JPH054718A - Magnetic levitation carrier device - Google Patents
Magnetic levitation carrier deviceInfo
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- JPH054718A JPH054718A JP15458791A JP15458791A JPH054718A JP H054718 A JPH054718 A JP H054718A JP 15458791 A JP15458791 A JP 15458791A JP 15458791 A JP15458791 A JP 15458791A JP H054718 A JPH054718 A JP H054718A
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハ等の搬送対象物
を載置する搬送台を、磁力により浮上して軌道に対して
非接触状態にして走行せしめる磁気浮上搬送装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic levitation transfer apparatus for moving a transfer table, on which an object to be transferred such as a wafer is placed, by magnetic force so as to be in a non-contact state with a track.
【０００２】[0002]
【従来の技術】この様なタイプの磁気浮上搬送装置は従
来から種々提案されている。そして、例えば特開昭６３
−１３６１１３号公報に示されている様に、（垂直方向
制御用の）電磁石を通電し励磁することにより搬送台を
浮上せしめて、軌道に対する非接触状態を維持してい
る。2. Description of the Related Art Conventionally, various types of magnetic levitation transport devices of this type have been proposed. And, for example, JP-A-63
As shown in Japanese Patent Laid-Open No. 136136, the carrier table is floated by energizing and exciting an electromagnet (for vertical control) to maintain a non-contact state with respect to the track.
【０００３】ここで、搬送対象物は搬送台上面に載置さ
れる。Here, the object to be transferred is placed on the upper surface of the transfer table.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、特開昭６３−
１３６１１３号公報の技術を、半導体製造設備の様に発
塵による悪影響が問題となる分野で使用するにあたって
は、解決しなければならない問題が存在する。すなわ
ち、電磁石とウエハ等の搬送対象物との間には何等隔離
手段が存在していないので、電磁石を構成するコイルの
高分子材料を汚染源とする粒子汚染に対する防止手段が
存在しないのである。However, JP-A-63-
There is a problem to be solved when the technique of Japanese Patent No. 136113 is used in a field where the adverse effect of dust generation is a problem, such as semiconductor manufacturing equipment. That is, since there is no isolation means between the electromagnet and the object to be conveyed such as a wafer, there is no means for preventing particle contamination using the polymer material of the coil forming the electromagnet as the contamination source.
【０００５】これに対して、特開昭６１−９１０４号公
報は、搬送対象物をパレット上に載置し、該搬送対象物
及びパレットを隔壁内に収容し、隔壁外部から電磁石に
より浮上させ、そして該電磁石を機械的手段により移動
することにより浮上走行せしめる技術が示されている。On the other hand, in Japanese Patent Laid-Open No. 61-9104, an object to be conveyed is placed on a pallet, the object to be conveyed and the pallet are housed in a partition wall, and floated from outside the partition wall by an electromagnet. Then, a technique is disclosed in which the electromagnet is moved by a mechanical means to levitate.
【０００６】しかし、特開昭６１−９１０４号公報の技
術では、パレットの水平方向の揺動を阻止する作用が不
十分であり、最悪の場合には水平方向の不安定によりパ
レットが側部隔壁に衝突して粉塵が発生してしまう。However, in the technique disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 61-9104, the action of preventing the pallet from swinging in the horizontal direction is insufficient, and in the worst case, the pallet is laterally unstable due to the horizontal instability. Will collide with and generate dust.
【０００７】また、半導体製造設備の場合、搬送対象物
であるウエハに各種の処理を施すため、処理施設に到達
する度毎にウエハを出し入れする必要があるが、特開昭
６１−９１０４号公報の技術においてはウエハの出し入
れ作業に対する配慮が為されていないという問題も存在
する。Further, in the case of semiconductor manufacturing equipment, since various kinds of processing are performed on a wafer which is an object to be transferred, it is necessary to take the wafer in and out every time it reaches the processing facility. JP-A-61-9104 There is also a problem in the above technology that no consideration is given to wafer loading / unloading work.
【０００８】さらに、電磁石を移動するための機械的手
段の軌道と隔壁により構成される通路とは、その上下方
向位置が異なっているため比較的大きなスペースを占領
してしまう。そのため、クリーンルームの様な限定され
た空間における利用に際しては問題があった。Further, the track of the mechanical means for moving the electromagnet and the passage constituted by the partition wall occupy a relatively large space because their vertical positions are different. Therefore, there was a problem in using it in a limited space such as a clean room.
【０００９】これに加えて、電磁石を移動するための機
械的手段は発塵源となり、クリーンルーム等の半導体製
造設備における使用には不都合がある。In addition to this, the mechanical means for moving the electromagnet becomes a dust source, which is inconvenient for use in semiconductor manufacturing equipment such as a clean room.
【００１０】本発明は上記した従来技術の各種問題点に
鑑みて提案されたもので、半導体製造設備においても適
用可能で、水平方向についても十分な制御が行われ、搬
送対象物と搬送台を電磁石からの粒子汚染から隔離する
ことが出来て、しかもウエハの出し入れ作業に対する配
慮が為された磁気浮上搬送装置の提供を目的としてい
る。The present invention has been proposed in view of the above-mentioned various problems of the prior art, and is applicable to semiconductor manufacturing equipment as well, in which sufficient control is performed in the horizontal direction, and an object to be transferred and a transfer table are transferred. It is an object of the present invention to provide a magnetic levitation transfer device that can be isolated from particle contamination from an electromagnet, and that has consideration for wafer loading / unloading work.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明の磁気浮上搬送装
置は、隔壁により包囲された搬送台と、該搬送台を走行
移動せしめる走行手段と、搬送台を浮上せしめる複数の
垂直方向制御用の電磁石と、搬送台の水平方向位置を制
御して軌道に対する非接触状態を保持する複数の水平方
向制御用の電磁石とを含み、前記隔壁の断面形状は四角
形であり、前記搬送台はその外周部を構成する外殻部材
と、搬送対象物を載置する載置部材と、前記電磁石の磁
気的吸引力が作用する磁性材料製板状部材とを含んでお
り、前記外殻部材の側面部は、水平方向制御用の電磁石
及びそれに対抗する前記磁性材料製板状部材よりも上方
の位置に開口部が形成されている。SUMMARY OF THE INVENTION A magnetic levitation transportation apparatus of the present invention comprises a transportation platform surrounded by a partition wall, traveling means for traveling the transportation platform, and a plurality of vertical control units for floating the transportation platform. An electromagnet and a plurality of horizontal control electromagnets that control the horizontal position of the carrier to maintain a non-contact state with respect to the track. The partition wall has a quadrangular cross-sectional shape, and the carrier has an outer peripheral portion. The outer shell member, a mounting member for mounting the object to be conveyed, and a plate-shaped member made of a magnetic material on which the magnetic attraction force of the electromagnet acts, and the side surface portion of the outer shell member is An opening is formed at a position above the electromagnet for horizontal direction control and the plate-shaped member made of magnetic material that opposes the electromagnet.
【００１２】ここで、本発明の磁気浮上搬送装置は、前
記水平方向制御用の電磁石及び垂直方向制御用の電磁石
は前記磁性材料製板状部材との距離を検出するセンサを
備えているのが好ましい。そして、前記隔壁は非磁性材
料で構成されており、例えばアルミニウムで構成されて
いるのが好ましい。Here, the magnetic levitation transport apparatus of the present invention is provided with a sensor for detecting the distance between the electromagnet for horizontal direction control and the electromagnet for vertical direction control and the plate-shaped member made of magnetic material. preferable. The partition wall is made of a non-magnetic material, and is preferably made of aluminum, for example.
【００１３】また、本発明の磁気浮上搬送装置は、前記
隔壁は直方体形状であり、前記搬送台はその走行方向の
両端部についても該隔壁により包囲され、該隔壁の内側
面の一部は前記外殻部材に固定され、外殻部材の側面部
に形成された開口部に対応する隔壁の箇所には開口部及
びそれを開閉する開閉部材が設けられている。Further, in the magnetic levitation transport apparatus of the present invention, the partition wall is in the shape of a rectangular parallelepiped, the transport base is surrounded by the partition wall at both ends in the traveling direction, and a part of the inner side surface of the partition wall is the above-mentioned. An opening and an opening / closing member that opens and closes the opening are provided at the location of the partition wall fixed to the outer shell member and corresponding to the opening formed in the side surface of the outer shell member.
【００１４】本発明の実施に際して、搬送台及び隔壁を
走行せしめるための手段としては、リニアモータを採用
するのが好ましい。In carrying out the present invention, it is preferable to employ a linear motor as means for moving the carrier and the partition.
【００１５】[0015]
【作用】上記した様な構成を有する本発明の磁気浮上搬
送装置によれば、垂直方向制御用の電磁石により搬送台
及び隔壁を浮上して、軌道に対する非接触状態を維持出
来るので、発塵源となる機械的手段を使用すること無
く、半導体製造設備における搬送手段として採用するこ
とが出来る。According to the magnetic levitation transporting apparatus of the present invention having the above-mentioned structure, the carrier and the partition can be levitated by the electromagnet for controlling the vertical direction and the non-contact state with respect to the track can be maintained. It can be adopted as a carrying means in a semiconductor manufacturing facility without using any mechanical means.
【００１６】そして、水平方向制御用の電磁石を有して
いるため、上記した様な搬送台が水平方向に揺動するこ
とを完全に防止することが出来る。Further, since it has an electromagnet for horizontal control, it is possible to completely prevent the above-mentioned carrier table from swinging in the horizontal direction.
【００１７】また、搬送台が隔壁により包囲されている
ので、該隔壁が搬送台を電磁石から隔離して、電磁石を
構成するコイルの高分子材料からの粒子を遮断すること
が出来る。ここで、隔壁は軌道内に収容される様な配置
となるので、その分だけスペースの節約が達成される。Further, since the carrier is surrounded by the partition, the partition can isolate the carrier from the electromagnet and block particles from the polymer material of the coil forming the electromagnet. Here, since the partition wall is arranged so as to be accommodated in the track, the space can be saved accordingly.
【００１８】本発明の磁気浮上搬送装置は、隔壁の断面
形状は四角形であるため、その洗浄に費やされるコスト
が非常に減少するという長所を有している。The magnetic levitation transport apparatus of the present invention has an advantage that the cost of cleaning the partition wall is significantly reduced because the partition wall has a quadrangular cross section.
【００１９】さらに、搬送台の前記外殻部材の側面部
に、水平方向制御用の電磁石及びそれに対抗する前記磁
性材料製板状部材よりも上方の位置で開口部を形成し、
該開口部を介して搬送対象物（例えばウエハ）を出し入
れすれば、水平方向制御用の電磁石及びそれに対抗する
前記磁性材料製板状部材と干渉すること無く、容易に出
し入れ作業が行われるのである。Further, an opening is formed in a side surface portion of the outer shell member of the carrier at a position above the electromagnet for horizontal direction control and the plate-shaped member made of magnetic material opposed thereto,
If the object to be transferred (for example, a wafer) is taken in and out through the opening, the work can be easily taken in and out without interfering with the electromagnet for horizontal control and the plate-shaped member made of magnetic material that opposes the electromagnet. .
【００２０】これに加えて本発明によれば、隔壁が搬送
台及び搬送対象物を完全に包囲する様に構成することも
可能である。その様に構成すれば、隔壁で通路を形成す
る必要が無くなり、その分だけ設備導入コストを低く抑
えらせる。In addition to this, according to the present invention, it is possible to construct the partition so as to completely surround the carrier and the object to be transported. With such a configuration, it is not necessary to form the passage with the partition wall, and the equipment introduction cost can be suppressed to that extent.
【００２１】[0021]
【実施例】以下、添付図面を参照して、本発明の実施例
について説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
【００２２】図１において、全体を符号１０で示す磁気
浮上搬送装置は、搬送台１２、それを包囲する非磁性材
料製の隔壁１４、軌道１６とを含んでいる。軌道１６の
側部の比較的下方の位置には、水平方向Ｈについて搬送
台１２の位置を制御するための水平方向制御用電磁石１
８…が設けられている。そして、軌道１６の上部には搬
送台１４を浮上するための垂直方向制御用電磁石２０…
が設けられ、一方、軌道１６の下部には搬送台１４が浮
上し過ぎた場合に下方へ吸引する垂直方向制御用電磁石
２１が設けられている。In FIG. 1, a magnetic levitation transporting apparatus generally designated by reference numeral 10 includes a pedestal 12, a partition wall 14 made of a non-magnetic material surrounding the pedestal 12, and a track 16. The horizontal control electromagnet 1 for controlling the position of the carriage 12 in the horizontal direction H is provided at a position relatively below the side of the track 16.
8 ... are provided. Then, on the upper part of the track 16, a vertical control electromagnet 20 for levitating the carrier 14 is ...
On the other hand, in the lower part of the track 16, there is provided a vertical direction control electromagnet 21 that attracts downward when the carrier 14 floats too much.
【００２３】電磁石１８、２１には、搬送台１２と各電
磁石との距離を検出するセンサ２２、２３がそれぞれ設
けられている。このセンサ２２、２３の出力は図示しな
い制御ユニットへ送出され、電磁石と搬送台との距離が
所定の範囲外となった場合には当該電磁石のコイルへ通
電する電流を調節して、該距離を所定の範囲に保つので
ある。The electromagnets 18 and 21 are provided with sensors 22 and 23 for detecting the distance between the carrier 12 and each electromagnet. The outputs of the sensors 22 and 23 are sent to a control unit (not shown), and when the distance between the electromagnet and the carrier is out of a predetermined range, the current supplied to the coil of the electromagnet is adjusted to adjust the distance. It is kept within a predetermined range.
【００２４】軌道１６の下部には、上記した電磁石２１
…に加えて、搬送台１２を走行方向（図１の紙面に垂直
な方向）に移動するためのリニアモータ２４が設けられ
ている。一方、軌道１６の上部には、上記した電磁石２
０…以外に、電磁ブレーキ機構２６が設けられている。At the bottom of the track 16, the above-mentioned electromagnet 21 is provided.
In addition to this, a linear motor 24 is provided for moving the carrier 12 in the traveling direction (direction perpendicular to the plane of FIG. 1). On the other hand, in the upper part of the track 16, the above-mentioned electromagnet 2
In addition to 0 ..., An electromagnetic brake mechanism 26 is provided.
【００２５】隔壁１４は、図示から明らかな様にその横
断面形状は長方形である。そして、図１の実施例におい
ては、該隔壁１４は搬送台走行方向（図１の紙面に垂直
な方向）へ延長している。図２は、隔壁１４内に搬送台
１２が収容された状態を示している。なお、図２におい
て符号Ｍは搬送台１２の走行方向を示している。As is apparent from the drawing, the partition wall 14 has a rectangular cross section. Further, in the embodiment of FIG. 1, the partition wall 14 extends in the traveling direction of the carrier (the direction perpendicular to the paper surface of FIG. 1). FIG. 2 shows a state in which the carrier 12 is housed in the partition wall 14. Note that, in FIG. 2, the symbol M indicates the traveling direction of the carrier 12.
【００２６】再び図１において、搬送台１２は、その外
周を構成する外殻部材３０と、例えばウエハＷの様な搬
送対象物を載置する載置部材３２と、電磁石１８、２
０、２１にそれぞれ対向してその磁気的吸引力が作用さ
れる磁性材料製板状部材３４、３６、３８とを備えてい
る。そして載置部材３２はウエハＷを直接載置するテー
ブル４０と、該テーブルを垂直方向Ｖ上方位置に保持す
るホルダ４２とを含んでいる。Referring again to FIG. 1, the transfer table 12 has an outer shell member 30 forming its outer periphery, a mounting member 32 for mounting an object to be transferred such as a wafer W, and electromagnets 18, 2.
Nos. 0 and 21 are provided, and plate-shaped members 34, 36 and 38 made of a magnetic material, to which the magnetic attraction force is applied. The mounting member 32 includes a table 40 on which the wafer W is directly mounted, and a holder 42 which holds the table at a position above the vertical direction V.
【００２７】外殻部材３０の側面部３０ｓにおいて、水
平方向制御用電磁石１８及びそれに対応する磁性材料製
板状部材３０ｓの上方には、開口部４４が形成されてい
る。該開口部４４は、例えばウエハの処理施設において
ウエハを出し入れする際の出入口として作用するもので
ある。そして、その垂直方向Ｖに関する位置は、前記テ
ーブル４０に載置されたウエハＷに対応している。軌道
１６の側部において、水平方向制御用電磁石１８…が比
較的下方の位置に設けられているのは、ウエハＷを開口
部４４を介して出し入れするに際して、該電磁石１８が
干渉しない様にするためである。なお、該処理施設にお
いては、開口部４４に対応する隔壁１４中の位置に、開
閉手段を設けた開口が設けられている。In the side surface portion 30s of the outer shell member 30, an opening 44 is formed above the horizontal control electromagnet 18 and the corresponding plate member 30s made of magnetic material. The opening 44 functions as an entrance / exit when a wafer is taken in and out, for example, in a wafer processing facility. The position in the vertical direction V corresponds to the wafer W placed on the table 40. The horizontal control electromagnets 18 are provided at relatively lower positions on the side portions of the track 16 so that the electromagnets 18 do not interfere when the wafer W is taken in and out through the opening 44. This is because. In the processing facility, an opening provided with an opening / closing means is provided at a position in the partition wall 14 corresponding to the opening 44.
【００２８】図１の実施例の作動に際しては、先ず図示
しない制御ユニットにより垂直制御用電磁石２０…が励
磁され、磁性材料製板状体３６に磁気的吸引力を作用せ
しめて搬送台１２を浮上させる。そして、搬送台１２の
浮上量はセンサ２３により検出されて、該センサの出力
に対応して垂直制御用電磁石２０…或いは２１…に供給
される電流が制御される。これにより、搬送台１２の浮
上量が適正な範囲に治まるのである。リニアモータ２４
により搬送台１２が走行している際にも同様である。In the operation of the embodiment shown in FIG. 1, first, the vertical control electromagnets 20 ... Are excited by a control unit (not shown), a magnetic attraction force is applied to the magnetic material plate-like body 36, and the carrier 12 is levitated. Let The flying height of the carrier 12 is detected by the sensor 23, and the current supplied to the vertical control electromagnets 20 ... Or 21 ... Is controlled in accordance with the output of the sensor. As a result, the flying height of the carrier 12 is settled within an appropriate range. Linear motor 24
The same applies when the carrier 12 is running.
【００２９】一方、搬送台１２の静止浮上状態或いは走
行状態において、搬送台１２が水平方向Ｈに変位すれば
センサ２２がそれを検出し、搬送台１２を中心位置に保
持するべく水平方向制御用電磁石１８…を励磁するので
ある。これにより、搬送台１２が水平方向に揺動するこ
とが完全に防止される。On the other hand, when the carrier table 12 is in a stationary floating state or in a traveling state, if the carrier table 12 is displaced in the horizontal direction H, the sensor 22 detects it and the carrier table 12 is used for horizontal control in order to hold it at the center position. The electromagnets 18 are excited. This completely prevents the carrier 12 from swinging in the horizontal direction.
【００３０】そして、リニアモータ２４により搬送台１
２を走行方向Ｍ（図２参照、図１では紙面に垂直な方
向）に走行移動せしめる。半導体処理施設（図示せず）
に到着したら、前述した隔壁１４の図示しない開閉手段
及び開口部４４を介して、ロボットハンド等によりウエ
ハＷを出し入れする。Then, the carriage 1 is driven by the linear motor 24.
2 is moved in the traveling direction M (see FIG. 2, a direction perpendicular to the paper surface in FIG. 1). Semiconductor processing facility (not shown)
When the wafer W arrives at, the wafer W is loaded / unloaded by a robot hand or the like through the opening / closing means (not shown) of the partition wall 14 and the opening 44.
【００３１】作業完了後、隔壁１４を清掃するに際して
は、その横断形状が比較的単純な四角形となっているの
で、清掃作業が極めて容易に行われる。After the work is completed, when the partition wall 14 is cleaned, the cross-sectional shape thereof is a relatively simple quadrangle, so that the cleaning work is extremely easy.
【００３２】前述した様に、図１の実施例においては隔
壁１４は図２で示すような通路を形成し、該通路内を搬
送台１２が走行移動している。これに対して、隔壁で通
路を形成せずに、図３で示す様な直方体の隔壁６０で搬
送台１２（図３ではウエハＷのみを示す）を完全に包囲
し、走行Ｍについても該隔壁６０により搬送台１２を外
部雰囲気から遮断する様に構成することも可能である。As described above, in the embodiment shown in FIG. 1, the partition wall 14 forms a passage as shown in FIG. 2, and the carrier 12 moves in the passage. On the other hand, without forming a passage by the partition wall, the transporting table 12 (only the wafer W is shown in FIG. 3) is completely surrounded by the rectangular partition wall 60 as shown in FIG. It is also possible to configure the carrier 12 to be shielded from the external atmosphere by 60.
【００３３】図３では明確に図示されていないが、前記
開口部４４に対応する位置には、隔壁６０に開閉自在な
仕切手段が形成される。また、搬送台１２の外殻部材３
０の一部は隔壁６０と固着して、該隔壁と搬送台とが一
緒に浮上走行する様になっている。Although not clearly shown in FIG. 3, partitioning means which can be opened and closed are formed in the partition wall 60 at a position corresponding to the opening 44. In addition, the outer shell member 3 of the carrier 12.
A part of 0 is fixed to the partition wall 60 so that the partition wall and the carrier stand together to float.
【００３４】図２と図３とを比較すれば明らかなよう
に、直方体の隔壁６０を用いれば軌道１６の内側に更に
通路を設ける必要が無くなり、好都合である。As is apparent from a comparison of FIGS. 2 and 3, the use of the rectangular parallelepiped partition wall 60 is convenient because it is not necessary to further provide a passage inside the track 16.
【００３５】[0035]
【発明の効果】本発明の効果を以下に列挙する。The effects of the present invention are listed below.
【００３６】（１） 発塵源となる機械的手段を使用す
ることが無いので、半導体製造設備における搬送手段と
して用いることが出来る。(1) Since no mechanical means which is a dust source is used, it can be used as a carrying means in a semiconductor manufacturing facility.
【００３７】（２） 搬送台の水平方向変位或いは不安
定に対処して、それに伴う各種不都合を防止することが
出来る。(2) The horizontal displacement or instability of the carrier can be dealt with to prevent various inconveniences associated therewith.
【００３８】（３） 搬送台が隔壁により包囲されてい
るので、該隔壁が搬送台を電磁石から隔離して、電磁石
を構成するコイルの高分子材料からの粒子を遮断するこ
とが出来る。(3) Since the carrier is surrounded by the partition walls, the partition walls can isolate the carrier from the electromagnet and block particles from the polymer material of the coil forming the electromagnet.
【００３９】（４） 隔壁は軌道内に収容される様な配
置となるので、その分だけスペースの節約が達成され
る。(4) Since the partition wall is arranged so as to be accommodated in the track, the space can be saved accordingly.
【００４０】（５） 隔壁の断面形状は四角形であるた
め、その洗浄に費やされるコストが非常に減少する。(5) Since the partition wall has a quadrangular cross section, the cost for cleaning the partition wall is significantly reduced.
【００４１】（６） 水平方向制御用の電磁石及びそれ
に対抗する前記磁性材料製板状部材と干渉すること無
く、ウエハの様な搬送対象物を容易に出し入れすること
が出来る。(6) An object to be transferred such as a wafer can be easily taken in and out without interfering with the electromagnet for horizontal direction control and the plate-shaped member made of magnetic material that opposes the electromagnet.
【００４２】（７） 隔壁が搬送台及び搬送対象物を完
全に包囲する様に構成すれば、隔壁で通路を形成する必
要が無くなり、その分だけ設備導入コストを低く抑えら
れ、設備配置が容易になる。(7) If the partition wall is constructed so as to completely surround the carrier and the object to be transported, it is not necessary to form a passage by the partition wall, and the facility introduction cost can be reduced accordingly, and the facility can be easily arranged. become.
【図１】本発明の１実施例を示す断面正面図。FIG. 1 is a sectional front view showing an embodiment of the present invention.
【図２】図１の実施例で用いられる隔壁を示す部分斜視
図。FIG. 2 is a partial perspective view showing a partition wall used in the embodiment of FIG.
【図３】本発明のその他の実施例で用いられる隔壁を示
す部分斜視図。FIG. 3 is a partial perspective view showing a partition used in another embodiment of the present invention.
１０・・・磁気浮上搬送装置 １２・・・搬送台 １４、６０・・・隔壁 １６・・・軌道 １８・・・水平方向制御用電磁石 ２０、２１・・・垂直方向制御用電磁石 ２２、２３・・・センサ ２４・・・リニア ３０・・・外殻部材 ３２・・・載置部材 ３４、３６、３８・・・磁性材料製板状部材 10 ... Magnetic levitation transport device 12 ... Transfer stand 14, 60 ... Partition wall 16 ... orbit 18 ... Electromagnet for horizontal control 20, 21 ... Vertical control electromagnet 22, 23 ... Sensor 24: Linear 30 ... Outer shell member 32 ... Mounting member 34, 36, 38 ... Plate-shaped member made of magnetic material
─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成４年９月１８日[Submission date] September 18, 1992
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】全文[Correction target item name] Full text
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【書類名】 明細書[Document name] Statement
【発明の名称】 磁気浮上搬送装置Patent application title: Magnetic levitation transport device
【特許請求の範囲】[Claims]
【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハ等の搬送対象物
を載置する搬送台を、磁力により浮上して軌道に対して
非接触状態にして走行せしめる磁気浮上搬送装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic levitation transfer apparatus for moving a transfer table, on which an object to be transferred such as a wafer is placed, by magnetic force so as to be in a non-contact state with a track.
【０００２】[0002]
【従来の技術】この様なタイプの磁気浮上搬送装置は従
来から種々提案されている。そして、例えば特開昭６３
−１３６１１３号公報に示されている様に、（垂直方向
制御用の）電磁石を通電し励磁することにより搬送台を
浮上せしめて、軌道に対する非接触状態を維持してい
る。2. Description of the Related Art Conventionally, various types of magnetic levitation transport devices of this type have been proposed. And, for example, JP-A-63
As shown in Japanese Patent Laid-Open No. 136136, the carrier table is floated by energizing and exciting an electromagnet (for vertical control) to maintain a non-contact state with respect to the track.
【０００３】ここで、搬送対象物は搬送台上面に載置さ
れる。Here, the object to be transferred is placed on the upper surface of the transfer table.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、特開昭６３−
１３６１１３号公報の技術を、半導体製造設備の様に発
塵による悪影響が問題となる分野で使用するにあたって
は、解決しなければならない問題が存在する。すなわ
ち、電磁石とウエハ等の搬送対象物との間には何等隔離
手段が存在していないので、電磁石を構成するコイルの
高分子材料を汚染源とする粒子汚染に対する防止手段が
存在しないのである。However, JP-A-63-
There is a problem to be solved when the technique of Japanese Patent No. 136113 is used in a field where the adverse effect of dust generation is a problem, such as semiconductor manufacturing equipment. That is, since there is no isolation means between the electromagnet and the object to be conveyed such as a wafer, there is no means for preventing particle contamination caused by the polymer material of the coil forming the electromagnet as a contamination source.
【０００５】これに対して、特開昭６１−９１０４号公
報は、搬送対象物をパレット上に載置し、該搬送対象物
及びパレットを隔壁内に収容し、隔壁外部から電磁石に
より浮上させ、そして該電磁石を機械的手段により移動
することにより浮上走行せしめる技術が示されている。On the other hand, in Japanese Patent Laid-Open No. 61-9104, an object to be conveyed is placed on a pallet, the object to be conveyed and the pallet are housed in a partition wall, and floated from outside the partition wall by an electromagnet. Then, a technique is disclosed in which the electromagnet is moved by a mechanical means to levitate.
【０００６】また、半導体製造設備の場合、搬送対象物
であるウエハに各種の処理を施すため、処理施設に到達
する度毎にウエハを出し入れする必要があるが、特開昭
６１−９１０４号公報の技術においてはウエハの出し入
れ作業に対する配慮が為されていないという問題も存在
する。In the case of a semiconductor manufacturing facility, since various kinds of processing are performed on a wafer which is an object to be transferred, it is necessary to take the wafer in and out each time it reaches the processing facility. There is also a problem in the above technology that no consideration is given to wafer loading / unloading work.
【０００７】さらに、電磁石を移動するための機械的手
段の軌道と隔壁により構成される通路とは、その上下方
向位置が異なっているため比較的大きなスペースを占領
してしまう。そのため、クリーンルームの様な限定され
た空間における利用に際しては問題があった。Further, since the track of the mechanical means for moving the electromagnet and the passage constituted by the partition wall have different vertical positions, they occupy a relatively large space. Therefore, there was a problem in using it in a limited space such as a clean room.
【０００８】これに加えて、電磁石を移動するための機
械的手段は発塵源となり、クリーンルーム等の半導体製
造設備における使用には不都合がある。In addition to this, the mechanical means for moving the electromagnet becomes a dust source, which is inconvenient for use in semiconductor manufacturing equipment such as a clean room.
【０００９】本発明は上記した従来技術の各種問題点に
鑑みて提案されたもので、半導体製造設備においても適
用可能で、搬送対象物と搬送台を電磁石からの粒子汚染
から隔離することが出来て、しかもウエハの出し入れ作
業に対する配慮が為された磁気浮上搬送装置の提供を目
的としている。The present invention has been proposed in view of the above-mentioned various problems of the prior art, and can be applied to a semiconductor manufacturing facility, and can separate an object to be transferred and a transfer table from particle contamination from an electromagnet. Moreover, it is an object of the present invention to provide a magnetic levitation transfer device in which consideration is given to wafer loading / unloading work.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明の磁気浮上搬送装
置は、隔壁により包囲された搬送台と、該搬送台を走行
移動せしめる走行手段と、搬送台を浮上せしめる複数の
電磁石と、前記搬送台はその外周部を構成する外殻部材
と、搬送対象物を載置する載置部材と、前記電磁石の磁
気的吸引力が作用する磁性材料製板状部材とを含んでお
り、前記外殻部材の側面部に開口部が形成されている。A magnetic levitation transportation apparatus of the present invention comprises a transportation platform surrounded by a partition wall, traveling means for traveling the transportation platform, a plurality of electromagnets for floating the transportation platform, and the transportation system. The table includes an outer shell member that forms an outer peripheral portion thereof, a mounting member that mounts an object to be conveyed, and a plate-shaped member made of a magnetic material on which the magnetic attraction force of the electromagnet acts. An opening is formed in the side surface of the member.
【００１１】ここで、本発明の磁気浮上搬送装置は、電
磁石は前記磁性材料製板状部材との距離を検出するセン
サを備えているのが好ましい。そして、前記隔壁は非磁
性材料で構成されており、例えば非磁性ステンレス鋼で
構成されているのが好ましい。Here, in the magnetic levitation transport apparatus of the present invention, it is preferable that the electromagnet is provided with a sensor for detecting a distance from the magnetic material plate-shaped member. The partition wall is made of a non-magnetic material, preferably non-magnetic stainless steel.
【００１２】また、本発明の磁気浮上搬送装置は、前記
搬送台はその走行方向の両端部についても前記隔壁によ
り包囲され、該隔壁の内側面の一部は前記外殻部材に固
定され、外殻部材の側面部に形成された開口部に対応す
る隔壁の箇所には開口部及びそれを開閉する開閉部材が
設けられている。Further, in the magnetic levitation transfer apparatus of the present invention, the transfer table is surrounded by the partition walls at both ends in the traveling direction, and a part of the inner side surface of the partition wall is fixed to the outer shell member. An opening and an opening / closing member that opens and closes the opening are provided at the location of the partition wall corresponding to the opening formed on the side surface of the shell member.
【００１３】本発明の実施に際して、搬送台及び隔壁を
走行せしめるための手段としては、リニアモータを採用
するのが好ましい。In carrying out the present invention, it is preferable to employ a linear motor as means for moving the carrier and the partition.
【００１４】[0014]
【作用】上記した様な構成を有する本発明の磁気浮上搬
送装置によれば、電磁石により搬送台及び隔壁を浮上し
て、軌道に対する非接触状態を維持出来るので、発塵源
となる機械的手段を使用すること無く、半導体製造設備
における搬送手段として採用することが出来る。According to the magnetic levitation transfer apparatus of the present invention having the above-mentioned structure, the transfer table and the partition wall can be levitated by the electromagnet and the non-contact state with respect to the track can be maintained. Can be used as a transportation means in a semiconductor manufacturing facility without using.
【００１５】また、搬送台が隔壁により包囲されている
ので、該隔壁が搬送台を電磁石から隔離して、電磁石を
構成するコイルの高分子材料からの粒子を遮断すること
が出来る。ここで、隔壁は軌道内に収容される様な配置
となるので、その分だけスペースの節約が達成される。Further, since the carrier is surrounded by the partition, the partition can isolate the carrier from the electromagnet and block particles from the polymer material of the coil forming the electromagnet. Here, since the partition wall is arranged so as to be accommodated in the track, the space can be saved accordingly.
【００１６】さらに、搬送台の前記外殻部材の側面部
に、開口部を形成し、該開口部を介して搬送対象物（例
えばウエハ）を出し入れすれば、容易に出し入れ作業が
行われるのである。Further, if an opening is formed in the side surface of the outer shell member of the carrier and an object to be transferred (for example, a wafer) is taken in and out through the opening, the work of taking in and out can be easily performed. .
【００１７】これに加えて本発明によれば、隔壁が搬送
台及び搬送対象物を完全に包囲する様に構成することも
可能である。その様に構成すれば、隔壁で通路を形成す
る必要が無くなり、その分だけ設備導入コストを低く抑
えらせる。In addition to this, according to the present invention, the partition wall can be configured so as to completely surround the carrier and the object to be transported. With such a configuration, it is not necessary to form the passage with the partition wall, and the equipment introduction cost can be suppressed to that extent.
【００１８】[0018]
【実施例】以下、添付図面を参照して、本発明の実施例
について説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
【００１９】図１において、全体を符号１０で示す磁気
浮上搬送装置は、搬送台１２、それを包囲する非磁性材
料製の隔壁１４、軌道１６とを含んでいる。軌道１６の
側部の比較的下方の位置には、水平方向Ｈについて搬送
台１２の位置を制御するための水平方向制御用電磁石１
８…が設けられている。そして、軌道１６の上部には搬
送台１４を浮上するための垂直方向制御用電磁石２０…
が設けられ、一方、軌道１６の下部には搬送台１４が浮
上し過ぎた場合に下方へ吸引する垂直方向制御用電磁石
２１が設けられている。In FIG. 1, a magnetic levitation transportation apparatus generally designated by reference numeral 10 includes a transportation platform 12, a partition wall 14 made of a non-magnetic material and surrounding the transportation platform 12, and a track 16. The horizontal control electromagnet 1 for controlling the position of the carriage 12 in the horizontal direction H is provided at a position relatively below the side of the track 16.
8 ... are provided. Then, on the upper part of the track 16, a vertical control electromagnet 20 for levitating the carrier 14 is ...
On the other hand, in the lower part of the track 16, there is provided a vertical direction control electromagnet 21 that attracts downward when the carrier 14 floats too much.
【００２０】電磁石１８、２１には、搬送台１２と各電
磁石との距離を検出するセンサ２２、２３がそれぞれ設
けられている。このセンサ２２、２３の出力は図示しな
い制御ユニットへ送出され、電磁石と搬送台との距離が
所定の範囲外となった場合には当該電磁石のコイルへ通
電する電流を調節して、該距離を所定の範囲に保つので
ある。The electromagnets 18 and 21 are provided with sensors 22 and 23 for detecting the distance between the carrier 12 and the electromagnets, respectively. The outputs of the sensors 22 and 23 are sent to a control unit (not shown), and when the distance between the electromagnet and the carrier is out of a predetermined range, the current supplied to the coil of the electromagnet is adjusted to adjust the distance. It is kept within a predetermined range.
【００２１】軌道１６の下部には、上記した電磁石２１
…に加えて、搬送台１２を走行方向（図１の紙面に垂直
な方向）に移動するためのリニアモータ２４が設けられ
ている。一方、軌道１６の上部には、上記した電磁石２
０…以外に、電磁ブレーキ機構２６が設けられている。At the lower part of the track 16, the above-mentioned electromagnet 21 is provided.
In addition to this, a linear motor 24 is provided for moving the carrier 12 in the traveling direction (direction perpendicular to the plane of FIG. 1). On the other hand, in the upper part of the track 16, the above-mentioned electromagnet 2
In addition to 0 ..., An electromagnetic brake mechanism 26 is provided.
【００２２】隔壁１４は、図示から明らかな様にその横
断面形状は長方形である。そして、図１の実施例におい
ては、該隔壁１４は搬送台走行方向（図１の紙面に垂直
な方向）へ延長している。図２は、隔壁１４内に搬送台
１２が収容された状態を示している。なお、図２におい
て符号Ｍは搬送台１２の走行方向を示している。As is apparent from the drawing, the partition wall 14 has a rectangular cross section. Further, in the embodiment of FIG. 1, the partition wall 14 extends in the traveling direction of the carrier (the direction perpendicular to the paper surface of FIG. 1). FIG. 2 shows a state in which the carrier 12 is housed in the partition wall 14. Note that, in FIG. 2, the symbol M indicates the traveling direction of the carrier 12.
【００２３】再び図１において、搬送台１２は、その外
周を構成する外殻部材３０と、例えばウエハＷの様な搬
送対象物を載置する載置部材３２と、電磁石１８、２
０、２１にそれぞれ対向してその磁気的吸引力が作用さ
れる磁性材料製板状部材３４、３６、３８とを備えてい
る。そして載置部材３２はウエハＷを直接載置するテー
ブル４０と、該テーブルを垂直方向Ｖ上方位置に保持す
るホルダ４２とを含んでいる。Referring again to FIG. 1, the transfer table 12 has an outer shell member 30 forming its outer periphery, a mounting member 32 for mounting an object to be transferred such as a wafer W, and electromagnets 18, 2.
Nos. 0 and 21 are provided, and plate-shaped members 34, 36 and 38 made of a magnetic material, to which the magnetic attraction force is applied. The mounting member 32 includes a table 40 on which the wafer W is directly mounted, and a holder 42 which holds the table at a position above the vertical direction V.
【００２４】外殻部材３０の側面部３０ｓにおいて、水
平方向制御用電磁石１８及びそれに対応する磁性材料製
板状部材３０ｓの上方には、開口部４４が形成されてい
る。該開口部４４は、例えばウエハの処理施設において
ウエハを出し入れする際の出入口として作用するもので
ある。そして、その垂直方向Ｖに関する位置は、前記テ
ーブル４０に載置されたウエハＷに対応している。軌道
１６の側部において、水平方向制御用電磁石１８…が比
較的下方の位置に設けられているのは、ウエハＷを開口
部４４を介して出し入れするに際して、該電磁石１８が
干渉しない様にするためである。なお、該処理施設にお
いては、開口部４４に対応する隔壁１４中の位置に、開
閉手段を設けた開口が設けられている。In the side surface portion 30s of the outer shell member 30, an opening 44 is formed above the horizontal direction control electromagnet 18 and the corresponding plate member 30s made of a magnetic material. The opening 44 functions as an entrance / exit when a wafer is taken in and out, for example, in a wafer processing facility. The position in the vertical direction V corresponds to the wafer W placed on the table 40. The horizontal control electromagnets 18 are provided at relatively lower positions on the side portions of the track 16 so that the electromagnets 18 do not interfere when the wafer W is taken in and out through the opening 44. This is because. In the processing facility, an opening provided with an opening / closing means is provided at a position in the partition wall 14 corresponding to the opening 44.
【００２５】図１の実施例の作動に際しては、先ず図示
しない制御ユニットにより垂直制御用電磁石２０…が励
磁され、磁性材料製板状体３６に磁気的吸引力を作用せ
しめて搬送台１２を浮上させる。そして、搬送台１２の
浮上量はセンサ２３により検出されて、該センサの出力
に対応して垂直制御用電磁石２０…或いは２１…に供給
される電流が制御される。これにより、搬送台１２の浮
上量が適正な範囲に治まるのである。リニアモータ２４
により搬送台１２が走行している際にも同様である。In the operation of the embodiment shown in FIG. 1, first, the vertical control electromagnets 20 ... Are excited by a control unit (not shown), a magnetic attraction force is applied to the magnetic material plate-like body 36, and the carrier 12 is levitated. Let The flying height of the carrier 12 is detected by the sensor 23, and the current supplied to the vertical control electromagnets 20 ... Or 21 ... Is controlled in accordance with the output of the sensor. As a result, the flying height of the carrier 12 is settled within an appropriate range. Linear motor 24
The same applies when the carrier 12 is running.
【００２６】一方、搬送台１２の静止浮上状態或いは走
行状態において、搬送台１２が水平方向Ｈに変位すれば
センサ２２がそれを検出し、搬送台１２を中心位置に保
持するべく水平方向制御用電磁石１８…を励磁するので
ある。これにより、搬送台１２が水平方向に揺動するこ
とが完全に防止される。On the other hand, when the carrier table 12 is in a stationary floating state or in a traveling state, if the carrier table 12 is displaced in the horizontal direction H, the sensor 22 detects it, and the horizontal direction control is performed to hold the carrier table 12 at the center position. The electromagnets 18 are excited. This completely prevents the carrier 12 from swinging in the horizontal direction.
【００２７】そして、リニアモータ２４により搬送台１
２を走行方向Ｍ（図２参照、図１では紙面に垂直な方
向）に走行移動せしめる。半導体処理施設（図示せず）
に到着したら、前述した隔壁１４の図示しない開閉手段
及び開口部４４を介して、ロボットハンド等によりウエ
ハＷを出し入れする。Then, the carriage 1 is driven by the linear motor 24.
2 is moved in the traveling direction M (see FIG. 2, a direction perpendicular to the paper surface in FIG. 1). Semiconductor processing facility (not shown)
When the wafer W arrives at, the wafer W is loaded / unloaded by a robot hand or the like through the opening / closing means (not shown) of the partition wall 14 and the opening 44.
【００２８】作業完了後、隔壁１４を清掃するに際して
は、その横断形状が比較的単純な四角形となっているの
で、清掃作業が極めて容易に行われる。After the work is completed, when the partition wall 14 is cleaned, the cross-sectional shape thereof is a relatively simple quadrangle, so that the cleaning work is extremely easy.
【００２９】前述した様に、図１の実施例においては隔
壁１４は図２で示すような通路を形成し、該通路内を搬
送台１２が走行移動している。これに対して、隔壁で通
路を形成せずに、図３で示す様な直方体の隔壁６０で搬
送台１２（図３ではウエハＷのみを示す）を完全に包囲
し、走行Ｍについても該隔壁６０により搬送台１２を外
部雰囲気から遮断する様に構成することも可能である。As described above, in the embodiment shown in FIG. 1, the partition wall 14 forms a passage as shown in FIG. 2, and the carrier 12 moves in the passage. On the other hand, without forming a passage by the partition wall, the transporting table 12 (only the wafer W is shown in FIG. 3) is completely surrounded by the rectangular partition wall 60 as shown in FIG. It is also possible to configure the carrier 12 to be shielded from the external atmosphere by 60.
【００３０】図３では明確に図示されていないが、前記
開口部４４に対応する位置には、隔壁６０に開閉自在な
仕切手段が形成される。また、搬送台１２の外殻部材３
０の一部は隔壁６０と固着して、該隔壁と搬送台とが一
緒に浮上走行する様になっている。Although not clearly shown in FIG. 3, a partition means that is openable and closable is formed on the partition wall 60 at a position corresponding to the opening 44. In addition, the outer shell member 3 of the carrier 12.
A part of 0 is fixed to the partition wall 60 so that the partition wall and the carrier stand together to float.
【００３１】図２と図３とを比較すれば明らかなよう
に、直方体の隔壁６０を用いれば軌道１６の内側に更に
通路を設ける必要が無くなり、好都合である。As is clear from a comparison between FIG. 2 and FIG. 3, the use of the rectangular parallelepiped partition wall 60 is convenient because it is not necessary to further provide a passage inside the track 16.
【００３２】[0032]
【発明の効果】本発明の効果を以下に列挙する。The effects of the present invention are listed below.
【００３３】（１） 発塵源となる機械的手段を使用す
ることが無いので、半導体製造設備における搬送手段と
して用いることが出来る。(1) Since there is no need to use a mechanical means as a dust source, it can be used as a carrying means in a semiconductor manufacturing facility.
【００３４】（２） 搬送台が隔壁により包囲されてい
るので、該隔壁が搬送台を電磁石から隔離して、電磁石
を構成するコイルの高分子材料からの粒子を遮断するこ
とが出来る。(2) Since the carrier is surrounded by the partition walls, the partition walls can isolate the carrier from the electromagnets and block particles from the polymer material of the coil forming the electromagnets.
【００３５】（３） 隔壁は軌道内に収容される様な配
置となるので、その分だけスペースの節約が達成され
る。(3) Since the partition wall is arranged so as to be accommodated in the track, the space can be saved accordingly.
【００３６】（４） シンプルな形状をとることがで
き、例えば四角形の形状をとることができる。(4) It can have a simple shape, for example, a quadrangular shape.
【００３７】（５） 隔壁が搬送台及び搬送対象物を完
全に包囲する様に構成すれば、隔壁で通路を形成する必
要が無くなり、その分だけ設備導入コストを低く抑えら
れ、設備配置が容易になる。(5) If the partition wall is constructed so as to completely surround the carrier and the object to be transported, it is not necessary to form a passage with the partition wall, and the facility introduction cost can be reduced accordingly, and the facility can be easily arranged. become.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】本発明の１実施例を示す断面正面図。FIG. 1 is a sectional front view showing an embodiment of the present invention.
【図２】図１の実施例で用いられる隔壁を示す部分斜視
図。FIG. 2 is a partial perspective view showing a partition wall used in the embodiment of FIG.
【図３】本発明のその他の実施例で用いられる隔壁を示
す部分斜視図。FIG. 3 is a partial perspective view showing a partition used in another embodiment of the present invention.
【符号の説明】 １０・・・磁気浮上搬送装置 １２・・・搬送台 １４、６０・・・隔壁 １６・・・軌道 １８・・・水平方向制御用電磁石 ２０、２１・・・垂直方向制御用電磁石 ２２、２３・・・センサ ２４・・・リニア ３０・・・外殻部材 ３２・・・載置部材 ３４、３６、３８・・・磁性材料製板状部材[Explanation of symbols] 10 ... Magnetic levitation transport device 12 ... Transfer stand 14, 60 ... Partition wall 16 ... orbit 18 ... Electromagnet for horizontal control 20, 21 ... Vertical control electromagnet 22, 23 ... Sensor 24: Linear 30 ... Outer shell member 32 ... Mounting member 34, 36, 38 ... Plate-shaped member made of magnetic material
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 江口 真人 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目２番１号 株 式会社荏原総合研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (72) Inventor Masato Eguchi 4-2-1 Honfujisawa, Fujisawa City, Kanagawa Prefecture Inside the EBARA Research Institute
Claims (2)
台を走行移動せしめる走行手段と、搬送台を浮上せしめ
る複数の垂直方向制御用の電磁石と、搬送台の水平方向
位置を制御して軌道に対する非接触状態を保持する複数
の水平方向制御用の電磁石とを含み、前記隔壁の断面形
状は四角形であり、前記搬送台はその外周部を構成する
外殻部材と、搬送対象物を載置する載置部材と、前記電
磁石の磁気的吸引力が作用する磁性材料製板状部材とを
含んでおり、前記外殻部材の側面部は、水平方向制御用
の電磁石及びそれに対抗する前記磁性材料製板状部材よ
りも上方の位置に開口部が形成されていることを特徴と
する磁気浮上搬送装置。1. A carrier table surrounded by a partition wall, a traveling means for moving the carrier table, a plurality of electromagnets for vertically controlling the carrier table, and a horizontal position of the carrier table. The partition includes a plurality of horizontal control electromagnets that maintain a non-contact state with respect to the track, and the partition has a rectangular cross-sectional shape, and the transfer stand has an outer shell member that forms an outer peripheral portion thereof and an object to be transferred. The mounting member to be placed and a plate-shaped member made of a magnetic material on which the magnetic attraction force of the electromagnet acts, and the side surface portion of the outer shell member includes an electromagnet for horizontal direction control and the magnetic field opposed thereto. A magnetic levitation transport device, wherein an opening is formed at a position above the material plate-shaped member.
台はその走行方向の両端部についても該隔壁により包囲
され、該隔壁の内側面の一部は前記外殻部材に固定さ
れ、外殻部材の側面部に形成された開口部に対応する隔
壁の箇所には開口部及びそれを開閉する開閉部材が設け
られている請求項１に記載の磁気浮上搬送装置。2. The partition wall has a rectangular parallelepiped shape, the transport table is surrounded by the partition wall at both ends in the traveling direction, and a part of the inner side surface of the partition wall is fixed to the outer shell member. The magnetic levitation transport device according to claim 1, wherein an opening and an opening / closing member that opens and closes the opening are provided at a location of the partition wall corresponding to the opening formed on the side surface of the member.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15458791A JPH054718A (en) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | Magnetic levitation carrier device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15458791A JPH054718A (en) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | Magnetic levitation carrier device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH054718A true JPH054718A (en) | 1993-01-14 |
Family
ID=15587459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15458791A Pending JPH054718A (en) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | Magnetic levitation carrier device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH054718A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE41353E1 (en) | 1999-03-03 | 2010-05-25 | Panduit Corp. | Cable manager for network rack |
| JP2022508019A (en) * | 2018-09-19 | 2022-01-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | Non-contact methods for holding and moving carriers in magnetic levitation systems, magnetic levitation system bases, vacuum systems, and vacuum chambers. |
-
1991
- 1991-06-26 JP JP15458791A patent/JPH054718A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE41353E1 (en) | 1999-03-03 | 2010-05-25 | Panduit Corp. | Cable manager for network rack |
| JP2022508019A (en) * | 2018-09-19 | 2022-01-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | Non-contact methods for holding and moving carriers in magnetic levitation systems, magnetic levitation system bases, vacuum systems, and vacuum chambers. |
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