JPH05318215A - Vertical shaft mechanism - Google Patents

Vertical shaft mechanism

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JPH05318215A
JPH05318215A JP15608392A JP15608392A JPH05318215A JP H05318215 A JPH05318215 A JP H05318215A JP 15608392 A JP15608392 A JP 15608392A JP 15608392 A JP15608392 A JP 15608392A JP H05318215 A JPH05318215 A JP H05318215A
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JP
Japan
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weight
vertical axis
counterweight
axis moving
vertical
Prior art date
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JP15608392A
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Japanese (ja)
Inventor
Shuzo Sato
修三 佐藤
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Publication of JPH05318215A publication Critical patent/JPH05318215A/en
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Abstract

PURPOSE:To provide a vertical shaft device in which the weight of the vertical shaft moving parts is always balanced with the weight of a counterweight by means of a simple constitution. CONSTITUTION:The weight of a counterweight is fine adjusted by a deadweight for adjustment 18 in accordance with the weight of the vertical shaft moving parts 2, 3, 4, 7, 8 so as to cancel the weight of the shaft moving parts, and thereby the weight of the counterweight is always balanced with these moving parts 2, 3, 4, 7, 8.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は立軸機構に関し、例えば
立軸コラム型工作機械の立軸機構に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vertical axis mechanism, for example, a vertical axis mechanism for a vertical column type machine tool.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、例えば立軸コラム型工作機械にお
いては、立軸移動部の重量をキャンセルするための重り
(以下これをカウンターウェイトと呼ぶ)が用いられて
いる。このカウンターウェイトにより立軸移動部をサー
ボ制御して位置決めし、先端に配置された工具で所定の
加工工作等を行うようになっている。
2. Description of the Related Art Conventionally, for example, in a vertical column type machine tool, a weight (hereinafter referred to as a counterweight) for canceling the weight of a vertical axis moving portion has been used. The vertical axis moving portion is servo-controlled and positioned by this counter weight, and a predetermined machining work or the like is performed with a tool arranged at the tip.

【0003】このカウンターウェイトは立軸移動部に応
じた重量の重りでなり、この重りが滑車部材を通じて立
軸移動部と繋がれて、機械本体であるコラムを挟んで立
軸移動部と反対側に垂下されるように構成されている。
これにより重りの重量と立軸移動部の重量とがつり合っ
た状態で、立軸移動部の重量をキャンセルするようにな
っている。
This counterweight is a weight having a weight corresponding to the vertical axis moving part, and this weight is connected to the vertical axis moving part through a pulley member and hangs down on the side opposite to the vertical axis moving part with a column as a machine body being sandwiched therebetween. Is configured.
As a result, the weight of the vertical axis moving unit is canceled while the weight of the weight and the weight of the vertical axis moving unit are balanced.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
立軸コラム型工作機械の立軸移動部には、電気配線やク
ーラント配管及び冷却水配管等が取り付けられ、これら
の設計変更や追加部品等により立軸移動部全体の重量が
変化するため、完全につり合った状態で用いられること
は少ない。
By the way, an electric wire, a coolant pipe, a cooling water pipe, etc. are attached to the vertical axis moving part of such a vertical axis column type machine tool, and the vertical axis is changed by these design changes or additional parts. Since the weight of the entire moving part changes, it is rarely used in a completely balanced state.

【0005】また立軸移動部が精密摺り合わせ方式の油
滑りガイド等に取り付けられて、立軸方向に移動するよ
うになっている場合には、ガイドの摺動抵抗が工作機械
毎の仕上げ状態で大きく変化するため、カウンターウェ
イト及び立軸移動部の重量がつり合わなくなる。このよ
うにカウンターウェイトの重量と立軸移動部の重量と
が、完全にはつり合っていない状態でも、サーボ制御に
より位置決めする方法も考えられる。
Further, when the vertical shaft moving portion is attached to a precision sliding type oil sliding guide or the like so as to move in the vertical axis direction, the sliding resistance of the guide is large in the finishing state of each machine tool. Because of the change, the weights of the counterweight and the vertical axis moving section are not balanced. As described above, a method of positioning by servo control can be considered even when the weight of the counter weight and the weight of the vertical axis moving portion are not perfectly balanced.

【0006】ところが、カウンターウェイトの重量と立
軸移動部の重量が、つり合っていない状態にあっては、
例えばサーボ制御により図5に破線で示すような指令値
を与え、立軸移動部が図5に実線で示すように立軸上下
方向に異なるオーバーシュート量を含んだ動きになり、
位置決めや繰り返し精度が劣化する場合やサーボ調整が
非常に困難になる場合があるという問題があった。
However, when the weight of the counter weight and the weight of the vertical axis moving portion are not balanced,
For example, a command value as shown by a broken line in FIG. 5 is given by servo control, and the vertical axis moving unit makes a motion including different overshoot amounts in the vertical direction of the vertical axis as shown by a solid line in FIG.
There is a problem that positioning and repeatability may be deteriorated and servo adjustment may be very difficult.

【0007】本発明は以上の点を考慮してされたもの
で、簡易な構成で常に立軸移動部及びカウンターウェイ
トの重量をつり合わせることのできる立軸機構を提供す
ることを目的としている。
The present invention has been made in consideration of the above points, and an object of the present invention is to provide a vertical shaft mechanism having a simple structure and capable of constantly balancing the weights of the vertical shaft moving portion and the counter weight.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明にあ
っては、直立した立軸方向に移動する立軸移動部で、立
軸処理を実行する立軸機構において、上記立軸移動部の
重量に応じて重量を微調整して上記立軸移動部の上記重
量をキャンセルするカウンターウェイトを備える立軸機
構により、達成される。
SUMMARY OF THE INVENTION In the present invention, the above object is to provide a vertical axis moving section that moves in an upright vertical axis direction, and in a vertical axis mechanism that executes vertical axis processing, depending on the weight of the vertical axis moving section. This is achieved by a vertical axis mechanism that includes a counterweight that finely adjusts the weight to cancel the weight of the vertical axis moving unit.

【0009】また本発明においては、前記カウンターウ
ェイトを上記立軸移動部に応じた所定重量の第1の重り
と微調整可能な第2の重りとで構成することができる。
さらに本発明においては、前記カウンターウェイトの前
記第2の重りを複数の重り部材で形成し、前記立軸移動
部の前記重量に応じて前記第1の重りに着脱自在に取り
付けるように構成できる。
Further, according to the present invention, the counterweight may be composed of a first weight having a predetermined weight corresponding to the vertical axis moving portion and a second weight which can be finely adjusted.
Further, in the present invention, the second weight of the counterweight may be formed of a plurality of weight members, and the second weight may be detachably attached to the first weight according to the weight of the vertical axis moving portion.

【0010】[0010]

【作用】本発明の作用を理解の便宜のため、実施例の対
応する構成の符号を参照しながら説明する。カウンター
ウェイト15を立軸移動部2、3、4、7、8の重量に
応じて重量を微調整して立軸移動部2、3、4、7、8
の重量をキャンセルするようにしたことにより、常に立
軸移動部2、3、4、7、8及びカウンターウェイト1
5の重量をつり合わせることができる。
The operation of the present invention will be described with reference to the reference numerals of corresponding structures in the embodiments for the convenience of understanding. The counterweight 15 is finely adjusted according to the weight of the vertical axis moving parts 2, 3, 4, 7, 8 to adjust the vertical axis moving parts 2, 3, 4, 7, 8.
By canceling the weight of the vertical weight, the vertical axis moving parts 2, 3, 4, 7, 8 and the counter weight 1 are always
Weights of 5 can be balanced.

【0011】また立軸移動部2、3、4、7、8に応じ
た所定重量の第1の重り16と、複数の重り部材で形成
し微調整可能に、第1の重り16に着脱自在に取り付け
る第2の重り18とでカウンターウェイト15を構成す
るようにしたことにより、簡易な構成で常に立軸移動部
2、3、4、7、8及びカウンターウェイト15の重量
をつり合わせることができる。
A first weight 16 having a predetermined weight corresponding to the vertical axis moving portions 2, 3, 4, 7, and 8 and a plurality of weight members are formed so that fine adjustment is possible, and the first weight 16 can be detachably attached. By configuring the counterweight 15 with the attached second weight 18, the weights of the vertical axis moving portions 2, 3, 4, 7, 8 and the counterweight 15 can always be balanced with a simple configuration.

【0012】[0012]

【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面等に
基づいて詳細に説明する。尚、以下に述べる実施例は、
本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種
々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説
明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、
これらの態様に限られるものではない。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. The examples described below are
Since it is a preferred specific example of the present invention, various technically preferable limitations are given, but the scope of the present invention is, unless otherwise stated in the following description, limiting the present invention.
It is not limited to these modes.

【0013】図1において、1は全体として本発明によ
るカウンターウェイトを適用する立軸コラム型工作機械
の概略構成を示し、立軸でなるZ軸の主軸2のブラケッ
ト3に取り付けらた工具としてのカップ型ホイール4を
回転させながらZ軸上下方向に移動制御し、X軸−Y軸
テーブル5上に載置された被加工物6に対して、所望の
切り込みあるいは穿孔を行い平面加工するようなってい
る。
In FIG. 1, reference numeral 1 indicates a schematic structure of a vertical column type machine tool to which a counterweight according to the present invention is applied as a whole, and a cup type as a tool attached to a bracket 3 of a Z-axis main spindle 2 which is a vertical axis. The wheel 4 is controlled to move in the vertical direction of the Z-axis while rotating, and the workpiece 6 placed on the X-axis-Y-axis table 5 is subjected to desired cutting or perforation for planar processing. .

【0014】この実施例の立軸コラム型工作機械1の場
合、図2及び図3に示すように、主軸2は主軸ブラケッ
ト7を通じてZ軸スライド8に取り付けられ、コラム9
に凹状溝9a及びガイド部材9bで形成された精密摺り
合わせ方式の油滑りガイド10に、このZ軸スライド8
が案内され全体としてZ軸上下方向に移動し得るように
なっている。
In the vertical column type machine tool 1 of this embodiment, as shown in FIGS. 2 and 3, the spindle 2 is attached to the Z-axis slide 8 through the spindle bracket 7, and the column 9 is used.
The Z-axis slide 8 is attached to the precision sliding type oil slide guide 10 formed by the concave groove 9a and the guide member 9b.
Is guided so that it can move in the vertical direction of the Z axis as a whole.

【0015】またこのZ軸スライド8の上部にはワイヤ
ー11が接続され、このワイヤーがコラム9の上端部に
配置された滑車12a、12bを通じ、ガイドシャフト
13及びリニアベアリング14によつてZ軸上下方向に
移動し得るようにされたカウンターウェイト15に接続
されている。
A wire 11 is connected to the upper portion of the Z-axis slide 8, and the wire passes through the pulleys 12a and 12b arranged at the upper end of the column 9 by means of a guide shaft 13 and a linear bearing 14 to move the Z-axis vertically. It is connected to a counterweight 15 adapted to be movable in the direction.

【0016】このカウンターウェイト15は、図4に示
すように、主軸2、ブラケット3、主軸ブラケット7及
びZ軸スライド8でなる立軸移動部の主重量に選定され
たカウンターウェイト本体16と、このカウンターウェ
イト本体16の下面両端に植立されたボルト状のウェイ
ト取り付け部17に着脱可能に複数取り付けられた調整
用ウェイト18より構成されている。
As shown in FIG. 4, the counterweight 15 includes a counterweight main body 16 selected for the main weight of the vertical axis moving portion composed of the main spindle 2, the bracket 3, the main spindle bracket 7 and the Z-axis slide 8, and this counterweight 16. A plurality of adjustment weights 18 are detachably attached to bolt-shaped weight attachment portions 17 that are erected on both ends of the lower surface of the weight body 16.

【0017】従ってこのカウンターウェイト15の場
合、主軸2に対する電気配線やクーラント配管及び冷却
水配管等が取り付けられたり変更され、立軸移動部の総
重量が変化した場合でも、その重量変化に応じて、ウェ
イト取り付け部17に取り付ける調整用ウェイト18の
個数を選択することにより、立軸移動部の総重量をキャ
ンセルすることができる。
Therefore, in the case of the counterweight 15, even if the electric wiring, the coolant pipe, the cooling water pipe and the like for the main shaft 2 are attached or changed and the total weight of the vertical axis moving portion changes, the counterweight 15 is By selecting the number of adjusting weights 18 to be attached to the weight attaching portion 17, the total weight of the vertical axis moving portion can be canceled.

【0018】また同様にブラケット3に取り付けられる
工具が変更されて重量が変化したり、防水シールの摺動
抵抗や精密すり合せ式の油滑りガイド10の仕上げ状態
による摺動抵抗の変化に応じても、ウェイト取り付け部
17に取り付ける調整用ウェイト18の個数を選択する
ことにより、立軸移動部の総重量をキャンセルすること
ができる。
Similarly, the weight of the tool mounted on the bracket 3 is changed, and the sliding resistance of the waterproof seal or the sliding resistance of the precision sliding oil sliding guide 10 changes depending on the finishing condition. Also, by selecting the number of adjusting weights 18 to be attached to the weight attaching portion 17, the total weight of the vertical axis moving portion can be canceled.

【0019】本実施例は以上のように構成されており、
主軸2、ブラケット3、主軸ブラケット7及びZ軸スラ
イド8でなる立軸移動部の重量をキャンセルするカウン
ターウェイト15を、ほぼ立軸移動部の重量に応じたカ
ウンターウェイト本体16と、着脱可能に複数取り付け
られた調整用ウェイト18と形成するようにしたことに
より、常に立軸移動部の総重量をキャンセルし得る立軸
コラム型工作機械1を実現できる。
This embodiment is configured as described above,
A plurality of counterweights 15 for canceling the weight of the vertical axis moving part including the spindle 2, the bracket 3, the main axis bracket 7, and the Z-axis slide 8 are detachably attached to the counterweight body 16 substantially corresponding to the weight of the vertical axis moving part. By forming the adjusting weight 18 as described above, it is possible to realize the vertical column type machine tool 1 that can always cancel the total weight of the vertical moving portion.

【0020】さらに上述の構成によれば、調整用ウェイ
ト18をカウンターウェイト本体16の下面両端に植立
されたボルト状のウェイト取り付け部17に着脱可能に
複数取り付けるようにしたことにより、簡単な構成で常
に立軸移動部の総重量をキャンセルし得る立軸コラム型
工作機械1を実現できる。
Further, according to the above-mentioned structure, a plurality of adjusting weights 18 are detachably attached to the bolt-like weight attaching portions 17 that are erected on both ends of the lower surface of the counter weight body 16, thereby simplifying the configuration. Thus, it is possible to realize the vertical column type machine tool 1 which can always cancel the total weight of the vertical axis moving portion.

【0021】さらに、油滑りガイドの摺動抵抗等による
メカ的要因による影響を含めた形で、容易かつ高い精度
で位置決め、繰り返し、微小送り等のサーボ調整し得る
立軸コラム型工作機械1を実現できる。
Further, a vertical axis column type machine tool 1 capable of performing servo adjustments such as positioning, repetition, and minute feed easily and with high accuracy is realized, including the influence of mechanical factors such as the sliding resistance of the oil slide guide. it can.

【0022】なお上述の実施例においては、立軸移動部
のZ軸スライドのガイドとして精密摺り合わせ方式の油
滑りガイドを用い、カウンターウェイトのガイドとして
ガイドシャフト及びリニアベアリングを用いた場合につ
いて述べたが、ガイドの方式はこれに限らず、種々のも
のを用いるようにしても上述の実施例と同様の効果を実
現できる。
In the above embodiment, the oil slide guide of the precision sliding type is used as the Z-axis slide guide of the vertical axis moving part, and the guide shaft and the linear bearing are used as the counter weight guide. The guide system is not limited to this, and the same effects as those of the above-described embodiment can be realized by using various guide systems.

【0023】また上述の実施例においては、本発明を立
軸コラム型工作機械に適用した場合について述べたが、
本発明はこれに限らず、例えば投影露光装置等に適用す
るようにしても良い。すなわち、立軸上下方向に移動す
る立軸移動部を高い精度で位置決めするためカウンター
ウェイトを用いるようにされた立軸機構に広く適用でき
るものである。
In the above embodiment, the case where the present invention is applied to the vertical column type machine tool is described.
The present invention is not limited to this, and may be applied to, for example, a projection exposure apparatus or the like. That is, the present invention can be widely applied to a vertical axis mechanism that uses a counter weight to position the vertical axis moving portion that moves in the vertical direction of the vertical axis with high accuracy.

【0024】[0024]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、カ
ウンターウェイトを立軸移動部の重量に応じて重量を微
調整して立軸移動部の重量をキャンセルするようにした
ことにより、常に立軸移動部及びカウンターウェイトの
重量をつり合わせることができ、かくして高い精度で立
軸移動部を位置決めし得る立軸機構を実現できる。
As described above, according to the present invention, the weight of the counterweight is finely adjusted according to the weight of the vertical axis moving part to cancel the weight of the vertical axis moving part, so that the vertical axis is always maintained. It is possible to balance the weights of the moving part and the counterweight, and thus it is possible to realize a vertical axis mechanism that can position the vertical axis moving part with high accuracy.

【0025】さらに立軸移動部に応じた第1の重りと、
複数の重り部材で形成し微調整可能で着脱自在に第1の
重りに取り付ける第2の重りとでカウンターウェイトを
構成するようにしたことにより、簡易な構成で常に立軸
移動部及びカウンターウェイトの重量をつり合わせるこ
とができる立軸機構を実現できる。
Further, a first weight corresponding to the vertical axis moving portion,
Since the counterweight is composed of a plurality of weight members, which can be finely adjusted and is detachably attached to the first weight, the counterweight is configured so that the weight of the vertical axis moving portion and the counterweight is constantly maintained with a simple structure. A vertical axis mechanism that can balance the

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明による立軸機構でなる立軸コラム型工作
機械の一実施例を示す概略斜視図である。
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an embodiment of a vertical column type machine tool including a vertical mechanism according to the present invention.

【図2】図1の立軸コラム型工作機械で立軸移動部とカ
ウンターウェイトの関係を示す概略図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing a relationship between a vertical axis moving unit and a counterweight in the vertical axis column type machine tool of FIG.

【図3】カウンターウェイトの構成を示す平面図であ
る。
FIG. 3 is a plan view showing a configuration of a counter weight.

【図4】従来のカウンターウェイトによる立軸上下方向
のオーバーシュートを示す特性曲線図である。
FIG. 4 is a characteristic curve diagram showing overshoot in the vertical direction of a vertical axis due to a conventional counterweight.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 立軸コラム型工作機械 2 主軸 3 ブラケット 4 カップ型ホイール 5 X軸−Y軸テーブル 6 被加工物 7 主軸ブラケット 8 Z軸スライド 9 コラム 10 油滑りガイド 11 ワイヤー 12 滑車 13 ガイドシャフト 14 リニアベアリング 15 カウンターウェイト 16 カウンターウェイト本体 17 ウェイト取り付け部 18 調整用ウェイト 1 Vertical column type machine tool 2 Spindle 3 Bracket 4 Cup type wheel 5 X-axis-Y-axis table 6 Workpiece 7 Spindle bracket 8 Z-axis slide 9 Column 10 Oil slide guide 11 Wire 12 Pulley 13 Guide shaft 14 Linear bearing 15 Counter Weight 16 Counterweight body 17 Weight mounting part 18 Adjustment weight

─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成5年3月5日[Submission date] March 5, 1993

【手続補正1】[Procedure Amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】図4[Name of item to be corrected] Fig. 4

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【図4】油滑りガイドの構成を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a configuration of an oil slide guide.

【手続補正2】[Procedure Amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】図5[Name of item to be corrected] Figure 5

【補正方法】追加[Correction method] Added

【補正内容】[Correction content]

【図5】従来のカウンターウェイトによる立軸上下方向
のオーバーシュートを示す特性曲線図である。
FIG. 5 is a characteristic curve diagram showing overshoot in the vertical direction of the vertical axis due to a conventional counterweight.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】直立した立軸方向に移動する立軸移動部
で、立軸処理を実行する立軸機構において、 上記立軸移動部の重量に応じて重量を微調整して上記立
軸移動部の上記重量をキャンセルするカウンターウェイ
トを備えることを特徴とする、立軸機構。
1. A vertical axis moving section that vertically moves in a vertical axis direction to perform vertical axis processing. In a vertical axis mechanism, the weight of the vertical axis moving section is finely adjusted to cancel the weight of the vertical axis moving section. A vertical axis mechanism comprising a counter weight for
【請求項2】前記カウンターウェイトを上記立軸移動部
に応じた所定重量の第1の重りと微調整可能な第2の重
りとで構成することを特徴とする、請求項1に記載した
立軸機構。
2. The vertical axis mechanism according to claim 1, wherein the counterweight is composed of a first weight having a predetermined weight corresponding to the vertical axis moving portion and a second weight which can be finely adjusted. .
【請求項3】前記カウンターウェイトの前記第2の重り
を複数の重り部材で形成し、前記立軸移動部の前記重量
に応じて前記第1の重りに着脱自在に取り付けるように
したことを特徴とする、請求項2に記載した立軸機構。
3. The second weight of the counterweight is formed of a plurality of weight members, and is detachably attached to the first weight according to the weight of the vertical axis moving portion. The vertical mechanism according to claim 2.
JP15608392A 1992-05-22 1992-05-22 Vertical shaft mechanism Pending JPH05318215A (en)

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