JPH05297250A - Optical semiconductor module - Google Patents

Optical semiconductor module

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JPH05297250A
JPH05297250A JP10309592A JP10309592A JPH05297250A JP H05297250 A JPH05297250 A JP H05297250A JP 10309592 A JP10309592 A JP 10309592A JP 10309592 A JP10309592 A JP 10309592A JP H05297250 A JPH05297250 A JP H05297250A
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JP
Japan
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optical
semiconductor module
optical waveguide
light
planar
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JP10309592A
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Japanese (ja)
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Satoshi Kaneko
聡 金子
Sachihiro Mogi
祥宏 茂木
Shigefumi Kito
繁文 鬼頭
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Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
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Abstract

PURPOSE:To prolong the lifetime of an optical semiconductor module of the pig tail type, in which a plurality of light emitting/receiving elements and a plutrality of optical fibers are coupled together, by hermetically sealing the package of semiconductor module. CONSTITUTION:The two surfaces and two sides of a sheet-form light waveguide path 2 are metallized, and the path 2 is fixed sealedly to a casing 4 in the part B by soldering, while an optical element package 5 is fixed sealedly to the casing 4 in the part C by means of soldering or welding. The light emitted from a semiconductor laser array 1 is cast into the plane-form optical waveguide path 2 and transmitted through it to be led to an optical fiber array 3 which is fusion attached to the path 2 in the part A. Hermetic sealing of the whole module permits preventing corrosion of the optical elements mounted inside to lead to prolongation of the module life.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光半導体モジュールに
係り、特に、光通信に用いて好適な光半導体モジュール
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical semiconductor module, and more particularly to an optical semiconductor module suitable for use in optical communication.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5は従来技術による光半導体モジュー
ルの一例の構造を示す斜視図である。図5において、1
4は電極パターン、15は光ファイバ、16はファイバ
支持部、17は絶縁膜、18はガイド、19は基板であ
る。図5に示すモジュールは、複数個の発受光素子と光
ファイバとが結合された光半導体モジュールであり、並
列伝送光モジュールである。
2. Description of the Related Art FIG. 5 is a perspective view showing the structure of an example of a conventional optical semiconductor module. In FIG. 5, 1
4 is an electrode pattern, 15 is an optical fiber, 16 is a fiber support, 17 is an insulating film, 18 is a guide, and 19 is a substrate. The module shown in FIG. 5 is an optical semiconductor module in which a plurality of light emitting / receiving elements and an optical fiber are coupled, and is a parallel transmission optical module.

【0003】そして、この従来技術は、アレイ状に複数
個配列された発光あるいは受光素子を支持する基板19
と、前記素子と光結合する側の端面が略45度に斜めカ
ットされ、前記素子とアレイピッチとを同一にしたアレ
イ状の光ファイバ15を、前記基板に光軸を略一致させ
て重畳する光ファイバ支持部16とが、ガイド18、絶
縁膜17を介して結合されて構成されている。
In this prior art, the substrate 19 supporting a plurality of light emitting or light receiving elements arranged in an array.
Then, the end face on the side optically coupled with the element is obliquely cut at about 45 degrees, and the array-shaped optical fiber 15 in which the element and the array pitch are the same is superposed on the substrate with their optical axes substantially aligned. The optical fiber support portion 16 is configured to be coupled via a guide 18 and an insulating film 17.

【0004】なお、この種の光半導体モジュールに関す
る従来技術として、例えば、特開平2ー220010号
公報等に記載された技術が知られている。
As a conventional technique relating to this type of optical semiconductor module, for example, a technique described in Japanese Patent Laid-Open No. 220010/1990 is known.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】前記従来技術は、平面
基板上にアレイ状光素子を配置して光の入出射方向を上
下方向とし、光ファイバの端面を略45度に斜めカット
し、この光ファイバ端面と光素子とを結合させるように
構成されているので、光軸を、光ファイバ支持部のガイ
ドの大きさにより調整することができ、予め所望の大き
さに作製してある光ファイバピッチ及び光ファイバ支持
部に設けたガイドと、光ファイバとの位置関係を、それ
ぞれ、光素子のアレイピッチ、基板に設けたガイド溝と
光素子との位置関係により決めることができるものであ
る。
In the prior art described above, arrayed optical elements are arranged on a flat substrate so that the light entering / exiting direction is the vertical direction, and the end face of the optical fiber is obliquely cut at about 45 degrees. Since the optical fiber end face and the optical element are configured to be coupled to each other, the optical axis can be adjusted by the size of the guide of the optical fiber supporting portion, and the optical fiber manufactured in advance to a desired size. The pitch and the positional relationship between the guides provided on the optical fiber supporting portion and the optical fibers can be determined by the array pitch of the optical elements and the positional relationship between the guide grooves provided on the substrate and the optical elements, respectively.

【0006】従って、前記従来技術は、光ファイバ支持
部をガイド溝に沿って摺動させるだけで光軸の調整を行
うことができ、光軸調整のための部材間のクリアラン
ス、部材固定のスペースが不要であり、形状の小型化が
可能なものである。
Therefore, in the prior art, the optical axis can be adjusted only by sliding the optical fiber supporting portion along the guide groove, and the clearance between the members for adjusting the optical axis and the space for fixing the members can be adjusted. Is unnecessary, and the size can be reduced.

【0007】しかし、前記従来技術は、光ファイバアレ
イ付きのピグテールタイプモジュールであるため、光フ
ァイバアレイと光ファイバ支持部との接合部分が障害と
なりモジュール全体を気密封止することが困難であり、
その結果、モジュールに搭載される発受光素子あるいは
ICの寿命を確保することができず、また、これらの腐
食を防止することができないという問題点を有してい
る。
However, in the above-mentioned prior art, since it is a pigtail type module with an optical fiber array, it is difficult to hermetically seal the entire module because the joint portion between the optical fiber array and the optical fiber support portion becomes an obstacle.
As a result, there is a problem in that the life of the light emitting / receiving element or the IC mounted in the module cannot be ensured, and corrosion of these cannot be prevented.

【0008】本発明の目的は、前記従来技術の問題点を
解決し、発受光素子の寿命を確保することができ、ま
た、発受光素子の腐食を防止することができる光半導体
モジュールを提供することにある。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, to provide an optical semiconductor module capable of ensuring the life of the light emitting / receiving element and preventing corrosion of the light emitting / receiving element. Especially.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明によれば前記目的
は、複数の発受光素子と複数の光ファイバとを、平面光
導波路を介して結合させ、前記平面光導波路の導波路端
面を除いた両面及び側面をメタライズして、平面光導波
路を金属性筺体に挿入しはんだにより封止固定し、この
金属製筺体を予め複数の発受光素子が搭載されているパ
ッケージに、光軸調整を行った後、溶接あるいははんだ
等により封止固定することにより達成される。
According to the present invention, the object is to couple a plurality of light emitting and receiving elements and a plurality of optical fibers through a planar optical waveguide, and remove the waveguide end face of the planar optical waveguide. Metallized both sides and sides, insert the planar optical waveguide into a metallic housing, seal and fix with solder, and adjust the optical axis of this metallic housing in advance to a package with multiple light emitting and receiving elements mounted. After that, it is achieved by sealing and fixing with welding or solder.

【0010】[0010]

【作用】両面及び側面がメタライズされた平面光導波路
が金属製筺体に封止固定されているので、複数の発受光
素子と複数の光ファイバとを結合させる場合に、モジュ
ール全体を気密封止することが可能となり、発受光素子
あるいはICの寿命の確保及び腐食防止を実現すること
ができ、安定した機能を有する光半導体モジュールを供
給することができる。
Since the flat optical waveguide whose both sides and side surfaces are metallized is sealed and fixed to the metal housing, the entire module is hermetically sealed when a plurality of light emitting / receiving elements and a plurality of optical fibers are coupled. It is possible to secure the life of the light emitting / receiving element or the IC and prevent corrosion, and it is possible to supply an optical semiconductor module having a stable function.

【0011】[0011]

【実施例】以下、本発明による光半導体モジュールの実
施例を図面により詳細に説明する。
Embodiments of an optical semiconductor module according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0012】図1は本発明の第1の実施例の構成を示す
平面図である。図1において、1は半導体レーザアレ
イ、2は平面光導波路、3は光ファイバアレイ、4は筺
体、5は光素子パッケージ、6はサブマウント、7はリ
ード電極、12はICアレイである。
FIG. 1 is a plan view showing the configuration of the first embodiment of the present invention. In FIG. 1, 1 is a semiconductor laser array, 2 is a planar optical waveguide, 3 is an optical fiber array, 4 is a housing, 5 is an optical element package, 6 is a submount, 7 is a lead electrode, and 12 is an IC array.

【0013】図1に示す本発明の第1の実施例は、本発
明を半導体レーザアレイを用いた多芯半導体レーザモジ
ュールに適用したものである。
The first embodiment of the present invention shown in FIG. 1 is an application of the present invention to a multicore semiconductor laser module using a semiconductor laser array.

【0014】図1において、平面光導波路2は、その端
面を除いた両面及び側面がメタライズされ、金属性の筺
体4にB部においてはんだ封止されて固定されている。
そして、この平面光導波路2と光ファイバアレイ3と
は、A部において融着接合されている。
In FIG. 1, the planar optical waveguide 2 has its both sides and side surfaces excluding its end face metallized, and is fixed to the metallic housing 4 by solder sealing at the portion B.
The flat optical waveguide 2 and the optical fiber array 3 are fusion-bonded at the portion A.

【0015】光素子パッケージ5は、リード電極7と、
ICアレイ12と、サブマウントに固定され平面光導波
路2の端面に対向するように配置される半導体レーザア
レイ1とにより構成され、光軸調整した後C部において
筐体4にはんだあるいは溶接ににより封止され固定され
ている。
The optical device package 5 includes a lead electrode 7 and
The IC array 12 and the semiconductor laser array 1 fixed to the submount and arranged so as to face the end surface of the planar optical waveguide 2 are adjusted to the optical axis and then soldered or welded to the housing 4 at the C portion. Sealed and fixed.

【0016】前述のように構成される本発明の第1の実
施例において、半導体レーザアレイ1から出射された光
は、平面光導波路2の端面に入射され、この平面光導波
路2を伝搬し光ファイバアレイ3に結合される。
In the first embodiment of the present invention configured as described above, the light emitted from the semiconductor laser array 1 is incident on the end face of the flat optical waveguide 2 and propagates through the flat optical waveguide 2. Coupled to the fiber array 3.

【0017】図2は本発明の第2の実施例の構成を示す
平面図である。図2において、8はフォトダイオードア
レイであり、他の符号は図1の場合と同一である。この
本発明の第2の実施例は、本発明をフォトダイオードア
レイを用いた多芯フォトダイオードモジュールに適用し
たものである。
FIG. 2 is a plan view showing the configuration of the second embodiment of the present invention. In FIG. 2, reference numeral 8 is a photodiode array, and other reference numerals are the same as those in FIG. The second embodiment of the present invention is one in which the present invention is applied to a multi-core photodiode module using a photodiode array.

【0018】図2に示す本発明の第2の実施例は、図1
における半導体レーザアレイ1をフォトダイオードアレ
イ8に置き換えたもので、その他は、図1の場合と同様
に構成されている。そして、この本発明の第2の実施例
において、光ファイバアレイ3を伝搬してきた光は、平
面光導波路2に入射され、平面光導波路2を伝搬しフォ
トダイオードアレイ8に入射される。
The second embodiment of the present invention shown in FIG. 2 is shown in FIG.
The semiconductor laser array 1 in is replaced with a photodiode array 8, and the other parts are configured similarly to the case of FIG. Then, in the second embodiment of the present invention, the light propagating through the optical fiber array 3 enters the planar optical waveguide 2, propagates through the planar optical waveguide 2, and enters the photodiode array 8.

【0019】前述した本発明の第1及び第2の実施例
は、それぞれ、光信号の送信及び受信を行うものである
が、本発明は、半導体レーザアレイ1とフォトダイオー
ドアレイ8とを混在させることにより、光信号の送受信
を行うモジュールとすることもできる。この場合、平面
光導波路2は、光の合波、分波及び分岐を行う機能が持
たせられる。
The first and second embodiments of the present invention described above respectively perform transmission and reception of optical signals, but in the present invention, the semiconductor laser array 1 and the photodiode array 8 are mixed. As a result, a module that transmits and receives an optical signal can be provided. In this case, the planar optical waveguide 2 is provided with the functions of multiplexing, splitting and branching light.

【0020】図3は本発明の第3の実施例の構成を示す
平面図である。図3において、9は半導体レーザ、10
はフォトダイオード、11は光ファイバであり、他の符
号は図1の場合と同一である。この本発明の第3の実施
例は、本発明を半導体レーザとフォトダイオードとを用
いた波長多重送受信モジュールに適用したものである。
FIG. 3 is a plan view showing the configuration of the third embodiment of the present invention. In FIG. 3, 9 is a semiconductor laser and 10
Is a photodiode, 11 is an optical fiber, and other reference numerals are the same as in FIG. The third embodiment of the present invention is one in which the present invention is applied to a wavelength multiplex transmission / reception module using a semiconductor laser and a photodiode.

【0021】図3に示す本発明の第3の実施例は、平面
光導波路2内にポートP1とP2とを備え、これらの一
方の端面が半導体レーザ9及びフォトダイオード10に
対向するように配置され、ポートP1、P2の他方側が
光ファイバ11に結合されている点で、前述した本発明
の第1、第2の実施例と相違するが、その他の点では同
様に構成されている。
The third embodiment of the present invention shown in FIG. 3 is provided with ports P1 and P2 in the planar optical waveguide 2, and one end face of these is arranged so as to face the semiconductor laser 9 and the photodiode 10. However, the other side of the ports P1 and P2 is connected to the optical fiber 11, which is different from the first and second embodiments of the present invention described above, but the other points are the same.

【0022】このように構成される本発明の第3の実施
例において、半導体レーザ9より出射された波長λ1の
光は、平面光導波路2のポートP1に入射され、共通導
波路を伝搬し光ファイバ11に入射されて、相手側のモ
ジュールへと伝搬していく。一方、光ファイバ11を伝
搬してきた波長λ2の光は、平面光導波路2の共通導波
路を伝搬し、ポートP2からフォトダイオード10に入
射する。
In the third embodiment of the present invention thus constructed, the light of wavelength λ1 emitted from the semiconductor laser 9 is incident on the port P1 of the planar optical waveguide 2 and propagates through the common waveguide. It is incident on the fiber 11 and propagates to the other module. On the other hand, the light of wavelength λ2 propagating through the optical fiber 11 propagates through the common waveguide of the planar optical waveguide 2 and enters the photodiode 10 from the port P2.

【0023】前述した本発明の実施例は、平面光導波路
2の端面と光素子とを対向させて、光結合を行わせてい
るが、本発明は、平面光導波路2の端面に集光用のレン
ズを備えるようにすることもできる。
In the above-described embodiment of the present invention, the end surface of the planar optical waveguide 2 and the optical element are opposed to each other to perform optical coupling. It is also possible to equip it with the lens.

【0024】次に、前述した本発明の第1〜第3の実施
例の組立方法の一例を、図1及びモジュールの外形を示
す図4を参照して説明する。
Next, an example of the assembling method of the above-described first to third embodiments of the present invention will be described with reference to FIG. 1 and FIG. 4 showing the outer shape of the module.

【0025】まず、平面光導波路2と光ファイバアレイ
3とをA部において、CO2 レーザ等を使用して融着接
続し、次に、平面光導波路2の導波路端面以外の両面及
び側面をはんだ付けが可能なNi、Cu等によりメタラ
イズする。さらに、前記平面光導波路2を筺体4に平面
光導波路挿入口13より挿入し、次に、前記筺体4の平
面光導波路挿入口13の反対側から半導体レーザアレイ
が搭載されている光素子パッケージ5を挿入して光軸の
調整を行う。
First, the flat optical waveguide 2 and the optical fiber array 3 are fusion-spliced at the portion A by using a CO 2 laser or the like, and then both surfaces and side surfaces other than the waveguide end surface of the flat optical waveguide 2 are connected. Metallized with solderable Ni, Cu, etc. Further, the planar optical waveguide 2 is inserted into the housing 4 through the planar optical waveguide insertion opening 13, and then the optical device package 5 in which the semiconductor laser array is mounted from the side opposite to the planar optical waveguide insertion opening 13 of the housing 4. Insert and adjust the optical axis.

【0026】この光軸の調整は、X、Y軸について光素
子パッケージ5と筐体4との結合関係により行われ、Z
軸について平面光導波路2により行われる。その後、B
部をはんだ封止することにより、筐体4と平面光導波路
2とを固定し、また、C部をはんだあるいは溶接により
封止することにより、筐体4と光素子パッケージ5とを
固定する。
The adjustment of the optical axis is performed by the coupling relationship between the optical element package 5 and the housing 4 about the X and Y axes, and Z
This is done by the planar light guide 2 about the axis. Then B
The housing 4 and the planar optical waveguide 2 are fixed by sealing the portion with solder, and the housing 4 and the optical element package 5 are fixed by sealing the portion C with solder or welding.

【0027】このB、C部における封止固定時に、筐体
4内に不活性ガスを封入して封止される。
At the time of sealing and fixing the parts B and C, the housing 4 is sealed by enclosing an inert gas.

【0028】前述した本発明の実施例によれば、複数の
光素子と複数の光ファイバとの結合を、両面及び両側面
をメタライズした平面光導波路を介して行っているの
で、複数の光ファイバを用いたピッグテールタイプの光
半導体モジュールにおいても、容易に気密封止を行うこ
とができるので、内部の光素子を腐食させることを防止
することができ、光半導体モジュールの長寿命化を図る
ことができる。
According to the above-described embodiment of the present invention, the plurality of optical elements and the plurality of optical fibers are coupled to each other through the planar optical waveguide whose both surfaces and both side surfaces are metallized. Also in the pigtail type optical semiconductor module using, it is possible to easily perform the hermetic sealing, so that it is possible to prevent the internal optical element from being corroded, and it is possible to extend the life of the optical semiconductor module. it can.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、光
半導体モジュールを容易に気密封止することができるの
で、光半導体モジュールの長寿命化を図ることができ
る。
As described above, according to the present invention, the optical semiconductor module can be easily hermetically sealed, so that the life of the optical semiconductor module can be extended.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例の構成を示す平面図であ
る。
FIG. 1 is a plan view showing a configuration of a first exemplary embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2の実施例の構成を示す平面図であ
る。
FIG. 2 is a plan view showing a configuration of a second exemplary embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第3の実施例の構成を示す平面図であ
る。
FIG. 3 is a plan view showing a configuration of a third exemplary embodiment of the present invention.

【図4】本発明の実施例による光半導体モジュールの外
形を示す斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing an outer shape of an optical semiconductor module according to an embodiment of the present invention.

【図5】従来技術による光半導体モジュールの構成を示
す平面図である。
FIG. 5 is a plan view showing a configuration of an optical semiconductor module according to a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 半導体レーザアレイ 2 平面光導波路 3 光ファイバアレイ 4 筺体 5 光素子パッケージ 6 サブマウント 7 リード電極 8 フォトダイオードアレイ 9 半導体レーザ 10 フォトダイオード 11、15 光ファイバ 12 ICアレイ 13 平面光導波路挿入口 14 電極パターン 16 ファイバ支持部 17 絶縁膜 18 ガイド 19 基板 1 Semiconductor Laser Array 2 Planar Optical Waveguide 3 Optical Fiber Array 4 Housing 5 Optical Device Package 6 Submount 7 Lead Electrode 8 Photodiode Array 9 Semiconductor Laser 10 Photodiode 11, 15 Optical Fiber 12 IC Array 13 Planar Optical Waveguide Insertion Port 14 Electrode Pattern 16 Fiber support 17 Insulating film 18 Guide 19 Substrate

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 同一パッケージ内に複数の発受光素子が
搭載され、光信号の送信、受信あるいは送受信を行う機
能を有する光半導体モジュールにおいて、その端面を除
いた両面及び側面がメタライズされた平面光導波路を備
え、該平面光導波路が複数の発受光素子と複数の光ファ
イバとの結合を行い、かつ、平面光導波路が筺体に気密
封止して固定され、前記複数の発受光素子が搭載されて
いるパッケージが前記筺体に気密封止して固定されてい
ることを特徴とする光半導体モジュール。
1. In an optical semiconductor module having a plurality of light emitting / receiving elements mounted in the same package and having a function of transmitting, receiving or transmitting / receiving an optical signal, a planar light guide in which both sides and side surfaces except an end surface thereof are metallized. A plurality of light emitting / receiving elements and a plurality of optical fibers are coupled to each other, and the flat optical waveguide is hermetically sealed and fixed to the housing, and the plurality of light emitting / receiving elements are mounted. An optical semiconductor module, wherein the package is fixed to the housing in an airtight manner.
【請求項2】 前記平面光導波路は、光の合波及び分波
を行う機能を有することを特徴とする請求項1記載の光
半導体モジュール。
2. The optical semiconductor module according to claim 1, wherein the planar optical waveguide has a function of multiplexing and demultiplexing light.
【請求項3】 前記平面光導波路は、光の分岐を行う機
能を有することを特徴とする請求項1記載の光半導体モ
ジュール。
3. The optical semiconductor module according to claim 1, wherein the planar optical waveguide has a function of branching light.
【請求項4】 前記平面光導波路は、光の合波、分波及
び分岐を行う機能を有することを特徴とする請求項1記
載の光半導体モジュール。
4. The optical semiconductor module according to claim 1, wherein the planar optical waveguide has a function of performing multiplexing, demultiplexing and branching of light.
【請求項5】 前記平面光導波路は、光のスイッチ機能
を有することを特徴とする請求項1記載の光半導体モジ
ュール。
5. The optical semiconductor module according to claim 1, wherein the planar optical waveguide has a light switching function.
【請求項6】 前記平面光導波路の端面に集光用レンズ
を備えたことを特徴とする請求項1ないし5のうち1記
載の光半導体モジュール。
6. The optical semiconductor module according to claim 1, wherein a condensing lens is provided on an end surface of the planar optical waveguide.
JP10309592A 1992-04-22 1992-04-22 Optical semiconductor module Pending JPH05297250A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001509919A (en) * 1997-03-18 2001-07-24 シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト Optical transmission module
JP2003295007A (en) * 2002-04-05 2003-10-15 Hitachi Cable Ltd Multi-channel optical transceiver

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