JPH05308016A - Ferrite paste and manufacture thereof - Google Patents
Ferrite paste and manufacture thereofInfo
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- JPH05308016A JPH05308016A JP4736492A JP4736492A JPH05308016A JP H05308016 A JPH05308016 A JP H05308016A JP 4736492 A JP4736492 A JP 4736492A JP 4736492 A JP4736492 A JP 4736492A JP H05308016 A JPH05308016 A JP H05308016A
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- H01F41/14—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
- H01F41/16—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates the magnetic material being applied in the form of particles, e.g. by serigraphy, to form thick magnetic films or precursors therefor
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、スクリーン印刷等によ
るフェライト膜の作製において用いられるフェライトペ
ーストとその製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ferrite paste used for producing a ferrite film by screen printing and a method for producing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、ＩＣ化・ＬＳＩ化の進展に伴っ
て、コンデンサーをはじめとする各種素子のチップ化、
超小形化、薄形化が進んできた。磁性材料が利用される
インダクタやトランスにおいても、小形化やチップ化が
進む一方、薄形化の開発が進められている。薄形化され
たインダクタやトランスの磁性層としてフェライト膜が
利用できる。フェライト膜の作製は、フェライトペース
トをスクリーン印刷等により基板に印刷された後、乾燥
・焼成して作製される。スクリーン印刷に用いられるフ
ェライトペーストは、酸化物を混合し、仮焼・粉砕を繰
り返して調製したフェライト粉末をバインダーや溶剤と
混ぜ合わせることにより作製される。2. Description of the Related Art In recent years, with the progress of IC and LSI, various elements such as capacitors have been made into chips,
Miniaturization and thinning have advanced. With regard to inductors and transformers that use magnetic materials, miniaturization and chip development are progressing, while thinning is being developed. A ferrite film can be used as a magnetic layer of thinned inductors and transformers. The ferrite film is produced by printing a ferrite paste on a substrate by screen printing or the like, and then drying and firing. The ferrite paste used for screen printing is prepared by mixing oxides and mixing ferrite powder prepared by repeating calcination and pulverization with a binder and a solvent.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】従来のフェライトペー
ストは、仮焼・粉砕を繰り返して作製されるため、必然
的に１μｍ程度の大きな粒径のフェライト粉末であっ
た。そのために、９０％以上の密度を得るには１０００
℃以上の焼成温度が必要となり、例えば、９６０℃の融
点をもつ銀の配線を施した基板にはフェライト膜が作製
できなかった。硝酸塩から調製したフェライトゾルを濃
縮して作製した微細なフェライト粒子から成るフェライ
トペーストでは、低い温度で焼成しても緻密なフェライ
ト膜が作製できるが、印刷後の乾燥時にクラックが生じ
易くなる。特に、膜が厚くなればなるほど、その傾向が
著しくなり、歩留が悪い。Since the conventional ferrite paste is produced by repeating calcination and pulverization, it is inevitably a ferrite powder having a large particle size of about 1 μm. Therefore, to obtain a density of 90% or more, 1000
A firing temperature of ℃ or more was required, and for example, a ferrite film could not be formed on a substrate provided with silver wiring having a melting point of 960 ° C. With a ferrite paste composed of fine ferrite particles produced by concentrating a ferrite sol prepared from nitrate, a dense ferrite film can be produced even if fired at a low temperature, but cracks are likely to occur during drying after printing. In particular, the thicker the film, the more prominent this tendency is and the poorer the yield.
【０００４】本発明は、上記課題を解決するために創案
したものであり、９００℃以下の温度で９０％以上の密
度に焼成でき、しかも印刷後の乾燥時にクラックが生じ
難いフェライトペースト及びその製造方法を提供するこ
とを目的とする。The present invention was devised to solve the above-mentioned problems, and a ferrite paste that can be fired at a temperature of 900 ° C. or less to a density of 90% or more and that cracks hardly occur during drying after printing, and its production. The purpose is to provide a method.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明のフェライトペーストでは、１〜３０μｍの
平均粒径のフェライト粒子（Ａ）と５〜５０nmの平均粒
径のフェライト粒子（Ｂ）の混合粒子を含有し、その重
量比がＡ：Ｂ＝９５：５〜２０：８０の範囲にする。In order to achieve the above object, in the ferrite paste of the present invention, the ferrite particles (A) having an average particle size of 1 to 30 μm and the ferrite particles (B) having an average particle size of 5 to 50 nm are used. ), And the weight ratio thereof is in the range of A: B = 95: 5 to 20:80.
【０００６】本発明において、フェライトとは酸化鉄及
び鉄イオンと鉄以外の金属イオンとで構成される酸化物
である。後者の例としては、ＭＯ・ｘＦｅ2 Ｏ3 （Ｍに
はＢａ，Ｓｒ，Ｐｂが１種類あるいは２種類以上が含ま
れる。），ＭＦｅ2 Ｏ4 （ＭにはＭｎ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃ
ｕ，Ｍｇ，Ｚｕ，Ｌｉが１種類あるいは２種類以上が含
まれる。），Ｒ3 Ｆｅ5 Ｏ12（ＲにはＹ，Ｇｄ等の希土
類元素が１種類あるいは２種類以上が含まれる。Ｆｅ3+
の一部がＡｌ3+で置換されてもよい。）等が挙げられ
る。本発明のペーストとは、液体と固体粒子の混合物で
あり、液体中の粒子が沈降・分離しないものである。ま
た、ペースト化とは、前記ペーストの状態にすることで
ある。In the present invention, ferrite is an oxide composed of iron oxide and iron ions and metal ions other than iron. Examples of the latter include MO.xFe 2 O 3 (M includes one kind or two or more kinds of Ba, Sr, and Pb) and MFe 2 O 4 (M includes Mn, Co, Ni, and C).
u, Mg, Zu, and Li are included in one kind or two or more kinds. ), R 3 Fe 5 O 12 (R contains one or more rare earth elements such as Y and Gd. Fe 3+
May be partially replaced with Al 3+ . ) And the like. The paste of the present invention is a mixture of liquid and solid particles, in which particles in the liquid do not settle and separate. In addition, “pasting” means making the paste state.
【０００７】フェライト粒子（Ａ）については、平均粒
径１〜３０μｍの範囲が好ましい。３０μｍを超えると
９００℃以下では９０％以上の密度に焼成することが難
しくなる。一方、１μｍより小さい平均粒径のフェライ
トはフェライト粒子（Ｂ）の粒径に近くなるため、微細
粒子のみから成るフェライトペーストと同じようにな
る。このようなフェライトペーストでは、印刷後の乾燥
時にクラックが生じ易い。The ferrite particles (A) preferably have an average particle size of 1 to 30 μm. If it exceeds 30 μm, it becomes difficult to fire it at a density of 90% or more at 900 ° C. or less. On the other hand, since ferrite having an average particle size smaller than 1 μm is close to the particle size of the ferrite particles (B), it is the same as the ferrite paste composed of only fine particles. With such a ferrite paste, cracks are likely to occur during drying after printing.
【０００８】フェライト粒子（Ｂ）については、平均粒
径５〜５０nmの範囲が好ましい。５０nmを超えると９０
０℃以下では９０％以上の密度に焼成することが難しく
なり、一方、５nmより小さい平均粒径のフェライトで
は、凝集し易くなるため、均一に分散したペーストを作
製するのが著しく困難となる。The ferrite particles (B) preferably have an average particle size of 5 to 50 nm. 90 when 50 nm is exceeded
At 0 ° C. or lower, it is difficult to fire to a density of 90% or higher, and on the other hand, ferrite having an average particle size of less than 5 nm is likely to agglomerate, which makes it extremely difficult to prepare a uniformly dispersed paste.
【０００９】フェライト粒子（Ａ）と（Ｂ）の混合比に
ついては、重量比でＡ：Ｂ＝９５：５〜２０：８０の範
囲が好ましい。Ａ：Ｂ＝９５：５よりフェライト粒子
（Ａ）の割合が大きくなると、９００℃以下では９０％
以上の密度に焼成することが難しい。Ａ：Ｂ＝２０：８
０よりフェライト粒子（Ｂ）の割合が大きくなると印刷
後の乾燥時にクラックが入り易くなる。The mixing ratio of the ferrite particles (A) and (B) is preferably A: B = 95: 5 to 20:80 by weight. When the ratio of ferrite particles (A) is larger than A: B = 95: 5, 90% at 900 ° C. or lower
It is difficult to burn to the above density. A: B = 20: 8
If the proportion of the ferrite particles (B) is larger than 0, cracks are likely to occur during drying after printing.
【００１０】そして、本発明のフェライトペーストは、
構成金属の硝酸塩を溶解させた０．１〜４．０Ｍのアル
コール溶液を加熱還流して調製したフェライトゾルに、
構成金属の酸化物もしくは炭酸塩を混合・仮焼・粉砕を
繰り返して調製したフェライト粉末を加えて混合する。
前記フェライト粉末とフェライトゾルの混合物をフェラ
イト含有量４０〜９０wt％の範囲に濃縮して製造でき
る。The ferrite paste of the present invention is
To a ferrite sol prepared by heating and refluxing a 0.1-4.0 M alcohol solution in which nitrates of constituent metals are dissolved,
Ferrite powder prepared by repeating mixing, calcination and crushing of oxides or carbonates of constituent metals is added and mixed.
A mixture of the ferrite powder and the ferrite sol may be concentrated to a ferrite content in the range of 40 to 90 wt%.
【００１１】本発明のフェライトペーストの製造方法に
おいて、使用するアルコールは特に限定しないが、たと
えば、メタノール、エタノール、ブタノール、プロパノ
ール、メトキシエタノール、エトキシエタノール、エチ
レングリコール、シクロヘキサノール等が挙げられる。
また、１種類あるいは２種類以上の混合したアルコール
を使用してもよく、製造過程で、アルコールに有機結合
剤、可塑剤、有機溶媒等を添加してもよい。In the method for producing the ferrite paste of the present invention, the alcohol used is not particularly limited, but examples thereof include methanol, ethanol, butanol, propanol, methoxyethanol, ethoxyethanol, ethylene glycol and cyclohexanol.
Further, one kind or a mixture of two or more kinds of alcohols may be used, and an organic binder, a plasticizer, an organic solvent or the like may be added to the alcohol during the production process.
【００１２】ここで、硝酸塩の濃度としては、０．１〜
４．０Ｍが好ましい。４．０Ｍを超えるような濃度につ
いては、完全に硝酸塩を溶解できなかったり、硝酸塩を
溶解するために長時間を要したりする。一方、０．１Ｍ
より低い濃度については、濃縮するために留去しなけれ
ばならないアルコール量が極めて多くなり、濃縮するた
めに非常に時間がかかり現実的ではない。濃縮の方法と
しては、常圧蒸留、減圧蒸留等がある。Here, the concentration of nitrate is 0.1-0.1%.
4.0M is preferred. If the concentration exceeds 4.0 M, it may not be possible to completely dissolve the nitrate, or it may take a long time to dissolve the nitrate. On the other hand, 0.1M
For lower concentrations, the amount of alcohol that has to be distilled off in order to concentrate is very large, which is very time consuming and impractical to concentrate. Examples of the concentration method include atmospheric distillation and vacuum distillation.
【００１３】フェライトペーストに含まれるフェライト
の含有量としては、４０〜９０wt％の範囲が好ましい。
９０wt％を超えると、ペーストの粘度が高くなり、スク
リーン印刷が不可能になる。一方、４０wt％より小さい
と、乾燥・焼成するときに多量の有機物が蒸発や分解し
てフェライトの緻密化を妨げる。The content of ferrite contained in the ferrite paste is preferably in the range of 40 to 90 wt%.
When it exceeds 90 wt%, the viscosity of the paste becomes high and screen printing becomes impossible. On the other hand, if it is less than 40 wt%, a large amount of organic substances are evaporated or decomposed during drying and firing, which hinders the densification of ferrite.
【００１４】[0014]
【作用】前記のフェライトペーストを使用すれば、フェ
ライト膜を９００℃以下の低い焼成温度で製造できるた
め、銀等の導体を配線した基板にフェライト膜を作製す
ることが可能になる。さらに、フェライトを印刷して乾
燥する際に、クラックがほとんど生じない。前記のフェ
ライトペーストの製造方法によれば、９００℃以下の低
い温度で焼成できしかも印刷後の乾燥時にクラックが発
生し難い、平均粒径の異なる２種類の混合フェライト粒
子から成るフェライトペーストが簡単に製造できる。When the above-mentioned ferrite paste is used, the ferrite film can be manufactured at a low firing temperature of 900 ° C. or lower, so that the ferrite film can be formed on the substrate on which the conductor such as silver is wired. Furthermore, when ferrite is printed and dried, cracks hardly occur. According to the above-mentioned method for producing a ferrite paste, a ferrite paste composed of two kinds of mixed ferrite particles having different average particle diameters can be easily fired at a low temperature of 900 ° C. or less and cracks hardly occur during drying after printing. Can be manufactured.
【００１５】[0015]
【実施例】本発明におけるフェライトペーストの製造方
法と、それによって得られたフェライトペーストについ
て以下の実施例によって具体的に説明する。ただし、本
発明は、これらの実施例のみに限定されるものではな
い。EXAMPLES The method for producing a ferrite paste according to the present invention and the ferrite paste obtained thereby will be specifically described with reference to the following examples. However, the present invention is not limited to these examples.
【００１６】（実施例１） （Ａ）酸化ニッケル、酸化銅、酸化亜鉛、酸化鉄をＮ
ｉ：Ｃｕ：Ｚｎ：Ｆｅ＝０．０３３：０．０８３：０．
２１７：０．６６７のモル比で混合し、１１００〜１３
００℃、５時間仮焼して粉砕する。これを３回繰り返
し、表１のような平均粒径のフェライト粉末を調製す
る。 （Ｂ）硝酸ニッケル、硝酸銅、硝酸亜鉛、硝酸鉄を
（Ａ）と同様のモル比でエタノールに溶解し、金属濃度
を０．１〜４．０Ｍにする。この硝酸塩溶液を５時間加
熱還流し、表１のような平均粒径のフェライト粒子から
成るフェライトゾルを調製する。(Example 1) (A) Nickel oxide, copper oxide, zinc oxide, iron oxide N
i: Cu: Zn: Fe = 0.033: 0.083: 0.
217: 0.667 molar ratio, 1100-13
It is calcined at 00 ° C. for 5 hours and crushed. This is repeated 3 times to prepare a ferrite powder having an average particle size as shown in Table 1. (B) Nickel nitrate, copper nitrate, zinc nitrate, and iron nitrate are dissolved in ethanol at the same molar ratio as in (A), and the metal concentration is adjusted to 0.1 to 4.0M. This nitrate solution is heated under reflux for 5 hours to prepare a ferrite sol composed of ferrite particles having an average particle size as shown in Table 1.
【００１７】表１のようなフェライトの重量比で、
（Ｂ）のゾル溶液に（Ａ）の粉末を加える。この後、加
熱し、フェライト含有量が６０wt％になるまで溶媒を蒸
発させて、フェライトペーストが得られる。このフェラ
イトペーストを銀の導体を印刷したセラミックス基板に
スクリーン印刷して、１５０℃で１５分乾燥し、表１の
温度で１時間焼成する。表１のように、（Ａ）：（Ｂ）
＝９５：５〜２０：８０では、密度９０％以上のＮｉ−
Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト膜が得られた。前記比率より
（Ａ）の割合が多くなると緻密な膜が得られない。ま
た、前記比率より（Ｂ）の割合が多くなると乾燥時にク
ラックが生じる。In the weight ratio of ferrite as shown in Table 1,
The powder of (A) is added to the sol solution of (B). After that, the ferrite paste is obtained by heating and evaporating the solvent until the ferrite content reaches 60 wt%. This ferrite paste is screen-printed on a ceramic substrate on which a silver conductor is printed, dried at 150 ° C. for 15 minutes, and fired at the temperature shown in Table 1 for 1 hour. As shown in Table 1, (A): (B)
= 95: 5 to 20:80, Ni-having a density of 90% or more
A Cu-Zn ferrite film was obtained. If the ratio of (A) is higher than the above ratio, a dense film cannot be obtained. Further, if the ratio of (B) is larger than the above ratio, cracking occurs during drying.
【００１８】[0018]
【表１】 [Table 1]
【００１９】（実施例２） （Ａ）酸化マンガン、酸化亜鉛、酸化鉄をＭｎ：Ｚｎ：
Ｆｅ＝０．２０７：０．１７２：０．６２１のモル比で
混合し、１２００〜１５００℃、５時間仮焼して粉砕す
る。これを３回繰り返し、表２のような平均粒径のフェ
ライト粉末を焼成する。 （Ｂ）硝酸マンガン、硝酸亜鉛、硝酸鉄を（Ａ）と同様
のモル比でエタノールに溶解し、金属濃度を０．１〜
４．０Ｍにする。この硝酸塩溶液を５時間加熱還流し、
表２のような平均粒径のフェライト粒子から成るフェラ
イトゾルを調製する。Example 2 (A) Manganese oxide, zinc oxide, and iron oxide were added to Mn: Zn:
Fe = 0.207: 0.172: 0.621 are mixed in a molar ratio, and the mixture is calcined at 1200 to 1500 ° C for 5 hours and pulverized. This is repeated 3 times, and the ferrite powder having the average particle diameter shown in Table 2 is fired. (B) Manganese nitrate, zinc nitrate, and iron nitrate are dissolved in ethanol at the same molar ratio as in (A), and the metal concentration is 0.1 to 0.1%.
Set to 4.0M. Heat and reflux this nitrate solution for 5 hours,
A ferrite sol composed of ferrite particles having an average particle size as shown in Table 2 is prepared.
【００２０】表２のようなフェライトの重量比で、
（Ｂ）のゾル溶液に（Ａ）の粉末を加える。この後、加
熱し、フェライト含有量が５０wt％になるまで溶媒を蒸
発させて、フェライトペーストが得られる。このフェラ
イトペーストをセラミックス基板にスクリーン印刷し
て、１５０℃で１５分乾燥し、表２の温度で１時間焼成
する。表２のように、（Ａ）：（Ｂ）＝９５：５〜２
０：８０では、密度９０％以上のＭｎ−Ｚｎ系フェライ
ト膜が得られた。前記比率より（Ａ）の割合が多くなる
と緻密な膜が得られない。また、前記比率より（Ｂ）の
割合が多くなると乾燥時にクラックが生じる。In the weight ratio of ferrite as shown in Table 2,
The powder of (A) is added to the sol solution of (B). Thereafter, the ferrite paste is obtained by heating and evaporating the solvent until the ferrite content becomes 50 wt%. This ferrite paste is screen-printed on a ceramic substrate, dried at 150 ° C. for 15 minutes, and fired at the temperature shown in Table 2 for 1 hour. As shown in Table 2, (A) :( B) = 95: 5-2
At 0:80, a Mn-Zn based ferrite film having a density of 90% or more was obtained. If the ratio of (A) is higher than the above ratio, a dense film cannot be obtained. Further, if the ratio of (B) is larger than the above ratio, cracking occurs during drying.
【００２１】[0021]
【表２】 [Table 2]
【００２２】[0022]
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。フ
ェライトペーストにおいて、１〜３０μｍの平均粒径の
フェライト粒子（Ａ）と５〜５０nmの平均粒径のフェラ
イト粒子（Ｂ）の混合粒子を含有し、その重量比がＡ：
Ｂ＝９５：５〜２０：８０の範囲にすることにより、印
刷・乾燥後、９００℃以下の温度で焼成できる。したが
って、従来は銀等の配線を施した基板にフェライト膜を
作製するのは非常に困難であったが、本発明のフェライ
トペーストを用いることにより、銀等の配線を施した基
板にフェライト膜を容易に作製できる。さらに、フェラ
イトを印刷して乾燥する際に、厚い膜でもクラックが生
じなくなるため、従来よりも膜厚の厚いフェライト膜の
作製が可能になる。本発明のフェライトペーストの製造
方法によれば、溶液中で前記２種類の粒子を混合するた
め、均一に混合したフェライト粒子を容易に製造でき
る。そして、フェライト粒子を混合したフェライトゾル
をそのまま濃縮することによりペースト化でき、フェラ
イトペーストの製造プロセスを簡略できる。Since the present invention is constructed as described above, it has the following effects. The ferrite paste contains mixed particles of ferrite particles (A) having an average particle diameter of 1 to 30 μm and ferrite particles (B) having an average particle diameter of 5 to 50 nm, and the weight ratio thereof is A:
When B = 95: 5 to 20:80, it can be baked at a temperature of 900 ° C. or lower after printing and drying. Therefore, conventionally, it was very difficult to form a ferrite film on a substrate provided with wiring such as silver, but by using the ferrite paste of the present invention, a ferrite film is provided on a substrate provided with wiring such as silver. Easy to make. Further, when the ferrite is printed and dried, cracks do not occur even in a thick film, so that it is possible to manufacture a ferrite film having a larger film thickness than in the past. According to the method for producing a ferrite paste of the present invention, since the two types of particles are mixed in a solution, uniformly mixed ferrite particles can be easily produced. Then, the ferrite sol mixed with the ferrite particles can be concentrated as it is to form a paste, and the manufacturing process of the ferrite paste can be simplified.
Claims (2)
子（Ａ）と５〜５０nmの平均粒径のフェライト粒子
（Ｂ）の混合粒子を含有し、その重量比がＡ：Ｂ＝９
５：５〜２０：８０の範囲であることを特徴とするフェ
ライトペースト。1. A mixed particle of ferrite particles (A) having an average particle diameter of 1 to 30 μm and ferrite particles (B) having an average particle diameter of 5 to 50 nm, the weight ratio of which is A: B = 9.
A ferrite paste having a range of 5: 5 to 20:80.
造するに際し、構成金属の硝酸塩を溶解させた０．１〜
４．０Ｍのアルコール溶液を加熱還流して調製したフェ
ライトゾルに、構成金属の酸化物もしくは炭酸塩を混合
して、仮焼・粉砕を繰り返して調製したフェライト粉末
を加えて混合し、前記フェライト粉末とフェライトゾル
の混合物をフェライト含有量４０〜９０wt％の範囲に濃
縮してペースト化することを特徴とするフェライトペー
ストの製造方法。2. The method for producing the ferrite paste according to claim 1, wherein the nitrate of the constituent metal is dissolved in 0.1 to 0.1%.
A ferrite sol prepared by heating and refluxing a 4.0 M alcohol solution is mixed with an oxide or carbonate of a constituent metal, and a ferrite powder prepared by repeating calcination and pulverization is added and mixed. A method for producing a ferrite paste, which comprises concentrating a mixture of a ferrite sol and a ferrite sol in a range of a ferrite content of 40 to 90 wt% to form a paste.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4736492A JPH05308016A (en) | 1992-03-04 | 1992-03-04 | Ferrite paste and manufacture thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4736492A JPH05308016A (en) | 1992-03-04 | 1992-03-04 | Ferrite paste and manufacture thereof |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05308016A true JPH05308016A (en) | 1993-11-19 |
Family
ID=12773059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4736492A Withdrawn JPH05308016A (en) | 1992-03-04 | 1992-03-04 | Ferrite paste and manufacture thereof |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05308016A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007141843A1 (en) * | 2006-06-06 | 2007-12-13 | Nitto Denko Corporation | Spherical sintered ferrite particle, semiconductor sealing resin composition making use of the same and semiconductor device obtained therewith |
| JP2009295985A (en) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Tridelta Weichferrite Gmbh | Soft-magnetic material, and process for producing article composed of the soft-magnetic material |
-
1992
- 1992-03-04 JP JP4736492A patent/JPH05308016A/en not_active Withdrawn
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| WO2007141843A1 (en) * | 2006-06-06 | 2007-12-13 | Nitto Denko Corporation | Spherical sintered ferrite particle, semiconductor sealing resin composition making use of the same and semiconductor device obtained therewith |
| JP2009295985A (en) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Tridelta Weichferrite Gmbh | Soft-magnetic material, and process for producing article composed of the soft-magnetic material |
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Legal Events
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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