JPH054377A - El-light printer head - Google Patents
El-light printer headInfo
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- JPH054377A JPH054377A JP3180464A JP18046491A JPH054377A JP H054377 A JPH054377 A JP H054377A JP 3180464 A JP3180464 A JP 3180464A JP 18046491 A JP18046491 A JP 18046491A JP H054377 A JPH054377 A JP H054377A
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Landscapes
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- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、電圧を印加することに
よってエレクトロルミネッセンス（ＥＬ）を呈するＥＬ
素子を用いたＥＬ光プリンターヘッドに係り、特に、Ｅ
Ｌ素子の発光層の積層面と平行方向に射出される光を利
用するＥＬ光プリンターヘッドに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an EL device that exhibits electroluminescence (EL) by applying a voltage.
EL optical printer head using element, especially E
The present invention relates to an EL optical printer head that uses light emitted in a direction parallel to a laminated surface of a light emitting layer of an L element.
【０００２】[0002]
【従来の技術】感光体に光を照射することによって潜像
等を形成する光プリンターとして、発光部にレーザー光
を利用したレーザープリンターや、ＬＥＤを１列に配置
したＬＥＤアレイを用いたＬＥＤプリンターや、液晶シ
ャッターを用いて液晶背面の光の透過・不透過を利用し
た液晶プリンターや、ＥＬ発光素子を利用したＥＬ光プ
リンター等がある。上記の光プリンターのうちで、ＥＬ
光プリンターはＡ４紙幅Ｂ４紙幅等の長尺のデバイスを
簡単に作製することができるとともに、薄膜トランジス
タによる駆動回路を同じ基板内に組み込むことによって
駆動用ＩＣを簡単化することができるという利点を有し
ている。2. Description of the Related Art As an optical printer for forming a latent image or the like by irradiating a photosensitive member with light, a laser printer using laser light in a light emitting portion or an LED printer using an LED array in which LEDs are arranged in one row There are also liquid crystal printers that utilize the transmission / non-transmission of light on the back surface of the liquid crystal using a liquid crystal shutter, EL optical printers that use EL light emitting elements, and the like. Of the above optical printers, EL
The optical printer has an advantage that a long device such as A4 paper width and B4 paper width can be easily manufactured, and the driving IC can be simplified by incorporating a driving circuit using thin film transistors in the same substrate. ing.
【０００３】図４は、従来のＥＬ光プリンターに用いら
れるＥＬ光プリンターヘッドの構造を示す図であり、
（ａ）図は概略斜視図、（ｂ）図は平面構成図である。
基板１０１は透明ガラス等が用いられ、その上に下部電
極１０２、第１誘電体層１０３、発光層１０４、第２誘
電体層１０６、上部電極１０７が順次積層されている。
下部電極１０２は、基板１０１上において複数のＥＬ素
子が形成される範囲に連続して着膜されており、共通接
続される。一方上部電極１０７は複数の帯状に分割され
ており、それぞれが駆動用ＩＣ９に接続され、画像信号
に基づいて選択的に電圧が印加されるようになってい
る。FIG. 4 is a diagram showing the structure of an EL optical printer head used in a conventional EL optical printer.
FIG. 3A is a schematic perspective view, and FIG. 1B is a plan configuration diagram.
A transparent glass or the like is used for the substrate 101, and a lower electrode 102, a first dielectric layer 103, a light emitting layer 104, a second dielectric layer 106, and an upper electrode 107 are sequentially laminated thereon.
The lower electrode 102 is continuously deposited on the substrate 101 in a range where a plurality of EL elements are formed, and is commonly connected. On the other hand, the upper electrode 107 is divided into a plurality of strips, each of which is connected to the driving IC 9 so that a voltage is selectively applied based on an image signal.
【０００４】これらの両電極間で電圧が印加されると、
電圧が印加された部分の発光層と第１誘電体層、又は第
２誘電体層との間の界面準位から発光層中に電子が飛び
出し、高電界の下で加速され、ホットエレクトロン化
し、発光層中に添加された発光中心に衝突する。これに
よって発光中心が励起され、基底状態に戻る時に発光す
る。このような発光が分割された上部電極１０７の積層
されている部分ごとに制御され、この発光層を光源とす
る光は、基板１０１上の積層面とはほぼ垂直方向となる
ＥＬ素子の端面１１１から射出される。When a voltage is applied between these two electrodes,
Electrons are ejected from the interface state between the part of the light emitting layer to which the voltage is applied and the first dielectric layer or the second dielectric layer into the light emitting layer and are accelerated under a high electric field to become hot electrons, It collides with the emission center added in the light emitting layer. This excites the luminescence center and emits light when returning to the ground state. Such light emission is controlled for each laminated portion of the divided upper electrode 107, and the light having the light emitting layer as a light source is in the direction substantially perpendicular to the laminated surface on the substrate 101, and the end surface 111 of the EL element. Is ejected from.
【０００５】このようなＥＬ素子を用いたＥＬ光プリン
ターヘッドは、感光体８に近接し、光を放出する端面１
１１が感光体８の面と対向するようにして設置される。
例えばこの感光体８を帯電電位の差による静電潜像を保
持できるものとすると、予め帯電された感光体８を駆動
するとともに各ＥＬ素子の発光を制御することによっ
て、ＥＬ素子から射出される光が、これらのＥＬ素子に
対峙する位置の感光体面に照射され、電荷がコントロー
ルされて静電潜像が形成される。An EL optical printer head using such an EL element is close to the photoconductor 8 and emits light.
11 is installed so as to face the surface of the photoconductor 8.
For example, assuming that the photoconductor 8 can hold an electrostatic latent image due to a difference in charging potential, the photoconductor 8 pre-charged is driven and emitted from each EL element by controlling light emission of each EL element. Light is applied to the surface of the photoconductor at a position facing these EL elements, the charge is controlled, and an electrostatic latent image is formed.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構成のＥＬ光プリンターヘッドは次のような問題
点を有している。感光体に照射される光は、ＥＬ素子の
基板１０１上の積層面とはほぼ垂直方向であるＥＬ素子
の端面１１１から取り出される。図４（ｂ）に示す矢印
は発光層から放出される光を示すものであり、各ＥＬ素
子の端面から射出された光は図中における矢印Ａに示す
ように扇状に拡散することになる。However, the EL optical printer head having the above-mentioned structure has the following problems. The light with which the photoconductor is irradiated is extracted from the end surface 111 of the EL element, which is substantially perpendicular to the surface of the EL element on the substrate 101. The arrow shown in FIG. 4B indicates the light emitted from the light emitting layer, and the light emitted from the end surface of each EL element diffuses in a fan shape as shown by the arrow A in the figure.
【０００７】また、発光層は複数のＥＬ素子について連
続して形成されており、光が取り出される端面より内側
の部分の発光によって放出される光が図中の矢印Ｂで示
すように隣接するＥＬ素子の発光層部分に入射し、この
隣接するＥＬ素子が非発光状態であっても感光体のこの
ＥＬ素子と対峙する部分をも照射することになる。Further, the light emitting layer is formed continuously for a plurality of EL elements, and the light emitted by the light emission of the portion inside the end face from which the light is extracted is adjacent to the EL element as indicated by arrow B in the figure. Even when the adjacent EL element is in a non-light-emission state, it also irradiates the portion of the photoconductor facing the EL element.
【０００８】このため、ＥＬ光プリンターヘッドに対向
して設置された感光体の各位置は、本来なら対峙する単
一のＥＬ素子からの光のみの照射を受けるのが望ましい
にもかかわらず、隣接する複数のＥＬ素子の影響を受け
るといういわゆるクロストークが生じることになる。こ
のような状態では、各ＥＬ素子の発光又は非発光を制御
して、対向する感光体上に光が照射された部分と光が照
射されない部分とによる像を形成しようとしても、隣接
するＥＬ素子の影響を受けて、高品質の像を形成するこ
とができないという事態が生じる。Therefore, although it is desirable that each position of the photoconductor installed facing the EL optical printer head should be irradiated with light only from a single EL element facing each other, it is adjacent to each other. The so-called crosstalk, which is influenced by the plurality of EL elements that operate, occurs. In such a state, even if an attempt is made to form an image between a portion irradiated with light and a portion not irradiated with light on the opposing photoconductor by controlling light emission or non-light emission of each EL element, the adjacent EL elements Under the influence of, the situation occurs in which a high quality image cannot be formed.
【０００９】本発明は、上記の問題点に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、各ＥＬ素子の発光層の発光領
域から放出する光の拡散を抑えることにより、隣接する
素子間での光のクロストークによる影響を解消し、これ
により形成される画像の品質を向上させることができる
ＥＬ光プリンターヘッドを提供することである。The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to suppress diffusion of light emitted from the light emitting region of the light emitting layer of each EL element so that adjacent elements can be connected to each other. An object of the present invention is to provide an EL optical printer head capable of eliminating the influence of light crosstalk and improving the quality of an image formed thereby.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、請求項１に記載の発明は、基板上に順次積層され
た下部電極と第１誘電体層と発光層と第２誘電体層と上
部電極とからなり、独立して発光が制御される複数の２
重絶縁構造ＥＬ素子を一列に配列し、それぞれのＥＬ素
子の発光層から、これらの発光層の積層面と平行に射出
される光を利用するＥＬ光プリンターヘッドにおいて、
前記複数のＥＬ素子の隣合う発光層と発光層との間
に、光非透過性材料からなり、光のクロストークを抑え
る光分離層を有するものとする。In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 provides a lower electrode, a first dielectric layer, a light emitting layer and a second dielectric layer, which are sequentially laminated on a substrate. A plurality of layers 2 each of which is composed of a layer and an upper electrode and whose emission is independently controlled
In an EL optical printer head that uses light emitted from the light emitting layers of the respective EL elements arranged in a row and emitted in parallel with the stacking surface of these light emitting layers,
A light separating layer made of a light non-transmissive material for suppressing light crosstalk is provided between the light emitting layers adjacent to each other of the plurality of EL elements.
【００１１】請求項２に記載の発明は、基板上に順次積
層された、下部電極と第１誘電体層と発光層と第２誘電
体層と上部電極とからなり、独立して発光が制御される
複数の２重絶縁構造ＥＬ素子を一列に配列し、それぞれ
のＥＬ素子の発光層から、これらの発光層の積層面と平
行に射出される光を利用するＥＬ光プリンターヘッドに
おいて、 前記複数のＥＬ素子の発光層の発光領域と、
前記発光層からの光が射出される側の前記基板の縁部と
の間に形成され、隣接するＥＬ素子との光のクロストー
クを防止する光分離層を備えた光導波路を有するものと
する。According to a second aspect of the invention, the lower electrode, the first dielectric layer, the light emitting layer, the second dielectric layer, and the upper electrode are sequentially laminated on the substrate, and the light emission is controlled independently. In the EL optical printer head, a plurality of double insulating structure EL elements are arranged in a line, and the light emitted from the light emitting layers of each EL element is emitted in parallel with the stacking surface of these light emitting layers. The light emitting region of the light emitting layer of the EL element,
An optical waveguide having an optical separation layer formed between the light emitting layer and the edge of the substrate on the side where the light is emitted and for preventing light crosstalk with an adjacent EL element. .
【００１２】請求項１に記載のＥＬ光プリンターヘッド
における光分離層は、基板上に形成された発光層を複数
のＥＬ素子ごとに分離するように設けてもよいし、隣接
するＥＬ素子の発光層と発光層との間の一部に設けても
よい。また、上記光分離層は、光の拡散を防止するため
に積層されるものであるため、光の反射率の低い材料を
用いるのが好ましい。The light separation layer in the EL optical printer head according to claim 1 may be provided so as to separate the light emitting layer formed on the substrate into a plurality of EL elements, or the light emission of the adjacent EL elements. It may be provided in a part between the layer and the light emitting layer. Further, since the light separation layer is laminated in order to prevent light diffusion, it is preferable to use a material having a low light reflectance.
【００１３】さらに、請求項１に記載のＥＬ光プリンタ
ーヘッドにおいて、前記複数のＥＬ素子が、前記発光層
からの光が射出される側の前記基板の縁部に沿った位置
に、前記下部電極と前記上部電極との少なくとも一方が
積層されていない部分を有し、この部分の発光層が、積
層面内における両側に前記光分離層を有する光導波路を
形成しているものとするのが望ましい。Further, in the EL optical printer head according to claim 1, the plurality of EL elements are provided with the lower electrode at a position along an edge of the substrate on a side where light from the light emitting layer is emitted. It is preferable that at least one of the upper electrode and the upper electrode has a portion which is not laminated, and the light emitting layer in this portion forms an optical waveguide having the light separating layer on both sides in the lamination plane. .
【００１４】この光導波路を有するＥＬ光プリンターヘ
ッドの、下部電極と上部電極との少なくとも一方が積層
されていない部分は、発光層は形成されているが、上部
電極と下部電極とが発光層を介して対向していないため
に発光を生じない部分であり、上部電極と下部電極との
どちらか一方又は双方を、光が射出される側の基板縁部
まで設けず、形成範囲を基板面の中央部によった所まで
に留めることによって形成されるものである。In a portion of the EL optical printer head having this optical waveguide where at least one of the lower electrode and the upper electrode is not laminated, the light emitting layer is formed, but the upper electrode and the lower electrode form the light emitting layer. It is a portion that does not emit light because they do not face each other, and either or both of the upper electrode and the lower electrode are not provided up to the substrate edge portion on the side where light is emitted, and the formation range is set on the substrate surface. It is formed by stopping at a position depending on the central portion.
【００１５】請求項２に記載のＥＬ光プリンターヘッド
において、発光領域と光が射出される側の基板の縁部と
の間に設けられる光導波路は、発光領域から連続して形
成された発光層でもよいし、第１誘電体層上に積層さ
れ、発光層と接する他の透明材料からなる層であっても
よい。In the EL optical printer head according to the present invention, the optical waveguide provided between the light emitting region and the edge of the substrate on the light emitting side is a light emitting layer formed continuously from the light emitting region. Alternatively, it may be a layer made of another transparent material that is laminated on the first dielectric layer and is in contact with the light emitting layer.
【００１６】[0016]
【作用】請求項１に記載したＥＬ光プリンターヘッドで
は、隣接するＥＬ素子の発光層と発光層との間に光分離
層を有しているので発光状態の発光層からの光が非発光
状態である隣接するＥＬ素子の発光層中に射出されるの
を防止することができ、この隣接する非発光状態の発光
層の端面から射出された光が感光体面を照射するのが防
止される。In the EL optical printer head according to the present invention, since the light separating layer is provided between the light emitting layer and the light emitting layer of the adjacent EL elements, the light from the light emitting layer in the light emitting state is in the non-light emitting state. It is possible to prevent the light from being emitted into the light emitting layer of the adjacent EL element, and the light emitted from the end face of the adjacent light emitting layer in the non-light emitting state is prevented from irradiating the photoconductor surface.
【００１７】また、隣接するＥＬ素子の発光層と発光層
との間に光分離層を有するとともに、基板の光が射出さ
れる側の縁部に沿った部分に上部電極と下部電極との少
なくとも一方が積層されておらず、発光を生じない領域
が形成されており、この部分が両側に光分離層を有する
光導波路となっているＥＬ光プリンターヘッドでは、光
が射出される端面から光が扇状に広がるのが防止され
る。すなわち、光導波路となる部分で光分離層にあたっ
た光の多くが吸収され、ＥＬ発光素子の端面から射出さ
れる光の大部分が発光領域から直接端面に向かって伝播
した光となり、扇状に広がることなく射出される。また
隣接するＥＬ素子の発光層との間の光分離層の存在によ
って発光層の発光領域から隣接するＥＬ素子の発光層に
光が放出されるのも防止される。Further, a light separating layer is provided between the light emitting layers of the adjacent EL elements, and at least the upper electrode and the lower electrode are provided at a portion along the edge of the substrate where the light is emitted. In an EL optical printer head in which one side is not laminated and a region that does not emit light is formed, and this part is an optical waveguide having a light separation layer on both sides, light is emitted from the end face from which light is emitted. It is prevented from spreading like a fan. That is, most of the light that hits the light separation layer is absorbed in the portion that becomes the optical waveguide, and most of the light emitted from the end surface of the EL light emitting element becomes light that propagates directly from the light emitting region toward the end surface, forming a fan shape. It is ejected without spreading. Further, the presence of the light separation layer between the light emitting layer of the adjacent EL element also prevents light from being emitted from the light emitting region of the light emitting layer to the light emitting layer of the adjacent EL element.
【００１８】請求項２に記載したＥＬ光プリンターヘッ
ドでは、ＥＬ素子の発光層の発光領域と基板の光が射出
される側の縁部との間に光導波路が形成されており、各
々のＥＬ素子に対応する光導波路が積層面内の両側に光
分離層を有しているので、請求項２のＥＬ光プリンター
ヘッドと同様、発光領域から光導波路の端面に向かって
伝播した光が扇状に拡がることなく射出され、発光した
ＥＬ素子に対峙する部分のみを照射する。これによって
光のクロストークが防止され感光体上に形成される画像
の画質が向上する。また請求項２に記載のＥＬ光プリン
ターヘッドにおいて、光導波路に発光層と異なる材料を
用いることによって発光層が大気にさらされることがな
くなり、水分の吸収等により発光層が劣化することを防
止でき、耐久性が向上する。In the EL optical printer head described in claim 2, the optical waveguide is formed between the light emitting region of the light emitting layer of the EL element and the edge of the substrate on the side where the light is emitted, and each EL Since the optical waveguide corresponding to the element has the light separating layers on both sides in the laminated surface, the light propagated from the light emitting region toward the end face of the optical waveguide is fan-shaped like the EL optical printer head according to claim 2. Only the portion facing the EL element that has been emitted and emitted without spreading is irradiated. This prevents light crosstalk and improves the quality of the image formed on the photoconductor. Further, in the EL optical printer head according to claim 2, by using a material different from the light emitting layer for the optical waveguide, the light emitting layer is not exposed to the atmosphere, and the light emitting layer can be prevented from deteriorating due to absorption of water. , Durability is improved.
【００１９】[0019]
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。図１は、本発明の一実施例であるＥＬ光プリンター
ヘッドの構造を示す図であり、（ａ）図は概略斜視図、
（ｂ）図は、該ＥＬ光プリンターヘッドの平面構成図で
ある。基板１はガラス板が用いられ、この上にＣｒから
なる下部電極２と、その上にＳｉＮからなる第１誘電体
層３が積層されている。第１誘電体層３の上には、母体
材料であるＺｎＳに発光中心物質としてＭｎを添加した
材料（ＺｎＳ：Ｍｎ）からなる発光層４と黒色誘電体で
あるＰｒＭｎＯ4 からなる光分離層５とが同一平面内で
帯状に分割され、交互に配列して着膜されている。これ
らの発光層４と光分離層５とは膜厚がほぼ同じになるよ
うに積層されている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing the structure of an EL optical printer head according to an embodiment of the present invention, in which FIG. 1A is a schematic perspective view,
FIG. 6B is a plan view of the EL optical printer head. A glass plate is used as the substrate 1, on which a lower electrode 2 made of Cr and a first dielectric layer 3 made of SiN are laminated. On the first dielectric layer 3, a light emitting layer 4 made of a material (ZnS: Mn) obtained by adding Mn as an emission center substance to ZnS which is a base material, and a light separation layer 5 made of PrMnO 4 which is a black dielectric. And are divided into strips in the same plane, and are alternately arranged and deposited. The light emitting layer 4 and the light separation layer 5 are laminated so that the film thicknesses thereof are almost the same.
【００２０】その上面には、ＳｉＮからなる第２誘電体
層６が積層され、さらにこの上面には、前記発光層４と
光分離層５とが交互に配列された端面、すなわち光が射
出される端面より内側（奥側）であって、前記発光層４
と重なる部分にＡｌからなる上部電極７が分割された発
光層ごとに独立して積層されている。これらの上部電極
７はそれぞれ駆動用ＩＣ９と接続され、交流電源１０か
らの電圧の印加が制御される。一方下部電極は共通接続
され、接地されている。このようなＥＬ光プリンターヘ
ッドは、ＥＬ素子の光が射出される端面１１が感光体８
と対向するように配置される。A second dielectric layer 6 made of SiN is laminated on the upper surface thereof, and on the upper surface, an end surface in which the light emitting layers 4 and the light separating layers 5 are alternately arranged, that is, light is emitted. Inside the inner surface (back side) of the light emitting layer 4
An upper electrode 7 made of Al is independently laminated on each of the divided light emitting layers in a portion overlapping with. Each of these upper electrodes 7 is connected to a driving IC 9 to control the application of voltage from the AC power supply 10. On the other hand, the lower electrodes are commonly connected and grounded. In such an EL optical printer head, the end face 11 from which the light of the EL element is emitted is the photoconductor 8
It is arranged so as to face
【００２１】上記のような構造のＥＬ光プリンターヘッ
ドを駆動するときは、前記下部電極２と、上部電極７と
の間に画像形成信号に基づいて選択的に電圧が印加され
る。これによって、電圧が印加されたＥＬ素子の発光層
の、上部電極と下部電極との双方が積層されている部分
（発光領域４ａ）のみが発光し、非発光状態の発光層部
分（非発光領域４ｂ）内を通過した光が端面１１から発
光層とほぼ平行に射出される。この光は対向して設置さ
れ、所定の速度で駆動される感光体８を照射し、画像を
形成する。When the EL optical printer head having the above structure is driven, a voltage is selectively applied between the lower electrode 2 and the upper electrode 7 based on an image forming signal. As a result, only the portion (light emitting region 4a) of the light emitting layer of the EL element to which the voltage is applied, in which both the upper electrode and the lower electrode are laminated, emits light, and the light emitting layer portion in the non-light emitting state (non-light emitting region) The light passing through the inside of 4b) is emitted from the end face 11 substantially parallel to the light emitting layer. This light irradiates the photoconductor 8 which is installed facing each other and is driven at a predetermined speed to form an image.
【００２２】その際、発光層４のうちの、発光領域４ａ
から感光体８と対向する端面１１までの部分である非発
光領域４ｂの発光層は発光を生じず、発光領域４ａで発
せられる光を端面１１まで導く光導波路となっている。
発光領域４ａから放出された光のうち、この光導波路内
で、両側の光分離層５にあたった光は、光分離層の反射
率がきわめて小さいため、ほとんど端面まで導かれず
（ｂ）図中矢印Ｃで示すように発光領域４ａから端面１
１まで直線的に導かれた光のみが端面１１から感光体８
に向かって射出される。At this time, in the light emitting layer 4, the light emitting region 4a
The light-emitting layer in the non-light-emitting region 4b, which is the part from the to the end face 11 facing the photoconductor 8, does not emit light, and serves as an optical waveguide that guides the light emitted from the light-emitting region 4a to the end face 11.
Of the light emitted from the light emitting region 4a, the light that hits the light separation layers 5 on both sides in this optical waveguide is hardly guided to the end face because the reflectance of the light separation layer is extremely small (b) in the figure. As shown by the arrow C, from the light emitting region 4a to the end face 1
Only the light linearly guided to 1 from the end face 11 to the photoconductor 8
Is ejected toward.
【００２３】このため感光体８を照射する光は、発光し
たＥＬ素子と対峙した部分のみに限定され、隣接するＥ
Ｌ素子と対峙する範囲には影響を及ぼさない。したがっ
て、画像信号に基づいて正確に露光され、感光体８上に
形成される画像の品質が向上する。また、電圧が印加さ
れた発光層からの光は、光分離層５の存在によって隣接
するＥＬ素子の発光層へ伝播することがなく、非発光状
態の隣接するＥＬ素子の端面から光が射出されるような
ことが生じない。Therefore, the light irradiating the photosensitive member 8 is limited to only the portion facing the EL element which emits light, and the adjacent E
It does not affect the area facing the L element. Therefore, the quality of the image formed on the photoconductor 8 by being accurately exposed based on the image signal is improved. Further, the light from the light emitting layer to which the voltage is applied does not propagate to the light emitting layer of the adjacent EL element due to the presence of the light separation layer 5, and the light is emitted from the end face of the adjacent EL element in the non-light emitting state. It doesn't happen.
【００２４】次に、上記のＥＬ光プリンターヘッドの製
造方法について説明する。上記のようなＥＬ光プリンタ
ーヘッドは、例えば次のような工程により製造すること
ができる。
ガラスからなる基板１上にスパッタリング法により
Ｃｒを着膜し、フォトリソエッチングにより下部電極２
を形成する。
スパッタリング法又はプラズマＣＶＤ法によりＳｉ
Ｎを着膜し、フォトリソエッチングにより第１誘電体層
３を形成する。
母体材料であるＺｎＳに発光中心物質であるＭｎを
添加した材料をＥＢ蒸着法により着膜し、フォトリソエ
ッチングによりストライプ状の発光層４を形成する。
［図２（ａ）］
なお、図２（ａ）中符号１２は発光層４をパターン化す
るためのレジストである。
上記発光層４を形成した時のレジスト１２を剥離せ
ず、そのままＰｒＭｎＯ4 を発光層４と膜厚が同じにな
るようにスパッタリング法又はＣＶＤ法により着膜す
る。その後、発光層４上のレジストを剥離し、ストライ
プ上の発光層４の間に光分離層５を形成する。［図２
（ｂ）］
スパッタリング法又はプラズマＣＶＤ法によりＳｉＮ
を着膜し、フォトリソエッチングにより第２誘電体層６
を形成する。［図２（ｃ）］
Ａｌをスパッタリング法により着膜し、フォトリソエ
ッチングにより、発光層４が形成されている上方部に上
部電極７を形成する。［図２（ｄ）］
なお、光分離層５の材料には、上記実施例で用いたＰｒ
ＭｎＯ4 の他、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｔａ等の金属やＣリッチの
ＳｉＣなどの黒色誘電体、アモルファスシリコンなどを
用いてもよい。Next, a method of manufacturing the above EL optical printer head will be described. The EL optical printer head as described above can be manufactured, for example, by the following steps. Cr is deposited on the substrate 1 made of glass by the sputtering method, and the lower electrode 2 is formed by photolithography.
To form. Si by sputtering method or plasma CVD method
A film of N is deposited and the first dielectric layer 3 is formed by photolithography etching. A material in which Mn, which is an emission center substance, is added to ZnS, which is a base material, is deposited by an EB vapor deposition method, and a stripe-shaped light emitting layer 4 is formed by photolithography etching.
[FIG. 2A] Reference numeral 12 in FIG. 2A is a resist for patterning the light emitting layer 4. The resist 12 is not peeled off when the light emitting layer 4 is formed, and PrMnO 4 is directly deposited by the sputtering method or the CVD method so as to have the same film thickness as the light emitting layer 4. After that, the resist on the light emitting layer 4 is peeled off, and the light separation layer 5 is formed between the light emitting layers 4 on the stripes. [Fig. 2
(B)] SiN by sputtering method or plasma CVD method
And deposit the second dielectric layer 6 by photolithographic etching.
To form. [FIG. 2 (c)] Al is deposited by a sputtering method, and an upper electrode 7 is formed on the upper portion where the light emitting layer 4 is formed by photolithography etching. [FIG. 2 (d)] As the material of the light separation layer 5, Pr used in the above-mentioned embodiment is used.
In addition to MnO 4 , a metal such as Cr, Mo, or Ta, a black dielectric such as C-rich SiC, or amorphous silicon may be used.
【００２５】以上に説明した実施例において基板１、第
１誘電体層３、発光層４、第２誘電体層６、上部電極７
および下部電極２に使用する材料は上記のものに限ら
ず、上記以外の二重絶縁構造薄膜ＥＬ素子に使用できる
他の適切な材料とすることもできる。In the embodiment described above, the substrate 1, the first dielectric layer 3, the light emitting layer 4, the second dielectric layer 6, and the upper electrode 7 are provided.
The materials used for the lower electrode 2 and the lower electrode 2 are not limited to those described above, and other suitable materials that can be used for the double insulating structure thin film EL element other than those described above can be used.
【００２６】次に請求項２に記載の発明の実施例につい
て説明する。図３は請求項２に記載の発明の一実施例で
あるＥＬ光プリンターヘッドの構造を示す概略斜視図お
よび平面構成図である。基板２１上に積層して形成され
るＥＬ素子は基板１の光が射出される側の縁部より内側
（奥側）に形成されており、下部電極２２、第１誘電体
層２３、発光層２４（図３（ａ）においては示さず）、
第２誘電体層２６、上部電極２７を順次積層したもので
ある。基板の光が射出される側の縁部に沿ったＥＬ素子
が形成されていない部分では、上部電極２７・発光層２
４は積層されていないが第１誘電体層２３と第２誘電体
層２６とは積層されており、発光層２４と同一面となる
位置には光導波路３０となる透明材料からなる層が形成
されている。またこの層は一列に配置された複数のＥＬ
素子ごとに光分離層２５で分割されている。Next, an embodiment of the invention described in claim 2 will be described. FIG. 3 is a schematic perspective view and a plan configuration view showing the structure of an EL optical printer head which is an embodiment of the invention described in claim 2. The EL element laminated on the substrate 21 is formed on the inner side (back side) of the edge of the substrate 1 on the side where light is emitted, and the lower electrode 22, the first dielectric layer 23, and the light emitting layer are formed. 24 (not shown in FIG. 3 (a)),
The second dielectric layer 26 and the upper electrode 27 are sequentially laminated. In the portion where the EL element is not formed along the edge of the substrate where the light is emitted, the upper electrode 27 and the light emitting layer 2 are formed.
Although No. 4 is not laminated, the first dielectric layer 23 and the second dielectric layer 26 are laminated, and a layer made of a transparent material to be the optical waveguide 30 is formed on the same plane as the light emitting layer 24. Has been done. In addition, this layer is composed of multiple ELs arranged in a line.
Each element is divided by the light separation layer 25.
【００２７】このようなＥＬ光プリンターヘッドにおい
て、下部電極２２と上部電極２７との間に選択的に電圧
が印加されると、電圧が印加された部分の発光層が発光
する。この部分から放出され光導波路３０に伝播した光
が光分離層２５にあたると、光分離層２５の反射率が低
いために殆ど反射せずに吸収される。このため光導波路
３０の端面３１から射出される光のほとんどが図中Ｄで
示すようにＥＬ素子の発光層から光導波路３０の端面３
１に直線的に伝播した光となり、端面３１から扇状に拡
散することがなく、この端面に対峙する部分のみを強い
光で照射することができる。また、発光層から隣接する
ＥＬ素子の発光層に伝播した光も図中矢印Ｅに示すよう
に光分離層２５にあたり、ほとんど反射しないために光
導波路３０の端面３１まで到達しない。したがって発光
状態のＥＬ素子の発光が感光体の隣接するＥＬ素子が対
峙する部分に及ぼす影響が少なく、感光体上に高品質の
画像を形成することが可能となる。In such an EL optical printer head, when a voltage is selectively applied between the lower electrode 22 and the upper electrode 27, the light emitting layer in the portion to which the voltage is applied emits light. When the light emitted from this portion and propagated to the optical waveguide 30 hits the light separation layer 25, the light separation layer 25 has a low reflectance and is absorbed with almost no reflection. Therefore, most of the light emitted from the end face 31 of the optical waveguide 30 passes from the light emitting layer of the EL element to the end face 3 of the optical waveguide 30 as indicated by D in the figure.
The light linearly propagates in 1 and does not diffuse in a fan shape from the end face 31, and only the part facing the end face can be irradiated with strong light. Further, the light propagating from the light emitting layer to the light emitting layer of the adjacent EL element also hits the light separation layer 25 as shown by an arrow E in the figure and hardly reaches the end face 31 of the optical waveguide 30 because it is hardly reflected. Therefore, the light emission of the EL element in the light emitting state has little influence on the portion of the photoconductor facing the adjacent EL element, and a high-quality image can be formed on the photoconductor.
【００２８】[0028]
【発明の効果】以上説明したように請求項１に記載のＥ
Ｌ光プリンターヘッドでは隣接するＥＬ素子の発光層と
発光層との間に光分離層を有しているので隣接するＥＬ
素子の発光層への光の伝播を防止し、感光体の隣接する
ＥＬ素子が対峙する部分への影響を低減して高品質の像
を形成できるＥＬ光プリンターヘッドが得られる。As described above, the E according to claim 1 is obtained.
Since the L optical printer head has a light separating layer between the light emitting layers of the adjacent EL elements, the adjacent EL elements
It is possible to obtain an EL optical printer head capable of forming a high-quality image by preventing light from propagating to the light emitting layer of the element and reducing the influence on the portion of the photoconductor facing the adjacent EL element.
【００２９】また、上記請求項１に記載のＥＬ光プリン
ターヘッドにおいて、隣接するＥＬ素子の発光層と発光
層との間に光分離層を有するとともに、光が射出される
側の基板縁部に沿った部分に発光を生じない領域を有す
るものとすると、隣接するＥＬ素子の発光層への光の伝
播及び光が射出される発光層の端面からの光の拡散を防
止して高品質の像を形成できるＥＬ光プリンターヘッド
が得られる。Further, in the EL optical printer head according to claim 1, a light separating layer is provided between the light emitting layers of the adjacent EL elements, and the light emitting layer is provided on the edge of the substrate on the side where the light is emitted. If a region that does not emit light is provided along the portion along the line, it is possible to prevent the propagation of light to the light emitting layer of the adjacent EL element and the diffusion of the light from the end face of the light emitting layer from which the light is emitted to prevent a high quality image The EL optical printer head capable of forming
【００３０】請求項２に記載したＥＬ光プリンターヘッ
ドでは、ＥＬ素子の発光領域と基板の光が射出される側
の縁部との間に光導波路が設けられ、各ＥＬ素子に対応
するそれぞれの光導波路が積層面内の両側に光分離層を
有しているので、発光領域から光導波路の端面に向かっ
て伝播した光が扇状に広がることなく射出され、感光体
の、発光したＥＬ素子に対峙する部分のみを照射する。
これによって光のクロストークが防止され、感光体上に
形成される画像の品質が向上する。また、光導波路に発
光層と異なる材料を用いると、発光層が大気にさらされ
ることがなく、吸水等による劣化が生じにくいＥＬ光プ
リンターヘッドが得られる。In the EL optical printer head described in claim 2, an optical waveguide is provided between the light emitting region of the EL element and the edge of the substrate on the side where the light is emitted, and each of the optical waveguides corresponds to each EL element. Since the optical waveguide has the light separation layers on both sides in the laminated surface, the light propagating from the light emitting region toward the end face of the optical waveguide is emitted without spreading in a fan shape and is emitted to the EL element of the photoconductor that emits light. Irradiate only the facing part.
This prevents light crosstalk and improves the quality of the image formed on the photoreceptor. When a material different from the light emitting layer is used for the optical waveguide, the EL light emitting head is obtained in which the light emitting layer is not exposed to the atmosphere and deterioration due to water absorption or the like is unlikely to occur.
【図１】請求項１に記載の発明の一実施例であるＥＬ光
プリンターヘッドの構成を示す概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of an EL optical printer head which is an embodiment of the invention described in claim 1.
【図２】上記実施例のＥＬ光プリンターヘッドの製造方
法を示す概略工程図である。FIG. 2 is a schematic process diagram showing a method for manufacturing the EL optical printer head of the above-described embodiment.
【図３】請求項２に記載の発明の一実施例であるＥＬ光
プリンターヘッドの構成を示す概略図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing a configuration of an EL optical printer head which is an embodiment of the invention described in claim 2.
【図４】従来のＥＬ光プリンターヘッドの構成を示す概
略図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing a configuration of a conventional EL optical printer head.
１ 基板 ２ 下部電極
３ 第１誘電体層 ４ 発光層
５ 光分離層 ６ 第２誘電
体層
７ 上部電極 ８ 感光体
９ 駆動ＩＣ １０ 交流電源
１１ ＥＬ素子の端面 １２ レジス
ト
２１ 基板 ２２ 下部電
極
２３ 第１誘電体層 ２４ 発光層
２５ 光分離層 ２６ 第２誘
電体層
２７ 上部電極 ３０ 光導波
路1 Substrate 2 Lower Electrode 3 First Dielectric Layer 4 Light Emitting Layer 5 Light Separation Layer 6 Second Dielectric Layer 7 Upper Electrode 8 Photoconductor 9 Driving IC 10 AC Power Supply 11 EL Device End Face 12 Resist 21 Substrate 22 Lower Electrode 23 1 Dielectric Layer 24 Light Emitting Layer 25 Light Separation Layer 26 Second Dielectric Layer 27 Upper Electrode 30 Optical Waveguide
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｂ 33/02 8815−3Ｋ ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification code Internal reference number FI technical display H05B 33/02 8815-3K
Claims (2)
第１誘電体層と発光層と第２誘電体層と上部電極とから
なり、独立して発光が制御される複数の２重絶縁構造Ｅ
Ｌ素子を一列に配列し、それぞれのＥＬ素子の発光層か
ら、これらの発光層の積層面と平行に射出される光を利
用するＥＬ光プリンターヘッドにおいて、前記複数のＥ
Ｌ素子の隣合う発光層と発光層との間に、光非透過性材
料からなり、光のクロストークを抑える光分離層を有す
ることを特徴とするＥＬ光プリンターヘッド。1. A plurality of double insulating layers, each of which is composed of a lower electrode, a first dielectric layer, a light emitting layer, a second dielectric layer and an upper electrode, which are sequentially stacked on a substrate and whose light emission is independently controlled. Structure E
In the EL optical printer head, in which the L elements are arranged in a line and the light emitted from the light emitting layers of the respective EL elements is emitted in parallel with the stacking surface of these light emitting layers,
An EL optical printer head having a light separating layer made of a light non-transmissive material and suppressing light crosstalk between adjacent light emitting layers of the L element.
第１誘電体層と発光層と第２誘電体層と上部電極とから
なり、独立して発光が制御される複数の２重絶縁構造Ｅ
Ｌ素子を一列に配列し、それぞれのＥＬ素子の発光層か
ら、これらの発光層の積層面と平行に射出される光を利
用するＥＬ光プリンターヘッドにおいて、前記複数のＥ
Ｌ素子の発光層の発光領域と、前記発光層からの光が射
出される側の前記基板の縁部との間に形成され、隣接す
るＥＬ素子との光のクロストークを防止する光分離層を
備えた光導波路を有することを特徴とするＥＬ光プリン
ターヘッド。2. A plurality of double insulation layers, each of which is composed of a lower electrode, a first dielectric layer, a light emitting layer, a second dielectric layer and an upper electrode, which are sequentially stacked on a substrate and whose light emission is independently controlled. Structure E
In the EL optical printer head, in which the L elements are arranged in a line and the light emitted from the light emitting layers of the respective EL elements is emitted in parallel with the stacking surface of these light emitting layers,
A light separation layer formed between the light emitting region of the light emitting layer of the L element and the edge portion of the substrate on the side where the light from the light emitting layer is emitted, and which prevents crosstalk of light with an adjacent EL element. An EL optical printer head having an optical waveguide provided with.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3180464A JPH054377A (en) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | El-light printer head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3180464A JPH054377A (en) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | El-light printer head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH054377A true JPH054377A (en) | 1993-01-14 |
Family
ID=16083682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3180464A Withdrawn JPH054377A (en) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | El-light printer head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH054377A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003059628A1 (en) * | 2002-01-16 | 2003-07-24 | Sharp Kabushiki Kaisha | Exposure device and image forming device |
| JP2008091129A (en) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Casio Comput Co Ltd | Light emitting device |
| JP2014072227A (en) * | 2012-09-27 | 2014-04-21 | Sharp Corp | Led print head |
| CN104244487A (en) * | 2013-06-24 | 2014-12-24 | 上海科斗电子科技有限公司 | Electroluminescent sheet, electroluminescent displayer and production technologies |
-
1991
- 1991-06-26 JP JP3180464A patent/JPH054377A/en not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003059628A1 (en) * | 2002-01-16 | 2003-07-24 | Sharp Kabushiki Kaisha | Exposure device and image forming device |
| US7129965B2 (en) | 2002-01-16 | 2006-10-31 | Sharp Kabushiki Kaisha | Exposure device and image forming device |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980903 |