JPH053214Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH053214Y2 JPH053214Y2 JP8587U JP8587U JPH053214Y2 JP H053214 Y2 JPH053214 Y2 JP H053214Y2 JP 8587 U JP8587 U JP 8587U JP 8587 U JP8587 U JP 8587U JP H053214 Y2 JPH053214 Y2 JP H053214Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- unit
- optical
- irradiated
- optical unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 33
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 15
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 5
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 claims description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 8
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 2
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この考案はシヨートアーク型の放電灯等からの
放射光を被照射物に導いて、被照射物を光処理す
る光処理装置に関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Field of Application] This invention relates to a light processing device that guides emitted light from a short-arc type discharge lamp or the like to an object to be irradiated and optically processes the object.
[従来の技術]
光照射によつて、接着剤、塗料、インク及びレ
ジスト等を硬化させたり、乾燥させたり、また、
逆に溶融させたり、軟化させたり、様々な処理を
することが行われている。そして、上記被照射物
である接着剤、塗料、インク、レジスト等の被照
射物はシヨートアーク型の放電灯等から発生する
光を利用して、被照射物の特定の処理部分に光照
射処理することによつて行われている。[Prior Art] Light irradiation can be used to cure or dry adhesives, paints, inks, resists, etc.
On the contrary, various treatments such as melting and softening are performed. The objects to be irradiated, such as adhesives, paints, inks, and resists, are then subjected to light irradiation treatment using light generated from a short arc discharge lamp, etc., to specific parts of the object to be irradiated. It is done by
そこで、上記被照射物の所望の部分に、上記シ
ヨートアーク型の放電灯等から発生する光を集光
して導く光処理装置が従来からある。 Therefore, there have conventionally been light processing devices that condense and guide light generated from the short arc type discharge lamp or the like to a desired portion of the object to be irradiated.
第3図は従来の光処理装置の側断面図であり、
1はシヨートアーク型の放電灯、2はこの放電灯
の放電アークの中心が、その第1焦点に位置する
ように配置された楕円集光鏡、3は前記楕円集光
鏡2からの光を反射する反射ミラー、4はこの反
射ミラー3からの光を遮断するためのシヤツタ
ー、5はこのシヤツター4を介した光束から熱線
をカツトするフイルタ、6は前記放電灯1、楕円
集光鏡2、反射ミラー3、シヤツター4を収納す
る灯体である。そして、この灯体6には被照射物
に対して、前記フイルタ5を介した光束を導出す
る種々の光フアイバのユニツトを、取付け可能に
した光フアイバのユニツト接合部7aが設けられ
ており、この光フアイバのユニツト接合部7aに
上述の如く光フアイバのユニツト14が取付け、
取はずし自在に行えるようになつている。 FIG. 3 is a side sectional view of a conventional optical processing device.
1 is a short arc type discharge lamp; 2 is an elliptical condensing mirror arranged so that the center of the discharge arc of this discharge lamp is located at its first focal point; and 3 reflects the light from the elliptical condenser mirror 2. 4 is a shutter for blocking the light from the reflecting mirror 3; 5 is a filter for cutting off heat rays from the luminous flux passing through the shutter 4; 6 is the discharge lamp 1, the elliptical condensing mirror 2, and the reflecting mirror 3; This is a lamp body that houses a mirror 3 and a shutter 4. The lamp body 6 is provided with an optical fiber unit joint 7a that allows various optical fiber units to be attached to the object to be irradiated to derive the luminous flux through the filter 5. The optical fiber unit 14 is attached to this optical fiber unit joint 7a as described above.
It is designed to be removable.
尚、ネジ8はフアイバのユニツト14を光フア
イバのユニツト接合部7aに固定する為のもので
ある。 The screw 8 is used to fix the fiber unit 14 to the optical fiber unit joint 7a.
上記のような光処理装置は、第1焦点に位置す
る放電灯1からの光が楕円集光鏡2によつて、反
射ミラー3、シヤツター4、フイルタ5を介して
第2焦点に集まる。この第2焦点の位置は、前記
ユニツト接合部7aの近傍に設けてあるので放電
灯1の光は、灯体6のユニツト接合部7aの近傍
に集光される。この第2焦点に集光された光は、
その後ユニツト接合部7aに接続されているフア
イバのユニツト14を経て、不図示の被照射物の
光処理部分に光照射される。 In the light processing device as described above, light from a discharge lamp 1 located at a first focal point is focused by an elliptical condenser mirror 2 at a second focal point via a reflecting mirror 3, a shutter 4, and a filter 5. Since the second focal point is located near the unit joint 7a, the light from the discharge lamp 1 is focused near the unit joint 7a of the lamp body 6. The light focused on this second focal point is
Thereafter, the light passes through the fiber unit 14 connected to the unit joint 7a and is irradiated onto a photo-processed portion of the object (not shown).
一般に被照射物は様々な形状、大きさ、構造の
ものがあり、また、その数も1つもしくは複数存
在することもある。従つて、光処理装置を上記の
ような被照射物に照射するためには、それに対応
してフアイバのユニツト14を選択する必要があ
る。例えば、被照射物が5個あるときは5分岐の
フアイバのユニツト14を選び、それを5つの被
照射物に分散させる。その場合のフアイバは通常
直径100〜250μm程度の素線数100本位を光学繊
維束として使用している。そのために従来の光処
理装置の灯体6には、被照射物の数、その被照射
物の光処理部分の大きさ、形状、構造に対応でき
るフアイバのユニツト14を取付けて光処理を行
つている。 In general, objects to be irradiated have various shapes, sizes, and structures, and there may be one or more objects. Therefore, in order to irradiate the object to be irradiated with the light processing device, it is necessary to select the fiber unit 14 accordingly. For example, when there are five objects to be irradiated, a five-branch fiber unit 14 is selected and distributed to the five objects. In this case, the optical fiber bundle is usually about 100 fibers each having a diameter of about 100 to 250 μm. For this purpose, a fiber unit 14 is attached to the lamp body 6 of the conventional optical processing apparatus to perform optical processing, which can correspond to the number of objects to be irradiated and the size, shape, and structure of the light-treated portion of the irradiated objects.
[考案が解決しようとする問題点]
上記のような従来の装置においては、複雑な形
状、構造で微小面積の被照射物とか、被照射物に
光処理装置自体をあまり近付けることができない
ようなときは、それに応じたフアイバのユニツト
を選択することができるが、それ以外の場合に
は、高価で、光の利用効率の低いフアイバを必ず
しも用いなくてもよいような状態の被照射物に対
するときがある。そのような場合に、従来のフア
イバのみを用いた装置では、ユニツト接合部7a
がフアイバ専用の係合構造になつているため、レ
ンズ系のユニツトは接合できない。この場合、小
照射面積かつ高照度、または大照射面積かつ均一
照度等のさまざまな照射条件の要求に対し、対応
できないという問題があつた。また、フアイバを
用いた場合、被照射物に対して所望の照射強度を
得るために光源の出力を増すとフアイバの耐熱性
を考慮しなければならないという問題もあつた。[Problems to be solved by the invention] Conventional devices such as those described above cannot be used to treat objects with complex shapes and structures that have minute areas to be irradiated, or where the light processing device itself cannot be brought very close to the irradiated object. In some cases, the fiber unit can be selected accordingly, but in other cases, when the irradiated object is in a state where it is not necessarily necessary to use fibers that are expensive and have low light utilization efficiency. There is. In such a case, in a conventional device using only fibers, the unit joint 7a
Since it has an engagement structure exclusively for fibers, lens-based units cannot be joined. In this case, there was a problem in that it was not possible to meet various irradiation conditions such as small irradiation area and high illuminance, or large irradiation area and uniform illuminance. Further, when a fiber is used, there is a problem in that when the output of the light source is increased in order to obtain a desired irradiation intensity on the object to be irradiated, the heat resistance of the fiber must be taken into consideration.
この考案はかかる従来の問題点を解決するため
になされたもので、どのような場所に配置され、
また、どのような大きさ、形状、構造の被照射物
に対しても、望ましい照射強度で最適な条件を有
する光学ユニツトの接続が可能な光処理装置を提
供することを目的とする。 This idea was made to solve the problems of the conventional methods.
Another object of the present invention is to provide an optical processing device that can connect an optical unit with a desired irradiation intensity and optimal conditions to an irradiated object of any size, shape, or structure.
[問題点を解決するための手段]
上記の目的を達成するために、この考案の光処
理装置はシヨートアーク型の放電灯と、この放電
灯のアークの中心部が第1焦点の位置となるよう
に配置された楕円集光鏡、もしくはこの楕円集光
鏡及び楕円集光鏡からの光束を反射させる反射ミ
ラーとをそれぞれ収納した灯体を具備し、この灯
体の外壁側部に、被照射物に対して、集光または
平行、または発散によつて最適に光照射する複数
種の光照射光学ユニツトを取付け自在にした構造
のユニツト接合部を設けた構造を有するものであ
る。[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the light processing device of this invention uses a short arc type discharge lamp and a structure in which the center of the arc of this discharge lamp is the position of the first focal point. The lamp body is equipped with an elliptical condensing mirror placed in the elliptical condenser, or a reflecting mirror that reflects the light flux from the elliptical condenser mirror and the elliptical condenser mirror. It has a structure in which a unit joint part is provided in which a plurality of types of light irradiation optical units can be freely attached to optimally irradiate light onto an object by condensing, parallel, or diverging light.
[作用]
上記の構造にすることにより、この考案の光処
理装置は色々なフアイバの組を使用できるだけで
なく、レンズ系を組合わせて集光させた光学ユニ
ツトや、インテグレータを使つてインテグレータ
とレンズ系を組合わせて大きな面積の被照射物に
対して均一な光を照射する光学ユニツト等、全て
用いることができる。[Function] With the above structure, the optical processing device of this invention can not only use various fiber sets, but also use an optical unit that combines a lens system to focus light, or an integrator that can be used to connect an integrator and a lens. Any optical unit that combines systems to irradiate uniform light onto a large area of irradiation object can be used.
[実施例]
第1図はこの考案の光処理装置の一実施例の主
要部の概略を示す側断面図で、9,11はレン
ズ、10は反射ミラー、12はこれら光学系を収
納した光照射光学ユニツト、13は被照射物であ
る。また、第3図と同一符号は同一又は相当部分
を示す。[Embodiment] Fig. 1 is a side sectional view schematically showing the main parts of an embodiment of the optical processing device of this invention, in which 9 and 11 are lenses, 10 is a reflecting mirror, and 12 is a light beam housing these optical systems. The irradiation optical unit 13 is an object to be irradiated. Further, the same reference numerals as in FIG. 3 indicate the same or corresponding parts.
上記のように構成された装置において、灯体6
のユニツト接合部7bに光照射光学ユニツト12
の取付け部を嵌込んでネジ8を締めて固定する。
従つて、この灯体6に取付けるべき各々の光照射
光学ユニツトの取付け部の係合構造を同一形状寸
法に構成すれば光照射光学ユニツト相互の互換性
が得られる。そして、ユニツト接合部7bの近傍
に集光した光は光照射光学ユニツト12内のレン
ズ9、反射ミラー10、レンズ11を経て被照射
物13に照射される。この場合、フアイバを使用
した時に比べて2〜3倍の極めて高い放射照度が
得られている。 In the device configured as described above, the lamp body 6
A light irradiation optical unit 12 is attached to the unit joint 7b.
Insert the mounting part and tighten screw 8 to fix it.
Therefore, if the engagement structures of the attachment portions of the light irradiation optical units to be attached to the lamp body 6 are configured to have the same shape and dimensions, mutual compatibility between the light irradiation optical units can be obtained. The light condensed in the vicinity of the unit joint 7b passes through the lens 9, reflection mirror 10, and lens 11 in the light irradiation optical unit 12, and is irradiated onto the object 13 to be irradiated. In this case, an extremely high irradiance of 2 to 3 times is obtained compared to when fibers are used.
第2図はこの考案の他の実施例を示したもので
15はインテグレータレンズ、16はコリメータ
レンズであり、その他、第1図と同一符号は同一
又は相当部分を示す。 FIG. 2 shows another embodiment of this invention, in which 15 is an integrator lens, 16 is a collimator lens, and the same reference numerals as in FIG. 1 indicate the same or equivalent parts.
この第2図において、光照射光学ユニツトとし
ては、インテグレータレンズ15とコリメータレ
ンズ16等を組合わせたものを取付け部の係合構
造を同一にしておけば、このユニツト接合部7b
を介してネジ8によつて取付けることは自在にで
き、その場合は、大きな面積の被照射物に対して
平行で照度分布が均一な光照射をすることができ
る。例として、照射径が50〜200mm、均一度±3
%以内が得られている。照射径50〜200mmは光照
射光学ユニツトを必要照射径に合わせて選択でき
る。 In FIG. 2, if the light irradiation optical unit is a combination of an integrator lens 15, a collimator lens 16, etc., and the engagement structure of the mounting part is the same, this unit joint part 7b
It can be freely attached with screws 8 through the screws 8, and in that case, a large area of the object to be irradiated can be irradiated with light in parallel and with a uniform illuminance distribution. For example, the irradiation diameter is 50 to 200 mm, and the uniformity is ±3.
% or less was obtained. The irradiation diameter can be selected from 50 to 200 mm depending on the required irradiation diameter.
以上のように取付部7bを光フアイバ以外の光
照射光学ユニツトが取付けられる構造にすること
により、被照射物における光の強度、配置場所、
大きさ、用途等に応じて光照射光学ユニツトの適
宜選択が可能となる。 As described above, by making the mounting part 7b have a structure in which a light irradiation optical unit other than an optical fiber can be attached, the intensity of the light on the object to be irradiated, the location of the light, etc.
The light irradiation optical unit can be appropriately selected depending on the size, use, etc.
尚、この光処理装置においては、被照射物に対
する光処理の目的によつて所望の波長の光のみが
照射されるように、各光照射光学ユニツトもしく
は灯体本体にフイルタを設けて、不必要な光をカ
ツトするようにすることができるのは勿論であ
る。 In addition, in this light processing device, each light irradiation optical unit or the lamp body is provided with a filter so that only light of a desired wavelength is irradiated depending on the purpose of light processing to the irradiated object. Of course, it is possible to cut out a lot of light.
[考案の効果]
以上説明したとおり、この考案はシヨートアー
ク型の放電灯と、この放電灯のアークが第1焦点
の位置となるように配置された楕円集光鏡、もし
くはこの楕円集光鏡及び楕円集光鏡からの光束を
反射させる反射ミラーとをそれぞれ収納した灯体
を具備し、この灯体の外壁側部に、被照射物の大
きさ等に合わせて照射する複数種の光照射光学ユ
ニツトを取付け自在にした構造のユニツト接合部
を設け、かつそれぞれの光照射光学ユニツトはユ
ニツト接合部に対して同一の係合構造を具えてな
る構成を有することにより、被照射物に適した光
照射光学ユニツトを適宜選択して、自在に取付
け、取はずしができる。従つて被照射物が狭い場
所もしくはマイクロ素子、微小部分等の微小領域
の場合から大きな面積、広い場所等、いずれの場
所、大きさであつても光処理することが可能とな
つた。[Effect of the invention] As explained above, this invention consists of a short-arc discharge lamp and an elliptical condenser mirror arranged so that the arc of the discharge lamp is at the first focal point, or this elliptical condenser mirror and It is equipped with a lamp body each housing a reflecting mirror that reflects the light flux from the elliptical condenser mirror, and multiple types of light irradiation optics are used to irradiate the outer wall side of the lamp body according to the size of the object to be irradiated. By providing a unit joint part with a structure that allows the unit to be attached freely, and by having a structure in which each light irradiation optical unit has the same engagement structure with respect to the unit joint part, light suitable for the object to be irradiated is provided. The irradiation optical unit can be selected as appropriate and can be installed and removed as desired. Therefore, it has become possible to perform light treatment on any location and size of the object to be irradiated, from a narrow place or a minute area such as a micro element or a minute part to a large area or a wide place.
第1図はこの考案の光処理装置の一実施例の主
要部の概略を示す側断面図、第2図はこの考案の
他の実施例の主要部の概略を示す断面図、第3図
は従来の光処理装置の側断面図である。
図中、1……放電灯、2……楕円集光鏡、3…
…反射ミラー、6……灯体、7a,7b……ユニ
ツト接合部、8……ネジ、9……レンズ、12…
…光学ユニツト、13……被照射物、14……光
フアイバのユニツト、15……インテグレータレ
ンズ、16……コリメータレンズ。
FIG. 1 is a side cross-sectional view schematically showing the main parts of one embodiment of the optical processing device of this invention, FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing the main parts of another embodiment of the invention, and FIG. FIG. 2 is a side sectional view of a conventional optical processing device. In the figure, 1... discharge lamp, 2... elliptical collector mirror, 3...
... Reflection mirror, 6 ... Light body, 7a, 7b ... Unit joint, 8 ... Screw, 9 ... Lens, 12 ...
...Optical unit, 13...Irradiated object, 14...Optical fiber unit, 15...Integrator lens, 16...Collimator lens.
Claims (1)
アークが第1焦点の位置となるように配置され
た楕円集光鏡、もしくはこの楕円集光鏡及び楕
円集光鏡からの光束を反射させる反射ミラーと
をそれぞれ収納した灯体を具備し、この灯体の
外壁側部に、被照射物に対して最適に光照射す
る複数種の光照射光学ユニツトを取付け自在に
した構造のユニツト接合部を設け、かつそれぞ
れの光照射光学ユニツトはユニツト接合部に対
して同一の係合構造を具えてなることを特徴と
する光処理装置。 (2) 複数種の光照射光学ユニツトは少くとも1本
のフアイバを用いた光学ユニツトと、レンズ系
を組合わせた光学ユニツトと、インテグレータ
とレンズ系の組合わせた光学ユニツトの3つの
うち、いずれか1つの光学ユニツトであること
を特徴とする実用新案登録請求の範囲第(1)項記
載の光処理装置。[Claims for Utility Model Registration] (1) A short-arc discharge lamp and an elliptical condenser arranged so that the arc of the discharge lamp is at the first focal point, or the elliptical condenser and the elliptical condenser. It is equipped with a lamp body each housing a reflecting mirror that reflects the light flux from the light mirror, and multiple types of light irradiation optical units are attached to the outer wall side of the lamp body to optimally irradiate light onto the irradiated object. 1. A light processing device characterized in that a unit joint part having a flexible structure is provided, and each light irradiation optical unit has the same engagement structure with respect to the unit joint part. (2) The multiple types of light irradiation optical units are any of three types: an optical unit using at least one fiber, an optical unit that combines a lens system, and an optical unit that combines an integrator and a lens system. The optical processing device according to claim (1) of the utility model registration, characterized in that it is one optical unit.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8587U JPH053214Y2 (en) | 1987-01-06 | 1987-01-06 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8587U JPH053214Y2 (en) | 1987-01-06 | 1987-01-06 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63111931U JPS63111931U (en) | 1988-07-19 |
JPH053214Y2 true JPH053214Y2 (en) | 1993-01-26 |
Family
ID=30776755
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8587U Expired - Lifetime JPH053214Y2 (en) | 1987-01-06 | 1987-01-06 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH053214Y2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2759890B2 (en) * | 1989-11-24 | 1998-05-28 | ウシオ電機株式会社 | Exposure equipment |
JP2795947B2 (en) * | 1990-01-17 | 1998-09-10 | ウシオ電機株式会社 | Optical unit |
JP4642543B2 (en) * | 2005-05-09 | 2011-03-02 | 東京エレクトロン株式会社 | Edge exposure apparatus, coating and developing apparatus, and edge exposure method |
-
1987
- 1987-01-06 JP JP8587U patent/JPH053214Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS63111931U (en) | 1988-07-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4206494A (en) | High throughput illuminator | |
JP2000245747A (en) | Equipment capable of optically activating photosensitive composite material utilized particularly in dental field | |
US20040131157A1 (en) | LED based light source with uniform light field & well defined edges | |
US4730895A (en) | Fiber optic line generator suitable for use with incandescent light source | |
US5341275A (en) | Compact light source for fiber optics illumination | |
JPH053214Y2 (en) | ||
JP2006511070A (en) | Illumination system with efficient concentrator optics | |
KR20060051201A (en) | Illuminating device using light source device | |
JPS5857385U (en) | Laser irradiation device | |
JPH0316956U (en) | ||
AU691130B2 (en) | Light curing device | |
JP2748341B2 (en) | Optical unit and light irradiation device to which the optical unit is joined | |
JPH01250907A (en) | Light guide fiber unit and light irradiating device using said unit | |
JPH10233354A (en) | Ultraviolet radiation apparatus | |
JPH0429442Y2 (en) | ||
JPH05345039A (en) | Laser probe | |
JPH059693Y2 (en) | ||
JP2795947B2 (en) | Optical unit | |
RU2000129C1 (en) | Device for light irradiation of biological objects | |
JP2000509558A (en) | A device for accurately positioning a microchip | |
JPH0522212B2 (en) | ||
JPS62132385A (en) | Photocoupler | |
RU2179734C1 (en) | Lighting system | |
JPH1090506A (en) | Reflection mirror and light source device using it | |
JPH04104201A (en) | Irradiating device for light beam |