JPH05298727A - Galvanomirror drive - Google Patents

Galvanomirror drive

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JPH05298727A
JPH05298727A JP9515892A JP9515892A JPH05298727A JP H05298727 A JPH05298727 A JP H05298727A JP 9515892 A JP9515892 A JP 9515892A JP 9515892 A JP9515892 A JP 9515892A JP H05298727 A JPH05298727 A JP H05298727A
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JP
Japan
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spring
cross spring
cross
mirror
rotation
Prior art date
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Application number
JP9515892A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshiaki Yamauchi
良明 山内
Koji Tagusari
功治 田鎖
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To improve the deviation of the axis of rotation and the assembling accuracy of a spring itself by a galvanomirror using a cross spring-supported system. CONSTITUTION:A cross spring 36 is an integral type to hold the relative location of respective plate springs. Also, when one side is supported by a cantilever pin and the other is supported by a cross spring, the axis of rotation of a galvanomirror is determined by the position of the supporting pin. Therefore, the title apparatus is provided with a vertical fine adjustment mechanism 38 for aligning the position of a cross-point being the center of rotation of the cross spring with the axis of rotation of the supporting pin.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光ディスクの光スポッ
ト位置決め機構に係り、特に、分離光学系方式での固定
光学系に具備されているガルバノミラー駆動装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light spot positioning mechanism for an optical disk, and more particularly to a galvanometer mirror driving device provided in a fixed optical system of a separation optical system type.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の分離光学系方式の光ディスク装置
では、複数の方式が挙げられるが、アクセス機構上に対
物レンズと焦点合わせ機構のみが搭載されている方式が
最も軽量のものである。この方式の装置の一例として1
990年電子情報通信学会春季全国大会講演論文集4−
474頁に記載の光ディスク装置が挙げられる。この装
置は、固定光学系にガルバノミラーを設け、光スポット
のディスクの半径方向への大まかな位置決めは、アクセ
ス機構上の対物レンズを移動させて行ない、高周波の微
小振幅分だけガルバノミラーを回転させて光スポットの
高精度な位置決めを行なうものである。
2. Description of the Related Art Conventional optical disk devices of the separation optical system include a plurality of systems, but the system in which only the objective lens and the focusing mechanism are mounted on the access mechanism is the lightest. As an example of this type of device,
Proceedings of 990 IEICE Spring National Convention 4-
The optical disk device described on page 474 can be mentioned. In this device, a fixed optical system is equipped with a galvano mirror, and the rough positioning of the light spot in the radial direction of the disk is performed by moving the objective lens on the access mechanism and rotating the galvano mirror by a minute high-frequency amplitude. The light spot is positioned with high precision.

【0003】このようなバルバノミラーには、日本機械
学会論文集57巻534号(1991−2)論文No.90−
0772Aに示す十字ばね支持方式を用いたものが一般
的である。しかし、十字ばね支持方式の場合、複数枚の
板ばねを用いているため、各板ばねに可動部の回転軸方
向へのずれが組立て時に発生すると十字ばね自体の回転
軸まわりの剛性が高くなり、一次の共振周波数が高く、
ガルバノミラーの応答性が低くなってしまう。
For such a barbano mirror, the Japan Society of Mechanical Engineers, Vol. 57, No. 534 (1991-2), No. 90-
The one using the cross spring support method shown in 0772A is general. However, in the case of the cross spring support method, since multiple leaf springs are used, if deviation of the movable part in the direction of the rotation axis occurs in each leaf spring during assembly, the rigidity of the cross spring itself around the rotation axis will increase. , The primary resonance frequency is high,
The response of the galvanometer mirror becomes low.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】十字ばね支持方式のガ
ルバノミラー駆動装置は、複数枚の板ばねを特に可動部
の回転軸に対して垂直方向に傾くことなく組立てなけれ
ばならない。組立て時に各板ばねに前記した方向に傾き
が発生すると、十字ばねによる曲げ剛性が設計値よりも
高くなり、ガルバノミラーに必要な高い応答性を実現で
きなかった。
In the cross spring supporting type galvanometer mirror driving device, a plurality of leaf springs must be assembled without particularly tilting in the direction perpendicular to the rotation axis of the movable part. When the leaf springs are tilted in the above-mentioned directions during assembly, the bending rigidity of the cross spring becomes higher than the designed value, and the high responsiveness required for the galvano mirror cannot be realized.

【0005】本発明の目的は、組立て時の位置ずれ、傾
きを極力おさえることにより、ガルバノミラーとしての
高い応答性を実現可能とするガルバノミラー駆動装置を
提供することにある。
An object of the present invention is to provide a galvano mirror driving device which can realize a high responsiveness as a galvano mirror by suppressing positional displacement and inclination during assembly as much as possible.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は可動部の回転軸に対し、片側をピン支持、
もう一方を十字ばね支持構成としたガルバノミラー駆動
装置において、十字ばねを構成する複数枚の板ばねを一
体型とし、前記一体型十字ばねにより支持した。また、
前記十字ばねの可動部側取付け位置と固定台側取付け位
置を前記板ばねの交差点から等間隔な位置に配置した。
可動部の十字ばね支持側側面に回転中心となる位置に目
印の突起を設け、十字ばね固定台に上下の微動調整機構
を設けた。
In order to achieve the above object, the present invention provides a pin supporting one side of a rotary shaft of a movable part,
In the galvano-mirror drive device in which the other side is configured to support a cross spring, a plurality of leaf springs forming the cross spring are integrated and supported by the integrated cross spring. Also,
The movable-part-side mounting position and the fixed-base-side mounting position of the cross spring are arranged at positions equidistant from the intersection of the leaf springs.
A protrusion as a mark is provided on the side of the movable portion on the side where the cross spring is supported, which serves as a center of rotation, and a vertical spring fine adjustment mechanism is provided on the cross spring fixed base.

【0007】[0007]

【作用】本発明は、ガルバノミラー駆動装置の十字ばね
支持方式において複数板の板ばねを一体型とすることに
より各板ばねの相対的な位置関係を保つことができる。
すなわち、ばねの締め付け時に発生するばねの位置ず
れ、特に、可動部回転軸に対する垂直方向のずれを抑え
ることができる。また、十字ばね取付け台に上下微動機
構を設けることにより、可動部の回転軸に対し、ピン支
持側の回転中心と十字ばね側の回転中心を合わせること
ができ、軸ずれによる外力を極力抑えることができる。
According to the present invention, in the cross spring support system of the galvano mirror driving device, the leaf springs of a plurality of plates are integrated so that the relative positional relationship of the leaf springs can be maintained.
That is, it is possible to suppress the displacement of the spring, which occurs when the spring is tightened, particularly, the displacement in the direction perpendicular to the rotation axis of the movable portion. Also, by providing a vertical fine movement mechanism on the cross spring mount, the rotation center on the pin support side and the rotation center on the cross spring side can be aligned with the rotation axis of the movable part, and external force due to axis deviation can be suppressed as much as possible. You can

【0008】[0008]

【実施例】本発明の一実施例を図1を参照しながら説明
する。図1に示すように、スピンドルモータ(図示せ
ず)により一定速度で回転され、その記録面上にデータ
が渦巻状のトラックとして記録されているディスク7に
対向して可動ヘッド8が設けられている。可動ヘッド8
のボディ44の最上部に対物レンズ9が金属ばね10で
支持されている。金属ばね10のディスク法線方向の剛
性は低く、他の方向の剛性は、振動が位置決め制御やデ
ータの書き込みや読み出しに悪影響を与えないように大
きくなっている。ボディ44の内部には立上げミラー1
1が固定されており、固定光学系18から入射する出射
光束を反射して対物レンズ9に導く。さらに、ボディ4
4には左右に各1ケヘッド駆動コイル(ヘッド駆動手
段)14が取り付けられており、図示していない磁気回
路とともに、可動ヘッド8をディスク7の半径方向に移
動させることができる。また、ボディ44には5ケのボ
ールベアリングが固定された軸を介して取り付けられて
おり、そのうち4ケは主ガイド軸13に、その外輪が接
して、可動ヘッド8をディスク7の中心方向に精度良
く、かつ、低摩擦で導く役目を持っている。残る1ケの
ボールベアリングは副ガイド軸13に接して可動ヘッド
8の、主ガイド軸13の回りの回転を拘束している。更
に、6ケ目のボールベアリング16がばね17に取り付
けられ、副ガイド軸13に、ばね17による予圧力によ
り押し付けられている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 1, a movable head 8 is provided so as to face a disk 7 which is rotated at a constant speed by a spindle motor (not shown) and whose data is recorded as a spiral track on its recording surface. There is. Movable head 8
The objective lens 9 is supported by the metal spring 10 on the uppermost part of the body 44 of FIG. The rigidity of the metal spring 10 in the disk normal direction is low, and the rigidity in the other directions is large so that vibration does not adversely affect positioning control and data writing and reading. Inside the body 44, the start-up mirror 1
1 is fixed, and the outgoing light flux incident from the fixed optical system 18 is reflected and guided to the objective lens 9. Furthermore, body 4
A head drive coil (head drive means) 14 is attached to each of the left and right sides of the disk 4, and the movable head 8 can be moved in the radial direction of the disk 7 together with a magnetic circuit (not shown). Further, five ball bearings are attached to the body 44 via fixed shafts, and four of them are in contact with the outer ring of the main guide shaft 13 to move the movable head 8 toward the center of the disk 7. It has the role of leading with high precision and low friction. The remaining one ball bearing is in contact with the sub guide shaft 13 to restrain the rotation of the movable head 8 around the main guide shaft 13. Further, the sixth ball bearing 16 is attached to the spring 17, and is pressed against the sub guide shaft 13 by the preload of the spring 17.

【0009】固定光学系18では、ベース19上にレー
ザ20,光検出器27,28,31および各光学系部品
が固定されている。以下、レーザ(レーザ光源)20か
ら出射された光を追いながら光学系の構成と主な作用を
説明する。
In the fixed optical system 18, the laser 20, the photodetectors 27, 28, 31 and each optical system component are fixed on the base 19. Hereinafter, the configuration and main operation of the optical system will be described while following the light emitted from the laser (laser light source) 20.

【0010】半導体レーザ20を出た入射光束はコリメ
ータレンズ21で平行光となり、プリズム22,23を
通過することによりベース19に平行な方向の幅を拡げ
られる。半導体レーザ20を出た入射光束は、ベース1
9に直角な方向の幅が平行な方向よりも大きい楕円断面
となっているが、プリズム22,23を通過することに
より円形断面となる。入射光束は次に複合プリズム24
のハーフミラー部を通り抜けてガルバノミラー1のミラ
ー4で直角方向に反射され、更に、固定ミラー5および
固定ミラー6で反射され、ガルバノミラー1のミラー3
で反射されて、可動ヘッドの立ち上げミラー11に向か
う。
The incident light flux emitted from the semiconductor laser 20 is collimated by the collimator lens 21 and passes through the prisms 22 and 23 to widen the width in the direction parallel to the base 19. The incident light flux emitted from the semiconductor laser 20 is the base 1
Although it has an elliptical cross section in which the width in the direction perpendicular to 9 is larger than that in the parallel direction, it becomes a circular cross section by passing through the prisms 22 and 23. The incident light beam then passes through the compound prism 24.
Of the galvano mirror 1 through the half mirror portion of the galvano mirror 1, and is reflected at a right angle by the mirror 4 of the galvano mirror 1, and further reflected by the fixed mirror 5 and the fixed mirror 6.
Is reflected by and goes toward the rising mirror 11 of the movable head.

【0011】可動ヘッド8上の立ち上げミラー11で出
射光束は反射されかつ対物レンズ9で絞り込まれ、ディ
スク7の記録面上に直径1.6μm 程度の微小な光スポ
ットを形成し、そこで反射して、再び、対物レンズ9を
通過して平行光となる。そして再び立ち上げミラー11
で反射して、ガルバノミラーのミラー3,固定ミラー
6,5及びミラー4を経て複合プリズム24のハーフミ
ラーで反射され、複合プリズム24の中央に設けたハー
フミラーで、ウォラストンプリズム29方向の光と、複
合プリズム24の中を更に進む光に分かれる。ウォラス
トンプリズム29で光は、常光線と異常光線の2本に分
離され、ウォラストンプリズムの端面に貼り付けられた
レンズにより収束しながら反射ミラー30で方向を変え
て信号検出器31に向かい、信号検出器31上の二つに
分割された光検出器上に常光線及び異常光線各々のスポ
ットを結ぶ。信号検出回路では常光線と異常光線との各
検出信号の差を取ることにより、ディスク7の記録面上
に、磁化方向が上又は下向きの光磁気信号として記録さ
れたデータを検出する。
The emitted light beam is reflected by the rising mirror 11 on the movable head 8 and is narrowed down by the objective lens 9 to form a minute light spot having a diameter of about 1.6 μm on the recording surface of the disk 7 and reflected there. Then, it again passes through the objective lens 9 and becomes parallel light. And again the launch mirror 11
Is reflected by the half mirror of the compound prism 24 after passing through the galvanometer mirror 3, the fixed mirrors 6, 5 and the mirror 4, and the light in the direction of the Wollaston prism 29 is provided by the half mirror provided in the center of the compound prism 24. Then, it is divided into light that further travels in the composite prism 24. The light is separated into two rays, an ordinary ray and an extraordinary ray, by the Wollaston prism 29, and while converging by a lens attached to the end face of the Wollaston prism, the direction is changed by the reflection mirror 30 toward the signal detector 31, The spots of the ordinary ray and the extraordinary ray are connected on the photodetector divided into two on the signal detector 31. The signal detection circuit detects the data recorded on the recording surface of the disk 7 as a magneto-optical signal whose magnetization direction is upward or downward by obtaining the difference between the detection signals of the ordinary ray and the extraordinary ray.

【0012】一方、複合プリズム24の中を進行する光
は、複合プリズム24の端部に設けられた全反射部で反
射してレンズ25に入射し、レンズ25により収束光と
なる。収束光はハーフプリズム26で反射光と通過光に
分離され、反射光は、収束光の焦点より手前に設けたサ
ーボ信号検出器27に入り、通過光は収束光の焦点より
も後側に設けたサーボ信号検出器28に入射する。
On the other hand, the light traveling through the compound prism 24 is reflected by the total reflection portion provided at the end of the compound prism 24, enters the lens 25, and is converged by the lens 25. The converged light is separated into reflected light and passing light by the half prism 26, the reflected light enters a servo signal detector 27 provided in front of the focus of the converged light, and the passed light is provided behind the focus of the converged light. It is incident on the servo signal detector 28.

【0013】ディスク7の記録面上のデータは、深さ
0.1μm,幅0.5μm程度の案内溝からのずれ(トラ
ックずれ)、及び光スポットの焦点ずれを固定光学系8
のサーボ信号検出器27,28で検出し、焦点ずれが小
さくなるように、図示されていない焦点合わせアクチュ
エータ(対物レンズ駆動手段)で対物レンズ9をディス
ク7の法線方向に駆動する。また、トラックずれが小さ
くなるようなガルバノミラー1を後述のように駆動す
る。光スポットは、ディスク7上の案内溝を低周波で大
振幅の変位は、ヘッド駆動コイルによって可動ヘッド8
を移動させることにより追従し、残る高周波で小振動の
変位にはガルバノミラー1を回転させることにより追従
する。可動ヘッド8移動による追従とガルバノミラー1
による追従の配分は、トラックフォローイング回路によ
って決定される。
The data on the recording surface of the disk 7 has a fixed optical system 8 in which a deviation (track deviation) from a guide groove having a depth of about 0.1 μm and a width of about 0.5 μm and a focus deviation of a light spot are fixed.
The objective lens 9 is driven in the normal direction of the disk 7 by a focusing actuator (objective lens driving means) (not shown), which is detected by the servo signal detectors 27 and 28. In addition, the galvanometer mirror 1 that reduces the track deviation is driven as described later. The light spot is displaced at a low frequency and a large amplitude in the guide groove on the disk 7 by the head drive coil.
Is followed by moving, and the displacement of small vibration at the remaining high frequency is followed by rotating the galvanometer mirror 1. Tracking by moving the movable head 8 and galvanometer mirror 1
The distribution of tracking by is determined by the track following circuit.

【0014】サーボ信号検出器27,28は、検出器の
中央部に縦方向の帯状のトラック方向検出部があり、ト
ラックずれ検出部が上下に2分割され、その出力差とし
て、案内溝部からの光スポット回折光のアンバランスを
検出し、トラックずれ信号としてフィードバックする。
一方、焦点ずれは、トラックずれ検出部の左右に焦点ず
れ検出部があり、サーボ信号検出器27,28の焦点ず
れ検出部の出力差として焦点ずれを検出する。以上の装
置全体の説明に続いて、本発明でのガルバノミラー1に
ついて説明する。
In the servo signal detectors 27 and 28, a vertical strip-shaped track direction detecting portion is provided at the center of the detector, and the track deviation detecting portion is vertically divided into two parts. The imbalance of the light spot diffracted light is detected and fed back as a track deviation signal.
On the other hand, regarding the defocus, there are defocus detection units on the left and right of the track displacement detection unit, and the defocus is detected as the output difference of the defocus detection units of the servo signal detectors 27 and 28. Following the above description of the entire apparatus, the galvano mirror 1 of the present invention will be described.

【0015】図2,図3にガルバノミラーの斜視図を示
す。バルバノミラーは、前述したように、ミラーを回転
することでトラッキング方向の制御を行なうものであ
り、このガルバノミラーの回転方向に対しホルダ2の両
端で支持する。本発明のガルバノミラーは、片側をピン
支持方式としもう一方を十字ばね支持方式としている。
図2は、そのうちのピン支持側より見た斜視図であり、
図3は、十字ばね支持側より見た斜視図である。ホルダ
2には、ミラー3,4及びガルバノミラー駆動用コイル
32が2ケ取り付いており、図示していない磁気回路で
駆動コイル32に電流を流すことにより回転駆動させ、
ミラー3,4で光束をディスク7のトラック方向へ移動
させる。ガルバノミラーの回転軸に対し、支持ピン33
は回転軸上に配置し、ベース19に固定している図示し
ていないスリーブを介して低摩擦により回転する。もう
一方の支持部は、2枚の板ばねによる十字ばね34によ
る支持構成とした。各板ばねの端部はガルバノミラーの
ホルダ2部とベース19に固定されているばね取付台3
5に取り付けられており、2枚の板ばねの交差点を回転
軸上に一致させている。すなわち、支持ピン33の位置
と十字ばね34の交差点は、ガルバノミラーの回転軸上
に配置している。
2 and 3 are perspective views of the galvanometer mirror. As described above, the barvano mirror controls the tracking direction by rotating the mirror, and supports the holder 2 at both ends in the rotational direction of the galvano mirror. The galvanomirror of the present invention has a pin support system on one side and a cross spring support system on the other side.
FIG. 2 is a perspective view seen from the pin support side,
FIG. 3 is a perspective view seen from the cross spring support side. Two mirrors 3, 4 and a galvanometer mirror driving coil 32 are attached to the holder 2, and are driven to rotate by supplying a current to the driving coil 32 by a magnetic circuit (not shown).
The light flux is moved in the track direction of the disk 7 by the mirrors 3 and 4. Support pin 33 is attached to the rotation axis of the galvanometer mirror.
Is arranged on the rotating shaft and rotates with low friction through a sleeve (not shown) fixed to the base 19. The other support portion is configured to be supported by the cross spring 34 formed of two leaf springs. The end portion of each leaf spring is a spring mount 3 fixed to the holder 2 portion of the galvanometer mirror and the base 19.
It is attached to No. 5, and the intersection of two leaf springs is made to correspond on a rotating shaft. That is, the position of the support pin 33 and the intersection of the cross spring 34 are arranged on the rotation axis of the galvanometer mirror.

【0016】図4は、本発明の一実施例である一体型の
十字ばね支持部の斜視図を示す。また、一体型十字ばね
の説明のため図5に、従来型の2枚の板ばねで構成して
いる十字ばね支持部の斜視図を示す。
FIG. 4 is a perspective view of an integral type cross spring support portion which is an embodiment of the present invention. Further, for the purpose of explaining the integrated type cross spring, FIG. 5 is a perspective view of a cross spring support portion composed of two conventional leaf springs.

【0017】十字ばね34は、通常ベース19上に固定
されているばね取付台35にねじにより取り付けられて
いる。そのため、ねじを締め付ける際ばね自体にもねじ
の回転方向に力が働き、ばねはねじ取り付け位置を中心
に図中に示す矢印の方向に動いてしまう。図5に示す2
枚の板ばねを用いた場合は、各板ばねに前述した力が働
き2枚の板ばねが互いに逆方向にずれてしまう。その結
果、ガルバノミラーが回転する時、十字ばね34の各板
ばねは板厚方向に対し斜めに動くため十字ばねの回転剛
性が高くなりガルバノミラーの応答性は極端に下ちてし
まう。そこで図4に示す一体型の十字ばね36を提案し
た。この十字ばね36は、従来の2枚の板ばねを一体と
したため、2枚の板ばねの相対的な位置関係を保つこと
ができる。図には示していないが板ばねは複数枚の場合
でもいい。また、ねじの締め付け時に発生する回転方向
の力に対しては、ばね取付台35に4ケの回転防止用ピ
ン43を設け、このピンでばねの回転位置ずれを抑えて
いる。
The cross spring 34 is attached by a screw to a spring mount 35 which is usually fixed on the base 19. Therefore, when tightening the screw, a force also acts on the spring itself in the rotation direction of the screw, and the spring moves around the screw mounting position in the direction of the arrow shown in the figure. 2 shown in FIG.
When one leaf spring is used, the above-mentioned force acts on each leaf spring and the two leaf springs are displaced in opposite directions. As a result, when the galvanometer mirror rotates, each leaf spring of the cross spring 34 moves obliquely with respect to the plate thickness direction, so that the rotational rigidity of the cross spring is increased and the response of the galvanometer mirror is extremely lowered. Therefore, an integrated cross spring 36 shown in FIG. 4 was proposed. Since the cross spring 36 is formed by integrating two conventional leaf springs, the relative positional relationship between the two leaf springs can be maintained. Although not shown in the figure, a plurality of leaf springs may be used. Further, with respect to the force in the rotation direction generated when tightening the screw, the spring mounting base 35 is provided with four rotation preventing pins 43, and the displacement position of the spring is suppressed by these pins.

【0018】図6は、一体型の十字ばねの一実施例であ
るばねの平面図を示す。製作にはエッチング加工法を用
い、実際には平面十字ばね36を折り曲げて使用する。
図7は十字ばね36をホルダ2及びばね取付台35に取
り付けた状態を示す。ここでは、図7に示すようにホル
ダ2部でのばね取り付け位置間距離A″とばね取付台3
5でのばね取付位置間の距離A′の関係をA′=A″と
なるようにした。
FIG. 6 is a plan view of a spring which is an example of an integral cross spring. An etching method is used for manufacturing, and the plane cross spring 36 is actually bent and used.
FIG. 7 shows a state in which the cross spring 36 is attached to the holder 2 and the spring mount 35. Here, as shown in FIG. 7, the distance A ″ between the spring mounting positions in the holder 2 and the spring mounting base 3 are
The relationship of the distance A'between the spring mounting positions in No. 5 is set to A '= A ".

【0019】これは、ガルバノミラーの回転軸上に十字
ばね36の交差点を一致させ、さらに交差点を中心に十
字ばね36を回転させるためである。前述した取付け間
距離の関係より容易に達成することができる。図6に、
その時の具体的な十字ばね36のホルダ2部及びばね取
付台35の取付け位置を示す。すなわち、板ばねは、交
差点から等間隔の位置に配置する。
This is because the intersection of the cross spring 36 is aligned with the rotation axis of the galvanometer mirror, and the cross spring 36 is rotated about the intersection. This can be achieved more easily than the above-mentioned relationship between the mounting distances. In Figure 6,
The specific mounting positions of the holder 2 portion of the cross spring 36 and the spring mounting base 35 at that time are shown. That is, the leaf springs are arranged at equal intervals from the intersection.

【0020】図8は従来、図9は本発明のガルバノミラ
ーのホルダ2部の展開図である。従来よりホルダ2のピ
ン支持側側面には、回転軸中心となる位置に穴をあけ支
持ピン33を圧入していたが、十字ばね支持側側面には
何もしていなかった。そのため、十字ばねの交差点を回
転軸上に一致させることは、機構部品の製作精度及び組
立て精度にたよっていた。本発明の一実施例では回転軸
中心となる位置の穴を突き抜けとし、十字ばね支持側に
回転軸中心となる目印として、例えば、先のとがったピ
ンを図に示すように穴に入れホルダ2の十字ばね支持側
側面に突起37を設けた。その後に支持ピン33を圧入
することにした。この時、ホルダ2の剛性を保つためホ
ルダ2穴内の空間を小さくするようにピンの長さを決め
ている。
FIG. 8 is a conventional view and FIG. 9 is a development view of the holder 2 portion of the galvanometer mirror of the present invention. Conventionally, the pin 2 on the pin support side of the holder 2 has a hole formed at the center of the rotary shaft and the support pin 33 is press-fitted therein, but nothing has been done on the cross spring support side. Therefore, matching the intersections of the cross springs on the rotation axis depends on the manufacturing precision and the assembly precision of the mechanical parts. In one embodiment of the present invention, a hole at the center of the rotation axis is penetrated, and as a mark at the center of the rotation axis on the cross spring support side, for example, a pointed pin is inserted into the hole as shown in the holder 2 The protrusion 37 is provided on the side surface of the cross spring supporting side. After that, it was decided to press-fit the support pin 33. At this time, in order to maintain the rigidity of the holder 2, the length of the pin is determined so as to reduce the space inside the hole of the holder 2.

【0021】図10は、本発明の一実施例である回転軸
に十字ばねの交差点を合わせるための上下微動機構を示
す。片側をピン支持方式もう一方を十字ばね支持方式の
場合、回転軸はほぼ支持ピンの位置により決まってしま
う。これは、十字ばねの交差点での位置決めに対して、
支持ピンの位置決め剛性が高いためである。そのため、
ガルバノミラーの組立てとして前述したように支持ピン
と十字ばねの交点を合わせることは、重要であり各支持
部での回転軸ずれは、ガルバノミラーの性能に大きな影
響を与える。
FIG. 10 shows an up-and-down fine movement mechanism for aligning the intersection of the cross spring with the rotating shaft, which is an embodiment of the present invention. In the case of the pin support system on one side and the cross spring support system on the other side, the rotary shaft is almost determined by the position of the support pin. This is for positioning at the intersection of the cross spring,
This is because the positioning rigidity of the support pin is high. for that reason,
As described above for assembling the galvanometer mirror, it is important to match the intersections of the support pin and the cross spring, and the displacement of the rotation axis at each support portion greatly affects the performance of the galvanometer mirror.

【0022】そこで、前述した回転軸ずれを調節する機
構をガルバノミラーに設けた。固定光学系ベース19に
固定されていたばね取付台35は、圧縮コイルばね41
及び調整用ブロック39を介して固定ねじ42によりベ
ース19に取り付けられる構成とした。上下方向に支持
ピンの回転中心と十字ばね36の交差点がずれている場
合、左右に設けた調整用ブロック39を調整用ブロック
微動ねじ40で動かし、ばね取付台35自体を調整す
る。この機構により容易に回転軸合わせを行なうことが
できる。
Therefore, the galvanometer mirror is provided with a mechanism for adjusting the above-mentioned rotation axis deviation. The spring mount 35 fixed to the fixed optical system base 19 has a compression coil spring 41.
Also, it is configured to be attached to the base 19 by the fixing screw 42 via the adjustment block 39. When the rotation center of the support pin and the intersection of the cross spring 36 are displaced in the vertical direction, the adjustment blocks 39 provided on the left and right are moved by the adjustment block fine adjustment screws 40 to adjust the spring mount 35 itself. With this mechanism, the rotation axis can be easily adjusted.

【0023】本実施例によれば、片側ピン支持、もう一
方を十字ばね支持としたガルバノミラーにおいて、十字
ばねの取り付け時における位置ずれ等をなくすことがで
き、さらに支持ピンと十字ばねの回転軸合わせを容易に
行なうことができる。その結果、ガルバノミラー自体の
高い応答性が可能となり、トラック追従精度を大幅に向
上することができる。
According to the present embodiment, in the galvano mirror in which one side is supported by pins and the other side is supported by a cross spring, it is possible to eliminate the positional deviation at the time of mounting the cross spring, and further to align the rotation axis of the support pin and the cross spring. Can be done easily. As a result, high responsiveness of the galvano mirror itself is possible, and the track following accuracy can be significantly improved.

【0024】[0024]

【発明の効果】本発明のガルバノミラー駆動装置によれ
ば、十字ばねを構成する2枚の板ばねの相対的な位置関
係を保つことができ、さらに、ガルバノミラーの回転軸
上に十字ばねの回転中心を合わせることが容易となっ
た。そのため、ガルバノミラーの高い応答性が可能とな
りトラックの追従精度を向上することができる。
According to the galvano-mirror driving device of the present invention, the relative positional relationship between the two leaf springs forming the cross spring can be maintained, and further, the cross spring can be mounted on the rotary shaft of the galvano mirror. It became easier to match the center of rotation. Therefore, a high response of the galvanometer mirror is possible, and the tracking accuracy of the track can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention.

【図2】図1の要部を示す斜視図。FIG. 2 is a perspective view showing a main part of FIG.

【図3】図1の要部を示す斜視図。FIG. 3 is a perspective view showing a main part of FIG.

【図4】本発明の作用の説明図。FIG. 4 is an explanatory view of the operation of the present invention.

【図5】従来の作用の説明図。FIG. 5 is an explanatory view of a conventional operation.

【図6】本発明の一実施例の平面図。FIG. 6 is a plan view of an embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第二の実施例の平面図。FIG. 7 is a plan view of the second embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第三の実施例の平面図。FIG. 8 is a plan view of the third embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第四の実施例の平面図。FIG. 9 is a plan view of the fourth embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第五の実施例の平面図。FIG. 10 is a plan view of the fifth embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2…ホルダ、33…支持ピン、34…十字ばね、35…
ばね取付台、36…一体型十字ばね、38…微動調整機
構、39…調整ブロック、40…調整用ブロック微動ね
じ。
2 ... Holder, 33 ... Support pin, 34 ... Cross spring, 35 ...
Spring mount, 36 ... Integrated cross spring, 38 ... Fine adjustment mechanism, 39 ... Adjustment block, 40 ... Adjustment block fine adjustment screw.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】可動部の回転軸に対し、一方の側をピン支
持、他方の側を十字ばね支持構成としたガルバノミラー
駆動装置において、十字ばねを構成する複数の板ばねを
一体型とし前記一体型十字ばねにより支持することを特
徴とするガルバノミラー駆動装置。
1. A galvano-mirror drive device having one side supported by a pin and the other side supported by a cross spring with respect to a rotary shaft of a movable part, wherein a plurality of leaf springs forming the cross spring are integrated. A galvanometer mirror drive device, which is supported by an integral cross spring.
JP9515892A 1992-04-15 1992-04-15 Galvanomirror drive Pending JPH05298727A (en)

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