JPH05302978A - Distance measuring apparatus - Google Patents
Distance measuring apparatusInfo
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- JPH05302978A JPH05302978A JP4131719A JP13171992A JPH05302978A JP H05302978 A JPH05302978 A JP H05302978A JP 4131719 A JP4131719 A JP 4131719A JP 13171992 A JP13171992 A JP 13171992A JP H05302978 A JPH05302978 A JP H05302978A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、建設、土木、都市工
学、大型鉄鋼及び地震予知に使用するのに好適な、数ｍ
乃至５００ｍ程度の距離を高分解能に測定できる距離測
定装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention is suitable for use in construction, civil engineering, urban engineering, large-scale steel and earthquake prediction.
The present invention relates to a distance measuring device capable of measuring a distance of about 500 m with high resolution.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、高周波で強度または位相変調され
た光を、目標地点に配置された反射器へ向けて出射し、
反射器からの戻り光を復調して出射された光との位相差
を測定することにより目標地点までの距離を測定す距離
測定装置には、図４に示されているように、戻り光を集
光する集光レンズ８の後段に、戻り光の復調手段として
バルク型の電気光学変調器９０を備えるものが存在す
る。2. Description of the Related Art Conventionally, light intensity-modulated or phase-modulated at high frequency is emitted toward a reflector arranged at a target point,
The distance measuring device that measures the distance to the target point by demodulating the return light from the reflector and measuring the phase difference with the emitted light, as shown in FIG. There is a bulky type electro-optic modulator 90 provided as a demodulation means for returning light at a stage subsequent to the condenser lens 8 for condensing light.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、バルク型電気
光学変調器９０は、光の結晶内での光路が一通りではな
い。一般に、電気光学変調器では、結晶内での変調電気
信号の電界分布が一様ではないため、光路が複数存在す
ると、復調された光に位相ゆらぎが発生する。そして、
この位相ゆらぎは、位相差測定の誤差要因となる。However, the bulk type electro-optic modulator 90 does not have a single optical path in the crystal of light. Generally, in the electro-optic modulator, the electric field distribution of the modulated electric signal in the crystal is not uniform, and therefore, if there are a plurality of optical paths, phase fluctuation occurs in the demodulated light. And
This phase fluctuation becomes an error factor in the phase difference measurement.
【０００４】図５に示されているように、戻り光の復調
手段として単一モ−ド光導波路９Ａを有する光導波路型
変調器９を使用すると、変調器９へ入射した戻り光は、
基本横モードのみが伝達されるので、光路は一義的に決
定され、復調された光の位相ゆらぎの問題は解決でき
る。しかし、変調器９の外部での大気のゆらぎに起因し
て、変調器９への戻り光の光量に変動が生じるため、こ
れが検出器では、強度ゆらぎとして検出され、位相差測
定の誤差要因となる。As shown in FIG. 5, when an optical waveguide type modulator 9 having a single mode optical waveguide 9A is used as a return light demodulating means, the return light incident on the modulator 9 is
Since only the fundamental transverse mode is transmitted, the optical path is uniquely determined, and the problem of phase fluctuation of demodulated light can be solved. However, fluctuations in the atmosphere outside the modulator 9 cause fluctuations in the amount of light returned to the modulator 9, which is detected by the detector as intensity fluctuations, which is an error factor in phase difference measurement. Become.
【０００５】光を使用した距離測定では、通常、図６に
示されているように、遠方の測距対象物にコーナキュー
ブ７を配置し、距離測定装置本体１００から出射されコ
ーナキューブ７によって反射されて戻ってくる光を測定
する。この間の光の伝搬中、空気のゆらぎの影響によ
り、図７に示されているように、出射光に対して戻り光
の位置ずれδが生じる。光は、集光レンズ８を介して出
射され、戻り光の同じ集光レンズ８を介して受光される
が、ゆらぎによる位置ずれδのために、戻り光の一部
は、集光レンズから外れ、光量損失を招来する。図７の
例では、戻り光の中心部までが集光レンズ８から外れた
位置にあり、損失となる。光強度がガウス分布を有する
ことを考えると、戻り光の中心部近傍までの損失は、検
出光に大きな強度変化を引き起こす。このような損失量
は、空気のゆらぎの大小により常に変動し、これが原因
で検出誤差が生じる。In the distance measurement using light, as shown in FIG. 6, a corner cube 7 is usually arranged on a distant object to be distanced, emitted from the distance measuring device main body 100, and reflected by the corner cube 7. Measure the light being returned. During the propagation of the light during this time, due to the influence of the fluctuation of the air, as shown in FIG. 7, a positional deviation δ of the return light with respect to the emitted light occurs. The light is emitted through the condenser lens 8 and is received through the same condenser lens 8 of the return light. However, due to the positional deviation δ due to fluctuation, a part of the return light is separated from the condenser lens. However, it causes a light amount loss. In the example of FIG. 7, the central part of the return light is located away from the condenser lens 8 and becomes a loss. Considering that the light intensity has a Gaussian distribution, the loss of the return light near the center causes a large change in the intensity of the detection light. Such a loss amount constantly fluctuates depending on the magnitude of air fluctuations, which causes a detection error.
【０００６】本発明では、このような従来の問題点を解
決すべくなされたもので、戻り光の位置ずれにより発生
する測定誤差を小さくできる距離測定装置を提供するこ
とを目的とする。The present invention has been made to solve such conventional problems, and an object of the present invention is to provide a distance measuring device capable of reducing a measurement error caused by a positional deviation of return light.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明の距離測定装置
は、強度または位相変調された光を、目標地点に配置さ
れた反射器へ向けて出射し、反射器からの戻り光を復調
して出射された光との位相差を測定することにより目標
地点までの距離を測定する距離測定装置であって、戻り
光を復調する手段として単一モ−ド光ファイバ結合型光
導波路変調器（例えば、実施例の電気光学強度変調器
９）を使用し、変調された光が反射器に向けて出射され
るときに変調された光のビーム径を拡大して平行光と
し、反射器からの戻り光のビ−ム径を縮小し平行光とす
るレンズ系（例えば、実施例のビームエキスパンダ６）
を備えることを特徴とする。The distance measuring device of the present invention emits intensity- or phase-modulated light toward a reflector arranged at a target point, and demodulates return light from the reflector. A distance measuring device for measuring a distance to a target point by measuring a phase difference between the emitted light and a single mode optical fiber coupling type optical waveguide modulator (for example, as means for demodulating return light). Using the electro-optic intensity modulator 9) of the embodiment, when the modulated light is emitted toward the reflector, the beam diameter of the modulated light is expanded to be parallel light, and the return from the reflector is performed. A lens system that reduces the beam diameter of light into parallel light (for example, the beam expander 6 of the embodiment)
It is characterized by including.
【０００８】[0008]
【作用】本発明の距離測定装置においては、戻り光を復
調する手段として、単一モ−ド光ファイバ結合型光導波
路変調器を使用するので、戻り光の基本横モードのみが
伝達されるから、戻り光の光路が一義的に決定され、上
述の位相ゆらぎをなくすことができる。In the distance measuring apparatus of the present invention, since the single mode optical fiber coupling type optical waveguide modulator is used as the means for demodulating the returning light, only the fundamental transverse mode of the returning light is transmitted. The optical path of the return light is uniquely determined, and the above phase fluctuation can be eliminated.
【０００９】また、変調された光は、レンズ系によって
ビ−ム径が拡大され平行光とされて出射され、反射器か
らの戻り光は、同一のレンズ系を反対向きに通過し、ビ
−ム系が縮小され平行光とされる。従って、図７の従来
例と同量の位置ずれδが生じても、戻り光の周辺部のみ
に光量損失が生じるだけである。戻り光の周辺部は、光
強度が低く、大気のゆらぎによる光量損失の変動が検出
光に与える影響が少なくなる。よって、光軸付近での強
度変動を大幅に小さくすることができる。Further, the modulated light beam is expanded by the lens system to be a parallel light beam and emitted, and the return light beam from the reflector passes through the same lens system in the opposite direction to produce a beam. The system is reduced to parallel light. Therefore, even if the same amount of positional deviation δ as in the conventional example of FIG. 7 occurs, only a light amount loss occurs in the peripheral portion of the return light. The peripheral portion of the return light has a low light intensity, and the fluctuation of the light amount loss due to the fluctuation of the atmosphere has less influence on the detection light. Therefore, it is possible to significantly reduce the intensity fluctuation near the optical axis.
【００１０】[0010]
【実施例】図１は、本発明の距離測定装置の一実施例の
要部を示す。この実施例では、上述の位相ゆらぎをなく
すために、戻り光を復調する手段として、単一モ−ド光
ファイバ結合型光導波路電気光学強度変調器９が使用さ
れる。変調器９は、単一モード光導波路９Ａを有する。
また、この実施例は、変調された光が反射器（例えば、
図３のコーナキューブ７）に向けて出射されるときに変
調された光のビーム径を拡大して平行光とし、反射器か
らの戻り光のビ−ム径を縮小し平行光とするビームエキ
スパンダ６を備える。電気光学変調器９と、ビームエキ
スパンダ６との間には、集光レンズ８が配設される。ビ
ームエキスパンダ６は、集光レンズ８側に設けられた小
さな凸レンズ６Ａと、反射器側に設けられた大きな凸レ
ンズ６Ｂとを備えている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows the essential parts of an embodiment of the distance measuring device of the present invention. In this embodiment, in order to eliminate the above-mentioned phase fluctuation, a single mode optical fiber coupling type optical waveguide electro-optic intensity modulator 9 is used as a means for demodulating the returning light. The modulator 9 has a single mode optical waveguide 9A.
Also, in this embodiment, the modulated light is reflected by a reflector (eg,
A beam extract that expands the beam diameter of the light modulated when it is emitted toward the corner cube 7) of FIG. It has a panda 6. A condenser lens 8 is arranged between the electro-optic modulator 9 and the beam expander 6. The beam expander 6 includes a small convex lens 6A provided on the condenser lens 8 side and a large convex lens 6B provided on the reflector side.
【００１１】光を、ビームエキスパンダ６のようなレン
ズ系を用いて単一モ−ド光ファイバに結合する際には、
集光レンズ６のＮＡ（開口数）が非常に大きいことが望
ましい。しかし入射有効径の大きいレンズでは精度面で
問題が起こりやすい。そこで、集光レンズ６の入射有効
径を小さくすることになるが、このためには、ビームエ
キスパンダ６によって平行光とされた光のビ−ム径を小
さくすることが望ましい。しかし光のビ−ム径が小さい
と、光路中を伝搬した光の位置ずれにより集光レンズ８
ヘ入射する光量が大きく変動する。そうすると、集光レ
ンズ８の焦点に集光され光ファイバに結合される光の強
度が著しく変動する。この問題を解決するために、図１
の実施例では、変調された光のビ−ム径をビームエキス
パンダ６によって適当な大きさに拡大し平行光として反
射器に向けて出射し、反射器からの戻り光がビームエキ
スパンダ６を出射とは反対方向に通過するようにして、
戻り光のビ−ム系を縮小し平行光とする。When coupling light into a single mode optical fiber using a lens system such as a beam expander 6,
It is desirable that the NA (numerical aperture) of the condenser lens 6 is very large. However, a lens having a large effective entrance diameter is likely to have a problem in terms of accuracy. Therefore, the effective incident diameter of the condenser lens 6 is reduced. For this purpose, it is desirable to reduce the beam diameter of the light made into parallel light by the beam expander 6. However, if the beam diameter of the light is small, the condenser lens 8 is caused by the displacement of the light propagating in the optical path.
F The amount of incident light varies greatly. Then, the intensity of the light condensed at the focal point of the condenser lens 8 and coupled to the optical fiber remarkably changes. To solve this problem,
In the embodiment, the beam diameter of the modulated light is expanded to an appropriate size by the beam expander 6 and emitted as parallel light toward the reflector, and the return light from the reflector causes the beam expander 6 to travel. So that it passes in the direction opposite to the output,
The beam system of the returning light is reduced to parallel light.
【００１２】図２は、図１に示された実施例の要部の動
作を示す。図２から明かなように、集光レンズ８と反射
器との間にビームエキスパンダ６が設けられているた
め、図７に示された従来例と同量の位置ずれδが生じて
も、戻り光の周辺部のみに光量損失が生じるだけであ
る。戻り光の周辺部は、光強度が低く、空気のゆらぎに
よる光量損失量の変動が検出光に与える影響は少ない。
よって、光軸付近での強度変動を大幅に小さくすること
ができる。FIG. 2 shows the operation of the main part of the embodiment shown in FIG. As is clear from FIG. 2, since the beam expander 6 is provided between the condenser lens 8 and the reflector, even if the same amount of positional deviation δ as in the conventional example shown in FIG. 7 occurs, Light amount loss occurs only in the peripheral portion of the return light. In the peripheral portion of the return light, the light intensity is low, and the fluctuation of the light amount loss amount due to the fluctuation of air has little influence on the detection light.
Therefore, it is possible to significantly reduce the intensity fluctuation near the optical axis.
【００１３】なお、ビームエキスパンダ６の対物レンズ
６Ａの径は、一般に２５乃至３０ｍｍであり、反射器を
構成するコーナキューブの反射面の径は、一般に５０ｍ
ｍ程度であるから、ビームエキスパンダ６から出射され
た平行光束は、すべて反射されて戻り光となる。The diameter of the objective lens 6A of the beam expander 6 is generally 25 to 30 mm, and the diameter of the reflecting surface of the corner cube constituting the reflector is generally 50 m.
Since it is about m, all the parallel light flux emitted from the beam expander 6 is reflected and becomes return light.
【００１４】図３は、本発明の距離測定装置の実施例全
体を示す。図３中、復調用の単一モ−ド光ファイバ結合
型光導波路電気光学強度変調器９、ビームエキスパンダ
６および集光レンズ８は、図１と同一のものである。単
一横モ−ドで連続発振する光源１から出射されたビ−ム
光は、変調用光導波路電気光学強度変調器２に単一モ−
ド光ファイバ３Ａを介して結合される。FIG. 3 shows an entire embodiment of the distance measuring device of the present invention. In FIG. 3, the demodulation single mode optical fiber coupling type optical waveguide electro-optic intensity modulator 9, the beam expander 6 and the condenser lens 8 are the same as those in FIG. The beam light emitted from the light source 1 that continuously oscillates in a single transverse mode is sent to the modulation optical waveguide electro-optic intensity modulator 2 in a single mode.
Optical fiber 3A.
【００１５】変調器２に入射されたビーム光は、変調用
信号発生器２１からパワーデバイダ２２を介して供給さ
れる高周波変調電界によって変調され、単一モ−ド光フ
ァイバ３Ｂを介して出力され、コリメ−タレンズ４によ
って平行光とされた後、ビ−ムスプリッタ５に向かう。
ビ−ムスプリッタ５を透過したビ−ム光は、レンズ系に
よるビ−ムエキスパンダ６によってビ−ム径を拡大され
平行光とされて目標地点に配置されたコーナキューブ７
に向けて出射される。The beam light incident on the modulator 2 is modulated by the high frequency modulation electric field supplied from the modulation signal generator 21 via the power divider 22 and output via the single mode optical fiber 3B. , And after being collimated by the collimator lens 4, it goes to the beam splitter 5.
The beam light transmitted through the beam splitter 5 has its beam diameter expanded by a beam expander 6 by a lens system to be parallel light, and a corner cube 7 placed at a target point.
It is emitted toward.
【００１６】出射されたビ−ム光は、コーナキューブ７
によって反射され、ビ−ムエキスパンダ６に戻る。戻り
光は、ビ−ムエキスパンダ６によってビ−ム径が縮小さ
れた後、平行光とされ、ビ−ムスプリッタ５に向かう。
ビ−ムスプリッタ５によって反射されたビ−ム光は、復
調用の単一モ−ド光ファイバ結合型光導波路電気光学強
度変調器９に単一モ−ドファイバ３Ｃを介して結合され
る。The emitted beam of light is emitted from the corner cube 7
It is reflected by and returns to the beam expander 6. The returning light has its beam diameter reduced by the beam expander 6 and is then converted into parallel light, which travels to the beam splitter 5.
The beam light reflected by the beam splitter 5 is coupled to a single mode optical fiber coupling type optical waveguide electro-optic intensity modulator 9 for demodulation via a single mode fiber 3C.
【００１７】変調器９に入射されたビーム光は、復調用
信号発生器３１からパワーデバイダ３２を介して供給さ
れる高周波復調電界によって復調された後、光検出器１
０に導かれる。光検出器１０によって受光された光は、
光電変換され位相計１１に被測定信号として入力され
る。The light beam incident on the modulator 9 is demodulated by the high frequency demodulation electric field supplied from the demodulation signal generator 31 through the power divider 32, and then the photodetector 1
Lead to zero. The light received by the photodetector 10 is
It is photoelectrically converted and input to the phase meter 11 as a signal under measurement.
【００１８】変調用信号発生器２１から出力された高周
波信号は、パワ−デバイダ２２を介して周波数ミキサ２
３にも供給される。また、復調用信号発生器３１から出
力された高周波信号は、パワ−デバイダ３２を介して周
波数ミキサ２３にも供給される。周波数ミキサ２３のミ
キシングによって得られたヘテロダイン信号は、参照信
号として位相計１１に供給される。位相計１１は、被測
定信号と参照信号の位相差を求める。The high frequency signal output from the modulation signal generator 21 is passed through the power divider 22 to the frequency mixer 2
3 is also supplied. The high frequency signal output from the demodulation signal generator 31 is also supplied to the frequency mixer 23 via the power divider 32. The heterodyne signal obtained by the mixing of the frequency mixer 23 is supplied to the phase meter 11 as a reference signal. The phase meter 11 obtains the phase difference between the signal under measurement and the reference signal.
【００１９】上述のように、ビームエキスパンダ６を設
けているため、空気のゆらぎによる戻り光の位置ずれδ
が生じても、戻り光の周辺部のみに光量損失が生じるだ
けなので、位相計１１に供給される被測定信号に含まれ
る誤差は小さいから、位相計１１によって求められた位
相差を使用して目標地点までの距離を高精度に求めるこ
とができる。As described above, since the beam expander 6 is provided, the positional deviation δ of the returning light due to the fluctuation of air.
Even if occurs, since the light amount loss only occurs in the peripheral portion of the return light, the error included in the signal under measurement supplied to the phase meter 11 is small. Therefore, the phase difference obtained by the phase meter 11 is used. The distance to the target point can be obtained with high accuracy.
【００２０】なお、上記実施例において、変調用単一モ
ード光ファイバ結合型光導波路電気光学強度変調器２お
よび復調用単一モード光ファイバ結合型光導波路電気光
学強度変調器９を、それぞれ単一モード光ファイバ結合
型光導波路電気光学位相変調器に代えてもよいことは、
もちろんである。In the above embodiment, the single-mode optical fiber coupling type optical waveguide electro-optic intensity modulator 2 for modulation and the single-mode optical fiber coupling type optical waveguide electro-optic intensity modulator 9 for demodulation are respectively provided as a single unit. The mode optical fiber coupling type optical waveguide electro-optic phase modulator may be replaced by
Of course.
【００２１】[0021]
【発明の効果】以上の様に、本発明によれば、戻り光を
復調する手段として、単一モ−ド光ファイバ結合型光導
波路変調器を使用するので、戻り光の光路が一義的に決
定され、上述の位相ゆらぎをなくすことができる。ま
た、変調された光を、レンズ系によってビ−ム径を拡大
し平行光として出射し、同じレンズ系によって、反射器
からの戻り光のビ−ム系を縮小し平行光とするので、戻
り光の位置ずれが生じても、戻り光の周辺部のみに光量
損失が生じるだけであるから、光量損失の変動が検出光
に与える影響が少なくなる。従って、高精度な距離測定
が可能となる。As described above, according to the present invention, since the single mode optical fiber coupling type optical waveguide modulator is used as the means for demodulating the return light, the optical path of the return light is unique. It is determined that the above phase fluctuation can be eliminated. Further, the modulated light is emitted as parallel light by expanding the beam diameter by the lens system, and the beam system of the return light from the reflector is reduced by the same lens system to be parallel light. Even if the light position shifts, the light amount loss only occurs in the peripheral portion of the return light, so that the fluctuation of the light amount loss has less influence on the detection light. Therefore, highly accurate distance measurement becomes possible.
【図１】本発明の距離測定装置の一実施例の要部を示す
光学的構成図である。FIG. 1 is an optical configuration diagram showing a main part of an embodiment of a distance measuring device of the present invention.
【図２】図１に示された実施例の要部の動作を示す説明
図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing an operation of a main part of the embodiment shown in FIG.
【図３】本発明の距離測定装置の一実施例全体を示す光
学的構成図である。FIG. 3 is an optical configuration diagram showing an entire embodiment of the distance measuring device of the present invention.
【図４】従来のバルク型電気光学変調器を使用した距離
測定装置の復調部を示す光学的構成図である。FIG. 4 is an optical configuration diagram showing a demodulation unit of a distance measuring device using a conventional bulk-type electro-optical modulator.
【図５】従来の単一モード光導波路型変調器を使用した
距離測定装置の復調部を示す光学的構成図である。FIG. 5 is an optical configuration diagram showing a demodulation unit of a distance measuring device using a conventional single mode optical waveguide modulator.
【図６】距離測定装置本体と測距対象物に配置されたコ
ーナキューブとの関係を示す説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram showing a relationship between a distance measuring device main body and a corner cube arranged on an object to be measured.
【図７】図５の復調部の動作を示す説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram showing the operation of the demodulation unit in FIG.
２ 変調用光導波路強度変調器 ３Ａ、３Ｂ、３Ｃ 単一モ−ド光ファイバ ６ ビ−ムエキスパンダ ８ 集光レンズ ９ 復調用光導波路変調器 １１ 位相計 ２３ 周波数ミキサ 2 Optical waveguide intensity modulator for modulation 3A, 3B, 3C Single mode optical fiber 6 Beam expander 8 Condensing lens 9 Optical waveguide modulator for demodulation 11 Phase meter 23 Frequency mixer
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松本 弘一 茨城県つくば市梅園１丁目１番４ 工業技 術院計量研究所内 (72)発明者 瀬田 勝男 茨城県つくば市梅園１丁目１番４ 工業技 術院計量研究所内 (72)発明者 藤間 一郎 茨城県つくば市梅園１丁目１番４ 工業技 術院計量研究所内 (72)発明者 斉藤 道明 神奈川県横浜市栄区長尾台町471番地 株 式会社ニコン横浜製作所内 (72)発明者 吉田 久 神奈川県横浜市栄区長尾台町471番地 株 式会社ニコン横浜製作所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Koichi Matsumoto 1-4 Umezono, Tsukuba-shi, Ibaraki Industrial Technology Institute of Metrology Institute (72) Katsuo Seta 1-4 1-4 Umezono, Tsukuba-shi, Ibaraki Industrial technology (72) Inventor, Ichiro Fujima, Ichiro Fujima, 1-4, Umezono, Tsukuba, Ibaraki Industrial Technology Institute, (72) Inventor, Michiaki Saito, 471, Nagaodai-cho, Sakae-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Nikon Corporation Inside the Yokohama Works (72) Inventor Hisa Yoshida 471 Nagaodai-cho, Sakae-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Stock company Nikon Yokohama Works
Claims (1)
点に配置された反射器へ向けて出射し、前記反射器から
の戻り光を復調して前記出射された光との位相差を測定
することにより前記目標地点までの距離を測定する距離
測定装置において、 前記戻り光を復調する手段として単一モ−ド光ファイバ
結合型光導波路変調器を使用し、 前記変調された光が前記反射器に向けて出射されるとき
に前記変調された光のビーム径を拡大して平行光とし、
前記反射器からの戻り光のビ−ム径を縮小し平行光とす
るレンズ系を備えることを特徴とする距離測定装置。1. Light intensity-modulated or phase-modulated is emitted toward a reflector arranged at a target point, and the return light from the reflector is demodulated to measure the phase difference from the emitted light. In the distance measuring device for measuring the distance to the target point by using a single mode optical fiber coupling type optical waveguide modulator as means for demodulating the return light, the modulated light is reflected When the beam is emitted toward the vessel, the beam diameter of the modulated light is expanded into parallel light,
A distance measuring device comprising a lens system that reduces the beam diameter of the return light from the reflector to make it parallel light.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4131719A JPH05302978A (en) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | Distance measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4131719A JPH05302978A (en) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | Distance measuring apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05302978A true JPH05302978A (en) | 1993-11-16 |
Family
ID=15064605
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4131719A Pending JPH05302978A (en) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | Distance measuring apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05302978A (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104246584A (en) * | 2012-04-16 | 2014-12-24 | 莱卡地球系统公开股份有限公司 | Electro-optic modulator and electro-optic distance-measuring device |
| CN113391295A (en) * | 2021-06-29 | 2021-09-14 | 昂纳信息技术（深圳）有限公司 | Laser radar scanning system and device |
-
1992
- 1992-04-24 JP JP4131719A patent/JPH05302978A/en active Pending
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