JP6506104B2 - Electromagnetic field measurement device - Google Patents

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本発明は、電磁界計測装置に関する。   The present invention relates to an electromagnetic field measurement apparatus.

電磁界計測装置は、電子機器から漏洩する電界および磁界、または電子機器の表面における電界および磁界を検出する。従来、電磁界計測装置は、ロボットのアームの先端に取り付けられている。電磁界計測装置は、ロボットのアームを駆動することにより、多様な形状の電子機器の表面に沿って電界および磁界を計測している。   The electromagnetic field measurement apparatus detects an electric field and a magnetic field leaking from the electronic device or an electric field and a magnetic field on the surface of the electronic device. Conventionally, an electromagnetic field measurement device is attached to the tip of a robot arm. The electromagnetic field measurement apparatus measures an electric field and a magnetic field along the surface of electronic equipment of various shapes by driving an arm of a robot.

しかしながら、計測対象面が例えば車両の外壁などのように複雑かつ傾斜した面である場合、プローブを計測対象面に沿わせるためには複雑な姿勢が要求される。そのため、６軸や７軸などの多軸のロボットが必要となり、ロボットの調整や制御が複雑化するという問題がある。また、複雑かつ傾斜した計測対象面の場合、プローブと計測対象面とを傾斜した面に沿って適切な距離に保持するための制御も複雑化する。   However, in the case where the surface to be measured is a complicated and inclined surface such as the outer wall of a vehicle, for example, a complicated posture is required to bring the probe along the surface to be measured. Therefore, a multi-axis robot such as six axes or seven axes is required, and there is a problem that the adjustment and control of the robot are complicated. In addition, in the case of a complicated and inclined measurement target surface, control for holding the probe and the measurement target surface at an appropriate distance along the inclined surface is also complicated.

特開２００５−０８３７９３号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-083793

そこで、本発明の目的は、多軸のロボットや複雑な制御を必要とすることなく、複雑かつ傾斜した計測対象面における電界および磁界の計測が容易な電磁界測定装置を提供することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an electromagnetic field measurement apparatus that facilitates measurement of electric and magnetic fields on a complex and inclined measurement target surface without requiring a multi-axis robot or complicated control.

請求項１記載の電磁界測定装置は、プローブが固定されているプローブホルダは、ステージアームに接続されているアーム部に対して相対的に移動する。そして、このプローブホルダとアーム部との間は、可撓性の材料で形成されたシート部材によって接続されている。このように、シート部材は、可撓性を有しているため、アーム部が計測対象面に接することにより容易に変形する。そのため、シート部材のアーム部とは反対側の端部に設けられているプローブホルダは、シート部材の変形によって複雑かつ傾斜している計測対象面に沿って接する。さらに、プローブホルダは、可撓性のシート部材によって変形の際に反力を受ける。そのため、プローブホルダは、安定した荷重によって計測対象面に接する。したがって、多軸のロボットや複雑な制御を必要とすることなく、複雑かつ傾斜した計測対象面における電界および磁界を容易に計測することができる。   In the electromagnetic field measurement apparatus according to claim 1, the probe holder on which the probe is fixed moves relative to the arm connected to the stage arm. The probe holder and the arm portion are connected by a sheet member formed of a flexible material. As described above, since the sheet member has flexibility, it is easily deformed when the arm portion contacts the surface to be measured. Therefore, the probe holder provided at the end of the sheet member opposite to the arm portion contacts the complicated and inclined measurement target surface due to the deformation of the sheet member. Furthermore, the probe holder receives a reaction force when it is deformed by the flexible sheet member. Therefore, the probe holder contacts the surface to be measured with a stable load. Therefore, it is possible to easily measure the electric field and the magnetic field in the complex and inclined measurement target surface without requiring a multi-axis robot or complicated control.

一実施形態による電磁界計測装置の構成を示す模式的な断面図A schematic sectional view showing the configuration of an electromagnetic field measurement apparatus according to an embodiment 図３の矢印ＩＩ方向からホルダ本体を見た概略図Schematic view of the holder main body from the arrow II direction in FIG. 3 一実施形態による電磁界計測装置のホルダ本体の外観を示す概略図Schematic which shows the external appearance of the holder main body of the electromagnetic field measuring apparatus by one Embodiment 一実施形態による電磁界計測装置のアーム部を図１のＩＶ−ＩＶ線で切断した模式図The schematic diagram which cut | disconnected the arm part of the electromagnetic field measurement apparatus by one Embodiment by the IV-IV line of FIG. 一実施形態による電磁界計測装置のシート部材を固定する位置および方向を示す概略図Schematic which shows the position and direction which fix the sheet member of the electromagnetic field measurement apparatus by one Embodiment 一実施形態による電磁界計測装置を傾斜した計測対象面に載置した状態を示す概略図Schematic which shows the state mounted in the measurement object surface which inclined the electromagnetic field measurement apparatus by one Embodiment

以下、一実施形態による電磁界測定装置を図面に基づいて説明する。
図１に示す電磁界計測装置１０は、対象物１１の電界および磁界を計測する。対象物１１は、図示しない各種の電子部品を収容している。電磁界計測装置１０は、この図示しない電子部品から対象物１１の外部へ漏洩する電界および磁界、ならびに対象物１１の表面である計測対象面１２における電界および磁界を計測する。また、対象物１１は、電子機器を収容する一般的な電子装置に限らず、例えば車両などの運搬機器やロボットなどのように電子部品を収容する装置であれば任意に選択することができる。 Hereinafter, an electromagnetic field measurement apparatus according to an embodiment will be described based on the drawings.
An electromagnetic field measurement apparatus 10 shown in FIG. 1 measures an electric field and a magnetic field of an object 11. The object 11 contains various electronic components (not shown). The electromagnetic field measurement apparatus 10 measures an electric field and a magnetic field leaking from the not-shown electronic component to the outside of the object 11 and an electric field and a magnetic field in the measurement target surface 12 which is a surface of the object 11. Further, the object 11 is not limited to a general electronic device that accommodates an electronic device, and can be arbitrarily selected as long as it is a device that accommodates an electronic component such as a transport device such as a vehicle or a robot.

電磁界計測装置１０は、プローブ２１、プローブホルダ２２、アーム部２３およびシート部材２４を備えている。プローブ２１は、対象物１１の計測対象面１２における電界および磁界を検出する。プローブ２１は、検出した電界および磁界を電気信号として外部へ出力する。本実施形態の場合、プローブ２１は、ケーブル２５を経由して電気信号を外部へ出力する。なお、プローブ２１は、計測対象面１２における電界および磁界の検出に限らず、計測対象面１２から離れた位置でも電界および磁界を検出することができる。   The electromagnetic field measurement apparatus 10 includes a probe 21, a probe holder 22, an arm unit 23 and a sheet member 24. The probe 21 detects an electric field and a magnetic field in the measurement target surface 12 of the object 11. The probe 21 outputs the detected electric field and magnetic field to the outside as an electric signal. In the case of the present embodiment, the probe 21 outputs an electrical signal to the outside via the cable 25. The probe 21 can detect the electric field and the magnetic field not only in the detection of the electric field and the magnetic field in the measurement target surface 12 but also in the position away from the measurement target surface 12.

プローブホルダ２２は、ホルダ本体２６およびストッパ部材２７を有している。ホルダ本体２６は、プローブ２１が固定されている。プローブホルダ２２のうち少なくともホルダ本体２６は、図２に示すように円環形状に形成されている。ホルダ本体２６は、円環状の内側にプローブ２１を保持している。プローブホルダ２２のうち少なくともホルダ本体２６は、シリコン系の樹脂で形成されている。ホルダ本体２６は、図１に示すように軸方向の一方の端部に、対象物１１の計測対象面１２に接する接触面２８を有している。ホルダ本体２６をシリコン系の樹脂で形成することにより、ホルダ本体２６の接触面２８と対象物１１の計測対象面１２との間に働く摩擦力が大きくなる。これにより、ホルダ本体２６は、対象物１１の計測対象面１２における滑りが低減される。ストッパ部材２７は、ホルダ本体２６の軸方向において接触面２８とは反対側に設けられている。ホルダ本体２６とストッパ部材２７とは、締結部材であるビス２９によって一体に組み付けられる。   The probe holder 22 has a holder body 26 and a stopper member 27. The probe 21 is fixed to the holder body 26. At least the holder main body 26 of the probe holder 22 is formed in an annular shape as shown in FIG. The holder main body 26 holds the probe 21 inside an annular shape. At least the holder main body 26 of the probe holder 22 is formed of a silicon-based resin. The holder main body 26 has a contact surface 28 in contact with the measurement target surface 12 of the object 11 at one end in the axial direction as shown in FIG. 1. By forming the holder main body 26 with a silicon-based resin, the frictional force acting between the contact surface 28 of the holder main body 26 and the measurement target surface 12 of the object 11 is increased. Thereby, the holder body 26 reduces slippage of the measurement target surface 12 of the object 11. The stopper member 27 is provided on the opposite side of the contact surface 28 in the axial direction of the holder main body 26. The holder body 26 and the stopper member 27 are integrally assembled by means of a screw 29 which is a fastening member.

ホルダ本体２６は、図１から図３に示すように計測対象面１２と対向する端部にスリット３１を有している。スリット３１は、図２に示すようにホルダ本体２６の軸中心から径方向へ放射状に形成されている。本実施形態の場合、ホルダ本体２６は、放射状に周方向へ等間隔の８本のスリット３１を有している。スリット３１は、ホルダ本体２６の接触面２８から上方すなわちストッパ部材２７側へ凹状に切り込まれている。ホルダ本体２６にスリット３１を形成することにより、シリコン系の樹脂で形成されたホルダ本体２６は、スリット３１を利用して容易に変形する。また、ホルダ本体２６の接触面２８が計測対象面１２に接した状態でホルダ本体２６が変形するとき、この変形はスリット３１によって吸収される。その結果、ホルダ本体２６は、計測対象面１２に接しているときに力が加わっても、計測対象面１２に対する滑りが低減される。   The holder main body 26 has a slit 31 at an end facing the measurement target surface 12 as shown in FIGS. 1 to 3. The slits 31 are formed radially from the axial center of the holder main body 26 as shown in FIG. In the case of the present embodiment, the holder main body 26 has eight slits 31 at equal intervals in the circumferential direction in the radial direction. The slit 31 is concavely cut upward from the contact surface 28 of the holder main body 26, that is, toward the stopper member 27. By forming the slits 31 in the holder main body 26, the holder main body 26 formed of a silicon-based resin is easily deformed using the slits 31. Further, when the holder main body 26 is deformed with the contact surface 28 of the holder main body 26 in contact with the measurement target surface 12, this deformation is absorbed by the slit 31. As a result, even if a force is applied to the holder main body 26 while it is in contact with the measurement target surface 12, slippage with respect to the measurement target surface 12 is reduced.

アーム部２３は、プローブ２１が固定されているプローブホルダ２２から離れて設けられ、プローブホルダ２２に対して相対的に移動することができる。本実施形態の場合、アーム部２３は、プローブホルダ２２の軸方向において上方、すなわち対象物１１とは反対側に、プローブホルダ２２から離れて設けられている。このアーム部２３は、図示しないステージアームに接続している。図示しないステージアームは、例えばロボットのアームである。これにより、電磁界計測装置１０は、図示しないロボットなどによって任意の計測位置に運搬される。なお、ステージアームは、三次元の任意の姿勢で走査可能ないわゆる三次元走査ステージであればよく、ロボットのアームに限るものではない。   The arm unit 23 is provided apart from the probe holder 22 to which the probe 21 is fixed, and can move relative to the probe holder 22. In the case of the present embodiment, the arm portion 23 is provided on the upper side in the axial direction of the probe holder 22, that is, on the opposite side to the object 11 away from the probe holder 22. The arm unit 23 is connected to a stage arm (not shown). The stage arm not shown is, for example, an arm of a robot. Thus, the electromagnetic field measurement apparatus 10 is transported to an arbitrary measurement position by a robot (not shown) or the like. The stage arm may be a so-called three-dimensional scanning stage capable of scanning in an arbitrary three-dimensional posture, and is not limited to the arm of the robot.

シート部材２４は、可撓性の材料で形成されている。シート部材２４は、例えばポリエチレンテレフタレートやポリカーボネートなどの樹脂でシート状またはフィルム状に形成されている。シート部材２４は、これら例示した樹脂に限らず、可撓性および適度な弾性力を有し、プローブ２１による電界および磁界の計測に影響を与えない材料であれば任意に選択することができる。本実施形態の場合、シート部材２４は、長方形のフィルム状に形成され、一方の端部がアーム部２３に接続し、他方の端部がプローブホルダ２２に接続している。これにより、プローブホルダ２２は、シート部材２４によってアーム部２３に対して移動可能に支持されている。本実施形態の場合、図４に示すようにプローブホルダ２２とアーム部２３との間は、４枚のシート部材２４によって接続されている。この場合、アーム部２３は、シート部材２４の取り付け位置において軸に垂直な断面が概ね正方形となるように形成されている。本実施形態の場合、４枚のシート部材２４は、このアーム部２３の側面に１枚ずつ取り付けられている。このように、プローブホルダ２２とアーム部２３とは、可撓性のシート部材２４によって相対的な移動を許容する状態で接続されている。これにより、プローブホルダ２２とアーム部２３とは、図１の上下方向の距離が変化する。この図１の上下方向は、特許請求の範囲の移動方向に相当する。   The sheet member 24 is formed of a flexible material. The sheet member 24 is formed in a sheet shape or a film shape, for example, with a resin such as polyethylene terephthalate or polycarbonate. The sheet member 24 is not limited to these exemplified resins, and any material can be selected as long as it is flexible and has a suitable elastic force and does not affect the measurement of the electric field and the magnetic field by the probe 21. In the case of the present embodiment, the sheet member 24 is formed in a rectangular film shape, one end of which is connected to the arm portion 23 and the other end of which is connected to the probe holder 22. Thus, the probe holder 22 is movably supported by the sheet member 24 with respect to the arm portion 23. In the case of the present embodiment, as shown in FIG. 4, the probe holder 22 and the arm portion 23 are connected by four sheet members 24. In this case, the arm portion 23 is formed such that the cross section perpendicular to the axis at the mounting position of the seat member 24 is substantially square. In the case of the present embodiment, four sheet members 24 are attached to the side surface of the arm 23 one by one. As described above, the probe holder 22 and the arm portion 23 are connected by the flexible sheet member 24 in such a manner as to allow relative movement. Thus, the distance between the probe holder 22 and the arm 23 in the vertical direction in FIG. 1 changes. The vertical direction in FIG. 1 corresponds to the movement direction in the claims.

シート部材２４は、一方の端部がアーム部２３に接続され、他方の端部がプローブホルダ２２に固定されている。シート部材２４のアーム部２３側の端部は、図５に示すようにアーム部２３の径方向において外側から締結部材であるビス３２によってアーム部２３に固定されている。すなわち、シート部材２４のアーム部２３側の端部は、ビス３２によって径方向に固定されている。このように、シート部材２４のアーム部２３側の端部は、移動方向に対して垂直な方向からビス３２によって固定されている。   One end of the sheet member 24 is connected to the arm 23 and the other end is fixed to the probe holder 22. The end of the sheet member 24 on the side of the arm 23 is fixed to the arm 23 from the outside in the radial direction of the arm 23 by a screw 32 which is a fastening member as shown in FIG. That is, the end of the sheet member 24 on the side of the arm 23 is fixed in the radial direction by the screw 32. Thus, the end of the sheet member 24 on the side of the arm portion 23 is fixed by the screw 32 from the direction perpendicular to the movement direction.

これに対し、シート部材２４のプローブホルダ２２側の端部は、プローブホルダ２２を構成するホルダ本体２６とストッパ部材２７との間に挟み込まれている。すなわち、シート部材２４のプローブホルダ２２側の端部は、径方向内側へ折り返された状態でホルダ本体２６とストッパ部材２７との間に挟み込まれている。そして、シート部材２４のプローブホルダ２２側の端部は、ビス２９によって図１および図５の下方すなわちアーム部２３とは反対側から固定されている。このように、シート部材２４のプローブホルダ２２側の端部は、移動方向に対して平行な方向からビス２９によって固定されている。この場合、シート部材２４のプローブホルダ２２側の端部は、図１に示すようにビス２９の外周側でホルダ本体２６とストッパ部材２７との間に挟み込んでもよく、ビス２９の内周側まで伸ばして挟み込んでもよい。   On the other hand, the end of the sheet member 24 on the side of the probe holder 22 is sandwiched between the holder main body 26 constituting the probe holder 22 and the stopper member 27. That is, the end portion of the sheet member 24 on the probe holder 22 side is sandwiched between the holder main body 26 and the stopper member 27 in a state of being folded back inward in the radial direction. The end of the sheet member 24 on the probe holder 22 side is fixed by a screw 29 from the lower side of FIG. 1 and FIG. 5, that is, the opposite side to the arm portion 23. Thus, the end of the sheet member 24 on the side of the probe holder 22 is fixed by the screw 29 from the direction parallel to the movement direction. In this case, the end of the sheet member 24 on the probe holder 22 side may be sandwiched between the holder main body 26 and the stopper member 27 on the outer peripheral side of the screw 29 as shown in FIG. It may be stretched and pinched.

上記の構成により、図１および図６に示すようにプローブホルダ２２は、計測対象面１２に接する。このとき、シート部材２４がたわむことにより、プローブホルダ２２の接触面２８は対象物１１の計測対象面１２に沿った状態で接する。すなわち、図６に示すように計測対象面１２が傾斜している場合でも、シート部材２４のたわみによってプローブホルダ２２の姿勢は安定する。これにより、プローブホルダ２２は、計測対象面１２に沿った姿勢となり、プローブホルダ２２に固定されているプローブ２１と計測対象面１２との間の距離も適正に保持される。また、シート部材２４のたわみによる反力によって、プローブホルダ２２は計測対象面１２に押し付けられる。そのため、計測対象面１２に接するプローブホルダ２２は、位置のずれが低減される。   According to the above configuration, as shown in FIGS. 1 and 6, the probe holder 22 contacts the measurement target surface 12. At this time, the contact surface 28 of the probe holder 22 contacts with the measurement target surface 12 of the object 11 by the sheet member 24 being bent. That is, even when the measurement target surface 12 is inclined as shown in FIG. 6, the posture of the probe holder 22 is stabilized by the deflection of the sheet member 24. As a result, the probe holder 22 takes a posture along the measurement target surface 12, and the distance between the probe 21 fixed to the probe holder 22 and the measurement target surface 12 is also properly maintained. Further, the probe holder 22 is pressed against the measurement target surface 12 by the reaction force due to the deflection of the sheet member 24. Therefore, the displacement of the position of the probe holder 22 in contact with the measurement target surface 12 is reduced.

電磁界計測装置１０は、上記に加え図１に示すように検出部４０を備えている。検出部４０は、プローブホルダ２２の接触面２８が計測対象面１２に接しているか否かを検出する。本実施形態の場合、検出部４０は、プローブホルダ２２の移動量に基づいて、プローブホルダ２２に加わる荷重が予め設定した設定荷重であるか否かを検出する。具体的には、本実施形態の電磁界計測装置１０の検出部４０は、ストローク部材４１および距離センサ４２を有している。ストローク部材４１は、筒状に形成されており、アーム部２３に対して軸方向へ移動可能である。本実施形態の場合、ストローク部材４１は、アーム部２３の穴部４３に挿入されており、穴部４３を形成するアーム部２３の内壁と摺動する。これにより、ストローク部材４１は,アーム部２３の穴部４３によって軸方向の移動が案内される。ストローク部材４１は、軸方向の端部がプローブホルダ２２のストッパ部材２７と接する。   The electromagnetic field measurement apparatus 10 is provided with a detection unit 40 as shown in FIG. 1 in addition to the above. The detection unit 40 detects whether the contact surface 28 of the probe holder 22 is in contact with the measurement target surface 12. In the case of the present embodiment, the detection unit 40 detects whether the load applied to the probe holder 22 is a preset load set in advance, based on the movement amount of the probe holder 22. Specifically, the detection unit 40 of the electromagnetic field measurement apparatus 10 according to the present embodiment includes the stroke member 41 and the distance sensor 42. The stroke member 41 is formed in a tubular shape, and is movable in the axial direction with respect to the arm portion 23. In the case of the present embodiment, the stroke member 41 is inserted into the hole 43 of the arm 23 and slides on the inner wall of the arm 23 forming the hole 43. Thereby, the movement of the stroke member 41 in the axial direction is guided by the hole 43 of the arm 23. The axial end of the stroke member 41 contacts the stopper member 27 of the probe holder 22.

距離センサ４２は、例えばレーザ光の照射などによって距離を検出する。本実施形態の場合、距離センサ４２は、ストローク部材４１の鍔部４４までの距離を検出する。ストローク部材４１は、アーム部２３の上側に鍔部４４を有している。鍔部４４は、ストローク部材４１の径方向に円板状に突出している。距離センサ４２は、この鍔部４４までの距離を検出する。上述のようにストローク部材４１は、プローブホルダ２２に接している。そのため、ストローク部材４１は、プローブホルダ２２の移動にともなって軸方向へ移動する。これにより、アーム部２３と鍔部４４との間の距離は、ストローク部材４１の移動、つまりプローブホルダ２２の移動によって変化する。距離センサ４２は、このプローブホルダ２２の移動にともなって変化する鍔部４４までの距離を検出する。距離センサ４２は、検出した鍔部４４までの距離を電気信号として外部の演算部４５へ出力する。距離センサ４２は、アーム部２３に設けられている孔４６を経由して鍔部４４へ光を照射する。   The distance sensor 42 detects the distance by, for example, irradiation of a laser beam. In the case of the present embodiment, the distance sensor 42 detects the distance to the ridge portion 44 of the stroke member 41. The stroke member 41 has a hook 44 on the upper side of the arm 23. The collar portion 44 protrudes in a disc shape in the radial direction of the stroke member 41. The distance sensor 42 detects the distance to the ridge 44. As described above, the stroke member 41 is in contact with the probe holder 22. Therefore, the stroke member 41 moves in the axial direction along with the movement of the probe holder 22. Thereby, the distance between the arm portion 23 and the hook portion 44 is changed by the movement of the stroke member 41, that is, the movement of the probe holder 22. The distance sensor 42 detects the distance to the buttocks 44 which changes as the probe holder 22 moves. The distance sensor 42 outputs the detected distance to the ridge portion 44 to the external calculation unit 45 as an electric signal. The distance sensor 42 applies light to the hook 44 through the hole 46 provided in the arm 23.

演算部４５は、距離センサ４２で検出した鍔部４４までの距離、すなわちストローク部材４１の移動量に基づいてプローブホルダ２２が設定荷重で計測対象面１２に接しているか否かを判断する。具体的には、ストローク部材４１の移動量は、プローブホルダ２２とアーム部２３との間の距離、すなわち移動方向における移動量に相関する。そして、このストローク部材４１の移動量は、シート部材２４の変形量にも相関する。シート部材２４は可撓性を有している。そのため、例えば弾性係数などのシート部材２４の変形特性を予め取得しておくことにより、ストローク部材４１の移動量から、シート部材２４の変形にともなう反力によってプローブホルダ２２を計測対象面１２に押し付ける荷重を算出することができる。このように、演算部４５は、プローブホルダ２２を押し付ける荷重を、シート部材２４の変形量に相関する値として、ストローク部材４１の移動量に変換して取得する。そして、演算部４５は、この距離センサ４２で検出したストローク部材４１の移動量に基づいて、プローブホルダ２２が設定荷重で計測対象面１２に押し付けられているか否かを判断する。演算部４５は、プローブホルダ２２が設定荷重で計測対象面１２に押し付けられるように、図示しないステージアームを駆動し、アーム部２３の位置を制御する。   The calculation unit 45 determines whether the probe holder 22 is in contact with the measurement target surface 12 with the set load, based on the distance to the ridge portion 44 detected by the distance sensor 42, that is, the movement amount of the stroke member 41. Specifically, the amount of movement of the stroke member 41 is correlated with the distance between the probe holder 22 and the arm portion 23, that is, the amount of movement in the movement direction. The amount of movement of the stroke member 41 also correlates with the amount of deformation of the sheet member 24. The sheet member 24 has flexibility. Therefore, for example, by acquiring in advance the deformation characteristics of the sheet member 24 such as the elastic coefficient, the probe holder 22 is pressed against the measurement target surface 12 by the reaction force accompanying the deformation of the sheet member 24 from the movement amount of the stroke member 41. The load can be calculated. As described above, the computing unit 45 converts the load pressing the probe holder 22 into the amount of movement of the stroke member 41 as a value correlated with the amount of deformation of the sheet member 24 and acquires it. Then, based on the movement amount of the stroke member 41 detected by the distance sensor 42, the calculation unit 45 determines whether the probe holder 22 is pressed against the measurement target surface 12 with the set load. The arithmetic unit 45 drives a stage arm (not shown) so as to control the position of the arm unit 23 so that the probe holder 22 is pressed against the measurement target surface 12 with a set load.

一実施形態では、プローブ２１が固定されているプローブホルダ２２は、アーム部２３に対して相対的に移動する。そして、このプローブホルダ２２とアーム部２３との間は、可撓性の材料で形成されたシート部材２４によって接続されている。シート部材２４は、可撓性を有しているため、アーム部２３が計測対象面１２に接することにより容易に変形する。そのため、シート部材２４のアーム部２３とは反対側の端部に設けられているプローブホルダ２２は、シート部材２４の変形によって複雑かつ傾斜している計測対象面１２に沿って接する。さらに、プローブホルダ２２は、可撓性のシート部材２４によって変形の際に反力を受ける。そのため、プローブホルダ２２は、安定した荷重によって計測対象面１２に接する。したがって、多軸のロボットや複雑な制御を必要とすることなく、複雑かつ傾斜した計測対象面１２における電界および磁界を容易に計測することができる。   In one embodiment, the probe holder 22 to which the probe 21 is fixed moves relative to the arm 23. The probe holder 22 and the arm 23 are connected by a sheet member 24 formed of a flexible material. Since the sheet member 24 has flexibility, it is easily deformed when the arm portion 23 contacts the measurement target surface 12. Therefore, the probe holder 22 provided at the end of the sheet member 24 on the opposite side to the arm portion 23 contacts the complicated and inclined measurement target surface 12 due to the deformation of the sheet member 24. Furthermore, the probe holder 22 receives a reaction force when it is deformed by the flexible sheet member 24. Therefore, the probe holder 22 contacts the measurement target surface 12 with a stable load. Therefore, the electric field and the magnetic field in the complicated and inclined measurement target surface 12 can be easily measured without the need for a multi-axis robot or complicated control.

また、一実施形態では、シリコン系の樹脂で形成されたプローブホルダ２２のホルダ本体２６は、計測対象面１２と対向する面側にスリット３１を有している。スリット３１を形成することにより、計測対象面１２に接するプローブホルダ２２に力が加わっても、プローブホルダ２２の変形はこのスリット３１に逃がされる。したがって、計測対象面１２におけるプローブホルダ２２の滑りが低減され、精度の高い電界および磁界の計測を行なうことができる。   In one embodiment, the holder main body 26 of the probe holder 22 formed of silicon resin has the slit 31 on the side facing the measurement target surface 12. By forming the slits 31, even if a force is applied to the probe holder 22 in contact with the measurement target surface 12, the deformation of the probe holder 22 is released to the slits 31. Therefore, the slip of the probe holder 22 on the measurement target surface 12 is reduced, and it is possible to measure the electric field and the magnetic field with high accuracy.

一実施形態では、シート部材２４は、アーム部２３側が移動方向に対して垂直にビス３２で固定され、プローブホルダ２２側が移動方向に対して平行にビス２９で固定されている。これにより、シート部材２４の無用な変形やねじれなどが低減される。したがって、シート部材２４に支持されているプローブホルダ２２の姿勢を安定させることができる。   In one embodiment, the sheet member 24 is fixed by the screw 32 with the arm 23 side perpendicular to the movement direction, and is fixed by the screw 29 with the probe holder 22 side parallel to the movement direction. As a result, unnecessary deformation or twisting of the sheet member 24 is reduced. Therefore, the posture of the probe holder 22 supported by the sheet member 24 can be stabilized.

一実施形態では、ストローク部材４１の移動量を検出することにより、シート部材２４の変形量を検出し、シート部材２４によってプローブホルダ２２が計測対象面１２に押し付けられる荷重を算出している。したがって、ストローク部材４１の移動量を検出するという簡単な処理でプローブホルダ２２を計測対象面１２に押し付ける荷重を制御することができる。   In one embodiment, by detecting the amount of movement of the stroke member 41, the amount of deformation of the sheet member 24 is detected, and the load by which the probe holder 22 is pressed against the measurement target surface 12 by the sheet member 24 is calculated. Therefore, the load for pressing the probe holder 22 against the measurement target surface 12 can be controlled by a simple process of detecting the amount of movement of the stroke member 41.

以上説明した本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の実施形態に適用可能である。
一実施形態では、シート部材２４は、アーム部２３側を移動方向と垂直にビス３２で固定し、プローブホルダ２２側を移動方向と平行にビス２９で固定する例について説明した。しかし、この関係は逆でもよい。すなわち、シート部材２４は、アーム部２３側を移動方向に対して平行に固定し、プローブホルダ２２側を移動方向に対して垂直に固定してもよい。また、シート部材２４とアーム部２３またはプローブホルダ２２とを固定する締結部材は、ビスに限らず、互いに固定可能であれば任意の締結部材を用いることができる。 The present invention described above is not limited to the above embodiment, and can be applied to various embodiments without departing from the scope of the invention.
In the embodiment, the sheet member 24 is fixed to the arm portion 23 side with the screw 32 so as to be perpendicular to the moving direction, and the probe holder 22 side is fixed with the screw 29 in parallel to the moving direction. However, this relationship may be reversed. That is, the sheet member 24 may fix the arm 23 side in parallel to the movement direction, and fix the probe holder 22 side perpendicular to the movement direction. Moreover, the fastening member which fixes the sheet | seat member 24 and the arm part 23 or the probe holder 22 can use not only a screw but arbitrary fastening members if it can fix mutually.

一実施形態では、検出部４０は、距離センサ４２でストローク部材４１の鍔部４４までの距離を検出する例を説明した。しかし、この構成は一例である。すなわち、検出部４０は、シート部材２４の変形量を直接検出する構成でもよく、プローブホルダ２２が計測対象面１２に接する荷重を直接検出する構成でもよい。また、ストローク部材４１に設けられている鍔部４４の位置、鍔部４４までの距離の検出手法などは、ストローク部材４１の移動量を検出するという目的が達成できるのであれば任意の構成とすることができる。   In one embodiment, an example in which the detection unit 40 detects the distance to the ridge portion 44 of the stroke member 41 by the distance sensor 42 has been described. However, this configuration is an example. That is, the detection unit 40 may be configured to directly detect the amount of deformation of the sheet member 24 or may be configured to directly detect the load in which the probe holder 22 contacts the measurement target surface 12. Further, the position of the hook portion 44 provided in the stroke member 41, the method of detecting the distance to the hook portion 44, and the like may be any configuration as long as the purpose of detecting the movement amount of the stroke member 41 can be achieved. be able to.

一実施形態では、４枚のシート部材２４でアーム部２３とプローブホルダ２２とを接続する例について説明した。しかし、シート部材２４は、３枚以上であれば任意の枚数としてもよい。   In one embodiment, an example in which the arm unit 23 and the probe holder 22 are connected by the four sheet members 24 has been described. However, the number of sheet members 24 may be any number as long as it is three or more.

図面中、１０は電磁界計測装置、１１は対象物、１２は計測対象面、２１はプローブ、２２はプローブホルダ、２３はアーム部、２４はシート部材、３１はスリット、４０は検出部（検出手段）を示す。   In the drawing, 10 is an electromagnetic field measurement apparatus, 11 is an object, 12 is a measurement target surface, 21 is a probe, 22 is a probe holder, 23 is an arm portion, 24 is a sheet member, 31 is a slit, 40 is a detection portion (detection Means).

Claims (6)

対象物（１１）の電界および磁界を計測する電磁界計測装置（１０）であって、
前記対象物（１１）の計測対象面（１２）における電界および磁界を検出するプローブ（２１）と、
前記プローブ（２１）が固定されている円環形状のプローブホルダ（２２）と、
移動可能なステージアームに接続され、前記プローブホルダ（２２）に対して相対的に移動するアーム部（２３）と、
可撓性の材料で形成され、前記アーム部（２３）と前記プローブホルダ（２２）との間を接続するシート部材（２４）と、
を備え、
前記プローブホルダ（２２）は、シリコン系の樹脂で形成され、前記計測対象面（１２）と対向する端部に径方向の中心から径方向へ放射状に形成されているスリット（３１）を有する電磁界計測装置。 An electromagnetic field measuring apparatus (10) for measuring an electric field and a magnetic field of an object (11)
A probe (21) for detecting an electric field and a magnetic field in a measurement target surface (12) of the object (11);
An annular probe holder (22) to which the probe (21) is fixed;
An arm (23) connected to the movable stage arm and moving relative to the probe holder (22);
A sheet member (24) formed of a flexible material and connecting between the arm portion (23) and the probe holder (22);
Equipped with
The probe holder (22) is formed of a silicon-based resin, and has an electromagnetic wave having a slit (31) formed radially from the center in the radial direction at an end facing the surface to be measured (12). Field measurement device. 前記シート部材（２４）は、一方の端部が前記アーム部（２３）の径方向に固定されるとともに、他方の端部が前記プローブホルダ（２２）の軸方向に固定されている請求項１記載の電磁界計測装置。The sheet member (24) has one end fixed in the radial direction of the arm (23) and the other end fixed in the axial direction of the probe holder (22). The electromagnetic field measuring device as described. 前記アーム部（２３）に設けられ、前記プローブホルダ（２２）が前記計測対象面（１２）に接しているか否かを検出する検出手段（４０）をさらに備える請求項１から２のいずれか一項記載の電磁界計測装置。The detection means (40) provided in the said arm part (23) and detecting whether the said probe holder (22) is in contact with the said measurement object surface (12) any one of Claim 1 to 2 The electromagnetic field measuring device according to the item. 前記検出手段（４０）は、前記プローブホルダ（２２）に加わる荷重が予め設定した設定荷重であることを検出する請求項３記載の電磁界計測装置。The electromagnetic field measuring apparatus according to claim 3, wherein the detection means (40) detects that the load applied to the probe holder (22) is a preset load. 前記検出手段（４０）は、前記プローブホルダ（２２）の移動量から前記プローブホルダ（２２）に加わる荷重を検出する請求項４記載の電磁界計測装置。The electromagnetic field measuring apparatus according to claim 4, wherein the detection means (40) detects a load applied to the probe holder (22) from the amount of movement of the probe holder (22). 前記シート部材（２４）は、前記アーム部（２３）の周方向へ少なくとも３枚以上に分割されている請求項１から５のいずれか一項記載の電磁界計測装置。 The electromagnetic field measuring apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein the sheet member (24) is divided into at least three or more in the circumferential direction of the arm portion (23) .
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