JPH05315376A - Attaching structure of tool - Google Patents

Attaching structure of tool

Info

Publication number
JPH05315376A
JPH05315376A JP12031592A JP12031592A JPH05315376A JP H05315376 A JPH05315376 A JP H05315376A JP 12031592 A JP12031592 A JP 12031592A JP 12031592 A JP12031592 A JP 12031592A JP H05315376 A JPH05315376 A JP H05315376A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tool
collet
locking pin
holder
mounting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP12031592A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toru Uekuri
徹 植栗
Yoshio Ohashi
芳雄 大橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP12031592A priority Critical patent/JPH05315376A/en
Publication of JPH05315376A publication Critical patent/JPH05315376A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Machine Tool Positioning Apparatuses (AREA)
  • Die Bonding (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide an attaching structure of a tool which enables easy attachment and removal of a tool such as a collet to and from a tool holder. CONSTITUTION:A collet attaching hole 8 is formed in a collet attaching part 6 of a collet holder and a stopping pin 15 which is attached to pass through in a radius direction is fixed to the collet attaching part 6. A cross section of the stopping pin 15 is circular and a part thereof is arranged to project inside the collet attaching hole 8 of the collet attaching part 6. When the collet 9 is inserted, the stopping pin elastically deforms externally in a radius direction due to a tapered part of an end part thereof, and the deformed part is contained in a relief recessed part 16 formed in a rear of the stopping pin 15. When the collet 9 is moved, the deformed part of the stopping pin 15 returns to its original state and enters a cut-out part 17 formed in an outer peripheral surface of an attaching part 10 of the collet 9 to stop the collet 9.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、工具を工具ホルダに取
り付ける構造に関し、例えば、半導体装置の製造工程で
使用される半導体ペレット(以下、ペレットという。)
の詰め装置、ペレットボンディング装置、あるいはワイ
ヤボンディング装置等におけるコレットの取付構造に利
用して有効な技術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a structure for attaching a tool to a tool holder, for example, a semiconductor pellet (hereinafter referred to as pellet) used in a semiconductor device manufacturing process.
The present invention relates to a technique effectively used for a collet mounting structure in a filling device, a pellet bonding device, a wire bonding device, or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体装置の製造工程で使用されるペレ
ットボンディング装置において、ペレットを吸着するコ
レットの取付部をコレットホルダの取付孔に挿入して固
定するための従来の構造は、セットスクリューにより固
定する、マグネットの吸着性を利用して固定する、ある
いは真空吸着を利用して固定する等の手段、が採用され
ている。
2. Description of the Related Art In a pellet bonding apparatus used in a semiconductor device manufacturing process, a conventional structure for inserting and fixing a mounting portion of a collet for sucking pellets into a mounting hole of a collet holder is fixed by a set screw. Means for fixing by utilizing the attraction of the magnet, or fixing by utilizing vacuum attraction.

【0003】なお、ペレットボンディング装置を述べて
ある例としては、特開昭59−201451号公報があ
る。
An example of a pellet bonding apparatus is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 59-201451.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、セット
スクリューによって固定する工具の取付構造において
は、レンチ等の工具が必要になるとともに、手間がかか
るという問題がある。
However, there is a problem that a tool such as a wrench is required in the attachment structure of the tool fixed by the set screw, and it is troublesome.

【0005】また、マグネットの吸着性を利用して固定
する工具の取付構造においては、コレットホルダにマグ
ネットが埋設され、コレットにマグネットもしくは鉄材
が埋設されるため、マグネットに磁性のごみが吸着され
る問題がある。
Further, in the mounting structure of the tool for fixing by utilizing the attraction of the magnet, since the magnet is embedded in the collet holder and the magnet or the iron material is embedded in the collet, magnetic dust is attracted to the magnet. There's a problem.

【0006】真空吸着を利用して固定する工具の取付構
造においては、コレットホルダが重くなり、ボンディン
グヘッドの追従性が悪化する問題がある。
In a tool mounting structure for fixing by utilizing vacuum suction, there is a problem that the collet holder becomes heavy and the followability of the bonding head deteriorates.

【0007】本発明の目的は、コレット等の工具を工具
ホルダに簡単に着脱自在に取り付けることができる工具
の取付構造を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a tool mounting structure that allows a tool such as a collet to be easily and removably mounted on a tool holder.

【0008】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
The above and other objects and novel features of the present invention will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。
The typical ones of the inventions disclosed in the present application will be outlined below.

【0010】すなわち、工具ホルダに形成されている取
付孔に工具の取付部を挿入して工具を工具ホルダに固定
する工具の取付構造において、前記工具ホルダには半径
方向に貫通するようにして取り付けられ断面においてそ
の一部が取付孔内に配置している係止ピンが設けられて
いるとともに、この係止ピンは前記工具の挿入時の半径
方向の押圧力により半径方向外方に弾性変形して係止ピ
ンの背後に形成されている逃げ凹所内に収容可能であ
り、前記工具の取付部の外周面に前記係止ピンに係止さ
れる切欠部が形成されていることを特徴とする。
That is, in a tool mounting structure in which a tool mounting portion is inserted into a mounting hole formed in the tool holder and the tool is fixed to the tool holder, the tool holder is mounted so as to penetrate in the radial direction. In addition, a locking pin, a part of which is disposed in the mounting hole in the cross section, is provided, and the locking pin is elastically deformed radially outward by the pressing force in the radial direction when the tool is inserted. Is accommodated in an escape recess formed behind the locking pin, and a notch for locking the locking pin is formed on the outer peripheral surface of the mounting portion of the tool. ..

【0011】また、工具ホルダに形成されている取付孔
に工具の取付部を挿入して工具を工具ホルダに固定する
工具の取付構造において、前記工具ホルダは半径方向に
貫通する係止ピン挿入孔と、この係止ピン挿入孔に挿入
されて回動可能な係止ピンを備えているとともに、この
係止ピンは係止ピン挿入孔内で回動することにより取付
孔内にその断面の一部が配置可能な断面欠円形状の係止
部を備えており、前記工具の取付部の外周面に前記係止
部に係止可能な切欠部が形成されていることを特徴とす
る。
Further, in a tool mounting structure for fixing a tool to a tool holder by inserting a tool mounting portion into a mounting hole formed in the tool holder, the tool holder has a locking pin insertion hole penetrating in a radial direction. And a locking pin which is inserted into the locking pin insertion hole and is rotatable, and the locking pin is rotated in the locking pin insertion hole so that one of its cross-sections is inserted into the mounting hole. The present invention is characterized in that it is provided with a locking portion having a circular cross section in which the portion can be arranged, and a notch portion that can be locked by the locking portion is formed on the outer peripheral surface of the mounting portion of the tool.

【0012】また、工具ホルダに形成されている取付孔
に工具の取付部を挿入して工具を工具ホルダに固定する
工具の取付構造において、前記工具ホルダの取付孔の内
周面に形成されている環状の凹所と、この環状の凹所に
配設されている環状の袋体と、この環状の袋体に圧縮空
気を吹き込む手段とを備えており、前記環状の袋体に空
気を吹き込み袋体を膨らませて取付孔内に挿入されてい
る工具の取付部の外周を袋体で挟圧保持することを特徴
とする。
Further, in a tool mounting structure in which a tool mounting portion is inserted into a mounting hole formed in the tool holder and the tool is fixed to the tool holder, the tool mounting structure is formed on an inner peripheral surface of the mounting hole of the tool holder. An annular recess, an annular bag disposed in the annular recess, and means for blowing compressed air into the annular bag, and blowing air into the annular bag. It is characterized in that the bag body is inflated and the outer periphery of the mounting portion of the tool inserted into the mounting hole is pinched and held by the bag body.

【0013】[0013]

【作用】前記した第1の手段によれば、工具ホルダの取
付孔に工具の取付部が挿入されると、工具の取付部の先
端部によって工具ホルダ側の係止ピンは半径方向外方に
弾性変形されて逃げ凹所内に一旦収容され、さらに工具
が移動されて工具の外周面の切欠部が係止ピン位置にく
ると、係止ピンは元の状態に復帰して工具の切欠部に挿
入される。このようにして、工具は工具ホルダに簡単に
装着できる。工具を工具ホルダから取り外す場合も、工
具を工具ホルダから抜けば、上記と同様な作用で、簡単
に取り外すことができる。
According to the above-mentioned first means, when the attachment portion of the tool is inserted into the attachment hole of the tool holder, the locking pin on the tool holder side is radially outward by the tip portion of the attachment portion of the tool. When the tool is elastically deformed and once housed in the escape recess, and the tool is further moved so that the notch on the outer peripheral surface of the tool comes to the locking pin position, the locking pin returns to the original state and becomes the tool notch. Is inserted. In this way, the tool can be easily mounted on the tool holder. Even when removing the tool from the tool holder, if the tool is pulled out from the tool holder, it can be easily removed by the same operation as described above.

【0014】また、前記した第2の手段によれば、工具
ホルダの係止ピン挿入孔に挿入されている係止ピンの係
止部の断面の一部が取付孔内に配置しない状態にセット
し、この状態で工具の取付部を工具ホルダの取付孔に挿
入した後、係止ピンを回動することにより係止ピンの係
止部の断面の一部が取付孔内に配置されると、この部分
が工具の外周面の切欠部に挿入される。このようにし
て、工具は工具ホルダに簡単に装着できる。工具を工具
ホルダから取り外す場合は、係止ピンを回動して工具の
切欠部との係合状態を解除して、工具を工具ホルダから
抜けば、簡単に取り外すことができる。
Further, according to the above-mentioned second means, a part of the cross section of the engaging portion of the engaging pin inserted in the engaging pin inserting hole of the tool holder is set so as not to be arranged in the mounting hole. In this state, after inserting the attachment part of the tool into the attachment hole of the tool holder and rotating the locking pin, a part of the cross section of the locking part of the locking pin is placed in the mounting hole. , This portion is inserted into the notch on the outer peripheral surface of the tool. In this way, the tool can be easily mounted on the tool holder. When the tool is removed from the tool holder, it can be easily removed by rotating the locking pin to release the engagement with the notch of the tool and pulling the tool out of the tool holder.

【0015】また、前記した第3の手段によれば、工具
の取付部を工具ホルダの取付孔に挿入した後、環状の袋
体に圧縮空気を吹き込めば、環状の袋体が圧縮空気によ
って膨らみ、工具の外周が袋体によって挟圧保持され
る。このようにして、工具は工具ホルダに簡単に装着で
きる。工具を工具ホルダから取り外す場合は、袋体の空
気を抜いて、工具を工具ホルダから抜けば、簡単に取り
外すことができる。
According to the above-mentioned third means, when the compressed air is blown into the annular bag body after inserting the tool mounting portion into the mounting hole of the tool holder, the annular bag body is inflated by the compressed air. The outer circumference of the tool is held by the bag body while being clamped. In this way, the tool can be easily mounted on the tool holder. When removing the tool from the tool holder, the bag body is deflated, and the tool can be easily removed from the tool holder.

【0016】[0016]

【実施例】図1は本発明の一実施例であるコレットの取
付構造を示すもので、(a)は平面断面図、(b)はコ
レットホルダの取付孔にコレットが取り付けられた状態
を示す正面縦断面図である。図2はペレットボンディン
グ装置におけるボンディングヘッドを示す正面断面図で
ある。
1 shows a collet mounting structure according to an embodiment of the present invention. (A) is a plan sectional view, (b) shows a state in which a collet is mounted in a mounting hole of a collet holder. FIG. FIG. 2 is a front sectional view showing a bonding head in the pellet bonding apparatus.

【0017】本実施例において、本発明に係る工具の取
付構造は、ペレットボンディング装置におけるボンディ
ングヘッドのアームにコレットを着脱自在に取り付ける
ための構造として使用されている。
In the present embodiment, the tool mounting structure according to the present invention is used as a structure for detachably mounting the collet on the arm of the bonding head in the pellet bonding apparatus.

【0018】本実施例において、ペレットボンディング
装置のボンディングヘッド1は、図示外の装置本体から
水平方向に延びているアーム2の先端に垂直方向に取付
孔3を備えており、この取付孔3内に軸受18を介して
コレットホルダ4が垂直方向に移動可能に挿入されてい
る。
In the present embodiment, the bonding head 1 of the pellet bonding apparatus is provided with a mounting hole 3 in the vertical direction at the tip of an arm 2 extending in the horizontal direction from a device body (not shown). The collet holder 4 is movably inserted in the vertical direction via a bearing 18.

【0019】コレットホルダ4はコレットホルダ4の外
周に形成されている外周溝に装着されたストッパリング
5によって下方の移動を規制されているとともに、コレ
ットホルダ4の下部の大径部のコレット取付部6の上面
とアーム2の下面との間に圧縮スプリング7が蓄力状態
で介装されている。
The collet holder 4 is restricted in its downward movement by a stopper ring 5 mounted in an outer peripheral groove formed on the outer periphery of the collet holder 4, and at the same time, a collet mounting portion of a large diameter portion below the collet holder 4 is provided. A compression spring 7 is interposed between the upper surface of 6 and the lower surface of the arm 2 in a stored state.

【0020】そして、このコレットホルダ4の下部のコ
レット取付部6に垂直方向に形成されているコレット取
付孔8にコレット9の取付部10が装着される。
Then, the mounting portion 10 of the collet 9 is mounted in the collet mounting hole 8 which is formed in the lower portion of the collet holder 4 in the vertical direction.

【0021】コレットホルダ4およびコレット9には互
いに連通する空気流路11,12がそれぞれ形成されて
おり、コレットホルダ4の空気流路11の上端はコレッ
トホルダ4の上端部に接続されたパイプ13を介して図
示外の真空ポンプに接続されており、コレット9の空気
流路12の下端はコレット9の底面に形成されている凹
所14に接続されている。
The collet holder 4 and the collet 9 are formed with air passages 11 and 12 which communicate with each other, and the upper end of the air passage 11 of the collet holder 4 is connected to the upper end of the collet holder 4 by a pipe 13. Is connected to a vacuum pump (not shown) via a through hole, and the lower end of the air flow path 12 of the collet 9 is connected to a recess 14 formed in the bottom surface of the collet 9.

【0022】したがって、真空ポンプが作動されると、
コレット9の底面にペレットを真空吸着することがで
き、ペレットボンディング装置においてはコレット9の
底面にペレットが真空吸着されてアーム2が移動され、
所定のボンディング位置にペレットが移送される。
Therefore, when the vacuum pump is activated,
The pellet can be vacuum-sucked on the bottom surface of the collet 9, and in the pellet bonding apparatus, the pellet is vacuum-sucked on the bottom surface of the collet 9 and the arm 2 is moved.
The pellet is transferred to a predetermined bonding position.

【0023】以下、コレット9とコレットホルダ4との
着脱自在な取付構造を詳細に説明する。
The detachable mounting structure for the collet 9 and the collet holder 4 will be described in detail below.

【0024】コレットホルダ4の下部のコレット取付部
6には垂直方向に断面円形形状のコレット取付孔8が形
成されている。さらに、コレット取付部6には係止ピン
15が半径方向に貫通するようにして取り付けられて固
定されている。
A collet mounting portion 6 at the bottom of the collet holder 4 is formed with a collet mounting hole 8 having a circular cross section in the vertical direction. Further, a locking pin 15 is attached and fixed to the collet mounting portion 6 so as to penetrate in the radial direction.

【0025】この係止ピン15は断面円形で、断面にお
いてその一部がコレット取付孔8内に突出するように配
置されている。また、この係止ピン15はコレット9の
挿入時に、コレット9の先端部のテーパ部による半径方
向の押圧力により半径方向外方に弾性変形可能である。
コレットホルダ4にはこの係止ピン15の半径方向の弾
性変形時に、その弾性変形部分を収容する逃げ凹所16
が係止ピン15の背後に形成されている。
The locking pin 15 has a circular cross section and is arranged so that a part thereof projects into the collet mounting hole 8 in the cross section. When the collet 9 is inserted, the locking pin 15 can be elastically deformed outward in the radial direction by the pressing force in the radial direction by the taper portion of the tip of the collet 9.
When the locking pin 15 is elastically deformed in the radial direction, the collet holder 4 has an escape recess 16 for accommodating the elastically deformed portion.
Is formed behind the locking pin 15.

【0026】そして、コレット9の断面円形中実形状の
取付部10の外周面には係止ピン15に係止可能な切欠
部17が形成されており、切欠部17はコレット9の取
付部10の外周面の一部に接線方向に断面三角形状に形
成されている。
A notch 17 that can be engaged with the engaging pin 15 is formed on the outer peripheral surface of the mounting portion 10 of the collet 9 having a circular solid cross section, and the notch 17 is attached to the mounting portion 10 of the collet 9. Is formed in a triangular shape in a tangential direction on a part of the outer peripheral surface of the.

【0027】次に、コレット9のコレットホルダ4への
着脱作業を説明する。コレットホルダ4のコレット取付
孔8にコレット9の取付部10が挿入されると、コレッ
ト9の先端部のテーパ部によって係止ピン15が半径方
向外方に押圧されて弾性変形し、この弾性変形部分は逃
げ凹所16に一旦収容される。
Next, the work of attaching / detaching the collet 9 to / from the collet holder 4 will be described. When the mounting portion 10 of the collet 9 is inserted into the collet mounting hole 8 of the collet holder 4, the locking pin 15 is pressed radially outward by the taper portion of the tip of the collet 9 and elastically deforms. The part is once housed in the escape recess 16.

【0028】さらに、コレット9が移動されて、コレッ
ト9の外周面の切欠部17が係止ピン15位置にくる
と、係止ピン15は弾性力によって元の状態に復帰して
コレット9の切欠部17に挿入される。
Further, when the collet 9 is moved and the notch 17 on the outer peripheral surface of the collet 9 reaches the position of the locking pin 15, the locking pin 15 is returned to its original state by the elastic force and the notch of the collet 9 is cut. It is inserted in the part 17.

【0029】以上のようにして、コレット9はコレット
ホルダ4にワンタッチ操作にて簡単に装着することがで
きる。
As described above, the collet 9 can be easily attached to the collet holder 4 by one-touch operation.

【0030】コレット9をコレットホルダ4から取り外
す場合は、コレット9をコレットホルダ4から強く引き
抜けば、上記と同様にして、係止ピン15は弾性変形し
て一旦逃げて凹所16内に収容されるので、ワンタッチ
操作にて簡単に取り外すことができる。
When removing the collet 9 from the collet holder 4, if the collet 9 is strongly pulled out from the collet holder 4, the locking pin 15 is elastically deformed and temporarily escapes and is accommodated in the recess 16 in the same manner as above. It can be easily removed by one-touch operation.

【0031】前記実施例によれば次の効果が得られる。 コレットホルダ側に設けられた係止ピンの弾性変形
を利用してコレットを着脱するので、ワンタッチでコレ
ットをコレットホルダに着脱することができ、コレット
の着脱作業が容易で、コレットの着脱時間の短縮化を図
れ、しいては、生産性を向上することができる。
According to the above embodiment, the following effects can be obtained. Since the collet is attached and detached using the elastic deformation of the locking pin provided on the collet holder side, the collet can be attached and detached to and from the collet holder with one touch, making it easy to attach and detach the collet and shortening the time for attaching and detaching the collet. The productivity can be improved.

【0032】 コレットホルダ側に設けられた係止ピ
ンの弾性変形を利用してコレットを着脱するので、マグ
ネット等は不要であり、磁性のごみ等がコレットやコレ
ットホルダに付着することがない。
Since the collet is attached and detached by utilizing the elastic deformation of the locking pin provided on the side of the collet holder, a magnet or the like is unnecessary and magnetic dust or the like does not adhere to the collet or the collet holder.

【0033】 構造が簡単で、軽量化も果たせる。The structure is simple and the weight can be reduced.

【0034】図3は本発明の実施例2である工具の取付
構造を示すもので、(a)は平面断面図、(b)は正面
断面図である。
3A and 3B show a tool mounting structure according to a second embodiment of the present invention. FIG. 3A is a plan sectional view and FIG. 3B is a front sectional view.

【0035】本実施例2において、コレットホルダ4の
下部に形成された大径のコレット取付部6には、半径方
向に貫通する断面円形形状の係止ピン挿入孔20が形成
されている。そして、係止ピン挿入孔20には係止ピン
21が回転自在に嵌入されている。
In the second embodiment, the large diameter collet mounting portion 6 formed in the lower portion of the collet holder 4 is provided with a locking pin insertion hole 20 having a circular cross section and penetrating in the radial direction. A locking pin 21 is rotatably fitted in the locking pin insertion hole 20.

【0036】この係止ピン21は頭部付きの断面円形形
状に一体成形されており、長手方向の中間部には係止部
22が、断面の一部が平坦に切欠されて断面半円形状に
形成されている。この係止ピン21を係止ピン挿入孔2
0内で回動することにより、コレット取付孔8内にその
断面の一部が配置可能なように構成されている。
The locking pin 21 is integrally formed in a circular cross-section with a head, and a locking portion 22 is formed in the middle portion in the longitudinal direction, and a part of the cross-section is flatly cut to form a semi-circular cross-section. Is formed in. The locking pin 21 is inserted into the locking pin insertion hole 2
By rotating in 0, a part of the cross section can be arranged in the collet mounting hole 8.

【0037】コレット9の取付部10の外周面には切欠
部23が、係止ピン21のコレット取付孔8内に突出配
置される係止部22に係止されるように形成されてお
り、切欠部23はコレット9の取付部10の外周面の一
部に接線方向に断面三角形状に形成されている。
A notch 23 is formed on the outer peripheral surface of the mounting portion 10 of the collet 9 so as to be locked by a locking portion 22 projectingly arranged in the collet mounting hole 8 of the locking pin 21. The cutout portion 23 is formed in a part of the outer peripheral surface of the mounting portion 10 of the collet 9 in a tangential direction with a triangular cross section.

【0038】以下、コレット9のコレット取付部6への
着脱作業を説明する。
The operation of attaching and detaching the collet 9 to and from the collet mounting portion 6 will be described below.

【0039】まず、コレット取付部6の係止ピン挿入孔
20に挿入されている係止ピン21は、その係止部22
の断面の一部がコレット取付孔8内に配置しない状態に
セットされる。
First, the locking pin 21 inserted into the locking pin insertion hole 20 of the collet mounting portion 6 has the locking portion 22.
A part of the cross section of is set so as not to be placed in the collet mounting hole 8.

【0040】この状態で、コレット9の取付部10がコ
レット取付部6のコレット取付孔8に挿入された後、係
止ピン21が回動されることにより、係止ピン21の係
止部22の一部がコレット取付孔8内に配置される。こ
の係止部22がコレット9の取付部10の外周面の切欠
部23に挿入されると、コレット9はコレット取付部6
に固定的に装着された状態になる。
In this state, after the mounting portion 10 of the collet 9 is inserted into the collet mounting hole 8 of the collet mounting portion 6, the locking pin 21 is rotated so that the locking portion 22 of the locking pin 21 is rotated. Is partially disposed in the collet mounting hole 8. When the locking portion 22 is inserted into the cutout portion 23 on the outer peripheral surface of the mounting portion 10 of the collet 9, the collet 9 is attached to the collet mounting portion 6.
It will be fixedly attached to.

【0041】コレット9がコレット取付部6から取り外
される場合は、係止ピン21が回動されて、コレット9
の切欠部23との係合状態が解除されてから、コレット
9をコレットホルダ4から抜けば、簡単に取り外すこと
ができる。
When the collet 9 is detached from the collet mounting portion 6, the locking pin 21 is rotated and the collet 9 is removed.
When the collet 9 is removed from the collet holder 4 after the engagement with the notch 23 is released, it can be easily removed.

【0042】本実施例2によれば、前記実施例1と同様
の効果が得られる。
According to the second embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained.

【0043】図4は本発明の実施例3である工具の取付
構造を示すもので、(a)は平面断面図、(b)は正面
断面図である。
FIG. 4 shows a tool mounting structure according to a third embodiment of the present invention, in which (a) is a plan sectional view and (b) is a front sectional view.

【0044】本実施例3においてコレットホルダ4のコ
レット取付部6のコレット取付孔8の内周面には環状の
凹所30が形成されており、この環状の凹所30内には
袋体31が配設されている。
In the third embodiment, an annular recess 30 is formed on the inner peripheral surface of the collet mounting hole 8 of the collet mounting portion 6 of the collet holder 4, and a bag body 31 is formed in the annular recess 30. Are arranged.

【0045】袋体31はゴム等の弾性材料が用いられ
て、円形リング形状の気密な中空体に形成されている。
環状の袋体31の外周の一部には空気供給パイプ32が
接続されて突出されており、このパイプ32はコレット
ホルダ4に半径方向に貫通して形成されている透孔33
を挿通して外部に突出して、図示外のパイプを通じて図
示外の空気圧縮源に接続されている。
The bag 31 is made of an elastic material such as rubber and is formed into a circular ring-shaped airtight hollow body.
An air supply pipe 32 is connected to and protrudes from a part of the outer circumference of the ring-shaped bag body 31, and the pipe 32 has a through hole 33 formed through the collet holder 4 in the radial direction.
Through the pipe and is connected to an air compression source (not shown) through a pipe (not shown).

【0046】以下、コレット9のコレット取付部6への
着脱作業を説明する。
The operation for attaching and detaching the collet 9 to and from the collet mounting portion 6 will be described below.

【0047】まず、コレット9の取付部10がコレット
取付部6のコレット取付孔8に挿入される。続いて、環
状の袋体31に圧縮空気源から圧縮空気が吹き込まれる
と、環状の袋体31が圧縮空気によって膨らむ。袋体3
1が膨張すると、コレット9の取付部10の外周が袋体
31によって挟圧保持される。このようにして、コレッ
ト9はコレットホルダ4に簡単に装着できる。
First, the mounting portion 10 of the collet 9 is inserted into the collet mounting hole 8 of the collet mounting portion 6. Then, when compressed air is blown into the annular bag 31 from the compressed air source, the annular bag 31 is inflated by the compressed air. Bag 3
When 1 expands, the outer periphery of the mounting portion 10 of the collet 9 is clamped and held by the bag body 31. In this way, the collet 9 can be easily attached to the collet holder 4.

【0048】コレット9をコレット取付部6から取り外
す場合は、袋体31の空気が排出されると、挟圧保持が
解除されるため、コレット9をコレットホルダ4から抜
けば簡単に取り外すことができる。
When the collet 9 is detached from the collet mounting portion 6, when the air in the bag 31 is exhausted, the holding pressure is released, so that the collet 9 can be easily detached from the collet holder 4. ..

【0049】前記実施例3によれば、実施例1と同様な
効果が得られる。
According to the third embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained.

【0050】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。
Although the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Needless to say.

【0051】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるペレッ
トボンディング装置におけるコレットの取付構造に適用
した場合について説明したが、それに限定されるもので
はなく、この他ペレット詰め装置やワイヤボンディング
装置等の半導体装置の製造工程において使用される装置
におけるコレットの取付構造や、その他の工具の取付構
造全般に適用することができる。
In the above description, the case where the invention made by the present inventor is mainly applied to the mounting structure of the collet in the pellet bonding apparatus which is the background field of application has been described, but the invention is not limited thereto. In addition, the present invention can be applied to a mounting structure of a collet in a device used in a manufacturing process of a semiconductor device such as a pellet packing device and a wire bonding device, and other mounting structures of tools in general.

【0052】[0052]

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。
The effects obtained by the typical ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.

【0053】工具ホルダ側に設けられた係止ピンの弾性
変形を利用して工具を着脱するので、ワンタッチで工具
を工具ホルダに着脱することができ、工具の着脱作業が
容易で、工具の着脱時間の短縮化を図れ、生産性を向上
することができる。
Since the tool is attached / detached by utilizing the elastic deformation of the locking pin provided on the tool holder side, the tool can be attached / detached to / from the tool holder with one touch, and the attachment / detachment work of the tool is easy. Time can be shortened and productivity can be improved.

【0054】断面欠円形状の係止部を備える係止ピンの
回動操作により工具を着脱できるので、工具の着脱作業
が容易で、工具の着脱時間の短縮化を図れ、生産性を向
上することができる。
Since the tool can be attached / detached by rotating the engaging pin having an engaging portion having a circular cross section, the attaching / detaching work of the tool is easy, the attaching / detaching time of the tool can be shortened, and the productivity is improved. be able to.

【0055】圧縮空気により膨らむ環状の袋体により工
具の外周を挟圧することにより工具を装着することがで
き、圧縮空気を抜くことにより工具を取り外すことがで
きるので、工具の着脱作業が容易で、工具の着脱時間の
短縮化を図れ、生産性を向上することができる。
Since the tool can be mounted by pressing the outer circumference of the tool with an annular bag which inflates with compressed air, and the tool can be removed by removing the compressed air, the work of attaching and detaching the tool is easy, It is possible to shorten the time for attaching and detaching the tool and improve the productivity.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例である工具の取付構造を示す
もので、(a)は平面断面図、(b)は正面断面図であ
る。
FIG. 1 shows a tool mounting structure according to an embodiment of the present invention, in which (a) is a plan sectional view and (b) is a front sectional view.

【図2】ペレットボンディング装置におけるボンディン
グヘッド部分を示す正面断面図である。
FIG. 2 is a front sectional view showing a bonding head portion of the pellet bonding apparatus.

【図3】本発明の実施例2である工具の取付構造を示す
もので、(a)は平面断面図、(b)は正面断面図であ
る。
3A and 3B show a tool mounting structure that is Embodiment 2 of the present invention, in which FIG. 3A is a plan sectional view and FIG. 3B is a front sectional view.

【図4】本発明の実施例3である工具の取付構造を示す
もので、(a)は平面断面図、(b)は正面断面図であ
る。
4A and 4B show a tool mounting structure according to a third embodiment of the present invention, in which FIG. 4A is a plan sectional view and FIG. 4B is a front sectional view.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…ボンディングヘッド、2…アーム、3…取付孔、4
…コレットホルダ(工具ホルダ)、5…ストッパリン
グ、6…コレット取付部(工具取付部)、7…圧縮スプ
リング、8…コレット取付孔、9…コレット(工具)、
10…コレットの取付部、11、12…空気流路、13
…パイプ、14…凹所、15…係止ピン、16…逃げ凹
所、17…切欠部、18…軸受、20…係止ピン挿入
孔、21…係止ピン、22…係止部、23…切欠部、3
0…環状凹所、31…袋体、32…パイプ、33…透
孔。
1 ... Bonding head, 2 ... Arm, 3 ... Mounting hole, 4
... collet holder (tool holder), 5 ... stopper ring, 6 ... collet mounting part (tool mounting part), 7 ... compression spring, 8 ... collet mounting hole, 9 ... collet (tool),
10 ... Collet mounting part, 11, 12 ... Air flow path, 13
... pipe, 14 ... recess, 15 ... locking pin, 16 ... escape recess, 17 ... notch, 18 ... bearing, 20 ... locking pin insertion hole, 21 ... locking pin, 22 ... locking portion, 23 … Notches, 3
0 ... annular recess, 31 ... bag, 32 ... pipe, 33 ... through hole.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 工具ホルダに形成されている取付孔に工
具の取付部を挿入して工具を工具ホルダに固定する工具
の取付構造において、 前記工具ホルダには半径方向に貫通するようにして取り
付けられ断面においてその一部が取付孔内に配置してい
る係止ピンが設けられているとともに、この係止ピンは
前記工具の挿入時の半径方向の押圧力により半径方向外
方に弾性変形して係止ピンの背後に形成されている逃げ
凹所内に収容可能であり、前記工具の取付部の外周面に
前記係止ピンに係止される切欠部が形成されていること
を特徴とする工具の取付構造。
1. A tool mounting structure for fixing a tool to a tool holder by inserting a tool mounting portion into a mounting hole formed in the tool holder, wherein the tool holder is mounted so as to penetrate through the tool holder in a radial direction. In addition, a locking pin, a part of which is disposed in the mounting hole in the cross section, is provided, and the locking pin is elastically deformed radially outward by the pressing force in the radial direction when the tool is inserted. Is accommodated in an escape recess formed behind the locking pin, and a notch for locking the locking pin is formed on the outer peripheral surface of the mounting portion of the tool. Tool mounting structure.
【請求項2】 工具ホルダに形成されている取付孔に工
具の取付部を挿入して工具を工具ホルダに固定する工具
の取付構造において、 前記工具ホルダは半径方向に貫通する係止ピン挿入孔
と、この係止ピン挿入孔に挿入されて回動可能な係止ピ
ンを備えているとともに、この係止ピンは係止ピン挿入
孔内で回動することにより取付孔内にその断面の一部が
配置可能な断面欠円形状の係止部を備えており、前記工
具の取付部の外周面に前記係止部に係止可能な切欠部が
形成されていることを特徴とする工具の取付構造。
2. A tool mounting structure for fixing a tool to a tool holder by inserting a tool mounting portion into a mounting hole formed in the tool holder, wherein the tool holder has a locking pin insertion hole penetrating in a radial direction. And a locking pin which is inserted into the locking pin insertion hole and is rotatable, and the locking pin is rotated in the locking pin insertion hole so that one of its cross-sections is inserted into the mounting hole. Of the tool, characterized in that it is provided with an engaging portion having a circular cross section where the portion can be arranged, and a notch that is engageable with the engaging portion is formed on the outer peripheral surface of the attachment portion of the tool. Mounting structure.
【請求項3】 工具ホルダに形成されている取付孔に工
具の取付部を挿入して工具を工具ホルダに固定する工具
の取付構造において、 前記工具ホルダの取付孔の内周面に形成されている環状
の凹所と、この環状の凹所に配設されている環状の袋体
と、この環状の袋体に圧縮空気を吹き込む手段とを備え
ており、前記環状の袋体に空気を吹き込み袋体を膨らま
せて取付孔内に挿入されている工具の取付部の外周を袋
体で挟圧保持することを特徴とする工具の取付構造。
3. A tool mounting structure for fixing a tool to a tool holder by inserting a tool mounting portion into a mounting hole formed in the tool holder, wherein the tool holder is formed on an inner peripheral surface of the mounting hole. An annular recess, an annular bag body disposed in the annular recess, and means for blowing compressed air into the annular bag body, and blowing air into the annular bag body. A tool mounting structure characterized in that the bag body is inflated and the outer periphery of the mounting portion of the tool inserted into the mounting hole is clamped and held by the bag body.
JP12031592A 1992-05-13 1992-05-13 Attaching structure of tool Pending JPH05315376A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12031592A JPH05315376A (en) 1992-05-13 1992-05-13 Attaching structure of tool

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12031592A JPH05315376A (en) 1992-05-13 1992-05-13 Attaching structure of tool

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05315376A true JPH05315376A (en) 1993-11-26

Family

ID=14783202

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12031592A Pending JPH05315376A (en) 1992-05-13 1992-05-13 Attaching structure of tool

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05315376A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10107129A (en) * 1996-09-26 1998-04-24 Shibaura Eng Works Co Ltd Substrate processing device
JP2002337084A (en) * 2001-05-14 2002-11-26 Tamura Electric Works Ltd Structure of connection in article mover
JP2020170793A (en) * 2019-04-03 2020-10-15 日精電子株式会社 Collet and manufacturing method thereof
KR102521188B1 (en) * 2021-12-02 2023-04-13 조윤장 Collet chuck jig for mold core

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10107129A (en) * 1996-09-26 1998-04-24 Shibaura Eng Works Co Ltd Substrate processing device
JP2002337084A (en) * 2001-05-14 2002-11-26 Tamura Electric Works Ltd Structure of connection in article mover
JP2020170793A (en) * 2019-04-03 2020-10-15 日精電子株式会社 Collet and manufacturing method thereof
KR102521188B1 (en) * 2021-12-02 2023-04-13 조윤장 Collet chuck jig for mold core

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4357006A (en) Distortion free 3 point vacuum fixture
US7121934B2 (en) Carrier head for chemical mechanical polishing apparatus
EP1860689A4 (en) Polishing head for semiconductor wafer, polishing apparatus and polishing method
JPH05315376A (en) Attaching structure of tool
TW201901074A (en) Rapid clipper for inflating tire
KR100198967B1 (en) Method for applying a wafer to a mount plate
US6517421B2 (en) Polishing head of a chemical and mechanical polishing apparatus for polishing a wafer
JPH08155770A (en) Seating device for pallet or the like
KR100822686B1 (en) Pipe joint and male member thereof
US3994101A (en) Vacuum chuck with sealable cavity
JP2002018697A (en) Polishing shoe
US4804029A (en) Tire bead seater
US6277234B1 (en) Method and apparatus for removing work pieces adhered to a support
JPH06281525A (en) Work fixer
JPH0360930A (en) Sealing device for pore electric discharging machine
JPH08181194A (en) Sheet fixing ring
JP4177699B2 (en) Cover member and desorption device
JPH0697213A (en) Tool mounting structure
JP2002128043A (en) Pressing device for pulp mold shaped body
JPS6015655Y2 (en) Bit attachment/detachment device for tools
KR20240032401A (en) semiconductor wafer tray jig
JP2518182Y2 (en) Sealing structure for chips and cutting fluid treatment equipment
CN219257986U (en) Sponge pad attaching mechanism
CN214645611U (en) Resin sorption tool
CN219418992U (en) Device for replacing suction nozzle