JPH0546292Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0546292Y2 JPH0546292Y2 JP1988038337U JP3833788U JPH0546292Y2 JP H0546292 Y2 JPH0546292 Y2 JP H0546292Y2 JP 1988038337 U JP1988038337 U JP 1988038337U JP 3833788 U JP3833788 U JP 3833788U JP H0546292 Y2 JPH0546292 Y2 JP H0546292Y2
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- JP
- Japan
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- carrier gas
- supply device
- gas supply
- metal vapor
- tube
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/031—Metal vapour lasers, e.g. metal vapour generation
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、金属蒸気レーザ装置に関する。
金属蒸気レーザは、レーザ管内に金属とキヤリ
アガスとを封入し、当該金属の蒸気を利用してレ
ーザ発振を起こさせるものである。
アガスとを封入し、当該金属の蒸気を利用してレ
ーザ発振を起こさせるものである。
現在において、実用化されている金属蒸気レー
ザとしては、放電の陽光柱部分を用いてレーザ発
振させるいわゆる陽光柱型があり、具体的には、
キヤリアガスとしてヘリウムを、金属としてカド
ミウムを用いてなる陽光柱型のHe−Cdレーザが
知られている。
ザとしては、放電の陽光柱部分を用いてレーザ発
振させるいわゆる陽光柱型があり、具体的には、
キヤリアガスとしてヘリウムを、金属としてカド
ミウムを用いてなる陽光柱型のHe−Cdレーザが
知られている。
このHe−Cdレーザは、例えば波長325nmの紫
外線を連続発振することができ、また波長442nm
の短波長波の可視光線も連続発振することができ
ることから、近年需要が増加し、例えばレーザプ
リンター、ホログラフイー、フオトプロツター、
カラースキヤナーなどの光源として種々の分野で
利用されている。
外線を連続発振することができ、また波長442nm
の短波長波の可視光線も連続発振することができ
ることから、近年需要が増加し、例えばレーザプ
リンター、ホログラフイー、フオトプロツター、
カラースキヤナーなどの光源として種々の分野で
利用されている。
しかして、He−Cdレーザにおいては、カドミ
ウム蒸気が管内壁等に凝結する際にヘリウムガス
がトラツプされて当該ヘリウムガスの圧力が低下
するためレーザ出力が低下し、使用寿命が短くな
る原因となる。
ウム蒸気が管内壁等に凝結する際にヘリウムガス
がトラツプされて当該ヘリウムガスの圧力が低下
するためレーザ出力が低下し、使用寿命が短くな
る原因となる。
これを防止するため、従来は、ヘリウムガス供
給器をHe−Cdレーザ管に接続して適宜ヘリウム
ガスをHe−Cdレーザ管内に補充するようにして
いた。
給器をHe−Cdレーザ管に接続して適宜ヘリウム
ガスをHe−Cdレーザ管内に補充するようにして
いた。
斯かるヘリウムガス供給器の一例においては、
実質的にヘリウムガス不透過性の外管と、この外
管の内部をリザーバー部とタンク部とに区画する
ヘリウムガス透過性の内管と、この内管に対向す
る外管部分の外周に絶縁材を介して巻回されたヒ
ータとにより構成され、このキヤリアガス供給器
にはヘリウムガスの圧力を検出する圧力検出器が
接続され、当該圧力検出器によりヘリウムガスの
圧力の低下を検出したときには当該ヒータにより
内管の温度を調整することによりヘリウムガス透
過性を制御するようにしている。
実質的にヘリウムガス不透過性の外管と、この外
管の内部をリザーバー部とタンク部とに区画する
ヘリウムガス透過性の内管と、この内管に対向す
る外管部分の外周に絶縁材を介して巻回されたヒ
ータとにより構成され、このキヤリアガス供給器
にはヘリウムガスの圧力を検出する圧力検出器が
接続され、当該圧力検出器によりヘリウムガスの
圧力の低下を検出したときには当該ヒータにより
内管の温度を調整することによりヘリウムガス透
過性を制御するようにしている。
圧力検出器としては、従来、電気的な検出手段
を採用したピラニセンサが用いられている。
を採用したピラニセンサが用いられている。
しかし、ピラニセンサは、その検出部がヘリウ
ムガス供給器内に連通した状態で接続されるた
め、He−Cdレーザ管のアノードと当該検出部と
の間で放電が発生しやすく、そのためレーザが不
安定となる問題点があつた。
ムガス供給器内に連通した状態で接続されるた
め、He−Cdレーザ管のアノードと当該検出部と
の間で放電が発生しやすく、そのためレーザが不
安定となる問題点があつた。
本考案は以上の如き事情に基づいてなされたも
のであつて、その目的は、金属蒸気レーザ管の電
極と圧力検出器との間の放電を防止し、安定した
レーザを得ることができる金属蒸気レーザ装置を
提供することにある。
のであつて、その目的は、金属蒸気レーザ管の電
極と圧力検出器との間の放電を防止し、安定した
レーザを得ることができる金属蒸気レーザ装置を
提供することにある。
上記目的を達成するため、本考案は、金属蒸気
レーザ管と、この金属蒸気レーザ管内にキヤリア
ガスを補充するキヤリアガス供給器と、キヤリア
ガス圧力を電気的に検出する圧力検出器とを備え
てなる金属蒸気レーザ装置において、前記キヤリ
アガス供給器はその一端部に設けた連通孔が前記
金属蒸気レーザ管内の放電空間に連通するよう当
該金属蒸気レーザ管に連結され、かつ前記圧力検
出器はその検出部が前記キヤリアガス供給器内に
連通するよう当該キヤリアガス供給器の側壁に接
続され、前記キヤリアガス供給器の内部におい
て、その一端が当該キヤリアガス供給器の前記連
通孔を囲むよう当該キヤリアガス供給器の一端部
に接続され、その他端が当該キヤリアガス供給器
の他端部に向かい、かつ前記圧力検出器との接続
部を越えて伸びる放電防止用細管を設けたことを
特徴とする。
レーザ管と、この金属蒸気レーザ管内にキヤリア
ガスを補充するキヤリアガス供給器と、キヤリア
ガス圧力を電気的に検出する圧力検出器とを備え
てなる金属蒸気レーザ装置において、前記キヤリ
アガス供給器はその一端部に設けた連通孔が前記
金属蒸気レーザ管内の放電空間に連通するよう当
該金属蒸気レーザ管に連結され、かつ前記圧力検
出器はその検出部が前記キヤリアガス供給器内に
連通するよう当該キヤリアガス供給器の側壁に接
続され、前記キヤリアガス供給器の内部におい
て、その一端が当該キヤリアガス供給器の前記連
通孔を囲むよう当該キヤリアガス供給器の一端部
に接続され、その他端が当該キヤリアガス供給器
の他端部に向かい、かつ前記圧力検出器との接続
部を越えて伸びる放電防止用細管を設けたことを
特徴とする。
〔作用」
放電防止用細管を、キヤリアガス供給器の連通
孔と圧力検出器との接続部との位置関係を考慮し
て上記の如く特定の状態に配置したので、当該放
電防止用細管の作用により、金属蒸気レーザ管の
電極と圧力検出器の検出部との間の沿面距離が大
きくなり、その結果両者間の放電を十分に抑制す
ることができる。
孔と圧力検出器との接続部との位置関係を考慮し
て上記の如く特定の状態に配置したので、当該放
電防止用細管の作用により、金属蒸気レーザ管の
電極と圧力検出器の検出部との間の沿面距離が大
きくなり、その結果両者間の放電を十分に抑制す
ることができる。
以下、本考案の実施例を説明する。
第１図は本考案の一実施例を示す説明図であ
る。この例の金属蒸気レーザ管は内部共振器型で
かつ外部陰極型の構造のものである。同図におい
て、１０は例えばHe−Cdレーザを発振させるた
めの金属蒸気レーザ管、１１は金属溜、１２はア
ノード、１３はカソード、２０はキヤリアガス供
給器、３０は圧力検出器、４０は放電防止用細
管、５０は連結管である。
る。この例の金属蒸気レーザ管は内部共振器型で
かつ外部陰極型の構造のものである。同図におい
て、１０は例えばHe−Cdレーザを発振させるた
めの金属蒸気レーザ管、１１は金属溜、１２はア
ノード、１３はカソード、２０はキヤリアガス供
給器、３０は圧力検出器、４０は放電防止用細
管、５０は連結管である。
キヤリアガス供給器２０において、２１は実質
的にキヤリアガス不透過性の外管、２２は外管２
１の内部をリザーバー部２３とタンク部２４とに
区画するキヤリアガス透過性の内管、２５は内管
２２を加熱制御してキヤリアガスの透過を制御す
るヒータである。
的にキヤリアガス不透過性の外管、２２は外管２
１の内部をリザーバー部２３とタンク部２４とに
区画するキヤリアガス透過性の内管、２５は内管
２２を加熱制御してキヤリアガスの透過を制御す
るヒータである。
２６はキヤリアガス供給器２０の一端部２０Ａ
に設けた連通孔であり、この連通孔２６が連結管
５０を介して金属蒸気レーザ管１０の放電空間に
連通しているので、リザーバー部２３内のキヤリ
アガス圧力は金属蒸気レーザ管１０の放電空間の
キヤリアガス圧力と実質的に同一である。
に設けた連通孔であり、この連通孔２６が連結管
５０を介して金属蒸気レーザ管１０の放電空間に
連通しているので、リザーバー部２３内のキヤリ
アガス圧力は金属蒸気レーザ管１０の放電空間の
キヤリアガス圧力と実質的に同一である。
圧力検出器３０は、キヤリアガスの圧力を電気
的に検出する構造のものであり、例えばピラニセ
ンサ等よりなる。この圧力検出器３０は、その検
出部であるリード３１がキヤリアガス供給器２０
のリザーバー部２３内に連通する状態で当該キヤ
リアガス供給器２０の側壁２０Ｃに接続されてい
る。
的に検出する構造のものであり、例えばピラニセ
ンサ等よりなる。この圧力検出器３０は、その検
出部であるリード３１がキヤリアガス供給器２０
のリザーバー部２３内に連通する状態で当該キヤ
リアガス供給器２０の側壁２０Ｃに接続されてい
る。
放電防止用細管４０は、その一端４１がキヤリ
アガス供給器２０の一端部２０Ａの連通孔２６を
囲む状態で接続され、他端４２はキヤリアガス供
給器２０の他端部２０Ｂに向かつて伸び、かつ圧
力検出器３０との接続部３２を越えて伸びる状態
に配置されている。
アガス供給器２０の一端部２０Ａの連通孔２６を
囲む状態で接続され、他端４２はキヤリアガス供
給器２０の他端部２０Ｂに向かつて伸び、かつ圧
力検出器３０との接続部３２を越えて伸びる状態
に配置されている。
本実施例においては、キヤリアガスとしてヘリ
ウムガスを用いるので、内管２２の構成材料とし
ては例えば石英ガラス等を用いることができる。
特に石英ガラスはヘリウムガス透過性の温度依存
性に優れていてヘリウムガスの補充を迅速に達成
することができる。そして、タンク部２４内には
ヘリウムガスが通常100〜200Torr程度の圧力で
充填され、リザーバー部２３内のヘリウムガスの
圧力は、通常５〜6Torr程度の範囲内で一定に維
持される。外管２１の構成材料としては、例えば
硬質ガラス等を用いることができる。また、放電
防止用細管４０の構成材料としては、例えば硬質
ガラス等を用いることができる。
ウムガスを用いるので、内管２２の構成材料とし
ては例えば石英ガラス等を用いることができる。
特に石英ガラスはヘリウムガス透過性の温度依存
性に優れていてヘリウムガスの補充を迅速に達成
することができる。そして、タンク部２４内には
ヘリウムガスが通常100〜200Torr程度の圧力で
充填され、リザーバー部２３内のヘリウムガスの
圧力は、通常５〜6Torr程度の範囲内で一定に維
持される。外管２１の構成材料としては、例えば
硬質ガラス等を用いることができる。また、放電
防止用細管４０の構成材料としては、例えば硬質
ガラス等を用いることができる。
ヒーター２５は、例えばニクロム線等の抵抗線
よりなり、圧力検出器３０により検出されたリザ
ーバー部２３内のキヤリアガス圧力に基づいて駆
動され、当該リザーバー部２３内のキヤリアガス
の圧力が所期の一定値となるように制御される。
その結果リザーバー部２３内と連結管５０を介し
て連通する金属蒸気レーザ管１０内のキヤリアガ
スの圧力が一定に維持される。また、リザーバー
部２３はいわばバツフアとして機能するので、金
属蒸気レーザ管１０内のキヤリアガスの急激な圧
力の変化が防止され、レーザの発振に悪影響を与
えることが回避される。
よりなり、圧力検出器３０により検出されたリザ
ーバー部２３内のキヤリアガス圧力に基づいて駆
動され、当該リザーバー部２３内のキヤリアガス
の圧力が所期の一定値となるように制御される。
その結果リザーバー部２３内と連結管５０を介し
て連通する金属蒸気レーザ管１０内のキヤリアガ
スの圧力が一定に維持される。また、リザーバー
部２３はいわばバツフアとして機能するので、金
属蒸気レーザ管１０内のキヤリアガスの急激な圧
力の変化が防止され、レーザの発振に悪影響を与
えることが回避される。
上記実施例の装置によれば、キヤリアガス供給
器２０の内部において、放電防止用細管４０の一
端４１がキヤリアガス供給器２０の一端部２０Ａ
の連通孔２６を囲む状態で接続され、放電防止用
細管４０の他端４２がキヤリアガス供給器２０の
他端部２０Ｂに向かつて伸び、かつ圧力検出器３
０との接続部３２を越えて伸びる状態に配置され
ているので、金属蒸気レーザ管１０のアノード１
２と圧力検出器３０の検出部であるリード３１と
の間の沿面距離を十分なものとすることができ、
その結果当該アノード１２とリード３１との間で
の放電の発生を抑制することができ、安定したレ
ーザを得ることができる。
器２０の内部において、放電防止用細管４０の一
端４１がキヤリアガス供給器２０の一端部２０Ａ
の連通孔２６を囲む状態で接続され、放電防止用
細管４０の他端４２がキヤリアガス供給器２０の
他端部２０Ｂに向かつて伸び、かつ圧力検出器３
０との接続部３２を越えて伸びる状態に配置され
ているので、金属蒸気レーザ管１０のアノード１
２と圧力検出器３０の検出部であるリード３１と
の間の沿面距離を十分なものとすることができ、
その結果当該アノード１２とリード３１との間で
の放電の発生を抑制することができ、安定したレ
ーザを得ることができる。
以上本考案を一実施例に基づいて説明したが、
本考案においては、金属蒸気レーザ管の具体的構
成は、上記実施例に限定されず、種々の変形を施
すことができる。
本考案においては、金属蒸気レーザ管の具体的構
成は、上記実施例に限定されず、種々の変形を施
すことができる。
また、金属としてもカドミウムに限定されずそ
の他の金属を用いてもよく、さらに金属と組合せ
るキヤリアガスとしてもヘリウムガスに限定され
ずその他のガスを用いてもよい。
の他の金属を用いてもよく、さらに金属と組合せ
るキヤリアガスとしてもヘリウムガスに限定され
ずその他のガスを用いてもよい。
以上説明したように、本考案によれば、キヤリ
アガス供給器の内部に特定の状態に配置された放
電防止用細管を有するので、当該放電防止用細管
の作用により、金属蒸気レーザ管の電極と圧力検
出器の検出部との間の沿面距離が大きくなり、そ
の結果両者間の放電を十分に抑制することがで
き、安定したレーザを得ることができる。
アガス供給器の内部に特定の状態に配置された放
電防止用細管を有するので、当該放電防止用細管
の作用により、金属蒸気レーザ管の電極と圧力検
出器の検出部との間の沿面距離が大きくなり、そ
の結果両者間の放電を十分に抑制することがで
き、安定したレーザを得ることができる。
第１図は本考案の一実施例を示す説明図であ
る。 １０……金属蒸気レーザ管、１１……金属溜、
１２……アノード、１３……カソード、２０……
キヤリアガス供給器、２１……外管、２２……内
管、２３……リザーバー部、２４……タンク部、
２５……ヒータ、２６……連通孔、３０……圧力
検出器、３１……検出部であるリード、３２……
接続部、４０……放電防止用細管、４１……一
端、４２……他端、５０……連結管。
る。 １０……金属蒸気レーザ管、１１……金属溜、
１２……アノード、１３……カソード、２０……
キヤリアガス供給器、２１……外管、２２……内
管、２３……リザーバー部、２４……タンク部、
２５……ヒータ、２６……連通孔、３０……圧力
検出器、３１……検出部であるリード、３２……
接続部、４０……放電防止用細管、４１……一
端、４２……他端、５０……連結管。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 金属蒸気レーザ管と、この金属蒸気レーザ管内
にキヤリアガスを補充するキヤリアガス供給器
と、キヤリアガス圧力を電気的に検出する圧力検
出器とを備えてなる金属蒸気レーザ装置におい
て、 前記キヤリアガス供給器はその一端部に設けた
連通孔が前記金属蒸気レーザ管内の放電空間に連
通するよう当該金属蒸気レーザ管に連結され、か
つ前記圧力検出器はその検出部が前記キヤリアガ
ス供給器内に連通するよう当該キヤリアガス供給
器の側壁に接続され、 前記キヤリアガス供給器の内部において、その
一端が当該キヤリアガス供給器の前記連通孔を囲
むよう当該キヤリアガス供給器の一端部に接続さ
れ、その他端が当該キヤリアガス供給器の他端部
に向かい、かつ前記圧力検出器との接続部を越え
て伸びる放電防止用細管を設けたことを特徴とす
る金属蒸気レーザ装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988038337U JPH0546292Y2 (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 | |
| US07/250,512 US4866725A (en) | 1988-03-25 | 1988-09-29 | Metal vapor laser device |
| GB8825285A GB2217100B (en) | 1988-03-25 | 1988-10-28 | Metal vapour laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988038337U JPH0546292Y2 (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01143159U JPH01143159U (ja) | 1989-10-02 |
| JPH0546292Y2 true JPH0546292Y2 (ja) | 1993-12-03 |
Family
ID=12522468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988038337U Expired - Lifetime JPH0546292Y2 (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4866725A (ja) |
| JP (1) | JPH0546292Y2 (ja) |
| GB (1) | GB2217100B (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5283800A (en) * | 1991-03-27 | 1994-02-01 | Kabushiki Kaishatoshiba | Metal vapor laser apparatus and method |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4232274A (en) * | 1978-05-30 | 1980-11-04 | Kimmon Electric Co., Ltd. | Metal vapor laser system |
-
1988
- 1988-03-25 JP JP1988038337U patent/JPH0546292Y2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1988-09-29 US US07/250,512 patent/US4866725A/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-10-28 GB GB8825285A patent/GB2217100B/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2217100A (en) | 1989-10-18 |
| GB2217100B (en) | 1991-10-16 |
| US4866725A (en) | 1989-09-12 |
| GB8825285D0 (en) | 1988-11-30 |
| JPH01143159U (ja) | 1989-10-02 |
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