JPH05338147A - Ink jet printer - Google Patents

Ink jet printer

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Publication number
JPH05338147A
JPH05338147A JP15180392A JP15180392A JPH05338147A JP H05338147 A JPH05338147 A JP H05338147A JP 15180392 A JP15180392 A JP 15180392A JP 15180392 A JP15180392 A JP 15180392A JP H05338147 A JPH05338147 A JP H05338147A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
side wall
ink
pressure
pressure chamber
electrodes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15180392A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazunori Mine
和範 峰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba TEC Corp
Original Assignee
Tokyo Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electric Co Ltd filed Critical Tokyo Electric Co Ltd
Priority to JP15180392A priority Critical patent/JPH05338147A/en
Publication of JPH05338147A publication Critical patent/JPH05338147A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To simplify a structure of an ink jet head by a method wherein a suitable ink discharge pressure is obtained by making an arranged interval of a pressure chamber dense. CONSTITUTION:A piezoelectric material 3 is provided wherein many grooves 5 of which each one end is connected to an orifice 10 and of which an inside is connected to an ink feed part and many side walls 6 which are polarized in a parallel direction with a depth direction of the grooves 5, are in parallel with each other alternately arranged. An ink jet head 1 is provided wherein a pair of electrodes 8, 9 are arranged at both ends of a polarization direction of the side wall 6 and many pressure chambers 7 are formed by blocking up an opening surface of the groove 5 by bonding a freely flexible sheet 4 set to a specific thickness to a crest part of the side wall 7. Then, a voltage impression control means is provided wherein voltage of a different polarity is impressed to the electrodes 8, 9 arranged on the side walls 6 opposed to each other via the pressure chamber 7 in order to discharge ink and to the electrodes 8, 9 arranged on the other side walls 6 positioned outside the side wall 6.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットプリン
タに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet printer.

【0002】[0002]

【従来の技術】まず、特開昭62−56150号公報に
記載された従来例を図7ないし図10に示す。まず、第
一の従来例を図7に示す。圧電体プレート50には、複
数の側壁51と、これらの側壁51の丈より低い突部5
2とが交互に配列されているとともに、側壁51と突部
52との間に深溝53が形成され、各側壁51の頂部に
はカバープレート54が接合され、これにより、各側壁
51の間にインクを溜めるキャビティ55が形成されて
いる。また、突部52の頂部には電極56が形成され、
これらの電極56と対をなす電極57が前記圧電体プレ
ート50の一面に形成されている。この場合、圧電体プ
レート50は板厚方向に分極されている。したがって、
特定のキャビティ55に対応する対の電極56,57に
電位差が異なる電圧を印加し、突部52を伸長させてキ
ャビティ55の体積を縮小することにより、内部のイン
ク圧が高められ、キャビティ55の長手方向の端部に形
成されたオリフィスからインク滴が飛翔される。
2. Description of the Related Art First, FIGS. 7 to 10 show a conventional example described in JP-A-62-56150. First, a first conventional example is shown in FIG. The piezoelectric plate 50 has a plurality of side walls 51 and a protrusion 5 having a height lower than those of the side walls 51.
2 are arranged alternately, a deep groove 53 is formed between the side wall 51 and the protrusion 52, and a cover plate 54 is joined to the top of each side wall 51, whereby between the side walls 51. A cavity 55 for storing ink is formed. Further, an electrode 56 is formed on the top of the protrusion 52,
An electrode 57 paired with these electrodes 56 is formed on one surface of the piezoelectric plate 50. In this case, the piezoelectric plate 50 is polarized in the plate thickness direction. Therefore,
By applying voltages having different potential differences to the pair of electrodes 56 and 57 corresponding to a specific cavity 55 and extending the protrusion 52 to reduce the volume of the cavity 55, the internal ink pressure is increased, and the cavity 55 has a higher pressure. Ink droplets are ejected from the orifice formed at the end portion in the longitudinal direction.

【0003】次に、第二の従来例を図8ないし図10に
示す。まず、図9に示すように、圧電体プレート50に
は、複数のキャビティ55と側壁51とが平行に交互に
配列されて形成され、隣接するキャビティ55の間に位
置する側壁51にはスリット58が形成されている。各
キャビティ55の両端には、インク供給部に接続される
供給孔59とオリフィス60とが形成されている。ま
た、図10に示すように、カバープレート54にはスリ
ット58に対向する長孔61が形成されている。そし
て、図8に示すように、側壁51の上下両端には電極5
6,57が形成され、側壁51の頂部にカバープレート
54を接合することにより、キャビティ55が閉塞され
ている。この場合、圧電体プレート50は板厚方向に分
極されている。したがって、特定のキャビティ55の両
側に位置する側壁51に形成された対の電極56,57
に電位差が異なる電圧を印加し、側壁51を分極方向に
縮小させるとともに分極方向とは直交する方向には伸長
させてキャビティ55の体積を縮小することにより、内
部のインク圧が高められ、キャビティ55の長手方向の
端部に形成されたオリフィス60からインク滴が飛翔さ
れる。
Next, a second conventional example is shown in FIGS. First, as shown in FIG. 9, a plurality of cavities 55 and side walls 51 are alternately arranged in parallel in a piezoelectric plate 50, and slits 58 are formed in the side walls 51 located between adjacent cavities 55. Are formed. At both ends of each cavity 55, a supply hole 59 and an orifice 60 connected to the ink supply section are formed. Further, as shown in FIG. 10, a long hole 61 facing the slit 58 is formed in the cover plate 54. Then, as shown in FIG. 8, the electrodes 5 are formed on both upper and lower ends of the side wall 51.
6 and 57 are formed, and the cavity 55 is closed by joining the cover plate 54 to the top of the side wall 51. In this case, the piezoelectric plate 50 is polarized in the plate thickness direction. Therefore, the pair of electrodes 56, 57 formed on the sidewalls 51 located on both sides of the specific cavity 55.
By applying voltages having different potential differences to the side walls 51 in the polarization direction and extending in the direction orthogonal to the polarization direction to reduce the volume of the cavity 55, the ink pressure inside the cavity 55 is increased. Ink droplets are ejected from the orifice 60 formed at the end portion in the longitudinal direction of the.

【0004】さらに、特開昭60−90770号公報に
記載された従来例を図11及び図12に示す。すなわ
ち、図12に示すように、基板62には複数の圧力室6
3が形成され、これらの圧力室63の一端にはオリフィ
ス64が形成され、他端はインク供給路65に接続され
ている。また、基板62にはインク供給路65をインク
供給部(図示せず)に接続するインク供給管66が設け
られている。前記基板62の上面に接合される振動板6
7には、前記圧力室63の上面に対向する電極68が形
成されている。さらに、圧電素子69には前記圧力室6
3に対向する複数の支柱70と複数の溝71とが交互に
配列されて形成され、各支柱70の下端には前記電極6
8に接続される電極72が形成され、圧電素子69の上
面には電極73が形成されている。さらに、両側に支柱
74を有する剛性部材75が設けられ、この剛性部材7
5の下面には前記電極73に接続される電極76が形成
されている。そして、図11に示すように、前記基板6
2と前記振動板67と前記圧電素子69と前記剛性部材
75とを順次接合することにより、インクジェットヘッ
ドが形成される。
Further, a conventional example described in Japanese Patent Laid-Open No. 60-90770 is shown in FIGS. 11 and 12. That is, as shown in FIG. 12, the substrate 62 includes a plurality of pressure chambers 6.
3, an orifice 64 is formed at one end of these pressure chambers 63, and the other end is connected to the ink supply path 65. Further, the substrate 62 is provided with an ink supply pipe 66 that connects the ink supply path 65 to an ink supply unit (not shown). Vibration plate 6 bonded to the upper surface of the substrate 62
An electrode 68 facing the upper surface of the pressure chamber 63 is formed at 7. Further, the pressure chamber 6 is provided in the piezoelectric element 69.
3 are formed by alternately arranging a plurality of columns 70 and a plurality of grooves 71, and the electrodes 6 are formed at the lower ends of the columns 70.
The electrode 72 connected to 8 is formed, and the electrode 73 is formed on the upper surface of the piezoelectric element 69. Further, a rigid member 75 having columns 74 on both sides is provided.
An electrode 76 connected to the electrode 73 is formed on the lower surface of the electrode 5. Then, as shown in FIG.
An ink jet head is formed by sequentially joining 2, the vibration plate 67, the piezoelectric element 69, and the rigid member 75.

【0005】したがって、電極76を接地し、特定の圧
力室63に対応する電極68に電圧を印加することによ
り、特定の圧力室63に対応する支柱70が伸長するた
め、振動板67の一部が変形され、その特定の圧力室6
3の体積が縮小され、内部のインク圧が高められてオリ
フィス64からインクが飛翔される。
Therefore, by grounding the electrode 76 and applying a voltage to the electrode 68 corresponding to the specific pressure chamber 63, the support column 70 corresponding to the specific pressure chamber 63 extends, so that a part of the vibration plate 67 is formed. Is deformed and its specific pressure chamber 6
The volume of 3 is reduced, the ink pressure inside is increased, and the ink is ejected from the orifice 64.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】図7に示すものは、ク
ロストーク(隣接するキャビティ55間の圧力干渉)を
小さくするために、各突部52と各側壁51との間にス
リット58が形成されているが、キャビティ55の体積
を縮小させるために、突部52を分極方向(上下方向)
に伸長させる時に、突部52は分極方向と直交する方向
に縮小する。これにより、キャビティ55の体積減少が
小さくなり、内部のインク圧を効果的に高めることがで
きない。突部52の幅を広くすれば、突部52の上方へ
の伸びに対するキャビティ55の体積の減少率を大き
く、インクの圧力上昇値を大きくすることができるが、
この場合には、一定の幅寸法内に多数のキャビティ55
を高密度に配列することができない。
In the structure shown in FIG. 7, a slit 58 is formed between each protrusion 52 and each side wall 51 in order to reduce crosstalk (pressure interference between adjacent cavities 55). However, in order to reduce the volume of the cavity 55, the projection 52 is polarized in the vertical direction.
When extended to, the protrusion 52 contracts in the direction orthogonal to the polarization direction. As a result, the volume reduction of the cavity 55 becomes small, and the internal ink pressure cannot be effectively increased. If the width of the protrusion 52 is widened, the reduction rate of the volume of the cavity 55 with respect to the upward extension of the protrusion 52 can be increased, and the pressure increase value of the ink can be increased.
In this case, a large number of cavities 55 within a certain width dimension.
Cannot be arranged in high density.

【0007】図8ないし図10に示すものは、キャビテ
ィ55の体積を縮小させるために、側壁51を分極方向
(上下方向)に縮小させるが、この時に側壁51は分極
方向と直交する幅方向には伸びるため、キャビティ55
の体積減少率を大きくしてインク圧の上昇値を大きくす
ることができる。しかしながら、クロストークを小さく
するために形成されたスリット58と長孔61とを位置
会わせしながら圧電体プレート50にカバープレート5
4を接合しなければならず、組立作業が困難である。
In FIGS. 8 to 10, the side wall 51 is contracted in the polarization direction (vertical direction) in order to reduce the volume of the cavity 55. At this time, the side wall 51 is arranged in the width direction orthogonal to the polarization direction. Is extended, the cavity 55
The volume decrease rate can be increased to increase the ink pressure increase value. However, the slit 58 and the long hole 61 formed to reduce the crosstalk are aligned with each other while the piezoelectric plate 50 is covered with the cover plate 5.
4 must be joined, and the assembly work is difficult.

【0008】図11及び図12に示すものは、剛性部材
75の厚さLgは振動板67の厚さに比して十分に厚
く、圧電素子69の歪は殆ど全て振動板67に伝達され
るとのことであり、具体的には、振動板67の厚さ10
μmに対して、剛性部材75の厚さLgは1mmに定め
られている。しかし、圧力室63はインクが充満されて
いるために、内部の圧力は瞬間的に数気圧程上昇するは
ずである。圧力室63の数をn、インクの体積弾性率を
K、インクの体積歪をε、圧電素子69の支柱70の幅
をWp、奥行寸法をbとすると、一つの圧力室63の圧
力上昇値は、 Δp=K・ε[pa] であり、この時に圧電素子69が受ける反力は、 f=Δp・Wp・b[N] である。また、圧電素子69の伸びをΔL、圧力室63
の高さをDc、圧力室63の幅をWcとすると、インク
の体積歪は、 ε=Wp・ΔL・b/Wc・Dc・b=Wp・ΔL/W
c・Dc である。
In FIGS. 11 and 12, the thickness Lg of the rigid member 75 is sufficiently thicker than the thickness of the vibration plate 67, and almost all distortion of the piezoelectric element 69 is transmitted to the vibration plate 67. Specifically, the thickness of the diaphragm 67 is 10
The thickness Lg of the rigid member 75 is set to 1 mm with respect to μm. However, since the pressure chamber 63 is filled with ink, the internal pressure should instantaneously rise by several atmospheres. Assuming that the number of pressure chambers 63 is n, the volumetric modulus of ink is K, the volumetric strain of ink is ε, the width of the column 70 of the piezoelectric element 69 is Wp, and the depth dimension is b, the pressure rise value of one pressure chamber 63. Is Δp = K · ε [pa], and the reaction force received by the piezoelectric element 69 at this time is f = Δp · Wp · b [N]. In addition, the expansion of the piezoelectric element 69 is ΔL, the pressure chamber 63
Is Dc and the width of the pressure chamber 63 is Wc, the volumetric strain of the ink is ε = Wp · ΔL · b / Wc · Dc · b = Wp · ΔL / W
c · Dc.

【0009】次に、n個の圧力室63からインク滴を同
時に飛翔させる場合を考える。この場合には、図13に
示すように、剛性部材75のn箇所に反力fを受けると
考えられる。この反力fを受ける範囲は、 l=(2n−1)・Wp[m] のように、nによって変化する。このn箇所に反力fが
加わる状態は分布荷重と考えられ、この分布荷重を単位
長さ当たりの力に換算した値は、 w=nf/l[N/m] である。この力wによる剛性部材75の中央部の撓み量
は、機械工作便覧等により明らかにされているように、 δmax=wl4/384・E・I である。ただし、Eは剛性部材75のヤング率であり、
Iは断面二次モーメントである。
Next, consider the case where ink droplets are simultaneously ejected from the n pressure chambers 63. In this case, as shown in FIG. 13, it is considered that the reaction force f is applied to the n portion of the rigid member 75. The range in which this reaction force f is received varies depending on n, as in l = (2n−1) · Wp [m]. A state in which the reaction force f is applied to the n points is considered to be a distributed load, and a value obtained by converting the distributed load into a force per unit length is w = nf / l [N / m]. Deflection of the central portion of the rigid member 75 by the force w, as is revealed by machining Binran a δmax = wl 4/384 · E · I. However, E is the Young's modulus of the rigid member 75,
I is the second moment of area.

【0010】ここで、剛性部材75の剛性によって、n
=1の場合には、剛性部材75の中央の撓み量δがゼロ
に近いものと考えると、一つの圧力室63の圧力上昇値
は、 Δp=K・ε[pa]=K・Wp・ΔL/Wc・Dc であるが、n=nの場合には、剛性部材75が中央でδ
max の撓み量をもって撓むため、圧力室63の圧力上昇
値は、 Δp’=K・Wp・(ΔL−δmax)/Wc・Dc となる。ここで、圧力上昇値のバラツキを20%とする
と、Δp’≧0.8Δpでなければならない筈であるか
ら、 δmax ≧ΔL×0.2 となる。また、δmax は一度に加圧する圧力室63の数
nに応じて変化する。その変化は次式によって表され
る。
Here, depending on the rigidity of the rigid member 75, n
In the case of = 1, assuming that the bending amount δ at the center of the rigid member 75 is close to zero, the pressure increase value of one pressure chamber 63 is Δp = K · ε [pa] = K · Wp · ΔL / Wc · Dc, but when n = n, the rigid member 75 has δ at the center.
Since the pressure chamber 63 is bent with a maximum bending amount, the pressure increase value of the pressure chamber 63 is Δp ′ = K · Wp · (ΔL−δmax) / Wc · Dc. Here, if the variation in the pressure increase value is 20%, it must be Δp ′ ≧ 0.8Δp, and therefore δmax ≧ ΔL × 0.2. Further, δmax changes according to the number n of the pressure chambers 63 that pressurize at once. The change is expressed by the following equation.

【0011】[0011]

【数1】 [Equation 1]

【0012】すなわち、一度に加圧する圧力室63の数
nを多くしても、剛性部材75の撓みを小さくするため
には、極めて剛性の高い剛性部材75を用いなければな
らない。また、基板62と、振動板67と、圧電素子6
9と、剛性部材75とを必要とするため、部品点数及び
加工箇所が多くなる。したがって、コストが高くなる問
題がある。
That is, even if the number n of the pressure chambers 63 to be pressurized at one time is increased, in order to reduce the bending of the rigid member 75, the rigid member 75 having extremely high rigidity must be used. Further, the substrate 62, the diaphragm 67, and the piezoelectric element 6
9 and the rigid member 75 are required, the number of parts and the number of processed parts are increased. Therefore, there is a problem that the cost becomes high.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明は、一端がオリフ
ィスに接続され内部がインク供給部に接続される多数の
溝と、これらの溝の深さ方向に対して平行な方向に分極
された多数の側壁とが平行に交互に配設された圧電体を
設け、前記側壁の分極方向の両端に対をなす電極を配設
し、所定の厚さに設定された屈撓自在の可撓性シートを
前記側壁の頂部に接合して前記溝の開口面を閉塞するこ
とにより多数の圧力室を形成してなるインクジェットヘ
ッドを設け、インクを吐出させるために特定された前記
圧力室を間に対峙する前記側壁に配設された前記電極
と、当該側壁の外側に位置する他の前記側壁に配設され
た前記電極とに、極性の異なる電圧を印加する電圧印加
制御手段を設けたものである。
According to the present invention, a large number of grooves, one end of which is connected to an orifice and the inside of which is connected to an ink supply unit, are polarized in a direction parallel to the depth direction of these grooves. A plurality of side walls are provided with piezoelectric bodies alternately arranged in parallel, and electrodes that form a pair are arranged at both ends of the side walls in the polarization direction. An ink jet head is provided in which a plurality of pressure chambers are formed by joining a sheet to the top of the side wall and closing the opening surface of the groove, and the pressure chambers specified for ejecting ink are faced to each other. Voltage applying control means for applying voltages having different polarities to the electrode arranged on the side wall and the electrode arranged on the other side wall located outside the side wall. ..

【0014】[0014]

【作用】本発明によれば、電圧印加制御手段によって電
極への電圧印加動作を制御することにより、インクを吐
出させるために特定された圧力室を間に対峙する側壁
と、これらの側壁の外側に位置する他の側壁との伸縮動
作を逆にすることができ、さらに、側壁の伸縮動作によ
って屈撓する可撓性シートの厚さを所定の厚さに設定し
たので、インクを吐出させるべく特定した圧力室の圧力
上昇値を高めて十分なインク吐出圧を得ることができ
る。また、二つ以上の圧力室のインクを同時に吐出させ
る場合には、電圧印加制御手段によって隣接関係にはな
い二つ以上離れた圧力室が特定されるため、隣接する圧
力室間のクロストークによる影響を小さくすることがで
きる。これにより、圧力室の配列間隔を密にすることが
できる。さらに、圧電体に形成された溝を可撓性シート
で閉塞するだけで圧力室を形成することができるため、
インクジェットヘッドの構造を簡略化することができ
る。
According to the present invention, by controlling the voltage application operation to the electrodes by the voltage application control means, the side wall facing the pressure chamber specified for ejecting the ink and the outside of these side walls. It is possible to reverse the expansion and contraction operation with the other side wall located at, and furthermore, since the thickness of the flexible sheet that bends due to the expansion and contraction operation of the side wall is set to a predetermined thickness, the ink should be ejected. A sufficient ink ejection pressure can be obtained by increasing the pressure rise value of the specified pressure chamber. Further, when ink of two or more pressure chambers is ejected at the same time, the voltage application control means specifies two or more pressure chambers that are not adjacent to each other, so that crosstalk between adjacent pressure chambers may occur. The impact can be reduced. Thereby, the arrangement interval of the pressure chambers can be reduced. Furthermore, since the pressure chamber can be formed only by closing the groove formed in the piezoelectric body with the flexible sheet,
The structure of the inkjet head can be simplified.

【0015】[0015]

【実施例】本発明の一実施例を図1ないし図6に基づい
て説明する。図1及び図2にインクジェットヘッド1の
構成を示す。基板2と、圧電体3と、ポリイミド等の樹
脂により形成された可撓性シートであるフィルム4とが
接合されている。前記圧電体3には、多数の溝5と多数
の側壁6とが平行に交互に配設されて形成されている。
前記圧電体3は板厚方向に分極されている。換言すれ
ば、図1及び図2に矢印をもって示すように、前記側壁
6は前記溝5の深さ方向に対して平行な方向に分極され
ている。そして、前記溝5の上面開口を前記フィルム4
によって閉塞することにより多数の圧力室7が形成され
ている。また、前記側壁6の前記フィルム4側の一面に
は電極8が形成され、これらの電極8と対をなす電極9
が前記圧電体3の底面に形成されている。図1におい
て、前記圧力室7の先端はオリフィス10に接続されて
いる。図2において、前記フィルム4の先端にはブロッ
ク11が接合され、このブロック11に前記オリフィス
10が形成されたオリフィスプレート(図示せず)が固
定されるものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2 show the configuration of the inkjet head 1. The substrate 2, the piezoelectric body 3, and the film 4, which is a flexible sheet made of a resin such as polyimide, are bonded to each other. On the piezoelectric body 3, a large number of grooves 5 and a large number of side walls 6 are alternately arranged in parallel.
The piezoelectric body 3 is polarized in the plate thickness direction. In other words, the side wall 6 is polarized in a direction parallel to the depth direction of the groove 5, as shown by an arrow in FIGS. Then, the upper surface opening of the groove 5 is connected to the film 4
A large number of pressure chambers 7 are formed by being closed by. An electrode 8 is formed on one surface of the side wall 6 on the film 4 side, and an electrode 9 forming a pair with the electrode 8 is formed.
Are formed on the bottom surface of the piezoelectric body 3. In FIG. 1, the tip of the pressure chamber 7 is connected to an orifice 10. In FIG. 2, a block 11 is joined to the tip of the film 4, and an orifice plate (not shown) having the orifice 10 is fixed to the block 11.

【0016】図4は前記圧電体3の平面図、図5はその
縦断側面図、図6はその底面図で、前記溝5の一部には
開口12が形成されている。また、図6に示すように、
前記圧電体3の底面には前記電極9に連続する導電膜1
3が形成されている。図3は圧電体3の一部を切欠して
前記基板2との関係を示すもので、この基板2には、前
記開口12をインクタンク等のインク供給部(図示せ
ず)に接続するためのインク供給路14が形成されてい
る。また、前記電極8はフレキシブルな基板15を介し
て電圧印加制御手段(図示せず)に接続され、前記導電
膜13はフレキシブルな基板16を介して接地されてい
る。
FIG. 4 is a plan view of the piezoelectric body 3, FIG. 5 is a vertical side view thereof, and FIG. 6 is a bottom view thereof. An opening 12 is formed in a part of the groove 5. Also, as shown in FIG.
A conductive film 1 continuous with the electrode 9 is formed on the bottom surface of the piezoelectric body 3.
3 is formed. FIG. 3 shows a relationship between the piezoelectric body 3 and the substrate 2 by cutting out a part thereof. In order to connect the opening 12 to an ink supply unit (not shown) such as an ink tank, the substrate 2 is connected. The ink supply path 14 is formed. The electrode 8 is connected to a voltage application control means (not shown) via a flexible substrate 15, and the conductive film 13 is grounded via a flexible substrate 16.

【0017】ここで、フィルム4の厚さhf、圧力室7
の幅tは、次式の条件を満足する値に設定されている。
ただし、Efはフィルム4のヤング率である。
Here, the thickness hf of the film 4 and the pressure chamber 7
The width t of is set to a value that satisfies the condition of the following equation.
However, Ef is the Young's modulus of the film 4.

【0018】[0018]

【数2】 [Equation 2]

【0019】このような構成において、図1において、
多数の圧力室7のうち、特定の圧力室7aのインクを吐
出させる場合について説明する。ここで、インクを吐出
させる圧力室を7a、その両隣の圧力室を7b,7c、
その両外側に隣接する圧力室を7d,7eとし、圧力室
7aの両側の電極を8a,8b、その両外側の電極を8
c,8dとして区別すると、電極8a,8bに+Vの電
圧を印加し、電極8c,8dに−Vの電圧を印加する
と、圧力室7aの両側の側壁6が上方に伸長し、その外
側の側壁6が縮小する。この時に、フィルム4の一部は
伸長する側壁6に押圧されて仮想線で示すように上方に
変形するため、インクを吐出させるための圧力室7aの
体積は一旦広げられ、インク供給路14からインクを吸
い込む。その両外側に位置する圧力室7b,7cの体積
は、側壁6の縮小に伴うフィルム4の下方への変形によ
り縮小され、内圧が徐々に高められる。したがって、意
図しない圧力室7b,7cのインクが吐出されることは
ない。
In such a structure, in FIG.
A case where ink is ejected from a specific pressure chamber 7a among the large number of pressure chambers 7 will be described. Here, the pressure chamber for ejecting ink is 7a, the pressure chambers on both sides thereof are 7b, 7c,
Pressure chambers 7d and 7e adjacent to both outsides thereof are defined as electrodes 7a and 8b on both sides of the pressure chamber 7a, and electrodes 8a and 8b on both sides of the pressure chamber 7a.
When it is distinguished as c and 8d, when a voltage of + V is applied to the electrodes 8a and 8b and a voltage of -V is applied to the electrodes 8c and 8d, the side walls 6 on both sides of the pressure chamber 7a extend upward and the side walls on the outer side thereof. 6 shrinks. At this time, a part of the film 4 is pressed by the extending side wall 6 and is deformed upward as shown by an imaginary line, so that the volume of the pressure chamber 7a for ejecting ink is once expanded, and the ink is supplied from the ink supply path 14. Inhale ink. The volumes of the pressure chambers 7b and 7c located on the both outer sides are reduced by the downward deformation of the film 4 accompanying the reduction of the side wall 6, and the internal pressure is gradually increased. Therefore, the ink in the pressure chambers 7b and 7c is not ejected unintentionally.

【0020】次に、印加電圧を急激に切り、或いは、印
加電圧の極性を切り替えると、伸長状態の側壁6が急激
に基の長さに戻り、或いは、急激に縮小するため、意図
する圧力室7の体積が急激に減少し、内圧が急激に高め
られ、内部のインクがオリフィス10から飛翔される。
その両側の圧力室7b,7cは逆に体積が増すのでイン
ク供給路14のインクを吸い込む。したがって、圧力室
7aのインクを吐出させる時に、同時に他の圧力室7か
らインクを吐出させる場合には、少なくとも圧力室7a
から二つ以上離れた圧力室7が特定される。これによ
り、隣接する圧力室7の間のクロストークの影響を小さ
くし、圧力室7の配列密度を密にすることができる。
Next, when the applied voltage is suddenly turned off or the polarity of the applied voltage is switched, the side wall 6 in the expanded state abruptly returns to the original length or abruptly contracts, so that the intended pressure chamber is reduced. The volume of 7 is rapidly reduced, the internal pressure is rapidly increased, and the ink inside is ejected from the orifice 10.
On the contrary, since the pressure chambers 7b and 7c on both sides increase in volume, the ink in the ink supply passage 14 is sucked. Therefore, when ejecting ink from another pressure chamber 7 at the same time when ejecting ink from the pressure chamber 7a, at least the pressure chamber 7a
The pressure chambers 7 separated from each other by two or more are specified. Thereby, the influence of crosstalk between the adjacent pressure chambers 7 can be reduced, and the arrangement density of the pressure chambers 7 can be made dense.

【0021】このように、電圧印加制御手段によって電
極8への電圧印加動作を制御することにより、インクを
吐出させるために特定された圧力室7を間に対峙する側
壁6と、これらの側壁6の外側に位置する他の側壁6と
の伸縮動作を逆にすることができる。さらに、側壁6の
伸縮動作によって屈撓するフィルム4の厚さを圧力室7
の幅に応じて所定の厚さに設定することにより、インク
を吐出させるべく特定した圧力室7の圧力上昇値を高め
て十分なインク吐出圧を得ることができる。これによ
り、圧力室の配列間隔を密にすることができる。
As described above, by controlling the voltage application operation to the electrode 8 by the voltage application control means, the side walls 6 facing the pressure chambers 7 specified for ejecting ink, and the side walls 6 thereof. The expansion and contraction operation with the other side wall 6 located outside the can be reversed. Further, the thickness of the film 4 that is bent by the expansion and contraction of the side wall 6 is set to the pressure chamber 7
By setting the thickness to a predetermined value according to the width, the pressure rise value of the pressure chamber 7 specified for ejecting ink can be increased to obtain a sufficient ink ejection pressure. Thereby, the arrangement interval of the pressure chambers can be reduced.

【0022】次に、圧力室7の幅に応じてフィルム4の
厚さを設定することについて述べる。まず、図1におい
て、圧電体3の底面から溝5の底面までの厚さaが極め
て小さい値である場合、特定の電極8に電圧を印加する
と、圧電体3のlなる高さをもって示した側壁6の両端
の間で電位差が発生するものと考えられる。圧電体3の
側壁6のlの部分が上方に伸長する時に、その側壁6は
フィルム4から伸びを妨げる力F[m]を受ける。フィ
ルム4がない場合を仮定した側壁6の伸び量をΔl
[m]とすると、その場合の側壁6の伸び量は、 Δl=d33V 式2 となる。ただし,d33は圧電体3の分極方向の圧電定数
であり、Vは圧電体3にかかる電位差である。Δl=0
とするようなフィルム4からの力をFs[N]、側壁6
の幅hと長さbとの積、すなわち断面積をAp
[m2]、圧電体3のヤング率をEpとすると、 Fs=(Δl/l)Ap・Ep 式3 の力がフィルム4から側壁6に作用する。
Next, setting the thickness of the film 4 according to the width of the pressure chamber 7 will be described. First, in FIG. 1, when the thickness a from the bottom surface of the piezoelectric body 3 to the bottom surface of the groove 5 has an extremely small value, when a voltage is applied to a specific electrode 8, the height of the piezoelectric body 3 is l. It is considered that a potential difference is generated between both ends of the side wall 6. When the part 1 of the side wall 6 of the piezoelectric body 3 extends upward, the side wall 6 receives a force F [m] from the film 4 which hinders the extension. Assuming that the film 4 is not present, the extension amount of the side wall 6 is Δl
If [m] is set, the extension amount of the side wall 6 in that case is Δl = d 33 V Formula 2 However, d 33 is a piezoelectric constant in the polarization direction of the piezoelectric body 3, and V is a potential difference applied to the piezoelectric body 3. Δl = 0
The force from the film 4 as Fs [N], the side wall 6
The width h and the length b of the
[M 2 ] and the Young's modulus of the piezoelectric body 3 is Ep.

【0023】フィルム4のヤング率をEf[N/m
2 ]、フィルム4の断面二次モーメントをIf[m
4 ]、圧力室7の幅をt[m]、フィルム4の厚さをh
f[m]とすると、一般的に、側壁6がx[m]伸びる
時にフィルム4から受ける力は、片持梁の計算式によ
り、 F=6・Ef・If・x/t3 [N] 式4 となる。また、側壁6にFの力をかける時の側壁6の伸
び量は、 x=Δl−(F/Fs)Δl[m] 式5 となる。式4及び式5から、実際の伸び量は、 x=t3 ・Δl・Fs/(Fs・t3 +6・Ef・If・Δl) 式6 となる。
The Young's modulus of the film 4 is Ef [N / m
2 ], the second moment of area of the film 4 is If [m
4 ], the width of the pressure chamber 7 is t [m], and the thickness of the film 4 is h
When f [m] is set, the force received from the film 4 when the side wall 6 extends x [m] is generally calculated by the cantilever calculation formula as follows: F = 6 · Ef · If · x / t 3 [N] Equation 4 is obtained. Further, the amount of expansion of the side wall 6 when the force of F is applied to the side wall 6 is expressed by x = Δl− (F / Fs) Δl [m] Equation 5 From Equations 4 and 5, the actual amount of elongation is: x = t 3 · Δl · Fs / (Fs · t 3 + 6 · Ef · If · Δl) Equation 6

【0024】圧電体3の側壁6の幅hの変化、すなわち
縮み量Δhは、 Δh=d31(h/l)V 式7 となる。ただし、d31は圧電体3の分極方向と直交する
方向の圧電定数、Vは圧電体3にかかる電位差である。
The change in the width h of the side wall 6 of the piezoelectric body 3, that is, the amount of contraction Δh is represented by Δh = d 31 (h / l) V Formula 7. However, d 31 is a piezoelectric constant in a direction orthogonal to the polarization direction of the piezoelectric body 3, and V is a potential difference applied to the piezoelectric body 3.

【0025】側壁6の長さbについては、側壁6の高さ
lや幅hに比して非常に大きい寸法であり、ここでは一
定として計算すると、電極8への印加電圧がゼロの時の
圧力室7の体積V0 は、 V0 =l・t・b[m3 ] 式8 となる。電極8に電圧を印加した場合、νをポアソン比
として、圧力室7の体積Vxは、 Vx=(l+x){t+Δh−νh(Δl−x)/l}b[m3 ] 式9 となる。この状態から電圧をゼロにすると、フィルム4
の撓みがあるために、圧力室7の体積はV0 には戻らな
い。すなわち、この時の圧力室7の体積をVyとする
と、Vy−V0 の体積変化は、フィルム4の撓みによる
体積変化である。
The length b of the side wall 6 is much larger than the height 1 and the width h of the side wall 6, and if it is calculated as constant here, it is calculated when the voltage applied to the electrode 8 is zero. The volume V 0 of the pressure chamber 7 is as follows: V 0 = l · t · b [m 3 ] Formula 8 When a voltage is applied to the electrode 8, the volume Vx of the pressure chamber 7 is represented by Vx = (l + x) {t + Δh−νh (Δl−x) / l} b [m 3 ] Formula 9 where ν is a Poisson's ratio. If the voltage is set to zero from this state, film 4
The volume of the pressure chamber 7 does not return to V 0 due to the bending of the pressure chamber 7. That is, assuming that the volume of the pressure chamber 7 at this time is Vy, the volume change of Vy−V 0 is the volume change due to the bending of the film 4.

【0026】この体積変化Vy−V0 と、圧力室7の圧
力上昇値Δpとの関係は、 Δp=60・Ef・hf3 (Vy−V0 )/b・t5 [pa] 式10 となる。これは、両端固定の梁に分布荷重w=Δp・b
[N/m]がかかった状態としての計算式である。
The relationship between the volume change Vy-V 0 and the pressure increase value Δp of the pressure chamber 7 is Δp = 60 · Ef · hf 3 (Vy−V 0 ) / b · t 5 [pa] Equation 10 Become. This is the distributed load w = Δp · b on the beam fixed at both ends.
It is a calculation formula in a state where [N / m] is applied.

【0027】圧力上昇値は、 Δp=K(Vx−Vy)/Vx[pa] 式11 としても表され、式10、式11より、The pressure rise value is also expressed as Δp = K (Vx−Vy) / Vx [pa] Equation 11, and from Equation 10 and Equation 11,

【0028】[0028]

【数3】 [Equation 3]

【0029】が成立する。よって、式12を式11に代
入することにより、圧力室7の圧力上昇値Δpを求める
ことができる。具体的に、パラメータとして下記データ
を与える。
Is satisfied. Therefore, by substituting the equation 12 into the equation 11, the pressure increase value Δp of the pressure chamber 7 can be obtained. Specifically, the following data are given as parameters.

【0030】 圧電体3のヤング率 Ep=6.01×1010[N/m2] インクの体積弾性率 K=2.2×109 [pa] 圧電体3の分極方向と直交する方向の圧電定数 d31=−207×10~12 [m/V] 圧電体3の分極方向の圧電定数 d33=410×10~12 [m/V] 圧電体3に掛かる電位差V=120[V] 圧電体3の側壁6の高さl=375[μm] 圧電体3の側壁6の幅 h=83[μm] 圧電体3の側壁6の長さb=18[mm] 圧力室7の幅 t=86[μm] フィルム4のヤング率Ef=3.332×109 [N/m2 ] ポアソン比 ν=0.36 フィルム4の厚さ hf=40[μm] 上記データを与えることで、圧力室7の圧力上昇値Δp
は414[Kpa]なる値が得られた。
Young's modulus of piezoelectric body 3 Ep = 6.01 × 10 10 [N / m 2 ] Bulk modulus of ink K = 2.2 × 10 9 [pa] In the direction orthogonal to the polarization direction of piezoelectric body 3. Piezoelectric constant d 31 = −207 × 10 to 12 [m / V] Piezoelectric constant in the polarization direction of the piezoelectric body 3 d 33 = 410 × 10 to 12 [m / V] Potential difference V = 120 [V] applied to the piezoelectric body 3. Height of side wall 6 of piezoelectric body 3 = 375 [μm] Width of side wall 6 of piezoelectric body h = 83 [μm] Length of side wall 6 of piezoelectric body 3 b = 18 [mm] Width of pressure chamber 7 t = 86 [μm] Young's modulus of film 4 Ef = 3.332 × 10 9 [N / m 2 ] Poisson's ratio ν = 0.36 Thickness of film 4 hf = 40 [μm] Pressure rise value Δp in chamber 7
Of 414 [Kpa] was obtained.

【0031】次に、フィルム4の材質(フィルム4のヤ
ング率Ef[N/m2 ])と、圧力室7の幅tとを変え
た場合とを考える。圧力室7の幅tは、40μm、86
μm、180μmの三種類を適用する。フィルム4のヤ
ング率Efは、3.3×107 ないし3.3×1011
五種類を適用する。そして、圧力室7の圧力上昇値Δp
≧300[Kpa]となる場合のフィルム4の厚さhf
を調べる。その結果を表1に示す。
Next, consider the case where the material of the film 4 (Young's modulus Ef [N / m 2 ] of the film 4) and the width t of the pressure chamber 7 are changed. The width t of the pressure chamber 7 is 40 μm, 86
Three types of μm and 180 μm are applied. As the Young's modulus Ef of the film 4, five kinds of 3.3 × 10 7 to 3.3 × 10 11 are applied. Then, the pressure rise value Δp of the pressure chamber 7
Thickness hf of film 4 when ≧ 300 [Kpa]
Find out. The results are shown in Table 1.

【0032】[0032]

【表1】 [Table 1]

【0033】大気圧を100[Kpa]とした場合に、
インクを吐出させるに必要な圧力室7の圧力上昇値Δp
は300[Kpa]以上あれば略満足すると考える。こ
の条件を満足させるように、フィルム4の厚さhfを設
定することにより、フィルム4を側壁6の伸縮作用によ
り必要な分だけ変形させることができ、これにより、圧
力室7の体積を必要量変化させて適正なインク吐出圧を
得ることができる。
When the atmospheric pressure is 100 [Kpa],
Pressure increase value Δp of the pressure chamber 7 required for ejecting ink
Is considered to be substantially satisfied if it is 300 [Kpa] or more. By setting the thickness hf of the film 4 so as to satisfy this condition, the film 4 can be deformed by a necessary amount due to the expansion and contraction of the side wall 6, whereby the volume of the pressure chamber 7 can be reduced by a necessary amount. A proper ink ejection pressure can be obtained by changing the pressure.

【0034】[0034]

【発明の効果】本発明は、上述のように、インクを吐出
させるために特定された圧力室を間に対峙する側壁に配
設された前記電極と、当該側壁の外側に位置する他の側
壁に配設された電極とに、極性の異なる電圧を印加する
電圧印加制御手段を設けたので、電圧印加制御手段によ
って電極への電圧印加動作を制御することにより、イン
クを吐出させるために特定された圧力室を間に対峙する
側壁と、これらの側壁の外側に位置する他の側壁との伸
縮動作を逆にすることができ、さらに、側壁の伸縮動作
によって屈撓する可撓性シートの厚さを所定の厚さに設
定したので、インクを吐出させるべく特定した圧力室の
圧力上昇値を高めて十分なインク吐出圧を得ることがで
き、また、二つ以上の圧力室のインクを同時に吐出させ
る場合には、電圧印加制御手段によって隣接関係にはな
い二つ以上離れた圧力室が特定されるため、隣接する圧
力室間のクロストークによる影響を小さくすることがで
き、これにより、圧力室の配列間隔を密にすることがで
き、さらに、圧電体に形成された溝を可撓性シートで閉
塞するだけで圧力室を形成することができるため、イン
クジェットヘッドの構造を簡略化することができる等の
効果を有する。
As described above, according to the present invention, the electrode disposed on the side wall facing the pressure chamber specified for ejecting the ink and the other side wall located outside the side wall. Since the voltage application control means for applying voltages having different polarities is provided to the electrodes disposed on the electrodes, the voltage application control means controls the voltage application operation to the electrodes to specify the ink ejection. The expansion and contraction operation of the side wall facing the pressure chamber and the other side wall located outside these side walls can be reversed, and the thickness of the flexible sheet that bends due to the expansion and contraction operation of the side wall can be reversed. Since the thickness is set to a predetermined thickness, the pressure rise value of the pressure chamber specified to eject ink can be increased to obtain a sufficient ink ejection pressure, and ink in two or more pressure chambers can be simultaneously ejected. When discharging, voltage Since the pressure control means identifies two or more pressure chambers that are not adjacent to each other and is apart from each other, it is possible to reduce the influence of crosstalk between the adjacent pressure chambers, and thus to closely arrange the pressure chambers. Further, since the pressure chamber can be formed only by closing the groove formed in the piezoelectric body with the flexible sheet, there is an effect that the structure of the inkjet head can be simplified. ..

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す縦断正面図である。FIG. 1 is a vertical sectional front view showing an embodiment of the present invention.

【図2】斜視図である。FIG. 2 is a perspective view.

【図3】圧電体の一部を切欠して基板との関係を示す斜
視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a relationship with a substrate by cutting out a part of a piezoelectric body.

【図4】圧電体の平面図である。FIG. 4 is a plan view of a piezoelectric body.

【図5】圧電体の縦断側面図である。FIG. 5 is a vertical sectional side view of a piezoelectric body.

【図6】圧電体の底面図である。FIG. 6 is a bottom view of the piezoelectric body.

【図7】第一の従来例を示す縦断正面図である。FIG. 7 is a vertical sectional front view showing a first conventional example.

【図8】第二の従来例を示す縦断正面図である。FIG. 8 is a vertical sectional front view showing a second conventional example.

【図9】圧電体プレートの平面図である。FIG. 9 is a plan view of a piezoelectric plate.

【図10】カバープレートの平面図である。FIG. 10 is a plan view of a cover plate.

【図11】第三の従来例を示す縦断正面図である。FIG. 11 is a vertical sectional front view showing a third conventional example.

【図12】分解斜視図である。FIG. 12 is an exploded perspective view.

【図13】剛性部材に分布荷重がかかる状態を示す説明
図である。
FIG. 13 is an explanatory diagram showing a state in which a distributed load is applied to the rigid member.

【符号の説明】 1 インクジェットヘッド 3 圧電体 4 可撓性フィルム 5 溝 6 側壁 7 圧力室 8,9 電極 10 オリフィス[Explanation of Codes] 1 Inkjet head 3 Piezoelectric body 4 Flexible film 5 Groove 6 Side wall 7 Pressure chamber 8, 9 Electrode 10 Orifice

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 一端がオリフィスに接続され内部がイン
ク供給部に接続される多数の溝と、これらの溝の深さ方
向に対して平行な方向に分極された多数の側壁とが平行
に交互に配設された圧電体を設け、前記側壁の分極方向
の両端に対をなす電極を配設し、所定の厚さに設定され
た屈撓自在の可撓性シートを前記側壁の頂部に接合して
前記溝の開口面を閉塞することにより多数の圧力室を形
成してなるインクジェットヘッドを設け、インクを吐出
させるために特定された前記圧力室を間に対峙する前記
側壁に配設された前記電極と、当該側壁の外側に位置す
る他の前記側壁に配設された前記電極とに、極性の異な
る電圧を印加する電圧印加制御手段を設けたことを特徴
とするインクジェットプリンタ。
1. A plurality of grooves, one end of which is connected to an orifice and the inside of which is connected to an ink supply unit, and a plurality of side walls which are polarized in a direction parallel to the depth direction of these grooves are alternately arranged in parallel. And a pair of electrodes are provided at both ends of the side wall in the polarization direction, and a flexible sheet having a predetermined thickness is joined to the top of the side wall. Then, an ink jet head having a large number of pressure chambers formed by closing the opening surface of the groove is provided, and the ink jet head is disposed on the side wall facing the pressure chambers specified for ejecting ink. An ink jet printer characterized in that voltage application control means for applying voltages having different polarities is provided to the electrode and the electrode arranged on the other side wall located outside the side wall.
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Cited By (2)

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