JPH0533110U - Vertical focusing microscope - Google Patents
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- JPH0533110U JPH0533110U JP8309491U JP8309491U JPH0533110U JP H0533110 U JPH0533110 U JP H0533110U JP 8309491 U JP8309491 U JP 8309491U JP 8309491 U JP8309491 U JP 8309491U JP H0533110 U JPH0533110 U JP H0533110U
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本考案は、鏡筒上下焦準方式の顕微鏡において
光源部の固定化を図り、標本上へのゴミの落下及び駆動
部の負担軽減を図る。
【構成】観察光学系２６に落射照明用鏡筒２４が設けら
れ、光源部２９からの照明光がその落射照明用鏡筒２４
に取付けられた投光管２８を介して落射照明用鏡筒２４
内に導かれると共に、落射照明用鏡筒２４及び投光管２
８とが観察標本に対して一体となって上下して焦準する
顕微鏡において、光源部２９を顕微鏡本体２０に取付け
ると共に、光源部２９と投光管２８との間に、落射照明
用鏡筒２４の移動方向と平行な光軸を少なくとも一部に
有するアフォーカル部を形成し、かつ光源部２９からの
照明光を偏向させて投光管２８の光軸に一致させる偏向
手段３１，３２を備えるものとした。
(57) [Abstract] [Purpose] The present invention aims to fix the light source unit in a microscope with a vertical focusing system to reduce dust on the sample and reduce the load on the drive unit. [Structure] An observation optical system 26 is provided with an epi-illumination lens barrel 24, and illumination light from a light source unit 29 is incident on the epi-illumination lens barrel 24.
An epi-illumination lens barrel 24 via a light projection tube 28 attached to the
In addition to being guided inside, the epi-illumination lens barrel 24 and the projection tube 2
In a microscope in which 8 and 8 are integrated and vertically focused on an observation sample, a light source unit 29 is attached to the microscope main body 20, and a lens barrel for epi-illumination is provided between the light source unit 29 and the light projecting tube 28. Deflection means 31 and 32 for forming an afocal portion having at least a part of an optical axis parallel to the moving direction of 24 and deflecting the illumination light from the light source portion 29 to match the optical axis of the light projecting tube 28. I was prepared.
Description
【０００１】[0001]
本考案は、鏡筒を上下させて焦準する落射照明顕微鏡に係り、特にその投光光 学系の改良に関する。 The present invention relates to an epi-illumination microscope in which a lens barrel is moved up and down for focusing, and more particularly to improvement of a projection optical system thereof.
【０００２】[0002]
図５（ａ）には、鏡筒上下方式の落射顕微鏡の構成例が示されている。 FIG. 5A shows a configuration example of an epi-illumination microscope of a lens barrel up / down method.
【０００３】 この顕微鏡は、顕微鏡本体１の胴部に標本載置台２が取付けられ、この標本載 置台２の上方に、接眼鏡筒３，落射照明鏡筒４，対物レボルバ５が設けられてい る。また落射照明鏡筒４に落射投光管６の一端が取付けられ、その落射投光管６ の他端にランプハウス７が取付けられている。ランプハウス７の光源としてはハ ロゲンランプ８等の比較的小さなものが用いられる。In this microscope, a sample mounting table 2 is attached to the body of a microscope body 1, and an eyepiece tube 3, an epi-illumination lens tube 4, and an objective revolver 5 are provided above the sample mounting table 2. .. Further, one end of an epi-illumination projection tube 6 is attached to the epi-illumination lens barrel 4, and a lamp house 7 is attached to the other end of the epi-illumination projection tube 6. As a light source of the lamp house 7, a relatively small one such as a halogen lamp 8 is used.
【０００４】 このような顕微鏡では、標本載置台２上の標本に対して、接眼鏡筒３，落射照 明鏡筒４，対物レボルバ５および落射照明鏡筒４に取付けられた落射投光管６， ランプハウス７が一体となって焦準ノブ１２によって上下動して焦準が行われる こととなる。 また、照明光源として水銀ランプやキセノンランプを使用する標本上下焦準方 式の落射顕微鏡の構成例が図５（ｂ）に示されている。In such a microscope, with respect to the sample on the sample mounting table 2, the epi-illumination projection tube 6 attached to the eyepiece tube 3, the epi-illumination lens tube 4, the objective revolver 5 and the epi-illumination lens tube 4. The lamp house 7 is integrated and moved up and down by the focusing knob 12 to perform focusing. Further, FIG. 5B shows an example of the structure of a vertical specimen focusing epi-illumination microscope that uses a mercury lamp or a xenon lamp as an illumination light source.
【０００５】 この顕微鏡は、水銀ランプ９等を収納するランプハウス１０が、ハロゲンラン プ８のランプハウス７に比べて２倍〜３倍の大きさになる。そのため、顕微鏡本 体１とランプハウス１０との干渉を避けるため、落射投光管１１として十分な長 さを有するものを使用する必要がある。このため、水銀ランプを使用した場合は 鏡筒上下方式は不可能であった。なお、落射投光管１１で大きなランプハウス１ ０を支えるために、落射投光管１１をランプ支え１３により下方から支持してい た。In this microscope, a lamp house 10 accommodating a mercury lamp 9 and the like is two to three times as large as the lamp house 7 of the halogen lamp 8. Therefore, in order to avoid interference between the main body 1 of the microscope and the lamp house 10, it is necessary to use an epi-illumination tube 11 having a sufficient length. For this reason, when the mercury lamp was used, the lens barrel up / down method was not possible. In order to support the large lamp house 10 with the epi-illumination tube 11, the epi-illumination tube 11 was supported by the lamp support 13 from below.
【０００６】 一般に、顕微鏡の焦準方式には上述した鏡筒上下方式の他に標本上下方式があ る。標本上下方式の顕微鏡は、全体がコンパクトで移動荷重も小さく焦準操作ノ ブも机上面近くに設置できて操作性が良いという利点がある。Generally, as a focusing method of a microscope, there is a specimen up-and-down method in addition to the above-mentioned lens barrel up-and-down method. The specimen up-and-down type microscope has the advantages that the whole is compact, the moving load is small, and the focusing operation knob can be installed near the top surface of the desk, resulting in good operability.
【０００７】 しかし、最近、極めて需要の高くなってきたウエハ検査や液晶基板の検査のた め、対コンタミのため、あるいは標本が大型となったために、図６に示すような 大型のブリッジ型の顕微鏡が開発されている。However, due to the recent high demand for wafer inspection and liquid crystal substrate inspection, due to contamination, or because the sample becomes large, a large bridge type as shown in FIG. 6 is used. Microscopes have been developed.
【０００８】 この顕微鏡は、重くかつ精密なＸ−Ｙステージ１２で標本１３を動かすことか ら標本上下焦準方式は採用できず、鏡筒上下方式又は対物レボルバのみを上下さ せるレボ上下方式が採用されている。This microscope cannot adopt the specimen up-and-down focusing method because the specimen 13 is moved by the heavy and precise XY stage 12, and the lens barrel up-and-down method or the revo up-and-down method that moves up and down only the objective revolver. Has been adopted.
【０００９】[0009]
しかしながら、上述した鏡筒上下焦準方式の顕微鏡には以下のような問題があ った。先ず、図５（ａ）に示す鏡筒上下焦準方式の顕微鏡では、焦準操作のとき 長い落射投光管１１の他端に保持された大きなランプハウス１０まで上下するた め、それらを駆動する駆動装置に重量的に大きな負担がかかるばかりでなく、上 下動する部分が極めて大きくなって外観が悪く、しかもランプハウスに誤って触 れるようなことがあると投光管取付け部とランプハウスとの間の距離が長いため 光学調整が狂い易いなどの問題がある。 However, the above-mentioned lens barrel vertical focusing type microscope has the following problems. First, in the microscope of the vertical focusing type of the lens barrel shown in FIG. 5 (a), when the focusing operation is performed, it is moved up and down to the large lamp house 10 held at the other end of the long epi-illumination tube 11. Not only a heavy load is applied to the drive unit, but also the part that moves up and down is extremely large and the appearance is bad, and if the lamp house is touched by mistake, Since the distance to the house is long, there is a problem in that optical adjustment is likely to go wrong.
【００１０】 また、図６に示す顕微鏡においてレボ上下方式を採用した場合には、焦準スト ロークが小さく、標本の高さに対応しきれなくなる。そのため、鏡筒上下方式と レボ上下方式の併用にするか、鏡筒上下方式のみで対応することになるが、この ような場合には図５（ａ）の顕微鏡と同様の問題が生じると共に、ランプハウス からのゴミが標本上に落下してコンタミに関して悪影響が生じる。Further, in the case where the revo-up / down method is adopted in the microscope shown in FIG. 6, the focusing stroke is small and it becomes impossible to cope with the height of the sample. Therefore, both the lens barrel up-and-down method and the revo up-and-down method can be used together, or only the lens barrel up-and-down method can be used. In such a case, the same problem as in the microscope of FIG. Debris from the lamphouse will fall onto the specimen and have a negative effect on contamination.
【００１１】 本考案は以上のような実情に鑑みてなされたもので、ランプハウスを上下動さ せない鏡筒上下焦準方式を実現して標本上へのゴミの落下を防止できると共に、 上下動部分が小形化されて駆動部の負担を軽減でき、さらにランプハウスに接触 しても光軸が狂いずらい鏡筒上下焦準式顕微鏡を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above situation, and realizes a lens barrel vertical focusing method that does not move a lamp house up and down to prevent dust from falling on a sample and It is an object of the present invention to provide a vertical focusing microscope with a lens barrel in which the moving part is miniaturized so that the load on the driving part can be reduced and the optical axis does not easily change even when the lamp house is contacted.
【００１２】[0012]
本考案は上記目的を達成するために、観察光学系に落射照明用鏡筒が設けられ 、光源部からの照明光がその落射照明用鏡筒に取付けられた投光管を介して該落 射照明用鏡筒内に導かれると共に、前記落射照明用鏡筒及び前記投光管とが観察 標本に対して一体となって上下して焦準する鏡筒上下焦準式顕微鏡において、前 記光源部を顕微鏡本体に取付けると共に、前記光源部と前記投光管との間に、前 記落射照明用鏡筒の移動方向と平行な光軸を少なくとも一部に有するアフォーカ ル部を形成し、かつ前記光源部からの照明光を偏向させて前記投光管の光軸に一 致させる偏向手段を備えた構成とした。 In order to achieve the above object, the present invention provides an observation optical system with an epi-illumination lens barrel, and the illumination light from a light source unit is emitted through a light projection tube attached to the epi-illumination lens barrel. In the vertical focusing microscope with the epi-illumination lens barrel and the projection tube that are guided into the illumination lens barrel and vertically focus together with the observation sample, Part is attached to the microscope main body, and an afocal part having at least a part of an optical axis parallel to the moving direction of the epi-illumination lens barrel is formed between the light source part and the light projection tube, and A configuration is provided that includes a deflecting unit that deflects the illumination light from the light source unit and aligns it with the optical axis of the light projecting tube.
【００１３】[0013]
本考案によれば以上の手段を講じたことにより、光源部からの照明光が偏向手 段によって曲げられて投光管の光軸と一致し、投光管を通って落射照明用鏡筒に 入射する。落射照明用鏡筒が上下するのに応じて、投光管と光源部との相対位置 が変化するが、その間は落射照明用鏡筒の移動方向と平行な光軸となるアフォー カル系となっているため、光源部からの照明光がけられることなく常に偏向手段 を介して投光管内に導かれる。 According to the present invention, by taking the above means, the illumination light from the light source unit is bent by the deflecting means and coincides with the optical axis of the projection tube, and passes through the projection tube to the epi-illumination lens barrel. Incident. As the epi-illumination lens barrel moves up and down, the relative position between the light projection tube and the light source changes, but during that time, an afocal system is formed with an optical axis parallel to the moving direction of the epi-illumination lens barrel. Therefore, the illumination light from the light source unit is always guided into the light projecting tube through the deflecting means without being eclipsed.
【００１４】[0014]
以下、図面を参照しながら本考案の実施例を説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１５】 図１には、本考案の第１実施例に係る鏡筒上下焦準式顕微鏡の全体構成が示さ れている。本実施例の顕微鏡は、顕微鏡本体２０のベース上にＸステージ２１と Ｙステージ２２からなる電動ステージが設けられ、各ステージにモータ２１ａ， ２２ａがステージ駆動源としてそれぞれ設けられている。また、顕微鏡本体２０ のアーム先端部には、対物レボルバ２３、落射照明用中間鏡筒２４、接眼鏡筒２ ５が同一光軸上に配置されていて観察光学系２６を形成している。これら対物レ ボルバ２３、落射照明用中間鏡筒２４、接眼鏡筒２５は焦準操作ノブ２６により 一体となって上下可能になっている。FIG. 1 shows the overall structure of a lens barrel vertical focusing microscope according to a first embodiment of the present invention. In the microscope of this embodiment, an electric stage including an X stage 21 and a Y stage 22 is provided on the base of the microscope body 20, and motors 21a and 22a are provided as stage driving sources on each stage. An objective revolver 23, an epi-illumination intermediate lens barrel 24, and an eyepiece barrel 25 are arranged on the same optical axis at the arm tip of the microscope body 20 to form an observation optical system 26. The objective revolver 23, the epi-illumination intermediate lens barrel 24, and the eyepiece barrel 25 can be integrally moved up and down by a focusing operation knob 26.
【００１６】 落射照明用中間鏡筒２４には落射投光管２８の一端が固定されていて、その落 射投光管２８の他端部が位置する顕微鏡本体２０の胴部には光源部となるランプ ハウス２９が取付けられている。 ランプハウス２９及び落射投光管２８内等に配置された光学部品によって構成 される投光光学系の構成を図２に示す。One end of an epi-illumination projection tube 28 is fixed to the intermediate lens barrel 24 for epi-illumination, and a light source unit is provided on the body of the microscope main body 20 where the other end of the epi-illumination projection tube 28 is located. A lamp house 29 is attached. FIG. 2 shows the configuration of a projection optical system including optical components arranged inside the lamp house 29, the epi-illumination tube 28, and the like.
【００１７】 ランプハウス２９内には、水銀ランプ３０と、この水銀ランプ３０からの照明 光を平行光束にしてランプハウス２９外へ出射するコレクタレンズ３１とが収納 されている。In the lamp house 29, a mercury lamp 30 and a collector lens 31 for collimating the illumination light from the mercury lamp 30 and emitting it to the outside of the lamp house 29 are housed.
【００１８】 顕微鏡本体２０にはコレクタレンズ３１の出射面に対向する第１の反射ミラー ３２が設けられている。この第１の反射ミラー３２は、コレクタレンズ３１から の照明光を、落射照明用中間鏡筒２４等の上下の移動方向と平行な方向に反射さ せる角度に調整されている。The microscope body 20 is provided with a first reflecting mirror 32 facing the exit surface of the collector lens 31. The first reflecting mirror 32 is adjusted to an angle that reflects the illumination light from the collector lens 31 in a direction parallel to the vertical movement direction of the epi-illumination intermediate lens barrel 24 and the like.
【００１９】 落射投光管２８の光源側となる他端部には第２の反射ミラー３３が設けられて いる。この第２の反射ミラー３３は、第１の反射ミラー３２からの反射光が入射 する位置に配置され、かつその入射光を偏向して落射投光管２８の光軸に一致さ せる角度に調整されている。落射投光管２８には、第２の反射ミラー３３側から 順に結像レンズ３４、リレーレンズ３６、投射レンズ３８が同一光軸上に配置さ れている。結像レンズ３４の結像位置には明るさ絞り３７が設けられ、リレーレ ンズ３５と投射レンズ３６との間には視野絞り３８が設けられている。コレクタ レンズ３１と、第１，第２の反射ミラー３２，３３とからアフォーカル部が構成 され、第１，第２の反射ミラー３２，３３により偏向手段が構成されている。A second reflecting mirror 33 is provided at the other end of the epi-illumination tube 28 on the light source side. The second reflecting mirror 33 is arranged at a position where the reflected light from the first reflecting mirror 32 is incident, and deflects the incident light to adjust the angle so as to match the optical axis of the epi-illumination tube 28. Has been done. In the epi-illumination tube 28, an imaging lens 34, a relay lens 36, and a projection lens 38 are arranged on the same optical axis in order from the second reflecting mirror 33 side. A brightness diaphragm 37 is provided at the image forming position of the image forming lens 34, and a field diaphragm 38 is provided between the relay lens 35 and the projection lens 36. The collector lens 31 and the first and second reflecting mirrors 32 and 33 constitute an afocal portion, and the first and second reflecting mirrors 32 and 33 constitute a deflecting means.
【００２０】 落射照明用中間鏡筒２４内には、観察光学系２６の光軸上にハーフミラー３９ が設けられ、このハーフミラー３９により、落射投光管２８の投射レンズ３６か らの照明光が反射して対物側へ導かれると共に、対物側からの光が透過して接眼 側へ導かれるようになっている。A half mirror 39 is provided on the optical axis of the observation optical system 26 in the epi-illumination intermediate lens barrel 24, and the half mirror 39 allows the illumination light from the projection lens 36 of the epi-illumination tube 28 to be illuminated. Is reflected and guided to the object side, and the light from the object side is transmitted and guided to the eyepiece side.
【００２１】 以上のように構成された本実施例では、水銀ランプ３０を光源とした照明光が コレクタレンズ３１で平行光束となって第１の反射ミラー３２に入射し、この第 １の反射ミラー３２及び第２の反射ミラー３３で曲げられて投光管２８の光軸と 一致する。そして投光管２８内を通ってハーフミラー３９に入射し、そこで反射 されて対物側に導かれる。In the present embodiment configured as described above, the illumination light from the mercury lamp 30 as the light source is collimated by the collector lens 31 and is incident on the first reflection mirror 32. It is bent by 32 and the second reflecting mirror 33 and coincides with the optical axis of the light projecting tube 28. Then, it enters the half mirror 39 through the light projecting tube 28, is reflected there, and is guided to the object side.
【００２２】 焦準操作ノブ２７による焦準の際には、対物レボルバ２３、落射照明用中間鏡 筒２４、接眼鏡筒２５および落射投光管２８が一体となって上下する。このとき 、ランプハウス２９から出た照明光が落射投光管２８に入射するまでの光路はア フォーカル系となっており、かつ第１の反射ミラー３２による偏向方向が上記上 下動方向と平行になっているため、ランプハウス２９は顕微鏡本体２０に固定さ れていても、照明光は上下動している落射投光管２８に入射し続ける。At the time of focusing by the focusing operation knob 27, the objective revolver 23, the epi-illumination intermediate lens barrel 24, the eyepiece tube 25, and the epi-illumination projection tube 28 integrally move up and down. At this time, the optical path until the illumination light emitted from the lamp house 29 enters the epi-illumination tube 28 is an afocal system, and the deflection direction by the first reflection mirror 32 is parallel to the above-mentioned upward and downward movement directions. Therefore, even if the lamp house 29 is fixed to the microscope main body 20, the illumination light continues to be incident on the vertical epi-illuminator 28.
【００２３】 なお、水銀ランプ３０は光源として大きさを持っているため、アフォーカル系 の光束が大きくなる。これは、図３に示すように、コレクタレンズ３１の中心に 入射した光束ａの出射角に対して、周辺部に入射した光束ｂ，ｃの出射角が異な ることによる。そのため、第１の反射ミラー３２と第２の反射ミラー３３との間 の距離が大きくなるのに応じて照明光量不足が生じる可能性がある。 しかし、一般に使用されている水銀ランプと投光管であれば、適正設計値より ３０ｍｍ以上離れていても照明光量不足による弊害は生じない。Since the mercury lamp 30 has a size as a light source, the luminous flux of the afocal system becomes large. This is because, as shown in FIG. 3, the exit angles of the light beams a and b incident on the center of the collector lens 31 are different from the exit angles of the light beams b and c incident on the peripheral portion. Therefore, the amount of illumination light may be insufficient as the distance between the first reflecting mirror 32 and the second reflecting mirror 33 increases. However, with a commonly used mercury lamp and floodlight tube, even if the distance is 30 mm or more away from the proper design value, no adverse effect due to insufficient illumination light amount occurs.
【００２４】 このように本実施例によれば、水銀ランプ３０及びコレクタレンズ３１を収納 したランプハウス２９を顕微鏡本体２０に取付け、コレクタレンズ３１で平行光 束とした照明光を、落射投光管２８の上下動に影響されることなく、第１の反射 ミラー３２及び第２の反射ミラー３３により落射投光管２８に入射するようにし たので、落射投光管２８とランプハウス２９を分離できランプハウス２９を固定 した状態で焦準操作することがでる。よって、駆動部にかかる負担を大幅に軽減 でき、しかもランプハウス２８からのゴミが標本上に落下してコンタミが悪くな るといった弊害を防止できる。As described above, according to this embodiment, the lamp house 29 accommodating the mercury lamp 30 and the collector lens 31 is attached to the microscope main body 20, and the illumination light made into the parallel light flux by the collector lens 31 is reflected by the epi-illumination tube. Since the first reflecting mirror 32 and the second reflecting mirror 33 make the incident light incident on the epi-illumination tube 28 without being influenced by the vertical movement of 28, the epi-illumination tube 28 and the lamp house 29 can be separated. Focusing operation can be performed with the lamp house 29 fixed. Therefore, it is possible to significantly reduce the load on the driving unit, and it is possible to prevent the debris from the lamp house 28 from falling onto the sample and deteriorating the contamination.
【００２５】 また、落射投光管２８を長くしてランプハウス２９を顕微鏡本体２０から離さ なくても干渉等の問題が発生しないため、水銀ランプ等の大きなランプハウスを 必要とする場合であっても落射投光管２８を特別に長くする必要がなく、落射投 光管２８の光軸調整を狂いずらいものとすることができる。 次に、図４を参照して本考案の第２実施例について説明する。Further, even if the epi-illumination tube 28 is lengthened and the lamp house 29 is not separated from the microscope main body 20, problems such as interference do not occur, so that a large lamp house such as a mercury lamp is required. However, the epi-illumination tube 28 does not need to be particularly long, and the adjustment of the optical axis of the epi-illumination tube 28 can be made difficult. Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
【００２６】 本実施例の顕微鏡は、顕微鏡本体４０に対物レボルバ４１、落射照明用中間鏡 筒４２、接眼鏡筒４３および落射投光管４５が、上下動機構４６を介して取り付 けられ、操作ノブ４７を回転させることにより焦準操作することができるように 構成されている。 顕微鏡本体４０には、落射投光管４５の端部上方にランプハウス４７が固定さ れている。In the microscope of this embodiment, an objective revolver 41, an epi-illumination intermediate lens barrel 42, an eyepiece tube 43, and an epi-illumination projection tube 45 are attached to a microscope main body 40 via a vertical movement mechanism 46. Focusing operation can be performed by rotating the operation knob 47. A lamp house 47 is fixed to the microscope body 40 above the end of the epi-illumination tube 45.
【００２７】 ランプハウス４７内には、水銀ランプ４８、コレクタレンズ４９が設けられ、 そのコレクタレンズ４９は照明光を落射投光管４５の移動方向と同方向に平行光 束を出射するようになっている。A mercury lamp 48 and a collector lens 49 are provided in the lamp house 47, and the collector lens 49 emits the illumination light as a parallel light flux in the same direction as the moving direction of the epi-illumination tube 45. ing.
【００２８】 落射投光管４５は、ランプハウス４７のコレクタレンズ４９に対向して開口部 ４５ａが形成されていて、その開口部４５ａから入射する照明光を落射投光管４ ５の光軸に一致させる第３の反射ミラー５０が設けられている。なお、落射投光 管４５及び落射照明用中間鏡筒４２内におけるその他の投光光学系の構成は前記 第１実施例と同様であるのでここではその説明を省略する。The epi-illumination tube 45 has an opening 45 a formed so as to face the collector lens 49 of the lamp house 47, and the illumination light incident from the opening 45 a is directed to the optical axis of the epi-illumination tube 45. A third reflecting mirror 50 is provided for matching. The other structures of the projection optical system in the epi-illumination projection tube 45 and the epi-illumination intermediate lens barrel 42 are the same as those in the first embodiment, and therefore their explanations are omitted here.
【００２９】 以上のように構成された本実施例によっても、前記第１実施例と同様の作用効 果を奏することができ、しかも偏向手段が一つの反射ミラー５０で構成できる利 点がある。The present embodiment configured as described above also has the advantage that the same working effects as those of the first embodiment can be obtained, and moreover that the deflecting means can be composed of one reflecting mirror 50.
【００３０】[0030]
以上詳記したように本考案によれば、ランプハウスを上下動させない鏡筒上下 焦準方式を実現して標本上へのゴミの落下を防止できると共に、上下動部分が小 形化されて駆動部の負担を軽減でき、さらにランプハウスに接触しても光軸が狂 いずらい鏡筒上下焦準式顕微鏡を提供できる。 As described in detail above, according to the present invention, a vertical focusing method of a lens barrel that does not move the lamp house up and down can be realized to prevent dust from falling on the specimen, and the up and down moving part is downsized to drive. It is possible to provide a vertical focusing microscope in which the optical axis does not easily change even when it comes into contact with the lamp house.
【図１】本考案の第１実施例に係る鏡筒上下焦準式顕微
鏡の構成図。FIG. 1 is a configuration diagram of a lens barrel vertical focusing microscope according to a first embodiment of the present invention.
【図２】上記第１実施例の鏡筒上下焦準式顕微鏡におけ
る投光光学系の構成図。FIG. 2 is a configuration diagram of a projection optical system in the lens barrel vertical focusing microscope of the first embodiment.
【図３】コレクタレンズから出射する光束の発散を示す
図。FIG. 3 is a diagram showing divergence of a light beam emitted from a collector lens.
【図４】本考案の第２実施例に係る鏡筒上下焦準式顕微
鏡の構成図。FIG. 4 is a configuration diagram of a lens barrel vertical focusing microscope according to a second embodiment of the present invention.
【図５】従来よりある鏡筒上下焦準式顕微鏡の構成図。FIG. 5 is a configuration diagram of a conventional lens barrel vertical focusing microscope.
【図６】従来よりあるブリッジ形顕微鏡の斜視図。FIG. 6 is a perspective view of a conventional bridge microscope.
２０，４０…顕微鏡本体、２３…対物レボルバ、２４，
４２…落射照明用中間鏡筒、２５…接眼鏡筒、２８，４
５…落射投光管、２９，４７…ランプハウス、３０，４
８…水銀ランプ、３１，４９…コレクタレンズ、３２…
第１の反射ミラー、３３…第２の反射ミラー、５０…第
３の反射ミラー。20, 40 ... Microscope main body, 23 ... Objective revolver, 24,
42 ... Intermediate lens barrel for epi-illumination, 25 ... Eyepiece barrel, 28, 4
5 ... Epi-illumination tube, 29, 47 ... Lamphouse, 30, 4
8 ... Mercury lamp, 31, 49 ... Collector lens, 32 ...
1st reflection mirror, 33 ... 2nd reflection mirror, 50 ... 3rd reflection mirror.
Claims (1)
れ、光源部からの照明光がその落射照明用鏡筒に取付け
られた投光管を介して該落射照明用鏡筒内に導かれると
共に、前記落射照明用鏡筒及び前記投光管とが観察標本
に対して一体となって上下して焦準する鏡筒上下焦準式
顕微鏡において、 前記光源部を顕微鏡本体に取付けると共に、前記光源部
と前記投光管との間に、前記落射照明用鏡筒の移動方向
と平行な光軸を少なくとも一部に有するアフォーカル部
を形成し、かつ前記光源部からの照明光を偏向させて前
記投光管の光軸に一致させる偏向手段を備えたことを特
徴とする鏡筒上下焦準式顕微鏡。1. An observation optical system is provided with an epi-illumination lens barrel, and illumination light from a light source is guided into the epi-illumination lens barrel through a light projection tube attached to the epi-illumination lens barrel. At the same time, in the vertical focusing microscope with the epi-illumination lens barrel and the light projection tube being vertically integrated and focused on the observation sample, the light source unit is attached to the microscope body, An afocal portion having at least a part of an optical axis parallel to the moving direction of the epi-illumination lens barrel is formed between the light source portion and the light projection tube, and the illumination light from the light source portion is deflected. A lens barrel up-and-down focusing microscope, characterized in that it is provided with a deflecting means for aligning it with the optical axis of the light projecting tube.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8309491U JPH0533110U (en) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | Vertical focusing microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8309491U JPH0533110U (en) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | Vertical focusing microscope |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0533110U true JPH0533110U (en) | 1993-04-30 |
Family
ID=13792596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8309491U Withdrawn JPH0533110U (en) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | Vertical focusing microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0533110U (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013205822A (en) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Olympus Corp | Incident-light illuminating device and inverted microscope |
-
1991
- 1991-10-14 JP JP8309491U patent/JPH0533110U/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013205822A (en) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Olympus Corp | Incident-light illuminating device and inverted microscope |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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