JPH05320881A - 真空蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 フイルムに金属を蒸着する真空蒸着装置にお
いて、作業台を使用することなく原反等の交換が可能
で、天井クレーン等による交換作業が容易な構造であ
り、且つ、冷却ロール上のフイルムの状態を監視し易い
真空蒸着装置を提供することを目的としている。 【構成】 真空容器５内で、フイルム原反繰り出し手段
２に保持されたフイルム原反２′からフイルム９を繰り
出し、繰り出されたフイルム９を、冷却ロール３に沿わ
せて折り返し、折り返したフイルム９′をフイルム巻取
り手段１で巻き取ると共に、前記の冷却ロール３に沿っ
た位置にある折り返し移動中のフイルム９に、蒸着ルツ
ボ（図示しないが冷却ロール３の下方に設置されてい
る。）から蒸発させた蒸着物質を蒸着させる真空蒸着装
置において、フイルム９を冷却ロール３の回転軸に垂直
でない方向から沿わせて折り返すようにすることを特徴
とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子機器分野、包装材
料分野等で使用される金属蒸着フイルムを製造する真空
蒸着装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】真空蒸着装置の第１従来例を図４に基づ
いて説明する。

【０００３】第１従来例では、図４に示すように、真空
容器５内で、フイルム巻取り手段１（軸のみを示す）
と、フイルム原反繰り出し手段２（軸のみを示す）と
が、冷却ロール３の上方に設置され、フイルム原反繰り
出し手段２から繰り出されたフイルム９は、フイルム搬
送用ロール６を経て、冷却ロール３に沿って折り返さ
れ、この冷却ロール３に沿って折り返される位置にある
フイルム９に、冷却ロール３の下方に設置された蒸着ル
ツボ４から蒸発した金属が蒸着し、このようにして蒸着
された蒸着フイルム９′が、フイルム搬送用ロール６を
経て、フイルム巻取り手段１に巻き取られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、第１従来例の
構成では、蒸着作業終了後に、フイルム原反繰り出し手
段２に保持されたフイルム原反２′と、フイルム巻取り
手段１で巻き取った蒸着フイルム・ロール１′とを、夫
々新しいフイルム原反２′と、蒸着フイルム・ロール用
の巻取り芯１″に交換する必要がある。この時、第１従
来例の構成では、フイルム原反２′と巻取り芯１″との
交換位置が床面よりもかなりの高さになることが多く、
作業者は、作業台１０上で作業することになり、作業能
率が悪く、安全上の問題も多い。又、冷却ロール３に沿
って折り返されるフイルム９が、冷却ロール３上で浮き
上がったり、冷却ロール３上でシワを発生したりする
と、蒸着不良の原因になるので、品質管理上、前記浮上
がりやシワの発生を監視する必要がある。しかし、第１
従来例の構成では、冷却ロール３に沿って折り返してい
るフイルム９の状態を、真空容器５に設けられた監視窓
８から監視することが困難であるという問題点がある。

【０００５】第２従来例では、これらの作業性と安全性
と監視の問題を解決するために、図５に示すように、真
空容器５内で、フイルム巻取り手段１と、フイルム原反
繰り出し手段２とが、冷却ロール３の前方に設置され、
フイルム原反繰り出し手段２から繰り出されたフイルム
９は、フイルム搬送用ロール６を経て、冷却ロール３に
沿って折り返され、冷却ロール３の下方に設置された蒸
着ルツボ４から蒸発した金属が、冷却ロール３に沿って
折り返される位置にあるフイルム９に蒸着し、この蒸着
された蒸着フイルム９′が、フイルム搬送用ロール６を
経て、フイルム巻取り手段１に巻き取られている。

【０００６】この第２従来例の構成では、フイルム原反
２′の交換位置と、蒸着フイルム・ロール１′と巻取り
芯１″との交換位置が低く、交換作業時に、作業者は、
床面に立って作業でき、安全性の問題は解決し、真空容
器５の冷却ロール３側の側面に監視窓８を設けることが
できるので、監視が容易になる。ところが、交換作業
は、通常、天井クレーン（図示せず）で吊り上げ、吊り
下げるのが効率的であり、一般に、最も広く使用されて
いる。この第２従来例の構成では、フイルム巻取り手段
１の上方にフイルム搬送用ロール６があるので、天井ク
レーンで、蒸着フイルム・ロール１′や巻取り芯１″を
吊り上げ、吊り下げるときに、天井クレーンや蒸着フイ
ルム・ロール１′や巻取り芯１″が、フイルム搬送用ロ
ール６に接触しないように注意する必要があり、又、フ
イルム原反２′を設置してしまうと、巻取り芯１″の交
換ができないという問題点がある。

【０００７】本発明は、上記の問題点を解決し、作業台
を使用することなく、原反等の交換が可能で、天井クレ
ーン等による交換作業が容易で、且つ、冷却ロール上の
フイルムの状態を監視し易い真空蒸着装置を提供するこ
とを課題としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の真空蒸着装置
は、上記の課題を解決するために、真空容器内で、フイ
ルム原反繰り出し手段に保持されたフイルム原反からフ
イルムを繰り出し、繰り出されたフイルムを、フイルム
搬送用ロールを経て、冷却ロールに沿わせて折り返し、
折り返したフイルムを、フイルム搬送用ロールを経て、
フイルム巻取り手段で巻き取ると共に、前記の冷却ロー
ルに沿った位置にある折り返し移動中のフイルムに、蒸
着ルツボから蒸発させた蒸着物質を蒸着させる真空蒸着
装置において、フイルムを冷却ロールの回転軸に垂直で
ない方向から沿わせて折り返すようにすることを特徴と
する。

【０００９】又、本発明の真空蒸着装置は、上記の課題
を解決するために、冷却ロールの軸とフイルム原反繰り
出し手段の軸とがなす角度と、冷却ロールの軸とフイル
ム巻取り手段の軸とがなす角度とを所定の角度に保って
設置することが好適である。

【００１０】

【作用】本発明の真空蒸着装置は、フイルムを冷却ロー
ルの回転軸に垂直でない方向から沿わせて折り返すよう
にすることによって、フイルム原反繰り出し手段と、フ
イルム巻取り手段と、冷却ロールとを、低い高さで、略
同一高さに配置することが可能になる。従って、原反等
の交換作業に作業台が不要で、安全で作業性が良く、フ
イルム原反繰り出し手段とフイルム巻取り手段の上方に
フイルム搬送用ロールが無いので、天井クレーンの操作
も容易である。更に、真空容器の冷却ロール側の側面に
監視窓を設けることができるので、監視が容易になる。

【００１１】

【実施例】本発明の真空蒸着装置の第１実施例を図１、
図２に基づいて説明する。

【００１２】図１、図２に示すように、第１実施例で
は、真空容器５内で、フイルム原反繰り出し手段２（判
り易くするために、巻取り軸のみを示す）に保持された
フイルム原反２′からフイルム９を繰り出し、繰り出さ
れたフイルム９を、フイルム搬送用ロール６を経て、冷
却ロール３に沿わせて折り返し、折り返した蒸着フイル
ム９′を、フイルム搬送用ロール６を経てフイルム巻取
り手段１（判り易くするために、巻取り軸のみを示す）
で巻き取ると共に、前記の冷却ロール３に沿った位置に
ある折り返し移動中のフイルム９に、蒸着ルツボ４から
蒸発させた蒸着物質を蒸着させ、且つ、フイルム９を冷
却ロール３の回転軸に垂直でない方向から沿わせて折り
返すようにしている。

【００１３】又、本発明の真空蒸着装置の第２実施例を
図３に基づいて説明する。

【００１４】図３に示すように、第２実施例では、真空
容器５内で、フイルム原反繰り出し手段２（判り易くす
るために、巻取り軸のみを示す）に保持されたフイルム
原反２′からフイルム９を繰り出し、繰り出されたフイ
ルム９を、冷却ロール３に沿わせて折り返し、折り返し
た蒸着フイルム９′をフイルム巻取り手段１（判り易く
するために、巻取り軸のみを示す）で巻き取ると共に、
前記の冷却ロール３に沿った位置にある折り返し移動中
のフイルム９に、蒸着ルツボ４（図示していないが、冷
却ロール３の下方に設置されている。）から蒸発させた
蒸着物質を蒸着させ、且つ、冷却ロール３の軸とフイル
ム原反繰り出し手段２の軸とがなす角度と、冷却ロール
３の軸とフイルム巻取り手段１の軸とがなす角度とを所
定の角度θに保って設置することによって、フイルム９
を冷却ロール３の回転軸に垂直でない方向から沿わせて
折り返すようにしている。

【００１５】第１、第２実施例の動作を図１〜図３に基
づいて説明する。

【００１６】図１〜図３に示すように、フイルム９を冷
却ロール３の回転軸に垂直でない方向から沿わせて折り
返すようにすることによって、フイルム９を冷却ロール
３の回転軸に垂直方向から沿わせて折り返している従来
例では不可能であった、フイルム原反繰り出し手段２
と、フイルム巻取り手段１と、冷却ロール３とを、低い
高さで、略同一高さに配置することが可能になる。この
ことによって、作業者は床面に立って作業できる。従っ
て、作業は安全で能率が良い。又、フイルム原反繰り出
し手段２とフイルム巻取り手段１の上にフイルム搬送用
ロール６が無いので、フイルム原反２′や蒸着フイルム
・ロール１′や巻取り芯１″の交換に際して、天井クレ
ーン７（図２参照）の操作も容易である。更に、真空容
器５の冷却ロール３側の側面に監視窓８を設けることが
できるので、冷却ロール３に沿っているフイルムの状態
の監視が容易になる。

【００１７】尚、フイルム９を冷却ロール３の回転軸に
垂直でない方向から沿わせて折り返す角度、即ち、フイ
ルム巻取り手段１と冷却ロール３との設置角度と、フイ
ルム原反繰り出し手段２と冷却ロール３との設置角度と
は、フイルム９の幅、冷却ロール３とフイルム巻取り手
段１及びフイルム原反繰り出し手段２との距離によって
決まるが、一般的には、３０度程度から４５度程度が真
空容器５の容積が小さくて済み、巻取り制御精度も良好
になる。

【００１８】

【発明の効果】本発明の真空蒸着装置は、冷却ロール３
の軸とフイルム巻取り手段１の軸とがなす角度と冷却ロ
ール３の軸とフイルム原反繰り出し手段２の軸とがなす
角度とを所定の角度θに保って設置すること及び／又は
フイルム搬送用ロール６によって、フイルムを冷却ロー
ルの回転軸に垂直でない方向から沿わせて折り返すよう
にしている。このことによって、本発明の真空蒸着装置
は、フイルム原反繰り出し手段２と、フイルム巻取り手
段１と、冷却ロール３とを、低い高さで、略同一高さに
配置することが可能になる。従って、本発明の真空蒸着
装置は、原反等の交換作業に作業台が不要で、安全で作
業性が良く、フイルム原反繰り出し手段２とフイルム巻
取り手段１の上にフイルム搬送用ロール６が無いので、
天井クレーン７の操作も容易である。更に、本発明の真
空蒸着装置は、真空容器５の冷却ロール３側の側面に監
視窓８を設けることができるので、監視が容易になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の真空蒸着装置の第１実施例の要部を示
す斜視図である。

【図２】図１の側面図である。

【図３】本発明の真空蒸着装置の第２実施例の要部を示
す平面図である。

【図４】第１従来例の側面図である。

【図５】第２従来例の側面図である。

【符号の説明】

１ フイルム巻取り手段 １′ 蒸着フイルム・ロール １″ 巻取り芯 ２ フイルム原反繰り出し手段 ２′ フイルム原反 ３ 冷却ロール ４ 蒸着ルツボ ５ 真空容器 ６ フイルム搬送用ロール ７ 天井クレーン ８ 監視窓 ９ フイルム ９′ 蒸着フイルム θ 所定の角度

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空容器内で、フイルム原反繰り出し手
   段に保持されたフイルム原反からフイルムを繰り出し、
   繰り出されたフイルムを、フイルム搬送用ロールを経
   て、冷却ロールに沿わせて折り返し、折り返したフイル
   ムを、フイルム搬送用ロールを経て、フイルム巻取り手
   段で巻き取ると共に、前記の冷却ロールに沿った位置に
   ある折り返し移動中のフイルムに、蒸着ルツボから蒸発
   させた蒸着物質を蒸着させる真空蒸着装置において、フ
   イルムを冷却ロールの回転軸に垂直でない方向から沿わ
   せて折り返すようにすることを特徴とする真空蒸着装
   置。
2. 【請求項２】 冷却ロールの軸とフイルム原反繰り出し
   手段の軸とがなす角度と、冷却ロールの軸とフイルム巻
   取り手段の軸とがなす角度とを所定の角度に保って設置
   する請求項１に記載の真空蒸着装置。