JPH05298667A - Aluminum alloy substrate for magnetic disk and magnetic disk - Google Patents

Aluminum alloy substrate for magnetic disk and magnetic disk

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JPH05298667A
JPH05298667A JP9942592A JP9942592A JPH05298667A JP H05298667 A JPH05298667 A JP H05298667A JP 9942592 A JP9942592 A JP 9942592A JP 9942592 A JP9942592 A JP 9942592A JP H05298667 A JPH05298667 A JP H05298667A
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JP
Japan
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magnetic disk
aluminum alloy
substrate
magnetic
alloy substrate
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JP9942592A
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Japanese (ja)
Inventor
Motoharu Sato
元治 佐藤
Hiroyuki Tanimoto
浩之 谷本
Yutaka Nagakura
豊 永倉
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Kobe Steel Ltd
Original Assignee
Kobe Steel Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To prevent the warp of an NiP film and to provide a substrate for a magnetic disk and a magnetic disk excellent in property of preventing the adsorption of a magnetic head and having enhanced performance as a medium having high recording density. CONSTITUTION:The surface of an Al alloy disk as the body of a substrate is concentrically roughened so as to attain >=10Angstrom surface roughness Ra in a direction perpendicular to tangents of the resulting concentric circles. A hard dense layer such as an NiP film is formed on the roughened surface of the Al alloy disk.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク用アルミニ
ウム合金基板及び磁気ディスクに関し、特に、ヘッドの
吸着防止性能が優れ、媒体性能の向上及び磁気ヘッドの
低浮上化を可能とし、高記録密度媒体として好適の磁気
ディスク用アルミニウム合金基板及び磁気ディスクに関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an aluminum alloy substrate for a magnetic disk and a magnetic disk, and in particular, it has excellent head adsorption prevention performance, enables improvement of medium performance and low flying height of the magnetic head, and high recording density medium. The present invention relates to an aluminum alloy substrate for a magnetic disk and a magnetic disk suitable as the magnetic disk.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、情報量の増大に伴い、外部記録装
置としての磁気ディスクの大容量化及び磁気ディスク媒
体の高密度化が要求されている。
2. Description of the Related Art In recent years, with the increase in the amount of information, there has been a demand for an increase in the capacity of magnetic disks as external recording devices and an increase in the density of magnetic disk media.

【0003】記録密度の向上を磁気ヘッド側から見た場
合、高密度化のためには浮上高さの減少が有効である。
しかし、この浮上高さの減少のためには、基板に要求さ
れる平滑度又は表面粗度等を最適のものにすることが重
要となる。
When viewed from the magnetic head side to improve the recording density, it is effective to reduce the flying height in order to increase the recording density.
However, in order to reduce the flying height, it is important to optimize the smoothness or surface roughness required for the substrate.

【0004】現在、高密度記録技術においては、浮上高
さを0.3μm以下にすることが必要となっており、この
場合、基板の表面粗度は、浮上高さの1/10以下にするこ
とが必要である。
At present, in high density recording technology, it is necessary to set the flying height to 0.3 μm or less. In this case, the surface roughness of the substrate should be set to 1/10 or less of the flying height. is necessary.

【0005】しかし、このような極めて小さな表面粗度
をアルミニウム合金基板自体で得ることは不可能であ
る。また、アルミニウム合金基板には、媒体性能の限界
等から、現在主流であるアルミニウム合金基板を使用し
たコーティング媒体に替えて、アルミニウム合金基板に
無電解NiPメッキ膜を施して表面を硬くするか、又は
基板を硬質緻密として欠陥を減少させることにより表面
粗度を改善し、スパッタリング法又はメッキ法により金
属磁性体を形成する薄膜媒体へと、媒体作製方法は変化
している。
However, it is impossible to obtain such an extremely small surface roughness with the aluminum alloy substrate itself. Also, for the aluminum alloy substrate, in view of the limit of medium performance, etc., the coating medium using the aluminum alloy substrate which is the mainstream at present is replaced with an electroless NiP plating film on the aluminum alloy substrate to harden the surface, or The medium manufacturing method is changing to a thin film medium in which the substrate is made hard and dense to reduce defects to improve the surface roughness and a metal magnetic material is formed by a sputtering method or a plating method.

【0006】しかし、表面粗度を限りなく小さくした場
合、磁気ヘッドの吸着という問題が生じる。つまり、こ
のような吸着現象は、磁気ヘッドのスライダー面と磁気
ディスク表面とが極めて平滑で且つ微小間隔で対面して
いる場合に、その間隙がO2、N2又はH2O等の分子に
より埋めつくされたときに、界面張力による大きな吸着
力が発生することに起因している。この吸着力が発生す
ると、磁気ヘッドが磁気ディスクに傷をつけたり、モー
ター起動時に多大の電力を消費したりするばかりか、最
悪の場合には、磁気ヘッドが破壊するといった不具合を
生じる。
However, when the surface roughness is made as small as possible, there arises a problem that the magnetic head is attracted. In other words, such adsorption behavior, when the slider surface and the magnetic disk surface of the magnetic head is facing in and small distance in a very smooth, the gap is due molecules such as O 2, N 2 or H 2 O This is due to the generation of a large adsorption force due to the interfacial tension when it is filled up. When this attracting force is generated, not only the magnetic head scratches the magnetic disk and consumes a large amount of power when the motor is started, but in the worst case, the magnetic head is destroyed.

【0007】上述の現象を防止する方法として、磁気ヘ
ッドスライダー面と磁気ディスク表面との間の接触面積
を小さくすることを目的に、基板表面を微細な研磨剤を
塗布したテープにより粗面化するテクスチャー処理が一
般に行われている。
As a method of preventing the above phenomenon, the surface of the substrate is roughened with a tape coated with a fine abrasive in order to reduce the contact area between the magnetic head slider surface and the magnetic disk surface. Texture processing is generally performed.

【0008】また、同心円状にテクスチャー処理を施し
たNiP膜上に磁性膜としてCo−Cr系合金をスパッ
タリングした場合には、結晶磁気異方性により円周方向
の磁気特性が大幅に改善されることも知られている。
When a Co—Cr alloy is sputtered as a magnetic film on a concentrically textured NiP film, the magnetic properties in the circumferential direction are greatly improved due to crystal magnetic anisotropy. It is also known.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のテクス
チャー処理においては、NiP膜に機械加工により同心
円状の研磨目を形成するため、金属特有の返りが発生す
る。このため、磁気ヘッドの浮上量の低減が難しいとい
う問題点がある。
However, in the conventional texture treatment, concentric circular polishing stitches are formed on the NiP film by machining, so that a metal-specific return occurs. Therefore, it is difficult to reduce the flying height of the magnetic head.

【0010】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、アルミニウム合金基板の基体となるアルミ
ニウム合金円板の表面を同心円状に粗面化加工すること
により、磁気ディスク用基板における返りを防止し、高
記録密度媒体用の基板として磁気ヘッド吸着防止性能が
優れ、媒体性能の向上が可能な高記録密度磁気ディスク
用基板及び磁気ディスクを提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and a return process in a magnetic disk substrate is performed by concentrically roughening the surface of an aluminum alloy disk which is a base of an aluminum alloy substrate. It is an object of the present invention to provide a substrate for a high recording density magnetic disk and a magnetic disk which have excellent magnetic head adsorption preventing performance as a substrate for a high recording density medium and which can improve the medium performance.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明に係る磁気ディス
ク用アルミニウム合金基板は、その表面が同心円状に粗
面化され、前記同心円の接線に対して直角方向の表面粗
度Raが10Å以上であるアルミニウム合金円板と、こ
のアルミニウム合金円板の前記表面に形成された硬質緻
密層とを有することを特徴とする。
A surface of an aluminum alloy substrate for a magnetic disk according to the present invention is roughened concentrically, and a surface roughness Ra in a direction perpendicular to a tangent of the concentric circle is 10 Å or more. It is characterized by having an aluminum alloy disc and a hard dense layer formed on the surface of the aluminum alloy disc.

【0012】本発明に係る磁気ディスクは、上述の如く
構成されたアルミニウム合金基板上に、磁性層及び保護
層を順次形成してなることを特徴とする。
A magnetic disk according to the present invention is characterized in that a magnetic layer and a protective layer are sequentially formed on an aluminum alloy substrate constructed as described above.

【0013】[0013]

【作用】本願発明者等は、同心円状に粗面化した硬質緻
密層としてのNiP膜を有する磁気ディスク用基板の返
りを防止すべく鋭意研究を重ねた結果、上述の如く、粗
面化処理の工程の順序及び対象を変更することにより、
返りがない平滑な基板が得られることを見いだした。即
ち、本発明においては、NiP膜を形成する前の段階に
おいて、アルミニウム合金基板の基体となるアルミニウ
ム合金円板自体を同心円状に微細に粗面化することによ
り、このアルミニウム合金円板上にNiP膜を形成した
後は、従来行っていたテクスチャー処理を行わないこと
とする。このように、アルミニウム合金円板を粗面化し
た後にNiP膜を形成することにより、アルミニウム合
金円板の粗面化処理により形成された研磨目の凹凸がそ
の上のNiP膜に転写され、従来のテクスチャー処理と
同様の凹凸を表面にもつ磁気ディスク用基板が得られ
る。しかも、この磁気ディスク用基板は、NiP膜形成
後の粗面化処理をしないので、返りの発生が回避され
る。また、同心円状に凹凸を形成した結果、磁気ヘッド
の吸着が防止でき、媒体性能の向上が可能となり、更に
磁気ヘッドの低浮上化が可能である。この磁気ヘッドの
低浮上化により記録密度を高めることが可能になり、本
発明は高記録密度用の磁気ディスク用基板及び磁気ディ
スクとして極めて有益である。
The inventors of the present invention have conducted intensive studies to prevent the return of the magnetic disk substrate having the NiP film as the hard and dense layer that is roughened concentrically, and as a result, as described above, the roughening treatment is performed. By changing the order and target of the process
It has been found that a smooth substrate with no return can be obtained. That is, in the present invention, before the formation of the NiP film, the aluminum alloy disc itself, which is the base body of the aluminum alloy substrate, is finely roughened concentrically to form a NiP film on the aluminum alloy disc. After forming the film, the conventional texture treatment is not performed. In this way, by forming the NiP film after roughening the aluminum alloy disc, the unevenness of the polishing mesh formed by the roughening treatment of the aluminum alloy disc is transferred to the NiP film on the surface. A magnetic disk substrate having the same unevenness on the surface as in the texture treatment of 1. can be obtained. Moreover, since the magnetic disk substrate is not subjected to the surface roughening treatment after the NiP film is formed, the occurrence of the return is avoided. Further, as a result of the concentric concavo-convex formation, the magnetic head can be prevented from being attracted, the medium performance can be improved, and the flying height of the magnetic head can be reduced. By lowering the flying height of the magnetic head, the recording density can be increased, and the present invention is extremely useful as a magnetic disk substrate and a magnetic disk for high recording density.

【0014】而して、アルミニウム合金円板表面に形成
する同心円状の研磨目としては、同心円の接線に対して
直角方向の表面粗度が10Å以上とすることが必要であ
る。この表面粗度が10Å未満では、NiP膜を形成した
後に、その磁気ヘッドとの接触面積を小さくして吸着を
防止するという効果が認められない。一方、表面粗度が
1μmより粗くなると、NiP膜を仕上げて研磨する際
に長時間を要し、製造コストが上昇する。このため、ア
ルミニウム合金円板の表面粗度は1μm以下とするのが
好ましい。なお、アルミニウム合金基板の表面粗度は、
NiP膜の膜厚及び磁気特性上NiP膜表面に要求され
る粗度に応じて変更する必要がある。
Therefore, the concentric circular grinds formed on the surface of the aluminum alloy disk must have a surface roughness of 10 Å or more in the direction perpendicular to the tangent to the concentric circle. If the surface roughness is less than 10Å, the effect of preventing the adsorption by reducing the contact area with the magnetic head after forming the NiP film is not recognized. On the other hand, the surface roughness
If it is rougher than 1 μm, it takes a long time to finish and polish the NiP film, which increases the manufacturing cost. Therefore, the surface roughness of the aluminum alloy disc is preferably 1 μm or less. The surface roughness of the aluminum alloy substrate is
It is necessary to change the thickness of the NiP film and the magnetic characteristics according to the roughness required on the surface of the NiP film.

【0015】なお、硬質緻密層としては、従来、NiC
uP、NiWP及びFeNi等が使用されているが、メ
ッキ性及び製造コスト等の観点から、NiP膜を使用す
ることが好ましい。
As the hard dense layer, conventionally, NiC is used.
Although uP, NiWP, FeNi and the like are used, it is preferable to use a NiP film from the viewpoint of plating properties and manufacturing cost.

【0016】そして、上述の如く構成される磁気ディス
ク用基板の表面上に、磁性体層及び保護層を形成して、
磁気ディスクが製造される。この磁性体層としては、C
oNiCr、CoCrTa、CoCrPt及びCoNi
P等がある。また、保護層としては、C,ZrO2,S
iO2等がある。
Then, a magnetic layer and a protective layer are formed on the surface of the magnetic disk substrate having the above structure,
A magnetic disk is manufactured. As the magnetic layer, C
oNiCr, CoCrTa, CoCrPt and CoNi
There are P etc. Further, as the protective layer, C, ZrO 2 , S
iO 2 etc.

【0017】[0017]

【実施例】次に、本発明の実施例についてその比較例と
比較して説明する。
EXAMPLES Next, examples of the present invention will be described in comparison with comparative examples.

【0018】先ず、NiP膜形成用の基体となる研磨加
工されたアルミニウム合金円板に対し、研磨テープを使
用して下記条件により同心円状のテクスチャー処理を行
い、同心円の接線に対して直角方向の表面粗度Raが20
0オングストロームの磁気ディスク用アルミニウム合金
基板を作製した。
First, a polished aluminum alloy disk, which is a substrate for forming a NiP film, is subjected to a concentric texture treatment under the following conditions using a polishing tape, and is subjected to a tangential line of a concentric circle at a right angle. Surface roughness Ra is 20
An aluminum alloy substrate for a magnetic disk of 0 angstrom was prepared.

【0019】テープ粗度;2000 番 基板回転数;800 rpm ロール硬度;90 押付荷重 ;0.5〜2.0 Kg/cm2 研磨剤 ;ユシロケンMIC-5(ユシロ化学(株)製)
の5%溶液 処理時間 ;1分間 その後、市販の無電解NiPメッキ浴を使用して、磁気
ディスク用アルミニウム合金基板表面に無電解メッキ法
により硬質緻密層としてのNiP膜を10μmの厚さで被
膜した。更に、NiP膜表面に所定の仕上げ研磨を施し
て磁気ディスク用基板を作成した。
Tape roughness: No. 2000 substrate rotation speed: 800 rpm Roll hardness: 90 Pressing load: 0.5-2.0 Kg / cm 2 Abrasive: Yushiroken MIC-5 (manufactured by Yushiro Kagaku Co., Ltd.)
5% solution treatment time: 1 minute After that, a commercially available electroless NiP plating bath is used to coat the surface of the aluminum alloy substrate for magnetic disks with a NiP film as a hard dense layer by electroless plating to a thickness of 10 μm. did. Further, the surface of the NiP film was subjected to predetermined finishing polishing to prepare a magnetic disk substrate.

【0020】比較のために、従来の研削されたアルミニ
ウム合金基板についても、NiPメッキ及び仕上げ研磨
を施した後、テープ粗度4000番にて同心円状のテクスチ
ャー処理を行い、磁気ディスク用基板を作製した。
For comparison, the conventional ground aluminum alloy substrate was also subjected to NiP plating and finish polishing, and then subjected to concentric texture treatment with tape roughness number 4000 to prepare a magnetic disk substrate. did.

【0021】これらの両者の磁気ディスク用基板の上
に、インライン方式のD.C.マグネトロンスパッタリ
ング装置により、Cr層を3000Å、Co62.5Ni30Cr
7.5層を600Å、C層を300Åの厚さで夫々成膜した。そ
して、上述の如くして製造された磁気ディスクの円周方
向及び半径方向の保磁力を、振動試料型磁力計(VS
M)により測定した。この結果を下記表1に示す。
On both of these magnetic disk substrates, an inline type D.D. C. With a magnetron sputtering device, the Cr layer was 3000 Å, Co 62.5 Ni 30 Cr
The 7.5 layer was 600 Å and the C layer was 300 Å. Then, the coercive force in the circumferential direction and the radial direction of the magnetic disk manufactured as described above is measured by a vibrating sample magnetometer (VS
M). The results are shown in Table 1 below.

【0022】[0022]

【表1】 [Table 1]

【0023】また、磁気ヘッドの吸着性を評価するた
め、磁気ディスク上に磁気ヘッドを配置し、高温及び高
湿度下(85%湿度、65℃、10日間)での吸着試験を実施
した。その結果を前記表1に併せて示す。
Further, in order to evaluate the adsorbability of the magnetic head, the magnetic head was placed on the magnetic disk and an adsorption test was carried out under high temperature and high humidity (85% humidity, 65 ° C., 10 days). The results are also shown in Table 1 above.

【0024】この表1から明かなように、本発明の実施
例に係るアルミニウム合金基板を使用した同心円状テク
スチャー処理基板においては、磁気ヘッドの吸着を生じ
ることがないと共に、円周方向の磁気特性が著しく改善
される。また、磁気ヘッドの浮上特性については、0.07
5μm(周速10m/sec)の低浮上ヘッドに てグライド試
験を行った結果、本発明による磁気ディスク用アルミニ
ウム合金基板を使用した場合には、磁気ヘッドが膜に衝
突した痕跡は確認できなかった。これに対し、従来の方
法により製造された比較例の磁気ディスク用アルミニウ
ム合金基板の場合は、多数の衝突痕跡が確認された。
As can be seen from Table 1, in the concentric texture-treated substrate using the aluminum alloy substrate according to the embodiment of the present invention, the magnetic head is not attracted and magnetic characteristics in the circumferential direction are not generated. Is significantly improved. The flying characteristics of the magnetic head are 0.07
As a result of performing a glide test with a low flying head of 5 μm (peripheral speed 10 m / sec), when the aluminum alloy substrate for a magnetic disk according to the present invention was used, traces of collision of the magnetic head with the film could not be confirmed. .. On the other hand, in the case of the aluminum alloy substrate for a magnetic disk of the comparative example manufactured by the conventional method, many collision marks were confirmed.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
磁気ディスク用アルミニウム合金基板の基体となるアル
ミニウム合金円板自体に同心円状のテクスチャー処理を
施し、その上にNiP膜等の硬質緻密層を形成するた
め、NiP膜に機械加工する従来の基板と異なり、Ni
P膜の返りが発生しないため、磁気ヘッドの低浮上化が
可能となり、より一層の高記録密度化が可能となる。ま
た、この磁気ディスク用基板の表面に基体のアルミニウ
ム合金円板の凹凸が表れているので、磁気ヘッドの吸着
を回避できると共に、円周方向の媒体性能が改善される
等、本発明は、磁気ディスク用基板として優れた効果が
得られる。
As described above, according to the present invention,
Different from the conventional substrate machined to NiP film because the aluminum alloy disc itself which is the base of the aluminum alloy substrate for magnetic disk is subjected to concentric circular texture treatment and a hard dense layer such as NiP film is formed on it. , Ni
Since the return of the P film does not occur, the flying height of the magnetic head can be lowered, and the recording density can be further increased. Further, since the unevenness of the aluminum alloy disc of the base appears on the surface of the magnetic disk substrate, adsorption of the magnetic head can be avoided and the medium performance in the circumferential direction is improved. An excellent effect can be obtained as a disk substrate.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 その表面が同心円状に粗面化され、前記
同心円の接線に対して直角方向の表面粗度Raが10Å
以上であるアルミニウム合金円板と、このアルミニウム
合金円板の前記表面に形成された硬質緻密層とを有する
ことを特徴とする磁気ディスク用アルミニウム合金基
板。
1. A surface thereof is roughened in a concentric circle shape, and a surface roughness Ra in a direction perpendicular to a tangent line of the concentric circle is 10Å.
An aluminum alloy substrate for a magnetic disk, comprising the aluminum alloy disc described above and a hard dense layer formed on the surface of the aluminum alloy disc.
【請求項2】 請求項1に記載のアルミニウム合金基板
上に、磁性層及び保護層を順次形成してなることを特徴
とする磁気ディスク。
2. A magnetic disk comprising a magnetic layer and a protective layer formed in sequence on the aluminum alloy substrate according to claim 1.
JP9942592A 1992-04-20 1992-04-20 Aluminum alloy substrate for magnetic disk and magnetic disk Pending JPH05298667A (en)

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