44b, 44c, and 44d and taking out the output via the bridge circuit, the Z-axis (γ)
It is possible to detect only the torque related to

以上説明したように、本実施例によれば、力成
分を独立して得ることが出来ると共に、リミツト
機構の構造が簡単な力検出装置を得ることが可能
となる。
As described above, according to the present embodiment, it is possible to obtain a force detection device in which force components can be obtained independently and the structure of the limit mechanism is simple.

以上説明した実施例によれば、簡単な構成でリ
ミツト機構を得ることができるが、XYZモジユ
ールの場合は、第4図、第5図からも明らかなよ
うに、各板ばねの変位は、変位規制部材56〜6
1の先端部分と各板ばねの穴37側の部分とが当
接することにより規制されるものである。
According to the embodiment described above, it is possible to obtain a limit mechanism with a simple configuration, but in the case of the XYZ module, as is clear from FIGS. 4 and 5, the displacement of each leaf spring is Regulation members 56-6
1 and the hole 37 side portion of each leaf spring come into contact with each other.

従つて、第4図、第5図中記号B,B′,D,
D′,H,H′,I,I′,J,J′,K,K′で示す矢印
部分に外力が集中するため、板ばねの板厚を薄く
すると、座屈しやすいという欠点がある。
Therefore, symbols B, B', D, in FIGS. 4 and 5,
Since the external force concentrates on the arrow parts D', H, H', I, I', J, J', K, and K', there is a drawback that if the thickness of the leaf spring is made thinner, it will easily buckle.

以下にこのような欠点を解消することのできる
支持装置を例を説明する。
An example of a support device that can overcome these drawbacks will be described below.

第10図は本発明の他の実施例を説明するため
の図である。
FIG. 10 is a diagram for explaining another embodiment of the present invention.

図において、24a,24bは板ばね、56は
変位規制部材である。aはスリツト状間隙であつ
て、ワイヤ放電加工により形成するものである。
In the figure, 24a and 24b are leaf springs, and 56 is a displacement regulating member. A is a slit-like gap, which is formed by wire electrical discharge machining.

ここで、ワイヤ放電加工によりスリツト状間隙
aを形成するに際し、図中記号L,Mで示す矢印
部分ように、L字状部分を形成し、外力が集中す
る板ばね24a,24bの夫々の部分D,D′の
板厚を厚くする。
Here, when forming the slit-like gap a by wire electrical discharge machining, an L-shaped part is formed as shown by arrows L and M in the figure, and the respective parts of the leaf springs 24a and 24b where external force is concentrated are formed. Increase the plate thickness of D and D'.

第10図から明らかなように、外力により板ば
ね24a,24bが変位した場合、板ばね24
a,24bの板厚の厚くなつた部分D,D′が変
位規制部材56に当接するので、板ばね24a,
24bは座屈を起し難い。
As is clear from FIG. 10, when the leaf springs 24a and 24b are displaced by an external force, the leaf springs 24
Since the thickened portions D and D' of plates a and 24b abut against the displacement regulating member 56, the plate springs 24a and 24b
24b is less likely to buckle.

尚、この実施例では、スリツト状間隙aはL字
状部分L,Mとなつているが、必ずしもこれに限
られる必要はなく、斜めであつてもよい。
In this embodiment, the slit-like gap a is formed into L-shaped portions L and M, but it is not necessarily limited to this, and may be formed obliquely.

更に、この実施例では板ばね24a,24bに
ついてのみ説明しているが、第4図、第5図に示
されるXYZモジユールの他の板ばねにも適用で
きることは云うまでもない。
Further, although this embodiment describes only the leaf springs 24a and 24b, it goes without saying that the present invention can also be applied to other leaf springs of the XYZ module shown in FIGS. 4 and 5.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように本発明によれば、簡単な構
成でリミツト機構を実現できる。
As explained above, according to the present invention, a limit mechanism can be realized with a simple configuration.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の原理ブロツク図、第2図は実
施例の斜視図、第3図は分解斜視図、第4図は
XYZモジユールの平面図、第5図はXYZモジユ
ールの側面図、第6図はγモジユールの平面図、
第7図は軸方向の力の検出手法の説明図、第8図
はブリツジ回路の説明図、第9図は軸回りの力の
検出方法の説明図、第10図は他の実施例の説明
図、第11図、第12図、第13図、第14図は
従来例の説明図である。 図において、1は第1の部材、2は板状弾性
体、3は変位規制手段、4は部材である。
Fig. 1 is a block diagram of the principle of the present invention, Fig. 2 is a perspective view of an embodiment, Fig. 3 is an exploded perspective view, and Fig. 4 is a
A plan view of the XYZ module, Fig. 5 is a side view of the XYZ module, Fig. 6 is a plan view of the γ module,
Fig. 7 is an explanatory diagram of the method of detecting force in the axial direction, Fig. 8 is an explanatory diagram of the bridge circuit, Fig. 9 is an explanatory diagram of the method of detecting force around the axis, and Fig. 10 is an explanation of another embodiment. 11, 12, 13, and 14 are explanatory diagrams of conventional examples. In the figure, 1 is a first member, 2 is a plate-like elastic body, 3 is a displacement regulating means, and 4 is a member.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 板状弾性体2と、 第1の部材1と、 第2の部材5と、 前記板状弾性体2の過大な変位を規制する変位
規制部材3と、 を備え、 前記第1と第2の部材1,5は、外力を受けた
際に、相対的に変位可能となるよう前記板状弾性
体2を介して互いに支持されてなる支持装置であ
つて、 前記第1の部材1又は第2の部材5は、前記板
状弾性体2の弾性変形範囲内の幅を有するスリツ
ト状溝部1aが開けられることにより形成された
薄肉部2aと厚肉部3aとを備え、 前記薄肉部2aを板状弾性体2とし、 前記厚肉部3aを変位規制部材3としたこと、 を特徴とする支持装置。
[Claims] 1. A plate-shaped elastic body 2, a first member 1, a second member 5, and a displacement regulating member 3 that regulates excessive displacement of the plate-shaped elastic body 2, The first and second members 1 and 5 are mutually supported via the plate-like elastic body 2 so as to be relatively displaceable when receiving an external force, the support device comprising: The first member 1 or the second member 5 includes a thin wall portion 2a and a thick wall portion 3a formed by opening a slit-like groove portion 1a having a width within the elastic deformation range of the plate-like elastic body 2. A support device characterized in that: the thin wall portion 2a is a plate-like elastic body 2; and the thick wall portion 3a is a displacement regulating member 3.
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