JPH0532426A - Production of quartz glass body - Google Patents

Production of quartz glass body

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JPH0532426A
JPH0532426A JP3191521A JP19152191A JPH0532426A JP H0532426 A JPH0532426 A JP H0532426A JP 3191521 A JP3191521 A JP 3191521A JP 19152191 A JP19152191 A JP 19152191A JP H0532426 A JPH0532426 A JP H0532426A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
powder
quartz glass
silica
glass body
molding
Prior art date
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Pending
Application number
JP3191521A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Hihara
弘 日原
Kenji Enomoto
憲嗣 榎本
Tsugio Sato
継男 佐藤
Kazuaki Yoshida
和昭 吉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Priority to CA002067260A priority patent/CA2067260C/en
Priority to DE69206469T priority patent/DE69206469T2/en
Priority to EP92107194A priority patent/EP0511621B1/en
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Abstract

PURPOSE:To provide a method for producing a quartz glass body in which bubbles can be prevented from forming in spite of the method for forming. CONSTITUTION:Humidified silica powder 10 is introduced and filled into a forming mold 1 made of rubber and a supporting cylinder 5 is coaxially set through a space 4 on the outer periphery of the forming mold 1. A top lid 3 is further attached to the upper part of the forming mold 1. A forming unit 6 assembled as described above is then placed in a high-pressure vessel 9 filled with a hydraulic medium 8 and a pressure is applied to the forming mold 1. Thereby, the humidified silica powder 10 in the interior is formed. The resultant formed body is subsequently placed in a thermostatic device and dried. The dried formed body is finally sintered in a helium atmosphere at about 1600 deg.C and transparently vitrified to afford a bubbleless quartz rod.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、例えば光ファイバ製造
用の光ファイバ母材等として使用される石英ガラス体を
成形法により製造する石英ガラス体の製造方法に関する
ものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a quartz glass body by a molding method for producing a quartz glass body used as an optical fiber preform for producing an optical fiber.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、成形法により石英ガラス体を製造
する場合には、圧力容器内のゴム製成形型内にシリカ粉
末,シリカ粉末を主原料とした粉末を充填して外部圧力
により成形し、得られた成形体を焼結して石英ガラス体
を製造していた。
2. Description of the Related Art Conventionally, when a quartz glass body is manufactured by a molding method, silica powder and powder containing silica powder as a main raw material are filled in a rubber molding die in a pressure vessel and molded by an external pressure. The obtained molded body was sintered to produce a quartz glass body.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな成形法により得られた成形体を焼結してガラス化す
ると、しばしば石英ガラス体内に気泡が生じる問題点が
あった。これは成形体が有する密度の不均一及び気孔が
大きな原因となっている。
However, when the molded body obtained by such a molding method is sintered and vitrified, there is a problem that bubbles often occur in the quartz glass body. This is largely due to the non-uniform density and pores of the molded body.

【0004】本発明の目的は、成形法でありながら、気
泡の発生を防止できる石英ガラス体の製造方法を提供す
ることにある。
An object of the present invention is to provide a method for producing a quartz glass body which can prevent the generation of bubbles even though it is a molding method.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する本
発明の手段を説明すると、次の通りである。
The means of the present invention for achieving the above object will be described below.

【0006】請求項1に記載の発明は、成形型内に、シ
リカ粉末,シリカ粉末を主原料とした粉末,シリカ粉末
を造粒した造粒粒子,シリカ粉末を主原料とした粉末を
造粒した造粒粒子のいずれれか又はこれらの混合体より
なる石英ガラス体成形用粉粒体を充填して外部圧力によ
り成形し、これを焼結して石英ガラス体を製造するに際
し、前記石英ガラス体成形用粉粒体を加湿した後、前記
成形型に充填して成形を行うことを特徴とする。
According to the first aspect of the present invention, silica powder, powder containing silica powder as a main raw material, granulated particles obtained by granulating silica powder, and powder containing silica powder as a main raw material are granulated in a molding die. When the quartz glass body is manufactured by filling a quartz glass body-forming powder or granules made of any of the above-mentioned granulated particles or a mixture thereof and molding the mixture with an external pressure, the quartz glass body The present invention is characterized in that the powder for body forming is moistened, and then the powder is filled into the forming die to perform the forming.

【0007】請求項2に記載の発明は、成形型内の中心
に棒状体を設置し、前記成形体内の前記棒状体の周囲に
シリカ粉末,シリカ粉末を主原料とした粉末,シリカ粉
末を造粒した造粒粒子,シリカ粉末を主原料とした粉末
を造粒した造粒粒子のいずれれか又はこれらの混合体よ
りなる石英ガラス体成形用粉粒体を充填して外部圧力に
より成形し、得られた成形体を焼結して石英ガラス体を
製造するに際し、前記石英ガラス体成形用粉粒体を加湿
した後、前記成形型に充填して成形を行うことを特徴と
する。
According to a second aspect of the present invention, a rod-shaped body is installed in the center of a molding die, and silica powder, a powder containing silica powder as a main raw material, and a silica powder are produced around the rod-shaped body in the molding body. Granulated granules, silica powder is used as a main raw material, and any one of granulated particles obtained by granulating powder or a mixture thereof is filled with a quartz glass body molding powder and molded by external pressure, When the obtained molded body is sintered to manufacture a quartz glass body, the quartz glass body-forming powder and granules are moistened, and then the molded body is filled and molded.

【0008】[0008]

【作用】このように、成形型内に石英ガラス体成形用粉
粒体を充填する前に、該石英ガラス体成形用粉粒体に加
湿を施すと、成形時に加圧することによって成形体のか
さ密度を向上させることができる。また、加湿すること
で成形体内の空気の取り込みを低減させることができ
る。更に、シリカ粉末を造粒した造粒粒子、又は、シリ
カ粉末を主原料とした粉末を造粒した造粒粒子を用いた
場合、この造粒粒子を成形の際につぶれ易くすることに
よって、均一な密度分布を有する石英ガラスが得られ
る。
As described above, if the quartz glass body molding powder and granules are humidified before being filled in the molding die, the bulk of the molded body is pressed by pressing during molding. The density can be improved. Further, the humidification can reduce the intake of air in the molded body. Furthermore, when granulated particles obtained by granulating silica powder, or granulated particles obtained by granulating powder having silica powder as a main raw material are used, the granulated particles can be easily crushed during molding to obtain uniform Quartz glass having a wide density distribution is obtained.

【0009】[0009]

【実施例】【Example】

実施例1 図1を用いて、石英棒を作る場合について、以下に説明
する。この実施例では、石英ガラス体成形用粉粒体とし
て、市販のシリカ粉末を用いた。シリカ粉末の粒径は約
8μm、水分含有量は約 0.3%である。これを図示しな
い恒温恒湿機に入れて加湿した。この実施例の加湿は、
温度40℃,湿度70%でシリカ粉末に含まれる水分量が3
%となるようにして行った。この場合、シリカ粉末に含
まれる水分量を3%以上とすると、乾燥時に亀裂が生じ
た。シリカ粉末の水分含有量は、赤外線水分計で測定し
た。
Example 1 A case of making a quartz rod will be described below with reference to FIG. In this example, commercially available silica powder was used as the powder particles for forming the quartz glass body. The particle size of the silica powder is about 8 μm and the water content is about 0.3%. This was placed in a thermo-hygrostat (not shown) and humidified. Humidification of this example,
The moisture content in silica powder is 3 at 40 ℃ and 70% humidity.
% Was performed. In this case, when the amount of water contained in the silica powder was 3% or more, cracks occurred during drying. The water content of the silica powder was measured with an infrared moisture meter.

【0010】本実施例の石英ガラス体成形装置は、ゴム
製の筒状をした成形型1と、その下部に嵌合された下蓋
2と、その上部に嵌合された上蓋3と、成形型1の外周
に空間4を介して同軸状に配置されて両端が下蓋2と上
蓋3とに支持された支持筒5とを備え、これらで成形ユ
ニット6が構成されている。支持筒5の周壁には、複数
の貫通孔7が分散して設けられている。このような成形
ユニット6は、加圧媒体(滑油)8で満たされた高圧容
器9内に収容されるようになっている。支持筒5,高圧
容器9は、例えばステンレススチールで形成されてい
る。
The quartz glass body molding apparatus of this embodiment comprises a rubber-made cylindrical molding die 1, a lower lid 2 fitted to the lower portion thereof, an upper lid 3 fitted to the upper portion thereof, and a molding die. A mold 1 is provided with a support cylinder 5 which is coaxially arranged on the outer periphery of the mold 1 with a space 4 and whose both ends are supported by a lower lid 2 and an upper lid 3. A plurality of through holes 7 are dispersedly provided on the peripheral wall of the support cylinder 5. The molding unit 6 as described above is housed in a high-pressure container 9 filled with a pressurizing medium (lubricant) 8. The support cylinder 5 and the high-pressure container 9 are made of, for example, stainless steel.

【0011】本実施例では、前述したようにして加湿し
たシリカ粉末10をゴム製の成形型1に投入・充填す
る。この投入・充填中は、成形型1の下部に嵌合した下
蓋2に振動を与えた。本実施例で用いた成形型1の寸法
は、約35mmφ(外径)×25mmφ(内径)× 170mm(長
さ、ただし、この長さのうち充填部の長さは150 mm)で
ある。加湿したシリカ粉末10の投入量は、約80gであ
った。次に、成形型1の外周に支持筒5を空間4を介し
て同心状にセットし、また該成形型1の上部に上蓋3を
取り付けた。加湿したシリカ粉末10の接触する下蓋
2,上蓋3の表面には、図示しないがフッ素樹脂が被覆
されている。
In this embodiment, the silica powder 10 moistened as described above is charged and filled in the rubber mold 1. During the charging and filling, the lower lid 2 fitted to the lower part of the mold 1 was vibrated. The mold 1 used in this example has a size of about 35 mmφ (outer diameter) × 25 mmφ (inner diameter) × 170 mm (length, of which length the filling portion is 150 mm). The amount of humidified silica powder 10 was about 80 g. Next, the support cylinder 5 was set concentrically on the outer periphery of the molding die 1 through the space 4, and the upper lid 3 was attached to the upper part of the molding die 1. Although not shown, the surface of the lower lid 2 and the upper lid 3 that the humidified silica powder 10 comes into contact with is coated with a fluororesin.

【0012】このようにして組み立てられた成形ユニッ
ト6を、加圧媒体(滑油)8で満たした高圧容器9内に
入れ、ゴム製の成形型1に圧力をかけて内部の加湿した
シリカ粉末10を成形した。成形は、圧力:約 500Kgf/
cm2 、圧力印加時間:約1分の条件で行った。得られた
成形体は、破損することなく成形型1から取り出すこと
ができた。
The molding unit 6 assembled in this manner is placed in a high-pressure container 9 filled with a pressure medium (lubricant) 8 and pressure is applied to the rubber molding die 1 to wet the silica powder inside. 10 was molded. Molding pressure: about 500Kgf /
cm 2 , pressure application time: about 1 minute. The obtained molded body could be taken out from the mold 1 without damage.

【0013】次に、得られた成形体を、図示しない恒温
機に入れて乾燥した。乾燥は、温度110℃、約24時間の
条件で行った。この時の湿度は、0%である。
Next, the obtained molded body was placed in a thermostat (not shown) and dried. Drying was performed under the conditions of a temperature of 110 ° C. and a time of about 24 hours. The humidity at this time is 0%.

【0014】最後に、この成形体を約1600℃のヘリウム
雰囲気中で焼結し、透明ガラス化したところ、外径17mm
φの気泡のない石英棒が得られた。
Finally, when the molded body was sintered in a helium atmosphere at about 1600 ° C. to form a transparent glass, the outer diameter was 17 mm.
A φ-free quartz rod was obtained.

【0015】次に、図2を用いて、石英パイプを作製す
る場合について、以下に説明する。この実施例では、石
英ガラス体成形用粉粒体として、シリカ粉末を造粒した
シリカ造粒粒子を用いた。シリカ造粒粒子は、造粒前の
1次粒子径が約0.7μm、造粒後の粒子径が約50μmで
ある。また、このシリカ造粒粒子に含まれている水分量
は、約 0.5%である。このシリカ造粒粒子を図示しない
恒温恒湿機に入れて加湿した。加湿条件は、温度40℃,
湿度95%で、シリカ造粒粒子に含まれる水分量を5%に
した。シリカ造粒粒子に含まれる水分量を5%以上とす
ると、該シリカ造粒粒子の一部が1次粒子に戻ってしま
い、充填性が悪くなった。シリカ造粒粒子に含まれる水
分量は、赤外線水分計で測定した。
Next, the case of producing a quartz pipe will be described below with reference to FIG. In this example, silica granules obtained by granulating silica powder were used as the quartz glass body molding powder. The silica granulated particles have a primary particle size of about 0.7 μm before granulation and a particle size of about 50 μm after granulation. The amount of water contained in the silica granulated particles is about 0.5%. The silica granulated particles were placed in a thermo-hygrostat (not shown) and humidified. Humidification conditions are temperature 40 ℃,
The moisture content in the silica granulated particles was adjusted to 5% at a humidity of 95%. When the amount of water contained in the silica granulated particles was 5% or more, a part of the silica granulated particles returned to the primary particles, and the filling property deteriorated. The amount of water contained in the silica granulated particles was measured with an infrared moisture meter.

【0016】本実施例の石英ガラス体成形装置は、ゴム
製の筒状をした成形型11と、その下部に重ねて配置さ
れた筒状の下蓋12と、その上部に重ねて配置された筒
状の上蓋13と、下蓋12に嵌合された下パンチ14
と、上蓋13に嵌合された上パンチ15と、成形型11
の外周に配置されて両端が下蓋12と上蓋13とに支持
された加圧ゴム型16、この加圧ゴム型16の外周に空
間17を介して同軸状に配置されて両端が下蓋12と上
蓋13とに液密に支持された高圧容器18と、該高圧容
器18の周壁を貫通して設けられた加圧媒体注入口19
とを備えて構成されている。加圧ゴム型16と高圧容器
18とで区画されて形成されている空間17には、加圧
媒体注入口19から加圧媒体(滑油)20が圧入される
ようになっている。
The apparatus for molding a quartz glass body of this embodiment comprises a rubber molding die 11, a cylindrical lower lid 12 arranged in a lower portion of the molding die 11 and an upper lid thereof. A cylindrical upper lid 13 and a lower punch 14 fitted to the lower lid 12.
And the upper punch 15 fitted to the upper lid 13 and the molding die 11
A pressure rubber die 16 disposed on the outer periphery of the pressure rubber die 16 supported at both ends by the lower lid 12 and the upper lid 13, and coaxially disposed on the outer periphery of the pressure rubber die 16 with a space 17 at both ends. A high-pressure container 18 liquid-tightly supported by the upper lid 13 and a pressurizing medium inlet 19 penetrating the peripheral wall of the high-pressure container 18.
And is configured. A pressurizing medium (lubricating oil) 20 is press-fitted from a pressurizing medium inlet 19 into a space 17 defined by the pressurizing rubber mold 16 and the high-pressure container 18.

【0017】本実施例では、上パンチ15を開け、前述
したようにして加湿した加湿シリカ造粒粒子21を成形
型11内に投入・充填した後、上パンチ15を閉める。
この時、上パンチ15の下面中央に設けられた保持治具
22には、予めガラス棒23の上端が支持されているの
で、上パンチ15が閉められることによりガラス棒23
が成形型11の中心に沿って加湿シリカ造粒粒子21内
に挿入されて、下パンチ14の上面中央に設けられた凹
部24に該ガラス棒23の下部が位置決めされる。本実
施例の成形型11は、内径が約50mmφ、充填部の長さが
約 250mmである。ガラス棒23は、外径が約20mmφのも
のを用いた。また、投入した加湿シリカ造粒粒子21は
約 350gである。加湿シリカ造粒粒子21と接触する下
パンチ14と上パンチ15の面には、フッ素樹脂が被覆
されていて両パンチ14,15からのコンタミを防止す
るようになっている。
In this embodiment, the upper punch 15 is opened, the moistened silica granulated particles 21 moistened as described above are charged and filled in the molding die 11, and then the upper punch 15 is closed.
At this time, since the upper end of the glass rod 23 is previously supported by the holding jig 22 provided in the center of the lower surface of the upper punch 15, the glass rod 23 is closed by closing the upper punch 15.
Is inserted into the humidified silica granulated particles 21 along the center of the mold 11, and the lower part of the glass rod 23 is positioned in the recess 24 provided in the center of the upper surface of the lower punch 14. The molding die 11 of this embodiment has an inner diameter of about 50 mmφ and a filling portion length of about 250 mm. The glass rod 23 has an outer diameter of about 20 mmφ. The amount of the humidified silica granulated particles 21 charged is about 350 g. The surfaces of the lower punch 14 and the upper punch 15 in contact with the humidified silica granulated particles 21 are coated with a fluororesin to prevent contamination from both punches 14 and 15.

【0018】かかる状態で、加圧媒体注入口19から加
圧媒体(滑油)20を圧入した。この加圧媒体20によ
り、加圧ゴム型16には約1000kgf/cm2 の圧力を約1分
間印加した。これによって加圧ゴム型16から成形型1
1に圧力が伝達され、加湿シリカ造粒粒子21は圧縮成
形される。本実施例では、成形型11はニトリルゴム
(NBR)で形成した。そして、成形型11の急激な復
原力に起因した割れ・亀裂等を防止するため、約20分を
かけてゆっくりと減圧した。
In this state, the pressurizing medium (lubricant) 20 was press-fitted from the pressurizing medium inlet 19. With this pressure medium 20, a pressure of about 1000 kgf / cm 2 was applied to the pressure rubber mold 16 for about 1 minute. As a result, from the pressure rubber mold 16 to the molding mold 1
The pressure is transmitted to 1, and the humidified silica granulated particles 21 are compression molded. In this embodiment, the mold 11 is made of nitrile rubber (NBR). Then, in order to prevent cracks and cracks due to the rapid restoring force of the mold 11, the pressure was slowly reduced over about 20 minutes.

【0019】以上の操作により割れ・亀裂等のない多孔
質母材が得られた。離型した多孔質母材の中心からガラ
ス棒23を引き抜いた後、この多孔質母材を図示しない
恒温機で十分乾燥した。
By the above operation, a porous base material having no cracks was obtained. After pulling out the glass rod 23 from the center of the released porous base material, the porous base material was sufficiently dried by a thermostat (not shown).

【0020】この多孔質母材を約1650℃のヘリウム雰囲
気中で透明ガラス化した。得られた石英パイプには気泡
は認められなかった。
This porous matrix was vitrified into a transparent glass in a helium atmosphere at about 1650 ° C. No bubbles were observed in the obtained quartz pipe.

【0021】次に、図2を用いて、光ファイバ母材を作
製する例を説明する。この実施例では、石英ガラス体成
形用粉粒体として、シリカ造粒粒子を用いた。このシリ
カ造粒粒子は、1次粒子径が約0.7 μm、造粒粒子径が
約50μmである。また、このシリカ造粒粒子に含まれて
いる水分量は約0.5 %である。このシリカ造粒粒子を恒
温恒湿機(図示せず)に入れて加湿した。加湿条件は、
温度40℃、湿度70%で、シリカ造粒粒子に含まれる水分
量を3%にした。シリカ造粒粒子に含まれる水分量を5
%以上とすると、シリカ造粒粒子の一部が1次粒子にも
どってしまい、充填性が悪くなった。シリカ造粒粒子に
含まれる水分量は、赤外線水分計で測定した。
Next, an example of producing an optical fiber preform will be described with reference to FIG. In this example, silica granulated particles were used as the powder particles for forming the quartz glass body. The silica granulated particles have a primary particle size of about 0.7 μm and a granulated particle size of about 50 μm. The amount of water contained in the silica granulated particles is about 0.5%. The silica granulated particles were placed in a thermo-hygrostat (not shown) for humidification. Humidification conditions are
At a temperature of 40 ° C. and a humidity of 70%, the amount of water contained in the silica granulated particles was set to 3%. The amount of water contained in the silica granulated particles is 5
When it is more than 100%, a part of the silica granulated particles is returned to the primary particles, and the filling property is deteriorated. The amount of water contained in the silica granulated particles was measured with an infrared moisture meter.

【0022】上パンチ15を開け、上記のようにして製
造した加湿シリカ造粒粒子21を成形型11に投入・充
填した後、該上パンチ15を閉める。成形型11は、内
径が約50mmφ、充填部の長さが約250 mmである。上パン
チ15には、保持治具22により予めガラス棒23を取
り付けておく。このようにすると、前述したと同様に、
上パンチ15が閉められることによりガラス棒23が成
形型11の中心に沿って加湿シリカ造粒粒子21内に挿
入されて、下パンチ14の上面中央に設けられた凹部2
4に該ガラス棒23の下部が位置決めされる。ガラス棒
23は気相法で作製し、コア/クラッド比が1/4、寸
法は10.6mmφ×270 mmである。また、投入した加湿シリ
カ造粒粒子は約420 gである。更に、各パンチ14,1
5の加湿シリカ造粒粒子21と接触する面にはフッ素樹
脂が被覆されていて、両パンチからのコンタミを防止す
るようになっている。
The upper punch 15 is opened, the humidified silica granulated particles 21 produced as described above are charged and filled in the molding die 11, and then the upper punch 15 is closed. The mold 11 has an inner diameter of about 50 mmφ and a filling portion length of about 250 mm. A glass rod 23 is attached to the upper punch 15 in advance by a holding jig 22. In this way, like the above,
When the upper punch 15 is closed, the glass rod 23 is inserted into the humidified silica granulated particles 21 along the center of the mold 11, and the recess 2 provided in the center of the upper surface of the lower punch 14 is inserted.
The lower part of the glass rod 23 is positioned at 4. The glass rod 23 is manufactured by a vapor phase method, and has a core / cladding ratio of 1/4 and dimensions of 10.6 mmφ × 270 mm. The amount of the humidified silica granulated particles added was about 420 g. Furthermore, each punch 14,1
The surface of No. 5 that contacts the humidified silica granulated particles 21 is coated with a fluororesin so as to prevent contamination from both punches.

【0023】かかる状態で、加圧媒体注入口19から加
圧媒体(滑油)20を圧入した。この加圧媒体20によ
り、加圧ゴム型16には約1000kgf/cm2 の圧力を約1分
間印加した。これによって加圧ゴム型16から成形型1
1に圧力が伝達され、加湿シリカ造粒粒子21は圧縮成
形された。本実施例では、成形型11はニトリルゴム
(NBR)で形成した。そして、成形型11の急激な復
原力に起因した割れ・亀裂等を防止するため、約20分を
かけてゆっくりと減圧した。
In this state, the pressurizing medium (lubricant) 20 was press-fitted from the pressurizing medium inlet 19. With this pressure medium 20, a pressure of about 1000 kgf / cm 2 was applied to the pressure rubber mold 16 for about 1 minute. As a result, from the pressure rubber mold 16 to the molding mold 1
The pressure was transmitted to No. 1, and the humidified silica granulated particles 21 were compression molded. In this embodiment, the mold 11 is made of nitrile rubber (NBR). Then, in order to prevent cracks and cracks due to the rapid restoring force of the mold 11, the pressure was slowly reduced over about 20 minutes.

【0024】以上の操作により割れ・亀裂等のない多孔
質母材が得られた。この多孔質母材を恒温機で十分乾燥
した。
By the above operation, a porous base material having no cracks was obtained. The porous base material was sufficiently dried with a thermostat.

【0025】この多孔質母材を気相法と同様な条件で脱
水・ガラス化して光ファイバ母材を作製した。脱水・ガ
ラス化条件は、通常の気相法と同条件である。得られた
光ファイバ母材には一つの気泡も認められなかった。こ
の光ファイバ母材を通常の方法で線引きして光ファイバ
化を行った。得られた光ファイバは気相法等で作製した
ファイバと同等の特性を有していた。
An optical fiber preform was produced by dehydrating and vitrifying this porous preform under the same conditions as in the vapor phase method. The dehydration and vitrification conditions are the same as those in the ordinary vapor phase method. No bubbles were observed in the obtained optical fiber preform. This optical fiber preform was drawn by an ordinary method to form an optical fiber. The obtained optical fiber had the same characteristics as the fiber produced by the vapor phase method or the like.

【0026】比較例 加湿を施さないシリカ造粒粒子を用いて、実施例2に示
した方法で成形体を作製した。加湿を施したシリカ造粒
粒子を用いて形成した成形体と、加湿を施さないシリカ
造粒粒子を用いて作成した成形体の成形体密度及び気孔
率の比較例を表1に示す。加湿を施すことによって、成
形体密度が向上し、更に気孔率も低下した。気孔率が低
下したことで、成形体に含まれる空気の量も低減し、石
英ガラスに含まれる気泡も低減されることは明白であ
る。
Comparative Example A molded body was prepared by the method shown in Example 2 using silica granulated particles which were not humidified. Table 1 shows a comparative example of the compact density and porosity of the compact formed using the humidified silica granulated particles and the compact formed using the non-humidified silica granulated particles. By humidifying, the density of the molded body was improved and the porosity was also reduced. It is clear that the reduced porosity also reduces the amount of air contained in the molded body, and also reduces the bubbles contained in the quartz glass.

【0027】[0027]

【表1】 [Table 1]

【0028】上記実施例では、石英ガラス体成形用粉粒
体としてシリカ粉末,シリカ粉末を造粒した造粒粒子を
用いた例について示したが、本発明はこれに限定される
ものではなく、例えばシリカ粉末にドーパントを添加し
た粉末の如きシリカ粉末を主原料とした粉末,或いは該
粉末を主原料とした粉末を造粒した造粒粒子を用いるこ
とができる。
In the above embodiment, an example was shown in which silica powder and granulated particles obtained by granulating silica powder were used as the quartz glass molding powder, but the present invention is not limited to this. For example, a powder containing silica powder as a main raw material such as a powder obtained by adding a dopant to silica powder, or granulated particles obtained by granulating a powder containing the powder as a main raw material can be used.

【0029】また、石英ガラス体成形用粉粒体として
は、この他に、下記の如きもの等も用いることができ
る。
In addition to the above, the following particles and the like can be used as the powder particles for forming the quartz glass body.

【0030】(a)シリカ粉末と、シリカ粉末を造粒し
た造粒粒子との混合体。
(A) A mixture of silica powder and granulated particles obtained by granulating silica powder.

【0031】(b)シリカ粉末を主原料とした粉末と、
シリカ粉末を主原料とした粉末を造粒した造粒粒子との
混合体。
(B) a powder whose main raw material is silica powder,
A mixture with granulated particles obtained by granulating powder having silica powder as a main raw material.

【0032】(c)シリカ粉末と、シリカ粉末を主原料
とした粉末を造粒した造粒粒子との混合体。
(C) A mixture of silica powder and granulated particles obtained by granulating powder having silica powder as a main raw material.

【0033】(d)シリカ粉末を主原料とした粉末と、
シリカ粉末を造粒した造粒粒子との混合体。
(D) A powder containing silica powder as a main raw material,
A mixture with granulated particles obtained by granulating silica powder.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る石英ガ
ラス体の製造方法では、成形型内に石英ガラス体成形用
粉粒体を充填する前に、該石英ガラス体成形用粉粒体に
加湿を施すので、成形時に加圧することによって成形体
のかさ密度を向上させることができる。また、加湿する
ことで成形体内の空気の取り込みを低減させることがで
きる。従って、成形体の密度を向上させ、且つ空気の取
り込みを低減させることで、この成形体を透明ガラス化
した時の気泡の発生を極力抑えることが可能になる。こ
のため本発明によれば、高品質な石英ガラス体を歩留ま
りよく、大量に生産することができる。
As described above, in the method for producing a quartz glass body according to the present invention, before filling the quartz glass body-forming powdery granules in the molding die, Since it is humidified, the bulk density of the molded product can be improved by applying pressure during molding. Further, the humidification can reduce the intake of air in the molded body. Therefore, by improving the density of the molded body and reducing the intake of air, it becomes possible to suppress the generation of bubbles when the molded body is made into a transparent glass. Therefore, according to the present invention, high-quality quartz glass bodies can be mass-produced with high yield.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の製造方法を実施する成形装置の一実施
例の縦断面図である。
FIG. 1 is a vertical cross-sectional view of an embodiment of a molding apparatus for carrying out the manufacturing method of the present invention.

【図2】本発明の製造方法を実施する成形装置の他の実
施例の縦断面図である。
FIG. 2 is a vertical sectional view of another embodiment of the molding apparatus for carrying out the manufacturing method of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…成形型、2…下蓋、3…上蓋、4…空間、5…支持
筒、6…成形ユニット、7…貫通孔、8…加圧媒体、9
…高圧容器、10…加湿したシリカ粉末、11…成形
型、12…下蓋、13…上蓋、14…下パンチ、15…
上パンチ、16…加圧ゴム型、17…空間、18…高圧
容器、19…加圧媒体注入口、20…加圧媒体、21…
加湿シリカ造粒粒子、22…保持治具、23…ガラス
棒、24…凹部。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Mold, 2 ... Lower lid, 3 ... Upper lid, 4 ... Space, 5 ... Support cylinder, 6 ... Molding unit, 7 ... Through hole, 8 ... Pressurizing medium, 9
... high-pressure container, 10 ... humidified silica powder, 11 ... mold, 12 ... lower lid, 13 ... upper lid, 14 ... lower punch, 15 ...
Upper punch, 16 ... Pressurized rubber mold, 17 ... Space, 18 ... High pressure container, 19 ... Pressurized medium injection port, 20 ... Pressurized medium, 21 ...
Humidified silica granulated particles, 22 ... Holding jig, 23 ... Glass rod, 24 ... Recessed portion.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉田 和昭 東京都千代田区丸の内2丁目6番1号 古 河電気工業株式会社内   ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Kazuaki Yoshida             2-6-1, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo             Kawa Electric Industry Co., Ltd.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 成形型内に、シリカ粉末,シリカ粉末を
主原料とした粉末,シリカ粉末を造粒した造粒粒子,シ
リカ粉末を主原料とした粉末を造粒した造粒粒子のいず
れれか又はこれらの混合体よりなる石英ガラス体成形用
粉粒体を充填して外部圧力により成形し、これを焼結し
て石英ガラス体を製造するに際し、 前記石英ガラス体成形用粉粒体を加湿した後、前記成形
型に充填して成形を行うことを特徴とする石英ガラス体
の製造方法。
1. A silica powder, a powder containing silica powder as a main raw material, a granulated particle obtained by granulating silica powder, or a granulated particle obtained by granulating a powder containing silica powder as a main raw material in a molding die. Alternatively, when a quartz glass body-forming powder or granules composed of a mixture of these is filled and molded by external pressure, and a quartz glass body is manufactured by sintering this, the quartz glass body-forming powder or granules are A method of manufacturing a quartz glass body, which comprises humidifying and then filling the molding die to carry out molding.
【請求項2】 成形型内の中心に棒状体を設置し、前記
成形体内の前記棒状体の周囲にシリカ粉末,シリカ粉末
を主原料とした粉末,シリカ粉末を造粒した造粒粒子,
シリカ粉末を主原料とした粉末を造粒した造粒粒子のい
ずれれか又はこれらの混合体よりなる石英ガラス体成形
用粉粒体を充填して外部圧力により成形し、得られた成
形体を焼結して石英ガラス体を製造するに際し、 前記石英ガラス体成形用粉粒体を加湿した後、前記成形
型に充填して成形を行うことを特徴とする石英ガラス体
の製造方法。
2. A rod-shaped body is installed in the center of a molding die, and silica powder, a powder containing silica powder as a main raw material, and granulated particles obtained by granulating silica powder are provided around the rod-shaped body in the molding body.
A silica glass powder is used as a main raw material, and any one of the granulated particles obtained by granulating the powder or a mixture thereof is filled with a quartz glass body molding powder and molded by external pressure. A method for producing a quartz glass body, comprising the steps of humidifying the quartz glass body-forming powder and then filling the molding die and performing molding when the quartz glass body is produced by sintering.
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