JPH0532993B2 - - Google Patents
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- JPH0532993B2 JPH0532993B2 JP58130714A JP13071483A JPH0532993B2 JP H0532993 B2 JPH0532993 B2 JP H0532993B2 JP 58130714 A JP58130714 A JP 58130714A JP 13071483 A JP13071483 A JP 13071483A JP H0532993 B2 JPH0532993 B2 JP H0532993B2
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- JP
- Japan
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- elastic
- elastic body
- bodies
- vibration
- coupler
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- Expired - Lifetime
Links
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
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- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/08—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
（産業上の利用分野）
本発明は、超音波リニアモータに関するもので
ある。 （従来の技術とその課題） 従来より各種のモータ装置が広範囲な分野にお
いて使用されてきている。しかしながら、従来の
装置の場合には、その小型化や軽量化には制限が
あつた。 一方、本出願人は、従来の各種モータ装置に代
替し、小型および軽量化が可能な、高トルクのモ
ータ装置として、超音波振動を利用したモータ装
置、すなわち、弾性体振動子の表面において励振
される振動波を、この弾性体に加圧接触する動体
の一方向運動に変換する装置をすでに提案されて
いる。 このモータ装置は、弾性体表面に発生させた進
行波の強力な振動エネルギーを回転又は直進運動
に変換するものである。本発明は、この超音波モ
ータ装置について、さらに多様な分野への利用を
可能とし、小型、軽量化の特徴をさらに実現する
ものとして、弾性体を直線型棒状形状として直進
運動を可能としたモータ装置を提供することを目
的とするものである。 （課題を解決するための手段） 本発明は、上記の課題を解決するものとして、
弾性体固定子と動体とを有する超音波リニアモー
タであつて、弾性体固定子は、複数の弾性体本体
と、結合子と圧電体とを有し、複数の弾性体本体
は上下に間隔をおいて並べられ結合子によつて結
合されたものであり、圧電体が弾性体本体もしく
は結合子に取り付けられ弾性体本体を励振し、発
生した振動が結合子を介して他の弾性体本体に伝
達されて表面に進行波を発生するものである超音
波リニアモータを提供する。 以下、図面を参照して本発明に係る超音波リニ
アモータ装置の動作原理とその実施例に関して詳
細な説明を行う。 （作 用） 第１図は本発明のリニアモータの動作原理を説
明するための一部拡大斜視図である。この第１図
に例示したように、金属等の弾性体固定子９の表
面９Ａ上には、横振動と縦振動が合成された進行
波が形成される。 ここでいう進行波とは弾性体固定子９の屈曲振
動による振動波であり、弾性体固定子９の表面に
は縦波と横波とが90゜位相のずれた楕円振動が形
成され、この振動は弾性体固定子９に沿つて伝播
する。 すなわち、第１図は屈曲振動による進行波の伝
播状態（振動源は図示せず）を示しているが、質
点Ｃに着目すると、横振幅ａ（上下方向）と縦振
幅ｂ（左右方向）との合成された楕円Ｑ上を矢印
Ｍの方向に運動しており、その振動波である進行
波は音速Ｕのスピードで移動している。 この運動は弾性体表面９Ａのどの位置であつて
も同様に生じており、この状態下でフリーな動体
１０を弾性体固定子９の表面上に加圧接触させる
と、動体１０は弾性体固定子９の進行波の頂点Ａ
及びA′の部分でのみ接触し、頂点Ａ，A′は振動
速度ｖ＝2πfb（ただしｆは振動数）で矢印Ｍ方向
に運動していることから、動体１０は弾性体固定
子９との摩擦力によつて矢印Ｎ方向に駆動される
ことになる。 以上の通りの動作原理によつて本発明の超音波
リニアモータは弾性体表面に進行波を発生させ、
しかも一方向の進行波として動体を駆動させる。
しかしながら、弾性体に振動を与えただけでは、
振動源に対し両方向に伝播する波を作り、なおか
つ境界面において反射波となり、その結果、弾性
体表面上では横波だけの定在波となり、この波は
動体の駆動力には寄与しない。 そこで弾性体に一方向進行波を発生させる方法
としてたとえば第２図に示すように、複数の弾性
体本体１，２と結合子３および圧電体４としての
たとえば一対の圧電体４Ａ，４Ｂとによつて前記
弾性体固定子９を構成し、圧電体４Ａ，４Ｂに位
相を90゜、または120゜ずらして高周波電圧を加え、
弾性体本体２を励振させ、発生した振動が結合子
３を介して他の弾性体本体１に伝達されて表面に
進行波を発生させ、この進行波によつて前記動体
１０に相当する動体８を駆動させる方法が取られ
る。 この場合、反射波は動体８に当接する弾性体１
の端面において機械インピーダンスの整合をと
り、反射波を作らないようにする。 また、弾性体１と結合子３を含む振動は波長の
整数倍となるようにする。 本発明はこのような作用原理に伴う超音波リニ
アモータを提供する。 以下、さらに詳しく実施例を説明する。 （実施例） 実施例 １ 第３図は弾性体本体１と弾性体本体２を結合子
３で結合させ、圧電体４Ａと圧電体４Ｂとによつ
て屈曲振動による一方向進行波を発生させる直線
型の弾性体固定子を示したものである。弾性体本
体１，２の間の左右一対の結合子３の間の距離
l1，l2はそれぞれ （n1／２±１／４）波長と（n2／２±１／４）波長と
する。 なぜならば、結合子３間で1/4波長の位相差を
持たせることにより反射波を打ち消し、また、こ
の振動系の共振条件が、波動が振動系を一周した
ときの位相を2πラジアンの整数倍とするためで
ある。 さらに、結合部１Ａ，２Ａにおいて、弾性体本
体１の振幅と弾性体本体２の振幅を特しくする。
その理由は、弾性体本体１の振動エネルギーを弾
性体本体２にすべて伝えるには、両者の機械イン
ピーダンスを等しくすることが必要となる。 この実施例では弾性体本体１と弾性体本体２を
同材質とすれば、断面形状を適当に選ぶことによ
り上記の条件を満足することが出来る。 なお、弾性体本体１，２の結合点１Ａ，２Ａに
おける位相差は可能な限り小さくする必要があ
り、また、結合子３の材質、形状を考慮すべきで
ある。 なぜならば、結合子３の質量と弾性率は結合部
における位相差に影響を与えるからである。 また、弾性体本体１，２の両端部は定在波とし
て振幅するため、結合子３からの長さは、固定端
とするか、自由端とするかにより、共振条件を満
足する寸法とすべきである。 実施例 ２ 第４図Ａは弾性体本体１，２を前記結合子３と
しての半波長の共振結合子５で結合させ、圧電体
４Ａ，４Ｂによる屈曲振動によつて一方向進行波
を発生させる直線型弾性体固定子を用いる例を示
したものである。 弾性体本体１，２の共振結合子５間の距離、両
端部の寸法、および弾性体本体１，２の機械イン
ピーダンスの整合は実施例１の場合と同様であ
る。また、共振結合子５の備えるべき条件は、励
振周波数に共振することである。 また、第４図Ｂは、第４図Ａの前記結合子３に
相当する共振結合子５を音叉型の共振結合子６に
おきかえた場合の実施例を示したものである。 実施例 ３ 第５図は弾性体本体１，２を前記結合子３に相
当するステツプ型ホーンの半波長共振結合子７で
結合させ、圧電体４Ａ，４Ｂによる屈曲振動によ
つて一方向進行波を発生させる直線型弾性体固定
子を用いた例を示したものである。 弾性体本体１，２の半波長共振結合子７間の距
離l1，l2および両端部の寸法は実施例１の場合と
同様とするが、弾性体本体１，２の機械インピー
ダンスは必ずしも等しくする必要はない。 半波長共振結合子７の条件は、励振周波数に共
振することと、弾性体本体１，２の機械インピー
ダンスの整合を満すべく、それぞれの機械インピ
ーダンスの比が、半波長共振結合子７の結合部１
Ｂ，２Ｂの振幅比の２乗に比例するような形状と
することである。 実施例 ４ 第６図は第４図Ａの共振結合子５を圧電型振動
結合子１１でおきかえた直線型弾性体固定子を用
いた実施例を示したものである。弾性体本体１，
２の条件は第４図Ａの場合と同様である。 また、この振動結合子１１は共振結合子５と同
様に、この振動系の周波数に共振するものとす
る。 そして、この実施例においては、第４図Ａの圧
電体４Ａ，４Ｂは不要となる。なお、振動子をホ
ーン型振動子としてもよく、その条件は第５図の
実施例の場合と同じ条件とする。 実施例 ５ 第７図は２個の弾性体本体２と１個の弾性体本
体１を結合子３で組合せ、結合した直線型弾性体
固定子を用いる場合を例示したものである。波長
関係は第３図の実施例の場合と同様である。な
お、機械インピーダンスについては、２個の弾性
体本体２の総和が弾性体本体１と等しくなるよう
にする。 共振結合子、振動結合子を用いる場合も結合子
本体２からの振動エネルギーがすべて弾性体本体
１に流れ込むように機械インピーダンスの整合を
取る必要がある。 実施例 ６ 第３図に示した結合子は一般に金属等の弾性体
であることから、質量と弾性を有し、その結果、
弾性体本体１，２とでは、結合子３との結合部１
Ａ，２Ａにおいて、わずかに位相差を生じること
が考慮される。このため、完全な一方向進行波を
作るには障害となり、位相差を完全に零とするこ
とは難しい。 そこで、第８図に示すように弾性体本体１，２
の左右の前記結合子３に相当する1/4波長結合子
７間の距離l3，l4をそれぞれ （n1／２±１／４）波長と（n2／２±１／４）波長と
し、1/ 4波長結合子７は長手方向の縦振動による1/4波長
振動体として構成する方法が考えられる。 この場合の機械インピーダンスについては、第
３図または第６図の例の場合と同様であるが、こ
れに1/4波長結合子７の縦振動による機械インピ
ーダンスのマツチングを取ることとする。 なお、本発明においては、前記のn1，n2…は同
時に偶数の整数または奇数の整数を示し、また
λ1，λ2…は弾性体本体１，２の波長をそれぞれ示
すものとすると、
ある。 （従来の技術とその課題） 従来より各種のモータ装置が広範囲な分野にお
いて使用されてきている。しかしながら、従来の
装置の場合には、その小型化や軽量化には制限が
あつた。 一方、本出願人は、従来の各種モータ装置に代
替し、小型および軽量化が可能な、高トルクのモ
ータ装置として、超音波振動を利用したモータ装
置、すなわち、弾性体振動子の表面において励振
される振動波を、この弾性体に加圧接触する動体
の一方向運動に変換する装置をすでに提案されて
いる。 このモータ装置は、弾性体表面に発生させた進
行波の強力な振動エネルギーを回転又は直進運動
に変換するものである。本発明は、この超音波モ
ータ装置について、さらに多様な分野への利用を
可能とし、小型、軽量化の特徴をさらに実現する
ものとして、弾性体を直線型棒状形状として直進
運動を可能としたモータ装置を提供することを目
的とするものである。 （課題を解決するための手段） 本発明は、上記の課題を解決するものとして、
弾性体固定子と動体とを有する超音波リニアモー
タであつて、弾性体固定子は、複数の弾性体本体
と、結合子と圧電体とを有し、複数の弾性体本体
は上下に間隔をおいて並べられ結合子によつて結
合されたものであり、圧電体が弾性体本体もしく
は結合子に取り付けられ弾性体本体を励振し、発
生した振動が結合子を介して他の弾性体本体に伝
達されて表面に進行波を発生するものである超音
波リニアモータを提供する。 以下、図面を参照して本発明に係る超音波リニ
アモータ装置の動作原理とその実施例に関して詳
細な説明を行う。 （作 用） 第１図は本発明のリニアモータの動作原理を説
明するための一部拡大斜視図である。この第１図
に例示したように、金属等の弾性体固定子９の表
面９Ａ上には、横振動と縦振動が合成された進行
波が形成される。 ここでいう進行波とは弾性体固定子９の屈曲振
動による振動波であり、弾性体固定子９の表面に
は縦波と横波とが90゜位相のずれた楕円振動が形
成され、この振動は弾性体固定子９に沿つて伝播
する。 すなわち、第１図は屈曲振動による進行波の伝
播状態（振動源は図示せず）を示しているが、質
点Ｃに着目すると、横振幅ａ（上下方向）と縦振
幅ｂ（左右方向）との合成された楕円Ｑ上を矢印
Ｍの方向に運動しており、その振動波である進行
波は音速Ｕのスピードで移動している。 この運動は弾性体表面９Ａのどの位置であつて
も同様に生じており、この状態下でフリーな動体
１０を弾性体固定子９の表面上に加圧接触させる
と、動体１０は弾性体固定子９の進行波の頂点Ａ
及びA′の部分でのみ接触し、頂点Ａ，A′は振動
速度ｖ＝2πfb（ただしｆは振動数）で矢印Ｍ方向
に運動していることから、動体１０は弾性体固定
子９との摩擦力によつて矢印Ｎ方向に駆動される
ことになる。 以上の通りの動作原理によつて本発明の超音波
リニアモータは弾性体表面に進行波を発生させ、
しかも一方向の進行波として動体を駆動させる。
しかしながら、弾性体に振動を与えただけでは、
振動源に対し両方向に伝播する波を作り、なおか
つ境界面において反射波となり、その結果、弾性
体表面上では横波だけの定在波となり、この波は
動体の駆動力には寄与しない。 そこで弾性体に一方向進行波を発生させる方法
としてたとえば第２図に示すように、複数の弾性
体本体１，２と結合子３および圧電体４としての
たとえば一対の圧電体４Ａ，４Ｂとによつて前記
弾性体固定子９を構成し、圧電体４Ａ，４Ｂに位
相を90゜、または120゜ずらして高周波電圧を加え、
弾性体本体２を励振させ、発生した振動が結合子
３を介して他の弾性体本体１に伝達されて表面に
進行波を発生させ、この進行波によつて前記動体
１０に相当する動体８を駆動させる方法が取られ
る。 この場合、反射波は動体８に当接する弾性体１
の端面において機械インピーダンスの整合をと
り、反射波を作らないようにする。 また、弾性体１と結合子３を含む振動は波長の
整数倍となるようにする。 本発明はこのような作用原理に伴う超音波リニ
アモータを提供する。 以下、さらに詳しく実施例を説明する。 （実施例） 実施例 １ 第３図は弾性体本体１と弾性体本体２を結合子
３で結合させ、圧電体４Ａと圧電体４Ｂとによつ
て屈曲振動による一方向進行波を発生させる直線
型の弾性体固定子を示したものである。弾性体本
体１，２の間の左右一対の結合子３の間の距離
l1，l2はそれぞれ （n1／２±１／４）波長と（n2／２±１／４）波長と
する。 なぜならば、結合子３間で1/4波長の位相差を
持たせることにより反射波を打ち消し、また、こ
の振動系の共振条件が、波動が振動系を一周した
ときの位相を2πラジアンの整数倍とするためで
ある。 さらに、結合部１Ａ，２Ａにおいて、弾性体本
体１の振幅と弾性体本体２の振幅を特しくする。
その理由は、弾性体本体１の振動エネルギーを弾
性体本体２にすべて伝えるには、両者の機械イン
ピーダンスを等しくすることが必要となる。 この実施例では弾性体本体１と弾性体本体２を
同材質とすれば、断面形状を適当に選ぶことによ
り上記の条件を満足することが出来る。 なお、弾性体本体１，２の結合点１Ａ，２Ａに
おける位相差は可能な限り小さくする必要があ
り、また、結合子３の材質、形状を考慮すべきで
ある。 なぜならば、結合子３の質量と弾性率は結合部
における位相差に影響を与えるからである。 また、弾性体本体１，２の両端部は定在波とし
て振幅するため、結合子３からの長さは、固定端
とするか、自由端とするかにより、共振条件を満
足する寸法とすべきである。 実施例 ２ 第４図Ａは弾性体本体１，２を前記結合子３と
しての半波長の共振結合子５で結合させ、圧電体
４Ａ，４Ｂによる屈曲振動によつて一方向進行波
を発生させる直線型弾性体固定子を用いる例を示
したものである。 弾性体本体１，２の共振結合子５間の距離、両
端部の寸法、および弾性体本体１，２の機械イン
ピーダンスの整合は実施例１の場合と同様であ
る。また、共振結合子５の備えるべき条件は、励
振周波数に共振することである。 また、第４図Ｂは、第４図Ａの前記結合子３に
相当する共振結合子５を音叉型の共振結合子６に
おきかえた場合の実施例を示したものである。 実施例 ３ 第５図は弾性体本体１，２を前記結合子３に相
当するステツプ型ホーンの半波長共振結合子７で
結合させ、圧電体４Ａ，４Ｂによる屈曲振動によ
つて一方向進行波を発生させる直線型弾性体固定
子を用いた例を示したものである。 弾性体本体１，２の半波長共振結合子７間の距
離l1，l2および両端部の寸法は実施例１の場合と
同様とするが、弾性体本体１，２の機械インピー
ダンスは必ずしも等しくする必要はない。 半波長共振結合子７の条件は、励振周波数に共
振することと、弾性体本体１，２の機械インピー
ダンスの整合を満すべく、それぞれの機械インピ
ーダンスの比が、半波長共振結合子７の結合部１
Ｂ，２Ｂの振幅比の２乗に比例するような形状と
することである。 実施例 ４ 第６図は第４図Ａの共振結合子５を圧電型振動
結合子１１でおきかえた直線型弾性体固定子を用
いた実施例を示したものである。弾性体本体１，
２の条件は第４図Ａの場合と同様である。 また、この振動結合子１１は共振結合子５と同
様に、この振動系の周波数に共振するものとす
る。 そして、この実施例においては、第４図Ａの圧
電体４Ａ，４Ｂは不要となる。なお、振動子をホ
ーン型振動子としてもよく、その条件は第５図の
実施例の場合と同じ条件とする。 実施例 ５ 第７図は２個の弾性体本体２と１個の弾性体本
体１を結合子３で組合せ、結合した直線型弾性体
固定子を用いる場合を例示したものである。波長
関係は第３図の実施例の場合と同様である。な
お、機械インピーダンスについては、２個の弾性
体本体２の総和が弾性体本体１と等しくなるよう
にする。 共振結合子、振動結合子を用いる場合も結合子
本体２からの振動エネルギーがすべて弾性体本体
１に流れ込むように機械インピーダンスの整合を
取る必要がある。 実施例 ６ 第３図に示した結合子は一般に金属等の弾性体
であることから、質量と弾性を有し、その結果、
弾性体本体１，２とでは、結合子３との結合部１
Ａ，２Ａにおいて、わずかに位相差を生じること
が考慮される。このため、完全な一方向進行波を
作るには障害となり、位相差を完全に零とするこ
とは難しい。 そこで、第８図に示すように弾性体本体１，２
の左右の前記結合子３に相当する1/4波長結合子
７間の距離l3，l4をそれぞれ （n1／２±１／４）波長と（n2／２±１／４）波長と
し、1/ 4波長結合子７は長手方向の縦振動による1/4波長
振動体として構成する方法が考えられる。 この場合の機械インピーダンスについては、第
３図または第６図の例の場合と同様であるが、こ
れに1/4波長結合子７の縦振動による機械インピ
ーダンスのマツチングを取ることとする。 なお、本発明においては、前記のn1，n2…は同
時に偶数の整数または奇数の整数を示し、また
λ1，λ2…は弾性体本体１，２の波長をそれぞれ示
すものとすると、
【表】
が最もよい効果が得られることが判明している。
（発明の効果）
以上詳しく説明した通り、本発明によつて、小
型、軽量化可能なリニアモータが実現され、 １ 複写機の直進移動機構 ２ 自動扉の直進移動機構 ３ フロツピーデイスクヘツドの直進移動機構 ４ 電子プリンタキヤリアの直進移動機構 ５ 自動車のパワーウインド機構 ６ 自動車のサンルーフ開閉機構 ７ 空圧、油圧シリンダのカセツトの代替 ８ ロボツトのアクチエター ９ コンベアの代替 10 XYレコーダー 等に効果的に利用することができる。産業技術と
して極めて有用な発明がここに提供される。
型、軽量化可能なリニアモータが実現され、 １ 複写機の直進移動機構 ２ 自動扉の直進移動機構 ３ フロツピーデイスクヘツドの直進移動機構 ４ 電子プリンタキヤリアの直進移動機構 ５ 自動車のパワーウインド機構 ６ 自動車のサンルーフ開閉機構 ７ 空圧、油圧シリンダのカセツトの代替 ８ ロボツトのアクチエター ９ コンベアの代替 10 XYレコーダー 等に効果的に利用することができる。産業技術と
して極めて有用な発明がここに提供される。
第１図は本発明の動作原理を説明するための一
部拡大斜視図であり、第２図は結合子によりエン
ドレス構造としたリニアモータの一例を原理的に
示した側面図である。第３図、第４図、第５図、
第６図、第７図および第８図は、各々、一方向進
行波を発生させる各種の直線型弾性体固定子を用
いたリニアモータを例示した側面図である。 １，２……弾性体本体、１ａ，２Ａ……結合
部、１Ｂ，２Ｂ……結合部、３……結合子、４…
…圧電体、４Ａ，４Ｂ……圧電体、５……共振結
合子、６………音叉型共振結合子、７……ホーン
型半波長共振結合子、８……動体、９……弾性体
固定子、９Ａ……弾性体表面、１０……動体、１
１……圧電型振動結合子。
部拡大斜視図であり、第２図は結合子によりエン
ドレス構造としたリニアモータの一例を原理的に
示した側面図である。第３図、第４図、第５図、
第６図、第７図および第８図は、各々、一方向進
行波を発生させる各種の直線型弾性体固定子を用
いたリニアモータを例示した側面図である。 １，２……弾性体本体、１ａ，２Ａ……結合
部、１Ｂ，２Ｂ……結合部、３……結合子、４…
…圧電体、４Ａ，４Ｂ……圧電体、５……共振結
合子、６………音叉型共振結合子、７……ホーン
型半波長共振結合子、８……動体、９……弾性体
固定子、９Ａ……弾性体表面、１０……動体、１
１……圧電型振動結合子。
Claims (1)
- １ 弾性体固定子と動体とを有する超音波リニア
モータであつて、弾性体固定子は、複数の弾性体
本体１，２と、結合子３と圧電体４とを有し、複
数の弾性体本体１，２は上下に間隔をおいて並べ
られ結合子３によつて結合されたものであり、圧
電体４が弾性体本体２もしくは結合子３に取り付
けられて弾性体本体２を励振し、発生した振動が
結合子３を介して他の弾性体本体１に伝達されて
表面に進行波を発生するものである超音波リニア
モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58130714A JPS6022478A (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | 超音波リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58130714A JPS6022478A (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | 超音波リニアモータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6022478A JPS6022478A (ja) | 1985-02-04 |
| JPH0532993B2 true JPH0532993B2 (ja) | 1993-05-18 |
Family
ID=15040862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58130714A Granted JPS6022478A (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | 超音波リニアモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6022478A (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2523634B2 (ja) * | 1987-05-12 | 1996-08-14 | 松下電器産業株式会社 | 超音波モ−タ |
| JPH01220781A (ja) * | 1988-02-26 | 1989-09-04 | Nissan Motor Co Ltd | 弁装置 |
| US5039899A (en) * | 1989-02-28 | 1991-08-13 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric transducer |
| JPH02237481A (ja) * | 1989-03-07 | 1990-09-20 | Canon Inc | 振動波モータ |
| US5006749A (en) * | 1989-10-03 | 1991-04-09 | Regents Of The University Of California | Method and apparatus for using ultrasonic energy for moving microminiature elements |
| JPH10337057A (ja) * | 1997-06-02 | 1998-12-18 | Minolta Co Ltd | 駆動装置 |
| US6309600B1 (en) | 1997-08-28 | 2001-10-30 | Biotrove, Inc. | Apparatus for droplet microchemistry |
| US7588725B2 (en) | 2001-04-25 | 2009-09-15 | Biotrove, Inc. | High throughput autosampler |
| US6812030B2 (en) | 2001-04-25 | 2004-11-02 | Biotrove, Inc. | System and method for high throughput sample preparation and analysis using column chromatography |
| JP4819445B2 (ja) * | 2005-09-02 | 2011-11-24 | 国立大学法人東京工業大学 | 超音波浮上装置 |
| CN101964600B (zh) * | 2010-10-21 | 2012-05-23 | 南京航空航天大学 | 履带驱动装置、方法及履带式行走机构 |
-
1983
- 1983-07-18 JP JP58130714A patent/JPS6022478A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6022478A (ja) | 1985-02-04 |
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