JPH05340799A - Vibration discriminating device - Google Patents

Vibration discriminating device

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Publication number
JPH05340799A
JPH05340799A JP15201792A JP15201792A JPH05340799A JP H05340799 A JPH05340799 A JP H05340799A JP 15201792 A JP15201792 A JP 15201792A JP 15201792 A JP15201792 A JP 15201792A JP H05340799 A JPH05340799 A JP H05340799A
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JP
Japan
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vibration
acceleration
output
acceleration waveform
earthquake
Prior art date
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Pending
Application number
JP15201792A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Koji Nakamura
孝二 中村
Hideyuki Bingo
英之 備後
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Omron Tateisi Electronics Co
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Filing date
Publication date
Application filed by Omron Corp, Omron Tateisi Electronics Co filed Critical Omron Corp
Priority to JP15201792A priority Critical patent/JPH05340799A/en
Publication of JPH05340799A publication Critical patent/JPH05340799A/en
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  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)

Abstract

PURPOSE:To more accurately discriminate the dangerousness of vibrations by extracting a plurality of feature amounts from a vibrational acceleration waveform based on a preset detection level. CONSTITUTION:The mobile electrode of a capacitance sensor 10 oscillates due to acceleration generated by an earthquake and the capacitance between the mobile electrode and a fixed electrode changes. A CR oscillation circuit 5 outputs a signal in corresponding to the capacitance change. In a microcomputer 2, the vibrational acceleration of the earthquake is first calculated from the output of a vibration detecting section 1 by means of a frequency measuring timer 17, arithmetic section 19, reference period storage section 18, etc., and a vibrational acceleration waveform is obtained by sampling the acceleration at regular time intervals. The microcomputer 2 extracts a plurality of feature amounts based on the acceleration waveform obtained from the output of the section 1 and discriminates whether or not the vibrations are caused by an earthquake by performing fuzzy inference based on the feature amounts.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、地震による振動を判別
したり、機械の異常な振動を判別する振動判別装置に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibration discriminating apparatus which discriminates vibration caused by an earthquake or abnormal vibration of a machine.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、地震を検出する地震センサでは、
振動の加速度を検知し、この加速度が予め設定されてい
るレベルを越えるようなときに、地震であるとして警報
を発するなどの処理を行うように構成されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, in an earthquake sensor that detects an earthquake,
The vibration acceleration is detected, and when the acceleration exceeds a preset level, processing such as issuing an alarm as an earthquake is performed.

【0003】ところで、各種アクチュエータ、例えば、
エアーシリンダなどでは、ピストンロッドが上死点、下
死点に来たか否かを検出して該エアーシリンダが正常に
動作しているかを判定するように構成されている。
By the way, various actuators, for example,
An air cylinder or the like is configured to detect whether or not the piston rod has reached a top dead center or a bottom dead center, and determine whether the air cylinder is operating normally.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】従来の地震センサで
は、単に振動の加速度の大きさが予め設定されているレ
ベルを越えたときに、地震であると判別して警報を発す
るものであるために、正確な判別ができない場合があ
る。
Since the conventional seismic sensor simply determines that there is an earthquake and issues an alarm when the magnitude of vibration acceleration exceeds a preset level. , It may not be possible to make an accurate determination.

【0005】また、従来のエアーシリンダなどでは、ピ
ストンロッドの位置検出によって正常に動作しているか
否かを判別するので、エアーシリンダの動作が停止して
からでないと異常を検知できず、動作が停止する前に故
障を予知するといったことは困難であった。
Further, in the conventional air cylinder or the like, since it is determined whether or not the piston cylinder is operating normally by detecting the position of the piston rod, the abnormality cannot be detected until the operation of the air cylinder is stopped, and the operation is not performed. It was difficult to predict a failure before it stopped.

【0006】本発明は、上述の点に鑑みて為されたもの
であって、地震の判別をより正確に行え、また、機械の
異常な振動を判別できるようにして機械の故障の予知を
行えるようにすることを目的とする。
The present invention has been made in view of the above points, and it is possible to more accurately determine an earthquake and to predict a machine failure by determining an abnormal vibration of the machine. The purpose is to do so.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明では、上述の目的
を達成するために、次のように構成している。
In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows.

【0008】すなわち、請求項第1項記載の本発明の振
動判別装置は、振動を検出する振動検出部と、該振動検
出部の出力に対応する振動加速度波形から予め設定され
た検出レベルに基づいて複数の特徴量を抽出し、これら
特徴量に基づいて、地震を判別する判別部とを備えてい
る。
That is, the vibration discriminating apparatus according to the first aspect of the present invention is based on a vibration detection section for detecting vibration and a detection level preset from a vibration acceleration waveform corresponding to the output of the vibration detection section. And a plurality of feature amounts are extracted, and a discriminating unit for discriminating an earthquake is provided based on these feature amounts.

【0009】また、請求項第2項記載の本発明は、機械
の異常振動を判別する振動判別装置であって、前記機械
の振動を検出する振動検出部と、前記機械の正常動作時
における前記振動検出部の出力に対応する振動加速度波
形を予め学習する学習部と、予め学習した振動加速度波
形と前記振動検出部の出力に対応する振動加速度波形と
に基づいて、前記機械の異常振動を判別する判別部とを
備えている。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a vibration discriminating apparatus for discriminating abnormal vibration of a machine, the vibration detecting section detecting the vibration of the machine, and the vibration detecting section during normal operation of the machine. A learning unit that preliminarily learns a vibration acceleration waveform corresponding to the output of the vibration detection unit, and an abnormal vibration of the machine is determined based on the vibration acceleration waveform that is learned in advance and the vibration acceleration waveform corresponding to the output of the vibration detection unit. And a discriminating unit that operates.

【0010】[0010]

【作用】請求項第1項記載の本発明によれば、振動加速
度波形から複数の特徴量を抽出し、これらに基づいて、
地震を判別するので、単に振動加速度の大きさで判別す
る従来例に比べてより正確な判別が可能となる。
According to the first aspect of the present invention, a plurality of feature quantities are extracted from the vibration acceleration waveform, and based on these,
Since the earthquake is discriminated, the discrimination can be made more accurately than the conventional example in which the magnitude of the vibration acceleration is simply discriminated.

【0011】請求項第2項記載の本発明によれば、予め
機械の正常動作時の振動加速度波形を学習しておき、振
動検出部から得られる振動加速度波形と予め学習した振
動加速度波形とから機械の異常振動を判別するので、機
械が停止しまう前に、機械の異常を検知することも可能
となる。
According to the second aspect of the present invention, the vibration acceleration waveform during normal operation of the machine is learned in advance, and the vibration acceleration waveform obtained from the vibration detection unit and the vibration acceleration waveform learned in advance are used. Since the abnormal vibration of the machine is determined, it is possible to detect the abnormality of the machine before the machine stops.

【0012】[0012]

【実施例】以下、図面によって本発明の実施例につい
て、詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings.

【0013】図1は、本発明の一実施例の振動判別装置
の構成図であり、この実施例は、地震を検出して警報を
発する装置である。
FIG. 1 is a block diagram of a vibration discriminating apparatus according to an embodiment of the present invention. This embodiment is an apparatus for detecting an earthquake and issuing an alarm.

【0014】この実施例の振動判別装置は、振動を検出
して対応する周波数信号を出力する振動検出部1と、こ
の振動検出部1の出力に基づいて、後述のよう地震であ
るか否かを判定するマイクロコンピュータ2と、外部か
ら検出レベルなどの設定を行う設定部3と、マイクロコ
ンピュータ2の出力に応答して異常時に警報信号などを
図示しない警報装置に出力する出力部4とを備えてい
る。
The vibration discriminating apparatus of this embodiment detects a vibration and outputs a corresponding frequency signal, and based on the output of the vibration detecting unit 1, whether or not there is an earthquake as described later. A microcomputer 2 for determining whether or not there is a detection unit, a setting unit 3 for externally setting a detection level, and the like; and an output unit 4 for outputting an alarm signal or the like to an alarm device (not shown) in response to an output of the microcomputer 2 when an abnormality occurs. ing.

【0015】この実施例の振動検出部1は、CR発振回
路5と、このCR発振回路5の出力を分周する分周器6
とを備えている。
The vibration detector 1 of this embodiment comprises a CR oscillation circuit 5 and a frequency divider 6 for dividing the output of the CR oscillation circuit 5.
It has and.

【0016】CR発振回路5は、後述の容量センサ10
からなる容量変化部Cと、抵抗Rと、安定化抵抗Rf
と、インバータ7〜9とから構成されており、容量セン
サ10の容量変化を、次式に示される関係で周波数f0
(Hz)に変換して出力するものである。
The CR oscillation circuit 5 includes a capacitance sensor 10 which will be described later.
A capacitance changing portion C composed of a resistor R, a stabilizing resistor Rf
And the inverters 7 to 9, and changes the capacitance of the capacitance sensor 10 with the frequency f 0 according to the relationship shown by the following equation.
It is converted into (Hz) and output.

【0017】fout=1/(2.2CR) 振動に応じて静電容量が変化する容量センサ10は、図
2の分解斜視図および図3の断面図に示されるように、
ケース11内に、固定電極12が形成されたプリント配
線基板13と、振動バネを有する可動電極14とを、ス
ペーサ15を介して収納し、カバー16を取り付けるこ
とにより構成される。この容量センサ10においては、
振動により発生する加速度により、可動電極14が揺動
し、この可動電極14と固定電極12との間の静電容量
C(ファラッド)は、次式によって与えられる。
F out = 1 / (2.2CR) As shown in the exploded perspective view of FIG. 2 and the cross-sectional view of FIG. 3, the capacitance sensor 10 whose capacitance changes according to vibration is shown in FIG.
A printed wiring board 13 having a fixed electrode 12 formed therein and a movable electrode 14 having a vibration spring are housed in a case 11 via a spacer 15, and a cover 16 is attached. In this capacitance sensor 10,
The movable electrode 14 swings due to the acceleration generated by the vibration, and the electrostatic capacitance C (Farad) between the movable electrode 14 and the fixed electrode 12 is given by the following equation.

【0018】C=ε0・(S/d) ここで、S:各電極の対向した面積 d:電極間距離 ε0:誘電率 すなわち、可動電極14が揺動することにより、電極間
に発生する容量が変化することになり、CR発振回路5
は、その容量変化に応じた周波数の信号を出力する。
C = ε 0 · (S / d) where S: the area where the electrodes face each other d: the distance between the electrodes ε 0 : the permittivity, that is, the movable electrode 14 oscillates to generate between the electrodes. The capacity of the CR oscillation circuit 5 changes.
Outputs a signal having a frequency according to the change in capacitance.

【0019】マイクロコンピュータ2は、周波数計測タ
イマ17と、CR発振回路出力の基準周期(静止時の周
期)が予め記憶されている基準周期記憶部18と、振動
検出部1の出力から振動加速度の演算などを行う演算部
19と、後述のようにファジィ推論や学習を行って地震
であるか否かを判別する制御部20とを備えている。
The microcomputer 2 includes a frequency measurement timer 17, a reference cycle storage section 18 in which a reference cycle (cycle at rest) of the CR oscillation circuit output is stored in advance, and an output of the vibration detection section 1 for the vibration acceleration. An arithmetic unit 19 that performs arithmetic operations and the like, and a control unit 20 that performs fuzzy inference and learning to determine whether or not there is an earthquake as described below are provided.

【0020】このマイクロコンピュータ2では、先ず、
振動検出部1の出力から振動加速度を次のようにして算
出する。
In this microcomputer 2, first,
The vibration acceleration is calculated from the output of the vibration detection unit 1 as follows.

【0021】すなわち、振動検出部1の出力は、図4
(A)に示される静止時の基本周期Tに対して、電極が
接近したとき(+側に振動)は、図4(B)に示される
ようにT+となり、電極が離れたとき(−側に振動)
は、図4(C)に示されるようにT-となり、振動加速
度は、次式によって算出される。
That is, the output of the vibration detector 1 is as shown in FIG.
When the electrode approaches the basic period T at rest (vibration to the + side) shown in (A), it becomes T + as shown in FIG. 4B, and when the electrode separates (-). Vibration to the side)
Becomes T as shown in FIG. 4C, and the vibration acceleration is calculated by the following equation.

【0022】+側振動加速度(ΔT+)=T+−T −側振動加速度(ΔT-)=T-−T かかる演算を、周波数計測タイマ17、演算部19およ
び基準周期記憶部18などによって行い、この加速度を
一定周期毎にサンプリングすることにより、図5に示さ
れるように、振動加速度波形を得ることができる。
+ Side vibration acceleration (ΔT + ) = T + −T − side vibration acceleration (ΔT ) = T −T This calculation is performed by the frequency measurement timer 17, the calculation unit 19, the reference period storage unit 18, and the like. By sampling this acceleration at regular intervals, a vibration acceleration waveform can be obtained as shown in FIG.

【0023】この実施例では、さらに、図6に示される
ように、サンプリングした振動加速度のデータの4点で
の移動平均処理を行って図7に示されるように、加速度
波形から不要な高周波成分をカットしている。なお、図
6において、Xiは入力、Yiは応答出力、Tは時間、
M=4である。
In this embodiment, further, as shown in FIG. 6, moving average processing of sampled vibration acceleration data at four points is performed, and as shown in FIG. Has been cut. In FIG. 6, Xi is input, Yi is response output, T is time,
M = 4.

【0024】この実施例のマイクロコンピュータ2は、
図8の機能ブロック図に示されるように、振動検出部1
の出力から上述のようにして得られる加速度波形に基づ
いて、後述する特徴量を抽出し、この特徴量に基づい
て、ファジィ推論することにより、地震であるか否かを
判別する判別部としての推論部22と、予め振動検出部
1の出力に対応する加速度波形を学習して推論部22に
おける判別を設置状況に応じて補正する補正部23とし
ての機能を備えている。
The microcomputer 2 of this embodiment is
As shown in the functional block diagram of FIG.
Based on the acceleration waveform obtained as described above from the output of, the feature amount described below is extracted, and fuzzy inference is performed based on this feature amount to determine whether or not there is an earthquake. The inference unit 22 and a function as a correction unit 23 that learns the acceleration waveform corresponding to the output of the vibration detection unit 1 in advance and corrects the determination in the inference unit 22 according to the installation situation are provided.

【0025】補正部23は、初期設定時などにおける外
部からの操作によって、切換回路24を介して加速度波
形が与えられ、これを学習する学習部25と、この学習
部25の学習データに基づいて、推論部22の判定出力
を補正するゲイン調整部26とを備えている。
The correction unit 23 is given an acceleration waveform through the switching circuit 24 by an external operation at the time of initial setting or the like, and a learning unit 25 for learning the acceleration waveform, and based on the learning data of the learning unit 25. , And a gain adjusting unit 26 for correcting the determination output of the inference unit 22.

【0026】推論部22では、例えば、図9に示される
加速度波形から振動加速度を算出するとともに、ゼロク
ロス点から振動周期を算出し、さらに、次の4種類の特
徴量1〜4を抽出する。
The inference unit 22 calculates, for example, the vibration acceleration from the acceleration waveform shown in FIG. 9, calculates the vibration cycle from the zero-cross point, and further extracts the following four types of feature quantities 1 to 4.

【0027】すなわち、特徴量1は、所定時間内で図9
に示される検出レベルを越えたエネルギーの総和ESU
Mであり、特徴量2は、所定時間内でのエネルギーの総
和SESUMであり、特徴量3は、加速度波形がゼロク
ロスした点間の時間(半周期)が、0.3s以下の度数
TSであり、特徴量4は、加速度波形がゼロクロスした
点間の時間(半周期)が、0.3sを越える度数TBで
ある。
That is, the feature quantity 1 is shown in FIG.
ESU of energy exceeding the detection level shown in
M, the feature amount 2 is a total energy SESUM of energy within a predetermined time, and the feature amount 3 is a frequency TS in which the time (half cycle) between points where the acceleration waveform crosses zero is 0.3 s or less. The characteristic amount 4 is the frequency TB in which the time (half cycle) between the points at which the acceleration waveform crosses zero exceeds 0.3 s.

【0028】ここで、加速度波形からエネルギーを算出
するための処理を説明する。
Now, the process for calculating energy from the acceleration waveform will be described.

【0029】加速度aを積分することにより、すなわ
ち、加速度波形の面積を求めることによって、速度vを
算出することができる。この速度vとエネルギーEと
は、 E=(1/2)・mv2 なる関係がある、すなわち、エネルギーEは、速度vの
2乗と比例関係がある。
The velocity v can be calculated by integrating the acceleration a, that is, by obtaining the area of the acceleration waveform. The velocity v and the energy E have a relation of E = (1/2) · mv 2 , that is, the energy E has a proportional relation with the square of the velocity v.

【0030】そこで、速度とエネルギーとの換算テーブ
ルを予め準備しておき、前記換算テーブルからエネルギ
ーを算出するものである。
Therefore, a speed / energy conversion table is prepared in advance, and the energy is calculated from the conversion table.

【0031】この実施例では、推論22部による判別
は、図10および図11に示されるメンバーシップ関数
および下記の表1〜表3のファジィルールによって行
う。
In this embodiment, the determination by the inference unit 22 is performed by the membership functions shown in FIGS. 10 and 11 and the fuzzy rules shown in Tables 1 to 3 below.

【0032】すなわち、図10(A)は特徴量1(ES
UM)のメンバーシップ関数を示し、「SLM」、「M
DL」、「BIG」の3個のラベルを有しており、図1
0(B)は特徴量2(SESUM)のメンバーシップ関
数を示し、「SML」、「MDL」、「BIG」の3個
のラベルを有しており、図10(C)は特徴量3(T
S)のメンバーシップ関数を示し、「SML」、「BI
G」の2個のラベルを有しており、図10(D)は特徴
量4(TB)のメンバーシップ関数を示し、「SM
L」、「BIG」の2個のラベルを有している。
That is, FIG. 10A shows that the feature quantity 1 (ES
UM) membership function, "SLM", "M
It has three labels, "DL" and "BIG".
0 (B) shows the membership function of the feature amount 2 (SESUM), which has three labels of “SML”, “MDL”, and “BIG”, and FIG. 10C shows the feature amount 3 ( T
S) shows the membership function of "SML", "BI
10D has two labels, “G”, and FIG. 10D shows the membership function of the feature amount 4 (TB).
It has two labels, "L" and "BIG".

【0033】図11は後件部である判定出力のメンバー
シップ関数を示しており、「unout(警報非出
力)」、「out(警報出力)」の2個のラベルを有し
ている。
FIG. 11 shows the membership function of the judgment output which is the consequent part, and has two labels, "unout (alarm non-output)" and "out (alarm output)".

【0034】また、ファジィルールは、次の表1〜表3
の通りであり、この実施例では、エネルギーに対応する
特徴量1,2に基づいて、表1のファジィルールに従っ
てファジィ推論を行い、この推論によって「un ou
t」であると判定されたときには、表2のファジィルー
ルに従って、また、「out」であると判定されたとき
には、、表3のファジィルールに従って、周期度数に対
応する特徴量3,4に基づいてファジィ推論して最終的
に、判定する。
Fuzzy rules are shown in Tables 1 to 3 below.
In this embodiment, fuzzy inference is performed according to the fuzzy rules in Table 1 based on the feature quantities 1 and 2 corresponding to energy, and "un ou"
When it is determined to be “t”, the fuzzy rule in Table 2 is used. When it is determined to be “out”, the fuzzy rule is used in Table 3 to determine the feature amounts 3 and 4 corresponding to the periodic frequencies. Finally, fuzzy inference is performed to make a judgment.

【0035】すなわち、表2は、最初のファジィ推論で
「un out」と判定されたときのファジィルール、
表3は最初のファジィ推論で「out」と判定されたと
きのファジィルールである。
That is, Table 2 shows the fuzzy rule when the first fuzzy inference determines "un out".
Table 3 shows the fuzzy rules when the first fuzzy inference determines “out”.

【0036】[0036]

【表1】 [Table 1]

【0037】[0037]

【表2】 [Table 2]

【0038】[0038]

【表3】 [Table 3]

【0039】この推論部22によるファジィ推論は、図
12に示されるように、先ず、データをサンプリングし
(ステップ1)、上述の4種類の特徴量1〜4を抽出し
(ステップ2)、次のようにして行われる(ステップ
3)。
In the fuzzy inference by the inference unit 22, as shown in FIG. 12, first, data is sampled (step 1), the above-mentioned four types of feature quantities 1 to 4 are extracted (step 2), and then (Step 3).

【0040】すなわち、特徴量1(ESUM)および特
徴量2(SESUM)により、表1の各ファジィルール
の対応するメンバーシップ関数において適合度が求めら
れる。そして、各ファジィルール毎に、各前件部の適合
度の最も小さい値が前件部適合度として選択される(M
IN演算)。このように各ファジィルールにおいて得ら
れる前件部適合度によって各ファジィルールの後件部に
関する各メンバーシップ関数が裁断され、さらに、裁断
されたすべてのファジィルールに関する各メンバーシッ
プ関数が重ね合わされ(MAX演算)、重ね合わせ図形
の重心位置に対応する位置の出力値が求められ、この出
力値によって、地震(「out(警報出力)」)である
か否かが判定される。
That is, the degree of conformity is obtained in the membership function corresponding to each fuzzy rule in Table 1 by the characteristic amount 1 (ESUM) and the characteristic amount 2 (SESUM). Then, for each fuzzy rule, the smallest value of the conformance of each antecedent part is selected as the antecedent conformity (M
IN operation). In this way, the membership functions related to the consequent part of each fuzzy rule are cut by the conformance of the antecedent part obtained in each fuzzy rule, and the membership functions related to all the cut fuzzy rules are overlapped (MAX Calculation), the output value of the position corresponding to the position of the center of gravity of the superimposed figure is obtained, and it is determined whether or not there is an earthquake (“out (alarm output)”) based on this output value.

【0041】この最初のファジィ推論によって「un
out」であると判定されると、特徴量3(TS)およ
び特徴量4(TB)により、表2の各ファジィルールの
対応するメンバーシップ関数において適合度が求められ
る。そして、各ファジィルール毎に、各前件部の適合度
の最も小さい値が前件部適合度として選択される(MI
N演算)。このように各ファジィルールにおいて得られ
る前件部適合度によって各ファジィルールの後件部に関
する各メンバーシップ関数が裁断され、さらに、裁断さ
れたすべてのファジィルールに関する各メンバーシップ
関数が重ね合わされ(MAX演算)、重ね合わせ図形の
重心位置に対応する位置の出力値が求められ、この出力
値によって、最終的に判定される。
By this first fuzzy inference, "un
If it is determined to be “out”, the goodness of fit is obtained in the membership function corresponding to each fuzzy rule in Table 2 by the feature amount 3 (TS) and the feature amount 4 (TB). Then, for each fuzzy rule, the smallest value of the matching degree of each antecedent part is selected as the antecedent part matching degree (MI.
N operation). In this way, the membership functions related to the consequent part of each fuzzy rule are cut by the conformance of the antecedent part obtained in each fuzzy rule, and the membership functions related to all the cut fuzzy rules are overlapped (MAX Calculation), the output value at the position corresponding to the position of the center of gravity of the superimposed figure is obtained, and the final determination is made based on this output value.

【0042】また、最初のファジィ推論によって「ou
t」であると判定されると、特徴量3(TS)および特
徴量4(TB)により、表3の各ファジィルールの対応
するメンバーシップ関数において適合度が求められる。
そして、各ファジィルール毎に、各前件部の適合度の最
も小さい値が前件部適合度として選択される(MIN演
算)。このように各ファジィルールにおいて得られる前
件部適合度によって各ファジィルールの後件部に関する
各メンバーシップ関数が裁断され、さらに、裁断された
すべてのファジィルールに関する各メンバーシップ関数
が重ね合わされ(MAX演算)、重ね合わせ図形の重心
位置に対応する位置の出力値が求められ、この出力値に
よって、最終的に地震(「out」)であるか否かが判
定される。
In addition, the first fuzzy inference causes "ou
If it is determined to be “t”, the goodness of fit is obtained in the membership function corresponding to each fuzzy rule in Table 3 from the feature quantity 3 (TS) and the feature quantity 4 (TB).
Then, for each fuzzy rule, the smallest value of the matching degree of each antecedent part is selected as the antecedent part matching degree (MIN calculation). In this way, the membership functions related to the consequent part of each fuzzy rule are cut by the conformance of the antecedent part obtained in each fuzzy rule, and the membership functions related to all the cut fuzzy rules are overlapped (MAX Calculation), an output value at a position corresponding to the position of the center of gravity of the superimposed figure is obtained, and it is finally determined whether or not there is an earthquake (“out”) based on this output value.

【0043】次に、この推論部22の判定出力を設置状
況を考慮したものとなるように、ゲイン調整部26で判
定出力値を補正する補正部23の動作を説明する。
Next, the operation of the correction unit 23 for correcting the determination output value by the gain adjustment unit 26 so that the determination output of the inference unit 22 will be considered in consideration of the installation situation will be described.

【0044】学習部25は、初期設定時などにおける外
部からの操作によって、切換回路24を介して加速度波
形が与えられ、これに基づいて、常微振動(正常時にお
ける通常の振動)のエネルギーレベルを算出し、図13
および下記の表4に示される関係に基づいて、推論部2
2からの判定出力に対するゲイン調整量、すなわち、補
正係数を求めるものである。
The learning section 25 is given an acceleration waveform through the switching circuit 24 by an operation from the outside at the time of initial setting or the like, and based on this, an energy level of ordinary vibration (normal vibration in normal time). Is calculated as shown in FIG.
And the inference unit 2 based on the relationship shown in Table 4 below.
The gain adjustment amount, that is, the correction coefficient, for the determination output from 2 is obtained.

【0045】[0045]

【表4】 [Table 4]

【0046】この学習部25では、図14に示されるよ
うに、加速度波形から5ミリ秒毎に振動加速度をサンプ
リングし(ステップ1)、加速度波形がゼロクロスする
周期を求め(ステップ2)、推論部22と同様にして常
微振動のエネルギーレベルを算出し(ステップ3)、こ
のエネルギーレベルを入力としてゲイン調整量を求め、
10秒経過したか否かを判断し(ステップ5)、10秒
経過したときには、終了する。すなわち、この実施例で
は、10秒間に亘って学習を行う。
In this learning unit 25, as shown in FIG. 14, vibration acceleration is sampled from the acceleration waveform every 5 milliseconds (step 1), and a cycle at which the acceleration waveform crosses zero is obtained (step 2). The energy level of microvibration is calculated in the same manner as 22 (step 3), and the gain adjustment amount is obtained by using this energy level as an input,
It is determined whether 10 seconds have passed (step 5), and when 10 seconds have passed, the process ends. That is, in this embodiment, learning is performed for 10 seconds.

【0047】このようして学習部25で得られたゲイン
調整量で推論部22の判定出力を補正する。
In this way, the judgment output of the inference unit 22 is corrected by the gain adjustment amount obtained by the learning unit 25.

【0048】したがって、設置状況に応じた判別が行え
ることになる。
Therefore, it is possible to make a determination according to the installation situation.

【0049】さらに、この実施例では、周囲環境等の影
響によつて、センサ出力のドリフトが考えられるので、
このドリフト補正を次のようして行っている。
Furthermore, in this embodiment, since the drift of the sensor output can be considered due to the influence of the surrounding environment and the like,
This drift correction is performed as follows.

【0050】すなわち、図15に示されるように、検出
加速度が検出レベル、例えば、+5galを越えて10
秒以内にセンサの原点値とクロスしない場合には、ドリ
フトが発生したものと判断し、そのときの測定値をドリ
フト補正値とするものである。
That is, as shown in FIG. 15, the detected acceleration exceeds the detection level, for example, +5 gal and is 10
When it does not cross the origin value of the sensor within a second, it is determined that drift has occurred, and the measured value at that time is used as the drift correction value.

【0051】このように、振動加速度波形から特徴量を
抽出して地震を判別して警報を出力するようにしている
ので、単に加速度の大きさのみで地震を判別する従来例
に比べて正確な判別が可能である。
As described above, since the feature quantity is extracted from the vibration acceleration waveform and the earthquake is discriminated and the alarm is output, it is more accurate than the conventional example in which the earthquake is discriminated only by the magnitude of the acceleration. It can be distinguished.

【0052】この振動判別装置は、外部から予め設定さ
れる検出レベルに応じて地震を判別できるので、例え
ば、高精度が要求される工作機械に影響を及ぼすような
震動を検出をすることも可能であり、これによって、工
作機械による加工不良の低減を図ることができる。
Since this vibration discriminating apparatus can discriminate an earthquake according to a detection level preset from the outside, it is possible to detect a vibration that affects a machine tool requiring high accuracy, for example. Therefore, it is possible to reduce machining defects due to the machine tool.

【0053】また、振動の検出には、静電容量方式の加
速度センサを用いているので、従来の地震センサに比べ
てコストの低減を図ることができる。
Further, since the capacitance type acceleration sensor is used for detecting the vibration, the cost can be reduced as compared with the conventional seismic sensor.

【0054】図16は、本発明の他の実施例の振動判別
装置27の構成図であり、この振動判別装置27は、図
17に示されるように、エアーシリンダ28に取り付け
られて該エアーシリンダ28の異常振動を検出するもの
であり、上述の実施例に対応する部分には、同一の参照
符を付す。
FIG. 16 is a block diagram of a vibration discriminating apparatus 27 according to another embodiment of the present invention. The vibration discriminating apparatus 27 is attached to an air cylinder 28 as shown in FIG. The abnormal vibrations of No. 28 are detected, and the portions corresponding to the above-described embodiment are designated by the same reference numerals.

【0055】この実施例の振動判別装27置は、振動を
検出して対応する周波数信号を出力する振動検出部1
と、この振動検出部1の出力に基づいて、異常な振動で
あるか否かを判定するマイクロコンピュータ29と、外
部から検出レベルなどの設定を行う設定部3と、マイク
ロコンピュータ29の出力に応答して異常時に警報信号
などを図示しない警報装置に出力する出力部4とを備え
ている。
The vibration discriminating device 27 of this embodiment detects the vibration and outputs the corresponding frequency signal to the vibration detecting unit 1.
And a microcomputer 29 that determines whether or not the vibration is abnormal based on the output of the vibration detection unit 1, a setting unit 3 that sets the detection level and the like from the outside, and a response to the output of the microcomputer 29. In addition, the output unit 4 outputs an alarm signal or the like to an alarm device (not shown) when an abnormality occurs.

【0056】振動を検出して加速度波形を得て移動平均
処理を施すまでの処理は、上述の実施例と同様である。
The process from detecting vibration to obtaining the acceleration waveform and performing the moving average process is the same as in the above-described embodiment.

【0057】この実施例では、移動平均処理の後、振動
周波数を帯域別に分類するために、2次フィルタ(ソフ
トウェアLPF)を通している。
In this embodiment, after the moving average processing, a secondary filter (software LPF) is used to classify the vibration frequency into bands.

【0058】すなわち、図18に示されるように、移動
平均処理をした加速度波形の振幅出力YiおよびYiが
原点から離れて次に原点をクロスするまでの経過時間t
(1/2周期)を入力とし、この周期tによって範囲を
設けて層別し、その結果から入力波形Yiにフィルタ係
数knを掛け合わせて2次フィルタの出力とするもので
ある。この2次フィルタの出力に基づいて、後述の学習
や推論が行われる。
That is, as shown in FIG. 18, the elapsed time t until the amplitude outputs Yi and Yi of the acceleration waveform subjected to the moving average processing separate from the origin and cross the origin next time.
(1/2 cycle) is input, a range is provided by this cycle t, and stratification is performed. From the result, the input waveform Yi is multiplied by the filter coefficient kn to obtain the output of the secondary filter. Learning and inference to be described later are performed based on the output of this secondary filter.

【0059】この実施例のマイクロコンピュータ29
は、図19の機能ブロック図に示されるように、エアー
シリンダ28の正常動作時における振動加速度波形を予
め学習する学習部30と、予め学習した振動加速度波形
と振動検出部1の出力に対応する振動加速度波形とに基
づいて、エアーシリンダ28の異常振動を判別する判別
部としての推論部としての機能を備えている。
Microcomputer 29 of this embodiment
19 corresponds to the learning unit 30 that preliminarily learns the vibration acceleration waveform during normal operation of the air cylinder 28, the vibration acceleration waveform that has been preliminarily learned, and the output of the vibration detection unit 1, as shown in the functional block diagram of FIG. It has a function as an inference unit as a discriminating unit for discriminating abnormal vibration of the air cylinder 28 based on the vibration acceleration waveform.

【0060】この実施例では、設備を設置したときやメ
ンテナンスが完了したときに、図20のフローチャート
に示されるように、エアーシリンダ28の正常動作時に
おける振動加速度波形を予め学習する。
In this embodiment, when the equipment is installed or the maintenance is completed, the vibration acceleration waveform during the normal operation of the air cylinder 28 is learned in advance, as shown in the flowchart of FIG.

【0061】すなわち、外部スイッチによって波形学習
モードとなり(ステップ1)、下死点から上死点へ動作
を開始(行き)し(ステップ2)、そのときの加速度波
形データを採取し(ステップ3)、さらに、上死点から
下死点へ動作を開始し(戻り)(ステップ4)、そのと
きの加速度波形データを採取し(ステップ5)、4サイ
クル終了したか否かを判断し(ステップ6)、4サイク
ル終了したときには、学習データを記憶して(ステップ
7)終了する。
That is, the external switch enters the waveform learning mode (step 1), the operation is started (goes) from the bottom dead center to the top dead center (step 2), and the acceleration waveform data at that time is sampled (step 3). Further, the operation is started from the top dead center to the bottom dead center (return) (step 4), the acceleration waveform data at that time is sampled (step 5), and it is judged whether or not 4 cycles are completed (step 6). ) When the four cycles are completed, the learning data is stored (step 7) and the process is completed.

【0062】この学習モードでは、波形データから次の
基本データを採取する。
In this learning mode, the following basic data is collected from the waveform data.

【0063】行きのサイクルタイムTSF 戻りのサイクルタイムTSR 行きの第1ピーク加速度FGF 行きの第2ピーク加速度SGF 戻りの第1ピーク加速度FGR 戻りの第2ピーク加速度SGR 設定(しきい値)加速度以上の加速度が発生した回数
GPLS 次に、学習が終了した後の通常動作時の処理を図21の
フローチャートに基づいて説明する。
Going cycle time TSF Returning cycle time TSR Going first peak acceleration FGF Going second peak acceleration SGF Returning first peak acceleration FGR Returning second peak acceleration SGR Setting (threshold) acceleration or more Number of times acceleration has occurred GPLS Next, processing during normal operation after the learning is completed will be described with reference to the flowchart in FIG.

【0064】先ず、加速度波形データを採取し(ステッ
プ1)、さらに、行きおよび戻りサイクルタイムを採取
し(ステップ2)、後述のように特徴量を抽出してファ
ジィ推論することにより、動作状態を解析し(ステップ
3)、正常であるか否かを判断し(ステップ4)、異常
な振動であるときには、警報を出力する(ステップ
5)。
First, the acceleration waveform data is sampled (step 1), the going and returning cycle times are sampled (step 2), and the feature state is extracted and fuzzy inference is performed as described later to determine the operating state. It is analyzed (step 3) and it is judged whether or not it is normal (step 4), and when it is abnormal vibration, an alarm is output (step 5).

【0065】この通常動作時においては、初期学習と同
様のデータを採取し、次のデータを特徴量とする。
In this normal operation, the same data as in the initial learning is sampled and the next data is used as the feature amount.

【0066】初期のGPLS−現在のGPLS=GP
LSS 初期のTSF−現在のTSF=TSFS 初期のTSR−現在のTSR=TSRS 初期のFGF−現在のFGF=FGFS 初期のFGR−現在のFGR=FGRS これらの5種類の特徴量を入力としてファジィ推論して
異常な振動であるか否かを判別する。
Initial GPLS-Current GPLS = GP
LSS Initial TSF-Current TSF = TSFS Initial TSR-Current TSR = TSRS Initial FGF-Current FGF = FGFS Initial FGR-Current FGR = FGRS Fuzzy inference is performed using these five types of feature values as inputs. Determine whether the vibration is abnormal.

【0067】このファジィ推論は、図22および図23
に示されるメンバーシップ関数および下記の表5のファ
ジィルールによって行う。
This fuzzy reasoning is shown in FIG. 22 and FIG.
The membership function shown in Table 1 and the fuzzy rules in Table 5 below are used.

【0068】すなわち、図22(A)は特徴量1(GP
LSS)のメンバーシップ関数を示し、「SML」、
「MSL」、「MDL」、「MBG」、「BIG」の5
個のラベルを有しており、図22(B)は特徴量2(T
SFS)のメンバーシップ関数を示し、「SML」、
「MSL」、「MDL」、「MBG」、「BIG」の5
個のラベルを有しており、図22(C)は特徴量3(T
SRS)のメンバーシップ関数を示し、「SML」、
「MSL」、「MDL」、「MBG」、「BIG」の5
個のラベルを有しており、図22(D)は特徴量4(F
GFS)のメンバーシップ関数を示し、「SML」、
「MSL」、「MDL」、「MBG」、「BIG」の5
個のラベルを有しており、図22(E)は特徴量5(F
GRS)のメンバーシップ関数を示し、「SML」、
「MSL」、「MDL」、「MBG」、「BIG」の5
個のラベルを有している。
That is, FIG. 22A shows that the feature quantity 1 (GP
LSS) membership function, "SML",
5 of "MSL", "MDL", "MBG", "BIG"
22B, the feature quantity 2 (T
SFS) membership function, "SML",
5 of "MSL", "MDL", "MBG", "BIG"
22C, the feature quantity 3 (T
SRS) membership function, "SML",
5 of "MSL", "MDL", "MBG", "BIG"
22 (D) has 4 labels.
GFS) membership function, "SML",
5 of "MSL", "MDL", "MBG", "BIG"
22E, the feature quantity 5 (F
GRS) membership function, "SML",
5 of "MSL", "MDL", "MBG", "BIG"
It has individual labels.

【0069】図23は後件部である判定出力のメンバー
シップ関数値を示しており、「NB(良好)」、「NM
(良)」、「ZR(正常)」、「やや停止確率大(メン
テナンス準備要)」、「停止確率大(メンテナンス
要)」の5個のラベルを有している。
FIG. 23 shows the membership function values of the judgment output, which is the consequent part, and is "NB (good)" and "NM".
It has five labels, “Good”, “ZR (normal)”, “Slightly stopped probability (maintenance preparation required)”, and “Stop probability large (maintenance required)”.

【0070】また、ファジィルールは、次の表5の通り
である。
The fuzzy rules are as shown in Table 5 below.

【0071】[0071]

【表5】 [Table 5]

【0072】このように、正常動作時の加速度波形から
得られたデータと動作時の加速度波形から得られたデー
タとから特徴量を抽出し、ファジィ推論して異常振動を
判別するので、エアーシリンダ28が異常停止する以前
に、異常を検出することができる、すなわち、故障の予
知ができることになる。なお、図24(A)に1/2サ
イクルにおける正常動作時の加速度波形、図24(B)
に異常振動時の加速度波形の例を示している。
As described above, the feature amount is extracted from the data obtained from the acceleration waveform during normal operation and the data obtained from the acceleration waveform during operation, and fuzzy inference is performed to determine abnormal vibration. Before the 28 stops abnormally, the abnormality can be detected, that is, the failure can be predicted. Note that FIG. 24 (A) shows an acceleration waveform during normal operation in 1/2 cycle, and FIG.
Shows an example of acceleration waveform during abnormal vibration.

【0073】上述の実施例では、エアーシリンダの異常
振動を判別したけれども、本発明は、他のアクチュエー
タやその他の機械の異常振動の判別にも適用できるのは
勿論である。
In the above-mentioned embodiment, the abnormal vibration of the air cylinder is discriminated, but it goes without saying that the present invention can be applied to the discrimination of the abnormal vibration of other actuators and other machines.

【0074】[0074]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、振動加速
度波形から予め設定された検出レベルに基づいて複数の
特徴量を抽出して地震を判別するので、正確な判別が行
えることになる。
As described above, according to the present invention, a plurality of characteristic quantities are extracted from a vibration acceleration waveform based on a preset detection level to discriminate an earthquake, so that an accurate discrimination can be performed. ..

【0075】また、機械の正常動作時の振動加速度波形
を予め学習しておき、この学習した振動加速度波形と振
動検出部で検出される振動加速度波形とに基づいて、機
械の異常振動を判別するので、機械が完全に故障する以
前にそれを検知することが可能となる。
Further, the vibration acceleration waveform during normal operation of the machine is learned in advance, and the abnormal vibration of the machine is discriminated based on the learned vibration acceleration waveform and the vibration acceleration waveform detected by the vibration detecting section. So it is possible to detect it before the machine completely fails.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明が適用された実施例の全体構成を示すブ
ロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing an overall configuration of an embodiment to which the present invention is applied.

【図2】容量センサの分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of a capacitance sensor.

【図3】容量センサの断面図である。FIG. 3 is a sectional view of a capacitance sensor.

【図4】振動のよる周波数の変化を示す波形図である。FIG. 4 is a waveform diagram showing a change in frequency due to vibration.

【図5】振動加速度の波形図である。FIG. 5 is a waveform diagram of vibration acceleration.

【図6】移動平均処理の構成図である。FIG. 6 is a block diagram of moving average processing.

【図7】移動平均処理を説明するための加速度波形図で
ある。
FIG. 7 is an acceleration waveform diagram for explaining moving average processing.

【図8】図1の実施例の機能ブロック図である。FIG. 8 is a functional block diagram of the embodiment shown in FIG.

【図9】特徴量の抽出を説明するための加速度波形図で
ある。
FIG. 9 is an acceleration waveform diagram for explaining extraction of a feature amount.

【図10】前件部のメンバーシップ関数を示す図であ
る。
FIG. 10 is a diagram showing a membership function of the antecedent part.

【図11】後件部のメンバーシップ関数を示す図であ
る。
FIG. 11 is a diagram showing a membership function of a consequent part.

【図12】動作説明に供するフローチャートである。FIG. 12 is a flowchart for explaining the operation.

【図13】ゲインとエネルギーレベルとの関係を示す図
である。
FIG. 13 is a diagram showing a relationship between gain and energy level.

【図14】動作説明に供するフローチャートである。FIG. 14 is a flowchart for explaining the operation.

【図15】ドリフト補正を説明するための図である。FIG. 15 is a diagram for explaining drift correction.

【図16】本発明の他の実施例のブロック図である。FIG. 16 is a block diagram of another embodiment of the present invention.

【図17】図16の実施例が適用されたエアーシリンダ
の斜視図である。
FIG. 17 is a perspective view of an air cylinder to which the embodiment of FIG. 16 is applied.

【図18】2次フィルタの説明図である。FIG. 18 is an explanatory diagram of a secondary filter.

【図19】図16の実施例の機能ブロック図である。FIG. 19 is a functional block diagram of the embodiment shown in FIG.

【図20】動作説明に供するフローチャートである。FIG. 20 is a flowchart for explaining the operation.

【図21】動作説明に供するフローチャートである。FIG. 21 is a flowchart for explaining the operation.

【図22】前件部のメンバーシップ関数を示す図であ
る。
FIG. 22 is a diagram showing a membership function of the antecedent part.

【図23】後件部のメンバーシップ関数を示す図であ
る。
FIG. 23 is a diagram showing a membership function of the consequent part.

【図24】正常時および異常時の加速度波形を示す図で
ある。
FIG. 24 is a diagram showing acceleration waveforms in a normal state and an abnormal state.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 振動検出部 2,29 マイクロコンピュータ 22,31 推論部 25.30 学習部 1 Vibration detection part 2,29 Microcomputer 22,31 Inference part 25.30 Learning part

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】振動を検出する振動検出部と、 該振動検出部の出力に対応する振動加速度波形から予め
設定された検出レベルに基づいて複数の特徴量を抽出
し、これら特徴量に基づいて、地震を判別する判別部
と、 を備えることを特徴とする振動判別装置。
1. A vibration detecting section for detecting vibration, and a plurality of characteristic quantities are extracted from a vibration acceleration waveform corresponding to the output of the vibration detecting section based on a preset detection level, and based on these characteristic quantities. A vibration discriminating device comprising: a discriminating unit for discriminating an earthquake.
【請求項2】機械の異常振動を判別する振動判別装置で
あって、 前記機械の振動を検出する振動検出部と、 前記機械の正常動作時における前記振動検出部の出力に
対応する振動加速度波形を予め学習する学習部と、 予め学習した振動加速度波形と前記振動検出部の出力に
対応する振動加速度波形とに基づいて、前記機械の異常
振動を判別する判別部と、 を備えることを特徴とする振動判別装置。
2. A vibration discriminating apparatus for discriminating abnormal vibration of a machine, wherein a vibration detecting section for detecting vibration of the machine, and a vibration acceleration waveform corresponding to an output of the vibration detecting section during normal operation of the machine. And a discriminating unit for discriminating abnormal vibration of the machine based on the vibration acceleration waveform learned in advance and the vibration acceleration waveform corresponding to the output of the vibration detecting unit. Vibration discriminating device.
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