JPH0531256B2 - - Google Patents

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JPH0531256B2
JPH0531256B2 JP58136778A JP13677883A JPH0531256B2 JP H0531256 B2 JPH0531256 B2 JP H0531256B2 JP 58136778 A JP58136778 A JP 58136778A JP 13677883 A JP13677883 A JP 13677883A JP H0531256 B2 JPH0531256 B2 JP H0531256B2
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JP
Japan
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fluorescent screen
light
fiber plate
core material
layer
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP58136778A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS6030039A (en
Inventor
Takashi Noji
Yoshiharu Obata
Shigeharu Kawamura
Masahiro Sugyama
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Priority to JP58136778A priority Critical patent/JPS6030039A/en
Publication of JPS6030039A publication Critical patent/JPS6030039A/en
Publication of JPH0531256B2 publication Critical patent/JPH0531256B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21KTECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K4/00Conversion screens for the conversion of the spatial distribution of X-rays or particle radiation into visible images, e.g. fluoroscopic screens

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
  • Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

〔発明の技術分野〕 この発明は基板にフアイバープレートを用い、
その面上に螢光体層を形成した螢光スクリーンの
製造方法の改良に関する。 〔発明の技術的背景及び問題点〕 一般に螢光スクリーンを内蔵するイメージ管例
えば放射線像増強管は、医療診断用を主に工業用
非破壊検査などに広範囲に応用されている。この
種の放射線像増強管は第1図に示すように構成さ
れ、主としてガラス、一部は金属薄板よりなる真
空外囲器1の入力側内部に入力面2が配設されて
いる。一方、真空外囲器1の出力側内部には、陽
極3が配設されるとともに出力面4が設けられ、
更に真空外囲器1内部の側部には集束電極5が配
設されている。前記入力面2は球面状のAl基板
6の出力側(凹面側)にCsI/Naの入力螢光体層
7が形成され、この入力螢光体層7の上に更に光
電面8が形成されている。又、出力面4は基板9
に出力螢光体層10を形成してなつている。そし
て、動作時には放射線(図示せず)は被写体(図
示せず)を通過する際、被写体の放射線透過率に
よつて変調されて、入力螢光体層7を励起する。
入力螢光体層7の励起光は光電面8に光エネルギ
ーを与え、光電面8より電子を放出させる。この
電子は陽極3、集束電極5で形成される電子レン
ズ作用により出力螢光体層10に加速集束し、出
力螢光体層10を発光させる。このような過程で
電子の増倍が行なわれ、入力螢光体層7で得られ
る光像より格段に明るい像が出力面4に得られ、
この光像により被写体の観察を容易に行なうこと
ができる。 このような放射線像増強管の出力スクリーン4
の構成に出力螢光体層10の保持基板としてフア
イバープレート(光学繊維束板)を用いる例があ
り、これはそれより以前のガラス板上に出力螢光
体層10を形成した螢光スクリーンに対して放射
線像増強管のコントラスト特性を改善するのに役
立つている。この提案の概略を第2図に示すが基
板であるフアイバープレート11に出力螢光体層
10を形成してなる出力面4を真空外囲器1の出
力側に配置したものである。この提案は、従来良
く知られているフアイバープレートを真空外囲器
1の一部として用い、直接放射線像増強管の画像
信号を真空外囲器1の外へ導き出すものではな
く、現在広く用いられている光学系を必要とする
反面、加速電圧の正の高電圧印加は第1図に示す
従来例と同じにできる利点がある。 しかし、フアイバープレート11を用いてコン
トラスト特性の改善を計ることに関しては、単に
フアイバープレート11上に螢光体層10を形成
しただけではフアイバープレート11自体の構造
上の問題と出力窓ガラス12の影響のためコント
ラストを大幅に改善するには限界がある。 出力面4は次のような工程で形成される。フア
イバープレート11を適宜な板厚にスライスし研
磨する。このフアイバープレート11上に螢光体
を遠心法、沈降法、電着法等の付着法によつて5
〜10μmの厚さに塗布する。この際螢光体粒子2
1がフアイバープレート11から脱離するのを防
ぐためガラス質の溶剤を用いて両者の付着力を強
化している。この螢光体層10上にNCフイルム
を形成したのち、Al蒸着を行いメタルバツク層
を形成して、NCフイルムを熱分解させて後に出
力面4は得られる。この工程の中で用いられるガ
ラス質の溶剤によつて螢光体粒子21とフアイバ
ープレート11とは光学的な接触度合が強くな
る。 一方、フアイバープレート11内を伝達する光
は第3図に示す如く芯材31、被覆材32、吸収
体33からなるフアイバープレート11の機能図
によつて説明される。ここで、芯材31のガラス
屈折率n1を1.8、被覆材32のガラス屈折率n2
1.5とする。又、真空の屈折率n0を1、フアイバ
ープレートへの光の入射角をθ0とするとθ0はは次
式で表わされる。 n0sinθ0=√1 22 2 この式よりθ0は90゜となる。入射角90゜の光は芯
材31の屈折角が33.7゜となる。また、芯材31
と被覆材32との境界面での全反射角度θCは55.9゜
となる。ところで、θ1が33.7゜の光は芯材31と被
覆材32の境界面への入射角θCが56.3゜となり臨界
角より大きいため全反射を繰り返しながらフアイ
バープレート11の中を伝播し光出射面34より
取り出される。 前述の螢光体粒子21とフアイバープレート1
1の光入射面35側との接触度合が強くなること
によつて、第4図で示したように芯材31の中心
軸上の出力螢光体層10で発光した光のうち
33.7゜の角度のものが光出射面34では90゜の角度
で出射することになる。フアイバープレート11
上に螢光体層10を形成することによつて、その
光出射面での光出射の角度は0〜90゜の角度の全
方向の光が出射されることになる。 さて、フアイバープレート11を出射された光
は、放射線像増強管の出力窓ガラス12に入射す
る際に良く知られているフレネル反射によつて出
力窓ガラス内面36から再び出力面4に戻る光が
存在する。これを第4図に示して説明すると、螢
光体粒子21からの発光はフアイバープレート1
1より出射された光の一部aが出力窓ガラス12
の両表面で反射して螢光面4に戻つてくる。この
光は発光した場所とは異なる位置で散乱光とな
り、その位置の固有の光と重畳されるためコント
ラスト特性の低下原因となる。 フアイバープレート11内の伝達される光の進
路について同じく第4図にて進路bで示したよう
に芯材31の1つに入射した光は被覆材32との
境界面において全反射される隣接する他の芯材に
入射し、更には広範囲に拡散され、螢光体層10
側へあるいは芯材31、被覆材32の光出射面3
4から出射される。そして、本来光の通過があつ
てはならない被覆材32、ないし吸収体33内を
そのまま伝達する光の進路cもある。 これらの光が光出射面34から出射されること
もまたコントラスト特性を低下させる1つの原因
となつている。 以上がフアイバープレート11を用いた螢光面
4の光の進路に注目した屈折反射による光の散乱
要因によるコントラスト特性が制約される概要で
ある。 さてフアイバープレート11はその製造上に起
因する光学的欠陥があることが知られている。こ
の光学的欠陥は放射線像増強管においては面欠点
となり、医療診断上の大きな支障となる。これを
防ぐにはフアイバープレート11の板厚を2mm以
下に薄くスライスして使用すれば、上記欠陥発生
頻度は低減して高品位な良好な画像が得られるこ
とが確認され実用化の目途がついた。ところが、
この薄板フアイバープレート11の場合、コント
ラスト特性が厚板よりは低下する欠点を有してい
る。 この発明は、高コントラスト特性かつ高品位な
性能を両立させて放射線像増強管の螢光スクリー
ンを提供するために為されたものである。 〔発明の目的〕 この発明の目的は、基板にフアイバープレート
を用いた螢光スクリーンの従来のものとは全く異
なる構造の螢光スクリーンの製造方法を提供しそ
のコントラスト特性及び画面品位を従来のものに
較べ大幅な向上をもたらすものである。 〔発明の概要〕 この発明は、フアイバープレートの面上に螢光
面を形成し、この上にメタルバツク層を形成した
螢光スクリーンにおいて、その螢光スクリーンの
光出射面側の少なくとも光像有効面積より広い範
囲のフアイバープレート構成部材の芯材の一部を
除去する工程と、この面側に少なくとも芯材上面
部を除いて光吸収層を形成する工程を具備するこ
とを特徴とする螢光スクリーンの製造方法にあ
る。 〔発明の実施例〕 この発明による螢光スクリーンは、支持基板に
芯材径が20μm以下のフアイバープレートを用い、
該一面に粒状又は板状又は層状の螢光体層を設
け、かつメタルバツク層を形成したものであり、
フアイバープレートの板厚は3mm以下である。 この発明の実施例について以下、第5図および
第8図を参照して説明する。螢光スクリーンは第
5図に示すように構成され、従来例と同一箇所は
同一符号を付すことにする。フアイバープレート
11は所要の板厚好ましくは0.5〜2mmの範囲に
スライスされ両面光学研磨されている。その一面
が光入射面35で、他面が光出射面34となる。
また断面形状は通常主光伝達部の芯材31と被覆
材32、吸収体33よりなる構造である。このフ
アイバープレート11の光入射面35上に螢光体
層10を形成する方法は何種類かあるが、沈降法
を用いた場合、容器内にフアイバープレート11
を置き、螢光体粒子21が分散する懸濁液をこの
容器内に流し込み静置する。螢光体粒子21の分
散量に応じて重力沈降した螢光体粒子21の螢光
体層膜厚は決定することができ、通常5〜10μm
のものが使用されている。懸濁液中にはガラス質
の溶剤(水ガラス溶液)が混入しているため、容
器内からフアイバープレートを引き上げても、螢
光体層10は脱離することはない。この螢光体層
10上にNCラツカーフイルムの薄膜を緊張させ
て貼り、螢光体層10表面を連続的にする。そし
て、この上に電子線を透過しやすい軽金属のメタ
ルバツク層41を真空蒸着によつて5000Å程度設
ける。これまでの工程が一般に用いられている螢
光スクリーンの製造である。 光出射面34側のフアイバープレート11の芯
材31の一部を除去するには、芯材31と被覆材
32、吸収体33の屈折率の相違を持たせるため
にガラス材料成分の金属イオン成分の違いがある
ことを利用し、両者の酸に対するエツチング速度
の大小を利用した選択エツチングを行なう。この
工程によつて芯材31はエツチングされ、凹部4
2が形成される。酸は一般的なものとしては12%
硝酸を用いれば被覆材32、吸収体33の形状の
侵食もなく、エツチング時間を制御することによ
つて任意の凹部の深さを得ることができる。ただ
し、加熱エツチングや凹部の形状を例えば球面に
したい時には他の酸例えば10%の塩酸又は複数の
酸例えば5%塩酸と5%硫酸との混酸を用いて連
続的あるいは断続的にエツチングする方法も可能
である。参考例として12%硝酸を用い常温でエツ
チングしてフアイバープレート11の芯材31の
凹部を形成した形状を第6図に示す。この工程で
は酸を用いるため螢光体層10側の破壊を防止す
るため第7図に例示する如く、酸が螢光体層10
側へ廻りこまないようなエツチング用治具を用い
ている。ここでは開孔部を有する容器51、気密
用リング52、締具53からなり、エツチング液
54を満たして芯材31の溶解除去を行う。容器
51の開孔部の直径d1がフアイバープレート11
の凹部42の形成される面積の直径ともなり、用
いたフアイバープレート11の直径d2よりも小さ
く、出力面4の光像有効面積の直径d3よりも大き
い条件を満たさなくてはならない。すなわちd3
d1≦d2の関係が成り立つ。エツチング深さすなわ
ち凹部42の深さは酸の種類、温度等の処理条件
を同一にした場合、ほぼエツチング時間に比例す
ることが確認されたので任意に選ぶことができる
が、この発明については凹部の深さは20μm以下
が好ましい。エツチング液54がフアイバープレ
ート11の光出射面34上に残留しないよう洗浄
した後、乾燥させて容器51から螢光スクリーン
を取り出す。 以上がフアイバープレート11の芯材31の一
部を除去して凹部42を形成する基本的な工程で
ある。これには、螢光体層10の形成工程中に発
生しやすい螢光体層10の面欠点のないもののみ
を用いて凹部42の形成ができる経済的な利点が
ある。 次の工程は第5図に示されている光吸収層43
を凹部42の芯材上面部44を除いた壁面45と
被覆材32及び吸収体33の面上46に形成する
ものである。光吸収層43の材料としては材料自
身が黒いカーボンがすぐあげられるが、カーボン
膜の付着力の弱さ、放射像増強管内での悪影響を
考慮するとより好適な材料として金属材料の薄膜
形成によつてこの光吸収層43を形成する。 まず、凹部42を有する螢光スクリーンを真空
蒸着装置61内に配置し、蒸発源62にはアルミ
ニウムペレツト63を装着する。この時の両者の
位置関係は第8図に示すように蒸発源62に対し
て螢光スクリーンは0〜90゜の範囲(0<α<90)
に傾斜(α゜)させる。傾斜角度(α)は凹部42
の深さと径によつて決められるものであり、凹部
壁面45のほとんど全周に光吸収層43を形成す
るにはこの傾斜角度のまま螢光スクリーンを回転
(自転)させることによつて得られる。真空蒸着
は立体角をもつてアルミニウムが蒸着するので、
同図bの螢光スクリーンの如く、自転及び公転さ
せて光吸収層43を形成すれば、多数の螢光スク
リーンを効率よく形成することができる。もちろ
ん、自転又は公転させないで、光吸収層43を形
成することも可能である。全く回転しない場合に
はフアイバープレート11の凹部42の壁面45
には部分的な光吸収層43が形成されることにな
るがこの場合でもコントラスト特性を向上させる
効果はあることは明らかである。このような蒸着
法による光吸収層43の形成には凹部42だけで
なくく被覆材32及び吸収体33の面上46も蒸
発源に対向しているので、ここにも充分な濃度の
光吸収層43が形成されることは言うまでもな
い。蒸着材料としてはアルミニウムの他Ni、Cr
等でも劣らぬ特性をもつ黒褐色ないし茶褐色の光
吸収層43の形式が可能である。 なお、この工程においては、螢光体層10側に
光吸収層43を形成することはほとんど不要であ
るので、この面に被着しないような遮蔽部材を用
いることが好ましい。 この蒸着工程は次のような条件のもとに行なわ
れる。まず前述の配置にして装置61内部を1×
10-4Torr以下の圧力は真空排気する。光吸収層
43となる薄膜の厚さはモニター(図示せず)に
より測定し該被着面において100〜2000Åの範囲
に蒸着するが、螢光スクリーンの輝度と凹部42
形状を考慮して100〜500Åが好適なものになるこ
とが実験により明らかとなつた。光吸収層43の
付着強度はほぼ室温蒸着でも充分であるが、更に
向上させるには螢光スクリーン(被着面)を100
〜300℃に加熱することが有効である。 光吸収層43の形成は、これら真空蒸着のいく
つかの条件を適宜に組み合わせることによつて螢
光スクリーンのコントラストや輝度を選択でき
る。このような真空蒸着法による光吸収層43の
形成は清浄な環境下で微細な面に汚れやゴミ付着
を防ぎ、均一形成も可能なかつ大量に効率良く生
産できる幾多の利点を有している。また、この螢
光スクリーンが放射線像増強管内に配設された時
には光吸収層43の脱落がないので管内ゴミとは
ならず、他の材料より有利である。 さて、フアイバープレート11の螢光体層10
の反対面にある芯材31の一部を除去して凹部4
2を形成し、この芯材上面部44を少なくとも除
いた壁面45と被覆材32及び吸収体33の面上
46に光吸収層43を形成した螢光スクリーンは
次のような効果を有する。第5図に示される如
く、螢光体粒子からの光がフアイバープレート1
1内を伝達し光出射面34から出射される時に光
の出射位置は芯材上面部44のみにほとんど制限
され(進路a)、フアイバープレート11の機能
を損ね(進路b)又は機能に関与しない光(進路
c)は光吸収層43によつてとどまり、外部に出
射されず、内部に反射されない。このため、フア
イバープレート11内の光は1つの芯材31に注
目するとそれが単独の画素となり、画素成分はフ
アイバープレート11内部の光の散乱による重畳
の影響の極めて少ないコントラスト特性の優れた
ものとなる。 また、凹部42の形成によつて、主たる光伝達
部である芯材31を全反射によつて伝達してきた
光は芯材上面部44から出射されるため光出射面
としての光の発光角度分布は通常の平坦なフアイ
バープレートの場合に比較して狭くなり、その光
出射面から出力窓ガラスに伝播する際にも従つて
狭くその時の入射角度が小さくなるのでフレネル
反射を起こす割合は極端に低下する。このフレネ
ル反射による光の戻りがコントラスト特性低下の
1つの原因であるので、凹部42形成による発光
角度分布の狭まりは非常に有効にコントラスト特
性の向上に寄与することがわかる。 更には、光吸収層43の形成によつて出力窓ガ
ラスの境界面で発生するフレネル反射による戻り
光は、フアイバープレート11内に向かうが光吸
収層43の形成部に入射した場合、これによつて
吸収され再びフアイバープレート11内に入射
し、光の散乱を起こすことを防止する効果もあ
る。 凹部42の形成や光吸収層43の形成によつて
従来の難点であつたフアイバープレート11の薄
板化によるコントラスト低下を解決することがで
きるので、2mm以下の薄板フアイバープレートが
実用化できかつ高品位画像を提供することも同時
にできる。 このため、医療診断上特に要求される高精細度
画像により被写体ははつきりと見極めができ、高
品位画像は診断途中の妨害要因とならない螢光ス
クリーン及び放射線像増強管を提供することがで
きる。 次にこの発明の他の実施例について第7図ない
し第10図を参照して説明する。第7図に示され
た如く、螢光スクリーンのフアイバープレート1
1の凹部42の形成に当つては、螢光体層10を
フアイバープレート11上形成する前にあらかじ
め光出射面34となる面上の芯材31の一部を酸
で溶解除去して凹部42を形成できる。この工程
のあと、その光入射面35上に前述の如き方法で
螢光体層10及びメタルバツク層41を形成すれ
ば同様な構成の螢光スクリーンを得ることができ
る。この方法の特徴は酸による螢光体層10の腐
食を防止できることにあるが、螢光スクリーン形
成工程全般にわたつて凹部42の微細部分の汚れ
やゴミを特に注意しなくてはならない。 フアイバープレート11の片面すなわち光出射
面34側に凹部を形成し、光入射面35側すなわ
ち螢光体層10側に凹部を形成しないことは、螢
光体層10形成がフアイバープレート11の平坦
面に為されるため従来の技術を転用でき、螢光体
層10形成が一般に溶液中で行なわれることから
凹部への液の残留や均一な膜厚の螢光体層形成に
はこの平坦面であることが多いに工程能率の向上
をもたらしている。 第7図ではエツチング用治具の開孔部にエツチ
ング液54を満たしたが、逆にエツチング液54
を満たした容器の中にフアイバープレート11又
は螢光体層10の形成された螢光スクリーンを浸
して、前述の如き凹部42形成を行なうことがで
きる。エツチング時間の短縮には液の撹拌や加温
を行なうことはいうまでもなく有効である。 凹部42は螢光スクリーンの有効出力像径より
広い範囲に形成されるが、凹部42の深さに応じ
てそれぞれの芯材31部より出射される光量は変
化するので放射線像増強管の種類によつてはこれ
を利用し螢光スクリーンの中心と周辺部の凹部4
2の深さを変化させて出力光像の輝度一様性を向
上させるのに役立てることができる。 光吸収層43は被形成面において均一濃度の形
成が好ましいがフアイバープレート11の芯材3
1の径は普通5〜20μmであり、凹部42の深さ
が15μm以上の場合、傾斜蒸着の制約から第9図
に示される如く凹部42の壁面45の全てには光
吸収層43が被着形成されないことがある。ま
た、全ての凹部42の壁面45上の光吸収層43
の被着面積は均一にはならないことも発生しがち
ではある。このような場合、傾斜角度、回転速度
を調整し、蒸発源の数を複数にして極力これらの
問題が起こらぬように工程改善を行なう。第9図
のように光吸収層43を形成した場合には第6図
と同様な作用を有していることは光の進路からわ
かりコントラスト特性向上に対する効果もほぼ同
程度であることが確認された。 最も簡略な方法として、一方向からの蒸着によ
る光吸収層43の形成が可能であるので第10図
に示すように凹部42の壁面を部分的に、及び被
覆材32、吸収体33の上面部46に光吸収層4
3を設けられることがわかる。この方法を断続的
に又は連続的に行なえば前記第5図又は第9図の
如き光吸収層43となる。 被覆材32、吸収体33の上面部46上に真空
蒸着による光吸収層43を形成する方法として
は、前記第8図において蒸発源62に対向する螢
光スクリーン又はフアイバープレート11を90゜
の位置に配置する。この時凹部42の芯材上面部
44を被覆する低温分解可能な樹脂を薄く埋設し
ておく。次いで前述の如く金属を蒸着すれば上面
部46上には充分な濃度を有する光吸収層43を
形成することができる。そして該螢光スクリーン
又はフアイバープレートを熱処理炉できれば酸化
の促進されない真空熱処理炉にて加熱することに
よつて凹部42に埋設された樹脂を完全に除去で
きる。 なお、壁面45には蒸発源62と螢光スクリー
ン又はフアイバープレートの各凹部42との角度
が大きい程光吸収層43が形成されるので蒸発源
62が1個の時、蒸発源62に対してほぼ平行移
動(ある程度の傾斜角度で)しながら真空蒸着す
れば上面部46及び壁面45に同時に光吸収層4
3が形成され、複雑な自転、公転用の機構を真空
槽61に設ける必要がない利点をこの方法は有し
ている。この逆に蒸発源62を多用すれば同様な
ものとなる。ここでは光吸収層43の形成を凹部
42を有するフアイバープレート11上に行なつ
ているが真空蒸着による金属薄膜の付着強度が大
きく、螢光体層10形成工程中に剥離しないた
め、光吸収層43形成後に螢光体層10及びメタ
ルバツク層41を形成して所望の螢光スクリーン
を得ることができる。 以上の工程により得られたこの発明の螢光スク
リーンの具体的なコントラスト特性の改善を10%
コントラスト測定法によつて行なつた。試料とし
ては、螢光スクリーンとこれを具備した放射線像
増強管の2種類である。コントラストの定義とし
ては発光面積の10%に相当するシールド板をこれ
ら試料の中心に配置し、発光面積の中心線上をス
ポツトメーターで走査した。この時得られる最高
輝度をa、シールド板のほぼ中央の最低輝度をb
として、コントラストを(a−b)/a×100
(%)で表示した。従つて、得られた値が大きい
程コントラストは良好である。 まず螢光スクリーンの測定結果を下表に示す。
[Technical field of the invention] This invention uses a fiber plate as a substrate,
The present invention relates to an improvement in a method for manufacturing a fluorescent screen having a fluorescent layer formed on its surface. [Technical Background and Problems of the Invention] Image tubes, such as radiation image intensifier tubes, which generally have a built-in fluorescent screen are widely used for medical diagnosis and industrial non-destructive testing. This type of radiation image intensifier tube is constructed as shown in FIG. 1, and has an input surface 2 disposed inside the input side of a vacuum envelope 1 mainly made of glass and partially made of a thin metal plate. On the other hand, inside the output side of the vacuum envelope 1, an anode 3 and an output surface 4 are provided,
Further, a focusing electrode 5 is disposed on the side inside the vacuum envelope 1. The input surface 2 has a CsI/Na input phosphor layer 7 formed on the output side (concave side) of a spherical Al substrate 6, and a photocathode 8 further formed on this input phosphor layer 7. ing. Also, the output surface 4 is connected to the substrate 9
An output phosphor layer 10 is formed thereon. In operation, the radiation (not shown) excites the input phosphor layer 7 as it passes through the object (not shown) and is modulated by the radiation transmittance of the object.
The excitation light of the input phosphor layer 7 gives optical energy to the photocathode 8 and causes the photocathode 8 to emit electrons. These electrons are accelerated and focused on the output phosphor layer 10 by the electron lens action formed by the anode 3 and the focusing electrode 5, causing the output phosphor layer 10 to emit light. In this process, electrons are multiplied, and an image much brighter than the light image obtained at the input phosphor layer 7 is obtained on the output surface 4.
The object can be easily observed using this optical image. The output screen 4 of such a radiation image intensifier tube
There is an example in which a fiber plate (optical fiber bundle plate) is used as a holding substrate for the output phosphor layer 10 in the structure of 1. In contrast, it is useful to improve the contrast characteristics of radiographic image intensifier tubes. The outline of this proposal is shown in FIG. 2, in which an output surface 4 formed by forming an output phosphor layer 10 on a fiber plate 11 serving as a substrate is placed on the output side of the vacuum envelope 1. This proposal uses a conventionally well-known fiber plate as a part of the vacuum envelope 1 and does not lead the image signal of the radiation image intensifier tube directly outside the vacuum envelope 1, but is currently widely used. On the other hand, it has the advantage that the application of a high positive voltage as an accelerating voltage can be the same as in the conventional example shown in FIG. However, in order to improve the contrast characteristics using the fiber plate 11, simply forming the phosphor layer 10 on the fiber plate 11 will cause problems with the structure of the fiber plate 11 itself and the influence of the output window glass 12. Therefore, there is a limit to significantly improving contrast. The output surface 4 is formed by the following process. The fiber plate 11 is sliced into an appropriate thickness and polished. A phosphor is applied onto the fiber plate 11 by a deposition method such as a centrifugation method, a sedimentation method, or an electrodeposition method.
Apply to a thickness of ~10 μm. At this time, the fluorescent particles 2
In order to prevent the fiber plate 1 from detaching from the fiber plate 11, a glassy solvent is used to strengthen the adhesion between the two. After forming an NC film on the phosphor layer 10, Al vapor deposition is performed to form a metal back layer, and the output surface 4 is obtained after thermally decomposing the NC film. The degree of optical contact between the phosphor particles 21 and the fiber plate 11 is increased by the glassy solvent used in this step. On the other hand, the light transmitted within the fiber plate 11 will be explained with reference to a functional diagram of the fiber plate 11 consisting of a core material 31, a covering material 32, and an absorber 33 as shown in FIG. Here, the glass refractive index n 1 of the core material 31 is 1.8, and the glass refractive index n 2 of the coating material 32 is
Set it to 1.5. Further, when the refractive index n 0 of vacuum is 1 and the angle of incidence of light on the fiber plate is θ 0 , θ 0 is expressed by the following equation. n 0 sinθ 0 =√ 1 22 2From this formula, θ 0 is 90°. For light having an incident angle of 90°, the refraction angle of the core material 31 is 33.7°. In addition, the core material 31
The total reflection angle θ C at the interface between the surface and the covering material 32 is 55.9°. By the way, for light whose θ 1 is 33.7°, the incident angle θ C at the interface between the core material 31 and the covering material 32 is 56.3°, which is larger than the critical angle, so it propagates through the fiber plate 11 while repeating total reflection, and the light is emitted. It is taken out from the surface 34. The aforementioned phosphor particles 21 and fiber plate 1
By increasing the degree of contact with the light incident surface 35 side of the core material 31, as shown in FIG.
The light beam at an angle of 33.7 degrees will be emitted from the light exit surface 34 at an angle of 90 degrees. fiber plate 11
By forming the phosphor layer 10 thereon, light is emitted from the light emitting surface in all directions at an angle of 0 to 90 degrees. Now, when the light emitted from the fiber plate 11 enters the output window glass 12 of the radiation image intensifier tube, the light returns to the output surface 4 from the output window glass inner surface 36 by well-known Fresnel reflection. exist. To explain this as shown in FIG. 4, the light emitted from the phosphor particles 21 is
A part a of the light emitted from the output window glass 12
The light is reflected from both surfaces of the light and returns to the fluorescent surface 4. This light becomes scattered light at a location different from the location where the light is emitted, and is superimposed with light specific to that location, causing a reduction in contrast characteristics. Regarding the course of transmitted light within the fiber plate 11, as shown by path b in FIG. The phosphor layer 10 enters other core materials and is further diffused over a wide range.
To the side or the light emitting surface 3 of the core material 31 and the covering material 32
It is emitted from 4. There is also a light path c that is transmitted through the covering material 32 or the absorber 33, through which light should not originally be allowed to pass. The fact that these lights are emitted from the light emitting surface 34 is also one of the causes of deterioration of contrast characteristics. The above is an outline of the restrictions on the contrast characteristics due to light scattering factors due to refraction and reflection, focusing on the path of light on the fluorescent surface 4 using the fiber plate 11. It is known that the fiber plate 11 has optical defects due to its manufacturing process. This optical defect becomes a surface defect in the radiation image intensifier tube, and becomes a major hindrance in medical diagnosis. In order to prevent this, it has been confirmed that if the fiber plate 11 is sliced thinly to a thickness of 2 mm or less, the frequency of occurrence of the above defects will be reduced and good high-quality images can be obtained, and there are prospects for practical application. Ta. However,
The thin fiber plate 11 has the disadvantage that its contrast characteristics are lower than that of a thick fiber plate. The present invention was made in order to provide a fluorescent screen for a radiation image intensifier tube that has both high contrast characteristics and high quality performance. [Object of the Invention] An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a fluorescent screen having a structure completely different from that of conventional fluorescent screens using a fiber plate as a substrate, and to improve the contrast characteristics and screen quality of the fluorescent screen to those of conventional fluorescent screens. This is a significant improvement over the previous model. [Summary of the Invention] The present invention provides a fluorescent screen in which a fluorescent surface is formed on the surface of a fiber plate and a metal back layer is formed on the surface of the fiber plate. A fluorescent screen comprising the steps of removing a part of the core material of the fiber plate component over a wider area, and forming a light absorption layer on this side excluding at least the upper surface of the core material. It is in the manufacturing method. [Embodiments of the Invention] The fluorescent screen according to the present invention uses a fiber plate with a core diameter of 20 μm or less as a supporting substrate,
A granular, plate-like or layered phosphor layer is provided on one surface, and a metal back layer is formed.
The thickness of the fiber plate is 3 mm or less. Embodiments of the invention will be described below with reference to FIGS. 5 and 8. The fluorescent screen is constructed as shown in FIG. 5, and the same parts as in the conventional example are given the same reference numerals. The fiber plate 11 is sliced into a desired thickness, preferably in the range of 0.5 to 2 mm, and both sides are optically polished. One surface thereof is a light entrance surface 35 and the other surface is a light exit surface 34.
Further, the cross-sectional shape is usually a structure consisting of a core material 31, a covering material 32, and an absorber 33 of the main light transmission section. There are several methods for forming the phosphor layer 10 on the light incident surface 35 of the fiber plate 11, but when using the sedimentation method, the fiber plate 11 is placed inside the container.
A suspension in which the phosphor particles 21 are dispersed is poured into this container and left to stand still. The thickness of the phosphor layer of the phosphor particles 21 that has settled by gravity can be determined depending on the amount of dispersion of the phosphor particles 21, and is usually 5 to 10 μm.
are used. Since the suspension contains a glassy solvent (water glass solution), the phosphor layer 10 will not be detached even if the fiber plate is pulled up from the container. A thin film of NC lacquer film is applied under tension on the phosphor layer 10 to make the surface of the phosphor layer 10 continuous. Then, a metal back layer 41 of about 5000 Å made of a light metal that easily transmits electron beams is formed on this by vacuum deposition. The steps described above are commonly used in the production of fluorescent screens. In order to remove a part of the core material 31 of the fiber plate 11 on the light exit surface 34 side, metal ion components of the glass material components are removed in order to make the core material 31, the coating material 32, and the absorber 33 have different refractive indexes. Selective etching is performed by taking advantage of the difference in the etching rates of both acids. Through this process, the core material 31 is etched, and the recess 4
2 is formed. Acid is generally 12%
If nitric acid is used, the shapes of the covering material 32 and the absorbent body 33 will not be eroded, and by controlling the etching time, the desired depth of the recess can be obtained. However, if you want to make the shape of the recessed part spherical by heat etching, you can also use another acid such as 10% hydrochloric acid or a mixed acid of 5% hydrochloric acid and 5% sulfuric acid to perform etching continuously or intermittently. It is possible. As a reference example, FIG. 6 shows the shape of the recessed portion of the core material 31 of the fiber plate 11 formed by etching with 12% nitric acid at room temperature. Since acid is used in this step, in order to prevent damage to the phosphor layer 10 side, as illustrated in FIG.
An etching jig is used that prevents it from turning to the sides. Here, it consists of a container 51 having an opening, an airtight ring 52, and a fastener 53, and is filled with an etching liquid 54 to dissolve and remove the core material 31. The diameter d 1 of the opening of the container 51 is the fiber plate 11
This is also the diameter of the area where the recess 42 is formed, and must satisfy the conditions that it is smaller than the diameter d 2 of the fiber plate 11 used and larger than the diameter d 3 of the effective light image area of the output surface 4. That is, d 3
The relationship d 1 ≦d 2 holds true. It has been confirmed that the etching depth, that is, the depth of the recess 42, is approximately proportional to the etching time when the processing conditions such as the type of acid and temperature are the same, so it can be arbitrarily selected. The depth is preferably 20 μm or less. After cleaning the fiber plate 11 so that no etching solution 54 remains on the light exit surface 34, the fluorescent screen is dried and taken out from the container 51. The above is the basic process of removing a part of the core material 31 of the fiber plate 11 to form the recess 42. This has the economical advantage that the recesses 42 can be formed using only the phosphor layer 10 that does not have surface defects that tend to occur during the process of forming the phosphor layer 10. The next step is the light absorption layer 43 shown in FIG.
is formed on the wall surface 45 of the recess 42 excluding the core upper surface 44 and on the surfaces 46 of the covering material 32 and the absorbent body 33. As a material for the light absorption layer 43, carbon, which itself is black, can easily be used, but considering the weak adhesion of the carbon film and the negative effects within the radiation image intensifier tube, a more suitable material is carbon, which is made of a thin film of metallic material. A light absorption layer 43 is formed as a lever. First, a fluorescent screen having recesses 42 is placed in a vacuum evaporator 61, and an evaporation source 62 is loaded with aluminum pellets 63. At this time, the positional relationship between the two is as shown in FIG.
Tilt (α°) to The inclination angle (α) is the recess 42
The light absorbing layer 43 can be formed around almost the entire circumference of the recessed wall surface 45 by rotating (rotating) the fluorescent screen while maintaining this inclination angle. . In vacuum deposition, aluminum is deposited at a solid angle, so
If the light absorbing layer 43 is formed by rotating and revolving, as in the case of the fluorescent screen shown in FIG. 2B, a large number of fluorescent screens can be efficiently formed. Of course, it is also possible to form the light absorption layer 43 without rotating or revolving. If it does not rotate at all, the wall surface 45 of the recess 42 of the fiber plate 11
Although a partial light absorption layer 43 is formed in this case, it is clear that there is an effect of improving contrast characteristics even in this case. In forming the light absorption layer 43 by such a vapor deposition method, not only the recess 42 but also the surface 46 of the coating material 32 and the absorber 33 face the evaporation source, so a sufficient concentration of light absorption can be obtained here as well. Needless to say, layer 43 is formed. In addition to aluminum, Ni and Cr can be used as vapor deposition materials.
A blackish-brown or brownish-brown light absorbing layer 43 having properties comparable to those of other colors is possible. In this step, it is almost unnecessary to form the light absorption layer 43 on the phosphor layer 10 side, so it is preferable to use a shielding member that does not adhere to this side. This vapor deposition process is performed under the following conditions. First, the inside of the device 61 is arranged as described above and
Pressures below 10 -4 Torr should be evacuated. The thickness of the thin film that will become the light absorption layer 43 is measured using a monitor (not shown) and is deposited in the range of 100 to 2000 Å on the surface to which it is deposited.
Experiments have revealed that a thickness of 100 to 500 Å is suitable considering the shape. The adhesion strength of the light absorption layer 43 is sufficient even when deposited at almost room temperature, but to further improve it, a fluorescent screen (adhesion surface) of 100%
Heating to ~300°C is effective. In forming the light absorption layer 43, the contrast and brightness of the fluorescent screen can be selected by appropriately combining some of these vacuum deposition conditions. Formation of the light absorption layer 43 by such a vacuum evaporation method has many advantages in that it can prevent dirt and dust from adhering to minute surfaces in a clean environment, can be formed uniformly, and can be efficiently produced in large quantities. Further, when this fluorescent screen is disposed inside a radiation image intensifier tube, the light absorption layer 43 does not fall off, so it does not become dust inside the tube, which is more advantageous than other materials. Now, the phosphor layer 10 of the fiber plate 11
A part of the core material 31 on the opposite side of the recess 4 is removed.
2 and a light absorbing layer 43 is formed on the wall surface 45 excluding at least the upper surface portion 44 of the core material, the covering material 32, and the surface 46 of the absorber 33. The fluorescent screen has the following effects. As shown in FIG.
1 and is emitted from the light emitting surface 34, the emitting position of the light is almost limited to the core upper surface 44 (path a), impairing the function of the fiber plate 11 (path b), or not contributing to the function. The light (path c) is stopped by the light absorption layer 43 and is not emitted to the outside and is not reflected inside. Therefore, when the light inside the fiber plate 11 focuses on one core material 31, it becomes a single pixel, and the pixel component has excellent contrast characteristics with extremely little influence of superimposition due to scattering of light inside the fiber plate 11. Become. Furthermore, due to the formation of the concave portion 42, the light that has been transmitted through the core material 31, which is the main light transmission portion, by total reflection is emitted from the core material upper surface portion 44, so that the light emission angle distribution as a light emitting surface is narrower than in the case of a normal flat fiber plate, and when the light propagates from its exit surface to the output window glass, it is also narrower and the angle of incidence at that time becomes smaller, so the rate of Fresnel reflection is extremely reduced. do. Since the return of light due to this Fresnel reflection is one of the causes of the deterioration of contrast characteristics, it can be seen that the narrowing of the light emission angle distribution due to the formation of the recesses 42 very effectively contributes to the improvement of contrast characteristics. Furthermore, the return light due to Fresnel reflection generated at the boundary surface of the output window glass due to the formation of the light absorption layer 43 is directed into the fiber plate 11, but when it enters the portion where the light absorption layer 43 is formed, it is caused by this. It also has the effect of preventing the light from being absorbed and entering the fiber plate 11 again, causing light scattering. By forming the concave portions 42 and the light absorption layer 43, it is possible to solve the problem of contrast reduction due to the thinning of the fiber plate 11, which has been a problem in the past, so that thin fiber plates of 2 mm or less can be put to practical use and have high quality. Images can also be provided at the same time. Therefore, the subject can be clearly identified with the high-definition images that are particularly required for medical diagnosis, and the high-definition images can be provided with fluorescent screens and radiation image intensifiers that do not interfere with the diagnosis. . Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 7 to 10. As shown in FIG. 7, the fiber plate 1 of the fluorescent screen
1, before forming the phosphor layer 10 on the fiber plate 11, a part of the core material 31 on the surface that will become the light emitting surface 34 is dissolved and removed with acid to form the recess 42. can be formed. After this step, by forming the phosphor layer 10 and the metal back layer 41 on the light incident surface 35 in the manner described above, a phosphor screen having a similar structure can be obtained. A feature of this method is that corrosion of the phosphor layer 10 due to acid can be prevented, but special care must be taken to prevent dirt and dust from forming the minute portions of the recesses 42 throughout the process of forming the phosphor screen. Forming a recess on one side of the fiber plate 11, that is, the light exit surface 34 side, and not forming a recess on the light incidence surface 35 side, that is, the phosphor layer 10 side, means that the phosphor layer 10 is formed on the flat surface of the fiber plate 11. Since the formation of the phosphor layer 10 is generally performed in a solution, this flat surface can be used to prevent liquid from remaining in the recesses and to form a phosphor layer with a uniform thickness. This often results in improved process efficiency. In FIG. 7, the opening of the etching jig is filled with the etching liquid 54, but on the contrary, the etching liquid 54 is
The recesses 42 can be formed as described above by immersing the fiber plate 11 or the phosphor screen on which the phosphor layer 10 is formed into a container filled with . Needless to say, stirring and heating the solution are effective in shortening the etching time. The recesses 42 are formed in a wider range than the effective output image diameter of the fluorescent screen, but the amount of light emitted from each core material 31 varies depending on the depth of the recesses 42, so it depends on the type of radiation image intensifier tube. Eventually, this can be used to create recesses 4 in the center and periphery of the fluorescent screen.
2 can be varied to help improve the brightness uniformity of the output light image. The light absorption layer 43 is preferably formed with a uniform concentration on the surface on which it is formed, but the core material 3 of the fiber plate 11
The diameter of the recess 42 is usually 5 to 20 μm, and when the depth of the recess 42 is 15 μm or more, the light absorption layer 43 is coated on all of the wall surfaces 45 of the recess 42, as shown in FIG. It may not be formed. In addition, the light absorption layer 43 on the wall surface 45 of all the recesses 42
However, it is likely that the adhesion area will not be uniform. In such a case, the process is improved by adjusting the inclination angle and rotation speed and using a plurality of evaporation sources to avoid these problems as much as possible. When the light absorption layer 43 is formed as shown in FIG. 9, it can be seen from the path of light that it has the same effect as in FIG. 6, and it has been confirmed that the effect on improving contrast characteristics is almost the same. Ta. As the simplest method, it is possible to form the light absorption layer 43 by vapor deposition from one direction, so as shown in FIG. 46 has a light absorption layer 4
It can be seen that 3 can be provided. If this method is carried out intermittently or continuously, the light absorption layer 43 as shown in FIG. 5 or 9 will be obtained. As a method for forming the light absorption layer 43 by vacuum deposition on the upper surface 46 of the covering material 32 and the absorber 33, as shown in FIG. Place it in At this time, a thin layer of low-temperature decomposable resin is buried to cover the upper surface portion 44 of the core material in the recess 42 . Next, by vapor depositing metal as described above, a light absorption layer 43 having a sufficient concentration can be formed on the upper surface portion 46. The resin embedded in the recesses 42 can be completely removed by heating the fluorescent screen or fiber plate in a heat treatment furnace, preferably a vacuum heat treatment furnace in which oxidation is not promoted. Note that the larger the angle between the evaporation source 62 and each recess 42 of the fluorescent screen or fiber plate is, the more the light absorption layer 43 is formed on the wall surface 45. If vacuum evaporation is performed with almost parallel movement (at a certain angle of inclination), the light absorption layer 4 will be formed on the upper surface 46 and the wall surface 45 at the same time.
3 is formed, and this method has the advantage that there is no need to provide the vacuum chamber 61 with a complicated mechanism for rotation and revolution. Conversely, if the evaporation source 62 is used frequently, the same result will occur. Here, the light absorption layer 43 is formed on the fiber plate 11 having the concave portions 42, but since the adhesion strength of the metal thin film by vacuum evaporation is high and it does not peel off during the process of forming the phosphor layer 10, the light absorption layer 43 is After forming phosphor layer 43, phosphor layer 10 and metal back layer 41 can be formed to obtain the desired phosphor screen. The specific contrast characteristics of the fluorescent screen of this invention obtained through the above steps were improved by 10%.
This was done by contrast measurement. There are two types of samples: a fluorescent screen and a radiation image intensifier tube equipped with the fluorescent screen. To define the contrast, a shield plate corresponding to 10% of the light emitting area was placed at the center of these samples, and the center line of the light emitting area was scanned with a spotmeter. The maximum brightness obtained at this time is a, and the lowest brightness at approximately the center of the shield plate is b.
As, the contrast is (a-b)/a×100
Expressed in (%). Therefore, the larger the obtained value, the better the contrast. First, the measurement results of the fluorescent screen are shown in the table below.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上のように本発明によればフアイバープレー
ト内部の光の散乱による重畳の影響をきわめて少
なくしコントラストを著しく向上せしめる効果を
有する。
As described above, the present invention has the effect of extremely reducing the influence of superimposition due to scattering of light inside the fiber plate and significantly improving contrast.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に適用される一例の放射線像増
強管を示す概略断面図、第2図は第1図の出力部
を拡大して示す断面図、第3図は従来のフアイバ
ープレートの光伝達を示す説明図、第4図は従来
のイメージ管出力部のフレネル反射を示す説明
図、第5図はこの発明の一実施例を示す概略断面
図、第6図はこの発明の一実施例に適用されるフ
アイバープレートの芯材凹部を形成した形状を示
す斜視図、第7図は第6図のフアイバープレート
の芯材凹部を形成する治具を示す概略図、第8図
はこの発明の一実施例の螢光スクリーン形成に用
いられる真空槽内を示す概略図、第9図ないし第
11図はこの発明の他の実施例を示す概略断面図
である。 1……真空外囲器、2……入力面、3……陽
極、4……出力面、5……集束電極、6……Al
基板、7……入力螢光体層、8……光電面、9…
…出力基板、10……出力螢光体層、11……フ
アイバープレート、12……出力窓ガラス、21
……螢光体粒子、31……芯材、32……被覆
材、33……吸収体、34……光出射面、35…
…光入射面、36……出力窓ガラス内面、41…
…メタルバツク層、42……凹部、43……光吸
収層、44……芯材上面部、45……壁面、46
……面上、51……容器、52……リング、53
……締具、54……エツチング液、61……真空
槽、62……蒸発源、63……ペレツト。
Fig. 1 is a schematic sectional view showing an example of a radiation image intensifier tube applied to the present invention, Fig. 2 is an enlarged sectional view showing the output section of Fig. 1, and Fig. 3 is a conventional fiber plate light beam. FIG. 4 is an explanatory diagram showing Fresnel reflection of a conventional image tube output section. FIG. 5 is a schematic sectional view showing an embodiment of the present invention. FIG. 6 is an embodiment of the present invention. FIG. 7 is a schematic view showing a jig for forming the core recess of the fiber plate of FIG. 6, and FIG. A schematic view showing the inside of a vacuum chamber used for forming a fluorescent screen in one embodiment, and FIGS. 9 to 11 are schematic sectional views showing other embodiments of the present invention. 1... Vacuum envelope, 2... Input surface, 3... Anode, 4... Output surface, 5... Focusing electrode, 6... Al
Substrate, 7... Input phosphor layer, 8... Photocathode, 9...
... Output board, 10 ... Output phosphor layer, 11 ... Fiber plate, 12 ... Output window glass, 21
... Fluorescent particle, 31 ... Core material, 32 ... Covering material, 33 ... Absorber, 34 ... Light exit surface, 35 ...
...Light incidence surface, 36...Output window glass inner surface, 41...
... Metal back layer, 42 ... Recessed part, 43 ... Light absorption layer, 44 ... Core material upper surface part, 45 ... Wall surface, 46
...On the surface, 51...Container, 52...Ring, 53
... Fastener, 54 ... Etching liquid, 61 ... Vacuum chamber, 62 ... Evaporation source, 63 ... Pellet.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 フアイバープレートの面上に螢光面を形成
し、この上にメタルバツク層を形成した螢光スク
リーンの製造方法において、その螢光スクリーン
の光出射面側の少なくとも光像有効面積より広い
範囲のフアイバープレート構成部材の芯材の一部
を除去する工程と、この面側に少なくとも芯材上
面部を除いて光吸収層を形成する工程を具備する
ことを特徴とする螢光スクリーンの製造方法。 2 フアイバープレートの光入射面上に螢光体層
及びメタルバツク層を形成し、この反対面上の光
像有効面積を含みかつフアイバープレート面以内
に位置するフアイバープレートの芯材を芯材溶解
液によつて除去することを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載の螢光スクリーンの製造方法。 3 芯材溶解液は1種又は混合された酸を使用す
ることを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の
螢光スクリーンの製造方法。 4 光吸収層はAl、Ni、Cr等の金属材料の1つ
又は複数を用い、真空蒸着法により形成すること
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の螢光ス
クリーンの製造方法。 5 光出射面側の芯材部が凹みを有するフアイバ
ープレートの螢光スクリーンを真空蒸着装置内に
配置して、蒸発源に対する螢光スクリーンの傾き
は、蒸発源を中心とした放射線上の位置から垂直
な面となる角度を含まない範囲にて傾斜蒸着を
し、少なくとも芯材の凹部上面部を除いて光吸収
層を形成することを特徴とする特許請求の範囲第
1項記載の螢光スクリーンの製造方法。 6 光吸収層が螢光スクリーンの螢光体層側の面
上に被着しないようシールド部材を用いたことを
特徴とする特許請求の範囲第5項記載の螢光スク
リーンの製造方法。 7 光吸収層の形成の際に、螢光スクリーンは蒸
発源に対して傾斜配置し、螢光スクリーンを自転
又は公転もしくは両方の回転をさせながら光吸収
層を形成することを特徴とする特許請求の範囲第
5項記載の螢光スクリーンの製造方法。
[Scope of Claims] 1. A method for manufacturing a fluorescent screen in which a fluorescent surface is formed on the surface of a fiber plate and a metal back layer is formed on the surface of the fiber plate, wherein at least an effective light image on the light exit surface side of the fluorescent screen is provided. Fluorescence characterized by comprising a step of removing a part of the core material of a fiber plate constituent member in an area wider than the area, and a step of forming a light absorption layer on this side excluding at least the upper surface of the core material. Screen manufacturing method. 2. Form a phosphor layer and a metal back layer on the light incident surface of the fiber plate, and add the core material of the fiber plate that includes the effective light image area on the opposite surface and is located within the surface of the fiber plate to a core material solution solution. A method for manufacturing a fluorescent screen according to claim 1, characterized in that the fluorescent screen is removed by twisting the screen. 3. The method for manufacturing a fluorescent screen according to claim 2, wherein the core material dissolving solution uses one type or a mixture of acids. 4. The method for manufacturing a fluorescent screen according to claim 1, wherein the light absorption layer is formed using one or more of metal materials such as Al, Ni, and Cr by a vacuum deposition method. 5. A fiber plate fluorescent screen with a concave core on the light exit surface side is placed in a vacuum evaporation apparatus, and the inclination of the fluorescent screen with respect to the evaporation source is adjusted from the radiation position centered on the evaporation source. The fluorescent screen according to claim 1, characterized in that the light absorbing layer is formed by performing oblique vapor deposition in a range that does not include an angle that is a vertical plane, and forming a light absorption layer on at least the upper surface of the recessed portion of the core material. manufacturing method. 6. A method for manufacturing a fluorescent screen according to claim 5, characterized in that a shielding member is used to prevent the light absorption layer from adhering to the surface of the fluorescent screen on the fluorescent layer side. 7. A patent claim characterized in that when forming the light absorption layer, the fluorescent screen is arranged at an angle with respect to the evaporation source, and the light absorption layer is formed while the fluorescent screen is rotated or rotated or both. A method for manufacturing a fluorescent screen according to item 5.
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